JPS58114769U - プロ−ブカ−ド - Google Patents
プロ−ブカ−ドInfo
- Publication number
- JPS58114769U JPS58114769U JP1239582U JP1239582U JPS58114769U JP S58114769 U JPS58114769 U JP S58114769U JP 1239582 U JP1239582 U JP 1239582U JP 1239582 U JP1239582 U JP 1239582U JP S58114769 U JPS58114769 U JP S58114769U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe card
- probe
- back surface
- shielding means
- card according
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図はブレード形ブローブカ―ド及びエポキ −シ
形プローブカードの代表的な例の概略断面図、第2図は
本案品の一実施例の概略断面図、第3図は下面に金−箔
の形成されたフレキシブル絶縁基板を用いた本案品の一
実施例を示す概略部分断面図である。 10・・・プローブカード本体、13・・・探針、15
・・・探針接続端子、18.22・・・金属箔、19・
・・絶縁基板、23・・・フレキシブル絶縁基板。
形プローブカードの代表的な例の概略断面図、第2図は
本案品の一実施例の概略断面図、第3図は下面に金−箔
の形成されたフレキシブル絶縁基板を用いた本案品の一
実施例を示す概略部分断面図である。 10・・・プローブカード本体、13・・・探針、15
・・・探針接続端子、18.22・・・金属箔、19・
・・絶縁基板、23・・・フレキシブル絶縁基板。
Claims (3)
- (1)エポキシ形プローブカードにおいて、プローブカ
ード本体の裏面に探針接続端子を覆うよ・う−に形成さ
れたシールド手段を具備することを特徴とするプローブ
カード。 - (2)前記シールド手段は、下面に金属箔が形成された
絶縁基板であることを特徴とする実用新案登録請求の範
囲第1項記載のプローブカード。 - (3)前記シールド手段は、プローブカード本体の裏面
と若干の面隙を隔てて形成される金属板であることを特
徴とする実用新案登録請求の範囲第1項記載のプローブ
カード。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1239582U JPS58114769U (ja) | 1982-01-30 | 1982-01-30 | プロ−ブカ−ド |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1239582U JPS58114769U (ja) | 1982-01-30 | 1982-01-30 | プロ−ブカ−ド |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS58114769U true JPS58114769U (ja) | 1983-08-05 |
Family
ID=30024968
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1239582U Pending JPS58114769U (ja) | 1982-01-30 | 1982-01-30 | プロ−ブカ−ド |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS58114769U (ja) |
-
1982
- 1982-01-30 JP JP1239582U patent/JPS58114769U/ja active Pending
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