JPS5666749U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS5666749U JPS5666749U JP14771279U JP14771279U JPS5666749U JP S5666749 U JPS5666749 U JP S5666749U JP 14771279 U JP14771279 U JP 14771279U JP 14771279 U JP14771279 U JP 14771279U JP S5666749 U JPS5666749 U JP S5666749U
- Authority
- JP
- Japan
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14771279U JPS611312Y2 (https=) | 1979-10-26 | 1979-10-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14771279U JPS611312Y2 (https=) | 1979-10-26 | 1979-10-26 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5666749U true JPS5666749U (https=) | 1981-06-03 |
| JPS611312Y2 JPS611312Y2 (https=) | 1986-01-17 |
Family
ID=29378850
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14771279U Expired JPS611312Y2 (https=) | 1979-10-26 | 1979-10-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS611312Y2 (https=) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6054764A (ja) * | 1983-09-06 | 1985-03-29 | Chugai Ro Kogyo Kaisha Ltd | 塗料焼付装置 |
| KR20230042114A (ko) | 2021-09-09 | 2023-03-27 | 엔지케이 인슐레이터 엘티디 | 웨이퍼 배치대 |
| KR20230051055A (ko) | 2021-10-08 | 2023-04-17 | 엔지케이 인슐레이터 엘티디 | 웨이퍼 배치대 |
| KR20230053499A (ko) | 2021-10-14 | 2023-04-21 | 엔지케이 인슐레이터 엘티디 | 웨이퍼 배치대 |
| KR20230055957A (ko) | 2021-10-19 | 2023-04-26 | 엔지케이 인슐레이터 엘티디 | 웨이퍼 배치대 |
| KR20230068281A (ko) | 2021-11-10 | 2023-05-17 | 엔지케이 인슐레이터 엘티디 | 웨이퍼 배치대 |
| KR20230068283A (ko) | 2021-11-10 | 2023-05-17 | 엔지케이 인슐레이터 엘티디 | 웨이퍼 배치대 |
| KR20230115867A (ko) | 2022-01-27 | 2023-08-03 | 엔지케이 인슐레이터 엘티디 | 웨이퍼 배치대 및 그것을 이용한 반도체 제조 장치용 부재 |
-
1979
- 1979-10-26 JP JP14771279U patent/JPS611312Y2/ja not_active Expired
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6054764A (ja) * | 1983-09-06 | 1985-03-29 | Chugai Ro Kogyo Kaisha Ltd | 塗料焼付装置 |
| KR20230042114A (ko) | 2021-09-09 | 2023-03-27 | 엔지케이 인슐레이터 엘티디 | 웨이퍼 배치대 |
| KR20230051055A (ko) | 2021-10-08 | 2023-04-17 | 엔지케이 인슐레이터 엘티디 | 웨이퍼 배치대 |
| KR20230053499A (ko) | 2021-10-14 | 2023-04-21 | 엔지케이 인슐레이터 엘티디 | 웨이퍼 배치대 |
| KR20230055957A (ko) | 2021-10-19 | 2023-04-26 | 엔지케이 인슐레이터 엘티디 | 웨이퍼 배치대 |
| KR20230068281A (ko) | 2021-11-10 | 2023-05-17 | 엔지케이 인슐레이터 엘티디 | 웨이퍼 배치대 |
| KR20230068283A (ko) | 2021-11-10 | 2023-05-17 | 엔지케이 인슐레이터 엘티디 | 웨이퍼 배치대 |
| KR20230115867A (ko) | 2022-01-27 | 2023-08-03 | 엔지케이 인슐레이터 엘티디 | 웨이퍼 배치대 및 그것을 이용한 반도체 제조 장치용 부재 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS611312Y2 (https=) | 1986-01-17 |