JPS53163352U - - Google Patents

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JPS53163352U
JPS53163352U JP7088277U JP7088277U JPS53163352U JP S53163352 U JPS53163352 U JP S53163352U JP 7088277 U JP7088277 U JP 7088277U JP 7088277 U JP7088277 U JP 7088277U JP S53163352 U JPS53163352 U JP S53163352U
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JP
Japan
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JPS53163352U true JPS53163352U (enrdf_load_html_response) 1978-12-21

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ID=28981108

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6071485U (ja) * 1983-10-18 1985-05-20 ダイハツ工業株式会社 抵抗溶接機
JP2012506489A (ja) * 2008-10-24 2012-03-15 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド 回転可能なスパッタターゲットベース、回転可能なスパッタターゲット、コーティング装置、回転可能なスパッタターゲットを作成する方法、ターゲットベース接続手段、及びスパッタリング装置のための回転可能なターゲットベース装置をターゲットベースに接続する方法
JP2013533373A (ja) * 2010-04-01 2013-08-22 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド エンドブロックおよびスパッタリング装置
JP2017002348A (ja) * 2015-06-08 2017-01-05 株式会社アルバック スパッタリング装置用の回転式カソードユニット

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2012506489A (ja) * 2008-10-24 2012-03-15 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド 回転可能なスパッタターゲットベース、回転可能なスパッタターゲット、コーティング装置、回転可能なスパッタターゲットを作成する方法、ターゲットベース接続手段、及びスパッタリング装置のための回転可能なターゲットベース装置をターゲットベースに接続する方法
JP2013533373A (ja) * 2010-04-01 2013-08-22 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド エンドブロックおよびスパッタリング装置
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