JPH1174586A - Water-leakage detector for solid laser head - Google Patents

Water-leakage detector for solid laser head

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JPH1174586A
JPH1174586A JP23237497A JP23237497A JPH1174586A JP H1174586 A JPH1174586 A JP H1174586A JP 23237497 A JP23237497 A JP 23237497A JP 23237497 A JP23237497 A JP 23237497A JP H1174586 A JPH1174586 A JP H1174586A
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JP
Japan
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water
laser head
solid
leakage
leak
Prior art date
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Application number
JP23237497A
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Japanese (ja)
Inventor
Hideaki Okubo
英明 大久保
Teiichiro Chiba
貞一郎 千葉
Junichi Nakagawa
純一 仲川
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Komatsu Ltd
Original Assignee
Komatsu Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To promptly detect water leakage by preventing water-leakage from entering nearby peripheral device, at a laser head part. SOLUTION: The water-leakage detecting device comprises a solid laser head 1 which is divided into a lower part housing 1a wherein a laser excitation lamp 3 and laser medium solid 2 are housed in an opening part 5 where a cooling liquid is packed and an upper part housing 1b as a lid body for the lower part housing, cooling liquid supply channels 12 and 13 for supplying the cooling liquid to the opening part 5 or the lower part housing of the solid laser head 1, and cooling liquid discharge channels 15 and 16 wherein the cooling liquid is discharged through the opening part 5 of the lower part housing of the solid laser head 1. Here, a leaked water reservoir 20 which surrounding the solid laser head 1, comprises a bottom surface where a side wall higher than the lower part housing and the laser head 1 are placed and fixed, and a water-leakage detecting means 23 for detecting a leaked water from the solid laser head 1 which flows in the leaked water reservoir 20 are provided.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明はレーザ励起用ラン
プおよびレーザ媒質用固体などが収容される固体レーザ
ヘッド内に充填される冷却液の水漏れを検出する固体レ
ーザヘッドの漏水検出装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a solid-state laser head leakage detecting apparatus for detecting a leakage of a cooling liquid filled in a solid-state laser head containing a laser excitation lamp and a solid for a laser medium.

【0002】[0002]

【従来の技術】YAGレーザなどの固体レーザにおいて
は、レーザ励起用ランプの光をYAGロッドに照射して
レーザ光を発生させるが、この際励起ランプに注入され
たエネルギーがレーザ光に変換される割合は極めて少な
く、このため励起ランプの点灯に極めて大きな電力を投
入する必要がある。また、レーザ励起用ランプおよびY
AGロッドが収容されている容器(レーザヘッド)の大
きさに比べ、そこで消費される電力は非常に大きい。
2. Description of the Related Art In a solid-state laser such as a YAG laser, a laser excitation lamp is irradiated on a YAG rod to generate laser light. At this time, the energy injected into the excitation lamp is converted into laser light. The ratio is very small, and therefore it is necessary to apply a very large power to the operation of the excitation lamp. Further, a laser excitation lamp and Y
The power consumed there is much larger than the size of the container (laser head) in which the AG rod is stored.

【0003】そこで、YAGレーザにおいては、通常、
レーザヘッド内に冷却水用の水路を形成し、レーザ励起
用ランプ、YAGロッド、集光反射鏡などを純水などの
冷却液に浸して冷却する方法がとられている。冷却液
は、レーザヘッド外部に設けたタンクからポンプによっ
て供給され、排出液は冷却された後、タンクに戻るとい
うように循環されている。
Therefore, in a YAG laser, usually,
A method of forming a cooling water channel in a laser head and immersing a laser excitation lamp, a YAG rod, a condensing reflector, and the like in a cooling liquid such as pure water for cooling is used. The cooling liquid is supplied from a tank provided outside the laser head by a pump, and the discharged liquid is circulated so as to be cooled and then returned to the tank.

【0004】また、YAGレーザにおいて、レーザヘッ
ドのハウジングは、励起ランプの定期交換や内部部品の
メンテナンスなどを行うために、レーザ励起用ランプお
よびレーザ媒質用固体などが収容されている下部ハウジ
ングと、蓋体としての上部ハウジングとに分割されるよ
うになっており、励起ランプの定期交換等の際には上部
ハウジングを外して作業を行なう。なお、上部ハウジン
グを取り外す際には、ハウジング内に充填されていた冷
却水を排出して作業が行われる。また、レーザヘッド内
に充填されている冷却水が何らかの要因によって漏れて
しまうと、レーザヘッドが高温になって危険であるの
で、従来のYAGレーザには、前記冷却液供給用のタン
クに水位レベルを検出するセンサを設けて漏水を検出す
るようにしていた。この水位レベルセンサにおいては、
水位が僅かに低下しただけで漏水を検出するように設定
した場合、冷却液を通常に循環させるだけで漏水検出信
号が発生されてしまうため、漏水検出信号が発生される
水位レベルを下げ、タンクの水位が1/4〜1/2程度
下がった場合に、漏水検出信号を発生させるように設定
していた。
In a YAG laser, a laser head housing includes a lower housing containing a laser excitation lamp, a solid for a laser medium, and the like, for performing regular replacement of an excitation lamp and maintenance of internal components. The upper lamp is divided into an upper housing as a lid, and the work is performed by removing the upper housing when the excitation lamp is periodically replaced. When removing the upper housing, the operation is performed by discharging the cooling water filled in the housing. Also, if the cooling water filled in the laser head leaks for some reason, the temperature of the laser head becomes high and it is dangerous. Therefore, in the conventional YAG laser, the water level is stored in the tank for supplying the cooling liquid. And a sensor for detecting water leakage is provided. In this water level sensor,
If the water level is set to detect water leakage only slightly, the water leakage detection signal will be generated just by circulating the coolant normally. Is set to generate a water leak detection signal when the water level of the falls by about 4 to 2.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】このように、従来のY
AGレーザにおいては、レーザヘッド内の冷却水がかな
りの量減らないことには漏水検出信号が発生されないた
めに、レーザヘッドの下方に収納されている電源装置や
制御用基板が含まれる周辺装置に漏れた冷却水が進入
し、これらの故障を引き起こしていた。
As described above, the conventional Y
In the case of the AG laser, since the water leak detection signal is not generated unless the cooling water in the laser head is significantly reduced, peripheral devices including a power supply device and a control board housed below the laser head are not used. Leaked water entered and caused these failures.

【0006】また、上記従来装置においては、前述した
ように、レーザヘッドのハウジングは、励起ランプの定
期交換や内部部品のメンテナンスなどを行うために、下
部ハウジングと、蓋体としての上部ハウジングとに分割
されているが、上記ランプの定期交換などの際に、ラン
プの交換終了後、上部ハウジングを取付ボルトによって
再度下部ハウジングに締め付け固定する。しかし、この
際、取付ボルトの締め付けが不足した場合、上部ハウジ
ングと下部ハウジングとの間はOリングで一応はシール
されているが、上部ハウジングと下部ハウジングとの間
に隙間が生じてしまう。
In the above-mentioned conventional apparatus, as described above, the housing of the laser head is divided into a lower housing and an upper housing as a lid in order to perform periodic replacement of the excitation lamp and maintenance of internal parts. Although the lamp is divided, when the lamp is periodically replaced, the upper housing is tightened and fixed to the lower housing again by mounting bolts after the lamp replacement is completed. However, at this time, if the tightening of the mounting bolts is insufficient, the upper housing and the lower housing are temporarily sealed with an O-ring, but a gap is generated between the upper housing and the lower housing.

【0007】このように、従来装置において、上部ハウ
ジング用の取付ボルトの締結不足が発生した場合、その
後、レーザヘッド内に冷却水を供給してレーザの運転を
開始した際、前述した隙間から冷却液が噴出かつ垂れ流
れ、この漏水によってレーザヘッドの下方に配置された
周辺装置の故障を引き起こしていた。このような場合に
おいて、前記冷却液供給用のタンクに設けられている漏
水センサがタンク水位の低下を検出するまでにはかなり
の量の冷却水が既に漏水されている。
As described above, in the conventional apparatus, when the mounting bolt for the upper housing is insufficiently fastened, when the laser operation is started by supplying cooling water into the laser head, the cooling is performed through the above-described gap. The liquid spouted and dripped, and this water leakage caused a failure of a peripheral device arranged below the laser head. In such a case, a considerable amount of cooling water has already leaked before the water leak sensor provided in the cooling liquid supply tank detects a decrease in the tank water level.

【0008】この発明はこのような実情に鑑みてなされ
たもので、レーザヘッド部での漏水を周りの周辺装置に
進入させることなく、漏水を速やかに検出するようにし
たレーザヘッドの漏水検出装置を提供することを目的と
する。
The present invention has been made in view of such circumstances, and has a water leak detecting device for a laser head in which the water leak at a laser head portion is detected promptly without entering surrounding peripheral devices. The purpose is to provide.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段及び作用効果】この発明で
は、冷却液が充填される開口部内にレーザ励起用ランプ
およびレーザ媒質用固体が収容された下部ハウジングお
よびこの下部ハウジングの蓋体としての上部ハウジング
に分割される固体レーザヘッドと、前記固体レーザヘッ
ドの下部ハウジングの前記開口部に冷却液を供給するた
めの冷却液供給通路と、前記固体レーザヘッドの下部ハ
ウジングの前記開口部から冷却液が排出される冷却液排
出通路とを備えた固体レーザヘッドの漏水検出装置にお
いて、前記固体レーザヘッドを囲繞しかつ前記下部ハウ
ジングより高い高さの側壁および前記レーザヘッドを載
置固定するための底面を有する漏水溜めと、この漏水溜
めに流れ込んだ前記固体レーザヘッドからの漏水を検出
する漏水検出手段とを備えるようにしている。
According to the present invention, a lower housing containing a laser excitation lamp and a solid for a laser medium in an opening filled with a cooling liquid, and an upper portion as a lid of the lower housing are provided. A solid state laser head divided into a housing, a cooling liquid supply passage for supplying a cooling liquid to the opening of the lower housing of the solid state laser head, and a cooling liquid from the opening of the lower housing of the solid state laser head. In the solid-state laser head leak detection device having a coolant discharge passage to be discharged, a side wall surrounding the solid-state laser head and having a height higher than the lower housing and a bottom surface for mounting and fixing the laser head are provided. Water leak detecting means for detecting water leak from the solid-state laser head flowing into the water leak reservoir having the same It is so equipped with a.

【0010】かかる発明では、レーザヘッドの四方を取
り囲みかつ前記下部ハウジングより高い高さの側壁と底
面からなる漏水溜め内にレーザヘッドを収容し、この漏
水溜めに流れ込んだ前記固体レーザヘッドからの漏水を
検出するようにしている。すなわち、レーザヘッドから
漏れた冷却液はその周りの漏水溜め内に溜まり、漏水溜
め外部に漏れることはない。また、レーザヘッドから漏
水溜め内に冷却液が流下した際、この水漏れは漏水検出
手段によって即座に検出される。
In this invention, the laser head is accommodated in a water leakage reservoir surrounding four sides of the laser head and having a height higher than that of the lower housing and formed of a side wall and a bottom surface. Is to be detected. That is, the coolant leaked from the laser head is stored in the surrounding water reservoir and does not leak out of the water reservoir. Further, when the coolant flows down from the laser head into the water leak reservoir, the water leak is immediately detected by the water leak detecting means.

【0011】このようにこの発明によれば、漏水溜めを
設けるようにしたのでレーザヘッドからの漏水が周辺機
器に進入することを未然に防止することができる。ま
た、漏水溜めに流れ込んだ漏水を検出するようにしたの
で、漏水が発生した場合でもこの漏水を即座に検出する
ことができる。
As described above, according to the present invention, since the water leak reservoir is provided, it is possible to prevent the water leak from the laser head from entering the peripheral equipment. Further, since the water leaking into the water leak reservoir is detected, even if the water leak occurs, the water leak can be immediately detected.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】以下この発明の実施例を添付図面
に従って詳細に説明する。
Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings.

【0013】図1〜図4にこの発明の実施例を示す。こ
の実施例は本発明をYAGレーザに適用するようにして
いる。
1 to 4 show an embodiment of the present invention. In this embodiment, the present invention is applied to a YAG laser.

【0014】図2はレーザヘッド1の蓋体1bを外した
状態の上面図、図1は図2の横断面図、図3は図2のA
−A断面図、図4は図2のB−B断面図である。
FIG. 2 is a top view of the laser head 1 with the lid 1b removed, FIG. 1 is a cross-sectional view of FIG. 2, and FIG.
FIG. 4 is a sectional view taken along line BB of FIG. 2.

【0015】これらの図において、レーザヘッド1は、
YAGロッド2、励起用アークランプ3が収納された下
部ハウジング1aと、蓋体としての上部ハウジング1b
に分割可能になっており、これら下部ハウジング1aお
よび上部ハウジング1b間は下部ハウジング1aに設け
れたOリング4によってシールされている。下部ハウジ
ング1aには、YAGロッド2、励起用アークランプ3
などが収容されかつこれらを冷却するための冷却液(純
水など)が循環するための開口空間5が形成されてい
る。上部ハウジング1bは、取付ボルト6によって下部
ハウジング1aに締結固定され、これら取付ボルト6の
締結が不足すると、下部ハウジング1aおよび上部ハウ
ジング1b間に隙間が生じ、漏水の原因となる。
In these figures, a laser head 1
Lower housing 1a in which YAG rod 2 and arc lamp 3 for excitation are stored, and upper housing 1b as a lid
The lower housing 1a and the upper housing 1b are sealed by an O-ring 4 provided on the lower housing 1a. The lower housing 1a has a YAG rod 2, an excitation arc lamp 3
And the like, and an opening space 5 for circulating a cooling liquid (pure water or the like) for cooling them is formed. The upper housing 1b is fastened and fixed to the lower housing 1a by the mounting bolts 6. If the fastening of these mounting bolts 6 is insufficient, a gap is generated between the lower housing 1a and the upper housing 1b, which causes water leakage.

【0016】レーザヘッド1は、レーザベース7に載置
固定されている。実際には、レーザヘッド1とレーザベ
ース7との間には、漏水通過用開孔8、他の機器を冷却
するための冷却液バイパス通路9a,9bなどが形成さ
れた基体10が介在され、この基体10上にレーザヘッ
ド1が載置固定されている。また、レーザベース7のレ
ーザヘッド1が載置固定される箇所には、凹部17が形
成されており、このためレーザヘッド1が載置固定され
た基体10の四方には、溝17aが形成されていること
になる。
The laser head 1 is mounted and fixed on a laser base 7. Actually, between the laser head 1 and the laser base 7, a base 10 having a water leakage passage opening 8, cooling liquid bypass passages 9 a and 9 b for cooling other equipment, and the like is interposed. The laser head 1 is mounted and fixed on the base 10. A recess 17 is formed in the laser base 7 at a position where the laser head 1 is mounted and fixed. For this reason, grooves 17a are formed in four sides of the base 10 on which the laser head 1 is mounted and fixed. Will be.

【0017】レーザベース7には、図示しないポンプに
よってタンクから供給された冷却液をレーザベース1の
冷却液入り口11に供給する供給通路12,13と、レ
ーザベース1の冷却液出口14から排出された冷却液を
排出するための排出通路15,16とが形成されてい
る。排出通路16から排出された冷却水は、熱交換器
(図示せず)で冷却された後、タンクに戻される。
The laser base 7 is supplied with a cooling liquid supplied from a tank by a pump (not shown) to a cooling liquid inlet 11 of the laser base 1, and is discharged from a cooling liquid outlet 14 of the laser base 1. Discharge passages 15 and 16 for discharging the cooled coolant are formed. The cooling water discharged from the discharge passage 16 is returned to the tank after being cooled by a heat exchanger (not shown).

【0018】基体10に形成された冷却液バイパス通路
9a,9bは、基体10上に配設されたホース継手25
a、25bに連結している。このホース継手25a,2
5bには、さらに冷却液用配管26a,26bが連結さ
れており、これら冷却液用配管26a,26bを流れる
冷却水を用いて他の機器、例えばQスイッチやYAGロ
ッドのホルダなどを冷却する。
The coolant bypass passages 9a and 9b formed in the base 10 are connected to hose joints 25 provided on the base 10.
a, 25b. This hose joint 25a, 2
Cooling liquid pipes 26a and 26b are further connected to 5b, and other devices such as a Q switch and a YAG rod holder are cooled using the cooling water flowing through the cooling liquid pipes 26a and 26b.

【0019】レーザベース7の凹部17を形成する内壁
面18にレーザヘッド1からの漏水を遮断する遮断壁を
構成する漏水遮断カバー20が取り付けられている。す
なわち、この漏水遮断カバー20によってレーザヘッド
1の四方を取り囲むようにしている。
On the inner wall surface 18 of the laser base 7 forming the recess 17 is mounted a water leakage blocking cover 20 which forms a blocking wall for blocking water leakage from the laser head 1. That is, the water leakage blocking cover 20 surrounds the laser head 1 on all sides.

【0020】漏水遮断カバー20の高さは、レーザヘッ
ドの下部ハウジング1aと上部ハウジング1bの分割
面、すなわち下部ハウジングの高さより高く設定されて
おり、これにより前記分割面から横方向へ噴出される漏
水も遮断できるようにしている。漏水遮断カバーの上部
は、4つの壁面のうち3壁面が内側にL字状に曲折して
ひさしを形成しており、冷却水が外部に飛散し難くなっ
ている。
The height of the water leakage blocking cover 20 is set to be higher than the height of the divided surface of the lower housing 1a and the upper housing 1b of the laser head, that is, the height of the lower housing. Water leaks can be shut off. At the upper part of the water leakage blocking cover, three of the four walls are bent inwardly in an L-shape to form an eave, so that the cooling water is less likely to scatter outside.

【0021】すなわち、この実施例においては、漏水遮
断カバー20を側壁とし、レーザベース7の上面を底面
とした漏水溜めの中にレーザヘッド1を収容してレーザ
ヘッド1から漏水した冷却水を一時的に溜めるようにし
ている。
That is, in this embodiment, the laser head 1 is accommodated in a water leakage reservoir having the water leakage blocking cover 20 as a side wall and the upper surface of the laser base 7 as a bottom surface, and cooling water leaked from the laser head 1 is temporarily stored therein. We are trying to accumulate it.

【0022】また、レーザベース7には、基体10に形
成された漏水通過用開孔8に対応する位置に漏水排出通
路21が形成されている。したがって、レーザベース1
で漏れた冷却水は、基体10の周りに形成された溝17
aに流れ込み、その後図2の矢印Fで示したように回り
込みによって漏水通過用開孔8に集まり、さらに漏水排
出通路21を通ってレーザベース1の下方に排出される
ことになる。
In the laser base 7, a water leakage discharge passage 21 is formed at a position corresponding to the water leakage passage opening 8 formed in the base 10. Therefore, the laser base 1
The cooling water leaked at the groove 17 is formed around the groove 17 formed around the base 10.
Then, as shown by the arrow F in FIG. 2, the fluid flows into the water leakage passage opening 8 and then is discharged to the lower part of the laser base 1 through the water leakage discharge passage 21.

【0023】レーザベース1の下方には、漏水センサ取
付カバー22によって漏水排出通路21を通って排出さ
れた漏水を溜める第2の漏水溜めが形成されており、こ
の漏水センサ取付カバー22の漏水排出通路21に対応
する位置に漏水センサ23が配置されている。漏水セン
サ23は液体の付着を検出すると、漏水検出信号を発生
するもので、この漏水検出信号は図示しないコントロー
ラに入力されている。コントローラは漏水センサ23か
ら漏水検出信号が入力されると、冷却水をレーザヘッド
1に供給するためのポンプを直ちに停止させ、レーザヘ
ッド1への冷却水の供給を停止させる。
Below the laser base 1, there is formed a second water reservoir for storing the water leaked through the water discharge passage 21 by the water leak sensor mounting cover 22. A water leak sensor 23 is arranged at a position corresponding to the passage 21. The water leak sensor 23 generates a water leak detection signal when detecting the adhesion of the liquid, and the water leak detection signal is input to a controller (not shown). When a water leakage detection signal is input from the water leakage sensor 23, the controller immediately stops a pump for supplying cooling water to the laser head 1 and stops supplying cooling water to the laser head 1.

【0024】このようにこの実施例によれば、レーザヘ
ッド1を漏水遮断カバー20で囲繞し、この漏水遮断カ
バー20によって形成した漏水溜めにレーザヘッド1か
らの漏水を溜めるようにしたので、レーザヘッド1の下
方あるいは側方の周辺機器に漏水が進入することを未然
に防止することができる。また、漏水が発生した場合、
漏水は漏水通過用開孔8、漏水排出通路21を通って漏
水センサ23で速やかに検知され、この検知段階で冷却
水の供給は停止されるために、漏水量が少ない段階で漏
水を停止させることができる。
As described above, according to this embodiment, the laser head 1 is surrounded by the water leakage blocking cover 20, and water leakage from the laser head 1 is stored in the water leakage reservoir formed by the water leakage blocking cover 20. It is possible to prevent leaks from entering peripheral devices below or beside the head 1. If a leak occurs,
Leakage is quickly detected by the leakage sensor 23 through the leakage passage opening 8 and the leakage discharge passage 21, and the supply of cooling water is stopped at this detection stage, so that the water leakage is stopped at a stage where the amount of leakage is small. be able to.

【0025】また、本実施例の場合、漏水遮断カバー2
0は、基体10上に配置したホース継手25a、25b
の外側に配設されているので、レーザヘッド1からの水
漏ればかりでなく、これらホース継手25a、25bか
らの水漏れも遮断することができる。
In the case of this embodiment, the water leakage blocking cover 2
0 is a hose joint 25a, 25b disposed on the base 10.
, It is possible to block not only water leakage from the laser head 1 but also water leakage from these hose joints 25a and 25b.

【0026】なお、実施例において、漏水センサ23は
レーザヘッドの下方に配置するようにしたが、原理的に
は、漏水センサを23漏水遮断カバー20内に配設する
ようにしてもよく、この方がより速やかに漏水を検出す
ることができる。
In the embodiment, the water leakage sensor 23 is arranged below the laser head. However, in principle, the water leakage sensor 23 may be arranged inside the water leakage blocking cover 20. Can detect water leakage more quickly.

【0027】また、上記実施例はこの発明をYAGレー
ザに適用するようにしたが、この発明は他のルビーレー
ザなどの固体レーザにも適用可能である。
In the above embodiment, the present invention is applied to a YAG laser. However, the present invention can be applied to other solid-state lasers such as a ruby laser.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】この発明の実施例について要部を示す横断面
図。
FIG. 1 is a cross-sectional view showing a main part of an embodiment of the present invention.

【図2】この発明の実施例についてレーザヘッドの蓋体
を外した状態を示す上面図。
FIG. 2 is a top view showing a state in which a lid of a laser head is removed according to the embodiment of the present invention.

【図3】図2のA−A断面図。FIG. 3 is a sectional view taken along line AA of FIG. 2;

【図4】図2のB−B断面図。FIG. 4 is a sectional view taken along line BB of FIG. 2;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…レーザヘッド 1a…下部ハウジング 1b…上部ハウジング 2…YAGロッド 3…励起ランプ 4…Oリング 5…開口空間 7…レーザベース 8…漏水通過用開 9a,9b…冷却液バイパス通路 10…基体 11…冷却液入口 12,13…冷却液供給通路 14…冷却液出口 15,16…冷却液排出通路 17…凹部 17a…溝 20…防水遮断カバー 21…漏水排出通路 22…漏水センサ取付カバー 23…漏水センサ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Laser head 1a ... Lower housing 1b ... Upper housing 2 ... YAG rod 3 ... Excitation lamp 4 ... O-ring 5 ... Opening space 7 ... Laser base 8 ... Opening for water leakage 9a, 9b ... Coolant bypass passage 10 ... Base 11 ... Coolant inlet 12,13 ... Coolant supply passage 14 ... Coolant outlet 15,16 ... Coolant discharge passage 17 ... Recess 17a ... Groove 20 ... Waterproof cut-off cover 21 ... Leakage discharge passage 22 ... Leakage sensor mounting cover 23 ... Leakage Sensor

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】冷却液が充填される開口部内にレーザ励起
用ランプおよびレーザ媒質用固体が収容された下部ハウ
ジングおよびこの下部ハウジングの蓋体としての上部ハ
ウジングに分割される固体レーザヘッドと、 前記固体レーザヘッドの下部ハウジングの前記開口部に
冷却液を供給するための冷却液供給通路と、 前記固体レーザヘッドの下部ハウジングの前記開口部か
ら冷却液が排出される冷却液排出通路と、 を備えた固体レーザヘッドの漏水検出装置において、 前記固体レーザヘッドを囲繞しかつ前記下部ハウジング
より高い高さの側壁および前記レーザヘッドを載置固定
するための底面を有する漏水溜めと、 この漏水溜めに流れ込んだ前記固体レーザヘッドからの
漏水を検出する漏水検出手段と、 を具えるようにしたことを特徴とする固体レーザヘッド
の漏水検出装置。
1. A solid laser head divided into a lower housing having a laser excitation lamp and a solid for a laser medium accommodated in an opening filled with a cooling liquid, and an upper housing serving as a lid of the lower housing. A coolant supply passage for supplying a coolant to the opening of the lower housing of the solid-state laser head; and a coolant discharge passage for discharging the coolant from the opening of the lower housing of the solid-state laser head. A leak detector that surrounds the solid-state laser head and has a side wall having a height higher than that of the lower housing and a bottom surface for mounting and fixing the laser head; And a water leak detecting means for detecting water leak from the solid state laser head. Leak detection device of the solid state laser head.
【請求項2】前記漏水検出手段は、 前記漏水溜めに流れ込んだ前記漏水を排出する漏水溜め
用排出路と、 この漏水溜め用排出路の出口部に配され、漏水を検出し
たときに漏水検出信号を発生する漏水センサと、 を具える請求項1記載の固体レーザヘッドの漏水検出装
置。
2. The water leakage detection means is disposed at a water discharge passage for discharging the water leaked into the water leakage reservoir, and at an outlet of the water discharge leakage discharge passage, and detects water leakage when water leakage is detected. The solid-state laser head leakage detection device according to claim 1, further comprising: a leakage sensor that generates a signal.
【請求項3】前記漏水溜め用排出路の出口から排出され
る液体を溜める第2の漏水溜めを更に有し、 前記漏水センサはこの第2の漏水溜め内に設置されてい
ることを特徴とする請求項2記載の固体レーザヘッドの
漏水検出装置。
3. The liquid storage device according to claim 1, further comprising a second water reservoir for storing a liquid discharged from an outlet of the water leakage discharge passage, wherein the water leakage sensor is installed in the second water reservoir. The device for detecting water leakage of a solid-state laser head according to claim 2.
【請求項4】前記漏水センサは液体の付着を検出した場
合に漏水検出信号を発生する請求項2記載の固体レーザ
ヘッドの漏水検出装置。
4. The apparatus according to claim 2, wherein said water leak sensor generates a water leak detection signal when detecting the adhesion of liquid.
【請求項5】前記漏水センサから漏水検出信号が発生さ
れると、前記冷却液供給通路を介した冷却液の供給を停
止させる供給停止手段を更に具える請求項2記載の固体
レーザヘッドの漏水検出装置。
5. The solid-state laser head according to claim 2, further comprising a supply stop means for stopping the supply of the coolant through the coolant supply passage when a leak detection signal is generated from the water leak sensor. Detection device.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2016051664A1 (en) * 2014-09-30 2016-04-07 富士フイルム株式会社 Solid-state laser device

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