JPS58107158U - 洗浄用ノズル - Google Patents

洗浄用ノズル

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JPS58107158U
JPS58107158U JP91882U JP91882U JPS58107158U JP S58107158 U JPS58107158 U JP S58107158U JP 91882 U JP91882 U JP 91882U JP 91882 U JP91882 U JP 91882U JP S58107158 U JPS58107158 U JP S58107158U
Authority
JP
Japan
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nozzle
cleaning nozzle
joining member
small
periphery
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JP91882U
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JPS6242771Y2 (ja
Inventor
犬塚　道行
松田　守人
隆 大浦
江口　和宣
加藤　恒雄
Original Assignee
鬼頭工業株式会社
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
、第１図は本考案ノズルの一実施例を示す縦断面図、第
２図は第１図で示した流体拡散用部材の側叫図、第３図
は第１図で示した接合用部材の底面図、第４図は本考案
ノズルの使用状態を示す縦断面図である。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 高圧流体を噴出するノズル本体と、該ノズル本、　　体
    に形成された噴出孔と同方向に向は複数の小ノズル孔を
    周部に穿設したノズル接合用部材と、前記ノズル接合用
    部材に中央上部が装着されかつ前記小ノズル孔を臨んで
    上方から下方にかけて滑らかに拡開する湾曲部を有する
    略円錐台状の流体拡散用部材と、 からなる洗浄用ノズル。
JP91882U 1982-01-08 1982-01-08 洗浄用ノズル Granted JPS58107158U (ja)

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JP91882U JPS58107158U (ja) 1982-01-08 1982-01-08 洗浄用ノズル

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JP91882U JPS58107158U (ja) 1982-01-08 1982-01-08 洗浄用ノズル

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Publication Number Publication Date
JPS58107158U true JPS58107158U (ja) 1983-07-21
JPS6242771Y2 JPS6242771Y2 (ja) 1987-11-02

Family

ID=30013967

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2003020430A1 (fr) * 2001-08-28 2003-03-13 Tokyo Gas Company Limited Ajutage et procede de jet de fluide sur une surface peripherique interieure d'un conduit par le biais d'un ajutage

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JP4652040B2 (ja) * 2004-12-10 2011-03-16 ルネサスエレクトロニクス株式会社 流体吐出ノズルおよびこれを用いた基板処理装置

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JPS55147854U (ja) * 1979-04-11 1980-10-24

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Publication number Publication date
JPS6242771Y2 (ja) 1987-11-02

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