JPS4994077A - - Google Patents
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- Publication number
- JPS4994077A JPS4994077A JP596773A JP596773A JPS4994077A JP S4994077 A JPS4994077 A JP S4994077A JP 596773 A JP596773 A JP 596773A JP 596773 A JP596773 A JP 596773A JP S4994077 A JPS4994077 A JP S4994077A
- Authority
- JP
- Japan
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Delivering By Means Of Belts And Rollers (AREA)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP596773A JPS4994077A (ja) | 1973-01-12 | 1973-01-12 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP596773A JPS4994077A (ja) | 1973-01-12 | 1973-01-12 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS4994077A true JPS4994077A (ja) | 1974-09-06 |
Family
ID=11625630
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP596773A Pending JPS4994077A (ja) | 1973-01-12 | 1973-01-12 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS4994077A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58157670A (ja) * | 1982-03-12 | 1983-09-19 | Fuji Xerox Co Ltd | 複写機の排紙装置 |
| JPS6186311A (ja) * | 1984-07-04 | 1986-05-01 | Hitachi Ltd | 半導体ウェハ移送装置 |
| JPS61501603A (ja) * | 1984-03-01 | 1986-07-31 | ボック、エドワ−ド | 基板の真空処理の改良された装置 |
| JPS61502363A (ja) * | 1984-06-04 | 1986-10-16 | ボック、エドワ−ド | 二重浮遊状態のウエハ−輸送および処理におけるトンネル入口と出口のガス状ロック |
| JPS61502364A (ja) * | 1984-06-04 | 1986-10-16 | ボック、エドワ−ド | 改良された二重浮遊ウエハ−輸送および処理装置 |
-
1973
- 1973-01-12 JP JP596773A patent/JPS4994077A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58157670A (ja) * | 1982-03-12 | 1983-09-19 | Fuji Xerox Co Ltd | 複写機の排紙装置 |
| JPS64300B2 (ja) * | 1982-03-12 | 1989-01-06 | Fuji Xerox Co Ltd | |
| JPS61501603A (ja) * | 1984-03-01 | 1986-07-31 | ボック、エドワ−ド | 基板の真空処理の改良された装置 |
| JPS61502363A (ja) * | 1984-06-04 | 1986-10-16 | ボック、エドワ−ド | 二重浮遊状態のウエハ−輸送および処理におけるトンネル入口と出口のガス状ロック |
| JPS61502364A (ja) * | 1984-06-04 | 1986-10-16 | ボック、エドワ−ド | 改良された二重浮遊ウエハ−輸送および処理装置 |
| JPS6186311A (ja) * | 1984-07-04 | 1986-05-01 | Hitachi Ltd | 半導体ウェハ移送装置 |
| JPH0130732B2 (ja) * | 1984-07-04 | 1989-06-21 | Hitachi Ltd |