JPS4833833A - - Google Patents
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- Publication number
- JPS4833833A JPS4833833A JP6744471A JP6744471A JPS4833833A JP S4833833 A JPS4833833 A JP S4833833A JP 6744471 A JP6744471 A JP 6744471A JP 6744471 A JP6744471 A JP 6744471A JP S4833833 A JPS4833833 A JP S4833833A
- Authority
- JP
- Japan
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6744471A JPS4833833A (ja) | 1971-09-03 | 1971-09-03 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6744471A JPS4833833A (ja) | 1971-09-03 | 1971-09-03 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS4833833A true JPS4833833A (ja) | 1973-05-14 |
Family
ID=13345090
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6744471A Pending JPS4833833A (ja) | 1971-09-03 | 1971-09-03 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS4833833A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63261120A (ja) * | 1987-04-17 | 1988-10-27 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光パルス発生回路およびスペクトル測定装置 |
| JP2013506162A (ja) * | 2009-09-30 | 2013-02-21 | カール ツァイス マイクロスコピー ゲーエムベーハー | 空間的な色分離による可変フィルタリングを用いたスペクトル検出器又はレーザ走査顕微鏡 |
| JP2018514788A (ja) * | 2015-05-20 | 2018-06-07 | ケーエルエー−テンカー コーポレイション | 空間選択的波長フィルタにより修正された光源を用いて試料を撮像するためのシステム及び方法 |
| US10616987B2 (en) | 2015-08-28 | 2020-04-07 | Kla-Tencor Corporation | System and method for imaging a sample with an illumination source modified by a spatial selective wavelength filter |
-
1971
- 1971-09-03 JP JP6744471A patent/JPS4833833A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63261120A (ja) * | 1987-04-17 | 1988-10-27 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光パルス発生回路およびスペクトル測定装置 |
| JP2013506162A (ja) * | 2009-09-30 | 2013-02-21 | カール ツァイス マイクロスコピー ゲーエムベーハー | 空間的な色分離による可変フィルタリングを用いたスペクトル検出器又はレーザ走査顕微鏡 |
| JP2018514788A (ja) * | 2015-05-20 | 2018-06-07 | ケーエルエー−テンカー コーポレイション | 空間選択的波長フィルタにより修正された光源を用いて試料を撮像するためのシステム及び方法 |
| JP2022029462A (ja) * | 2015-05-20 | 2022-02-17 | ケーエルエー コーポレイション | 空間選択的波長フィルタにより修正された光源を用いて試料を撮像するためのシステム及び方法並びに紫外線光源 |
| US10616987B2 (en) | 2015-08-28 | 2020-04-07 | Kla-Tencor Corporation | System and method for imaging a sample with an illumination source modified by a spatial selective wavelength filter |