JPS496463B1 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS496463B1 JPS496463B1 JP4413170A JP4413170A JPS496463B1 JP S496463 B1 JPS496463 B1 JP S496463B1 JP 4413170 A JP4413170 A JP 4413170A JP 4413170 A JP4413170 A JP 4413170A JP S496463 B1 JPS496463 B1 JP S496463B1
- Authority
- JP
- Japan
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Silicon Compounds (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4413170A JPS496463B1 (ko) | 1970-05-21 | 1970-05-21 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4413170A JPS496463B1 (ko) | 1970-05-21 | 1970-05-21 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS496463B1 true JPS496463B1 (ko) | 1974-02-14 |
Family
ID=12683047
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4413170A Pending JPS496463B1 (ko) | 1970-05-21 | 1970-05-21 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS496463B1 (ko) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009535505A (ja) * | 2006-04-28 | 2009-10-01 | ジーティー・ソーラー・インコーポレーテッド | Ｃｖｄリアクタにおけるポリシリコン蒸着の向上 |
| JP2009538265A (ja) * | 2006-05-22 | 2009-11-05 | コリア リサーチ インスティチュート オブ ケミカル テクノロジー | 金属コア手段を使用した高純度多結晶シリコン棒の製造方法 |
| JP2012232879A (ja) * | 2011-05-09 | 2012-11-29 | Shin-Etsu Chemical Co Ltd | シリコン芯線ホルダおよび多結晶シリコンの製造方法 |
-
1970
- 1970-05-21 JP JP4413170A patent/JPS496463B1/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009535505A (ja) * | 2006-04-28 | 2009-10-01 | ジーティー・ソーラー・インコーポレーテッド | Ｃｖｄリアクタにおけるポリシリコン蒸着の向上 |
| US9683286B2 (en) | 2006-04-28 | 2017-06-20 | Gtat Corporation | Increased polysilicon deposition in a CVD reactor |
| JP2009538265A (ja) * | 2006-05-22 | 2009-11-05 | コリア リサーチ インスティチュート オブ ケミカル テクノロジー | 金属コア手段を使用した高純度多結晶シリコン棒の製造方法 |
| JP2012232879A (ja) * | 2011-05-09 | 2012-11-29 | Shin-Etsu Chemical Co Ltd | シリコン芯線ホルダおよび多結晶シリコンの製造方法 |