JPH1193903A - 位置決め制御用バルブ内臓型液圧シリンダ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 位置決め制御用バルブ内臓型液圧シリンダを
高精度に位置決めし、かつ、シール及び軸受の耐久性を
向上させ、また、小型化する。 【構成】 液圧シリンダのピストンロッド（１）にナッ
ト（２）を取付け、該ナット（２）に噛合うネジ軸
（３）を、軸受（４）で支持し、さらに、アウターロー
タ（５）に、固着する。アウターロータ（５）と摺接嵌
合するインナーロータ（６）に制御モータ（２４）を接
合する。ネジ軸（３）、軸受（４）、アウターロータ
（５）の両端面は、シリンダ押し側圧力室（９）と常時
導通があり、同圧であるから、軸受（４）に圧力による
片方向の荷重がかからないため、ピストンロッド（１）
の位置のフィードバックを、高精度にアウターロータ
（５）に伝達できる。そのため、制御モータ（２４）を
位置決めすることにより、高精度にピストンロッド
（１）を位置決めできる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】 本発明は、ＤＣサーボモータ、
ＡＣサーボモータ、ステッピングモータ等の位置決め制
御装置を利用して制御バルブを駆動し、液圧シリンダの
ピストンロッドを位置決め制御する、制御バルブ内臓型
液圧シリンダに関する。

【０００２】

【従来の技術】 制御モータにより制御バルブを駆動し
てシリンダのピストンロッドを動作させ、その動作量に
応じて制御バルブに、機械的フィードバックをかけてシ
リンダの位置決めを完了させる機構の場合に、ピストン
ロッドの動作位置のフィードバック機構部には、一般的
にボールネジが利用されるが、その支持部は、図２に示
すような構造であり、軸受（５４）にはボールネジシャ
フト（５３）先端部（図２ Ｐ部）にかかる高圧力によ
り過大な軸方向荷重がかかる。

【０００３】また、シリンダ部と制御バルブ部を圧力的
にシールする必要があるため、高圧用回転シール（５
８）が必要となる。なお、該シールは、バルブ部へのフ
ィードバック用軸部であるから比較的大きな直径とな
る。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】 ピストンロッドの動
作位置のフィードバック用ネジ部を支持する軸受にかか
る軸方向荷重によって、軸受の耐久性を悪化させてい
る。

【０００５】また、軸方向の荷重によって、フィードバ
ック用のネジ軸を支持する軸受が変形し、フィードバッ
クの精度を悪化させ、結果的にピストンロッドの位置決
め精度を悪化させている。

【０００６】一般的に、回転シールは、高圧、大直径に
なるほど、耐久性、シール性、ともに低くなる。

【０００７】本発明は、上述した問題点に鑑みてなした
もので、高精度に、ピストンロッドの位置決めをし、か
つ、シール部品の耐久性を向上させ、また、装置を小型
化することを可能とする、位置決め制御用バルブ内臓型
液圧シリンダを提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】 本発明に係る位置決め
制御用バルブ内臓型液圧シリンダは、上記目的を達成す
るために、ピストンロッド（１）に接合されたナット
（２）と、該ナット（２）と噛合うネジ軸（３）と、該
ネジ軸（３）を回転可能に支持する軸受（４）と、該ネ
ジ軸（３）に接合された中空円筒断面を有するアウター
ロータ（５）と、該アウターロータ（５）内に摺接嵌合
する中空円筒断面を有するインナーロータ（６）と、上
記軸受（４）を支持し、かつアウターロータ（５）に摺
接嵌合する中空円筒断面を有するケーシング（７）とか
らなり、上記軸受（４）、ネジ軸（３）、及びアウター
ロータ（５）の、各々の両端面は、複数のポート
（８）、（１７）、（１８）により、導通を有し、シリ
ンダ押し側圧力室（９）と同圧力を受けるような構造を
とる。

【０００９】また、ケーシング（７）は、圧液供給ポー
ト（１０）、タンクポート（１１）を配し、アウターロ
ータ（５）は、円筒断面部の周上等間隔に、圧液供給ポ
ート（１０）、タンクポート（１１）と各々対応する位
置に貫通穴からなる複数の制御用ポート（１２）、（１
３）と、シリンダ押し側圧力室（９）と導通を有した貫
通穴からなるポート（１４）を配し、インナーロータ
（６）は、円筒断面部の周上等間隔に、アウターロータ
（５）の制御用ポート（１２）、（１３）の両方とも遮
断する位置で、かつ回転時には、各々一方を開放し、片
方を遮断する位置に貫通穴からなる制御用ポート（１
５）、（１６）を配し、インナーロータ中空内部（１
９）は、アウターロータ（５）のポート（１４）及び、
ポート（８）により、シリンダ押し側圧力室（９）と常
時導通させる。

【００１０】

【作用】 上記のように構成された位置決め制御用バル
ブ内臓型液圧シリンダにおいては、ネジ軸（３）、軸受
（４）、アウターロータ（５）の各々両端面は、シリン
ダ押し側圧力室（９）と常時導通があり、軸方向変位を
拘束している軸受（４）に液圧による片方向への荷重が
かからない。

【００１１】また、バルブ部とシリンダ押し側圧力室
（９）は、ポート（８）、（１４）により、常時導通を
有しており、高圧で大直径の回転シールは必要無い。

【００１２】

【実施例】 図１は、本発明に係る位置決め制御用バル
ブ内臓型液圧シリンダの一実施例の組立断面図、図３、
図４、図５、図６、図７、図８は、制御バルブ部の断面
図である。

【００１３】本実施例の位置決め制御用バルブ内臓型液
圧シリンダは、ケーシング（７）内にアウターロータ
（５）を摺接嵌合し、さらにアウターロータ（５）内に
インナーロータ（６）を摺接嵌合してバルブ部を構成
し、液圧シリンダのピストンロッド（１）に接合された
ナット（２）にネジ軸（３）が噛合い、該ネジ軸（３）
の一端を回転可能で、かつ、軸方向の変位を拘束する軸
受（４）にて支持し、さらにアウターロータ（５）に接
合してフィードバック部を構成する。

【００１４】ケーシング（７）は、その内部に中空円筒
部を有し、圧液供給ポート（１０）とタンクポート（１
１）、ポート（８）、及びドレンポート（２０）を形成
してある。図１に示すように、圧液供給ポート（１０）
と、タンクポート（１１）と、ドレンポート（２０）
は、軸線方向に沿って一直線上に位置する。ただし圧液
供給ポート（１０）とタンクポート（１１）の位置は、
この反対でも可能である。

【００１５】アウターロータ（５）は、図１、図３、図
４のように、ケーシング（７）の、圧液供給ポート（１
０）とタンクポート（１１）、ポート（８）の各々を通
る作動液を、内部中空部に導き、かつ、ケーシング
（７）との嵌合部において各ポート（１２）、（１
３）、（１４）間は不通となるようにポート（１２）、
（１３）、（１４）が設けてある。アウターロータ
（５）に設けられた各ポートは、図３、図４に示すよう
に、外周上を等分する二個以上の貫通穴である。

【００１６】インナーロータ（６）は、図３、図４のよ
うにアウターロータ（５）の圧液供給ポート（１２）、
及び、タンクポート（１３）を通る作動液を、インナー
ロータ中空内部（１９）に導くために、各々対応する位
置に、貫通穴からなり、外周上を等分する二個以上でア
ウターロータ（５）の貫通穴と同数個の制御用ポート
（１５）、（１６）を有する。インナーロータ（６）の
制御用ポート（１５）、（１６）は、アウターロータ
（５）のポート（１２）、（１３）に対して互いに対称
の位置に設ける。またアウターロータ（５）のポート
（１４）の位置には、インナーロータ（６）は、重合し
ておらず、インナーロータ中空内部（１９）は、アウタ
ーロータ（５）のポート（１４）、及びポート（８）を
通じてシリンダ押し側圧力室（９）と常時導通してい
る。

【００１７】また、インナーロータ（６）は、スラスト
軸受（３０）により回転可能で、かつ軸方向を拘束され
てケーシング（７）に支持され、該スラスト軸受（３
０）部には、ポート（１８）により圧液を導いている。

【００１８】また、インナーロータ（６）のシャフト部
は、ケーシング（７）に設けられた外部との通し穴を通
り、ドレンポート（２０）、低圧用回転シール（２１）
を経て、外部へ突出させてある。

【００１９】さらに、インナーロータ（６）のシャフト
部は、制御用モータ（２４）の回転軸に取付けられる。
また、インナーロータ（６）には、ピン（２９）を固着
しており、該ピン（２９）は、アウターロータ（５）の
穴に挿入されていて、インナーロータ（６）とアウター
ロータ（５）の回転可能な角度を規制してある。

【００２０】次に、本実施例に係る位置決め制御用バル
ブ内臓型液圧シリンダの動作を説明する。

【００２１】制御モータ（２４）が停止しているとき
は、図３で示されるように、インナーロータ（６）のポ
ート（１５）に対して、アウターロータ（５）のポート
（１２）が、導通を遮断した位置にあるため、圧液の供
給はなく、また、図４で示されるようにタンクポート側
も同様に、導通を遮断した位置にあるため、圧液の排出
もない。シリンダ押し側圧力室（９）部とインナーロー
タ中空内部（１９）はポート（１４）、（８）により導
通があるから、結果的に、シリンダ押し側圧力室（９）
内の圧液は、移動しない。一方、シリンダ引き側圧力室
（２６）内には、圧液供給ポート（１０）により、常
時、圧液が供給されている。

【００２２】この時、図１のような片側ロッドタイプの
シリンダの場合は、押し側受圧部（２８）の面積のほう
が、引き側受圧部（２７）の面積より大きいので、両者
に同圧力が作用すると面積の大きい押し側受圧部（２
８）側が推力をもち、ピストンロッド（１）を前進させ
る。

【００２３】その結果、ピストンロッド（１）に固着さ
れたナット（２）と、それに噛合うネジ軸（３）によ
り、アウターロータ（５）を回転させる。その回転は、
アウターロータ（５）のタンクポート（１１）側のポー
ト（１３）と、インナーロータ（６）のタンクポート
（１１）側のポート（１６）が、導通を得る方向であ
り、シリンダ押し側圧力室（９）内の圧液は、ポート
（８）、（１４）、（１６）、（１３）を通りタンクポ
ート（１１）へ、排出される。

【００２４】その結果、シリンダ押し側圧力室（９）の
圧力が下がり、ピストンロッド（１）を前進させるため
の推力が減少する。そして、引き側受圧部（２７）で発
生する後退させようとする推力とつりあったときに、ピ
ストンロッド（１）は、停止する。

【００２５】仮に、シリンダ押し側圧力室（９）の圧力
をＰ１、シリンダ引き側圧力室（２６）の圧力をＰ２、
押し側受圧部（２８）の面積をＡ１、引き側受圧部（２
７）の面積をＡ２とすると、ピストンロッド（１）停止
時には、

【数１】Ｐ１×Ａ１＝Ｐ２×Ａ２ の関係が成立する。

【００２６】次に、制御モータ（２４）を、図５、図６
のＡの方向に回転させインナーロータ（６）のポート
（１５）とアウターロータ（５）のポート（１２）を導
通させる（図５）。この時には、インナーロータ（６）
のポート（１６）とアウターロータ（５）のポート（１
３）は、遮断されている（図６）。この時、圧液は、シ
リンダ押し側圧力室（９）へ導かれ、押し側受圧部（２
８）と引き側受圧部（２７）に作用する推力は、

【数２】Ｐ１×Ａ１＞Ｐ２×Ａ２ となるから、ピストンロッド（１）は前進する。する
と、前述のように、ネジ軸（３）によりフィードバック
がかかり、アウターロータ（５）は、制御モータ（２
４）の回転と同方向に回転させられる。その後、制御モ
ータ（２４）が停止すると、導通していたポートが遮断
され、

【数１】となるところでピストンロッドは、停止する。

【００２７】なお、図６において、インナーロータ
（６）が過大に回転すると、遮断されているポートが再
び導通を有することになり、動作に不都合を生じる。そ
のため、ピン（２９）を用いて、アウターロータ（５）
とインナーロータ（６）の相対位置をある必要な回転範
囲内に規制している。

【００２８】また、制御モータ（２４）を、逆転させた
ときは、図７で示されるように、インナーロータ（６）
のポート（１５）とアウターロータ（５）のポート（１
２）間は遮断され、また、図８で示されるように、イン
ナーロータ（６）のポート（１６）とアウターロータ
（５）のポート（１３）は導通を有する。その結果、シ
リンダ押し側圧力室（９）内の圧力が低下し、

【数３】Ｐ１×Ａ１＜Ｐ２×Ａ２ となり、ピストンロッド（１）は後退する。すると、ネ
ジ軸（３）により、フィードバックがかかりアウターロ
ータ（５）をＢ方向に回転させる。その後、制御モータ
（２４）が停止すると、導通していたポートが遮断さ
れ、

【数１】となるところでピストンロッド（１）は停止す
る。

【００２９】なお、図１の実施例においては、圧液供給
ポート（１０）は、ポート（２３）を介して、シリンダ
引き側圧力室（２６）に常時導通を有しているが、本発
明は特別にこの方式にとらわれない。

【００３０】一般的な液圧シリンダのように、押し側、
引き側の両圧力室を、それぞれ高圧、低圧に切替えてピ
ストンロッドを、前進、後退させる方式についても本発
明は適用される。図９にその実施例を示す。

【００３１】図１に示す実施例に比較して、シリンダ引
き側圧力室（２６）に連結された制御用ポート（２３）
をバルブ部へ迫加した形状となる。アウターロータ
（５）は、ポート（８）を介してシリンダ押し側圧力室
（９）とインナーロータ中空内部（１９）を常時導通さ
せる貫通穴からなるポート（１４）と、圧液供給ポート
（１０）からの圧液を中空内部へ導く貫通穴からなるポ
ート（１２）と、シリンダ引き側圧力室（２６）とポー
ト（２３）を介して中空内部を導通させる貫通穴からな
るポート（３３）と、タンクポート（１１）と中空内部
を導通させる貫通穴からなるポート（１３）を、有す
る。

【００３２】インナーロータ（６）は、アウターロータ
（５）のポート（１２）を通る作動液を、シリンダ押し
側圧力室（９）へ導く貫通穴からなるポート（１５）
と、該ポート（１２）を通る作動液を、シリンダ引き側
圧力室（２６）へ導く溝からなるポート（３１）と、シ
リンダ押し側圧力室（９）の作動液を、アウターロータ
（５）のポート（１３）を介してタンクへ戻すための貫
通穴からなるポート（１６）とシリンダ引き側圧力室
（２６）の作動液を、アウターロータ（５）のポート
（１３）を介してタンクへ戻すための溝からなるポート
（３２）を有する。また、アウターロータ（５）のポー
ト（１４）部とは、重合しておらず、シリンダ押し側圧
力室（９）とインナーロータ中空内部（１９）は、ポー
ト（８）、（１４）を介して常時導通がある。

【００３３】図１０は、圧液供給ポート（１０）部の断
面を示し、図１１は、ポート（２３）と連結する部分の
断面を示し、図１２は、タンクポート（１１）部の断面
を示す。アウターロータ（５）には、周上等間隔に２個
以上の貫通穴からなるポート（１２）、（３３）、（１
３）を設け、インナーロータ（５）には、周上等間隔に
２個以上の貫通穴からなるポート（１５）、（１６）、
及び溝からなるポート（３１）、（３２）を設けてあ
る。ポート（３１）は、圧液供給ポート（１０）とポー
ト（３３）を導通、または、遮断するための溝であり、
ポート（３２）は、タンクポート（１１）とポート（３
３）を導通、または、遮断するための溝である。

【００３４】この実施例においても、図１で示される実
施例と同様に、ピストンロッド（１）の移動量をフィー
ドバックするためのネジ軸（３）、該ネジ軸（３）を支
持する軸受（４）、及び、ネジ軸（３）に接合されたア
ウターロータ（５）の各々の両端面は、ポート（１
７）、（８）、（１４）、（１８）によって常時導通を
有し、シリンダ押し側圧力室（９）内の圧力が、作用し
ている。

【００３５】図９によって示される実施例について、動
作を説明する。

【００３６】制御モータ（２４）が、停止しているとき
は、図１０、図１１、図１２にしめされるような位置関
係にアウターロータ（５）、及び、インナーロータ
（６）が、停止しており、圧液供給ポート（１０）と、
タンクポート（１１）は、ともに遮断されている。い
ま、シリンダ押し側圧力室（９）内の圧力Ｐ１と、シリ
ンダ引き側圧力室（２６）内の圧力Ｐ２が等しいとする
と、押し側受圧部（２８）の面積Ａ１は、引き側受圧部
（２７）の面積Ａ２より大きいので、

【数２】となり、ピストンロッド（１）は、前進する。
その結果、フィードバック用ネジ軸（３）によりアウタ
ーロータ（５）が回転させられる。

【００３７】この時、図１０において、アウターロータ
（５）はＣの方向にまわり、ポート（１２）とポート
（３１）が、導通を有し、圧液が、ポート（３１）を通
る。さらに、図１１より、ポート（３１）とポート（３
３）が、導通を有し、圧液は、シリンダ引き側圧力室
（２６）へ導かれる。また、図１２において、ポート
（１３）とポート（１６）が、導通を有し、シリンダ押
し側圧力室（９）の圧液は、インナーロータ中空内部
（１９）からタンクポート（１１）へ導かれる。その結
果、Ｐ１よりＰ２が大きくなり、

【数１】となるところで、ピストンロッド（１）は、停
止する。

【００３８】次に、制御モータ（２４）が、図１３、図
１４、図１５におけるＤの方向に回転した場合は、図１
３より、インナーロータ（６）のポート（１５）と圧液
供給ポート（１０）が、導通を有し、インナーロータ中
空内部（１９）を介して、シリンダ押し側圧力室（９）
に圧液が、供給される。また、図１４より、ポート（３
２）とポート（３３）が導通を有し、かつ、図１５より
ポート（３２）とポート（１３）が導通を有する。従っ
て、シリンダ引き側圧力室（２６）の作動液は、ポート
（２３）、（３３）、（３２）、（１３）を介して、タ
ンクポート（１１）へ導かれる。その結果、ピストンロ
ッド（１）は、前進する。

【００３９】また、制御モータ（２４）が図１６、図１
７、図１８におけるＥの方向に回転した場合は、図１６
より、インナーロータ（６）のポート（３１）と圧液供
給ポート（１０）が、導通を有し、また、図１７より、
ポート（３１）とポート（３３）が導通を有するから、
圧液は、ポート（１２）、（３１）、（３３）、（２
３）を介して、シリンダ引き側圧力室（２６）へ導かれ
る。また、、図１８よりポート（１６）とポート（１
３）が導通を有し、シリンダ押し側圧力室（９）の作動
液は、ポート（８）、（１４）、インナーロータ中空内
部（１９）、ポート（１６）を介して、タンクポート
（１１）へ導かれる。その結果、ピストンロッド（１）
は、後退する。

【００４０】制御モータ（２４）が、回転しているとき
は、上記のように、ピストンロッド（１）が、前進また
は、後退するが、それに応じてネジ軸（３）が回転し、
制御モータ（２４）が、インナーロータ（６）を回転さ
せる方向と同方向にアウターロータ（５）を回転させ
る。つまり、図１３においては、ポート（１２）とポー
ト（１５）、図１４においては、ポート（３２）とポー
ト（３３）、また図１５においては、ポート（１３）と
ポート（３２）をそれぞれ、遮断しようとする。そのた
め、制御モータ（２４）が、停止すると、図１０、図１
１、図１２の状態となり、ピストンロッド（１）は、停
止する。

【００４１】

【発明の効果】 本発明は、以上のように構成されてい
るので以下に記載されるような効果を奏する。

【００４２】フィードバック用ネジ軸（３）、軸受
（４）、アウターロータ（５）の各々両端面は、シリン
ダ押し側圧力室（９）と常時導通があり、軸方向変位を
拘束している軸受（４）に液圧による片方向のみの荷重
がかからないようにすることにより、軸受（４）の、軸
方向の変形を最小にすることが可能となり、ピストンロ
ッドの移動量を、高精度に、バルブ部にフィードバック
できるようになる。さらに、該軸受（４）の、長寿命化
につながる。

【００４３】また、バルブ部とシリンダ押し側圧力室
（９）は、ポート（８）により導通を有しており、圧力
的に隔離するための、高圧で大径の回転シールは、必要
無い。回転シールは、外部との低圧用シール（２１）の
みの一箇所で済み、入力部であるから小径とすることが
できるので、回転シール部の信頼性を向上できる。

【００４４】シリンダ部とバルブ部を隔離するシールが
必要なく、フィードバック用のネジ軸（３）を支持する
軸受（４）に液圧による荷重がかからないため、該軸受
（４）を小容量化できる。従って、全体を小型化するこ
とができる。

【００４５】さらに、シリンダ引き側圧力室（２６）に
常時供給圧をかけておき、シリンダ押し側圧力室側
（９）のみ高圧、低圧に切換える方式を用いることによ
って、バルブ部の軸方向長さをさらに短くすることがで
き、全体を小型化することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】位置決め制御用バルブ内臓型液圧シリンダ全体
組立断面図

【図２】従来の方式を用いた位置決め制御用バルブ内臓
型液圧シリンダ全体組立断面図

【図３】制御モータ停止時における圧液供給ポート部バ
ルブ断面図

【図４】制御モータ停止時におけるタンクポート部バル
ブ断面図

【図５】制御モータ回転時における圧液供給ポート部バ
ルブ断面図

【図６】制御モータ回転時におけるタンクポート部バル
ブ断面図

【図７】制御モータ逆転時における圧液供給ポート部バ
ルブ断面図

【図８】制御モータ逆転時におけるタンクポート部バル
ブ断面図

【図９】位置決め制御用バルブ内臓型液圧シリンダ全体
組立断面図（第２例）

【図１０】制御モータ停止時における圧液供給ポート部
バルブ断面図（第２例）

【図１１】制御モータ停止時における制御用ポート部バ
ルブ断面図（第２例）

【図１２】制御モータ停止時におけるタンクポート部バ
ルブ断面図（第２例）

【図１３】制御モータ回転時における圧液供給ポート部
バルブ断面図（第２例）

【図１４】制御モータ回転時における制御用ポート部バ
ルブ断面図（第２例）

【図１５】制御モータ回転時におけるタンクポート部バ
ルブ断面図（第２例）

【図１６】制御モータ逆転時における圧液供給ポート部
バルブ断面図（第２例）

【図１７】制御モータ逆転時における制御用ポート部バ
ルブ断面図（第２例）

【図１８】制御モータ逆転時におけるタンクポート部バ
ルブ断面図（第２例）

【符号の説明】

１ ピストンロッド ２ ナット ３ ネジ軸 ４ 軸受 ５ アウターロータ ６ インナーロータ ７ ケーシング ８ １２ １３ １４ １５ １６ １７ １８ ２３
ポート ３１ ３２ ３３
ポート ９ シリンダ押し側圧力室 １０ 圧液供給ポート １１ タンクポート １９ インナーロータ中空内部 ２０ ドレンポート ２１ 低圧用回転シール ２２ 直動シール ２４ 制御モータ ２５ カップリング ２６ シリンダ引き側圧力室 ２７ 引き側受圧部 ２８ 押し側受圧部 ２９ ピン ３０ スラスト軸受 ５１ ピストンロッド ５２ ボールネジナット ５３ ボールネジシャフト ５４ 軸受 ５５ ケーシング ５６ 制御モータ ５７ 圧液供給ポート ５８ 高圧用回転シール ５９ タンクポート

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 液圧シリンダにおいて、ピストンロッド
   （１）に接合されたナット（２）と、該ナット（２）と
   噛合うネジ軸（３）と、該ネジ軸（３）を回転可能に支
   持する軸受（４）と、該ネジ軸（３）に接合された中空
   円筒断面を有するアウターロータ（５）と、該アウター
   ロータ（５）内に摺接嵌合する中空円筒断面を有するイ
   ンナーロータ（６）と、上記軸受（４）を支持し、かつ
   アウターロータ（５）に摺接嵌合する中空円筒断面を有
   するケーシング（７）とからなり、上記軸受（４）、ネ
   ジ軸（３）、及びアウターロータ（５）の各々の両端面
   は、複数のポート（８）、（１７）、（１８）により導
   通を有し、シリンダ押し側圧力室（９）と同圧力を受け
   ることを特徴とする液圧シリンダ。
2. 【請求項２】 ケーシング（７）は、圧液供給ポート
   （１０）、タンクポート（１１）を配し、アウターロー
   タ（５）は、円筒断面部の周上等間隔に、圧液供給ポー
   ト（１０）、タンクポート（１１）の各々対応する位置
   に、貫通穴からなる複数の制御用ポート（１２）、（１
   ３）と、シリンダ押し側圧力室（９）と導通を有した貫
   通穴からなるポート（１４）を配し、インナーロータ
   （６）は、円筒断面部の周上等間隔にアウターロータ
   （５）の制御用ポート（１２）、（１３）の両方とも遮
   断する位置で、かつ回転時には、各々一方を開放し、片
   方を遮断する位置に貫通穴からなる制御用ポート（１
   ５）、（１６）を配し、インナーロータ中空内部（１
   ９）は、アウターロータ（５）のポート（１４）及び、
   ポート（８）により、シリンダ押し側圧力室（９）と常
   時導通していることを特徴とする請求項１記載の液圧シ
   リンダ。