JPH1164144A - Vacuum detecting device for vessels - Google Patents

Vacuum detecting device for vessels

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JPH1164144A
JPH1164144A JP9239007A JP23900797A JPH1164144A JP H1164144 A JPH1164144 A JP H1164144A JP 9239007 A JP9239007 A JP 9239007A JP 23900797 A JP23900797 A JP 23900797A JP H1164144 A JPH1164144 A JP H1164144A
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plasma
vacuum
container
detecting
electric field
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Shinichirou Shimizu
申一郎 清水
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SHIMIZU SEISAKUSHO KK
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To perform not only a continuous vacuum inspection but also a total inspection of products by applying a high voltage into a sealed and evacuated non-conductive vessel from the outside to cause a plasma state within the vessel, and detecting the change of electric field or plasma emission before and after plasma generation. SOLUTION: When electrodes 24, 30 are arranged on the outer surface of the body side part of a vessel 10, and a high voltage is applied thereto, a plasma state occurs in the hollow part of the vessel 10, and a low atmospheric pressure condition is given thereto, whereby a vacuum discharge phenomenon can be easily provided. Paying attention to the electric field generated by the high voltage application, the electric change based on the change of field intensity is taken as electric signal to detect the vacuum of a subject vessel. A plasma detection part 14 has a detection part 36 for outputting the change of the electric field as a signal, and the detection signal is compared with a set value set from the relation between atmospheric pressure and voltage to judge the quality of vacuum in conformation to the generation of plasma. Thus, a continuous product total inspection can be performed in a short time.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、試薬その他の医薬品、
化学薬品、食品、その他の内容物を瓶、プラスチック容
器等に封止収納させた非導電性容器内の減圧状態すなわ
ち、真空度を検出する容器類(内部)の真空度検出装置
に関する。
This invention relates to reagents and other pharmaceuticals,
The present invention relates to a vacuum degree detecting device for containers (inside) for detecting a reduced pressure state, that is, a degree of vacuum in a non-conductive container in which chemicals, food, and other contents are sealed and stored in a bottle, a plastic container, or the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】試薬、その他の医薬品、化学薬品、化粧
品等については、ガラスの瓶やブラスチック容器等にこ
れらの試薬や薬品等を収納させ、所要の空隙部分を形成
させて内部を減圧させて所定の真空状態にし、密封状態
として大気圧が入らないようにして市場に供給される。
従来、この種の薬剤等については、雑菌の侵入や収容薬
剤の空気中の成分との反応を防止するために密封して大
気との連通を遮断し、かつ、内部を減圧させて真空状態
としており、したがって、この真空状態を維持すること
により内容物の品質保持を行なうようにしている。従
来、この容器内の真空度状態を測定するについては、密
封状態を解くことができない点から製品のロットごとに
容器の栓部などから真空圧測定器具に連通させた穿刺針
を穿刺させ、抜き取り検査により行なっていた。
2. Description of the Related Art For reagents, other pharmaceuticals, chemicals, cosmetics, etc., these reagents and chemicals are stored in glass bottles, plastic containers, and the like, and a required gap is formed to depressurize the inside. Then, it is supplied to the market under a predetermined vacuum state so that atmospheric pressure does not enter as a sealed state.
Conventionally, this kind of drug etc. is sealed to prevent the invasion of various bacteria and the reaction of the contained drug with the components in the air, to shut off the communication with the atmosphere, and to decompress the inside to create a vacuum state. Therefore, the quality of the contents is maintained by maintaining the vacuum state. Conventionally, in order to measure the degree of vacuum in the container, the puncture needle connected to the vacuum pressure measuring instrument was punctured from the stopper of the container and the like for each product lot, because the sealed state could not be released, and it was removed. The inspection was performed.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする問題点】しかしながら、上記
従来の真空度測定では、容器を所定の穿刺位置に位置決
め停止させ、容器を動かないように支持固定させた状態
に保持し、針を貫通させ、真空圧測定し、測定後針を抜
脱させ、搬送させる等の工程が必要であり、測定時間を
要し、非能率的であるばかりでなく、測定作業者が必要
であり、作業コストがかかるうえに、抜き取り検査であ
るため、全数についての製品真空度チェックが行なえな
いという問題があった。さらに、穿刺作業時に穿刺針等
により内容物を損傷させ、商品価値を損なわせるという
問題があった。
However, in the above-mentioned conventional vacuum measurement, the container is positioned and stopped at a predetermined puncture position, the container is held and fixed so as not to move, and the needle is passed through. , Measuring the vacuum pressure, removing the needle after the measurement, and transporting the needle, etc. are required, which takes time for the measurement, is not only inefficient, but also requires a measurement operator, and the operation cost is low. In addition, since it is a sampling inspection, there is a problem that the product vacuum degree cannot be checked for all the products. Further, there is a problem that the contents are damaged by a puncture needle or the like at the time of puncturing operation, thereby deteriorating the commercial value.

【0004】本発明は、上記従来の問題点に鑑みてなさ
れたものであり、その1つの目的は、簡単な構成により
短時間で連続的に真空度チェックを行なえるだけでな
く、製品の全数検査が可能な容器類の真空度検出装置を
提供することである。また、本発明の他の目的は容器内
容物を損傷させることなく、非破壊により検査による品
質低下を生じさせることのない容器類の真空度検出装置
を提供することである。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned conventional problems, and has as its object the purpose of not only being able to perform a continuous vacuum check in a short time with a simple structure, but also to reduce the total number of products. An object of the present invention is to provide a vacuum degree detecting device for containers that can be inspected. Another object of the present invention is to provide an apparatus for detecting the degree of vacuum of containers which does not damage the contents of the container and does not cause deterioration in quality due to nondestructive inspection.

【0005】[0005]

【問題点を解決するための手段】図1は、本発明の原理
ブロック構成説明図である。本発明に係る容器類の真空
度検出装置は、密閉され、かつ減圧された非導電性容器
の内部に、外部から高電圧を印加し、同容器内部にプラ
ズマ状態を生じさせる高電圧印加手段と、前記プラズマ
発生の前後における電界の変化またはプラズマ発光の有
無を検出するプラズマ検出手段と、を備えた構成であ
る。
FIG. 1 is a block diagram illustrating the principle of the present invention. The vacuum degree detecting device for containers according to the present invention is a sealed and reduced pressure non-conductive container, to which a high voltage is applied from the outside and a high voltage applying means for generating a plasma state inside the container. And a plasma detecting means for detecting a change in an electric field before and after the generation of plasma or the presence or absence of plasma emission.

【0006】また、前記プラズマ検出手段は、前記電界
の変化に対応する電気的変化を検出することとしても良
い。
Further, the plasma detecting means may detect an electrical change corresponding to the change in the electric field.

【0007】また、前記プラズマ検出手段は、前記電界
の変化に対応する電流、電圧、インピーダンス、アドミ
タンスまたは周波数のいずれかまたはこれらの組み合わ
せによる変化を検知する検知手段と、この検知手段によ
る検知信号と設定値とを比較して前記プラズマの発生に
対応して真空度の良否を判定する判定手段と、該判定結
果を表示する表示手段と、からなるようにしても良い。
The plasma detecting means includes a detecting means for detecting a change due to any one or a combination of a current, a voltage, an impedance, an admittance, and a frequency corresponding to the change in the electric field, and a detecting signal by the detecting means. A determination means for comparing the set value with the generation of the plasma to determine whether the degree of vacuum is good or not and a display means for displaying the determination result may be provided.

【0008】また、前記検知手段は、前記プラズマ発生
による電界の変化によりその内部インピーダンスを変化
させる電界励起装置であることとしても良い。
[0008] The detecting means may be an electric field excitation device that changes its internal impedance by changing the electric field due to the plasma generation.

【0009】また、前記電界励起装置は、所定励起電圧
で放電する放電管からなることとしても良い。
Further, the electric field excitation device may comprise a discharge tube which discharges at a predetermined excitation voltage.

【0010】また、前記プラズマ検出手段はプラズマの
発光状態を光学的に検出し、プラズマ発光の前後におけ
る光学的変化を電気信号として出力する光学的検出手段
と、該電気信号と設定値とを比較して前記プラズマの発
生に対応して真空度の良否を判定する判定手段と、該判
定結果を表示する表示手段と、からなることとしても良
い。
Further, the plasma detecting means optically detects the light emission state of the plasma and outputs an optical change before and after the plasma light emission as an electric signal, and compares the electric signal with a set value. The determination means may determine whether the degree of vacuum is good or bad in response to the generation of the plasma, and a display means for displaying the determination result.

【0011】また、前記設定値を変更調整する変更調整
手段が設けられてなることとしても良い。
Further, a change adjusting means for changing and adjusting the set value may be provided.

【0012】また、前記高電圧印加手段は、前記非導電
性容器の外面に挟持状に対向配置された第1、第2電極
を備えてなることとしても良い。
[0012] The high voltage applying means may include first and second electrodes which are arranged on the outer surface of the non-conductive container so as to face each other in a sandwiched manner.

【0013】また、前記第1、第2電極のいずれかまた
は両方は、前記非導電性容器の外面側から該容器を内側
に挟み込む方向に弾性的に付勢されてなることとしても
良い。
Further, one or both of the first and second electrodes may be elastically urged from an outer surface of the non-conductive container in a direction to sandwich the container inside.

【0014】さらに、前記第1、第2の電極は、非導電
性容器を直列状に配置させて通過させ得るように該容器
の通過路に臨んで対向配置されてなることとしても良
い。
Further, the first and second electrodes may be arranged to face a passage of the non-conductive container so as to allow the non-conductive container to be arranged in series and pass therethrough.

【0015】[0015]

【発明の実施の形態】本発明に係る容器類の真空度検出
装置は、密閉され、かつ減圧された非導電性容器の内部
に、外部から高電圧を印加し、同容器内部にプラズマ状
態を生じさせる高電圧印加手段と、前記プラズマ発生の
前後における電界の変化またはプラズマ発光の有無を検
出するプラズマ検出手段と、を備えている。減圧状態の
容器の中空部に高電圧を印加してプラズマ状態を生じさ
せ、それによる電気的変化あるいは、プラズマ発光の有
無を信号出力することにより真空度の有無を判定する。
高電圧印加は容器の外部から行なわれ、しかも、2個の
電極を容器の外周に配置させるだけで良いから、被検体
容器の検出領域への供給、検出後の排出が極めて円滑に
行なわれ、しかも連続的な容器の投入が可能となり、検
出時間の大幅な短縮が実現される。さらに、全数につい
ての容器の真空度測定が実用的なレベルで実現できる。
容器内でのプラズマ状態の検出は、プラズマ状態が発生
した後その電界の変化、あるいはプラズマ発光の有無に
対応する電気的な変化を信号出力するが、具体的なプラ
ズマ検出手段は変化する電界そのもの、あるいは発光の
出力側に配置させるようにしても良いし、高電圧印加手
段におけるプラズマ状態生成の入力側に配置するように
しても良い。減圧状態の容器の中空部に交流、高電圧を
印加することにより、必ず、プラズマ状態が発生するか
ら、プラズマが生じれば、電界変化、あるいは高電圧供
給側においても電流値、その他の電気的な変化を生じさ
せる。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The vacuum detecting apparatus for containers according to the present invention applies a high voltage from the outside to the inside of a non-conductive container which is hermetically closed and decompressed, and creates a plasma state inside the container. A high voltage applying means for generating the plasma; and a plasma detecting means for detecting a change in an electric field before and after the generation of the plasma or the presence or absence of plasma emission. A high voltage is applied to the hollow portion of the container in a reduced pressure state to generate a plasma state, and the presence or absence of the degree of vacuum is determined by outputting a signal indicating an electrical change due to the plasma state or the presence or absence of plasma emission.
The application of the high voltage is performed from the outside of the container, and since it is only necessary to arrange two electrodes on the outer periphery of the container, the supply to the detection area of the object container and the discharge after the detection are performed extremely smoothly. In addition, the container can be continuously charged, and the detection time can be significantly reduced. Further, the measurement of the degree of vacuum of the containers for all the containers can be realized at a practical level.
The detection of the plasma state in the container outputs a change in the electric field after the plasma state occurs, or an electrical change corresponding to the presence or absence of plasma emission, but the specific plasma detection means uses the changing electric field itself. Alternatively, it may be arranged on the output side of light emission, or may be arranged on the input side of plasma state generation in the high voltage applying means. When an alternating current or a high voltage is applied to the hollow portion of the container in a depressurized state, a plasma state is always generated. Therefore, if plasma is generated, a change in the electric field, a current value on the high voltage supply side, and other electrical Change.

【0016】プラズマ検出手段は、前記電界の変化に対
応する電気的変化を検出することとしても良い。すなわ
ち、前記プラズマ検出手段は、前記電界の変化に対応す
る電流、電圧、インピーダンス、アドミタンスまたは周
波数のいずれかまたはこれらの組み合わせによる変化を
検知する検知手段と、この検知手段による検知信号と設
定値とを比較して前記プラズマの発生に対応して真空度
の良否を判定する判定手段と、該判定結果を表示する表
示手段と、からなるようにしても良い。また、その他の
電気的変化を検出、出力するようにしても良い。検知手
段はこれに伴ってそれぞれの電気的変化を量的に構成し
て、それらの計測用の諸種の計測機器を用いれば良い。
The plasma detecting means may detect an electric change corresponding to the electric field change. That is, the plasma detection means, a current corresponding to the change of the electric field, voltage, impedance, detection means for detecting a change due to any one of the admittance or frequency, or a combination thereof, a detection signal and a set value by this detection means And determination means for determining the degree of vacuum in accordance with the generation of the plasma, and display means for displaying the determination result. Further, other electrical changes may be detected and output. The detecting means may quantitatively compose each electrical change accordingly, and use various kinds of measuring instruments for measuring them.

【0017】検知手段は、前記プラズマ発生による電界
の変化によりその内部インピーダンスを変化させる電界
励起装置であることとしても良い。ネオン管、ヘリウム
管その他の放電管を用いることにより、高電圧印加部分
と別体で製作でき、製作過程で工程間の調整等が不要で
量産性を確保できる。接続状態で電界励起し得る装置構
成としても良い。
The detecting means may be an electric field excitation device that changes its internal impedance by changing the electric field due to the plasma generation. By using a neon tube, a helium tube, or another discharge tube, it can be manufactured separately from the high voltage application portion, and there is no need for adjustment between processes in the manufacturing process, so that mass productivity can be secured. The device may be configured to be able to excite the electric field in the connected state.

【0018】プラズマ検出手段はプラズマの発光状態を
光学的に検出し、プラズマ発光の前後における光学的変
化を電気信号として出力する光学的検出手段と、該電気
信号と設定値とを比較して前記プラズマの発生に対応し
て真空度の良否を判定する判定手段と、該判定結果を表
示する表示手段と、から構成しても良い。プラズマ発光
があれば、被検体容器内において所定の真空状態が保持
されていると判断される。これにおいても、容器内にお
けるプラズマの出力側、あるいは供給側で電気的変化を
出力させ、判定するようにしても良い。
The plasma detection means optically detects the light emission state of the plasma, and outputs an optical change before and after the plasma light emission as an electric signal. A determination means for determining whether the degree of vacuum is good or bad according to the generation of plasma, and a display means for displaying the determination result may be provided. If there is plasma emission, it is determined that a predetermined vacuum state is maintained in the subject container. Also in this case, the electrical change may be output on the output side or the supply side of the plasma in the container, and the determination may be made.

【0019】前記設定値を変更調整する変更調整手段が
設けられるようにするほうが各被検体容器の特性に対応
して良否判定基準を設定できるから好適である。この変
更調整手段は必ずしも設けなくとも良い。
It is preferable to provide a change adjusting means for changing and adjusting the set value, since a pass / fail judgment criterion can be set corresponding to the characteristics of each subject container. This change adjusting means need not always be provided.

【0020】高電圧印加手段は、前記非導電性容器の外
面に挟持状に対向配置された第1、第2電極を備えるよ
うにすることが好適である。被検体容器の方を直線的に
連続して移動し得るコンベヤ装置等の上に載置させた状
態で検出領域に投入でき、よって、同領域からの排出も
簡単であり、かつ、高電圧印加作業の実効化を図れる。
It is preferable that the high voltage applying means includes first and second electrodes which are opposed to each other in a sandwiched manner on the outer surface of the non-conductive container. The sample container can be put into the detection area while being placed on a conveyor device or the like that can move linearly and continuously, and therefore, it can be easily discharged from the area, and high voltage can be applied. Effective work can be achieved.

【0021】前記第1、第2電極のいずれかまたは両方
は、前記非導電性容器の外面側から該容器を内側に挟み
込む方向に弾性的に付勢されてなることが好適である。
被検体容器が種々の向きで検出領域に進入してきたり、
あるいは容器の大きさ、表面の形状等に左右されること
なく、弾性的に挟着保持して確実に高電圧印加状態を確
保する。したがって、第1、第2の電極は、非導電性容
器を直列状に配置させて通過させ得るように通過路に臨
んで対向配置させるようにする方がより、好適である。
It is preferable that either or both of the first and second electrodes are elastically urged from the outer surface side of the non-conductive container in a direction to sandwich the container inside.
When the specimen container enters the detection area in various directions,
Alternatively, it is elastically sandwiched and held without being influenced by the size of the container, the shape of the surface, and the like, and the high voltage application state is reliably ensured. Therefore, it is more preferable that the first and second electrodes are opposed to each other so as to face the passage so that the non-conductive containers can be arranged in series and passed therethrough.

【0022】[0022]

【実施例】以下、添付図面に基づき、本発明に係る容器
類の真空度検出装置の好適な実施例を説明する。図1
は、本発明の原理ブロック構成説明図、図2は本発明の
第1実施例に係る容器類の真空度検出装置を具体化させ
たブロック構成図であり、図1において、本装置は非導
電性容器10の外部から高電圧を印加させ、同容器内部
にプラズマ状態PZを生じさせる高電圧印加部12と、
該高電圧印加部12によるプラズマ発生の前後における
電界の変化を検出するプラズマ検出部14と、を備えて
いる。実施例においてプラズマ検出部14は、容器内部
のプラズマ状態により容器周辺の外部にわたって電界が
生じ、この電界の変化に対応して変化する電気的変化を
検出する。
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a perspective view of an apparatus for detecting the degree of vacuum of containers according to the present invention. FIG.
FIG. 2 is an explanatory view of the principle block configuration of the present invention, and FIG. 2 is a block configuration diagram embodying a vacuum degree detecting device for containers according to the first embodiment of the present invention. In FIG. A high-voltage applying unit 12 for applying a high voltage from outside the non-conductive container 10 to generate a plasma state PZ inside the container,
A plasma detection unit 14 for detecting a change in the electric field before and after the plasma is generated by the high voltage application unit 12. In the embodiment, the plasma detecting unit 14 detects an electric change which is generated in response to a change in the electric field due to the generation of an electric field over the periphery of the container due to the plasma state inside the container.

【0023】図3ないし図5において箱形のユニットケ
ース本体16の正面上部から前方側に、ひさし状に箱形
支持部18が突設されており、その下面側は正面視左右
に横切る方向には遮蔽物が存在しないようになって空間
Sが形成されている。そして、このケース本体16内部
にプラズマ検出部14が構成されている。図において、
該ケース本体16内部には高電圧発生部20が内蔵され
ている。一方、前記箱形支持部18の下面の空間Sは被
検体としての容器10がユニットケースの正面視左右に
横切る方向に向けて直列状に通過する通過路となってお
り、例えば、送りコンベア等による送り装置19が設置
されている。
In FIGS. 3 to 5, a box-shaped support portion 18 is protruded from an upper front part of the box-shaped unit case body 16 to the front side thereof. The space S is formed such that no shield exists. The plasma detector 14 is formed inside the case body 16. In the figure,
A high voltage generator 20 is built in the case body 16. On the other hand, the space S on the lower surface of the box-shaped support portion 18 is a passage through which the container 10 as an object passes in series in a direction crossing right and left in front view of the unit case. Is provided.

【0024】図4において、箱形支持部18には第1電
極基体22が取りつけられ、該第1電極基体22に支持
されて複数の細い鋼鉄線からなる第1電極24が下端を
簾状に垂下させて設けられている。他方、該第1電極の
下端側と略対向する位置であってケース本体16側には
第2電極基体26が取りつけられており、かつ、この第
2電極基体26には板バネ状の支持板28を介して導電
性スポンジからなる第2電極30が取りつけられてい
る。そして、第1電極24の下端部は通過する容器10
を通過方向と交差方向に、すなわち、常時ケース本体側
に押し付ける方向にバネ状に付勢するように配置されて
おり、これによって両電極24、30は容器10の外面
から挟持するようにして同容器外面に密着当接する。両
電極は容器を間に挟んで同容器の直径方向に対向配置さ
せるだけでなく、外周のいずれかに偏った近接位置とし
ても良い。すなわち、外周の2点に所要の間隔をあけて
配置するようにすれば良い。このように両電極を容器1
0の外面に挟持状に対向配置させているので、両電極間
間隙Seを容器が連続して通過でき、よって、連続的に
検出領域に被検体容器を供給することが可能となる。ま
た、後述するプラズマ検出手段とあいまって電気的、あ
るいは光学的な外部検出方式により短時間で、しかも大
量に検査でき、全数検査を可能とする。
In FIG. 4, a first electrode base 22 is attached to the box-shaped support portion 18, and a first electrode 24 made of a plurality of thin steel wires supported by the first electrode base 22 has a lower end shaped like a blind. It is provided hanging. On the other hand, a second electrode base 26 is attached to the case main body 16 at a position substantially opposite to the lower end side of the first electrode, and the second electrode base 26 is provided with a leaf spring-shaped support plate. A second electrode 30 made of a conductive sponge is attached via 28. Then, the lower end of the first electrode 24 is
In a direction crossing the passing direction, i.e., in a direction in which it is constantly pressed against the case body side, so that both electrodes 24 and 30 are sandwiched from the outer surface of the container 10. Close contact with the outer surface of the container. The two electrodes may not only be arranged in the diametrical direction of the container with the container interposed therebetween, but may also be located at a close position biased to one of the outer circumferences. That is, it is sufficient to arrange the two points on the outer circumference at a required interval. Thus, both electrodes are connected to the container 1
Since the container is arranged to oppose the outer surface of the electrode 0 in a sandwiching manner, the container can continuously pass through the gap Se between the two electrodes, and therefore, the subject container can be continuously supplied to the detection region. In addition, in combination with a plasma detecting means to be described later, an electrical or optical external detection method can be used for a short time and in a large number of inspections, thereby enabling a total inspection.

【0025】この第1、第2電極は、いずれかのみが弾
性的に容器10に対して押し付けるように付勢されてい
ても良いし、実施例のように双方とも互いに対向する方
向に弾性的に付勢されるようにしても良い。このように
第1、第2電極24、30は、非導電性容器10を直列
状に配置させて通過させ得るように通過路(S)に臨ん
で対向配置されている。通過路の構成位置は任意に設定
しても良く、図3において紙面に向かう方向に設けても
良い。
The first and second electrodes may be urged so that only one of them is elastically pressed against the container 10, or as in the embodiment, both are elastically opposed to each other. You may be made to be energized. As described above, the first and second electrodes 24 and 30 are arranged facing the passage (S) so as to allow the non-conductive containers 10 to be arranged in series and pass therethrough. The configuration position of the passage may be set arbitrarily, and may be provided in the direction toward the paper in FIG.

【0026】図5において、高電圧発生部20には第2
電極30(内部電極)が接続され、高電圧を供給すると
ともに、第1電極24(外部電極)には低電圧側が接続
されており、容器の取扱時に外部電極側に作業者が触れ
て感電事故等を生じさせないようにしている。ここに、
高電圧印加部12は、高電圧発生部20、第1、第2電
極24、30を含む。
In FIG. 5, the high voltage generator 20 has a second
The electrode 30 (internal electrode) is connected to supply a high voltage, and the low voltage side is connected to the first electrode 24 (external electrode). And so on. here,
The high voltage applying unit 12 includes a high voltage generating unit 20, first and second electrodes 24 and 30.

【0027】図6は高電圧発生部20の概略回路図であ
り、発振部32には例えば12ボルト程度の直流電圧が
供給され、この発振部32から40KHz,240V程
度の交流電圧が例えばフライバックトランスからなるト
ランス部34に供給される。このトランス部34には内
部電極としての第2電極30に接続される高圧端子34
aと、外部電極としての第1電極24に接続される低圧
端子34bが設けられ、トランス部34で昇圧し、両端
子間に高電圧を生じさせる。
FIG. 6 is a schematic circuit diagram of the high voltage generating section 20. A DC voltage of, for example, about 12 volts is supplied to the oscillating section 32, and an AC voltage of about 40 KHz, 240 V is supplied from the oscillating section 32 to, for example, a flyback. It is supplied to a transformer section 34 composed of a transformer. The transformer section 34 has a high voltage terminal 34 connected to the second electrode 30 as an internal electrode.
a, and a low voltage terminal 34b connected to the first electrode 24 as an external electrode is provided. The voltage is boosted by the transformer unit 34, and a high voltage is generated between both terminals.

【0028】そして、図2に示すように、容器の胴側部
の外面に対向するように第1、第2電極を配置させ、高
電圧印加部12により例えば40KHz、4000ボル
ト程度の電圧を印加すると、容器10の中空部において
プラズマ状態を生じさせる。一般的には例えば、薬品、
化学品等の減圧された状態の容器の場合には10分の1
気圧程度に保たれており、これに高電圧を賦与すると、
中空部の物質が電離してイオンと電子が同密度で空間中
に存在する状態となり、ガス状のプラズマ状態を生じさ
せる。すなわち、容器10内の中空部に向けて交流、高
電圧を印加すると、基本的にプラズマの発生条件が生成
され、これに、さらに低い気圧条件を与えることにより
真空放電現象が得やすいものとなる。印加電圧Vが電極
間ギャップdと圧力pとの積の関数となることは証明さ
れていることであり(パッシェンの法則)(V=f(p
d))これによって、例えば上記の程度の印加電圧下で
も通常の容器の真空度であれば、確実にプラズマ状態を
生起させ得る。具体的な印加電圧は上記の数値に限定さ
れるものではない。容器内の中空部の体積や温度、真空
度等は各種容器などによってもばらつきがあり、それに
対応して交流、高電圧条件等を設定すれば良い。実施例
では容器内の薬品等の試料Lの上部に形成される中空部
Scにおいてプラズマ状態が生成される。この高電圧の
印加部は、任意に電圧を変化させ得る構成である方が好
ましい。常時高電圧を印加させた状態で、電極間を容器
が通過するようにしても良いが、非通過状態の時、ある
いは必要に応じて通常は低電圧とし、容器の通過時に徐
々に設定電圧まで昇圧させて検出するようにしても良
い。
Then, as shown in FIG. 2, the first and second electrodes are arranged so as to face the outer surface of the body side of the container, and a high voltage application unit 12 applies a voltage of, for example, 40 KHz and about 4000 volts. Then, a plasma state is generated in the hollow portion of the container 10. Generally, for example, drugs,
1/10 in the case of decompressed containers such as chemicals
It is kept at about atmospheric pressure, and when a high voltage is applied to this,
The substance in the hollow portion is ionized, and ions and electrons are present in the space at the same density, thereby generating a gaseous plasma state. That is, when an alternating current and a high voltage are applied to the hollow portion in the container 10, plasma generation conditions are basically generated, and by applying a further lower pressure condition to the plasma, a vacuum discharge phenomenon is easily obtained. . It has been proven that the applied voltage V is a function of the product of the interelectrode gap d and the pressure p (Paschen's law) (V = f (p
d)) Thereby, for example, even under the above-mentioned applied voltage, if the degree of vacuum of the ordinary container is maintained, a plasma state can be reliably generated. The specific applied voltage is not limited to the above numerical values. The volume, temperature, degree of vacuum, and the like of the hollow portion in the container vary depending on the type of container and the like, and AC, high voltage conditions, and the like may be set accordingly. In the embodiment, a plasma state is generated in a hollow portion Sc formed above a sample L such as a medicine in a container. It is preferable that the high voltage application section has a configuration that can arbitrarily change the voltage. In a state where a high voltage is applied at all times, the container may pass between the electrodes.However, in a non-passing state, or when necessary, the voltage is normally set to a low voltage, and gradually reaches a set voltage when the container passes. The detection may be performed by increasing the pressure.

【0029】この第1実施例においては、高電圧の印加
により生じる電界に着目し、プラズマ状態の有無によ
り、この電界強度が変動することからそれに基づく電気
的な変化を電気信号として取り出して被検体容器の真空
度検出を行なうようにしている。実施例において、プラ
ズマ検出部14は、電界の変化を電気信号として出力す
る検知部36と、この検知信号と気圧と電界電圧との関
係から設定される設定値とを比較してプラズマの発生に
対応して真空度の良否を判定する判定部38と、この判
定結果を表示する表示部40とを備えている。
In the first embodiment, attention is paid to an electric field generated by application of a high voltage, and the intensity of the electric field varies depending on the presence or absence of a plasma state. The vacuum degree of the container is detected. In the embodiment, the plasma detection unit 14 compares the detection signal with a setting value set based on the relationship between the atmospheric pressure and the electric field voltage by comparing the detection signal with the detection unit 36 that outputs a change in the electric field as an electric signal. A judgment unit 38 for judging the degree of vacuum correspondingly and a display unit 40 for displaying the judgment result are provided.

【0030】実施例において、検知部36はプラズマ発
生による電界の変化によりその内部インピーダンスを変
化させる電界励起装置からなる。実施例においてこの電
界励起装置は、ネオン管42からなり、高電圧印加部1
2により印加された電圧に基づいて生じる電界内にこの
ネオン管42は配置される。常時は電源直流電圧Vsが
供給されている。そして、例えば常時、両電極24、3
0間に高電圧を印加すると、試料すなわち、容器が同電
極間にない場合では、空気のみであるから高インピーダ
ンスにより高電界強度、ひいては高い電圧が該ネオン管
42の両端にかかり、この電界電圧に励起されてネオン
管42は所定励起電圧で陽光柱発光を生じさせ、電流が
流れて分圧抵抗の両端に高レベル電圧を出力させる。一
方、検出領域すなわち両電極24、30間に被検体容器
が供給されると、高電圧と内部真空状態により容器内に
プラズマが生じ、第1、第2電極間電圧が下がると電界
強度が低くなり、したがって、電界電圧も低下してネオ
ン管の励起以下の電圧となり、このため、ネオン管内は
高インピーダンスのため、低レベル電圧を出力させるこ
ととなる。ここにおいて、プラズマ状態における第1、
第2電極24、30間の電圧の変動による電圧信号を判
定部38に出力する。すなわち、本実施例においては検
知部36のネオン管42は、電界センサとして構成され
ている。電界励起装置はネオン管のみならず、その他陰
極から放出された電子と封入ガス、または蒸気との衝突
電離作用に伴う電気的特性を利用した任意の放電管であ
っても良い。市販のものを簡単に入手でき、電界センサ
として簡単に構成できるので、製作コストが低廉であ
る。また、高電圧印加部12と分離して別体で構成でき
るから装置全体の製作過程で高電圧発生部分との工程間
の調整を行う必要がなく、量産に適合する。
In the embodiment, the detector 36 comprises an electric field excitation device that changes its internal impedance by changing the electric field due to the plasma generation. In the embodiment, this electric field excitation device is composed of a neon tube 42,
This neon tube 42 is arranged in an electric field that is generated based on the voltage applied by 2. Normally, the power supply DC voltage Vs is supplied. And, for example, always, both electrodes 24, 3
When a high voltage is applied between zero and zero, when the sample, that is, the container is not between the electrodes, a high electric field strength and a high voltage are applied to both ends of the neon tube 42 due to a high impedance because only air is used. The neon tube 42 generates positive column light emission at a predetermined excitation voltage, and a current flows to output a high-level voltage to both ends of the voltage dividing resistor. On the other hand, when the object container is supplied between the detection region, that is, between the electrodes 24 and 30, plasma is generated in the container due to the high voltage and the internal vacuum state, and when the voltage between the first and second electrodes decreases, the electric field intensity decreases. Therefore, the electric field voltage is also reduced to a voltage lower than the excitation of the neon tube, so that the neon tube has a high impedance and outputs a low-level voltage. Here, the first in the plasma state,
A voltage signal based on a change in voltage between the second electrodes 24 and 30 is output to the determination unit 38. That is, in the present embodiment, the neon tube 42 of the detection unit 36 is configured as an electric field sensor. The electric field excitation device is not limited to a neon tube, and may be any other discharge tube utilizing the electrical characteristics associated with the impact ionization of electrons emitted from the cathode and the sealing gas or vapor. Since a commercially available product can be easily obtained and can be easily configured as an electric field sensor, the manufacturing cost is low. In addition, since it can be configured separately from the high voltage applying unit 12, there is no need to perform adjustment between the high voltage generating portion and the process in the process of manufacturing the entire device, which is suitable for mass production.

【0031】図7は、検知部36の概略回路構成図であ
り、通常は高電圧電界励起により発光し、ネオン管42
の内部インピーダンスは低下して電流が流れ、常時は高
レベルの電圧を出力するが、被検体容器10のプラズマ
状態による電界の変化によりネオン管が発光せず、非放
電状態となり、内部インピーダンスが大きくなると、電
流が流れず、低レベルの変動電圧信号を判定部38に出
力する。
FIG. 7 is a schematic circuit diagram of the detection unit 36, which normally emits light by high-voltage electric field excitation,
The internal impedance of the device decreases, a current flows, and a high-level voltage is output at all times. However, the neon tube does not emit light due to a change in the electric field due to the plasma state of the subject container 10, and becomes a non-discharged state. Then, no current flows and a low-level fluctuating voltage signal is output to the determination unit 38.

【0032】検知部36から出力される電圧はプリアン
プ44により適当な大きさに電圧増幅され、直読計とし
てのVUメータ用の基底調整部46によりゼロ位置調整
が行なわれるとともに、メータの振れ幅調整部48によ
り最適な目視検査状態での振れ幅が設定される。判定部
38のコンパレータには気圧と電界電圧との関係から設
定される例えば、1V程度のしきい値電圧としての判定
値電圧が供給されている。この判定値電圧は変更調整部
49により任意の値に変更調整できる。そして、入力さ
れた検知部36からの出力電圧と比較して良否いずれか
の判定信号をホトカプラから入出力装置との入出力イン
タフェース部50を介して表示部40のLED(発光ダ
イオード)群51を含む表示パネル等に出力する。入出
力に際してのダイアル調整やその他の条件設定に関して
は条件設定部の条件スイッチ群52により行なわれ、ま
た、被検体容器10の送りコンベアから他の試料搬送機
への移送、検出操作開始入力、同終了出力、良/不良出
力、警報出力等が演算制御部54により、予め設定され
た条件設定プログラムに基づき、入出力インタフェース
部50を介して演算、出力され、各々の表示装置あるい
は搬送機等を駆動させる。
The voltage output from the detector 36 is amplified to an appropriate level by a preamplifier 44, and a zero position is adjusted by a VU meter base adjuster 46 as a direct-reading meter. The optimum run-out width in the visual inspection state is set by the unit 48. The comparator of the determination unit 38 is supplied with a determination value voltage as a threshold voltage of, for example, about 1 V, which is set from the relationship between the atmospheric pressure and the electric field voltage. This determination value voltage can be changed and adjusted to an arbitrary value by the change adjustment unit 49. The LED (light emitting diode) group 51 of the display unit 40 is transmitted from the photocoupler to the input / output device 50 via the input / output interface unit 50 and compared with the input output voltage from the detection unit 36. Output to the display panel. Dial adjustment and other condition setting at the time of input / output are performed by the condition switch group 52 of the condition setting unit. In addition, the transfer of the subject container 10 from the feed conveyor to another sample carrier, the input of the detection operation start, and the like. An end output, a good / bad output, an alarm output, and the like are calculated and output by the arithmetic and control unit 54 via the input / output interface unit 50 based on a preset condition setting program. Drive.

【0033】なお、ネオン管としての検知部36から出
力される電圧は、切り替え表示部としての選択スイッチ
56を介して増幅され、直読表示部としてのVUメータ
に信号を出力して直読表示させるようになっている。ま
た、上記のような検知部36は図3の基板58、検知部
以外のプラズマ検出部14は基板59に組み込まれてい
る。
The voltage output from the detection unit 36 as a neon tube is amplified via a selection switch 56 as a switching display unit, and a signal is output to a VU meter as a direct reading display unit for direct reading display. It has become. In addition, the detection unit 36 described above is incorporated in the substrate 58 of FIG. 3, and the plasma detection unit 14 other than the detection unit is incorporated in the substrate 59.

【0034】また、実施例において、前記した箱形支持
部18に紫外線発生装置60の紫外線ランプ62が設け
られており、第1、第2電極24、30部分に対して紫
外光を照射し、被検体容器内部のエネルギー準位が高く
なるように作用させ、プラズマの発生しやすい条件を生
成させている。なお、装置全体には図示しない商用電源
が接続されており、高電圧発生部20、紫外光発生装置
60、プラズマ検出部14及びディジタル回路部64に
所要の電源電圧を供給している。なお、図中68は、表
示部40の操作パネル、46a、48a、49a、56
aは、それぞれの機能用の調整つまみ、あるいはボタン
である。
In the embodiment, the box-shaped support portion 18 is provided with an ultraviolet lamp 62 of an ultraviolet generator 60, which irradiates the first and second electrodes 24 and 30 with ultraviolet light. The energy level in the object container is made to increase so as to generate a condition in which plasma is easily generated. A commercial power supply (not shown) is connected to the entire apparatus, and supplies a required power supply voltage to the high voltage generator 20, the ultraviolet light generator 60, the plasma detector 14, and the digital circuit 64. In the drawing, reference numeral 68 denotes an operation panel of the display unit 40, 46a, 48a, 49a, and 56.
a is an adjustment knob or a button for each function.

【0035】次に本実施例の作用を説明すると、ベルト
ローラ等により構成された送り装置19の上に所定間隔
をおいて載置され、薬品等を内部に密封収納させた瓶等
の非導電性容器10が高電圧印加部12の両電極間間隙
Seを通過するように連続的に供給される。このとき、
両電極は互いに対向近接するように付勢されているの
で、図9に示すように、容器10は両電極を押し広げな
がら該間隙Seに進入し、最大測定時間この検出領域に
滞留し(緩速で前進する状態でも良い)、検出終了後送
り装置により、順次前方に送られていく。
Next, the operation of this embodiment will be described. A non-conductive bottle such as a bottle which is placed at a predetermined interval on a feeder 19 constituted by a belt roller or the like and in which a medicine or the like is hermetically contained therein is described. The liquid container 10 is continuously supplied so as to pass through the gap Se between the two electrodes of the high voltage application unit 12. At this time,
Since both electrodes are urged so as to face each other, as shown in FIG. 9, the container 10 enters the gap Se while pushing and expanding both electrodes, and stays in this detection area for the maximum measurement time (slow). After the detection is completed, the sheet is sequentially sent forward by the feed device.

【0036】両電極間は所定の間隙を設けてあるので、
ギャップによりインピーダンスが高く、常時、被検体容
器が供給されていない状態で例えば4000V程度の高
電圧が印加されると、両電極24、30間に高電界が発
生し、検知部36のネオン管42は励起されて発光、放
電し電極間に電流が流れ、例えばハイレベルの電圧を出
力している。
Since a predetermined gap is provided between the two electrodes,
The impedance is high due to the gap, and when a high voltage of, for example, about 4000 V is applied in a state where the subject container is not supplied at all times, a high electric field is generated between the two electrodes 24 and 30, and the neon tube 42 of the detection unit 36. Are excited to emit light and discharge, and a current flows between the electrodes, for example, outputting a high-level voltage.

【0037】被検体容器が検出領域である両電極間間隙
Seに進入すると、容器の直径方向外面側に間に容器の
中空部を挟んで離隔して第1、第2電極が当接された状
態であり、この状態で常時印加されている例えば400
0V、40KHz程度の交流電圧が加えられると容器内
の中空部において基本的なプラズマ発生の条件が生じ、
物質が電離してイオンと電子が同密度で空間中に存在す
るようになり、ガス状のプラズマ状態を生じさせる。さ
らに、この容器の中空内部が減圧されているから印加電
圧が低くとも真空放電を簡単に生じさせる。プラズマ状
態ではプラズマガス全体としては電位差はほとんどない
が、電気伝導性が極めて高いものとなる。したがって、
両電極間電圧が急激に低下し、電界強度も下がる結果、
電界内に配置させた実施例における検知部のネオン管4
2の励起電圧以下となって、放電を生じさせないものと
なり、高インピーダンスのために電流が流れず、ローレ
ベルの電圧を出力させる。
When the sample container enters the gap Se between the two electrodes, which is the detection region, the first and second electrodes contact the diametrically outer surface of the container with the hollow portion of the container interposed therebetween. State, for example, 400
When an AC voltage of about 0 V and 40 KHz is applied, basic plasma generation conditions occur in the hollow portion of the container,
When a substance is ionized, ions and electrons are present in the space at the same density, thereby generating a gaseous plasma state. Further, since the pressure in the hollow interior of the container is reduced, a vacuum discharge is easily generated even if the applied voltage is low. In the plasma state, the plasma gas as a whole has almost no potential difference, but has extremely high electric conductivity. Therefore,
As a result, the voltage between both electrodes suddenly drops, and the electric field strength also drops.
Neon tube 4 of detection unit in embodiment arranged in electric field
When the excitation voltage is lower than the excitation voltage of 2, the discharge does not occur, no current flows due to the high impedance, and a low-level voltage is output.

【0038】次に、図2、さらには図10ないし図12
を参照して主に判定部38における被検体容器の真空度
の良否判定作用について説明すると、主電源電圧を装置
全体に供給して測定を開始する(S1)。検出作業に先
だって表示部40の状態表示LED群のうちの良否判定
LED、及び連続して真空度不良判定となるときにロッ
ト不良を早めに報知させて早期の対処を促すためのアラ
ームLEDを消灯してリセット状態にする(S2)。そ
して、演算制御部54の内部タイマの基準クロック信号
により計時を開始し、各被検体容器の真空度検出に要す
る予め設定された最大測定時間を読み込み、さらに、不
良品として連続して判定されるときに、予め設定された
連続個数を読み込む(S3)。判定部38により検知部
からの出力信号を設定値と比較され(S4)、フォトカ
プラを介して良品信号(真空度良好)が出力されると、
さらに、その良品判定が例えば1秒以上継続しているか
どうかが判定される(S5)。そして、1秒以上継続し
ておれば、不良品数をゼロとして(S6)良品処理につ
づく。S4の比較結果が真空度不良とされれば、経過時
間がすでに読み込まれた最大測定時間内であるかどうか
が判断され(S7)、以内であればS4に戻り、再び
良、不良判定を行なう。S7で最大測定時間を越えてお
れば、不良品数をカウントして1個増やし(S8)、さ
らに、その不良品数と予め設定されたアラーム設定値
(個数)との比較が行なわれ(S9)、設定個数以上の
不良品数であれば、連続不良状態として連続不良アラー
ム処理に続くとともに、設定個数未満であれば、単なる
不良品として不良品処理に続く。
FIG. 2 and FIGS. 10 to 12
The operation of determining whether the degree of vacuum of the subject container is good or bad in the determination unit 38 will be mainly described with reference to FIG. 3. The main power supply voltage is supplied to the entire apparatus and measurement is started (S1). Prior to the detection work, the quality LED of the status display LED group of the display unit 40 and the alarm LED for promptly informing of the lot failure when the vacuum degree failure is continuously determined and prompting an early response are turned off. To reset (S2). Then, time measurement is started by the reference clock signal of the internal timer of the arithmetic control unit 54, a preset maximum measuring time required for detecting the degree of vacuum of each subject container is read, and further, it is continuously determined as defective. At this time, a preset continuous number is read (S3). The output signal from the detection unit is compared with the set value by the determination unit 38 (S4), and when a good signal (good vacuum degree) is output via the photocoupler,
Further, it is determined whether or not the non-defective item determination is continued for, for example, one second or more (S5). If it has been continued for one second or longer, the number of defective products is set to zero (S6), and the non-defective products are continued. If the result of the comparison in S4 is vacuum failure, it is determined whether or not the elapsed time is within the already read maximum measurement time (S7). If not, the flow returns to S4 to perform good / bad determination again. . If the maximum measurement time is exceeded in S7, the number of defective products is counted and increased by one (S8), and the number of defective products is compared with a preset alarm set value (number) (S9). If the number of defective products is equal to or larger than the set number, the process is continued as a continuous defective state and the process is continued to the continuous defective alarm process.

【0039】図11において、良品と判断された場合に
は表示部40の判定LEDの緑色を点灯させ、良品判定
信号及び正常信号を演算制御部54から出力する(S1
0)。一方、不良品と判断された場合には表示部40の
判定LEDの赤色を点灯させ、連続不良ではないから正
常信号を演算制御部54から出力する(S11)。そし
て、いずれの場合にも待ち時間調整及び当該被検体容器
の検出操作終了のためにEND信号を出力し(S1
2)、終了後再びS2の表示を消灯させ、以下同様の処
理を行なう。
In FIG. 11, when it is determined that the product is non-defective, the judgment LED of the display unit 40 is lit in green, and a non-defective signal and a normal signal are output from the arithmetic control unit 54 (S1).
0). On the other hand, if it is determined that the product is defective, the determination LED of the display unit 40 is turned on in red, and a normal signal is output from the arithmetic and control unit 54 because it is not a continuous defect (S11). In any case, an END signal is output for adjusting the waiting time and ending the operation of detecting the subject container (S1).
2) After the end, the display of S2 is turned off again, and the same processing is performed thereafter.

【0040】他方、図12において、図10の連続不良
の場合、表示部40の判定LEDの赤色が点灯し、さら
にアラームLEDの赤色が点滅する(S13)。そし
て、信号タイミング合わせの待ち時間調整を行ない、さ
らにEND信号を出力する(S14)。このときに連続
不良原因に対応して作業者が搬送装置からの容器の選
別、撤収、第1、第2電極部分の点検その他、正常な検
出処理のための作業を行ない、作業者が外部からアラー
ムリセット(S15)操作を行なわないかぎり、動作が
再開されない。アラームリセット後、アラームLEDが
消灯し(S16)、不良品数がゼロに戻され(S1
7)、S2の処理に戻って以下、上記同様の処理を繰り
返すこととなる。
On the other hand, in FIG. 12, in the case of the continuous failure shown in FIG. 10, the judgment LED on the display unit 40 lights red, and the alarm LED flashes red (S13). Then, a wait time adjustment for signal timing adjustment is performed, and an END signal is output (S14). At this time, in response to the cause of the continuous failure, an operator performs sorting, withdrawal, inspection of the first and second electrode portions, and other operations for normal detection processing of the container from the transport device, and the operator performs operations from outside. The operation is not resumed unless an alarm reset (S15) operation is performed. After the alarm reset, the alarm LED is turned off (S16), and the number of defective products is returned to zero (S1).
7) Returning to the processing of S2, the same processing as above will be repeated.

【0041】実施例においては、単に良、不良判定だけ
でなく、連続不良の場合に何らかの異常な状態を仮定し
て、外部表示し、作業者にチェックさせるようにしてい
るので、検出精度が向上し、また、検出作業の信頼性が
確保される。
In the embodiment, not only the determination of good or bad, but also an abnormal state in the case of continuous failure is displayed externally and checked by the operator, so that the detection accuracy is improved. In addition, the reliability of the detection operation is ensured.

【0042】実施例においては検知部、及び判定部をア
ナログ回路から構成しているが、アナログ−ディジタル
変換器等によりディジタル回路として構成しても良い。
また、検知部36からの電界の変化の取り出し方は第1
実施例のように電圧の変化として取り出すのではなく、
例えば、電流、インピーダンス、アドミタンス、周波数
等の変化として取り出すようにしても良いし、また、こ
れらの組み合わせとして取り出すようにしても良い。ま
た、取り出し方についても、周期的あるいは非周期的な
時間域等での変化を検出する等任意の手法を用いても良
いものである。
In the embodiment, the detecting section and the judging section are constituted by analog circuits, but may be constituted by an analog-digital converter or the like as digital circuits.
The method of extracting the change in the electric field from the detection unit 36 is the first method.
Instead of taking out as a voltage change as in the embodiment,
For example, it may be extracted as a change in current, impedance, admittance, frequency, or the like, or may be extracted as a combination thereof. In addition, an arbitrary method may be used for the extraction method, such as detecting a change in a periodic or aperiodic time domain or the like.

【0043】次に、図13により本発明の第2実施例を
説明するが、第1実施例と同一構成部分、或は同一部材
には同一符号を付し、その詳細な説明は省略する。第1
実施例においては、プラズマ発生の前後における電界の
変化を検出するためのプラズマ検出手段としてのプラズ
マ検出部14は、容器内に発生したプラズマによる電界
の変化を利用し、それに伴ういわば出力側での電気的な
変化を真空度の良否判定に用いているが、この第2実施
例では、真空状態の中空部を有する容器に交流高電圧を
印加すれば、その中空部に必ずプラズマ状態が生じ、電
界の変動を生じさせる点が明らかであるから、高電圧発
生部20から第1、第2電極24、30の入力側におい
て、このプラズマ検出部14としての電流センサ70を
設け、電流量から消費電力情報等として判定部38に増
幅出力することにより、同様に、容器の真空度の検出を
行なえるようにしている。このように入力側に容器内の
プラズマ状態に起因して発生する電界変化を電気的な量
の変化としてとらえて、これを各種の検出装置で検出す
るようにしても良い。
Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 13, in which the same reference numerals are given to the same components or members as those in the first embodiment, and a detailed description thereof will be omitted. First
In the embodiment, the plasma detection unit 14 as a plasma detection unit for detecting a change in the electric field before and after the generation of the plasma uses a change in the electric field due to the plasma generated in the container, and so-called, on the output side. Although the electrical change is used to determine the degree of vacuum, in the second embodiment, if an AC high voltage is applied to a container having a vacuum hollow portion, a plasma state always occurs in the hollow portion, Since it is clear that the electric field fluctuates, a current sensor 70 as the plasma detecting unit 14 is provided on the input side of the first and second electrodes 24 and 30 from the high voltage generating unit 20 to reduce the amount of current consumed. By amplifying and outputting the power information and the like to the determination unit 38, the degree of vacuum of the container can be similarly detected. As described above, a change in an electric field generated on the input side due to a plasma state in the container may be regarded as a change in an electric amount, and the change may be detected by various detection devices.

【0044】さらに、図14に基づいて、本発明の第3
実施例について説明するが、前記第1実施例と同一構成
手段あるいは同一構成部には同一の符号を付し、その詳
細な説明は省略する。この実施例において、プラズマ検
出部14はプラズマの発光状態を光学的に検出し、プラ
ズマ発光の前後における光学的変化を電気信号として出
力する光学的検出部72と、該電気信号と設定値とを比
較して前記プラズマの発生に対応して真空度の良否を判
定する判定部38と、該判定結果を表示する表示部40
と、から構成されている。光学的検出部72は例えば光
センサ、CCDイメージセンサや、MOSイメージセン
サ、撮像管、その他の光学的検出手段を用いれば良い。
このように、プラズマ発光によりプラズマ状態を確認す
ることにより、被検体容器内部の真空度を検出し得るも
のである。
Further, based on FIG. 14, a third embodiment of the present invention will be described.
Although the embodiment will be described, the same reference numerals are given to the same components or the same components as those of the first embodiment, and the detailed description thereof will be omitted. In this embodiment, the plasma detector 14 optically detects the light emission state of the plasma, and outputs an optical change before and after the plasma light emission as an electric signal. A determination unit 38 for comparing the degree of vacuum with respect to the generation of the plasma, and a display unit 40 for displaying the determination result
And is composed of The optical detection section 72 may use, for example, an optical sensor, a CCD image sensor, a MOS image sensor, an image pickup tube, or other optical detection means.
As described above, the degree of vacuum inside the object container can be detected by confirming the plasma state by plasma emission.

【0045】この第3実施例では、高電圧印加により容
器内に発生したプラズマ状態において、プラズマ発光が
生じることから、この高電圧の印加の前後におけるプラ
ズマ発光の有無を検出することにより容器内の真空度を
検出するものである。図において高電圧が印加される検
出領域である両電極24、30間部分は少なくとも被検
体容器10を暗室状態に閉じ込めるように、必要に応じ
て遮光装置74が設けられている。この遮光装置74は
容器の通過路に対応する部分に幕部76が形成されてお
り、自在に進入、通過できるようになって、通過後は自
体で再び内部を暗室状態とするように垂下状に保持され
る。
In the third embodiment, plasma emission occurs in the plasma state generated in the container by the application of the high voltage. Therefore, by detecting the presence or absence of the plasma emission before and after the application of the high voltage, the inside of the container is detected. It detects the degree of vacuum. In the drawing, a light-shielding device 74 is provided as necessary so as to confine at least the subject container 10 in a dark room at a portion between the two electrodes 24 and 30 which is a detection region to which a high voltage is applied. The light shielding device 74 has a curtain portion 76 formed at a portion corresponding to the passage of the container, so that the curtain portion can freely enter and pass, and after passing through, a hanging shape so that the inside itself becomes a dark room state again. Is held.

【0046】容器類内部の内容物は粉体、錠剤、粒状
体、練り状態その他の固体状態でも良いし、使用上問題
がなければ液体、ガス状体、であっても良い。
The contents inside the containers may be in the form of powder, tablets, granules, kneaded state or other solid state, or may be liquid or gas state if there is no problem in use.

【0047】[0047]

【発明の効果】以上、説明したように本発明の容器類の
真空度検出装置によれば、密閉され、かつ減圧された非
導電性容器の内部に、外部から高電圧を印加し、同容器
内部にプラズマ状態を生じさせる高電圧印加手段と、前
記プラズマ発生の前後における電界の変化またはプラズ
マ発光の有無を検出するプラズマ検出手段と、を備えて
いるので、簡単な構成、かつ、低コストにより短時間で
連続的に被検体容器の真空度チェックを行なえるだけで
なく、製品の全数検査が可能となり、製品の品質保証を
確実なものとし得る。さらに、穿刺手段等のツールを容
器内部に穿刺させて検出するのではなく、単に容器外面
に電極を近接、あるいはあてがうだけであるから製品の
非破壊が確保される。
As described above, according to the container vacuum detecting apparatus of the present invention, a high voltage is externally applied to the inside of a sealed and depressurized non-conductive container, and A high voltage applying means for generating a plasma state therein; and a plasma detecting means for detecting the presence or absence of a change in an electric field or the presence or absence of plasma emission before and after the plasma generation, so that a simple configuration and low cost are provided. In addition to being able to continuously check the degree of vacuum of the subject container in a short time, the entire product can be inspected, and the quality assurance of the product can be ensured. Further, the detection is not performed by piercing a tool such as a puncturing means into the inside of the container, but the electrode is merely brought close to or applied to the outer surface of the container, so that nondestruction of the product is ensured.

【0048】また、前記プラズマ検出手段は、前記電界
の変化に対応する電気的変化を検出するようにしている
ので、電圧、電流、インピーダンス、電力、周波数、ア
ドミタンス等の電気的特性に基づく変化を検出するため
のセンサを用いて設定値との比較を行なうだけで良いか
ら、回路は簡単であり、製作が容易で、低コストが維持
できる。
Further, since the plasma detecting means detects an electric change corresponding to the change of the electric field, the change based on the electric characteristics such as voltage, current, impedance, power, frequency, and admittance is detected. Since it is only necessary to perform comparison with the set value using a sensor for detection, the circuit is simple, easy to manufacture, and low cost can be maintained.

【0049】さらに、前記プラズマ検出手段は、前記電
界の変化に対応する電流、電圧、インピーダンス、アド
ミタンスまたは周波数のいずれかまたはこれらの組み合
わせによる変化を検知する検知手段と、この検知手段に
よる検知信号と設定値とを比較して前記プラズマの発生
に対応して真空度の良否を判定する判定手段と、該判定
結果を表示する表示手段と、から構成することにより、
簡単な構成で、低コストでの製作が実現でき、また、信
号処理による短時間で、連続的な被検体容器の真空度チ
ェックの実効を確保することが可能である。
Further, the plasma detecting means includes a detecting means for detecting a change due to any one or a combination of a current, a voltage, an impedance, an admittance and a frequency corresponding to the change in the electric field, and a detecting signal by the detecting means. By comparing a set value and determining means for determining whether the degree of vacuum is good or bad in response to the generation of the plasma, and display means for displaying the determination result,
With a simple configuration, it can be manufactured at low cost, and it is possible to ensure the effectiveness of continuous vacuum degree check of the subject container in a short time by signal processing.

【0050】また、前記検知手段は、前記プラズマ発生
による電界の変化によりその内部インピーダンスを変化
させる電界励起装置であることにより、高電圧印加部と
分離して別体で構成できるから装置全体の製作過程で高
電圧発生部分との工程間の調整を行う必要がなく、量産
に適合する。また、放電管等市販の製品を利用できるか
ら、製造コストダウンの実効を図ることができる。
Further, since the detecting means is an electric field excitation device that changes its internal impedance by changing the electric field due to the plasma generation, it can be configured separately from the high voltage application part, so that the entire device can be manufactured. In the process, there is no need to make adjustments between the process and the high-voltage generating portion, and it is suitable for mass production. Further, since a commercially available product such as a discharge tube can be used, it is possible to reduce the production cost.

【0051】また、前記電界励起装置は、所定励起電圧
で放電する放電管から構成することにより、市販のもの
を簡単に入手でき、電界センサとして簡単に構成できる
ので、製作コストを低廉に維持し得る。また、高電圧印
加部と分離して別体で構成できるから装置全体の製作過
程で高電圧発生部分との工程間の調整を行う必要がな
く、量産性を確保し得る。
Further, since the electric field excitation device is constituted by a discharge tube which discharges at a predetermined excitation voltage, a commercially available one can be easily obtained and can be simply constituted as an electric field sensor, so that the production cost can be kept low. obtain. In addition, since it can be configured separately from the high voltage application unit, there is no need to perform adjustment between the process and the high voltage generation part in the manufacturing process of the entire device, and mass productivity can be ensured.

【0052】また、前記プラズマ検出手段はプラズマの
発光状態を光学的に検出し、プラズマ発光の前後におけ
る光学的変化を電気信号として出力する光学的検出手段
と、該電気信号と設定値とを比較して前記プラズマの発
生に対応して真空度の良否を判定する判定手段と、該判
定結果を表示する表示手段と、からなるようにすること
により、簡単な構成、かつ、低コストにより短時間で連
続的に被検体容器の真空度チェックを行なえるだけでな
く、製品の全数検査が可能となり、製品の品質保証を確
実なものとし得る。
The plasma detecting means optically detects the light emission state of the plasma, and compares the electric signal with a set value with an optical detecting means for outputting an optical change before and after the plasma light emission as an electric signal. A determination means for determining the degree of vacuum in accordance with the generation of the plasma; and a display means for displaying the determination result. In addition to being able to continuously check the degree of vacuum of the subject container, all the products can be inspected, and the quality assurance of the products can be ensured.

【0053】さらに、前記設定値を変更調整する変更調
整手段が設けられているので、印加電圧と真空度との関
係を考慮して作業者が任意に設定値を変更調整でき、表
示部のメータ類や、検知部としての電界、電圧その他の
センサとの動作範囲調整などを行なえて装置の保守、メ
ンテナンスが容易となるという効果を奏する。
Further, since a change adjusting means for changing and adjusting the set value is provided, the operator can arbitrarily change and adjust the set value in consideration of the relationship between the applied voltage and the degree of vacuum, and This makes it possible to adjust the operation range of the sensor and the electric field, voltage, and other sensors as a detection unit, thereby facilitating the maintenance and maintenance of the apparatus.

【0054】また、前記高電圧印加手段は、前記非導電
性容器の外面に挟持状に対向配置された第1、第2電極
を備えているので、軽く被検体容器の外面に電極を接触
させるだけであるから検出領域に容器類を簡単にかつ連
続的に供給し、かつ、検出を実行することが可能であ
る。
Further, the high voltage applying means includes the first and second electrodes which are sandwiched and opposed to the outer surface of the non-conductive container, so that the electrodes are lightly brought into contact with the outer surface of the subject container. Therefore, it is possible to easily and continuously supply containers to the detection area and execute the detection.

【0055】さらに、前記第1、第2電極のいずれかま
たは両方は、前記非導電性容器の外面側から該容器を内
側に挟み込む方向に弾性的に付勢されているので、容器
の外形形状のいかんにかかわらず、多種類、他サイズの
容器の真空度検出を達成し得る。
Further, one or both of the first and second electrodes are elastically urged from the outer surface side of the non-conductive container in a direction to sandwich the container inside, so that the outer shape of the container is reduced. Irrespective of the above, it is possible to achieve the detection of the degree of vacuum of various types and other sizes of containers.

【0056】さらに、前記第1、第2の電極は、非導電
性容器を直列状に配置させて通過させ得るように通過路
に臨んで対向配置されているので、軽く被検体容器の外
面に電極を接触させるだけであるから検出領域に容器類
を簡単にかつ連続的に供給し、かつ、検出を実行するこ
とが可能である。
Further, the first and second electrodes are opposed to each other so as to face the passage so as to allow the non-conductive containers to be arranged in series and pass therethrough. Since only the electrodes are brought into contact with each other, it is possible to easily and continuously supply containers to the detection area and execute detection.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の原理ブロック構成説明図である。FIG. 1 is an explanatory diagram of the principle block configuration of the present invention.

【図2】本発明の第1実施例をより具体化させたブロッ
ク構成説明図である。
FIG. 2 is an explanatory diagram of a block configuration in which the first embodiment of the present invention is further embodied.

【図3】実施例装置のユニットケースの一部切欠正面説
明図である。
FIG. 3 is an explanatory front view partially cut away of a unit case of the embodiment device.

【図4】その右側面説明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram of the right side thereof.

【図5】その平面説明図である。FIG. 5 is an explanatory plan view thereof.

【図6】実施例の高電圧発生部の概略回路構成図であ
る。
FIG. 6 is a schematic circuit configuration diagram of a high-voltage generation unit according to the embodiment.

【図7】検知部の概略回路図構成図である。FIG. 7 is a schematic circuit diagram configuration diagram of a detection unit.

【図8】制御ユニットの正面図である。FIG. 8 is a front view of the control unit.

【図9】実施例装置の作用説明図である。FIG. 9 is a diagram illustrating the operation of the embodiment device.

【図10】真空度の良否判定手順のフローチャート図で
ある。
FIG. 10 is a flowchart of a procedure for determining the quality of a vacuum.

【図11】真空度の良否判定手順のフローチャート図で
ある。
FIG. 11 is a flowchart of a procedure for determining the quality of a vacuum.

【図12】真空度の良否判定手順のフローチャート図で
ある。
FIG. 12 is a flowchart of a procedure for determining the quality of a vacuum.

【図13】本発明の第2実施例装置の概略ブロック構成
説明図である。
FIG. 13 is a schematic block diagram of a device according to a second embodiment of the present invention.

【図14】本発明の第3実施例装置の概略ブロック構成
説明図である。
FIG. 14 is a schematic block diagram of a device according to a third embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 非導電性容器 12 高電圧印加部 14 プラズマ検出部 20 高電圧発生部 24 第1電極 30 第2電極 36 検知部 38 判定部 40 表示部 49 変更調整部 70 電流センサ 72 光学的検出部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Non-conductive container 12 High voltage application part 14 Plasma detection part 20 High voltage generation part 24 1st electrode 30 2nd electrode 36 Detection part 38 Judgment part 40 Display part 49 Change adjustment part 70 Current sensor 72 Optical detection part

Claims (10)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 密閉され、かつ減圧された非導電性容器
の内部に、外部から高電圧を印加し、同容器内部にプラ
ズマ状態を生じさせる高電圧印加手段と、 前記プラズマ発生の前後における電界の変化またはプラ
ズマ発光の有無を検出するプラズマ検出手段と、 を備えてなる容器類の真空度検出装置。
1. A high-voltage applying means for applying a high voltage from the outside to a sealed and decompressed non-conductive container to generate a plasma state inside the container, and an electric field before and after the generation of the plasma. And a plasma detecting means for detecting the presence or absence of plasma light emission.
【請求項2】 前記プラズマ検出手段は、前記電界の変
化に対応する電気的変化を検出することを特徴とする請
求項1記載の容器類の真空度検出装置。
2. The apparatus according to claim 1, wherein said plasma detecting means detects an electrical change corresponding to a change in said electric field.
【請求項3】 前記プラズマ検出手段は、前記電界の変
化に対応する電流、電圧、インピーダンス、アドミタン
スまたは周波数のいずれかまたはこれらの組み合わせに
よる変化を検知する検知手段と、 この検知手段による検知信号と設定値とを比較して前記
プラズマの発生に対応して真空度の良否を判定する判定
手段と、 該判定結果を表示する表示手段と、 からなる請求項2記載の容器類の真空度検出装置。
3. The plasma detecting means includes: a detecting means for detecting a change due to any one or a combination of a current, a voltage, an impedance, an admittance and a frequency corresponding to the change in the electric field; and a detecting signal by the detecting means. 3. A container vacuum degree detecting apparatus according to claim 2, comprising: a judging means for judging the degree of vacuum in accordance with the generation of the plasma by comparing the set value with a set value; and a display means for displaying the judgment result. .
【請求項4】 前記検知手段は、前記プラズマ発生によ
る電界の変化によりその内部インピーダンスを変化させ
る電界励起装置である請求項3記載の容器類の真空度検
出装置。
4. The apparatus for detecting the degree of vacuum of containers according to claim 3, wherein said detection means is an electric field excitation device for changing its internal impedance by changing the electric field due to said plasma generation.
【請求項5】 前記電界励起装置は、所定励起電圧で放
電する放電管からなる請求項4記載の容器類の真空度検
出装置。
5. The apparatus for detecting the degree of vacuum of containers according to claim 4, wherein said electric field excitation device comprises a discharge tube which discharges at a predetermined excitation voltage.
【請求項6】 前記プラズマ検出手段はプラズマの発光
状態を光学的に検出し、プラズマ発光の前後における光
学的変化を電気信号として出力する光学的検出手段と、 該電気信号と設定値とを比較して前記プラズマの発生に
対応して真空度の良否を判定する判定手段と、 該判定結果を表示する表示手段と、 からなる請求項1記載の容器類の真空度検出装置。
6. The plasma detecting means for optically detecting a light emission state of plasma and outputting an optical change before and after plasma light emission as an electric signal, and comparing the electric signal with a set value. 2. The apparatus for detecting the degree of vacuum of containers according to claim 1, further comprising: determining means for determining whether the degree of vacuum is good or bad in response to generation of the plasma; and display means for displaying the result of the determination.
【請求項7】 前記設定値を変更調整する変更調整手段
が設けられてなる請求項1ないし6のいずれかに記載の
容器類の真空度検出装置。
7. The container vacuum degree detecting apparatus according to claim 1, further comprising a change adjusting means for changing and adjusting said set value.
【請求項8】 前記高電圧印加手段は、前記非導電性容
器の外面に挟持状に対向配置された第1、第2電極を備
えてなる請求項1ないし6のいずれかに記載の容器類の
真空度検出装置。
8. The containers according to claim 1, wherein the high-voltage applying means includes first and second electrodes disposed so as to be sandwiched and opposed to an outer surface of the non-conductive container. Vacuum degree detector.
【請求項9】 前記第1、第2電極のいずれかまたは両
方は、前記非導電性容器の外面側から該容器を内側に挟
み込む方向に弾性的に付勢されてなる請求項7記載の容
器類の真空度検出装置。
9. The container according to claim 7, wherein one or both of the first and second electrodes are elastically urged from an outer surface of the non-conductive container in a direction to sandwich the container inside. Kind of vacuum detector.
【請求項10】前記第1、第2の電極は、非導電性容器
を直列状に配置させて通過させ得るように通過路に臨ん
で対向配置されてなる請求項1ないし8のいずれかに記
載の容器類の真空度検出装置。
10. The method according to claim 1, wherein the first and second electrodes are arranged facing each other to face a passage so as to allow the non-conductive containers to be arranged in series and pass therethrough. A device for detecting the degree of vacuum of containers described in the above.
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