JPS58113728A - モノクロメ−タ用可調整スリツト装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 発明の分野 本発明はモノクロメータ用可調整スリット装置に関する
ものであり、特に共通の円に沿って配置された第１及び
第８可変幅スリットを構成するスリット構成部材と、該
スリット構成部材を支持する支持部材とを具え、該スリ
ット構ｔｉ、部材と支持部材を前記円の中心に位置する
軸を中心に一緒に回転可能にして前記第１及び第３可変
幅スリッシの一対の選択した幅部分をモノクロメータの
入射位置及び出射位置に位置させることができるように
した種類の可調整スリット装・雪に関するものである。

従来技術の説明 上述した種−のスリット装置は英Ｉ３１特許第１１１８
９６９号明細書により既知であり、ここ数年の間に可視
紫外域４光光度計や原子吸光光度針用のモノクロメータ
に商業ベースで多いに使用されてきている。この既知の
慣用スリット装置においては、各可臂−スリッジは１１
Ｉｉの各別のスリットから成り、このような２組のスリ
ットなもって複数対のスリットを構成し、６対のスリッ
トは他対のスリットと興なる幅を有し、６対が前記第１
及び第２　ｐｌ髪幌スリットの選択し得るスリット部を
卿成し、各スリットはその長さ方向が前記円の半径方向
と交差するよう配置されている。更に、このスリット装
置においてはスリット構成部材は前記共通円の全周に沿
って複数対のスリットを設けた円板状の一枚の金属板で
構成している。

発明の概要 本発明は上述したＷＩ類のスリット装置のコストを低減
することにある。

この目的のために、本発明は上述した種類の七ツク釘メ
ータ用可調整スリット装置において、前記スリット構成
部材はＳ僧め別個の略々同一のスリット板で形成し、各
スリット板は前記円の円弧に沿って配置された前側可変
幅スリットを有するものとし、前記可１幅スリットが配
置される円弧の長さは前記可変幅スリットの選択し得る
スリブ）部の数と所定エネルギーの光ビームなモノクロ
メータに通すのに必要な各スリット部の最小長さとから
決まる略々最小の長さとし、各スリット徐の形状は扇形
とし、この扇形の半径及び円弧は前記可変幅スリット及
びスリットが配電される前記円の中心の回転軸Ｐ収容す
るのに必要な＠に最小の寸法にしたことを特徴とする。

本発明は、スリット板の製造に使用し得るバッチ製造処
理においてはスリット装置のコストは各スリット装置に
使用する材料板の面積及び所要公差以内に製造されたス
リットを有するスリット徐の歩どまりに大きく依存する
という認識に基づいて為したものである。

実施例の説明 以下図面につき本発明の実施例を詳細に説明する。

第ｉｖ！Ｊは本発明可調整スリブ・）＊ＩＦの一例を含
む慣例のエバート配置のモノクロメータを示す＠光ビー
ムはモノクロメータの入射位置にあるスリブ）Ｉｌｉ＆
：ｓ＊され、ここからコリノー１ラーＯＭに発散する。

コリメータミラー〇Ｍからの平行光ビ、−ムは回折格子
ＤＧで分散されコリメータミラーＣＭに戻り、そこから
モノクロメータの出射位置にあるスリット鵞Ｘに集束さ
れる・スリットｘ・Ｎ及びＥＸは支持部材ＳＭにより支
持されたスリット構成部材Ｐに設けられたｖＩ数対のス
リットの選択された一対であり、６対のスリットは地対
のスリットと興なる幅を有する。スリ７）Ｉｌ！部材Ｐ
及び支持部材８Ｍは軸ＳＨにより軸線ムを中心に一緒に
１０１転可能になっていてこれらスリット対から任意の
一対を選択してモノクロメータの入射位置及び出射位置
に位置させることができるようになっている。

第Ｓ図は第１図に示すスリット装置の正面図を示す。本
例スリット装置は６対のスリットを有し、こわらスリッ
ト対は最大幅の第１スリツト対ＥＮ。

及びＩＥＸ、と、順次率さい幅を有する第２〜第ｂスリ
ット対ＫＮ、　、　ＩＩ、　ｉ　−−−ｉ　ＩＮ、　、
　ＸＸ６トカラ成る。これらのスリットは全て軸１１Ａ
Ｉ中心とする共通の円に沿って、各スリットの長さ方向
が円の半径と交差するよう配置Ｔる。第１図のスリット
構成部材Ｐは３枚の同一のスリ７）＆Ｐ　１及びＰ３で
形成し、第１図の支持部材ＳＮは輪線ム上の軸ＳＨに支
承された円板とする。各スリ７）ｌＰｌ、Ｐ雪は、軸Ｓ
Ｈを各板の第１孔（Ｈｌｌ。

Ｈｊｌｌ、第８図参照）に嵌合すると共に円板ＳＭのベ
グＧ１及びＧ１を各板のＩ！８孔Ｈ１ｌ及びＨｉｌｌに
それぞれ嵌合することにより、他方のスリット板及び軸
線ムに対し所定の位置に位置させる。板Ｐ１及びＰ２は
、孔Ｈ１ｌ及びＨｌ　１）軸ＳＨ上に締り嵌めすると共
にこれら板と円板ＳＭとを接着することにより亥持円軟
８Ｍ＆：ＷＡ着する。

スリット板相互の位置合せ方法は他の方法、例えば接着
固定する前に治具で位置決めすることにより、或は各板
を位置決め部材としても作用するねじで固定することに
より、或は各板の各側に１個づつ２伊のペグな設けるこ
とにより達成することもできる。

３個のスリット板ＰＩ　、Ｐｌは軸ＳＨの部分でオーバ
ラップする。これら板がこれら板にスリットが配電され
る円の半径と比較して極めて薄い場合には斯るオーバラ
ップがスリット装置のスリットの半径に及ぼす影響は極
めて小さい。この小さな影響はこれら板のオーバラップ
部分を薄くして重ね合わせて全てのスリットが共平面内
に位置するようにすることによって除去することができ
、この場合にも８個のスリット板は略屑同−にすること
ができる。

各＠Ｐ１．Ｐ２のスリットは上述した円の円弧に沿って
Ｉｒｌ１ｌされた１組のスリットを構成する。

各組のスリットにおいて円弧はその部内のスリットの数
と、所定エネルギーの光ビームをモノクロメータに通す
ために必要とされる各スリットの最小長さとから決まる
略ｋｌｋ小の長さとする。可視紫外分光光度針のモノク
ロメータ用の例では各組の６Ｉｌのスリットは３．１８
±０．０１調の最大幅から０．０１６±０．００４簡の
最小ｌ１ｌｔでの６段階の幅を有する。本例ではスリッ
トが配置される円の半径は８５±０．１■とじ、各スリ
ットの円弧長は１ｓ、６°±０．１°の中心角に対する
スリットに基づく公称１．６４ｍ１ｍとし、これらスリ
ットは公称１ム０のピッチで配列する。これらスリット
の対称についての公差、即ち板ＰＩ　、Ｐｌを円＆ＳＭ
上に配置し固着したときの上述した円の所定の半径に対
する各スリットの長さの中点の公差は±０．０１ｍとす
る。各板Ｐ１．Ｐ１の形状は扇形とし、その半径及び円
弧は上述の一組のスリットと軸線ムにある中心孔を収容
するのに必要な略に最小の大きさとする。可視紫外分光
光度針のモノクロメータ用の上述の例においては、板Ｐ
Ｉ　、Ｐｊｌを構成するこの扇形の半径はＢＯ閣とし、
その円弧は９０’の中心角に対するものとする。即ちこ
の扇形の大きさはその半径の円の四分の−とする。

原子吸光光廖計のモノクロメータ用の他の例においては
、各板ＰＩ　、Ｐｌに各＾長さが８閤の４僻のスリット
の組を形成する。本例でもこれらスリットが１置される
円の半径はｓ６■とし、歇Ｐ１．Ｐ１を構成する扇形の
半径はｉｏ■とする。

本例では、各＠ｐ１．ｐｓ管構成する１１８の円弧は６
０°の中心角に対するものとし、即ちこの扇形の大きさ
はその半径の円の大分の−とする。これらの光麿計に実
際に使用される各組のスリットの最少数は８個であり、
各Ｑ［Ｐｌ、Ｐｌの扇形の大きさは上記内の約へ分の−
にすることもできる。

あ°る神の分光分析においては、一方又は他方のスリブ
）飯の一つ以上のスリツシ位蓋にフィルタ）取付けるこ
とが有用である。例えは赤色フィルタな一方のスリット
板の一つのスリットに取付けて二次波長光がモノクロメ
ータから出射して検出器に入射Ｔることがないようにす
ることができる。

この場合にもＩＩ！ｌｌのスリット板は略★同一にする
ことができる。

＃８図について説明すると、第８図にはＩＩＩのスリー
ｚ）＠ＰＩ、Ｐ！が形成される金＠＠ＭＰ（ｎ一部が示
しである。上述した例の場合には、金属板ＭＰは０．１
−の厚さのニッケル板とし、−組のスリットと２＃Ｉの
孔な有する扇：形から成る各スリット４１ＦＰ１．Ｐｉ
は一回のエツチング処理により形成される。こわらスリ
ット＠ＰＩ、Ｐｉの対は、同一の円上に同数のスリット
対を有する完全に円形の従来のスリット円板と比較して
、所定の大きさの金属板ＭＰから少くとも１倍多く一回
の処理で形成することができる。更に、一つのスリット
が所要の製造公差に満足に形成されなかった場合には、
−組のスリット、即ち１個の扇形スリット板の一方のみ
な廃棄するだけでよいが、従来のように８組のスリット
【一つの完全な円板に形成する場合には１組のスリット
とも廃棄しなければならない。従って、本発明スリット
装置は必要とする金属板ＭＰの面積が小さくなると共に
歩どまりも向上するので、スリット装置の製造コストを
相当低減することができる。

各スリット装置に略に同一の最小寸法の３僻のスリウド
析を使用することにより得られるコスシ低減の利点は、
スリット板を金属板にスリットを形成する孔を設けるこ
とにより作製する代りに、ｍ−膜付き透明材料板、例え
ばアルミニウム被膜付きシリカ板の被膜にスリットな形
成する孔を設けることにより作製する場合にも得られる
。

絶１〜１図の実施例ではスリット装置は１組の各別のス
リットを具えるものとした。各組のスリットは選択した
ＳＳ分をモノクロメータの入射位冒又は出射位置に位置
させることができる可変幅スリットとみなすことができ
、各可愛幅スリット円板その幌か連続的に変化する、又
は段階的に変化する一つの連続スリットとすることもで
きる。

【図面の簡単な説明】

＃１図は本発明可調整スリブ・、ト装置の一例を含むモ
ノクロメータの平面図、 第３図は第１図のスリット装置の正面図、第８１ｉｆｌ
は第３図のスリット装置の３債のスリット徐が形成され
る金属板の一部を示す平面図である。 Ｐ・・・スリット構成部材　８Ｍ・・・支持部材ム・・
・軸＠　　　　　　　　８Ｈ・・・軸ＯＮ・・・コリメ
ータミラー ＤＧ・・・回折格子 冨Ｎ１〜鵞Ｍ６・・・ＩＩＥ　ｉ　可１１１１＋スリッ
トＩＣＸＩ〜Ｋ］［６・・・第３可餐幅スリットＰｌ、
Ｐｊ−−−スリットｌｌ　　Ｈｌｌ、Ｈｌｌ−・・軸孔
Ｈ１ｌ、　Ｈｌｌ−−−ペグ孔　　　Ｇｌ、Ｇｌ−ペグ
。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 Ｌ　共通の円に沿って配置された第１及び第２ｇ１髪幅
   スリットを構成するスリット構成部材と、該スリット１
   Ｉｌ構成部材な支持する支持部材とｆ−Ｘえ、該スリッ
   ト構成部材と支持部材をｗｒＪ＆′！円の中心に位置す
   る軸を中心に一緒に回転ｉＪ＃にして、前記第１及び第
   ２可変幅スリ’／　）の所要のＳ＋部分を選択してモノ
   クロメータの入射位置及び出射位置に位Ｎ７５せること
   かできるよう構成されたモノクロメータ用可調整スリッ
   ト装置において、前記スリット構成部材は２個の別個の
   略々同一のスリット板で形威し、各スリット＆は前記円
   の円弧に沿って１置された前記可変幅スリットを有する
   ものとし、前記可変幅スリットが配置される円弧の長さ
   呻前記可焚幅スリットの選択し得ルスリット部の数と所
   定エネルギーの光ビームをモノクロメータに通すのに必
   要な各スリット部の最小長さとから決まる略々最小の長
   さとし、各スリット板の形状は扇形とし、この扇形の半
   径及び円弧は前記可変幅スリット及びスリットが配置さ
   れる前記円の中心の回転軸を収容するのに必要な略々最
   小の寸法にしたことを特徴とするモノクシメータ用可調
   整スリット装置。 亀　特許請求の範囲第１項記載の装置において、各可変
   幅スリットは一組の各別のスリットから成り、これら二
   組のスリットで豪数対のスリットを構成し、各対のスリ
   ットは他対のスリットと異なる幅にして、前記選択し得
   るスリット部を構成し、各スリットはその長さ方向が前
   記スリット配置円の半径と交差するよう配電したことを
   特徴とするモノクロメータ用可調整スリット装置。 龜　特許請求の範囲第１項記載の装置において、前記各
   組のスリットのＷｋは８〜６＠とし、前記扇形の大きさ
   はへ分円〜四分円としたことを特徴とマるモノクロメー
   タ用可調整スリット装置。 森　特許請求の範囲第１．ｍ又は８項記載の装置におい
   て、前記支持部材は前記回転軸に支承した支持板とし、
   各スリット板はＭ転軸を当該スリット板の孔に嵌合する
   ことにょｒ＋ａ転軸に対し所定位置に位置させたことを
   特徴とするモノクロメータ用可調整スリット装置。 瓢　特許請求の範囲第４項記載の装置において、各スリ
   ット板は前記支持板上の鴛ベダを当該スリット板の第２
   の孔に嵌合することにより他方のスリット板に対し整列
   させたことを特徴とするモノクロメータ用可調整スリッ
   ド装置。 １　特許請求の範囲第１−１項の何れか一項に記駿の装
   置において、各スリット板は全体の形が−Ｍのエツチン
   グ処理で形成された金属板としたことを特徴とするモノ
   クロメータ用可調整スリット装置。