JPS58141858U - 流速・流量検出装置 - Google Patents

流速・流量検出装置

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JPS58141858U
JPS58141858U JP4005082U JP4005082U JPS58141858U JP S58141858 U JPS58141858 U JP S58141858U JP 4005082 U JP4005082 U JP 4005082U JP 4005082 U JP4005082 U JP 4005082U JP S58141858 U JPS58141858 U JP S58141858U
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JP
Japan
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flow rate
detection device
rate detection
diaphragm
buffer material
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Pending
Application number
JP4005082U
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English (en)
Inventor
繁 西山
Original Assignee
トキコ株式会社
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第1図は本考案の一実施例の概略構成図、第2図は渦発
生柱の側面図、第3図は第2図のA−A断面を示す上面
図である。 1・・・・・・流体配管、2・・・・・・流路、3・・
・・・・信号処理回路、4・・・・・・渦発生柱、5.
6・・・・・・ダイアフラム、7.8・・・・・・電極
板、9,10・・・・・・絶縁材、11・・・・・・導
通口、12.13・・・・・・ダイアフラム室、14゜
15・・・・・・緩衝材、16.17・・・・・・カル
マン渦、1B、  19,20.21・・・・・・リー
ド線。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 平行平板コンデンサを形成する可撓ダイアフラムと固定
    電極板との間に、該ダイアフラムの過大変位を制限する
    緩衝材を設けてなる流速・流量検出装置。
JP4005082U 1982-03-20 1982-03-20 流速・流量検出装置 Pending JPS58141858U (ja)

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JP4005082U JPS58141858U (ja) 1982-03-20 1982-03-20 流速・流量検出装置

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JPS58141858U true JPS58141858U (ja) 1983-09-24

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