JPS58128406U - 斜光照明装置 - Google Patents
斜光照明装置Info
- Publication number
- JPS58128406U JPS58128406U JP2646982U JP2646982U JPS58128406U JP S58128406 U JPS58128406 U JP S58128406U JP 2646982 U JP2646982 U JP 2646982U JP 2646982 U JP2646982 U JP 2646982U JP S58128406 U JPS58128406 U JP S58128406U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- illumination
- optical fiber
- condensing lens
- optical
- light source
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は本考案の1実施例を示す構成図、第2図は観察
する半導体チップ上のスクラッチマークを示す薗である
。 図において、1は半導体チップ、2は照明光源、3は集
光レンズ、4は光ファイバー、5は集光レンズ、6はア
パーチャ、7は集光レンズ部、8はリンク機構、9は観
察対物レンズ鏡筒、10はベアリング、11は対物レン
ズ、12はスクラッチマーク、13は観察光学系、14
は集光レンズ部回転止めネジを示す。
する半導体チップ上のスクラッチマークを示す薗である
。 図において、1は半導体チップ、2は照明光源、3は集
光レンズ、4は光ファイバー、5は集光レンズ、6はア
パーチャ、7は集光レンズ部、8はリンク機構、9は観
察対物レンズ鏡筒、10はベアリング、11は対物レン
ズ、12はスクラッチマーク、13は観察光学系、14
は集光レンズ部回転止めネジを示す。
Claims (1)
- 観察物体を照明する照明光源と照明光源を導(光ファイ
バーと光ファイバーからの射出光を集束する集光レンズ
部とから成る光フアイバー照明系と、この光フアイバー
照明系の集光レンズ部を観察光学系対物レンズ光軸を回
転中心として回転させる対物レンズ外周に設けた照明回
転機構部と、この照明回転機構部に取り付けた前記光フ
アイバー照明系の集光レンズ部の照明角度を調整する照
明角度調整機構部とから成る斜光照明装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2646982U JPS58128406U (ja) | 1982-02-25 | 1982-02-25 | 斜光照明装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2646982U JPS58128406U (ja) | 1982-02-25 | 1982-02-25 | 斜光照明装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS58128406U true JPS58128406U (ja) | 1983-08-31 |
Family
ID=30038427
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2646982U Pending JPS58128406U (ja) | 1982-02-25 | 1982-02-25 | 斜光照明装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS58128406U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20180014453A (ko) * | 2016-08-01 | 2018-02-09 | 박현철 | led 조명장치 15도에서 75도 각도를 이용하여 나노단위를 볼 수 있는 고배율 고화질 광학현미경 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5241539A (en) * | 1975-09-29 | 1977-03-31 | Naitsu:Kk | Illuminator for use in a slit microscope |
-
1982
- 1982-02-25 JP JP2646982U patent/JPS58128406U/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5241539A (en) * | 1975-09-29 | 1977-03-31 | Naitsu:Kk | Illuminator for use in a slit microscope |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20180014453A (ko) * | 2016-08-01 | 2018-02-09 | 박현철 | led 조명장치 15도에서 75도 각도를 이용하여 나노단위를 볼 수 있는 고배율 고화질 광학현미경 |
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