JPS50129044A - - Google Patents
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- Publication number
- JPS50129044A JPS50129044A JP49036140A JP3614074A JPS50129044A JP S50129044 A JPS50129044 A JP S50129044A JP 49036140 A JP49036140 A JP 49036140A JP 3614074 A JP3614074 A JP 3614074A JP S50129044 A JPS50129044 A JP S50129044A
- Authority
- JP
- Japan
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- Granted
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Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP49036140A JPS6044601B2 (ja) | 1974-03-29 | 1974-03-29 | 位置合わせ方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP49036140A JPS6044601B2 (ja) | 1974-03-29 | 1974-03-29 | 位置合わせ方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS50129044A true JPS50129044A (sv) | 1975-10-11 |
| JPS6044601B2 JPS6044601B2 (ja) | 1985-10-04 |
Family
ID=12461468
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP49036140A Expired JPS6044601B2 (ja) | 1974-03-29 | 1974-03-29 | 位置合わせ方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6044601B2 (sv) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS551107A (en) * | 1978-06-16 | 1980-01-07 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Exposure device |
| JP2007521516A (ja) * | 2003-12-23 | 2007-08-02 | パック テック−パッケージング テクノロジーズ ゲーエムベーハー | 相互に離れて配置されたオブジェクトを観察するためのカメラデバイスを有する光学システム |
-
1974
- 1974-03-29 JP JP49036140A patent/JPS6044601B2/ja not_active Expired
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS551107A (en) * | 1978-06-16 | 1980-01-07 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Exposure device |
| JP2007521516A (ja) * | 2003-12-23 | 2007-08-02 | パック テック−パッケージング テクノロジーズ ゲーエムベーハー | 相互に離れて配置されたオブジェクトを観察するためのカメラデバイスを有する光学システム |
| JP4791973B2 (ja) * | 2003-12-23 | 2011-10-12 | パック テック−パッケージング テクノロジーズ ゲーエムベーハー | 相互に離れて配置されたオブジェクトを観察するためのカメラデバイスを有する光学システム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6044601B2 (ja) | 1985-10-04 |