JPS58137726A - 円筒振動式圧力計 - Google Patents
円筒振動式圧力計Info
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- JPS58137726A JPS58137726A JP57020776A JP2077682A JPS58137726A JP S58137726 A JPS58137726 A JP S58137726A JP 57020776 A JP57020776 A JP 57020776A JP 2077682 A JP2077682 A JP 2077682A JP S58137726 A JPS58137726 A JP S58137726A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0026—Transmitting or indicating the displacement of flexible, deformable tubes by electric, electromechanical, magnetic or electromagnetic means
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- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0001—Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means
- G01L9/0008—Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means using vibrations
- G01L9/0022—Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means using vibrations of a piezoelectric element
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、円筒状振動子を用い、この円筒状振動子の共
振周液数が、円筒状振動子に導びかれた流体Ｏ圧力（差
圧を含む）ｖｃよりて変化することを利用し大円筒振動
式圧力計に関する％ＯであるＯ東に詳しくは、本発明は
、耐圧、耐振性が高く、を九、儒幀性の高い、主として
航空用に使用してｌｌｌｌＦｃ有効な円曽ＩＩ＃ｈ式圧
力針に関するものであゐＯ第１図は従来ｏｅ、、ｏｔａ
ｏ円曽損動式圧力計Ｃ＋ −例を示す構成斜視図である
。この圧力針線、円筒状振動子１０の内部に円柱状ｌデ
（１１を配置させ、この円柱状ボディＵＫ振動子１００
駆動コイル２１と、検出用コイル３１とを設置して構成
されている０円筒状振動子１０は、全体が保護用円筒カ
バー４内に収容されている。円筒状振動子１００内側に
は、導圧孔５１を介して被測定圧力Ｐ１が導人畜れてお
り、円筒状振動子１ｏは、被測定圧力ｐ１と、円筒振動
子１０と円筒カバー４とで囲まれ丸部屋内の圧力（円筒
振動子１ｏの外側圧力）との差に応じて、その共振周波
数が変化するようになっている〇このように構成された
従来装置においては、円筒状振動子を励振させる丸めの
駆動コイル２１．共戯周波数を検出するための検出フィ
ル３１を保持する円柱状ボディ１１があ）、シかも、こ
の円柱状ボディ１１の一端が自由端となっていることか
ら、この円柱状ボディ１１は、その軸方向と直角方向に
固有振動数を有することとなシ、これが円筒状振動子１
１の共振周波数に影善を及埋すという問題点がある。更
に、この装置においては、耐圧を増す丸めには、円筒状
振動子１ｏの側壁及び端面部分を厚く構成する必要があ
るが、この鳩舎、円筒状振動子の軸方向に対して直角方
向の固有振動数が低下し、外部からの振動ノイズの影蕃
を受けやすくなるという間瓢点がある。
振周液数が、円筒状振動子に導びかれた流体Ｏ圧力（差
圧を含む）ｖｃよりて変化することを利用し大円筒振動
式圧力計に関する％ＯであるＯ東に詳しくは、本発明は
、耐圧、耐振性が高く、を九、儒幀性の高い、主として
航空用に使用してｌｌｌｌＦｃ有効な円曽ＩＩ＃ｈ式圧
力針に関するものであゐＯ第１図は従来ｏｅ、、ｏｔａ
ｏ円曽損動式圧力計Ｃ＋ −例を示す構成斜視図である
。この圧力針線、円筒状振動子１０の内部に円柱状ｌデ
（１１を配置させ、この円柱状ボディＵＫ振動子１００
駆動コイル２１と、検出用コイル３１とを設置して構成
されている０円筒状振動子１０は、全体が保護用円筒カ
バー４内に収容されている。円筒状振動子１００内側に
は、導圧孔５１を介して被測定圧力Ｐ１が導人畜れてお
り、円筒状振動子１ｏは、被測定圧力ｐ１と、円筒振動
子１０と円筒カバー４とで囲まれ丸部屋内の圧力（円筒
振動子１ｏの外側圧力）との差に応じて、その共振周波
数が変化するようになっている〇このように構成された
従来装置においては、円筒状振動子を励振させる丸めの
駆動コイル２１．共戯周波数を検出するための検出フィ
ル３１を保持する円柱状ボディ１１があ）、シかも、こ
の円柱状ボディ１１の一端が自由端となっていることか
ら、この円柱状ボディ１１は、その軸方向と直角方向に
固有振動数を有することとなシ、これが円筒状振動子１
１の共振周波数に影善を及埋すという問題点がある。更
に、この装置においては、耐圧を増す丸めには、円筒状
振動子１ｏの側壁及び端面部分を厚く構成する必要があ
るが、この鳩舎、円筒状振動子の軸方向に対して直角方
向の固有振動数が低下し、外部からの振動ノイズの影蕃
を受けやすくなるという間瓢点がある。
ζこにおいて、本発明は、従来装置におけるこれらＯＭ
題点を解決し、高精度であって、耐圧。
題点を解決し、高精度であって、耐圧。
耐振性が高く、信頼性の高い円筒振動式圧力針を提供し
ようとすみもＯである。
ようとすみもＯである。
本発明に係る装置紘１１円筒状振動子を、薄肉円筒部と
、ζＯ薄肉円筒部〇一端に連続する厚内円筒部と、薄肉
円筒部の他端に納会する厚内端面部とで構成するととも
に、こＯ円箇状振動子会カバー内に設置し、円筒状振動
子Ｏ厚内端面部をカバーに固定させ大息に構成上の特徴
がある。
、ζＯ薄肉円筒部〇一端に連続する厚内円筒部と、薄肉
円筒部の他端に納会する厚内端面部とで構成するととも
に、こＯ円箇状振動子会カバー内に設置し、円筒状振動
子Ｏ厚内端面部をカバーに固定させ大息に構成上の特徴
がある。
第２図は本発−に係為圧力針の一例を示す構成斜視図、
第５図紘第２１１におけるＸ−Ｘ断面図、第４８Ｆｉ＊
ｚｒｉＡＫｍ−けゐｙ−ｙ断面図である。
第５図紘第２１１におけるＸ−Ｘ断面図、第４８Ｆｉ＊
ｚｒｉＡＫｍ−けゐｙ−ｙ断面図である。
これらＯ図ＶＣおいて、１紘円ＩＩＩ状振動子で、薄肉
円筒部１１と、ζＯ薄肉円筒郁〇一端に連続し九厚肉円
筒郁１２及び薄肉円筒５１１０他方をＩＬさぐ厚肉の端
藺部１３とで構成されている。厚内円１１１１１１には
、そＯ外周面から内壁付近にまで達すゐ塵ぐシ穴１３〜
１６がここでは４個設けられている。これらの座ぐシ穴
のうち互に振動子１０中心軸に対して直角な位置関係に
ある座ぐシ穴１３．１４ Ｋは、振動子１を励振するた
めの駆動手段２１．２２が設置され、を九、残ｐの座ぐ
）穴１５．１６には、振動子１の共振周波数を検出する
ためＯ検出手段３１．３２が設置されている。駆動手段
２１．２２及び振動検出手段３１．３２−とじては、圧
電素子が用いられる０４は円筒状振動子１を収容するカ
バーであって、ここでは円筒状振動子１０端買部１３が
、挿入され為開口部を一端にもり九厚肉円曽１１１２と
同−外１１１ｃＪものを示す。このカバー４は、一端が
厚内円筒部１２に固定され、また、円筒状振動子１の一
端（端面５１３）が、カバ−４０開口部に挿入されてこ
こで固定されていゐ。なお、とこてはカバー４の厚内円
筒部１２への固定及び円筒状振動子１の一端への固定は
、いずれも例えばＷＩ接によって気管な維持するように
なされていゐ。４１はカバー４０側１１に設は九圧力導
入口で、この導入口から円筒状振動子１とカバー４と０
間に＊ｊｌＥ−ｇれる部層４０内に圧力が導入される・
ｓＨ円板状のボディで、Ｏリングのシール手段番を介し
て円筒状振動子１がネジ７によりて固定畜れている・５
１社ｌディ＠Ｏ備壁から中心部に通じている圧力導入口
で、円筒状振動子１の内部の部屋１０内に、圧力が導入
される・第Ｓ図は、円筒状振動子１の駆動手段２１，２
２゜振動検出手段３１．３２がそれぞれ接続され、円筒
状振動子１を共振周波数で振動させるための電気回路図
である。こ０８回路は、振動検出手段３１． （３２）
からの信号を増幅する増幅器ム□と、この増＠器Ａ□の
出力信号の位相を回転させ自励発振の条件を満足させる
ローパスフィル−ＬＰＦとで構成１れておや、ロー・（
スフィルタＬｐＦ ｅ出力信号が駆動手段２１．２２に
印加されるように＆りている・こＯ電気回路は、駆動手
段１円筒状振動子、振動検出手段を會んで１ｌＩＩｌ１
発銀ルーグを形成し、円筒状振動子１を所定毫−ド（例
えば４次峰−ド）で円１ＩｔｉＩ動させる・ このように構成され九装置は、円筒状振動子１において
、薄肉振動部１１の端買郁１３を厚内な構成にするとと
もに１この端面部１３をカー−４Ｋｍｌ定した点に構成
上のひとつｏｔｐｉ徴がある・以下、その動作について
説明する。
円筒部１１と、ζＯ薄肉円筒郁〇一端に連続し九厚肉円
筒郁１２及び薄肉円筒５１１０他方をＩＬさぐ厚肉の端
藺部１３とで構成されている。厚内円１１１１１１には
、そＯ外周面から内壁付近にまで達すゐ塵ぐシ穴１３〜
１６がここでは４個設けられている。これらの座ぐシ穴
のうち互に振動子１０中心軸に対して直角な位置関係に
ある座ぐシ穴１３．１４ Ｋは、振動子１を励振するた
めの駆動手段２１．２２が設置され、を九、残ｐの座ぐ
）穴１５．１６には、振動子１の共振周波数を検出する
ためＯ検出手段３１．３２が設置されている。駆動手段
２１．２２及び振動検出手段３１．３２−とじては、圧
電素子が用いられる０４は円筒状振動子１を収容するカ
バーであって、ここでは円筒状振動子１０端買部１３が
、挿入され為開口部を一端にもり九厚肉円曽１１１２と
同−外１１１ｃＪものを示す。このカバー４は、一端が
厚内円筒部１２に固定され、また、円筒状振動子１の一
端（端面５１３）が、カバ−４０開口部に挿入されてこ
こで固定されていゐ。なお、とこてはカバー４の厚内円
筒部１２への固定及び円筒状振動子１の一端への固定は
、いずれも例えばＷＩ接によって気管な維持するように
なされていゐ。４１はカバー４０側１１に設は九圧力導
入口で、この導入口から円筒状振動子１とカバー４と０
間に＊ｊｌＥ−ｇれる部層４０内に圧力が導入される・
ｓＨ円板状のボディで、Ｏリングのシール手段番を介し
て円筒状振動子１がネジ７によりて固定畜れている・５
１社ｌディ＠Ｏ備壁から中心部に通じている圧力導入口
で、円筒状振動子１の内部の部屋１０内に、圧力が導入
される・第Ｓ図は、円筒状振動子１の駆動手段２１，２
２゜振動検出手段３１．３２がそれぞれ接続され、円筒
状振動子１を共振周波数で振動させるための電気回路図
である。こ０８回路は、振動検出手段３１． （３２）
からの信号を増幅する増幅器ム□と、この増＠器Ａ□の
出力信号の位相を回転させ自励発振の条件を満足させる
ローパスフィル−ＬＰＦとで構成１れておや、ロー・（
スフィルタＬｐＦ ｅ出力信号が駆動手段２１．２２に
印加されるように＆りている・こＯ電気回路は、駆動手
段１円筒状振動子、振動検出手段を會んで１ｌＩＩｌ１
発銀ルーグを形成し、円筒状振動子１を所定毫−ド（例
えば４次峰−ド）で円１ＩｔｉＩ動させる・ このように構成され九装置は、円筒状振動子１において
、薄肉振動部１１の端買郁１３を厚内な構成にするとと
もに１この端面部１３をカー−４Ｋｍｌ定した点に構成
上のひとつｏｔｐｉ徴がある・以下、その動作について
説明する。
圧力導入孔４１から部屋４０内に圧力Ｐ。を導びくとと
もに、圧力導入孔５１かも円筒振動子１の内部の部Ｍ！
ｔｏ内に圧力Ｐ１を導び〈。円筒状振動子１は、第５図
に示すような電気回路とともに自動発振ループを形成し
ており、その振動数ｆは（１）式で示すことかで龜る。
もに、圧力導入孔５１かも円筒振動子１の内部の部Ｍ！
ｔｏ内に圧力Ｐ１を導び〈。円筒状振動子１は、第５図
に示すような電気回路とともに自動発振ループを形成し
ており、その振動数ｆは（１）式で示すことかで龜る。
十−恒ｅｘ ｒｐｉ −ｐ、） （１）九だ
し、α：定数 Ｐ：部屋４ｏ内の圧力 ｐｌ：部屋１０内の圧力 ｔｏ： ｐｉ−ｐｏにおける円筒状振動子の振動数 したがりて、ｆｏおよびａをあらかじめ求めておくこと
によって、振動数ｆかも圧力（Ｐｉ−Ｐｏ）を求めるこ
とかで魯る。また、部層４００圧力ｐ。（ｍ動子１０外
側圧力）を真空に保てば、圧力ｐｉ−ｐｏは、絶対圧と
なる。
し、α：定数 Ｐ：部屋４ｏ内の圧力 ｐｌ：部屋１０内の圧力 ｔｏ： ｐｉ−ｐｏにおける円筒状振動子の振動数 したがりて、ｆｏおよびａをあらかじめ求めておくこと
によって、振動数ｆかも圧力（Ｐｉ−Ｐｏ）を求めるこ
とかで魯る。また、部層４００圧力ｐ。（ｍ動子１０外
側圧力）を真空に保てば、圧力ｐｉ−ｐｏは、絶対圧と
なる。
ζ０１［Ｉにおいては、円筒状振動子１０＃振周波数ｆ
を変化させる大部分が、円ｗＩｍＫ働く円周方向Ｏ！ｌ
力（圧縮力）である点に着目し、円筒状振動子１の端面
部１３を固定し九４ので、これによって端面部１３０肉
厚を厚くで自、しかも軸に直角な方角ｏｍ有振動数を高
くすゐことがで龜る。
を変化させる大部分が、円ｗＩｍＫ働く円周方向Ｏ！ｌ
力（圧縮力）である点に着目し、円筒状振動子１の端面
部１３を固定し九４ので、これによって端面部１３０肉
厚を厚くで自、しかも軸に直角な方角ｏｍ有振動数を高
くすゐことがで龜る。
こＯようＫ１１１威される装置によれば、耐振性を向上
で魯、を九、耐圧を増すことがで龜る。を九、円筒状振
動子１内は空洞となってお勤１円筒状振動子１の共振周
波数に影響を与えるような振動が発生せず、外部からの
振動ノイズの影響を受けない。また、円筒状振動子１は
、厚内円筒部１２内、すなわち薄肉円筒部１１の振動０
節付近で力を与え駆動するものであるから、ｑを高くで
龜高精度で圧力測定を行うむとがでする。
で魯、を九、耐圧を増すことがで龜る。を九、円筒状振
動子１内は空洞となってお勤１円筒状振動子１の共振周
波数に影響を与えるような振動が発生せず、外部からの
振動ノイズの影響を受けない。また、円筒状振動子１は
、厚内円筒部１２内、すなわち薄肉円筒部１１の振動０
節付近で力を与え駆動するものであるから、ｑを高くで
龜高精度で圧力測定を行うむとがでする。
１１１４図は本発明に係る装置Ｏ他Ｏ爽施例の要部を示
す構成断面図である・ζＯ貴施例ＫｊＰいては、円筒状
振動子１をカバー４内に収容するとともに、円筒振動子
１において、端面部１３を７レクシヤ１４を介してカバ
ー４に固定した％ Ｏｆ Ｔｏ Ｌ ｏフレクシャ１４
は、円筒状振動子１０軸方向にはツレキシプルであって
、円筒状振動子１と、カバー４との間の熱膨張の差をこ
こで吸収し、円周方向は動かないように保持している。
す構成断面図である・ζＯ貴施例ＫｊＰいては、円筒状
振動子１をカバー４内に収容するとともに、円筒振動子
１において、端面部１３を７レクシヤ１４を介してカバ
ー４に固定した％ Ｏｆ Ｔｏ Ｌ ｏフレクシャ１４
は、円筒状振動子１０軸方向にはツレキシプルであって
、円筒状振動子１と、カバー４との間の熱膨張の差をこ
こで吸収し、円周方向は動かないように保持している。
この実施例によれば、円筒状振動子１０端藺部外側と側
面部の外側を、いずれもカバー４内Ｏ圧力に維持するこ
とができ、外気圧力の変動による影響を受けなくで暑る
。
面部の外側を、いずれもカバー４内Ｏ圧力に維持するこ
とができ、外気圧力の変動による影響を受けなくで暑る
。
＃Ｉ７図は、本発明に係ゐ装置０＠０爽施例を示す断面
図で、ある。この実施例においては、第２図に示す装置
において、円ｔｔＪ状振動子１の端面部１３０周縁付近
に１薄肉円筒部１１をそＯ軸方向に振動させる駆動手段
２３と、振動検出子ｆｆ１３３とを設置したものである
〇 第２図に示す装置においては、薄肉円筒部１１を駆動子
Ｒ２１，２２Ｖｃよ）所定峰−ドで日程振動させること
を想定してい為が、Ｆ−ＯｖＩ＆論例装ｆｆｉにおいて
は、このような円環振動に加えて、薄肉円筒部１１を、
駆動子ＪＲ２３によりて軸方向にも所定モードで振動さ
せ、その共振周波数を、振動検出子Ｒ３３で検出する％
Ｏである。＊）、ここで、軸方向の振動は、円環振動に
よっても生じていることから、駆動子Ｒ２３は必ずしも
必要としない。
図で、ある。この実施例においては、第２図に示す装置
において、円ｔｔＪ状振動子１の端面部１３０周縁付近
に１薄肉円筒部１１をそＯ軸方向に振動させる駆動手段
２３と、振動検出子ｆｆ１３３とを設置したものである
〇 第２図に示す装置においては、薄肉円筒部１１を駆動子
Ｒ２１，２２Ｖｃよ）所定峰−ドで日程振動させること
を想定してい為が、Ｆ−ＯｖＩ＆論例装ｆｆｉにおいて
は、このような円環振動に加えて、薄肉円筒部１１を、
駆動子ＪＲ２３によりて軸方向にも所定モードで振動さ
せ、その共振周波数を、振動検出子Ｒ３３で検出する％
Ｏである。＊）、ここで、軸方向の振動は、円環振動に
よっても生じていることから、駆動子Ｒ２３は必ずしも
必要としない。
このように構成した装置によれば、ひとつＯ薄肉円筒部
１１が、ふ九つＯ所定モードで振動するもので、一方の
＃績周波数ｆ□と、他方の共振周波数ｆ２とを得、所定
Ｏ演算を行うことによりて、円筒状振動子１０周回置度
の影響中、内部に導入される被測定圧力流体の１度の影
響嶋を除去した圧力信号を得ることが可能である。
１１が、ふ九つＯ所定モードで振動するもので、一方の
＃績周波数ｆ□と、他方の共振周波数ｆ２とを得、所定
Ｏ演算を行うことによりて、円筒状振動子１０周回置度
の影響中、内部に導入される被測定圧力流体の１度の影
響嶋を除去した圧力信号を得ることが可能である。
なお、上記の説明では、厚内円筒部１２に座ぐり穴を形
成し、これに駆動手段、振動検出手段を設置し丸もので
あるが、塵ぐ）穴に代えて溝勢でもよ＜、１九、駆動子
Ｒ，振動検出手段の数は、別Ｏ数でもよい。ヒれらを多
くすれ杜、複雑（高次）な日程振動峰−ドを生じ畜せゐ
ことがで亀るａｔた、駆動手段、Ｉｌ動槍出手段は、厚
内円筒部以外の他Ｏ場所に設置してもよく、これらは圧
電素子の外に電磁式等でもよい。また、ζこでは円筒状
振動子１の端面は槃じた構造のものを示したが、端面部
１３の一郁に貫通孔を設け、カバー４内及び円筒状振動
子１内に岡じ圧力を導入するようＫしてもよい。
成し、これに駆動手段、振動検出手段を設置し丸もので
あるが、塵ぐ）穴に代えて溝勢でもよ＜、１九、駆動子
Ｒ，振動検出手段の数は、別Ｏ数でもよい。ヒれらを多
くすれ杜、複雑（高次）な日程振動峰−ドを生じ畜せゐ
ことがで亀るａｔた、駆動手段、Ｉｌ動槍出手段は、厚
内円筒部以外の他Ｏ場所に設置してもよく、これらは圧
電素子の外に電磁式等でもよい。また、ζこでは円筒状
振動子１の端面は槃じた構造のものを示したが、端面部
１３の一郁に貫通孔を設け、カバー４内及び円筒状振動
子１内に岡じ圧力を導入するようＫしてもよい。
以上説明したように、本発！ｊｉＫよれば、高精度であ
って、耐圧、耐振性が高く、を九償＊＊０高い円筒振動
式圧力針が実現できる。
って、耐圧、耐振性が高く、を九償＊＊０高い円筒振動
式圧力針が実現できる。
第１図は従来の円筒振動式圧力針の一例を示す構成斜視
図、第２図は本発Ｗ４Ｙ−係る圧力針の一例を示す構成
斜視図、第５図は第２図に＆けるＸ−Ｘ断面図、第４図
は第！図におけるＹＬＹ断爾図、第５図は電気回路の一
例を示す接続図、第６図及び第７図は本発明に係る装置
の他１ｃ）ＩＩ施例の要部構成断面図である。 １・・・円筒状振動子、１１−・薄肉円筒部、１２・−
厚肉円筒部、１３・・・端面部、１４・・・フレクシャ
、２１〜２３・・・駆動手段、３１〜３３・・・振動検
出手段、４・−カバー、５・・・ボディ。 悉ｌ 帽 第５ 劉 ′ＪＡｔ、 間層 ７ 刺 ７
図、第２図は本発Ｗ４Ｙ−係る圧力針の一例を示す構成
斜視図、第５図は第２図に＆けるＸ−Ｘ断面図、第４図
は第！図におけるＹＬＹ断爾図、第５図は電気回路の一
例を示す接続図、第６図及び第７図は本発明に係る装置
の他１ｃ）ＩＩ施例の要部構成断面図である。 １・・・円筒状振動子、１１−・薄肉円筒部、１２・−
厚肉円筒部、１３・・・端面部、１４・・・フレクシャ
、２１〜２３・・・駆動手段、３１〜３３・・・振動検
出手段、４・−カバー、５・・・ボディ。 悉ｌ 帽 第５ 劉 ′ＪＡｔ、 間層 ７ 刺 ７
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１） 円筒状振動子の共振振動数からこＯＰ１筒状
振動子に４見られゐ圧力を測定する装置において、前記
円筒状振動子を、薄肉円筒部と、この薄崗円曽部Ｏ一端
に連続する厚内円筒部と、薄肉円筒部の他端に結合する
厚肉端ｗ部とで構成するとともに、この円筒状振動子Ｏ
少なくとも薄肉円筒部をカバー内に設置し、前記円筒状
振動子Ｏ厚肉端面部を前記カバーに固定し九ことを特徴
とする円筒振動式圧力針Ｏ Ｑ）厚内円筒部内の内壁付近に振動子の駆動手段と、振
動検出手段とを設置させ九特許請求の範囲第１項記載の
円筒振動式圧力針。 （３） カバーの端内部に開口部を設け、この開口部
に円筒状振動子の厚肉端面部を挿入、固定させ九特許請
求の範Ｓ第１項記載の円筒１１１式圧力計・ （４） 円筒状振動子の厚肉端面部を、円筒状振動子
の軸方向にフレ命シプルなツレタシャを介してカバーに
固定するようにした特許請求のａｍ第１１１１載Ｏ円筒
振動式圧力計・（６） 円筒状振動子の厚内端ｗ部周
縁付近に、薄肉円筒部の軸方向の振動を検出する振動検
出手段を設置した特許請求ｏｉｕａ第１項記載の円筒振
動式圧力針。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57020776A JPS58137726A (ja) | 1982-02-12 | 1982-02-12 | 円筒振動式圧力計 |
| GB08236577A GB2114742B (en) | 1982-02-12 | 1982-12-23 | Pressure transducer |
| US06/454,874 US4495818A (en) | 1982-02-12 | 1982-12-30 | Cylindrical vibrator type pressure transducer |
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