JPS581295A - 測定装置 - Google Patents
測定装置Info
- Publication number
- JPS581295A JPS581295A JP9819081A JP9819081A JPS581295A JP S581295 A JPS581295 A JP S581295A JP 9819081 A JP9819081 A JP 9819081A JP 9819081 A JP9819081 A JP 9819081A JP S581295 A JPS581295 A JP S581295A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- integrator
- contact
- transient recorder
- frequency power
- signal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Arrangements For Transmission Of Measured Signals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発＠はトランジェントレコーダを用いた測定装置に係
シ、特にトランジェントレコーダのサンプル周期と無関
係に高精度の上品りが可能な測定装置に関するものであ
る。
シ、特にトランジェントレコーダのサンプル周期と無関
係に高精度の上品りが可能な測定装置に関するものであ
る。
高周波加熱は、グッズマ追加熱の手段としてばかシでな
く、プラズマの温度分布、電流分布などのプラズマプロ
ファイルを制御する手段としてきわめて有力な方法であ
るが、このためには高周波電力を十分な精度で一１定す
る必要がある。
く、プラズマの温度分布、電流分布などのプラズマプロ
ファイルを制御する手段としてきわめて有力な方法であ
るが、このためには高周波電力を十分な精度で一１定す
る必要がある。
高周波加熱装置においては一般に、４ニーした高周波電
力のデータを、ｌ’ｌＪＩＭ規格、ＯＡＭＡＯ規格ナト
のトランジェントレコーダ番モジュールのメモリに一旦
記憶する方式がとられてμる。メモリに記憶さ６れたデ
ータは、放電体止時間に計算機へ転送され、必要なデー
タ処理が行なわれる。
力のデータを、ｌ’ｌＪＩＭ規格、ＯＡＭＡＯ規格ナト
のトランジェントレコーダ番モジュールのメモリに一旦
記憶する方式がとられてμる。メモリに記憶さ６れたデ
ータは、放電体止時間に計算機へ転送され、必要なデー
タ処理が行なわれる。
従来の高周波電力測定装置においては、検波特性補償器
の出力をそのままトランジェントレコーダに入力してい
九〇第１図に従来方式による測定装置のブーツタ線図を
示す。
の出力をそのままトランジェントレコーダに入力してい
九〇第１図に従来方式による測定装置のブーツタ線図を
示す。
第１ＩＩにお−て１は検波器、２／ｆｉ、検波電圧増幅
器、３は検波特性の非直線性を補償する補償器、４はト
ランジェントレコーダ、５社メモリ、６はサンプル開始
信号８８が入力すると周期’ｌ”ｃ＋ｃで一定期間りｐ
ツク信号ＯＫ ｔ−） ？ンジエントレコーダへ出力す
るクロックパルスゼネレータである。
器、３は検波特性の非直線性を補償する補償器、４はト
ランジェントレコーダ、５社メモリ、６はサンプル開始
信号８８が入力すると周期’ｌ”ｃ＋ｃで一定期間りｐ
ツク信号ＯＫ ｔ−） ？ンジエントレコーダへ出力す
るクロックパルスゼネレータである。
このような従来方式の高周波電力測定装置においては、
測定する高周波電力が高速で変化する場合、又は十分な
精度で電力のモニタを行う場合は高速のトランジェント
レコーダを使用してサンプル周期を短くする必要がある
ばかシでなく、多量のメモリが必要とされた。
測定する高周波電力が高速で変化する場合、又は十分な
精度で電力のモニタを行う場合は高速のトランジェント
レコーダを使用してサンプル周期を短くする必要がある
ばかシでなく、多量のメモリが必要とされた。
たとえば０．１ｍ５ｅｃ でサンプリングを行な鱒、
１０秒間データｔ−収集すると％１１定点あた夛必要な
メモリ容量は１００ ＫＷとなる。さらに高周波加熱装
置では、高周波電力の測定点数は非常に多いため、全測
定点では多量のメモリが必要とされる。
１０秒間データｔ−収集すると％１１定点あた夛必要な
メモリ容量は１００ ＫＷとなる。さらに高周波加熱装
置では、高周波電力の測定点数は非常に多いため、全測
定点では多量のメモリが必要とされる。
本発明の目的は、従来の測定装置の上記欠点を解消する
ことＫＴｏシ、トランジェントレコーダのサンプル周期
と無関係に、高精度の測定が可能な測定装置を提供する
ことにある。
ことＫＴｏシ、トランジェントレコーダのサンプル周期
と無関係に、高精度の測定が可能な測定装置を提供する
ことにある。
以下、本発明を第２図に示す一実施例について説明する
。
。
第２図において、１は高周波電力管測定する検波器、２
は検波電圧を増幅する増幅器、３は検波特性の非直線性
を補償する補償器、４はトランジェントレコーダ、５は
メモリ、６はクロックパルスジェネレータ、７は本発明
で検波特性補償器３とトランジェントレコーダ４の間に
入れられた積分回路である。
は検波電圧を増幅する増幅器、３は検波特性の非直線性
を補償する補償器、４はトランジェントレコーダ、５は
メモリ、６はクロックパルスジェネレータ、７は本発明
で検波特性補償器３とトランジェントレコーダ４の間に
入れられた積分回路である。
積分回路７において、８ｍ、８ｂは同一特性のアナｐグ
積分器、９虐＊９ｂ、１６ａ、１（ｌｂ６１１ は高
速で動作するアナ胃グスイッチである。アナログスイッ
チは論理入力″″０１でそれぞれの接点３と接点ｌが接
続され、論理入力Ｚｌで接点３と接点２が接続される。
積分器、９虐＊９ｂ、１６ａ、１（ｌｂ６１１ は高
速で動作するアナ胃グスイッチである。アナログスイッ
チは論理入力″″０１でそれぞれの接点３と接点ｌが接
続され、論理入力Ｚｌで接点３と接点２が接続される。
また１２はクロックパルスジェネレータ６からクロック
信号ＯＫを受けて必要なタイイング信号Ｔ８１．Ｔ８２
．Ｔ８３．Ｔａ２ を発生するタイ、ンング回路で、
Ｊ−に７リツプフロツプ１３、入カバルスの立上がシで
動作し、パルス幅ＴＯの単パルスを発生する単パルス発
生回路１４．Ｒ−８７１Ｊツブ７０ツブ１５、ＯＲゲー
Ｈ６、ＡＮＤゲート１７で構成される。
信号ＯＫを受けて必要なタイイング信号Ｔ８１．Ｔ８２
．Ｔ８３．Ｔａ２ を発生するタイ、ンング回路で、
Ｊ−に７リツプフロツプ１３、入カバルスの立上がシで
動作し、パルス幅ＴＯの単パルスを発生する単パルス発
生回路１４．Ｒ−８７１Ｊツブ７０ツブ１５、ＯＲゲー
Ｈ６、ＡＮＤゲート１７で構成される。
次にＭ２図の動作について説明する。第３図にサンプル
開始信号ＳＳ１リセツト信号ＲＴ１り日ツク信号ＯＫ、
タイ建ノグ信号Ｔ８ｊ、Ｔａ２ 、Ｔａ３ 、Ｔａ２の
関係を示す。
開始信号ＳＳ１リセツト信号ＲＴ１り日ツク信号ＯＫ、
タイ建ノグ信号Ｔ８ｊ、Ｔａ２ 、Ｔａ３ 、Ｔａ２の
関係を示す。
サンプル休止期間はＴ８１〜ＴＳ４は論理１０ルベルに
あシ、積分器８ｍ、８ｂの入力はスイッチ９ｍ。
あシ、積分器８ｍ、８ｂの入力はスイッチ９ｍ。
９ｂによってグランド側に短絡されて９る。積分用コン
デンサはスイッチ１０１．ｌＯｂにより短絡され、放電
状態にある。サンプル開始信号ＳＳが入力されるとＲ−
８フリツグ７０ツブ１５の出力ＦＯは論理″″ｌＩｌＩ
レベルゲート１７ｔ−イネーブルとする。
デンサはスイッチ１０１．ｌＯｂにより短絡され、放電
状態にある。サンプル開始信号ＳＳが入力されるとＲ−
８フリツグ７０ツブ１５の出力ＦＯは論理″″ｌＩｌＩ
レベルゲート１７ｔ−イネーブルとする。
クロックパルスジェネレータ６は一定Ｊｉｆｆ 期Ｔｃ
ｘでクロックパルスＯＫ ｔ−出力し、これからタイ建
ング信号Ｔ８１〜Ｔ８４が作られる。＃Ｉ３図にお−て
時間区分Ａではアナログスイッチ９１の接点３は接点２
に接続され、積分器８ａで高周波電力の測定値の積分が
行なわれる。
ｘでクロックパルスＯＫ ｔ−出力し、これからタイ建
ング信号Ｔ８１〜Ｔ８４が作られる。＃Ｉ３図にお−て
時間区分Ａではアナログスイッチ９１の接点３は接点２
に接続され、積分器８ａで高周波電力の測定値の積分が
行なわれる。
一方、時間区公人のうち、区間Ａ１ではアナログスイッ
チ９ｂの接点３は接点１に接続されておシ、したがって
積分器８ｂの出力は、１つ前の区間Ｂにおける積分値が
保持される。また区間Ａｌではアナログスイッチ１０ｂ
の接点３は接点２に接続されて積分器８ａの出力がトラ
ンジェントレコーダ４によってＡ／Ｄ変換され、区間Ａ
２では積分器８ｂがリセットされて次の時間区分Ｂの積
分に備える。
チ９ｂの接点３は接点１に接続されておシ、したがって
積分器８ｂの出力は、１つ前の区間Ｂにおける積分値が
保持される。また区間Ａｌではアナログスイッチ１０ｂ
の接点３は接点２に接続されて積分器８ａの出力がトラ
ンジェントレコーダ４によってＡ／Ｄ変換され、区間Ａ
２では積分器８ｂがリセットされて次の時間区分Ｂの積
分に備える。
時間区分Ｂでは、アナログスイッチ９ｂの接点３は接点
２に接続され積分器８ｂで高周波電力の測定値の積分が
行なわれる。区間Ｂ１では積分Ｍ８ａの出力として１つ
前の区間Ａにおける積分値が保持され、積分器８ｍの出
力がトラ７ジエントレコーダ４によってＡ／Ｄ変換嘔れ
、区間Ｂ２で積分器８ａはリセットされる。
２に接続され積分器８ｂで高周波電力の測定値の積分が
行なわれる。区間Ｂ１では積分Ｍ８ａの出力として１つ
前の区間Ａにおける積分値が保持され、積分器８ｍの出
力がトラ７ジエントレコーダ４によってＡ／Ｄ変換嘔れ
、区間Ｂ２で積分器８ａはリセットされる。
以上の動作を繰り返すことによって、トランジェントレ
コーダには常に１つ前のサンプル区間における高周波電
力の積分値が得られることになる。
コーダには常に１つ前のサンプル区間における高周波電
力の積分値が得られることになる。
従って高周波電力の時間的変化に比較して積分器８ｍ、
８ｂの周波数帯斌を十分広くとると、トランジェントレ
コーダのサンプル周期とは無関係に子分な精度で高周波
電力の測定を行うことが可能であるＯ サンプル終了後はリセット信号ＢＴによってＲ−Ｓフリ
ッグ７０ツノ１５の出力ＦＯは再びし理０ レベルと、
なシ、Ｔａｘ〜ＴＳ４もＩ＆理１０ルべ□ ルとなシ、
積分器８ａ 、８ｂがリセットされるととも。
８ｂの周波数帯斌を十分広くとると、トランジェントレ
コーダのサンプル周期とは無関係に子分な精度で高周波
電力の測定を行うことが可能であるＯ サンプル終了後はリセット信号ＢＴによってＲ−Ｓフリ
ッグ７０ツノ１５の出力ＦＯは再びし理０ レベルと、
なシ、Ｔａｘ〜ＴＳ４もＩ＆理１０ルべ□ ルとなシ、
積分器８ａ 、８ｂがリセットされるととも。
に、その入力はグランド側に短絡される。
上記実施例では２台の積分器８ｍ、８ｂを使用したが、
サンプル周期ＴＣＫに比較してトランジ−エンドレコー
ダ４のＡ／Ｄ変換時間、積分器のリセット時間が十分小
さく、 が成シ立つ場合は、積分器１台ｐ＃Ｉ成とすることも可
能である。ただし、上式でＰ （ｔ）は高周波電力の時
刻ｔにおける測定値、ＴはＡ／Ｄ変換、積分器′のリセ
ットに要する時間である。
サンプル周期ＴＣＫに比較してトランジ−エンドレコー
ダ４のＡ／Ｄ変換時間、積分器のリセット時間が十分小
さく、 が成シ立つ場合は、積分器１台ｐ＃Ｉ成とすることも可
能である。ただし、上式でＰ （ｔ）は高周波電力の時
刻ｔにおける測定値、ＴはＡ／Ｄ変換、積分器′のリセ
ットに要する時間である。
積分器を１台とした構成の一実施例を＃Ｉ４図に示す。
第４図において７は積分回路、１２はクロックパルスジ
ェネレータ６からクロック信号０Ｋｔ−受けて必要なタ
イミング回路ＴＳ５．Ｔ８６１に発生するタイミング回
路である。タイミング回路１２におμて１４ａ、１４ｂ
は入力パルスの立上がシで動作し、出力パルス幅がそれ
ぞれＴＩ 、Ｔ２の単パルス発生回路、１８はＡＮＤゲ
ートである。
ェネレータ６からクロック信号０Ｋｔ−受けて必要なタ
イミング回路ＴＳ５．Ｔ８６１に発生するタイミング回
路である。タイミング回路１２におμて１４ａ、１４ｂ
は入力パルスの立上がシで動作し、出力パルス幅がそれ
ぞれＴＩ 、Ｔ２の単パルス発生回路、１８はＡＮＤゲ
ートである。
第５図にサンプル開始信号ＳＳ１リセツト信号ＲＴ１ク
ロック信号ＯＫ、タイミング信号Ｔ８５゜Ｔ２Ｏの関係
を示す。
ロック信号ＯＫ、タイミング信号Ｔ８５゜Ｔ２Ｏの関係
を示す。
サンプル休止期間はＴａ２．Ｔ！３θは論理１０ルベル
にあシ、積分器８ｍの入力はスイッチ９ａによってグラ
ンド側に短絡されている。積分用コンデンサはスイッチ
１０！Ｉによシ短絡され、放電状悪におる０サンプル開
始信号ＳＳが入力するとＲ−８ツリツグフロツプ１５の
出力ＦＯは論理＋１１ルベルとなシ、ゲート１７ｔ−イ
ネーブルとする。クロックパルスジェネレータは定周期
ＴｃｘでクロックパルスＯＫを出力し、これからタイミ
ング信号Ｔ８５．Ｔ８６が作られる。
にあシ、積分器８ｍの入力はスイッチ９ａによってグラ
ンド側に短絡されている。積分用コンデンサはスイッチ
１０！Ｉによシ短絡され、放電状悪におる０サンプル開
始信号ＳＳが入力するとＲ−８ツリツグフロツプ１５の
出力ＦＯは論理＋１１ルベルとなシ、ゲート１７ｔ−イ
ネーブルとする。クロックパルスジェネレータは定周期
ＴｃｘでクロックパルスＯＫを出力し、これからタイミ
ング信号Ｔ８５．Ｔ８６が作られる。
第５図において、区間Ｃではアナログスイッチ９ａの接
点３は接点２に接続され、積分器８ａで為周波電力の測
定値の積分が行なわれる。区間りではアナログスイッチ
９ａの接点３は接点ＩＫ接続され積分器８１の出力は、
区間Ｃにおける積分値が保持される。同時にトランジェ
ントレコーダ４によってＡ／Ｄ変換が行なわれる。区間
Ｅでは積分器８ｍがリセットされる。
点３は接点２に接続され、積分器８ａで為周波電力の測
定値の積分が行なわれる。区間りではアナログスイッチ
９ａの接点３は接点ＩＫ接続され積分器８１の出力は、
区間Ｃにおける積分値が保持される。同時にトランジェ
ントレコーダ４によってＡ／Ｄ変換が行なわれる。区間
Ｅでは積分器８ｍがリセットされる。
サンプル終了後はリセット信号ＲＴによ、９Ｒ−８７リ
ツプフロツプ１５の出力ＦＯは論ｍ ’ｏ’レベルとな
シ、Ｔａ２．Ｔ２Ｏも論理１０ルベルとなって積分器８
ｍがリセットされるとともに、その入力はグランド側に
短絡される。
ツプフロツプ１５の出力ＦＯは論ｍ ’ｏ’レベルとな
シ、Ｔａ２．Ｔ２Ｏも論理１０ルベルとなって積分器８
ｍがリセットされるとともに、その入力はグランド側に
短絡される。
以上説明したように本発明によれば、簡単な積分回路と
タイミング回路を追加することによシ、トランジェント
レコーダのす゛ンプル周期と無関係に高精度のモニタが
可能となシ、結果としてサンプル周期を長くとることに
よって使用するメモリ量を減少させることも可能である
。
タイミング回路を追加することによシ、トランジェント
レコーダのす゛ンプル周期と無関係に高精度のモニタが
可能となシ、結果としてサンプル周期を長くとることに
よって使用するメモリ量を減少させることも可能である
。
第１図は従来方式の装置の構成を示すプシツク１ｓＦｙ
Ｊ％＃２図は本発明の一実施例による装置の構成を示す
ブロック線図、第３図は館２図の動作を゛示すタイミン
グ図、第４図は本発明の他の実施例による装置の構成を
示すブロック線図、第５図は第４図の動作を示すタイミ
ング図である。 １・・・検波器、２・・・検波電圧増幅器、３・・・検
波特性補償器、４・・・トランジェントレコーダ、５・
・・メモリ、６・・・クロックパルスジェネレータ、７
・・・積分回路、８ｍ、８ｂ−・７ｔａダ積分器、９ｍ
、９ｂ、１０ｍ。 １０ｂ、１１・・・アナログスイッチ、１２・・・タイ
ミング回路、１３−Ｊ−にフリップ７０ツブ、１４ 、
１４ａ、１４ｂ・・・単パルス発生回路、１５・・・Ｒ
−８７リツプフシツプ、１６・・・ＯＲｆ ＆−）、１
７．１８・・・ＡＮＤゲート６（７３１７）代理人弁履
士 則 近 憲 佑（ほか１名）ｊｌｌｌＢｇ 第２図
Ｊ％＃２図は本発明の一実施例による装置の構成を示す
ブロック線図、第３図は館２図の動作を゛示すタイミン
グ図、第４図は本発明の他の実施例による装置の構成を
示すブロック線図、第５図は第４図の動作を示すタイミ
ング図である。 １・・・検波器、２・・・検波電圧増幅器、３・・・検
波特性補償器、４・・・トランジェントレコーダ、５・
・・メモリ、６・・・クロックパルスジェネレータ、７
・・・積分回路、８ｍ、８ｂ−・７ｔａダ積分器、９ｍ
、９ｂ、１０ｍ。 １０ｂ、１１・・・アナログスイッチ、１２・・・タイ
ミング回路、１３−Ｊ−にフリップ７０ツブ、１４ 、
１４ａ、１４ｂ・・・単パルス発生回路、１５・・・Ｒ
−８７リツプフシツプ、１６・・・ＯＲｆ ＆−）、１
７．１８・・・ＡＮＤゲート６（７３１７）代理人弁履
士 則 近 憲 佑（ほか１名）ｊｌｌｌＢｇ 第２図
Claims (1)
- 所定のサンプル周期でデータを計数するトランジェント
レコーダを用いてデータを収集する測定装置におｉて、
トランジェントレコーダの前段ニ上記サンプル周期に同
期してリセットされサンプル周期ごとにデータを積分す
る積分回路を備え、トランジェントレコーダが上記サン
プル周期ごとに上記積分回路の積分値を計数することを
特徴とする測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9819081A JPS581295A (ja) | 1981-06-26 | 1981-06-26 | 測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9819081A JPS581295A (ja) | 1981-06-26 | 1981-06-26 | 測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS581295A true JPS581295A (ja) | 1983-01-06 |
Family
ID=14213087
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9819081A Pending JPS581295A (ja) | 1981-06-26 | 1981-06-26 | 測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS581295A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0529377Y2 (ja) * | 1987-10-30 | 1993-07-28 |
-
1981
- 1981-06-26 JP JP9819081A patent/JPS581295A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0529377Y2 (ja) * | 1987-10-30 | 1993-07-28 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3983481A (en) | Digital intervalometer | |
| JP4055214B2 (ja) | ＣｄＴｅ放射検出器を有する、ガンマ粒子の相互作用から生じるパルスを処理するためのシステム | |
| US5578917A (en) | Repetitive digital sampling circuit using two delay lines for improved time accuracy | |
| US3718860A (en) | Real time digital energy meter | |
| JPS581295A (ja) | 測定装置 | |
| US3924183A (en) | Frequency measurement by coincidence detection with standard frequency | |
| JP2000121679A (ja) | 電子式電力量計のテスト方法及び電子式電力量計 | |
| WO1992021984A1 (en) | Apparatus for measuring average value of impulsive signal | |
| US4181949A (en) | Method of and apparatus for phase-sensitive detection | |
| US8255188B2 (en) | Fast low frequency jitter rejection methodology | |
| US4506212A (en) | Method and apparatus for testing integrated circuits using AC test input and comparison of resulting frequency spectrum outputs | |
| US4074190A (en) | Signal measuring apparatus | |
| Ibbett et al. | A digital recording system for Fourier transform spectrometry | |
| SU656018A1 (ru) | Устройство дл измерени длительности импульсов со случайным периодом следовани | |
| SU763809A2 (ru) | Цифровой измеритель коэффициента нелинейных искажений | |
| JPS5930068A (ja) | 高速スペクトラム分析占有周波数帯幅測定方式 | |
| JPS62144088A (ja) | 時間計測装置 | |
| JPS62148882A (ja) | 時間計測装置 | |
| SU838598A1 (ru) | Универсальный цифровой интегрирующийВОльТМЕТР | |
| JPH0455275B2 (ja) | ||
| SU604002A1 (ru) | Частотно-импульсное вычиттающее устройство | |
| SU1439676A1 (ru) | Устройство дл контрол магнитных дисков | |
| SU542168A1 (ru) | Измеритель интервалов времени | |
| SU705673A1 (ru) | Преобразователь напр жени в частоту | |
| SU1478130A1 (ru) | Устройство подавлени нестабильностей стробоскопического регистратора |