JPH1184287A - Optical scanner - Google Patents

Optical scanner

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JPH1184287A
JPH1184287A JP9257962A JP25796297A JPH1184287A JP H1184287 A JPH1184287 A JP H1184287A JP 9257962 A JP9257962 A JP 9257962A JP 25796297 A JP25796297 A JP 25796297A JP H1184287 A JPH1184287 A JP H1184287A
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JP
Japan
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light
light beam
light beams
scanned
scanning direction
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Pending
Application number
JP9257962A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Koji Sakai
浩司 酒井
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Ricoh Co Ltd
Original Assignee
Ricoh Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPH1184287A publication Critical patent/JPH1184287A/en
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To accurately obtain a synchronizing signal by independently and respectively detecting a synchronizing position in the sub-scanning direction of plural light beams with a simple constitution. SOLUTION: A collimator lens 2 makes the plural light beams emitted from a light source 1 into parallel light beams. The plural light beams are image- formed in the vicinity of the deflecting and reflecting surface of a light deflector 4 by a cylindrical lens 3, and reflected and deflected by the deflecting and reflecting surface. The deflected light beams are image-formed on the surface of a photoreceptor 7 to be scanned by an fθ lens 5 and a long toroidal lens 6, and scan the surface to be scanned by the rotation of the deflector 4. A synchronizing signal detector 8 diffracts the plural light beams in the sub- scanning direction orthogonally crossing a main scanning direction, the respective beams are independently and respectively detected by utilizing the diffracted light beams of the respective light beams, so that timing for starting writing that the plural light beams start writing the required scanning area of the surface to be scanned is detected.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、レーザプリンタの
ような画像形成装置等において被走査面を光ビームで走
査する光走査装置に係り、特に複数の光ビームで同時に
走査して被走査面上に複数の走査線を同時に形成するマ
ルチビーム光走査装置において、前記複数の光ビームの
副走査方向の同期位置を検出して同期信号を得る技術に
関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical scanning device for scanning a surface to be scanned with a light beam in an image forming apparatus such as a laser printer, and more particularly to a method for simultaneously scanning with a plurality of light beams on the surface to be scanned. In the multi-beam optical scanning device for simultaneously forming a plurality of scanning lines, the present invention relates to a technique for detecting a synchronization position in the sub-scanning direction of the plurality of light beams to obtain a synchronization signal.

【0002】[0002]

【従来の技術】レーザプリンタ等の画像形成装置におい
ては、レーザビーム等の光ビームを情報信号で変調しつ
つ該光ビームで被走査面を走査して、被走査面に画像を
形成する。光ビームの走査に際し、被走査面上で光ビー
ムスポットが、走査すべき所定の走査領域の走査を開始
するときに、情報信号で変調するタイミングを得る目的
で、前記走査領域の近傍に前記光ビームスポットを検出
する光ビーム検出素子を配置している。すなわち、この
ような光ビーム検出素子の検出信号を変調タイミングの
同期信号とする。ところで、このような画像形成装置に
おいて、高速化あるいは高解像度化を図るために、被走
査面を複数の光ビームで同時走査する手法を用いるマル
チビーム光走査装置が提案されている。
2. Description of the Related Art In an image forming apparatus such as a laser printer, a surface to be scanned is scanned with the light beam while modulating a light beam such as a laser beam with an information signal to form an image on the surface to be scanned. When scanning the light beam, the light beam spot on the surface to be scanned starts the scanning of a predetermined scanning area to be scanned. A light beam detecting element for detecting a beam spot is provided. That is, the detection signal of such a light beam detection element is used as a synchronization signal of the modulation timing. By the way, in such an image forming apparatus, a multi-beam optical scanning device using a method of simultaneously scanning a surface to be scanned with a plurality of light beams has been proposed in order to achieve high speed or high resolution.

【0003】このようなマルチビーム走査装置における
同期信号の検出技術の一例が、特開昭57−10260
9号公報(発明の名称:「複数ビームを用いた走査方法
及び装置」)に示されている。この特開昭57−102
609号公報に開示された構成は、シリンドリカルレン
ズ光学素子を用い、複数の走査線を描く光ビームスポッ
トを一つの走査線上に集光して、1つの光ビームスポッ
ト検出素子で複数の光ビームの各光ビームスポットを受
光し、同期信号を検出する。すなわち、シリンドリカル
レンズは、光ビーム検出素子を複数の光ビームの光ビー
ムスポットが通過する際、光ビームスポットが走査され
る主走査方向については、各光ビームスポットの間隔お
よび位置は変化を受けず、副走査方向については各光ビ
ームスポットが通る位置を略等しくする。
An example of a technique for detecting a synchronization signal in such a multi-beam scanning apparatus is disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 57-10260.
No. 9 (Title of Invention: "Scanning Method and Apparatus Using Multiple Beams"). JP-A-57-102
The configuration disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 609-609 uses a cylindrical lens optical element to condense a light beam spot that draws a plurality of scanning lines on one scanning line, and uses a single light beam spot detection element to detect a plurality of light beams. Each light beam spot is received, and a synchronization signal is detected. That is, when the light beam spot of the plurality of light beams passes through the light beam detecting element, the interval and the position of each light beam spot are not changed in the main scanning direction in which the light beam spot is scanned. In the sub-scanning direction, the positions where the light beam spots pass are made substantially equal.

【0004】また、マルチビーム走査装置における同期
信号の検出技術の他の例としては、特開平8−7603
9号公報(発明の名称:「マルチビームレーザ記録装
置」)に示されたものがある。この特開平8−7603
9号公報に開示された構成は、光ビーム検出素子として
一次元のCCD(電荷結合素子)を用い、光ビームが走
査する主走査方向と直交する副走査方向に沿って該CC
Dセンサを配設し該CCDセンサの走査を副走査に対応
させ、あるいは光ビーム検出素子として前記主走査方向
に対して斜めの開口部を有するフォトセンサを設けてな
る走査線間隔検出手段に、同期信号検出手段を兼用させ
ている。
As another example of a technique for detecting a synchronization signal in a multi-beam scanning apparatus, see Japanese Patent Application Laid-Open No. H8-7603.
No. 9 (name of invention: "Multi-beam laser recording apparatus"). This Japanese Patent Application Laid-Open No. 8-7603
The configuration disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-29139 uses a one-dimensional CCD (charge-coupled device) as a light beam detecting element and uses the one-dimensional CCD along a sub-scanning direction orthogonal to the main scanning direction in which the light beam scans.
A scanning line interval detecting means provided with a D sensor and making the scanning of the CCD sensor correspond to the sub-scanning, or a photo sensor having an opening oblique to the main scanning direction as a light beam detecting element, The synchronizing signal detecting means is also used.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】上記特開昭57−10
2609号公報に示された構成では、主走査方向につい
て各光ビームの光ビームスポットが近接している場合に
は、各光ビームスポットが光ビーム検出素子を短い時間
間隔で通過することになり、一つの光ビーム検出素子に
2個またはそれ以上の光ビームスポットが同時に入射す
る位置関係になるおそれがある。すなわち、この構成で
は、主走査方向に各光ビームがある程度離れていなけれ
ばならない。しかしながら、出力画像の形成ということ
を考えた場合、各光ビームはなるべく主走査方向につい
て重なっていることが望ましい。
SUMMARY OF THE INVENTION The above-mentioned Japanese Patent Application Laid-Open No. 57-10 / 57
In the configuration disclosed in Japanese Patent No. 2609, when the light beam spots of the respective light beams are close to each other in the main scanning direction, each light beam spot passes through the light beam detection element at a short time interval, There is a possibility that two or more light beam spots are simultaneously incident on one light beam detection element. That is, in this configuration, each light beam must be separated to some extent in the main scanning direction. However, considering the formation of an output image, it is desirable that the light beams overlap in the main scanning direction as much as possible.

【0006】この意味で、特開平8−76039号公報
の構成では主走査方向について各光ビームスポットが重
なっていても、各光ビームの同期信号を検出することが
可能である。しかしながら、画像形成装置が高解像度化
するにつれて、隣接する走査線の間隔は狭くなり、それ
に伴ってCCDセンサの画素ピッチを細かくする必要が
生じてくる。これは技術的な困難を伴うだけでなく、コ
ストの増大化を招くおそれがある。
In this sense, in the configuration of Japanese Patent Application Laid-Open No. 8-76039, it is possible to detect a synchronization signal of each light beam even if the light beam spots overlap in the main scanning direction. However, as the resolution of the image forming apparatus increases, the interval between adjacent scanning lines becomes narrower, and accordingly, the pixel pitch of the CCD sensor needs to be made smaller. This may not only involve technical difficulties, but also lead to increased costs.

【0007】本発明は、上述した事情に鑑みてなされた
もので、簡単な構成で、複数の光ビームの副走査方向に
ついての同期位置を各別に独立して検出し、的確に同期
信号を得ることを可能とする光走査装置を提供すること
を目的としている。本発明の第1の目的は、特に、複数
の光ビームを有効に分離して各独立に検出して、同期信
号を得ることが可能な光走査装置を提供することにあ
る。本発明の第2の目的は、特に、同期信号を得るため
の複数の光ビームをより正確に検出することが可能な光
走査装置を提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-described circumstances, and has a simple configuration, independently detects the synchronization positions of a plurality of light beams in the sub-scanning direction, and obtains a synchronization signal accurately. It is an object of the present invention to provide an optical scanning device capable of performing the above. A first object of the present invention is, in particular, to provide an optical scanning device capable of effectively separating a plurality of light beams, detecting each of the light beams independently, and obtaining a synchronization signal. A second object of the present invention is to provide an optical scanning device capable of more accurately detecting a plurality of light beams for obtaining a synchronization signal.

【0008】本発明の第3の目的は、特に、同期信号を
得るために光ビームを検出する構成を容易に製造するこ
とが可能な光走査装置を提供することにある。本発明の
第4の目的は、特に、複数の光ビームを各独立に検出し
て、独立した同期信号を得ることが可能な光走査装置を
提供することにある。本発明の第5の目的は、特に、光
ビームを検出して同期信号を得る構成を容易に製造する
ことが可能な光走査装置を提供することにある。
A third object of the present invention is to provide an optical scanning apparatus which can easily manufacture a configuration for detecting a light beam in order to obtain a synchronization signal. A fourth object of the present invention is, in particular, to provide an optical scanning device capable of independently detecting a plurality of light beams and obtaining an independent synchronization signal. A fifth object of the present invention is to provide an optical scanning device capable of easily manufacturing a configuration for detecting a light beam and obtaining a synchronization signal.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】請求項1に記載した本発
明に係る光走査装置は、上述した目的、特に第1の目的
を達成するために、複数の光ビームによって、被走査面
上の主走査方向に平行で且つ該被走査面上に副走査方向
に並んだ複数の走査線にて、該被走査面を同時に走査す
るマルチビーム光走査装置において、前記複数の各光ビ
ームが被走査面の必須走査領域の書込を開始する書き出
しのタイミングを検知するための同期信号検出装置は、
前記各光ビームを前記副走査方向に回折させる回折光学
素子と、前記回折光学素子で回折された各光ビームを回
折光を利用して各ビーム毎に個別に検出する光ビーム検
出素子とを具備することを特徴としている。
According to a first aspect of the present invention, there is provided an optical scanning apparatus comprising: a plurality of light beams; In a multi-beam optical scanning device for simultaneously scanning the scanned surface with a plurality of scanning lines parallel to the main scanning direction and arranged in the sub-scanning direction on the scanned surface, the plurality of light beams are scanned. A synchronization signal detection device for detecting a writing start timing for starting writing of a required scanning area of a surface,
A diffractive optical element for diffracting each light beam in the sub-scanning direction; and a light beam detecting element for individually detecting each light beam diffracted by the diffractive optical element for each beam using diffracted light. It is characterized by doing.

【0010】請求項2に記載した本発明に係る光走査装
置は、上記第2の目的を達成するために、前記回折光学
素子が、前記主走査方向に平行な格子を有するブレーズ
ド格子を含むことを特徴としている。請求項3に記載し
た本発明に係る光走査装置は、上記第3の目的を達成す
るために、前記ブレーズド格子が、格子溝のブレーズド
角をなすブレーズド傾斜面を階段状に形成したバイナリ
型ブレーズド格子を含むことを特徴としている。
According to a second aspect of the present invention, in order to achieve the second object, the diffractive optical element includes a blazed grating having a grating parallel to the main scanning direction. It is characterized by. According to a third aspect of the present invention, there is provided an optical scanning device according to the third aspect, wherein the blazed grating has a blazed inclined surface forming a blazed angle of a grating groove in a stepped shape. It is characterized by including a lattice.

【0011】請求項4に記載した本発明に係る光走査装
置は、上記第4の目的を達成するために、前記光ビーム
検出素子が、単一の半導体片上にモノリシックに一体化
されて配列された複数の半導体受光部を含むことを特徴
としている。請求項5に記載した本発明に係る光走査装
置は、上記第5の目的を達成するために、前記光ビーム
検出素子が、各別の半導体片上に個別に形成されてハイ
ブリッドに一体化されて配列された複数の半導体光受光
部を含むことを特徴としている。
According to a fourth aspect of the present invention, in order to attain the fourth object, the light beam detecting elements are monolithically integrated and arranged on a single semiconductor chip. And a plurality of semiconductor light receiving units. In order to achieve the fifth object, in the optical scanning device according to the present invention as set forth in claim 5, the light beam detecting elements are individually formed on different semiconductor pieces and integrated into a hybrid. It is characterized by including a plurality of semiconductor light receiving units arranged.

【0012】[0012]

【作用】すなわち、本発明の請求項1による光走査装置
は、複数の光ビームによって、被走査面上の主走査方向
に平行で且つ該被走査面上に副走査方向に並んだ複数の
走査線にて、該被走査面を同時に走査するマルチビーム
光走査装置において、前記複数の各光ビームを回折光学
素子を用いて前記副走査方向に回折させ、その回折光を
利用して前記各ビームを光ビーム検出素子で個別に検出
するようにして、同期信号検出装置を構成して、前記各
光ビームが被走査面の必須走査領域の書込を開始する書
き出しのタイミングを検知する。このような構成によ
り、簡単な構成であるにもかかわらず、複数の光ビーム
の光ビーム間隔よりも広いピッチで各光ビームを有効に
分離して受光検出することができ、複数の光ビームの副
走査方向についての同期位置を各別に検出し、的確に同
期信号を得ることができる。
In the optical scanning device according to the first aspect of the present invention, a plurality of light beams are used to scan a plurality of scanning lines parallel to the main scanning direction on the surface to be scanned and arranged in the sub-scanning direction on the surface to be scanned. A multi-beam optical scanning device that simultaneously scans the surface to be scanned with a line, diffracts each of the plurality of light beams in the sub-scanning direction using a diffractive optical element, and uses the diffracted light to apply each of the beams. Are individually detected by the light beam detecting elements to constitute a synchronization signal detecting device, and the timing at which each of the light beams starts writing in the essential scanning area on the surface to be scanned is detected. With such a configuration, despite the simple configuration, each light beam can be effectively separated and received and detected at a pitch wider than the light beam interval of the plurality of light beams. Synchronous positions in the sub-scanning direction are separately detected, and a synchronous signal can be accurately obtained.

【0013】また、本発明の請求項2による光走査装置
は、前記回折光学素子を、前記主走査方向に平行な格子
を有するブレーズド格子で構成する。このような構成に
より、特に、各光ビームの特定の回折光を強調すること
ができ、同期信号を得るための複数の光ビームをより正
確に検出することができる。本発明の請求項3による光
走査装置は、前記ブレーズド格子を、格子溝のブレーズ
ド角をなすブレーズド傾斜面を階段状に形成したバイナ
リ型ブレーズド格子で構成する。このような構成によ
り、特に、同期信号を得るために光ビームを検出するた
めのブレーズド格子を容易に製造することができる。
In the optical scanning device according to a second aspect of the present invention, the diffractive optical element is constituted by a blazed grating having a grating parallel to the main scanning direction. With such a configuration, in particular, a specific diffracted light of each light beam can be emphasized, and a plurality of light beams for obtaining a synchronization signal can be detected more accurately. According to a third aspect of the present invention, in the optical scanning device, the blazed grating is constituted by a binary blazed grating in which a blazed inclined surface forming a blazed angle of a grating groove is formed in a stepwise manner. With such a configuration, in particular, a blazed grating for detecting a light beam to obtain a synchronization signal can be easily manufactured.

【0014】本発明の請求項4による光走査装置は、前
記光ビーム検出素子を、単一の半導体片上にモノリシッ
クに一体化されて配列された複数の半導体受光部で構成
する。このような構成により、特に、複数の光ビームを
各独立に検出して、光ビーム毎に独立した適切な同期信
号を得ることができる。本発明の請求項5による光走査
装置は、前記光ビーム検出素子を、各別の半導体片上に
個別に形成されてハイブリッドに一体化されて配列され
た複数の半導体光受光部で構成する。このような構成に
より、特に、光ビームを検出して同期信号を得る光ビー
ム検出素子を半導体を用いて容易に製造することができ
る。
According to a fourth aspect of the present invention, in the optical scanning device, the light beam detecting element is constituted by a plurality of semiconductor light receiving sections which are monolithically integrated and arranged on a single semiconductor piece. With such a configuration, in particular, a plurality of light beams can be independently detected, and an appropriate synchronization signal independent of each light beam can be obtained. In an optical scanning device according to a fifth aspect of the present invention, the light beam detecting element is constituted by a plurality of semiconductor light receiving sections individually formed on each of the separate semiconductor pieces and arranged in a hybrid integrated manner. With such a configuration, in particular, a light beam detecting element that detects a light beam and obtains a synchronization signal can be easily manufactured using a semiconductor.

【0015】[0015]

【発明の実施の形態】以下、実施の形態に基づき、図面
を参照して本発明の光走査装置を詳細に説明する。 〔第1の実施の形態〕(請求項1に対応) 図1および図2は、本発明の第1の実施の形態に係るマ
ルチビーム光走査装置の要部の構成を示している。図1
は、マルチビーム光走査装置の全体の構成を模式的に示
しており、図2は、図1における同期信号検出装置の詳
細な構成を模式的に示している。図1に示すマルチビー
ム光走査装置は、光源1、コリメートレンズ2、シリン
ドリカルレンズ3、光偏向器4、fθレンズ5、長尺ト
ロイダルレンズ6、感光体7および同期信号検出装置8
を具備している。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, an optical scanning device according to the present invention will be described in detail based on embodiments with reference to the drawings. [First Embodiment] (corresponding to claim 1) FIGS. 1 and 2 show a configuration of a main part of a multi-beam optical scanning device according to a first embodiment of the present invention. FIG.
1 schematically shows the entire configuration of the multi-beam optical scanning device, and FIG. 2 schematically shows the detailed configuration of the synchronization signal detecting device in FIG. The multi-beam optical scanning device shown in FIG. 1 includes a light source 1, a collimating lens 2, a cylindrical lens 3, an optical deflector 4, an fθ lens 5, a long toroidal lens 6, a photoconductor 7, and a synchronization signal detecting device 8.
Is provided.

【0016】光源1は、複数の光ビームを放射する。コ
リメートレンズ2は、光源1から射出された前記複数の
光ビームをコリメートして平行光にする。シリンドリカ
ルレンズ3は、コリメートレンズ2で平行光とされた前
記複数の光ビームを光偏向器4の偏向反射面近傍に主走
査方向に長い線像として結像させる。光偏向器4は、複
数の偏向反射面を有する多角形の多面鏡(ポリゴンミラ
ー)からなり、回転駆動されて、前記複数の光ビームを
偏向反射面により反射偏向する。fθレンズ5および長
尺トロイダルレンズ6は、光偏向器4で偏向された光ビ
ームを感光体7の被走査面上に結像し、光偏向器4の回
転によって該被走査面を前記光ビームにより走査させ
る。同期信号検出装置8は、前記複数の光ビームを前記
主走査方向に直行する副走査方向に回折させ、各光ビー
ムの回折光を利用して各光ビームを各ビーム毎に個別に
検出することにより、前記複数の光ビームが被走査面の
必須走査領域の書込を開始する書き出しのタイミングを
検知する。
The light source 1 emits a plurality of light beams. The collimating lens 2 collimates the plurality of light beams emitted from the light source 1 into parallel light. The cylindrical lens 3 forms the plurality of light beams, which have been converted into parallel light by the collimator lens 2, near the deflection reflection surface of the optical deflector 4 as a long line image in the main scanning direction. The light deflector 4 includes a polygonal polygon mirror having a plurality of deflecting and reflecting surfaces, and is driven to rotate to reflect and deflect the plurality of light beams by the deflecting and reflecting surface. The fθ lens 5 and the long toroidal lens 6 form an image of the light beam deflected by the light deflector 4 on the surface to be scanned of the photoconductor 7, and rotate the light deflector 4 so that the light beam Scan. The synchronization signal detecting device 8 diffracts the plurality of light beams in a sub-scanning direction orthogonal to the main scanning direction, and detects each light beam individually for each beam using the diffracted light of each light beam. Thus, the writing start timing at which the plurality of light beams start writing in the essential scanning area of the scanned surface is detected.

【0017】図2は、図1に示す同期信号検出装置8の
詳細な構成を示しており、同期信号検出装置8は、透過
型位相格子81および受光素子82を有する。この例で
は、同期信号検出装置8を構成する回折光学素子とし
て、例えば主走査方向に平行な複数の回折溝が形成され
ている透過型位相格子81を用いている。すなわち、該
透過型位相格子81は、透明な平行平板に、前記主走査
方向と平行な回折溝が周期的に形成されたものである。
回折光学素子としての透過型位相格子81を用いて、例
えば平行な4本の光ビーム(例えば各ビームのピッチは
42.33μmとし、600dpiに対応するプリンタ
に用いるものとする)の同期検知の手法について具体的
に説明する。
FIG. 2 shows a detailed configuration of the synchronization signal detection device 8 shown in FIG. 1. The synchronization signal detection device 8 has a transmission type phase grating 81 and a light receiving element 82. In this example, as the diffractive optical element constituting the synchronization signal detecting device 8, for example, a transmission-type phase grating 81 having a plurality of diffraction grooves parallel to the main scanning direction is used. That is, the transmission type phase grating 81 is formed by periodically forming diffraction grooves parallel to the main scanning direction on a transparent parallel flat plate.
Synchronous detection method of, for example, four parallel light beams (for example, the pitch of each beam is set to 42.33 μm and used for a printer corresponding to 600 dpi) using a transmission type phase grating 81 as a diffractive optical element. Will be specifically described.

【0018】図3に示すように、光ビームB11、B1
2、B13およびB14が回折光学素子としての透過型
位相格子81に入射すると、該透過型位相格子81を通
過する際の回折により、各光ビームB11、B12、B
13およびB14の0次回折光(非回折光)、±1次回
折光、±2次回折光、…のような回折光ビームが、透過
型位相格子81から射出される。すなわち、透過型位相
格子81により、各光ビームB11、B12、B13お
よびB14が、各光ビームB11、B12、B13およ
びB14の0次回折光(透過光)、±1次回折光、±2
次回折光、…のような回折光ビームに分岐される。
As shown in FIG. 3, light beams B11 and B1
When light beams B2, B13 and B14 are incident on a transmission type phase grating 81 as a diffractive optical element, each light beam B11, B12, B
Diffracted light beams such as 0th-order diffracted light (undiffracted light), ± 1st-order diffracted light, ± 2nd-order diffracted light,... Of 13 and B14 are emitted from the transmission phase grating 81. That is, the transmission-type phase grating 81 converts the light beams B11, B12, B13, and B14 into the 0th-order diffracted light (transmitted light), ± 1st-order diffracted light, and ± 2d of the light beams B11, B12, B13, and B14.
Next, it is split into diffracted light beams such as diffracted light.

【0019】これらの回折光のうち、光ビームB11に
対応する同期光ビームとしては、その2次回折光ビー
ム、光ビームB12に対応する同期光ビームとしては、
その1次回折光ビーム、光ビームB13に対応する同期
光ビームとしては、その0次回折光ビーム、そして光ビ
ームB14に対応する同期光ビームとしては、その−1
次回折光ビームをそれぞれ用い、図4に示すように、こ
れら各回折光ビームが充分分離された位置に、受光素子
82を配置して、各光ビームB11、B12、B13お
よびB14の同期タイミングを個別に検知することがで
きる。このとき、受光素子82は、他の回折光が検出さ
れないような位置に配置されることはいうまでもない。
Of these diffracted lights, the second-order diffracted light beam as the synchronous light beam corresponding to the light beam B11 and the synchronous light beam corresponding to the light beam B12 are:
As a synchronous light beam corresponding to the first-order diffracted light beam and the light beam B13, the zero-order diffracted light beam and a synchronous light beam corresponding to the light beam B14 are -1.
As shown in FIG. 4, a light receiving element 82 is arranged at a position where these diffracted light beams are sufficiently separated from each other, and the synchronization timing of each light beam B11, B12, B13 and B14 is individually determined. Can be detected. At this time, it goes without saying that the light receiving element 82 is arranged at a position where other diffracted light is not detected.

【0020】このようにして、複数の光ビームB11、
B12、B13およびB14の同期信号を各独立に検出
することができる。なお、回折によって分割された光ビ
ームのうちの、どの回折次数の回折光ビームを選択して
同期光ビームとして用いるかは、ここでは特に限定され
る訳ではない。また、この実施の形態においては、同期
信号検出装置8に入射する光ビームB11、B12、B
13およびB14は、互いに平行であるとしたが、これ
も特に限定される条件ではない。
Thus, a plurality of light beams B11,
The synchronization signals of B12, B13 and B14 can be independently detected. The order of the diffracted light beam selected from the diffracted light beams and used as the synchronization light beam is not particularly limited here. Further, in this embodiment, the light beams B11, B12, B
Although 13 and B14 are assumed to be parallel to each other, this is not a special condition.

【0021】さらに、この実施の形態においては、回折
光学素子としての透過型位相格子81を用いる場合につ
いて説明したが、透過型位相格子81に代えて、例えば
透過型振幅格子、反射型位相格子および反射型振幅格子
等を回折光学素子として用いるようにしてもよい。この
ように、透過型位相格子に代えて、多数の代替物を選択
的に使用し、あるいは適宜なる修正および変更を施して
実施することが可能である。
Further, in this embodiment, the case where the transmission type phase grating 81 is used as the diffractive optical element has been described, but instead of the transmission type phase grating 81, for example, a transmission type amplitude grating, a reflection type phase grating, A reflection type amplitude grating or the like may be used as the diffractive optical element. As described above, it is possible to selectively use a large number of alternatives instead of the transmission type phase grating, or to perform the modification with appropriate modifications and changes.

【0022】〔第2の実施の形態〕(請求項2に対応) 図5は、本発明の第2の実施の形態に係るマルチビーム
光走査装置の要部である同期信号検出装置の構成を示し
ている。図5に示す同期信号検出装置は、回折光学素子
として、図2に示した透過型位相格子81に代えて、主
走査方向に平行な複数の回折溝が形成された透過型ブレ
ーズド格子83を用いて構成している。透過型ブレーズ
ド格子83は、主走査方向に平行に形成される回折溝
を、溝面がブレーズド角θをなして傾斜するV字溝とし
て周期的に形成し、断面をほぼ鋸歯状に形成している。
このような透過型ブレーズド格子83は、所定のブレー
ズド角θで溝面を傾斜させることによって、特定の波長
の光に対し、特定の次数の回折光を他の次数の回折光に
比して特に強くすることができる。
[Second Embodiment] (corresponding to claim 2) FIG. 5 shows a configuration of a synchronization signal detecting device which is a main part of a multi-beam optical scanning device according to a second embodiment of the present invention. Is shown. The synchronous signal detection device shown in FIG. 5 uses, as a diffractive optical element, a transmission type blazed grating 83 in which a plurality of diffraction grooves parallel to the main scanning direction are formed, instead of the transmission type phase grating 81 shown in FIG. It is composed. The transmission type blazed grating 83 is formed by periodically forming diffraction grooves formed parallel to the main scanning direction as V-shaped grooves whose groove surfaces are inclined at a blazed angle θ, and having a substantially sawtooth cross section. I have.
Such a transmission-type blazed grating 83 is configured to incline a groove surface at a predetermined blazed angle θ, so that diffracted light of a specific order is compared with diffracted light of another order with respect to light of a specific wavelength. Can be stronger.

【0023】回折光学素子としての透過型ブレーズド格
子83を用いて、例えば平行な4本の光ビームの同期検
知の手法について具体的に説明する。図3に示した透過
型位相格子81の場合と同様に、光ビームB11、B1
2、B13およびB14が回折光学素子としての透過型
ブレーズド格子83に入射すると、該透過型ブレーズド
格子83を通過する際の回折により、各光ビームB1
1、B12、B13およびB14の0次回折光(非回折
光)、±1次回折光、±2次回折光、…のような回折光
ビームが、透過型ブレーズド格子83から射出される。
すなわち、透過型ブレーズド格子83により、各光ビー
ムB11、B12、B13およびB14が、各光ビーム
B11、B12、B13およびB14の0次回折光(透
過光)、±1次回折光、±2次回折光、…のような回折
光ビームに分岐される。
A method of synchronously detecting, for example, four parallel light beams using a transmission type blazed grating 83 as a diffractive optical element will be specifically described. Similarly to the case of the transmission type phase grating 81 shown in FIG.
When light beams B1, B13 and B14 enter the transmission type blazed grating 83 as a diffractive optical element, each light beam B1 is diffracted by passing through the transmission type blazed grating 83.
Diffracted light beams such as 0th-order diffracted light (undiffracted light), ± 1st-order diffracted light, ± 2nd-order diffracted light,... Of 1, B12, B13 and B14 are emitted from the transmission-type blazed grating 83.
That is, each light beam B11, B12, B13, and B14 is converted by the transmission type blazed grating 83 into the 0th-order diffracted light (transmitted light), ± 1st-order diffracted light, ± 2nd-order diffracted light of each light beam B11, B12, B13, and B14. .. Are split into diffracted light beams like.

【0024】周知のように、ブレーズド格子は、格子溝
の溝面にブレーズド角θに従った傾斜角を持たせること
で、特定の波長の光ビームに対して特定の次数の回折光
ビームを特に強くすることができる。そこで、これらの
回折光のうち、光ビームB11に対応する同期光ビーム
としては、その2次回折光ビーム、光ビームB12に対
応する同期光ビームとしては、その1次回折光ビーム、
光ビームB13に対応する同期光ビームとしては、その
0次回折光ビーム、そして光ビームB14に対応する同
期光ビームとしては、その−1次回折光ビームをそれぞ
れ用いるため、透過型ブレーズド格子83のブレーズド
角θを、各光ビームB11〜B14のこれら同期光ビー
ムに対応する次数の回折光が強くなるように設定する。
As is well known, in a blazed grating, a diffractive light beam of a specific order is particularly generated with respect to a light beam of a specific wavelength by giving a groove surface of the grating groove an inclination angle according to the blazed angle θ. Can be stronger. Therefore, among these diffracted lights, the second-order diffracted light beam as a synchronous light beam corresponding to the light beam B11, the first-order diffracted light beam as the synchronous light beam corresponding to the light beam B12,
Since the 0th-order diffracted light beam is used as the synchronous light beam corresponding to the light beam B13 and the -1st-order diffracted light beam is used as the synchronous light beam corresponding to the light beam B14, the blazed angle of the transmission-type blazed grating 83 is used. is set so that the diffracted light of the order corresponding to these synchronous light beams of the light beams B11 to B14 becomes strong.

【0025】このようにして、これら各回折光ビームが
充分分離された位置に配置した受光素子82で、各光ビ
ームB11、B12、B13およびB14の同期タイミ
ングを個別に検知する。すなわち、図6に示すように、
透過型ブレーズド格子83において、光ビームB11が
入射する領域は2次回折光が特に強くなるようにブレー
ズド角θ11を設定し、光ビームB12が入射する領域
は1次回折光が特に強くなるようにブレーズド角θ12
を決め設定し、光ビームB13が入射する領域は0次回
折光が特に強くなるようにブレーズド角θ13を設定
し、そして光ビームB14が入射する領域は−1次回折
光が特に強くなるようにブレーズド角θ14を設定す
る。このとき、受光素子82は、他の回折光が検出され
ないような位置に配置されることはいうまでもない。
In this manner, the synchronization timing of each of the light beams B11, B12, B13 and B14 is individually detected by the light receiving element 82 arranged at a position where these diffracted light beams are sufficiently separated. That is, as shown in FIG.
In the transmission type blazed grating 83, the blazed angle θ11 is set so that the second-order diffracted light is particularly strong in the area where the light beam B11 is incident, and the blazed angle is such that the first-order diffracted light is particularly strong in the area where the light beam B12 is incident. θ12
Is set, and the blazed angle θ13 is set so that the 0th-order diffracted light is particularly strong in the region where the light beam B13 is incident, and the blazed angle is such that the −1st-order diffracted light is particularly strong in the region where the light beam B14 is incident. θ14 is set. At this time, it goes without saying that the light receiving element 82 is arranged at a position where other diffracted light is not detected.

【0026】したがって、複数の光ビームB11、B1
2、B13およびB14の同期信号を、各独立に、しか
もより正確に検出することができる。なお、回折によっ
て分割された光ビームのうちの、どの回折次数の回折光
ビームを選択し、それに応じてブレーズド角θを設定し
て、同期光ビームとして用いるかは、ここでは特に限定
される訳ではない。また、この実施の形態においても、
同期信号検出装置(8)の透過型ブレーズド格子83に
入射する光ビームB11、B12、B13およびB14
は互いに平行であるとしたが、これも特に限定される条
件ではない。
Therefore, a plurality of light beams B11, B1
2. The synchronization signals of B13 and B14 can be detected independently and more accurately. It should be noted that the order of the diffracted light beam selected from the diffracted light beams by the diffraction, the blazed angle θ is set accordingly, and the blazed angle θ is used as the synchronous light beam is not particularly limited here. is not. Also, in this embodiment,
Light beams B11, B12, B13 and B14 incident on the transmission-type blazed grating 83 of the synchronization signal detector (8).
Are parallel to each other, but this is not a particularly limiting condition.

【0027】さらに、この実施の形態においては、回折
光学素子として透過型ブレーズド格子83を用いる場合
について説明したが、例えば反射型ブレーズド格子等を
回折光学素子として用いるようにしてもよい。このよう
に、透過型ブレーズド格子に代えて、種々の代替物を選
択的に使用し、あるいは適宜なる修正および変更を施し
て実施することが可能である。
Further, in this embodiment, the case where the transmission type blazed grating 83 is used as the diffractive optical element has been described. However, for example, a reflection type blazed grating or the like may be used as the diffractive optical element. In this way, various alternatives can be selectively used instead of the transmissive blazed grating, or can be implemented with appropriate modifications and changes.

【0028】〔第3の実施の形態〕(請求項3に対応) 図7は、本発明の第3の実施の形態に係るマルチビーム
光走査装置の要部である同期信号検出装置に用いる回折
光学素子の構成を示している。図5および図6で説明し
た透過型ブレーズド格子83は、格子溝の溝面に所望の
ブレーズド角θを与えた傾斜面としたが、回折光学素子
を、図7に示すようにバイナリ型ブレーズド格子84と
すると加工が容易である。
[Third Embodiment] (corresponding to claim 3) FIG. 7 shows a diffraction pattern used in a synchronization signal detecting device which is a main part of a multi-beam optical scanning device according to a third embodiment of the present invention. 2 shows a configuration of an optical element. The transmission type blazed grating 83 described in FIGS. 5 and 6 is an inclined surface having a desired blazed angle θ on the groove surface of the grating groove, but the diffractive optical element is changed to a binary blazed grating as shown in FIG. If it is 84, processing is easy.

【0029】ここで、「バイナリ型」とは、図7に示す
ように、回折溝の溝面を形成する傾斜面に代えて、ブレ
ーズド角θに従って階段状に加工することを意味してお
り、その階段面のなす角度が所要のブレーズド角θとな
るように加工される。このようなバイナリ型ブレーズド
格子84を用いても、上述した図5および図6の場合と
同様に同期信号を個別に検出することができる。したが
って、複数の光ビームB11、B12、B13およびB
14の同期信号を、各独立に、より正確に検出すること
ができ、しかも同期信号検出装置の回折光学素子を容易
に製造することができる。
Here, the "binary type" means that, as shown in FIG. 7, instead of the inclined surface forming the groove surface of the diffraction groove, processing is performed stepwise according to the blazed angle θ. It is processed so that the angle formed by the step surface becomes a required blazed angle θ. Even when such a binary blazed grating 84 is used, a synchronization signal can be individually detected as in the case of FIGS. 5 and 6 described above. Therefore, a plurality of light beams B11, B12, B13 and B
The fourteen synchronization signals can be more accurately detected independently of each other, and the diffractive optical element of the synchronization signal detector can be easily manufactured.

【0030】〔第4の実施の形態〕(請求項4に対応) 図8は、本発明の第4の実施の形態に係るマルチビーム
光走査装置の要部である同期信号検出装置に用いる受光
素子の構成を示している。図8は、上述した第1〜第3
の実施の形態に示された同期信号検出装置の構成におい
て回折光学素子で分割された同期光ビームを受光する受
光素子として用いられるフォトダイオードの構成を示し
たものである。図8に示すフォトダイオード85は、複
数の受光部851、852、853および854が単一
の半導体片850上に形成された、いわゆるモノリシッ
クな構成を有している。
[Fourth Embodiment] (corresponding to claim 4) FIG. 8 shows a light receiving device used in a synchronization signal detecting device which is a main part of a multi-beam optical scanning device according to a fourth embodiment of the present invention. 1 shows the configuration of an element. FIG. 8 shows the first to third embodiments described above.
13 shows a configuration of a photodiode used as a light receiving element for receiving a synchronous light beam split by a diffractive optical element in the configuration of the synchronous signal detecting device shown in the embodiment. The photodiode 85 shown in FIG. 8 has a so-called monolithic configuration in which a plurality of light receiving portions 851, 852, 853, and 854 are formed on a single semiconductor piece 850.

【0031】各受光部851〜854の受光面の間隔
は、回折光学素子と受光素子との配置距離、および各光
ビームB11、B12、B13およびB14に対して何
次の回折光ビームを同期光ビームとして選択するかに基
づいて、一意的に決定される。各受光部851〜854
間は、実質的に絶縁されており、従って個別の同期光ビ
ームを各独立に検知することが可能である。したがっ
て、複数の光ビームB11、B12、B13およびB1
4の同期信号を、各独立に且つ正確に検出することがで
きる。
The distance between the light receiving surfaces of the light receiving portions 851 to 854 is determined by the arrangement distance between the diffractive optical element and the light receiving element, and the order of the diffracted light beam with respect to each of the light beams B11, B12, B13 and B14. It is uniquely determined based on whether the beam is selected. Each light receiving section 851 to 854
The gaps are substantially insulated, so that individual synchronization light beams can be detected independently of each other. Therefore, the plurality of light beams B11, B12, B13 and B1
4 can be detected independently and accurately.

【0032】また、フォトダイオードに代えて、フォト
トランジスタを用いるなどしてもよい。
A phototransistor may be used in place of the photodiode.

【0033】〔第5の実施の形態〕(請求項5に対応) 図9は、本発明の第5の実施の形態に係るマルチビーム
光走査装置の要部である同期信号検出装置に用いる受光
素子の構成を示している。図9は、上述した第1〜第3
の実施の形態に示された同期信号検出装置の構成におい
て回折光学素子で分割された同期光ビームを受光する受
光素子として用いられるフォトダイオードの構成を示し
たものである。図9に示すフォトダイオード86は、複
数の受光部861、862、863および864が、そ
れぞれ個別の半導体片ST1、ST2、ST3およびS
T4上に形成されたものを複合させた、いわゆるハイブ
リッドな構成を有している。
[Fifth Embodiment] (corresponding to claim 5) FIG. 9 shows a light receiving device used in a synchronization signal detecting device which is a main part of a multi-beam optical scanning device according to a fifth embodiment of the present invention. 1 shows the configuration of an element. FIG. 9 shows the above-described first to third embodiments.
13 shows a configuration of a photodiode used as a light receiving element for receiving a synchronous light beam split by a diffractive optical element in the configuration of the synchronous signal detecting device shown in the embodiment. In the photodiode 86 shown in FIG. 9, a plurality of light receiving portions 861, 862, 863 and 864 are formed by individual semiconductor pieces ST1, ST2, ST3 and S, respectively.
It has a so-called hybrid configuration in which components formed on T4 are combined.

【0034】各受光部861〜864の受光面の間隔
は、回折光学素子と受光素子との配置距離、および各光
ビームB11、B12、B13およびB14に対して何
次の回折光ビームを同期光ビームとして選択するかに基
づいて、一意的に決定される。各受光部861〜864
は、個別の半導体であるので、加工も容易であり、個別
の同期光ビームを各独立に検知することが可能である。
したがって、複数の光ビームB11、B12、B13お
よびB14の同期信号を、各独立に且つ正確に検出する
ことができ、しかも容易に同期信号検出装置の受光素子
を製造することができる。この場合も、フォトダイオー
ドに代えて、フォトトランジスタを用いるなどしてもよ
い。さらに、受光素子としては、CCDイメージセンサ
を用いるなどしてもよい。
The distance between the light receiving surfaces of the light receiving portions 861 to 864 is determined by the arrangement distance between the diffractive optical element and the light receiving element and the order of the diffracted light beam with respect to each of the light beams B11, B12, B13 and B14. It is uniquely determined based on whether the beam is selected. Each light receiving section 861 to 864
Since each is an individual semiconductor, it is easy to process, and it is possible to independently detect individual synchronous light beams.
Therefore, the synchronization signals of the plurality of light beams B11, B12, B13, and B14 can be independently and accurately detected, and the light receiving element of the synchronization signal detection device can be easily manufactured. Also in this case, a phototransistor may be used instead of the photodiode. Further, a CCD image sensor may be used as the light receiving element.

【0035】[0035]

【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、複
数の光ビームによって、被走査面上の主走査方向に平行
で且つ該被走査面上に副走査方向に並んだ複数の走査線
にて、該被走査面を同時に走査するマルチビーム光走査
装置において、前記複数の各光ビームを回折光学素子を
用いて前記副走査方向に回折させ、その回折光を利用し
て前記各ビームを光ビーム検出素子で個別に検出するよ
うにして、同期信号検出装置を構成して、前記各光ビー
ムが被走査面の必須走査領域の書込を開始する書き出し
のタイミングを検知することにより、簡単な構成である
にもかかわらず、複数の光ビームの光ビーム間隔よりも
広いピッチで各光ビームを有効に分離して受光検出する
ことができ、複数の光ビームの副走査方向についての同
期位置を各別に検出し、的確に同期信号を得ることが可
能な光走査装置を提供することができる。
As described above, according to the present invention, a plurality of scanning beams parallel to the main scanning direction on the surface to be scanned and arranged in the sub scanning direction on the surface to be scanned by the plurality of light beams. A multi-beam optical scanning device that simultaneously scans the surface to be scanned with a line, diffracts each of the plurality of light beams in the sub-scanning direction using a diffractive optical element, and uses the diffracted light to apply each of the beams. By individually detecting by the light beam detection element, by configuring a synchronization signal detection device, by detecting the timing of the write start when each light beam starts writing in the essential scanning area of the scanned surface, Despite the simple structure, each light beam can be effectively separated and received and detected at a pitch wider than the light beam interval of the plurality of light beams, and synchronization of the plurality of light beams in the sub-scanning direction can be achieved. Check the position separately And, it is possible to provide an optical scanning device capable of obtaining an accurate synchronization signals.

【0036】また、本発明の請求項2の光走査装置によ
れば、前記回折光学素子を、前記主走査方向に平行な格
子を有するブレーズド格子で構成することにより、特
に、各光ビームの特定の回折光を強調することができ、
同期信号を得るための複数の光ビームをより正確に検出
することができる。本発明の請求項3の光走査装置によ
れば、前記ブレーズド格子を、格子溝のブレーズド角を
なすブレーズド傾斜面を階段状に形成したバイナリ型ブ
レーズド格子で構成することにより、特に、同期信号を
得るために光ビームを検出するためのブレーズド格子を
容易に製造することができる。
According to the optical scanning device of the second aspect of the present invention, the diffractive optical element is constituted by a blazed grating having a grating parallel to the main scanning direction. Can emphasize the diffracted light of
A plurality of light beams for obtaining a synchronization signal can be detected more accurately. According to the optical scanning device of the third aspect of the present invention, the blazed grating is constituted by a binary blazed grating in which a blazed inclined surface forming a blazed angle of a grating groove is formed in a stepwise manner, and in particular, a synchronization signal is formed. A blazed grating for detecting the light beam to obtain it can be easily manufactured.

【0037】本発明の請求項4の光走査装置によれば、
前記光ビーム検出素子を、単一の半導体片上にモノリシ
ックに一体化されて配列された複数の半導体受光部で構
成することにより、特に、複数の光ビームを各独立に検
出して、光ビーム毎に独立した適切な同期信号を得るこ
とができる。本発明の請求項5の光走査装置によれば、
前記光ビーム検出素子を、各別の半導体片上に個別に形
成されてハイブリッドに一体化されて配列された複数の
半導体光受光部で構成することにより、特に、光ビーム
を検出して同期信号を得る光ビーム検出素子を半導体を
用いて容易に製造することができる。
According to the optical scanning device of the fourth aspect of the present invention,
By configuring the light beam detecting element with a plurality of semiconductor light receiving sections monolithically integrated and arranged on a single semiconductor piece, in particular, detecting a plurality of light beams independently of each other, And an appropriate synchronization signal independent of the above can be obtained. According to the optical scanning device of claim 5 of the present invention,
By configuring the light beam detecting element with a plurality of semiconductor light receiving sections individually formed on each different semiconductor piece and arranged in a hybrid integrated manner, in particular, a light beam is detected and a synchronization signal is generated. The obtained light beam detecting element can be easily manufactured using a semiconductor.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1の実施の形態に係るマルチビーム
光走査装置の要部の構成を模式的に示す斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view schematically showing a configuration of a main part of a multi-beam optical scanning device according to a first embodiment of the present invention.

【図2】図1のマルチビーム光走査装置の同期信号検出
装置の詳細な構成を模式的に示す側面図である。
FIG. 2 is a side view schematically showing a detailed configuration of a synchronization signal detection device of the multi-beam optical scanning device of FIG.

【図3】図2の同期信号検出装置の回折光学素子として
の透過型位相格子の作用を説明するための模式的側面図
である。
FIG. 3 is a schematic side view for explaining the operation of a transmission-type phase grating as a diffractive optical element of the synchronization signal detection device of FIG. 2;

【図4】図2の同期信号検出装置の動作を説明するため
の模式的側面図である。
FIG. 4 is a schematic side view for explaining the operation of the synchronization signal detection device of FIG. 2;

【図5】本発明の第2の実施の形態に係るマルチビーム
光走査装置の回折光学素子として透過型ブレーズド格子
を用いた同期信号検出装置の要部の構成を模式的に示す
側面図である。
FIG. 5 is a side view schematically showing a configuration of a main part of a synchronization signal detecting device using a transmission type blazed grating as a diffractive optical element of a multi-beam optical scanning device according to a second embodiment of the present invention. .

【図6】図5の同期信号検出装置の動作を説明するため
の模式的側面図である。
FIG. 6 is a schematic side view for explaining the operation of the synchronization signal detection device of FIG. 5;

【図7】本発明の第3の実施の形態に係るマルチビーム
光走査装置の同期信号検出装置に回折光学素子として用
いるバイナリ型ブレーズド格子の要部の詳細な構成を模
式的に示す側面図である。
FIG. 7 is a side view schematically showing a detailed configuration of a main part of a binary blazed grating used as a diffractive optical element in a synchronization signal detecting device of a multi-beam optical scanning device according to a third embodiment of the present invention. is there.

【図8】本発明の第4の実施の形態に係るマルチビーム
光走査装置の同期信号検出装置に受光素子として用いる
モノリシック型フォトダイオードの要部の詳細な構成を
模式的に示す斜視図である。
FIG. 8 is a perspective view schematically showing a detailed configuration of a main part of a monolithic photodiode used as a light receiving element in a synchronization signal detecting device of a multi-beam optical scanning device according to a fourth embodiment of the present invention. .

【図9】本発明の第5の実施の形態に係るマルチビーム
光走査装置の同期信号検出装置に受光素子として用いる
ハイブリッド型フォトダイオードの要部の詳細な構成を
模式的に示す斜視図である。
FIG. 9 is a perspective view schematically showing a detailed configuration of a main part of a hybrid photodiode used as a light receiving element in a synchronization signal detecting device of a multi-beam optical scanning device according to a fifth embodiment of the present invention. .

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 光源 2 コリメートレンズ 3 シリンドリカルレンズ 4 光偏向器 5 fθレンズ 6 長尺トロイダルレンズ 7 感光体 8 同期信号検出装置 81 透過型位相格子 82 受光素子 83 透過型ブレーズド格子 84 バイナリ型ブレーズド格子 85 モノリシック型フォトダイオード 86 ハイブリッド型フォトダイオード 850,ST1〜ST4 半導体片 851〜854,861〜864 受光部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Light source 2 Collimating lens 3 Cylindrical lens 4 Optical deflector 5 fθ lens 6 Long toroidal lens 7 Photoconductor 8 Synchronous signal detector 81 Transmission type phase grating 82 Light receiving element 83 Transmission type blazed grating 84 Binary type blazed grating 85 Monolithic photo Diode 86 Hybrid photodiode 850, ST1 to ST4 Semiconductor piece 851 to 854, 861 to 864 Light receiving section

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 複数の光ビームによって、被走査面上の
主走査方向に平行で且つ該被走査面上に副走査方向に並
んだ複数の走査線にて、該被走査面を同時に走査するマ
ルチビーム光走査装置において、 前記複数の各光ビームが被走査面の必須走査領域の書込
を開始する書き出しのタイミングを検知するための同期
信号検出装置は、 前記各光ビームを前記副走査方向に回折させる回折光学
素子と、 前記回折光学素子で回折された各光ビームを回折光を利
用して各ビーム毎に個別に検出する光ビーム検出素子と
を具備することを特徴とする光走査装置。
1. A surface to be scanned is simultaneously scanned by a plurality of light beams by a plurality of scanning lines parallel to a main scanning direction on the surface to be scanned and arranged in a sub-scanning direction on the surface to be scanned. In the multi-beam optical scanning device, a synchronization signal detecting device for detecting a writing start timing at which each of the plurality of light beams starts writing in an indispensable scanning region of the surface to be scanned, wherein the synchronization signal detecting device detects the light beams in the sub-scanning direction. An optical scanning device, comprising: a diffractive optical element that diffracts the light beam into a plurality of light beams; and a light beam detecting element that individually detects each light beam diffracted by the diffractive optical element by using the diffracted light. .
【請求項2】 前記回折光学素子は、前記主走査方向に
平行な格子を有するブレーズド格子を含むことを特徴と
する請求項1に記載の光走査装置。
2. The optical scanning device according to claim 1, wherein the diffractive optical element includes a blazed grating having a grating parallel to the main scanning direction.
【請求項3】 前記ブレーズド格子は、格子溝のブレー
ズド角をなすブレーズド傾斜面を階段状に形成したバイ
ナリ型ブレーズド格子を含むことを特徴とする請求項2
に記載の光走査装置。
3. The blazed grating includes a binary blazed grating in which a blazed inclined surface forming a blazed angle of a grating groove is formed in a stepped manner.
3. The optical scanning device according to claim 1.
【請求項4】 前記光ビーム検出素子は、単一の半導体
片上にモノリシックに一体化されて配列された複数の半
導体受光部を含むことを特徴とする請求項1に記載の光
走査装置。
4. The optical scanning device according to claim 1, wherein the light beam detecting element includes a plurality of semiconductor light receiving units monolithically integrated and arranged on a single semiconductor piece.
【請求項5】 前記光ビーム検出素子は、各別の半導体
片上に個別に形成されてハイブリッドに一体化されて配
列された複数の半導体光受光部を含むことを特徴とする
請求項1に記載の光走査装置。
5. The light beam detecting element according to claim 1, wherein the light beam detecting element includes a plurality of semiconductor light receiving portions individually formed on each different semiconductor piece and arranged in a hybrid integrated manner. Optical scanning device.
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