JPH1184638A - Photosensitive glass paste and production of plasma display - Google Patents

Photosensitive glass paste and production of plasma display

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JPH1184638A
JPH1184638A JP24697297A JP24697297A JPH1184638A JP H1184638 A JPH1184638 A JP H1184638A JP 24697297 A JP24697297 A JP 24697297A JP 24697297 A JP24697297 A JP 24697297A JP H1184638 A JPH1184638 A JP H1184638A
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JP
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photosensitive
glass paste
photosensitive glass
paste
organic
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Shinichi Yamashita
伸一 山下
Yuichiro Iguchi
雄一朗 井口
Yoshiki Masaki
孝樹 正木
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Toray Industries Inc
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To form a paste coating layer having a uniform thickness by specifying the b.p. difference between at least two or more kinds of org. solvents contained in a photosensitive glass paste. SOLUTION: The photosensitive glass paste consists of glass powder, a photosensitive org. component and two or more org. solvents and the b.p. difference between at least two of the org. solvents is >=20 deg.C. The amts. of the low and high b.p. org. solvents are 10-90 wt.% each of the total amt. of the org. solvents. The total amt. of the org. solvents is 1-50 wt.% of the amt. of the entire photosensitive glass paste. An oligomer or polymer having carboxyl groups and/or unsatd. double bonds in one molecule and a wt. average mol.wt. of 500-100,000 is essentially contained in the photosensitive org. component by 10-90 wt.%.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、プラズマディスプ
レイやプラズマアドレス液晶ディスプレイなどに用いら
れる感光性ガラスペーストおよびそれを用いたプラズマ
ディスプレイの製造方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a photosensitive glass paste used for a plasma display, a plasma addressed liquid crystal display, and the like, and a method for manufacturing a plasma display using the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】プラズマディスプレイパネル(PDP)
は、液晶パネルに比べて高速の表示が可能であり、また
大型化が容易であることからOA機器および広報表示装
置などの分野に浸透している。さらに、高品位テレビジ
ョンの分野などでの進展が非常に期待されている。
2. Description of the Related Art Plasma display panels (PDPs)
Are capable of high-speed display compared to liquid crystal panels, and are easy to increase in size, and thus have permeated OA equipment and public information display devices. Further, progress in the field of high-definition television is highly expected.

【0003】このような用途拡大に伴って、繊細で多数
の表示セルを有するカラーPDPが注目されている。こ
のカラーPDPは、前面ガラス基板と背面ガラス基板と
の間に備えられた放電空間内で対抗するアノードおよび
カソード電極間にプラズマ放電を生じさせ、上記放電空
間内に封入されているガスから発生した紫外線を放電空
間内に設けた蛍光体に当てることにより表示を行なうも
のである。この場合、放電の広がりを一定領域に押さ
え、表示を規定のセル内で行なわせると同時に、均一な
放電空間を確保するために隔壁(障壁またはリブともい
う)が設けられている。この隔壁の形状は、高精細PD
Pではおよそ幅20〜80μm、高さ60〜200μm
であり、この隔壁は、前面ガラス基板や背面ガラス基板
にガラスからなる感光性ガラスぺーストを塗布し、乾
燥、露光、現像および焼成を経て形成される。
[0003] With the expansion of such applications, attention has been paid to color PDPs having delicate and numerous display cells. This color PDP generates a plasma discharge between opposing anode and cathode electrodes in a discharge space provided between a front glass substrate and a rear glass substrate, and is generated from a gas sealed in the discharge space. The display is performed by irradiating ultraviolet light to a phosphor provided in the discharge space. In this case, a partition (also referred to as a barrier or a rib) is provided in order to suppress the spread of the discharge to a certain area and perform display in a specified cell, and to secure a uniform discharge space. The shape of this partition is a high definition PD
For P, about 20-80 μm width and 60-200 μm height
The partition is formed by applying a photosensitive glass paste made of glass to a front glass substrate or a rear glass substrate, drying, exposing, developing and firing.

【0004】隔壁層を形成する方法として、スクリーン
印刷法が知られている。しかしながら、この方法では1
回の塗布厚みが数十μmのため、高さ60〜200μm
の隔壁層を形成するためには、印刷/乾燥を多数回、一
般には10回以上も繰り返す必要があり、生産性が極め
て悪いという問題点がある。そこでこの問題を解決する
ために、1回でペーストを塗布する方法として、ドクタ
ーブレード法あるいはスリットダイコート法などによ
り、塗布する方法がある。しかしながら、この1回塗布
の場合、特にドクターブレード塗布ではペーストを塗布
し乾燥させた後、ペースト塗布層(隔壁形成層)のエッ
ジ部が約30μmも盛り上がり、均一な膜厚の塗布層を
形成することができないという問題点があった。
A screen printing method is known as a method for forming a partition layer. However, in this method, 1
60-200 μm in height due to several tens of μm
In order to form the partition layer, it is necessary to repeat printing / drying many times, generally ten times or more, and there is a problem that productivity is extremely poor. In order to solve this problem, as a method of applying the paste at one time, there is a method of applying the paste by a doctor blade method, a slit die coating method, or the like. However, in the case of this one-time application, especially in the case of doctor blade application, after the paste is applied and dried, the edge portion of the paste application layer (partition formation layer) rises by about 30 μm to form an application layer having a uniform film thickness. There was a problem that it was not possible.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、感光性ガラ
スペーストを塗布してこれを乾燥させた場合、ペースト
塗布層のエッジ部の盛り上がりが少なく、均一な膜厚の
ペースト塗布層を形成することが可能な感光性ガラスペ
ーストを提供することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION According to the present invention, when a photosensitive glass paste is applied and dried, a swelling of an edge portion of the paste applied layer is small and a paste applied layer having a uniform film thickness is formed. It is an object to provide a photosensitive glass paste capable of being used.

【0006】本発明の他の目的は、かかる感光性ガラス
ペーストを用いた高品質なプラズマディスプレイの製造
方法を提供することにある。
Another object of the present invention is to provide a method of manufacturing a high quality plasma display using such a photosensitive glass paste.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明の感光性ガラスペーストは、ガラス粉末、感光
性有機成分および有機溶媒からなる感光性ガラスペース
トにおいて、該有機溶媒を2種類以上含有し、かつ該有
機溶媒のうち少なくとも2種類の有機溶媒の沸点差が2
0℃以上とすることを特徴とするものであり、本発明で
は、さらに次の好ましい実施態様を含んでいる。
Means for Solving the Problems To solve the above-mentioned problems, a photosensitive glass paste of the present invention is a photosensitive glass paste comprising a glass powder, a photosensitive organic component and an organic solvent, wherein two or more kinds of the organic solvent are used. And at least two of the organic solvents have a boiling point difference of 2
The temperature is set to 0 ° C. or higher, and the present invention further includes the following preferred embodiments.

【0008】(a) 有機溶媒のうち、低沸点側と高沸点側
の有機溶媒の含有量が、有機溶媒全量に対してそれぞれ
10〜90重量%の範囲にあること。
(A) The content of the organic solvent on the low boiling point side and the high boiling point side in the organic solvent is in the range of 10 to 90% by weight based on the total amount of the organic solvent.

【0009】(b) 有機溶媒の全含有量が感光性ガラスペ
ースト全体に対して1〜50重量%の範囲にあること。
(B) The total content of the organic solvent is in the range of 1 to 50% by weight based on the whole photosensitive glass paste.

【0010】(c) 感光性有機成分の必須成分として、分
子内にカルボキシル基または/および分子内に不飽和二
重結合を有する重量分子量500〜100,000のオ
リゴマーもしくはポリマーが感光性有機物量に対して1
0〜90重量%含まれていること。
(C) As an essential component of the photosensitive organic component, an oligomer or polymer having a carboxyl group in the molecule and / or an unsaturated double bond in the molecule and having a weight molecular weight of 500 to 100,000 is included in the amount of the photosensitive organic substance. 1 for
0-90% by weight.

【0011】(d) 感光性有機成分中に、有機染料が感光
性有機物に対して0.05〜2重量%含まれているこ
と。
(D) The photosensitive organic component contains an organic dye in an amount of 0.05 to 2% by weight based on the weight of the photosensitive organic substance.

【0012】また、本発明のプラズマディスプレイの製
造方法は、上記感光性ガラスペーストを用いるもので、
上記感光性ガラスペーストを基板上に塗布し、乾燥後に
パターン露光、現像し、さらに焼成して隔壁を形成する
工程を含むプラズマディスプレイの製造方法であって、
該感光性ガラスペーストの1回の塗布厚みを50μm以
上とすることを特徴とするものであり、本発明において
は、隔壁を形成する該感光性ガラスペーストの塗布をド
クターブレード法またはスリットダイコート法によって
行なうことが好ましく、また、隔壁を形成する該感光性
ガラスペーストの塗布を1回もしくは2回で行なうこと
ができる。
Further, a method of manufacturing a plasma display according to the present invention uses the above-mentioned photosensitive glass paste.
A method for manufacturing a plasma display including a step of applying the photosensitive glass paste on a substrate, pattern exposure after drying, development, and further baking to form a partition,
The photosensitive glass paste is characterized in that the thickness of one application of the photosensitive glass paste is 50 μm or more, and in the present invention, the application of the photosensitive glass paste for forming the partition is performed by a doctor blade method or a slit die coating method. Preferably, the application of the photosensitive glass paste for forming the partition can be performed once or twice.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】本発明は、ガラス粉末、感光性有
機成分および有機溶媒からなる感光性ガラスペーストに
おいて、該有機溶媒を2種類以上含有し、かつ該有機溶
媒のうち少なくとも2種類の有機溶媒の沸点差が20℃
以上とすることにより、ペースト塗布、乾燥後におい
て、ペースト塗布層のエッジ部の盛り上がりが少ない、
均一な膜厚のペースト塗布層を形成することが可能とな
る。本発明において、感光性ガラスペーストには通常、
ガラス粉末、感光性モノマー、オリゴマー、ポリマー、
有機溶媒、光重合開始剤、増感剤、増感助剤および可塑
剤などが含まれている。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The present invention relates to a photosensitive glass paste comprising a glass powder, a photosensitive organic component and an organic solvent, comprising at least two kinds of the organic solvents and at least two kinds of the organic solvents. 20 ° C boiling point difference of solvent
By the above, paste application, after drying, little swelling of the edge portion of the paste application layer,
It is possible to form a paste coating layer having a uniform thickness. In the present invention, the photosensitive glass paste is usually
Glass powder, photosensitive monomer, oligomer, polymer,
It contains an organic solvent, a photopolymerization initiator, a sensitizer, a sensitization aid, a plasticizer, and the like.

【0014】本発明において用いられる有機溶媒として
は、好適には、常圧における沸点が20〜250℃の液
体が用いられる。添加する有機溶媒を選定する際に考慮
しなければならないことは、常圧での沸点、揮発性、感
光性有機物に対する溶解性、混和性、分散特性およびレ
オロジー特性などである。例えば、常圧での沸点があま
り高い場合、乾燥温度を高くする必要があり、それによ
って感光性有機成分が熱分解したり、あるいは熱重合を
起こすことが懸念される。また、揮発性に優れている溶
媒を用いた場合、乾燥が容易であるという利点がある一
方で、ペーストのレベリング性が悪くなり、表面平坦性
が劣ることになり、さらに溶媒蒸発のため、ペースト組
成を安定化することが困難になる。また、感光性有機物
に対する溶解性や分散性が悪い場合は、均一な膜厚のペ
ースト塗布膜を形成することができないなどの不都合が
生じる。これらの点を十分に考慮し、添加する有機溶媒
を選定する。
As the organic solvent used in the present invention, a liquid having a boiling point at normal pressure of 20 to 250 ° C. is preferably used. Considerations when selecting an organic solvent to be added include the boiling point at normal pressure, volatility, solubility in photosensitive organic substances, miscibility, dispersion characteristics, and rheological characteristics. For example, when the boiling point at normal pressure is too high, it is necessary to raise the drying temperature, which may cause thermal decomposition or thermal polymerization of the photosensitive organic component. In addition, when a solvent having excellent volatility is used, while there is an advantage that drying is easy, the leveling property of the paste is deteriorated, and the surface flatness is deteriorated. It becomes difficult to stabilize the composition. In addition, when the solubility or dispersibility in the photosensitive organic substance is poor, problems such as the inability to form a paste coating film having a uniform film thickness occur. The organic solvent to be added is selected in consideration of these points.

【0015】本発明で好ましく用いられる有機溶媒とし
ては、γ−ブチロラクトン(以下γ−BL略す)やメチ
ルセロソルブ、エチルセロソルブ、ブチルセロソルブな
どのセルソルブ類、イソプロピルアルコール、メチルア
ルコール、エチルアルコール、ブチルアルコール、ノル
マルプロピルアルコールなどのアルコール類、メチルエ
チルケトン、ジオキサン、アセトン、シクロペンタノ
ン、ジエチルケトン、メチルイソブチルケトン、ジイソ
ブチルケトンなどのケトン類、乳酸エチルやメチルアセ
テート、エチルアセテート、イソプロピルアセテート、
ノルマルプロピルアセテート、イソブチルアセテート、
ノルマルペンチルアセテート、イオペンチルアセテー
ト、3−メトキシ−3−メチル−1−ブタノール、3−
メトキシ−3−メチル−ブチルアセテート、プロピレン
グリコール1−モノメチルエーテル−2−アセテートな
どのエステル類類、ヘキサン、シクロヘキサン、ベンゼ
ン、トルエン、キシレンなどの炭化水素類、メチレンク
ロライド、クロロホルムおよびジクロロメタンなどの塩
素化炭化水素類などが挙げられる。
The organic solvent preferably used in the present invention includes γ-butyrolactone (hereinafter referred to as γ-BL), cellosolves such as methyl cellosolve, ethyl cellosolve and butyl cellosolve, isopropyl alcohol, methyl alcohol, ethyl alcohol, butyl alcohol, normal Alcohols such as propyl alcohol, ketones such as methyl ethyl ketone, dioxane, acetone, cyclopentanone, diethyl ketone, methyl isobutyl ketone, diisobutyl ketone, ethyl lactate, methyl acetate, ethyl acetate, isopropyl acetate,
Normal propyl acetate, isobutyl acetate,
N-pentyl acetate, iopentyl acetate, 3-methoxy-3-methyl-1-butanol, 3-
Esters such as methoxy-3-methyl-butyl acetate and propylene glycol 1-monomethyl ether-2-acetate; hydrocarbons such as hexane, cyclohexane, benzene, toluene and xylene; chlorination such as methylene chloride, chloroform and dichloromethane. Hydrocarbons and the like.

【0016】これらの有機溶媒のうち、後述の比較例1
に示すように、例えば、常圧における沸点が200〜2
08℃のγ−ブチロラクトン(γ−BL)のみを添加し
た感光性ガラスペーストをドクターブレード法で1回塗
布し、乾燥させると、ペースト塗布層(乾燥後の膜厚1
70μm)のエッジ部が幅約2センチにわたって、約3
0μm程度盛り上がってしまう。この状態でマスクを用
いて露光し、盛り上がり部分の未露光部を現像液で洗い
流そうとすると、露光部分、すなわち隔壁部分が現像液
によって過度に浸食され、蛇行したり、剥がれるという
重大な問題が生じる。すなわち、ペースト膜厚が不均一
な場合、現像時間がまちまちとなるため、残膜や蛇行、
剥がれのないきれいな隔壁を形成することができない。
そのため、ペースト塗布厚みはできるだけ均一にするこ
とが重要である。
Of these organic solvents, the following Comparative Example 1
As shown in, for example, the boiling point at normal pressure is 200 to 2
When a photosensitive glass paste containing only γ-butyrolactone (γ-BL) at 08 ° C. is applied once by a doctor blade method and dried, a paste coating layer (film thickness 1 after drying) is obtained.
70μm) edge width of about 2cm, about 3cm
It rises about 0 μm. When exposed using a mask in this state, and the unexposed portion of the raised portion is to be washed away with the developing solution, the exposed portion, that is, the partition portion is excessively eroded by the developing solution, and meanders or peels off. Occurs. In other words, when the paste film thickness is not uniform, the development time varies, so that the remaining film, meandering,
A clean partition wall without peeling cannot be formed.
Therefore, it is important to make the paste application thickness as uniform as possible.

【0017】本発明の実施において、必須成分である有
機溶媒としては常圧での沸点差のある2種類以上の有機
溶媒を含有させることが必要があり、それらの低沸点側
と高沸点側の有機溶媒の常圧での沸点差は20〜100
℃の範囲であることが好ましく、より好ましくは30〜
60℃の範囲である。沸点差が少ない場合は、乾燥後の
塗布面エッジ部の盛り上がり量は有機溶媒を1種類のみ
使用した場合と同様に約30μm程度盛り上がり、盛り
上がり量を低減することができない。また、100℃以
上の沸点差がある場合は、乾燥温度の設定が困難とな
る。というのは高沸点溶媒と低沸点溶媒の中間の温度に
乾燥温度を設定した場合、高沸点溶媒がかなり残存する
ことになるからである。また、乾燥温度を高沸点以上の
温度に設定した場合は、感光性有機物が熱分解や熱重合
を起こす恐れが大きい。そのため、有機溶媒の常圧での
沸点差はできれば20〜100℃の範囲であることが好
ましく、より好ましくは30〜60℃である。
In the practice of the present invention, it is necessary that the organic solvent as an essential component contains two or more kinds of organic solvents having a boiling point difference at normal pressure. The boiling point difference of the organic solvent at normal pressure is 20-100.
℃, more preferably 30 ~
It is in the range of 60 ° C. When the difference in boiling point is small, the amount of swelling at the edge of the coated surface after drying is about 30 μm as in the case of using only one organic solvent, and the swelling amount cannot be reduced. When there is a difference in boiling point of 100 ° C. or more, it is difficult to set the drying temperature. This is because if the drying temperature is set at a temperature intermediate between the high boiling point solvent and the low boiling point solvent, a considerable amount of the high boiling point solvent will remain. In addition, when the drying temperature is set to a temperature higher than the high boiling point, there is a high possibility that the photosensitive organic substance may undergo thermal decomposition or thermal polymerization. For this reason, the boiling point difference of the organic solvent at normal pressure is preferably in the range of 20 to 100 ° C, more preferably 30 to 60 ° C.

【0018】また、有機溶媒の感光性ガラスペースト全
体に対する含有量は、好ましくは1〜60重量%、より
好ましくは10〜40重量%である。有機溶媒の量は多
くなりすぎると、乾燥時間が長くなり生産性が悪くな
る。
The content of the organic solvent with respect to the entire photosensitive glass paste is preferably 1 to 60% by weight, more preferably 10 to 40% by weight. If the amount of the organic solvent is too large, the drying time is prolonged, and the productivity is deteriorated.

【0019】さらに、沸点差が20℃以上である低沸点
側と高沸点側の各有機溶媒の含有量は、有機溶媒全量に
対してそれぞれ10〜90重量%の範囲が好ましく、よ
り好ましくは30〜70重量%である。有機溶媒が2種
類の場合、いずれか1種類の有機溶媒の含有量が極端に
少ない場合は、結果的にはその溶媒を添加した効果が得
られず、塗布層エッジ部の盛り上がり量は低減されな
い。また本発明において、3種類以上の有機溶媒を使用
する場合は、低沸点側と高沸点側の2種類の有機溶媒が
それぞれ上記範囲にあることが好ましく、その他の有機
溶媒は上記範囲外であってもかまわない。または、低沸
点側と高沸点側に区分しそれぞれの有機溶媒群が上記範
囲にあることが好ましい。
Furthermore, the content of each of the organic solvents on the low boiling point side and the high boiling point side having a boiling point difference of 20 ° C. or more is preferably in the range of 10 to 90% by weight, more preferably 30 to 90% by weight, based on the total amount of the organic solvent. 7070% by weight. In the case of two kinds of organic solvents, when the content of any one kind of organic solvent is extremely small, the effect of adding the solvent is not obtained as a result, and the amount of swelling of the edge portion of the coating layer is not reduced. . In the present invention, when three or more kinds of organic solvents are used, it is preferable that the two kinds of organic solvents on the low boiling point side and the high boiling point side are respectively in the above range, and the other organic solvents are out of the above range. It doesn't matter. Alternatively, it is preferable that the organic solvent group is divided into a low boiling point side and a high boiling point side and the respective organic solvent groups are within the above range.

【0020】本発明における感光性有機物とは感光性モ
ノマー、感光性オリゴマーおよび感光性ポリマーを意味
する。感光性ガラスペーストにはこれら感光性有機物以
外に光重合開始剤、増感剤、増感助剤、重合禁止剤、バ
インダー、可塑剤、レべリング剤、紫外線吸収剤などを
必要に応じて含有させることができる。
In the present invention, the photosensitive organic substance means a photosensitive monomer, a photosensitive oligomer and a photosensitive polymer. The photosensitive glass paste contains, as necessary, a photopolymerization initiator, a sensitizer, a sensitization aid, a polymerization inhibitor, a binder, a plasticizer, a leveling agent, an ultraviolet absorber, etc., in addition to these photosensitive organic substances. Can be done.

【0021】感光性モノマーとしては、炭素−炭素不飽
和結合を有する化合物で、具体的にはメチルアクリレー
ト、エチルアクリレート、n−プロピルアクリレート、
イソプロピルアクリレート、n−ブチルアクリレート、
sec−ブチルアクリレート、イソブチルアクリレー
ト、t−ブチルアクリレート、n−ペンチルアクリレー
ト、アリルアクリレート、ベンジルアクリレート、ブト
キシエチルアクリレート、ブトキシトリエチレングリコ
ールアクリレート、シクロヘキシルアクリレート、シク
ロペンチニルアクリレート、シクロペンテニルアクリレ
ート、2−エチルヘキシルアクリレート、グリセロール
アクリレート、グリシジルアクリレート、ヘプタデカフ
ロロヂシルアクリレート、2−ヒドロキシエチルアクリ
レート、イソボニルアクリレート、2−ヒドロキシプロ
ピルアクリレート、イソデキシルアクリレート、イソオ
クチルアクリレート、ラウリルアクリレート、2−メト
キシエチルアクリレート、メトキシエチレングリコール
アクリレート、メトキシジエチッレングリコールアクリ
レート、オクタフロロペンチルアクリレート、フェニキ
シエチルアクリレート、ステアリルアクリレート、トリ
フロロエチルアクリレート、アリル化ヘキシジアクリレ
ート、1,4−ブタンジオールジアクリレート、1,3
−ブチレングリコールジアクリレート、エチレングリコ
ールジアクリレート、ジエチレングリコールジアクリレ
ート、トリエチレングリコールジアクリレート、ポリエ
チレングリコールジアクリレート、ジペンタエリスリト
ールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールモノ
ヒドロキシペンタアクリレート、ジトリメチロールプロ
パンテトラアクリレート、グリセロールジアクリレー
ト、メトキシ化シクロヘキシルジアクリレート、ネオペ
ンチルグリコールジアクリレート、プロピレングリコー
ルジアクリレート、ポリプロピレングリコールジアクリ
レート、トリグリセロールジアクリレート、トリメチロ
ールプロパントリアクリレート、アクリルアミド、アミ
ノエチルアクリレート、フェニルアクリレート、フェノ
キシエチルアクリレート、ベンジルアクリレート、1−
ナフチルアクリレート、2−ナフチルアクリレート、ビ
スフェノールAジアクリレート、ビスフェノールA−エ
チレンオキサイド付加物のジアクリレート、チオフェノ
ールアクリレートおよびベンジルメルカプタンアクリレ
ート等のアクリレート等を挙げることができる。
The photosensitive monomer is a compound having a carbon-carbon unsaturated bond, specifically, methyl acrylate, ethyl acrylate, n-propyl acrylate,
Isopropyl acrylate, n-butyl acrylate,
sec-butyl acrylate, isobutyl acrylate, t-butyl acrylate, n-pentyl acrylate, allyl acrylate, benzyl acrylate, butoxyethyl acrylate, butoxytriethylene glycol acrylate, cyclohexyl acrylate, cyclopentynyl acrylate, cyclopentenyl acrylate, 2-ethylhexyl acrylate , Glycerol acrylate, glycidyl acrylate, heptadecafluorodisil acrylate, 2-hydroxyethyl acrylate, isobornyl acrylate, 2-hydroxypropyl acrylate, isodexyl acrylate, isooctyl acrylate, lauryl acrylate, 2-methoxyethyl acrylate, methoxyethylene Glycol acrylate, meth Shi diethylene chip glycol acrylate, octa fluorosilicone pentyl acrylate, phenylene carboxyethyl acrylate, stearyl acrylate, trifluoroethyl acrylate, allylated hexane Siji acrylate, 1,4-butanediol diacrylate, 1,3
-Butylene glycol diacrylate, ethylene glycol diacrylate, diethylene glycol diacrylate, triethylene glycol diacrylate, polyethylene glycol diacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, dipentaerythritol monohydroxypentaacrylate, ditrimethylolpropane tetraacrylate, glycerol diacrylate, Methoxylated cyclohexyl diacrylate, neopentyl glycol diacrylate, propylene glycol diacrylate, polypropylene glycol diacrylate, triglycerol diacrylate, trimethylolpropane triacrylate, acrylamide, aminoethyl acrylate, phenyl acrylate, phenoxyethyl acryle DOO, benzyl acrylate, 1-
Examples include naphthyl acrylate, 2-naphthyl acrylate, bisphenol A diacrylate, diacrylate of bisphenol A-ethylene oxide adduct, acrylate such as thiophenol acrylate and benzyl mercaptan acrylate.

【0022】これら以外に不飽和カルボン酸等の不飽和
酸を加えることにより、感光後の現像性を向上すること
ができる。不飽和カルボン酸の具体例としては、アクリ
ル酸、メタアクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、マレ
イン酸、フマル酸、ビニル酢酸またはこれらの酸無水物
などが挙げられる。
In addition to the above, by adding an unsaturated acid such as an unsaturated carboxylic acid, the developability after exposure can be improved. Specific examples of the unsaturated carboxylic acid include acrylic acid, methacrylic acid, itaconic acid, crotonic acid, maleic acid, fumaric acid, vinyl acetic acid, and acid anhydrides thereof.

【0023】本発明において、これら感光性有機物とし
てのモノマーの含有率は、ガラス粉末と感光性有機物の
和に対して5〜30重量%が好ましい。これら以外の範
囲ではパターン形成性の悪化、硬化後の硬化不足が発生
する傾向があるため好ましくない。
In the present invention, the content of the monomer as the photosensitive organic substance is preferably 5 to 30% by weight based on the sum of the glass powder and the photosensitive organic substance. A range outside these ranges is not preferred because the pattern formability tends to deteriorate and insufficient curing after curing tends to occur.

【0024】また、感光性有機物である感光性オリゴマ
ーおよび感光性ポリマーとしては、上記の感光性モノマ
ーの1種類以上を合成して得られたものを用いることが
できる。これら感光性オリゴマーおよび感光性ポリマー
の含有率は、ガラス粉末と感光性有機物の和に対して5
〜30重量%が好ましい。これら以外の範囲ではパター
ンが不可能であったり、パターンの太りが生じたり、蛇
行が大きくなる傾向があるために好ましくない。
Further, as the photosensitive oligomer and the photosensitive polymer which are photosensitive organic substances, those obtained by synthesizing one or more of the above-mentioned photosensitive monomers can be used. The content of the photosensitive oligomer and the photosensitive polymer is 5 to the sum of the glass powder and the photosensitive organic substance.
~ 30% by weight is preferred. Outside of these ranges, it is not preferable because the pattern cannot be formed, the pattern becomes thick, or the meandering tends to increase.

【0025】本発明において、感光性有機成分の必須成
分として、分子内にカルボキシル基または/および分子
内に不飽和二重結合を有する重量分子量500〜10
0,000のオリゴマーもしくはポリマーが感光性有機
物量に対して10〜90重量%含まれていることが好ま
しい。本発明の感光性ガラスペースト中、感光性有機成
分の使用割合は、パターン形成性、焼成後の収縮率の点
から5〜35重量%が好ましい。この範囲外では、パタ
ーン形成性が不可能もしくは、パターンの太りが生じる
ため、好ましくない。
In the present invention, a weight-average molecular weight of 500 to 10 having a carboxyl group in the molecule and / or an unsaturated double bond in the molecule is an essential component of the photosensitive organic component.
It is preferable that the content of the 000 oligomer or polymer is 10 to 90% by weight based on the amount of the photosensitive organic substance. The proportion of the photosensitive organic component used in the photosensitive glass paste of the present invention is preferably from 5 to 35% by weight from the viewpoints of pattern formability and shrinkage after firing. Outside this range, pattern formability is not possible or the pattern becomes thicker, which is not preferable.

【0026】また、本発明で使用するガラス粉末は、5
0〜400℃の熱膨張係数(α50400)が50〜90
×10-7であることが好ましい。またガラス中に酸化珪
素が3〜60重量%、酸化ホウ素が5〜50重量%の範
囲で配合することによって、電気絶縁性、強度、熱膨張
係数、絶縁層の緻密性などの電気、機械および熱的特性
を向上することができる。ガラス転移温度は430〜5
00℃、軟化点は470〜580℃であることが好まし
い。ガラス転移温度が500℃、軟化点が580℃より
高いと、高温で焼成しなければならず、焼成の際に基板
に歪みが生じるからである。また、ガラス転移温度が4
30℃、軟化点が470℃より低いガラスの場合、緻密
な隔壁層が得られず、隔壁の剥がれ、断線、蛇行の原因
となる。ガラス粉末粒子径は作製しようとする隔壁の線
幅や高さを考慮して選ばれるが、50体積%粒子径(平
均粒子径D50)が1〜6μm、最大粒子サイズが30
μm以下、比表面積1.5〜4cm2 /gであることが
好ましい。光重合開始剤としては、ベンゾフェノン、o
−ベンゾイル安息香酸メチル、4,4−ビス(ジメチル
アミン)ベンゾフェノン、4,4−ジクロロベンゾフェ
ノン、4−ベンゾイル−4−メチルジフェニルケトン、
ジベンジルケトン、フルオレノン、2,2−ジメトキシ
アセチフェノン、2,2−ジメトキシ−2−メチル−2
−フェニル−2−フェニルアセチフェノン、2−ヒドロ
キシ−2−メチルプロピオフェノン、p−t−ブチルジ
クロロアセトフェノン、チオキサントン、2−メチルチ
ョオキサントン、2−クロロチオキサントン、2−イソ
プロピルチオキサントン、ジエチルチオキサントン、ベ
ンジル、ベンジルジメチルメチルケタノール、ベンジル
メトキシエチルアセタール、ベンゾイン、ベンゾインメ
チルエーテル、ベンゾインブチルエーテル、アントラキ
ノン、2−t−ブチルアントラキノン、2−アミノアン
トラキノン、β−クロルアントラキノン、アントロン、
ベンズアントロン、ジベンゾスベロン、メチレンアント
ロン、4−アジドベンザルアセトフェノン、2,6−ビ
ス(P−アジドベンジリデン)シクロヘキサノン、2−
フェニル−1,2−ブタンジオン2−(o−メトキシカ
ルボニル)オキシムおよび1,3−ジフェニル−プロパ
ントリオン−2−(o−エトキシカルボニル)オキシム
などが挙げられる。本発明ではこれらを1種類以上使用
することができる。この光重合開始剤は感光性成分に対
して0.05〜20重量%の範囲で添加するのが好まし
く、より好ましくは0.1〜15重量%の範囲である。
開始剤の量が少なすぎると光感度が低下し、硬化不足に
なる。一方、多すぎた場合、隔壁が太る。
The glass powder used in the present invention is 5
Thermal expansion coefficient of 0~400 ℃ (α 50 ~ 400) 50 to 90
It is preferably × 10 −7 . By mixing silicon oxide in the glass in the range of 3 to 60% by weight and boron oxide in the range of 5 to 50% by weight, electric, mechanical and electrical properties such as electric insulation, strength, coefficient of thermal expansion, and denseness of the insulating layer can be improved. Thermal characteristics can be improved. Glass transition temperature is 430-5
It is preferable that the softening point is 470 to 580 ° C. If the glass transition temperature is 500 ° C. and the softening point is higher than 580 ° C., it must be fired at a high temperature, and the substrate is distorted during firing. In addition, the glass transition temperature is 4
In the case of glass having a softening point of lower than 470 ° C. at 30 ° C., a dense partition wall layer cannot be obtained, which causes peeling, disconnection and meandering of the partition walls. The particle diameter of the glass powder is selected in consideration of the line width and height of the partition wall to be produced, but the 50% by volume particle diameter (average particle diameter D50) is 1 to 6 μm and the maximum particle size is 30 μm.
Preferably, the specific surface area is 1.5 μm or less, and the specific surface area is 1.5 to 4 cm 2 / g. As a photopolymerization initiator, benzophenone, o
Methyl benzoylbenzoate, 4,4-bis (dimethylamine) benzophenone, 4,4-dichlorobenzophenone, 4-benzoyl-4-methyldiphenyl ketone,
Dibenzyl ketone, fluorenone, 2,2-dimethoxyacetylphenone, 2,2-dimethoxy-2-methyl-2
-Phenyl-2-phenylacetylphenone, 2-hydroxy-2-methylpropiophenone, pt-butyldichloroacetophenone, thioxanthone, 2-methylchooxanthon, 2-chlorothioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, diethylthioxanthone, benzyl , Benzyldimethylmethyl ketanol, benzylmethoxyethyl acetal, benzoin, benzoin methyl ether, benzoin butyl ether, anthraquinone, 2-t-butylanthraquinone, 2-aminoanthraquinone, β-chloroanthraquinone, anthrone,
Benzanthrone, dibenzosuberone, methyleneanthrone, 4-azidobenzalacetophenone, 2,6-bis (P-azidobenzylidene) cyclohexanone, 2-
Phenyl-1,2-butanedione 2- (o-methoxycarbonyl) oxime and 1,3-diphenyl-propanetrione-2- (o-ethoxycarbonyl) oxime. In the present invention, one or more of these can be used. This photopolymerization initiator is preferably added in the range of 0.05 to 20% by weight, more preferably in the range of 0.1 to 15% by weight, based on the photosensitive component.
If the amount of the initiator is too small, the photosensitivity is reduced and the curing is insufficient. On the other hand, if it is too large, the partition wall becomes thick.

【0027】増感剤の具体例として、2,4−ジエチル
チオキサントン、イソプロピルチオキサントン、2,3
−ビス(4−ジメチルアミノベンザル)シクロヘキサノ
ン、2,6−ビス(4−ジメチルアミノベンザル)−4
−メチルシクロヘキサノン、ミヒラーケトン、4,4−
ビス(ジエチルアミノ)−ベンゾフェノン、4,4−ビ
ス(ジメチルアミノ)カルコン、4,4−ビス(ジエチ
ルアミノ)カルコン、p−ジメチルアミノシンナミリデ
ンイミダノンおよびp−ジメチルアミノベンジルデンイ
ンダノンナ等が挙げられる。本発明ではこれら1種類以
上使用することができる。添加量は感光性成分に対して
0.05〜10重量%、より好ましくは0.1〜10重
量%である。増感剤の量が少ない場合、光感度を向上さ
せることができない。一方、多すぎた場合、光感度が敏
感になりすぎて隔壁が太る。
Specific examples of the sensitizer include 2,4-diethylthioxanthone, isopropylthioxanthone, 2,3
-Bis (4-dimethylaminobenzal) cyclohexanone, 2,6-bis (4-dimethylaminobenzal) -4
-Methylcyclohexanone, Michler's ketone, 4,4-
Bis (diethylamino) -benzophenone, 4,4-bis (dimethylamino) chalcone, 4,4-bis (diethylamino) chalcone, p-dimethylaminocinnamylideneimidanone, p-dimethylaminobenzyldenindanonena and the like can be mentioned. . In the present invention, one or more of these can be used. The addition amount is 0.05 to 10% by weight, more preferably 0.1 to 10% by weight, based on the photosensitive component. When the amount of the sensitizer is small, the light sensitivity cannot be improved. On the other hand, if it is too large, the light sensitivity becomes too sensitive and the partition walls become thick.

【0028】重合禁止剤は、保存安定性を向上させるた
めに添加される。具体例として、ヒドロキノン、ヒドロ
キノンのモノエステル化合物、N−ニトロソジフェニル
アミン、フェノチアジン、p−t−ブチルカテコールお
よびN−フェニルナフチルアミン、クロラニールなどが
挙げられる。その添加量は通常0.001〜1重量%で
ある。
The polymerization inhibitor is added to improve the storage stability. Specific examples include hydroquinone, monoester compounds of hydroquinone, N-nitrosodiphenylamine, phenothiazine, pt-butylcatechol and N-phenylnaphthylamine, chloranil, and the like. The addition amount is usually 0.001 to 1% by weight.

【0029】バインダーとしては、ポリビニルアルコー
ル、ポリビニルブチラール、メタクリル酸エステル重合
体、アクリル酸エステル重合体、アクリル酸エステルー
メタクリル酸エステル重合体、α−メチルスチレン重合
体およびブチルメタクリレート樹脂などが挙げられる。
可塑剤の具体例としては、ジブチルフタレート、ジオク
チルフタレート、グリセリン等が挙げられる。
Examples of the binder include polyvinyl alcohol, polyvinyl butyral, methacrylate polymer, acrylate polymer, acrylate-methacrylate polymer, α-methylstyrene polymer, and butyl methacrylate resin.
Specific examples of the plasticizer include dibutyl phthalate, dioctyl phthalate, and glycerin.

【0030】また本発明では、紫外線吸収剤を添加する
ことが好ましく、高精細、高解像度が得られる。紫外線
吸収剤としては有機系染料がよく用いられている。具体
的には、アゾ系染料、アミノケトン系染料、キサンテン
系染料、キノリン系染料、アミノケトン系染料、アント
ラキノン系染料およびベンオフェノン系染料などが使用
できる。その添加量は、ガラス粉末に対して0.05〜
5重量%が好ましい。添加量が少ないと紫外線吸収剤の
添加効果が減少し、多すぎると焼成後の絶縁膜特性が低
下することがあり好ましくない。より好ましくは0.0
5〜0.18重量%である。
In the present invention, it is preferable to add an ultraviolet absorber, so that high definition and high resolution can be obtained. Organic dyes are often used as UV absorbers. Specifically, azo dyes, aminoketone dyes, xanthene dyes, quinoline dyes, aminoketone dyes, anthraquinone dyes, and benofenone dyes can be used. The addition amount is 0.05 to glass powder.
5% by weight is preferred. If the addition amount is small, the effect of adding the ultraviolet absorber decreases, and if it is too large, the properties of the insulating film after firing may deteriorate, which is not preferable. More preferably 0.0
5 to 0.18% by weight.

【0031】本発明における有機染料からなる光吸収剤
の添加方法の一例を挙げる。有機染料をアセトンなどの
有機溶媒に溶解し、無機粉末と混合し、充分に撹拌す
る。次にロータリーエバポーターを用いて、有機溶媒を
蒸発させる。この方法によって無機微粒子の個々の粉末
表面に有機染料の膜をコートした、いわゆるカプセル状
の粉末が作製することができる。
An example of a method for adding a light absorber comprising an organic dye in the present invention will be described. The organic dye is dissolved in an organic solvent such as acetone, mixed with the inorganic powder, and sufficiently stirred. Next, the organic solvent is evaporated using a rotary evaporator. By this method, a so-called capsule-like powder in which the surface of each powder of the inorganic fine particles is coated with an organic dye film can be produced.

【0032】酸化防止剤は、保存時におけるアクリル系
共重合体の酸化を防止するために添加される。具体例と
して2,6−ジ−t−p−クレゾール、ブチルカヒドロ
キシアニソール、2,6−ジ−t−4−エチルフェノー
ル、2,2−メチレンビス−(4−メチル−6−t−ブ
チルフェノール)などが挙げられる。添加量はペースト
に対して通常0.001〜1重量%である。
The antioxidant is added to prevent oxidation of the acrylic copolymer during storage. Specific examples include 2,6-di-t-p-cresol, butylcahydroxyanisole, 2,6-di-t-4-ethylphenol, and 2,2-methylenebis- (4-methyl-6-t-butylphenol). And the like. The addition amount is usually 0.001 to 1% by weight based on the paste.

【0033】本発明の感光性ガラスペーストの使用にお
いて、ペースト塗布後は当然乾燥が必要となるが、この
乾燥時の注意点は感光性ガラスぺーストを水平に保つこ
とである。少しでも傾いていた場合、ぺーストが流動
し、膜厚むらが発生するからである。乾燥方法としては
熱風オーブンやホットプレート、遠赤外線、自然乾燥お
よび減圧乾燥など一般によく用いられている方法を用い
ることができるが、重要な点は感光性ガラスぺースト層
を深さ方向に対して均一に乾燥させるという点である。
例えば、ホットプレートを用いて乾燥した場合、ペース
ト底部から上部へと熱が伝達するため、ペースト底部が
表面より先に乾燥するため、気泡をかみ込む恐れがな
い。自然乾燥は時間がかかり、生産性が悪い。また、減
圧乾燥は減圧装置が必要となり、設備費がかかり生産性
も悪い。このような点から、感光性ガラスペーストの乾
燥はホットプレートを用いることが好ましい。
In the use of the photosensitive glass paste of the present invention, it is necessary to dry the paste after the paste is applied. However, a point to be noted in this drying is to keep the photosensitive glass paste horizontal. This is because, if it is slightly tilted, the paste flows and uneven film thickness occurs. As a drying method, a commonly used method such as a hot air oven or a hot plate, far infrared rays, natural drying and reduced pressure drying can be used, but the important point is that the photosensitive glass paste layer is moved in the depth direction. The point is that it is dried uniformly.
For example, in the case of drying using a hot plate, heat is transferred from the bottom of the paste to the top, and the bottom of the paste dries before the surface, so that there is no danger of air bubbles being trapped. Air drying takes time and productivity is poor. In addition, vacuum drying requires a vacuum device, which increases equipment costs and lowers productivity. From such a point, it is preferable to use a hot plate for drying the photosensitive glass paste.

【0034】乾燥温度は、感光性有機物が熱重合を引き
起こさない温度より低い温度であれば何度でもよいが、
一般的には40〜150℃の範囲が好ましい。ここで乾
燥温度とは、例えばホットプレートを用いた乾燥の場
合、ホットプレート表面の温度のことを、熱風オーブン
の場合、熱風の温度のことを意味する。
The drying temperature may be any number as long as it is lower than the temperature at which the photosensitive organic substance does not cause thermal polymerization.
Generally, the range of 40 to 150 ° C. is preferable. Here, the drying temperature means, for example, in the case of drying using a hot plate, the temperature of the hot plate surface, and in the case of a hot air oven, the temperature of hot air.

【0035】次に、本発明の感光性ガラスペーストの調
製方法について説明する。感光性ガラスペーストは、通
常、ガラス粉末、感光性モノマー、オリゴマーやポリマ
ー、光重合開始剤、増感剤および有機溶媒の各種成分を
所定の組成になるように調合した後、3本ローラや混練
機で均一に混合・分散し、作製する。このペーストの粘
度は、ガラス粉末、感光性モノマー、オリゴマー、ポリ
マー、有機溶媒および可塑剤などの添加割合によって決
まるが、その範囲は好ましくは0.5〜200Pa・s
である。例えば、ガラス基板への塗布はスクリーン印刷
法では30〜200Pa・s、ドクターブレード法やス
リットダイコート法では2〜50Pa・s、スピンコー
ト法では0.5〜2Pa・sが好ましい。
Next, a method for preparing the photosensitive glass paste of the present invention will be described. Photosensitive glass paste is usually prepared by mixing various components such as glass powder, photosensitive monomers, oligomers and polymers, photopolymerization initiators, sensitizers, and organic solvents so as to have a predetermined composition. Mix and disperse evenly with a machine to produce. The viscosity of this paste is determined by the addition ratio of glass powder, photosensitive monomers, oligomers, polymers, organic solvents, plasticizers and the like, but the range is preferably 0.5 to 200 Pa · s.
It is. For example, application to a glass substrate is preferably 30 to 200 Pa · s by a screen printing method, 2 to 50 Pa · s by a doctor blade method or a slit die coating method, and 0.5 to 2 Pa · s by a spin coating method.

【0036】次に、感光性ガラスペーストを用いてパタ
ーン加工を行なう一例について説明する。ガラス基板や
セラミック基板、もしくはポリマー製フィルムの上に感
光性ガラスペーストを全面塗布、もしくは部分的に塗布
する。塗布方法としてはスクリーン印刷、バーコート、
ロールコート、スリットダイコート、ドクターブレード
およびスピンコートなど一般的な方法を用いることがで
きる。
Next, an example of performing pattern processing using a photosensitive glass paste will be described. A photosensitive glass paste is applied entirely or partially on a glass substrate, a ceramic substrate, or a polymer film. Screen coating, bar coating,
General methods such as roll coating, slit die coating, doctor blade and spin coating can be used.

【0037】ここで、感光性ガラスペーストを基板上に
塗布する場合、基板と塗布膜との密着性を高めるため
に、あらかじめ、基板を表面処理液で処理することがで
きる。表面処理液としては、シランカップリング、ビニ
ルトリクロロシラン、ビニルトリメトキシシラン、ビニ
ルトリエトキシシラン、トリス−(2−メトキシエトキ
シ)ビニルシラン、γ−グリシドキシプロパントリメト
キシシラン、γ−(メタクリロキシプロピル)トリメト
キシシラン、γ−(2−アミノエチル)アミノプロピル
トリメトキシシラン、γ−クロロプロピルトリメトキシ
シラン、γ−メルカプタンプロピルトリメトキシシラン
等、あるいは有機金属、例えば、有機チタン、有機アル
ミニウムおよび有機ジルコニウムなどである。シランカ
ップリング剤あるいは有機金属を有機溶媒、例えばエチ
レングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコー
ルモノエチルエーテル、メチルアルコール、エチルアル
コールおよびプロピルアルコールなどで、0.5〜5%
の濃度に希釈したものを用いる。次に、この表面処理液
をスピンナーなどで基板上に均一に塗布した後、80〜
140℃で10〜60分乾燥することによって表面処理
することができる。
Here, when the photosensitive glass paste is applied on the substrate, the substrate can be treated in advance with a surface treatment liquid in order to increase the adhesion between the substrate and the coating film. Examples of the surface treatment liquid include silane coupling, vinyltrichlorosilane, vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, tris- (2-methoxyethoxy) vinylsilane, γ-glycidoxypropanetrimethoxysilane, γ- (methacryloxypropyl) ) Trimethoxysilane, γ- (2-aminoethyl) aminopropyltrimethoxysilane, γ-chloropropyltrimethoxysilane, γ-mercaptanpropyltrimethoxysilane and the like, or an organic metal, for example, organic titanium, organic aluminum and organic zirconium And so on. A silane coupling agent or an organic metal is dissolved in an organic solvent, for example, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, methyl alcohol, ethyl alcohol and propyl alcohol, in an amount of 0.5 to 5%.
Use a solution diluted to a concentration of 1. Next, after uniformly applying this surface treatment liquid on the substrate with a spinner or the like,
Surface treatment can be performed by drying at 140 ° C. for 10 to 60 minutes.

【0038】感光性ガラスペーストの塗布後、露光装置
を用いて露光を行なう。露光は通常のフォトリソグラフ
ィーで行なわれるように、フォトマスクを用いてマスク
露光する方法が一般的である。用いられるマスクは、感
光性有機成分の種類によって、ネガ型もしくはポジ型の
どちらかを選定する。また、フォトマスクを用い留こと
なく、赤色や青色のレーザ光などで直接描画する方法を
用いてもよい。露光装置としてはステッパー露光機やプ
ロキシミティ露光機などを用いることができる。また、
大面積の露光を行なう場合は、ガラス基板などの基板上
に感光性ペーストを塗布した後に搬送しながら露光を行
なうことによって、小さな露光面積で大面積を露光する
ことができる。この場合、使用される活性光源として
は、例えば、可視光線、近紫外線、紫外線、電子線、X
線およびレーザ光線などがあげられるが、これらの中で
も紫外線が好ましく、その光源としては、例えば、低圧
水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、ハロゲンランプ、
殺菌灯などが使用できる。これらの中でも超高圧水銀灯
が好適である。露光条件は塗布厚みによって異なるが、
1〜100mW/cm2の出力の超高圧水銀灯を用いて
0.2〜30分間露光することが好ましい。
After the application of the photosensitive glass paste, exposure is performed using an exposure device. Exposure is generally performed by a mask exposure using a photomask, as performed by ordinary photolithography. As the mask to be used, either a negative type or a positive type is selected depending on the type of the photosensitive organic component. Alternatively, a method of directly drawing with red or blue laser light or the like without using a photomask may be used. As the exposure device, a stepper exposure device, a proximity exposure device, or the like can be used. Also,
In the case of performing a large-area exposure, a large-area exposure can be performed with a small exposure area by applying a photosensitive paste on a substrate such as a glass substrate and then performing exposure while transporting the photosensitive paste. In this case, as the active light source used, for example, visible light, near ultraviolet light, ultraviolet light, electron beam, X
Among them, ultraviolet rays are preferable, and as the light source, for example, a low-pressure mercury lamp, a high-pressure mercury lamp, an ultra-high-pressure mercury lamp, a halogen lamp,
A germicidal lamp or the like can be used. Among these, an ultra-high pressure mercury lamp is preferable. Exposure conditions vary depending on the coating thickness,
Exposure is preferably performed for 0.2 to 30 minutes using an ultra-high pressure mercury lamp having an output of 1 to 100 mW / cm 2 .

【0039】塗布した感光性ガラスペースト表面には、
酸素遮断膜を設けることによってパターン形状を向上さ
せることができる。酸素遮断膜の一例としては、PVA
やセルロース等の膜、あるいはポリエステルなどのフィ
ルムがあげられる。PVA膜の形成方法は濃度が0.5
〜5重量%の水溶液をスピンナーなどの方法で基板上に
均一に塗布した後、70〜90℃で10〜60分間乾燥
することによって、水分を蒸発させて行なう。また、水
溶液中にアルコールを少量添加すると絶縁膜との塗れ性
がよくなり蒸発が容易になるので好ましい。さらに好ま
しいPVA溶液濃度は1〜3重量%であり、この範囲に
あると感度を一層向上させることができる。PVA塗布
により感度が向上する理由は次のように推定される。す
なわち、感光性成分が光反応する際に空気中の酸素があ
ると光硬化の感度を阻害すると考えられるが、PVAの
膜があると余分な酸素を遮断できるので露光時に感度が
向上すると考えられる。ポリエステルやポリプレン、ポ
リエチレンなどの透明なフィルムを用いる場合は、塗布
後の感光性ガラスペーストの上にこれらのフィルムを張
り付けて用いる方法もある。
On the surface of the applied photosensitive glass paste,
By providing the oxygen blocking film, the pattern shape can be improved. As an example of the oxygen barrier film, PVA
And a film of cellulose or the like, or a film of polyester or the like. The method of forming the PVA film has a concentration of 0.5.
An aqueous solution of about 5% by weight is uniformly applied on a substrate by a method such as a spinner, and then dried at 70 to 90 ° C. for 10 to 60 minutes to evaporate water. Further, it is preferable to add a small amount of alcohol to the aqueous solution, since the wettability with the insulating film is improved and the evaporation is facilitated. A more preferred concentration of the PVA solution is 1 to 3% by weight, and when the concentration is in this range, the sensitivity can be further improved. The reason why the sensitivity is improved by the PVA application is presumed as follows. That is, when oxygen in the air is present when the photosensitive component undergoes a photoreaction, it is considered that the sensitivity of photocuring is impaired. However, the presence of a PVA film is considered to improve the sensitivity during exposure because excess oxygen can be blocked. . When a transparent film of polyester, polypropylene, polyethylene, or the like is used, there is a method in which these films are attached to a photosensitive glass paste after application.

【0040】露光後に、感光部分と非感光部分の現像に
対する溶解度の差を利用して現像を行なうが、現像は、
浸漬法やスプレー法、ブラシ法で行なわれる。用いられ
る現像液は、感光性ガラスペースト中の有機成分が溶解
可能である有機溶媒を使用できる。また、その有機溶媒
中にその溶解力が失われない範囲で水を添加してもよ
い。感光性ガラスペースト中に、カルボキシル基等の酸
性基をもつ化合物が存在する場合、アルカリ水溶液で現
像できる。アルカリ水溶液として水酸化ナトリウムや炭
酸ナトリウムおよび水酸化カルシウム水溶液などのよう
な金属アルカリ水溶液を使用するが、有機アルカリ水溶
液を用いた方が焼成時にアルカリ成分を除去しやすいの
で好ましい。有機アルカリとしては、アミン化合物を用
いることができる。具体的にはテトラメチルアンモニウ
ムヒドロキサイド、トリメチルベンジルアンモニウムヒ
ドロキサイド、モノエタノールアミンおよびジエタノー
ルアミンなどが挙げられる。アルカリ水溶液の濃度は通
常0.01〜10重量%、より好ましくは0.1〜5重
量%である。アルカリ濃度が低すぎる場合、可溶部が除
去されない。またアルカリ濃度が高すぎる場合、パター
ン部を剥離させ、また非可溶部を腐食させる恐れがあり
好ましくない。また、現像時の現像温度は、20〜50
℃で行なうことが工程管理上好ましい。
After the exposure, development is performed utilizing the difference in solubility between the photosensitive portion and the non-photosensitive portion with respect to the development.
It is performed by an immersion method, a spray method, or a brush method. As a developer to be used, an organic solvent in which an organic component in the photosensitive glass paste can be dissolved can be used. In addition, water may be added to the organic solvent as long as the dissolving power is not lost. When a compound having an acidic group such as a carboxyl group is present in the photosensitive glass paste, it can be developed with an alkaline aqueous solution. As the alkali aqueous solution, a metal alkali aqueous solution such as sodium hydroxide, sodium carbonate and calcium hydroxide aqueous solution is used, but it is preferable to use an organic alkali aqueous solution since the alkali component can be easily removed during firing. As the organic alkali, an amine compound can be used. Specific examples include tetramethylammonium hydroxide, trimethylbenzylammonium hydroxide, monoethanolamine and diethanolamine. The concentration of the alkaline aqueous solution is usually 0.01 to 10% by weight, more preferably 0.1 to 5% by weight. If the alkali concentration is too low, the soluble part will not be removed. On the other hand, if the alkali concentration is too high, the pattern portion may be peeled off and the non-soluble portion may be corroded, which is not preferable. The development temperature during development is 20 to 50.
It is preferable to carry out at a temperature of ° C in terms of process control.

【0041】次に、焼成炉にて焼成を行なう。焼成雰囲
気や温度はペーストの基板の種類によって異なるが、空
気中、窒素、水素などの雰囲気中で焼成する。焼成炉と
してはバッチ式の焼成炉やローラーハース型などのベル
ト式の連続型焼成炉を用いることができる。焼成温度は
500〜610℃の温度で、5〜60分間保持して焼成
を行なう。特に好ましい温度は530〜580℃であ
る。
Next, firing is performed in a firing furnace. The firing atmosphere and temperature vary depending on the type of the paste substrate, but firing is performed in an atmosphere such as air, nitrogen, or hydrogen. As the firing furnace, a belt-type continuous firing furnace such as a batch-type firing furnace or a roller hearth type can be used. The firing is performed at a temperature of 500 to 610 ° C. for 5 to 60 minutes. A particularly preferred temperature is 530-580 ° C.

【0042】また、上記の塗布や露光、現像、焼成の各
工程中に乾燥、予備反応の目的で50〜200℃加熱工
程を導入してもよい。プラズマディスプレイを製造する
場合、電極層を形成したガラス基板上に、本発明の感光
性ガラスペーストを用いて、上記の工程によって隔壁を
形成し、さらに蛍光体をスクリーン印刷法や感光性ガラ
スペースト法によって、形成し、背面基板を得ることが
できる。得られた背面基板と前面基板を合わせて、封
止、希ガス導入した後、駆動回路を接続することによっ
てプラズマディスプレイを製造できる。
A heating step at 50 to 200 ° C. may be introduced for the purpose of drying and preliminary reaction during each of the above-mentioned coating, exposure, development and baking steps. When manufacturing a plasma display, on the glass substrate on which the electrode layer is formed, using the photosensitive glass paste of the present invention, the partition is formed by the above steps, and the phosphor is further subjected to a screen printing method or a photosensitive glass paste method. Thus, a back substrate can be obtained. A plasma display can be manufactured by connecting the drive circuit after sealing and introducing a rare gas together with the obtained rear substrate and front substrate.

【0043】[0043]

【実施例】以下、本発明を実施例を用いて具体的に説明
する。ただし、本発明はこれに限定されない。なお、実
施例および比較例中の濃度は特にことわらない限り重量
%である。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be specifically described below with reference to embodiments. However, the present invention is not limited to this. The concentrations in Examples and Comparative Examples are% by weight unless otherwise specified.

【0044】(実施例1)下記のガラス微粒子および下
記の有機成分を、下記のペースト組成割合で添加して感
光性ペーストを作製した。作製手順は、まず、有機成分
の各成分を80℃に加熱しながら溶解し、その後、ガラ
ス微粒子を添加し、混練機で混練することによって、ペ
ーストを作成した。
Example 1 A photosensitive paste was prepared by adding the following glass fine particles and the following organic components at the following paste composition ratios. In the production procedure, first, each component of the organic component was dissolved while being heated to 80 ° C., and then, fine glass particles were added and kneaded with a kneader to prepare a paste.

【0045】エッジ部の盛り上がりは、表面粗さ計(サ
ーフコム1500A 東京精密科学(株))を用いて、
スキャン速度0.6mm/sで測定を行なった。また、
隔壁パターンの評価は、電子顕微鏡観察によって行なっ
た。評価基準は良好な形状(下部のほうが少し幅の広い
台形状)が得られた場合を〇、蛇行したり、剥がれた
り、残膜が残っていた場合を×とした。
The rise of the edge portion was measured using a surface roughness meter (Surfcom 1500A, Tokyo Seimitsu Kagaku Co., Ltd.).
The measurement was performed at a scan speed of 0.6 mm / s. Also,
The evaluation of the partition pattern was performed by observation with an electron microscope. The evaluation criteria were 〇 when a good shape (a trapezoidal shape with a slightly wider lower portion) was obtained, and × when the film meandered, peeled off, or left a residual film.

【0046】ガラス粉末:Li2O:8.6%、Si
2:20.1%、、B23:31%、BaO:3.8
%、Al23:20.6%、ZnO:2.1%、Mg
O:5.9%、CaO:4.2%組成(分析値)。平均
屈折率は1.586であった。また、このガラス粉末は
紫外線吸光剤をコーティング処理して用いた。
Glass powder: Li 2 O: 8.6%, Si
O 2 : 20.1%, B 2 O 3 : 31%, BaO: 3.8
%, Al 2 O 3: 20.6 %, ZnO: 2.1%, Mg
O: 5.9%, CaO: 4.2% composition (analytical value). The average refractive index was 1.586. This glass powder was used after coating with an ultraviolet absorbing agent.

【0047】 感光性モノマー(MGP−400):X2-N-CH(CH3)-CH2-(O-CH2-CH(CH3))n-N-X2 X:-CH2-CH(OH)-CH2O-CO-C=CH2 n:2〜10 感光性ポリマー(X−4007):40%メタクリ酸、30%メチルメタクリレ ート、30%スチレンからなる共重合体のカ ルボキシル基に対して0.4当量のグリシジ ルメタクリレートを付加重合させた重量平均 分子量43,000、酸価95の感光性ポリ マ。Photosensitive monomer (MGP-400): X 2 —N—CH (CH 3 ) —CH 2 — (O—CH 2 —CH (CH 3 )) n —NX 2 X: —CH 2 —CH ( OH) -CH 2 O-CO- C = CH 2 n: 2~10 photopolymer (X-4007): 40% methacrylic acid, 30% methyl methacrylate over preparative, mosquito copolymer composed of 30% styrene A photosensitive polymer having a weight average molecular weight of 43,000 and an acid value of 95, obtained by addition polymerization of 0.4 equivalent of glycidyl methacrylate to ruboxyl group.

【0048】 光重合開始剤(IC−369):Irgacure−369(チバ・ガイギー 社)2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1 −(4−モルフォリノフェニル)ブタノン− 1 増感剤(DETX−S):2,4−ジエチルチオキサントン 紫外線吸光剤(スダン):アゾ系染料C24204O 有機溶媒:γ−ブチロラクトン(沸点200〜208℃) :エチルセロソルブ(沸点135.6℃) これら有機成分の平均屈折率の計算値は約1.59であ
り、これはガラスの屈折率1.586に非常に近いもの
であった。 ペースト組成 ガラス粉末 : 51.90% 感光性モノマー: 11.64% 感光性ポリマー: 9.46% 光重合開始剤 : 2.60% 増感剤 : 2.60% 紫外線吸光剤 : 0.10% 有機溶媒 :γ−ブチロラクトン 10.85% :エチルセロソルブ 10.85% 次に、100mm角ガラス基板上に、ドクターブレード
法によりクリアランス420μmにて、上記感光性ガラ
スペーストを塗布し、ホットプレートを用いて80℃で
120分間乾燥させた後、ペースト塗布膜のエッジ部の
盛り上がりを測定したことろ、2μmであった。
Photopolymerization initiator (IC-369): Irgacure-369 (Ciba-Geigy) 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) butanone-1 sensitizer (DETX-S) ): 2,4-diethylthioxanthone UV absorber (Sudan): azo dye C 24 H 20 N 4 O Organic solvent: γ-butyrolactone (boiling point 200 to 208 ° C.): ethyl cellosolve (boiling point 135.6 ° C.) The calculated average refractive index of the components was about 1.59, which was very close to the glass refractive index of 1.586. Paste composition Glass powder: 51.90% Photosensitive monomer: 11.64% Photopolymer: 9.46% Photopolymerization initiator: 2.60% Sensitizer: 2.60% Ultraviolet light absorber: 0.10% Organic solvent: γ-butyrolactone 10.85%: Ethyl cellosolve 10.85% Next, the above photosensitive glass paste was applied onto a 100 mm square glass substrate by a doctor blade method with a clearance of 420 μm, and using a hot plate. After drying at 80 ° C. for 120 minutes, the swelling of the edge portion of the paste coating film was measured and found to be 2 μm.

【0049】次に、マスク露光を行なった。マスクとし
て、ピッチ220μm、線幅60μm、プラズマディス
プレイにおけるストライプ状の隔壁パターン形成が可能
となるように設計したクロムマスクを用いた。露光は、
30mW/cm2の出力で超高圧水銀灯で0.8J/c
2紫外線露光を行なった。その後、モノエタノールア
ミンの0.3%水溶液を用いて、35℃でシャワー現像
を行ない、80℃で10分間乾燥した。結果を以下に示
す。
Next, mask exposure was performed. As the mask, a chromium mask having a pitch of 220 μm, a line width of 60 μm, and a chromium mask designed to enable formation of a stripe-shaped partition pattern in a plasma display was used. Exposure is
0.8 J / c with an ultra-high pressure mercury lamp at an output of 30 mW / cm 2
m 2 UV exposure was performed. Thereafter, shower development was performed at 35 ° C. using a 0.3% aqueous solution of monoethanolamine, and drying was performed at 80 ° C. for 10 minutes. The results are shown below.

【0050】エッジ部の盛り上がり: 2μm 隔壁の高さ:179μm 半値幅: 63μm 形状: 〇 (実施例2)次の組成のとおり、有機溶媒としてγ−ブ
チロラクトン(沸点200〜208℃)および乳酸エチ
ル(沸点154℃)を用いた他は、実施例1と同様に実
施した。
Height of edge: 2 μm Height of partition: 179 μm Half width: 63 μm Shape: 〇 (Example 2) As shown in the following composition, γ-butyrolactone (boiling point: 200 to 208 ° C.) and ethyl lactate (organic solvent) Except that the boiling point was 154 ° C.), the procedure was the same as in Example 1.

【0051】 ペースト組成 ガラス粉末 : 51.90% 感光性モノマー: 11.64% 感光性ポリマー: 9.46% 光重合開始剤 : 2.60% 増感剤 : 2.60% 紫外線吸光剤 : 0.10% 有機溶媒 :γ−ブチロラクトン 15.85% :乳酸エチル 5.85% 結果を以下に示す。Paste composition Glass powder: 51.90% Photosensitive monomer: 11.64% Photopolymer: 9.46% Photopolymerization initiator: 2.60% Sensitizer: 2.60% Ultraviolet light absorber: 0 .10% organic solvent: γ-butyrolactone 15.85%: ethyl lactate 5.85% The results are shown below.

【0052】エッジ部の盛り上がり: 3μm 隔壁の高さ:181μm 半値幅: 60μm 形状: 〇 (実施例3)次の組成のとおり、有機溶媒としてγ−ブ
チロラクトン(沸点200〜208℃)および3−メト
キシ−3−メチル−1−ブタノール(沸点174℃)を
用いた他は、実施例1と同様に実施した。
Edge bulge: 3 μm Height of partition: 181 μm Half width: 60 μm Shape: 〇 (Example 3) As the following composition, γ-butyrolactone (boiling point 200 to 208 ° C.) and 3-methoxy as an organic solvent were used. Except that -3-methyl-1-butanol (boiling point: 174 ° C.) was used, the procedure was the same as in Example 1.

【0053】 ペースト組成 ガラス粉末 : 51.90% 感光性モノマー: 11.64% 感光性ポリマー: 9.46% 光重合開始剤 : 2.60% 増感剤 : 2.60% 紫外線吸光剤 : 0.10% 有機溶媒 :γ−ブチロラクトン 16.00% :3−メトキシ−3−メチル −1−ブタノール 5.70% 結果を以下に示す。Paste composition Glass powder: 51.90% Photosensitive monomer: 11.64% Photopolymer: 9.46% Photopolymerization initiator: 2.60% Sensitizer: 2.60% Ultraviolet light absorber: 0 .10% Organic solvent: γ-butyrolactone 16.00%: 3-methoxy-3-methyl-1-butanol 5.70% The results are shown below.

【0054】エッジ部の盛り上がり: 3μm 隔壁の高さ:180μm 半値幅: 62μm 形状: 〇 (比較例1)実施例1のエチルセロソルブを全てγ−ブ
チロラクトンに置き換えた感光性ガラスペースト、すな
わち有機溶媒をγ−ブチロラクトン1種類のみとした以
下の組成のペーストを作成し、この感光性ガラスペース
ト用いた他は、実施例1と同様に実施した。
Edge bulge: 3 μm Partition height: 180 μm Half width: 62 μm Shape: 比較 (Comparative Example 1) A photosensitive glass paste in which all the ethyl cellosolve of Example 1 was replaced with γ-butyrolactone, ie, an organic solvent was used. A paste was prepared in the same manner as in Example 1 except that a paste having the following composition was prepared using only one kind of γ-butyrolactone, and this photosensitive glass paste was used.

【0055】 ペースト組成 ガラス粉末 : 51.90% 感光性モノマー: 11.64% 感光性ポリマー: 9.46% 光重合開始剤 : 2.60% 増感剤 : 2.60% 紫外線吸光剤 : 0.10% 有機溶媒 :γ−ブチロラクトン 21.70% 乾燥後、ペースト塗布膜のエッジ部の盛り上がりを測定
したことろ、30μmであった。次に、露光と現像を行
なった。エッジ部の未露光部のペーストを現像液で洗い
流そうとしたところ、現像液の隔壁部分への過度の浸食
のため、隔壁部分が蛇行した。
Paste composition Glass powder: 51.90% Photosensitive monomer: 11.64% Photopolymer: 9.46% Photopolymerization initiator: 2.60% Sensitizer: 2.60% Ultraviolet light absorber: 0 .10% organic solvent: γ-butyrolactone 21.70% After drying, the swelling of the edge of the paste-coated film was measured and found to be 30 μm. Next, exposure and development were performed. When the paste in the unexposed portion of the edge portion was to be washed away with the developing solution, the partition portion meandered due to excessive erosion of the developing solution into the partition portion.

【0056】エッジ部の盛り上がり: 30μm 隔壁の高さ:172μm 半値幅: 65μm 形状: ×(蛇行) (比較例2)実施例1のエチルセロソルブとγ−ブチロ
ラクトンの割合を次のように変更し、すなわちエチルセ
ロソルブの量を少なくした下記組成の感光性ガラスペー
ストを作成し、これを用いた他は、実施例1と同様に実
施した。
Edge bulge: 30 μm Partition height: 172 μm Half width: 65 μm Shape: × (meandering) (Comparative Example 2) The ratio of ethyl cellosolve and γ-butyrolactone in Example 1 was changed as follows: That is, a photosensitive glass paste having the following composition was prepared in which the amount of ethyl cellosolve was reduced, and was carried out in the same manner as in Example 1 except that this was used.

【0057】 ペースト組成 ガラス粉末 : 51.90% 感光性モノマー: 11.64% 感光性ポリマー: 9.46% 光重合開始剤 : 2.60% 増感剤 : 2.60% 紫外線吸光剤 : 0.10% 有機溶媒 :γ−ブチロラクトン 20.00% :エチルセロソルブ 1.70% 乾燥後、ペースト塗布膜のエッジ部の盛り上がりを測定
したことろ、28μmであった。次に、露光し現像を行
ない、エッジ部の未露光部のペーストを現像液で洗い流
そうとしたところ、隔壁部分が蛇行した。
Paste composition Glass powder: 51.90% Photosensitive monomer: 11.64% Photopolymer: 9.46% Photopolymerization initiator: 2.60% Sensitizer: 2.60% Ultraviolet light absorber: 0 .10% Organic solvent: γ-butyrolactone 20.00%: Ethyl cellosolve 1.70% After drying, it was 28 μm when the swelling of the edge of the paste coating film was measured. Next, exposure and development were performed, and when the paste in the unexposed portion at the edge portion was to be washed away with the developing solution, the partition wall portion meandered.

【0058】エッジ部の盛り上がり: 28μm 隔壁の高さ:174μm 半値幅: 63μm 形状: ×(蛇行)Edge swell: 28 μm Partition height: 174 μm Half width: 63 μm Shape: × (meandering)

【0059】[0059]

【発明の効果】本発明によれば、ガラス粉末、感光性有
機成分および2種類以上の有機溶媒からなる感光性ガラ
スペーストにおいて、該有機溶媒を2種類以上含有し、
かつ該有機溶媒のうち少なくとも2種類の有機溶媒の沸
点差が20℃以上とすることにより、塗布面エッジ部の
盛り上がりが少ない均一な膜厚のペースト塗布膜を形成
することを可能とする感光性ガラスペーストが得られ
る。
According to the present invention, a photosensitive glass paste comprising a glass powder, a photosensitive organic component and two or more organic solvents contains two or more organic solvents,
In addition, by making the boiling point difference of at least two kinds of organic solvents among the organic solvents 20 ° C. or more, it is possible to form a paste coating film having a uniform thickness with little swelling at the edge of the coating surface. A glass paste is obtained.

【0060】具体的には、ペースト塗布膜のエッジ部が
盛り上がった状態で、マスクを用いて露光し、盛り上が
り部分の未露光部を現像液で洗い流そうとすると、露光
部分、すなわち隔壁部分が現像液によって過度に浸食さ
れ、蛇行したり、剥がれるという重大な問題が生じるこ
とがあるが、本発明の感光性ガラスペーストを用いるこ
とにより、このような問題を回避でき、高品質なプラズ
マディスプレイ用基板およびプラズマディスプレイを製
造することができる。
More specifically, in a state where the edge of the paste coating film is raised, exposure is performed using a mask, and when the unexposed portion of the raised portion is to be washed away with a developing solution, the exposed portion, that is, the partition wall portion is removed. Excessive erosion by the developer, meandering and peeling may cause serious problems, but by using the photosensitive glass paste of the present invention, such problems can be avoided and high-quality plasma displays can be used. Substrates and plasma displays can be manufactured.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI // C08F 299/00 C08F 299/00 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code FI // C08F 299/00 C08F 299/00

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ガラス粉末、感光性有機成分および有機
溶媒からなる感光性ガラスペーストにおいて、該有機溶
媒を2種類以上含有し、かつ該有機溶媒のうち少なくと
も2種類の有機溶媒の沸点差が20℃以上であることを
特徴とする感光性ガラスペースト。
1. A photosensitive glass paste comprising a glass powder, a photosensitive organic component and an organic solvent, comprising two or more kinds of said organic solvents, wherein at least two kinds of said organic solvents have a boiling point difference of 20 or more. A photosensitive glass paste having a temperature of at least ℃.
【請求項2】 前記有機溶媒のうち、低沸点側と高沸点
側の有機溶媒が有機溶媒全量に対してそれぞれ10〜9
0重量%含有することを特徴とする請求項1記載の感光
性ガラスペースト。
2. Among the organic solvents, the organic solvents on the low boiling point side and the high boiling point side are each 10 to 9 relative to the total amount of the organic solvent.
2. The photosensitive glass paste according to claim 1, which contains 0% by weight.
【請求項3】 前記有機溶媒の全含有量が感光性ガラス
ペースト全体に対して1〜50重量%の範囲にあること
を特徴とする請求項1もしくは請求項2に記載の感光性
ガラスペースト。
3. The photosensitive glass paste according to claim 1, wherein the total content of the organic solvent is in a range of 1 to 50% by weight based on the entirety of the photosensitive glass paste.
【請求項4】 前記感光性有機成分の必須成分として、
分子内にカルボキシル基または/および分子内に不飽和
二重結合を有する重量分子量500〜100,000の
オリゴマーもしくはポリマーが感光性有機物量に対して
10〜90重量%含まれていることを特徴とする請求項
1〜3のいずれかに記載の感光性ガラスぺースト。
4. An essential component of the photosensitive organic component,
An oligomer or polymer having a carboxyl group in the molecule and / or an unsaturated double bond in the molecule and having a weight molecular weight of 500 to 100,000 is contained in an amount of 10 to 90% by weight based on the amount of the photosensitive organic substance. The photosensitive glass paste according to any one of claims 1 to 3.
【請求項5】 請求項1〜4のいずれかに記載の感光性
ガラスペーストを基板上に塗布し、乾燥後にパターン露
光、現像し、さらに焼成して隔壁を形成する工程を含む
プラズマディスプレイの製造方法であって、該感光性ガ
ラスペーストの1回の塗布厚みを50μm以上とするこ
とを特徴とするプラズマディスプレイの製造方法。
5. A method for producing a plasma display, comprising: applying the photosensitive glass paste according to claim 1 on a substrate, drying, pattern-exposing, developing, and firing to form a partition. A method for producing a plasma display, wherein the thickness of a single application of the photosensitive glass paste is 50 μm or more.
【請求項6】 前記隔壁を形成する該感光性ガラスペー
ストの塗布をドクターブレード法またはスリットダイコ
ート法によって行なうことを特徴とする請求項5記載の
プラズマディスプレイの製造方法。
6. The method according to claim 5, wherein the application of the photosensitive glass paste for forming the partition walls is performed by a doctor blade method or a slit die coating method.
【請求項7】 前記隔壁を形成する該感光性ガラスペー
ストの塗布を1回もしくは2回で行なうことを特徴とす
る請求項5または請求項6記載のプラズマディスプレイ
の製造方法。
7. The method according to claim 5, wherein the application of the photosensitive glass paste for forming the partition is performed once or twice.
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