JPS53163352U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS53163352U JPS53163352U JP7088277U JP7088277U JPS53163352U JP S53163352 U JPS53163352 U JP S53163352U JP 7088277 U JP7088277 U JP 7088277U JP 7088277 U JP7088277 U JP 7088277U JP S53163352 U JPS53163352 U JP S53163352U
- Authority
- JP
- Japan
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7088277U JPS53163352U (OSRAM) | 1977-05-31 | 1977-05-31 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7088277U JPS53163352U (OSRAM) | 1977-05-31 | 1977-05-31 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS53163352U true JPS53163352U (OSRAM) | 1978-12-21 |
Family
ID=28981108
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7088277U Pending JPS53163352U (OSRAM) | 1977-05-31 | 1977-05-31 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS53163352U (OSRAM) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6071485U (ja) * | 1983-10-18 | 1985-05-20 | ダイハツ工業株式会社 | 抵抗溶接機 |
| JP2012506489A (ja) * | 2008-10-24 | 2012-03-15 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 回転可能なスパッタターゲットベース、回転可能なスパッタターゲット、コーティング装置、回転可能なスパッタターゲットを作成する方法、ターゲットベース接続手段、及びスパッタリング装置のための回転可能なターゲットベース装置をターゲットベースに接続する方法 |
| JP2013533373A (ja) * | 2010-04-01 | 2013-08-22 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | エンドブロックおよびスパッタリング装置 |
| JP2017002348A (ja) * | 2015-06-08 | 2017-01-05 | 株式会社アルバック | スパッタリング装置用の回転式カソードユニット |
-
1977
- 1977-05-31 JP JP7088277U patent/JPS53163352U/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6071485U (ja) * | 1983-10-18 | 1985-05-20 | ダイハツ工業株式会社 | 抵抗溶接機 |
| JP2012506489A (ja) * | 2008-10-24 | 2012-03-15 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 回転可能なスパッタターゲットベース、回転可能なスパッタターゲット、コーティング装置、回転可能なスパッタターゲットを作成する方法、ターゲットベース接続手段、及びスパッタリング装置のための回転可能なターゲットベース装置をターゲットベースに接続する方法 |
| JP2013533373A (ja) * | 2010-04-01 | 2013-08-22 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | エンドブロックおよびスパッタリング装置 |
| JP2017002348A (ja) * | 2015-06-08 | 2017-01-05 | 株式会社アルバック | スパッタリング装置用の回転式カソードユニット |