JPS56101190U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS56101190U JPS56101190U JP18487379U JP18487379U JPS56101190U JP S56101190 U JPS56101190 U JP S56101190U JP 18487379 U JP18487379 U JP 18487379U JP 18487379 U JP18487379 U JP 18487379U JP S56101190 U JPS56101190 U JP S56101190U
- Authority
- JP
- Japan
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
- Linear Motors (AREA)
- Railway Tracks (AREA)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18487379U JPS56101190U (de) | 1979-12-29 | 1979-12-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18487379U JPS56101190U (de) | 1979-12-29 | 1979-12-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS56101190U true JPS56101190U (de) | 1981-08-08 |
Family
ID=29695081
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18487379U Pending JPS56101190U (de) | 1979-12-29 | 1979-12-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS56101190U (de) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009038917A (ja) * | 2007-08-02 | 2009-02-19 | Hitachi Metals Ltd | リニアステージ |
| JP2009296762A (ja) * | 2008-06-04 | 2009-12-17 | Hitachi High-Tech Instruments Co Ltd | 駆動ステージ及びそれを用いたチップマウンタ |
| JP2010539878A (ja) * | 2007-09-20 | 2010-12-16 | フェスト アーゲー ウント コー カーゲー | 駆動キャリッジを線状にガイドするための２つのガイドレールを有する固定子を備える、ダイレクト駆動のリニア電磁駆動装置 |
| JP2011055704A (ja) * | 2010-12-01 | 2011-03-17 | Hitachi High-Tech Instruments Co Ltd | 駆動ステージ |
-
1979
- 1979-12-29 JP JP18487379U patent/JPS56101190U/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009038917A (ja) * | 2007-08-02 | 2009-02-19 | Hitachi Metals Ltd | リニアステージ |
| JP2010539878A (ja) * | 2007-09-20 | 2010-12-16 | フェスト アーゲー ウント コー カーゲー | 駆動キャリッジを線状にガイドするための２つのガイドレールを有する固定子を備える、ダイレクト駆動のリニア電磁駆動装置 |
| JP2009296762A (ja) * | 2008-06-04 | 2009-12-17 | Hitachi High-Tech Instruments Co Ltd | 駆動ステージ及びそれを用いたチップマウンタ |
| JP4643685B2 (ja) * | 2008-06-04 | 2011-03-02 | 株式会社日立ハイテクインスツルメンツ | 駆動ステージ及びそれを用いたチップマウンタ |
| KR101116928B1 (ko) * | 2008-06-04 | 2012-03-12 | 가부시끼가이샤 히다찌 하이테크 인스트루먼츠 | 구동 스테이지 및 그것을 사용한 칩 마운터 |
| JP2011055704A (ja) * | 2010-12-01 | 2011-03-17 | Hitachi High-Tech Instruments Co Ltd | 駆動ステージ |