JPS58128406U - 斜光照明装置 - Google Patents

斜光照明装置

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Publication number
JPS58128406U
JPS58128406U JP2646982U JP2646982U JPS58128406U JP S58128406 U JPS58128406 U JP S58128406U JP 2646982 U JP2646982 U JP 2646982U JP 2646982 U JP2646982 U JP 2646982U JP S58128406 U JPS58128406 U JP S58128406U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
illumination
optical fiber
condensing lens
optical
light source
Prior art date
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Pending
Application number
JP2646982U
Other languages
English (en)
Inventor
坂田　敏男
Original Assignee
日本電気株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by 日本電気株式会社 filed Critical 日本電気株式会社
Priority to JP2646982U priority Critical patent/JPS58128406U/ja
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Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の１実施例を示す構成図、第２図は観察
する半導体チップ上のスクラッチマークを示す薗である
。 図において、１は半導体チップ、２は照明光源、３は集
光レンズ、４は光ファイバー、５は集光レンズ、６はア
パーチャ、７は集光レンズ部、８はリンク機構、９は観
察対物レンズ鏡筒、１０はベアリング、１１は対物レン
ズ、１２はスクラッチマーク、１３は観察光学系、１４
は集光レンズ部回転止めネジを示す。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 観察物体を照明する照明光源と照明光源を導（光ファイ
    バーと光ファイバーからの射出光を集束する集光レンズ
    部とから成る光フアイバー照明系と、この光フアイバー
    照明系の集光レンズ部を観察光学系対物レンズ光軸を回
    転中心として回転させる対物レンズ外周に設けた照明回
    転機構部と、この照明回転機構部に取り付けた前記光フ
    アイバー照明系の集光レンズ部の照明角度を調整する照
    明角度調整機構部とから成る斜光照明装置。
JP2646982U 1982-02-25 1982-02-25 斜光照明装置 Pending JPS58128406U (ja)

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JP2646982U JPS58128406U (ja) 1982-02-25 1982-02-25 斜光照明装置

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JP2646982U JPS58128406U (ja) 1982-02-25 1982-02-25 斜光照明装置

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Publication Number Publication Date
JPS58128406U true JPS58128406U (ja) 1983-08-31

Family

ID=30038427

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2646982U Pending JPS58128406U (ja) 1982-02-25 1982-02-25 斜光照明装置

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20180014453A (ko) * 2016-08-01 2018-02-09 박현철 led 조명장치 15도에서 75도 각도를 이용하여 나노단위를 볼 수 있는 고배율 고화질 광학현미경

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5241539A (en) * 1975-09-29 1977-03-31 Naitsu:Kk Illuminator for use in a slit microscope

Patent Citations (1)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5241539A (en) * 1975-09-29 1977-03-31 Naitsu:Kk Illuminator for use in a slit microscope

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KR20180014453A (ko) * 2016-08-01 2018-02-09 박현철 led 조명장치 15도에서 75도 각도를 이용하여 나노단위를 볼 수 있는 고배율 고화질 광학현미경

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