JPH11509013A - プラズマを含有するディスプレイデバイス用の中空状カソード及びこの中空状カソードの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 プラズマを含む電気光学ディスプレイデバイスの性能、信頼性及び寿命を改良するために、少なくともカソード電極にプラズマ放電が生じる中空体或いはウェルを設ける。これにより、デバイスの壁にスパッタ堆積すべき電極材料が減少する傾向にある。更に、カソード放射を、合金化か或いは表面コーティングかのどちらかにより放射材料を電極に含ませることによって改良する。

Description

【発明の詳細な説明】 プラズマを含有するディスプレイデバイス用の中空状カソード 及びこの中空状カソードの製造方法 本発明は、プラズマを形成するプラズマ電極を有するプラズマを含むディスプ レイデバイスに関するものであり、特には、プラズマアドレスの液晶（ＰＡＬＣ ）ディスプレイパネルのようなプラズマディスプレイパネル及びプラズマアドレ ス電気光学ディスプレイパネルに関するものである。 幾つかのプラズマディスプレイディバイスにおいて、電気光学媒体はプラズマ 発生ガスである。即ち、このようなディスプレイデバイスはディスプレイを形成 するためのプラズマのグロー放電から放射される可視放射を利用する。他のプラ ズマディスプレイデバイスにおいては、プラズマのグロー放電は、ＵＶ放射を生 じ、これにより放射蛍光体が励起し、この蛍光体が励起したときには可視光（例 えば赤或いは青）を放射する。ＰＡＬＣディスプレイデバイスは、各電気光学媒 体、通常は液晶（ＬＣ）材料の画素にデータ電圧を印加するためのスウィッチと してプラズマを利用する。バックライティングにより供給された可視放射を、デ ィスプレイを形成するためのデータ電圧による画素により変調する。上述の全て の種類のディバイスにおいて、グロー放電或いは発光を、プラズマチャンバ内の カソード及びアノードプラズマ電極に電圧を印加することによって、達成する。 ここで、「プラズマを含むディスプレイディバイス」とは、一般的にはプラズマ とＰＡＬＣディスプレイデバイスとの両方に対して言われているものである。 ＰＡＬＣディスプレイデバイスに、典型的には第１基板と第２基板とのサンド イッチを設けるが、この第１基板は、この基板上に堆積した平行で透明な列電極 を有し、通常は「ＩＴＯ」列或いは電極と称され、典型的にはインジウム錫酸化 物を使用し、この上にカラーフィルタ層を堆積させ、この第２基板にはヘリウム のような低圧で電離可能なガスで満たされた各ＩＴＯ列の全てに交差するディス プレイの行に対応する平行でシールされたプラズマチャネルを設け、このチャネ ルはプラズマを発生させるためのガスを電離させるためのチャネルに沿って離間 させカソード及びアノード電極を含み、このチャネルを薄い透明な絶縁体によっ て封止し、液晶（ＬＣ）材料のような電気光学材料を基板間に配置する。この構 造は、有効なマトリックス液晶ディスプレイのように作用し、この構造内では、 各画素に薄いフィルムトランジスタスウィッチを、行スウィッチとして動作する プラズマチャネルにより交換し、ＬＣ画素素子の行を選択的にアドレスすること ができる。動作中には、表示すべき像を表現するデータ信号の連続的な線を列位 置に試し、この試験データ電圧をＩＴＯ列に各々印加する。行プラズマチャネル の１つを除いた全てを消イオン状態或いは絶縁状態とする。電離し且つ選択した １つのチャネルのプラズマを導電性とすると、その結果データ各ＬＣ画素が信号 の印加された列ポテンシャルにまで充電される。この電離したチャネルを取り外 し、ＬＣ画素充電を絶縁し、フレーム周期にデータ電圧を記憶する。データの隣 の行がＩＴＯ列上に現れたときには、連続的なプラズマチャネル行のみをＬＣ画 素の連続的な行内でデータ電圧等をを記憶するように電離する。よく知られてい るように、バックライト或いは入射光に対する各ＬＣ画素の減衰を画素に亘る記 憶電圧の関数とする。より詳細な説明は必要ないが、その理由はこのようなＰＡ ＬＣデバイスの構造、組立及び動作が次の刊行物において詳細に説明されている からであり、従ってこの刊行物、即ちブザック等による“A 16-Inch Full Color Plasma Addressed Liquid Crystal Display”,Digest of Tech．Paper,1993 SI D Int．Symp.,Soc for Info．Displ．pp.883-886の内容を参照して組み込む。 このようなディスプレイが遭遇する主な困難の１つは、プラズマ反応が促進す る間、重イオンの衝撃によりカソードをスパッタリングすることである。このよ うなスパッタリングにより、デイスプレイの内壁にカソード電極材料が堆積し、 従ってディスプレイの伝導及び効能が抑制される。 更に、同一のプラズマチャネルによりを短時間でプラズマを低電圧で形成でき 、安定したデータがセットアップされ、時間を節約でき、短時間でプラズマが崩 壊する。 本技術の現状は、ＬａＢ₆或いはＧｄＢ₆の層で覆ったＣｒ／Ｃｕ／Ｃｒ電極を 使用し、プラズマチャネル内を純粋なヘリウムガスで満たす。このような配置に より、プラズマをプラズマチャネル内でアノード電極及びカソード電極との間 に３５０Ｖのを印加することにより３μｓ内でスウィッチすることができる。こ のようなスウィッチング時間を満足する間は、このプラズマは所望なものよりも 著しく長い（１８μｓ）導電状態において維持される。これにより、ＬＣ画素上 で信号に変質をもたらし、クロストークを減少させる技術を使用する際の時間は 見込まれない。これは、Ｈｅ−Ｎｅのようなより好適な崩壊時間を有するガス混 合物を使用することにより改良することができる。しかしながら、プラズマ状態 では電極のスパッタリングは、このガス混合物及び他のガス混合物により悪化し 、ディスプレイパネルの寿命は低下する。更に、所望な発光電圧（３５０Ｖ）に より、電極材料の相当なスパッタリングが得られる。 本発明の目的は、プラズマを含むディスプレイデバイスを改良することにある 。 本発明の他の目的は、性能、信頼性及び寿命が改良された、プラズマを含むデ ィスプレイデバイスを提供することにある。 本発明の更なる目的は、スパッタリング及び／或いは発光電圧を低下させて示 すのに対してより大きな抵抗の電極を有するプラズマを含むディスプレイデバイ スを提供することにある。 本発明の第１の態様により、プラズマを含むディスプレイデバイスに少なくと も「中空体」形状、即ち、プラズマの発光が周囲のプラズマから少なくとも部分 的にシールドされる領域に生じる形状、にカソード電極を設ける。 本発明の好適な実施例において、カソード電極及びアノード電極がプラズマチ ャネル内で互いに平行に配置したＰＡＬＣディスプレイデバイス内では、各カソ ード電極の少なくとも一方の側を中空状のチャネル形状内に配置し、チャネルの 断面をＣ型とし、チャネルのオープンサイドを他の電極と対向させる。 本発明の他の実施例においては、少なくともカソード電極の両側部分を中空状 のチャネル形状内に存在させ、チャネルの断面をＩ型とし、チャネルのオープン サイドを他の電極と対向させる。 本発明の他の態様によれば、このような中空状チャネル電極を製造するための 方法に、（ａ）プラズマチャネル内に多層電極を形成する工程と、（ｂ）電極の 中間層或いは他の層の部分を優先的にエッチングするか或いはさもなければ除去 する工程を設ける。 この方法の好適な実施例により、電極の一方の側を例えばフォトマスクにより シールドする一方で、中間層部分を剥き出した側から除去し、これにより、Ｃ型 電極断面が得られる。 本発明の第１の態様の他の実施例においては、カソード電極とアノード電極と を互いに直交するように対向する基板上に配置し、これらの電極の間にプラズマ を挟むことにより、少なくともカソード電極には対向電極と交差する領域内に電 極を形成する中空体或いはウェルを設ける。 これらのプラズマを含むデバイスの動作中には内部に生じる多数のイオンの衝 突により、中空体内部でグロー放電或いはプラズマ発光が生じ、これらの衝突は 画一的なカソード構造において生じる衝突よりも著しく激しい。これらの多数イ オンの衝突により、既知のように、放電に対して最小のエネルギ域を生じる。こ の現象によりカソードホール（規定）が減少し、その結果順番により低い最終的 なディスプレイの駆動電圧が得られる。更に、放電が中空体の内部に生じるので 、いかなるスパッタ電極材料もプラズマディスプレイの内壁にというよりは電極 に再堆積する傾向にあり、その結果カソードスパッタリングによる効能の減少が 緩和される。 又カソード電極とアノード電極の両電極の各交差領域に中空体を設けることが 好適である。 本発明の他のもう１つの第２態様により、電気材料を合金化することにより、 或いは電極の表面をコーティングすることにより、或いは合金化とコーティング とを組み合わせることにより、放射材料を好適には中空状のカソード幾何学的形 状に組み込むことにより、カソードホールを更に減少することができる。 カソードホールをより低くするために、Ｂａ及びＣｓのような放射材料をｐｔ 、Ｐｄ、Ｎｉ、Ｗ及びＩｒのような電極材料と合金化し、この放射材料をここで 示したＣ及びＩ型のチャネル形状を生じる中間層を優先的に除去できる組み合わ せにおいて使用することができる。 電極表面コーティングとして使用することができる放射性材料に基づくバリウ ム及びセシウムは、イオンの衝撃により、著しく良好な電子エミッタとして知ら れている酸化バリウム或いは酸化セシウムに分解すべきである。更に酸化バリウ ムは、透明であってその結果チャネル上のいかなる堆積によってもディスプレイ の効能を低下させることはないという利点を有する。 酸化バリウム及び酸化セシウムは、極端な吸湿性を有するために、このような 堆積は不可能である。イオンの衝突により酸化バリウム或いは酸化セシウムを生 じる材料は、Ｓｒ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｓｃ、Ｙ及びＬａの１つ以上の酸化物を 有するＢａ或いはＣｓの混合酸化物を含む。このような混合酸化物を、好適には Ｂａ_xＳｒ_1-xＺｒＯ₃、（Ｂａ_xＳｒ_1-x）₄Ｔａ₂Ｏ₉、Ｂａ_xＳｒ_1-xＴｉＯ₃、Ｂ ａ_xＳｒ_1-xＹ₂Ｏ₄、Ｃｓ₂ＺｒＯ₃及びＣｓＴｉＯ₃からなるグループから選択し 、ここでｘの範囲を０乃至１とする。エミッタ材料即ち（Ｂａ_xＳｒ_1-x）₄Ｔａ₂ Ｏ₉については、特にその顕著ななスパッタ抵抗について言及する。 これらの混合酸化物のエミッタ材料を、電気詠動、パウダーコーティング、ス パッタリング、化学蒸着堆積及びレーザ消耗を含む多様な技術により電極上に堆 積する。パウダーコーティングを使用する際には、コーティングを電極に固着す るのに必要ないかなる焼結をも、低温度（例えば、ガラス基板の融点のに依存す る約５００°或いはそれよりも低い温度）で実行すべきである。これは焼結の補 助をとしてある添加物を使用することにより達成される。これらの添加物により 、加速的な拡散によって焼結工程の助けとなる粘性の共晶層を形成する。例えば 、アルミニウムパウダ、メタほう酸バリウム及び低溶融ガラスパウダを焼結の目 的として全て使用することができる。 本発明を特徴とする多種の新規な態様は、特にはこの開示に添付し且つこの開 示部分のを形成する請求の範囲により指摘する。本発明と、その動作の利点と及 びその使用により達成される明白なる目的をより良好に理解するためには、図面 に従って記載事項を参照すべきであり、この記載事項中には本発明による好適な 実施例の例示及び記載があり、本発明中では参照符号或いは文字は同じ或いは同 じような構成部材を意味する。 図面において、 図１は、通常のフラットパネルのディスプレイシステムのブロック図を図式的 に示したものであり、 図２は、従来のＰＡＬＣディスプレイデバイスの部分の斜視図を示したもので あり、 図３は、本発明による中空状の電極を有する３つのチャネルを示す図２のＰＡ ＬＣディスプレイデバイスの部分の断面図を示した門であり、 図４及び図５は、図３に示した中空状の電極の組立の工程を、図式的に断面で 示したのであり、 図６及び図７は、本発明のもう１つの実施例のもう１つの中空状電極形状の組 立における工程を図式的に断面で示したものであり、 図８及び図９は、本発明のもう１つの電極の形状の各々を図式的に平面図及び 断面図で示したものである。 図１は、フラットパネルディスプレイシステム１０を示したものであり、これ は典型的なＰＡＬＣディスプレイデバイス及び動作電子回路を示したものである 。図１により、フラットパネルディスプレイシステムに、ディスプレイ面１４を 有するディスプレイパネル１２を設けるが、このディスプレイ表面は、垂直方向 及び水平方向に予め寸法を決定して相互に離間させた公称的に同一なデータ記憶 装置か或いはディスプレイ素子１６を長方形平面のアレイによって形成したパタ ーンを含む。このアレイの各表示素子１６は垂直方向の列に配置した薄く細い電 極１８と水平方向の行に配置した細長く幅の狭いチャネル２０とのオーバーラッ プ部分を示す（電極１８を以下に「列電極」という）。複数のチャネル２０の各 行の表示素子１６により１本のデータ線を表す。 列電極１８及びチャネル２０の幅により、ディスプレイ素子１６の寸法を決定 し、この素子の形状を典型的には矩形とする。列電極１８は、第１の非導電性で 好適には透明な基板３４の主表面上に堆積し、チャネル行により通常は第２の透 明な基板３６を形成する。直視型か或いは投射型かのいずれかの反射ディスプレ イのようなシステムでは、唯一の基板を好適には光学的に透明とする必要がある ことを当業者は理解するであろう。 列電極１８は、データドライバ或いは駆動サーキット２４の各出力増幅器２３ （図２）による平行な出力導体２２’に生じたアナログ電圧タイプのデータ駆動 信号を受信し、即ち、チャネル２０は、データストローブ、ストローブ手段或い はストローブ回路２８の各出力増幅器２１（図２）による平行な出力導体２６’ に生じた電圧パルスタイプのデータストローブ信号を受信する。各チャネル２０ は、各チャネル２０に対して共通の、大地のような、基準位置とデータストロー ブ２８とを供給した基準電極３０（図２）を含む。 ディスプレイ表面１４の全面に像を形成するためには、ディスプレイシステム １０は、ディスプレイパネル１２の表示素子１６の全列が行の走査態様に行毎に アドレスするようにデータドライバ２４とデータストローブ２８との機能を協働 させる走査制御回路３２を用いる。ディスプレイパネル１２には、異なるタイプ の電気光学材料を使用することができる。例えば、ディスプレイパネルに入射光 線の偏向状態を変化させるこのような材料を使用した場合には、ディスプレイパ ネル１２を、一対の光偏向フィルタ間に配置し、この２つのフィルタを、これら のフィルタを通って伝播する光の輝度を変化させるようにディスプレイパネル１ ２と協働させる。しかしながら電気光学材料として散乱性液晶セルを使用するこ とにより、偏向フィルタの使用が必要なくなる。このような全ての材料或いは印 加される電圧に応じて透過光或いは反射光を減衰させる材料層を、ここでは電気 光学材料という。ＬＣ材料が現在では最も一般的な例であるので、詳細な説明で はＬＣ材料について言及するが、本発明がこれに限定されることのないことは理 解されるであろう。カラーフィルタ（図示せず）を、色強度を制御できる多色像 を形成するディスプレイパネル１２内に配置することができる。投射型ディスプ レイの場合は、色は３つの別々のモノクロムパネル１２を使用することにより達 成され、この各パネルは１つの原色を制御する。 図２は、ＬＣ材料を使用するこのようなディスプレイパネルのＰＡＬＣ型を示 しものである。列電極１８は３本のみ示してある。行電極２０を、ＬＣ材料の層 ４２の下側に存在して（図２内）平行に延在してシールされた複数のチャネルに より構成する。各チャネル２０を、電離可能なガス４４で充填し、典型的にはガ ラスの薄い誘電シート４５で封止し、このチャネルの内部チャネル表面内には各 チャネルの全長に亘って延在する第１及び第２の離間して延在する電極３０及び ３１を含ませる。接地した第１電極３０を通常はカソードという。第２電極３１ をアノードといい、これをカソード電極に対して供給すると、十分な正のストロ ーブパルスが生じ、その結果電子がガスを電離するようなカソード３０から放射 され、これによりプラズマを形成する。上述の説明のように、各チャネル２０は 順番に、プラズマを形成するためのストローブパルスによりイオン化されたガス 及び上側のＬＣ層４２内の１行の画素に対して接地された線接続を有する。スト ローブパルスが終端して、イオンが消滅した後には、次のチャネルをストローブ し、そして消す。列電極１８は、全列の画素と交差し、この際に１回で唯一のプ ラズマ行接続によりクロストークを避けることができる。 動作中に、プラズマがチャネル中に形成された際には、カソード電極３０は、 通常はスパッタリングというプラズマ内に発生した陽イオンにより衝撃を受け、 これによりカソード電極から材料を蒸発させて適当にカソードを浸食し、プラズ マの発光或いは安定したプラズマの維持が妨害される。上述のように、ＬａＢ₆ か或いはＧｄＢ₆の層で覆われた通常使用されるＣｒ／Ｃｕ／Ｃｒ電極は、この スパッタリング問題に陥り易い。更に、プラズマを、十分に高いストローブパル スを適用することにより十分に短い時間内にスイッチで入れることができるが、 ストローブパルスパルスが終結した後、プラズマは所望な時間よりもかなり長い （１８μｓ）の導電状態で維持される。 本発明の構成によれば、少なくともＰＡＬＣディスプレイチャネルのカソード 電極に中空状の形状を設ける。電子放射性材料を少なくともカソード電極の表面 に含ませるか或いは電子放出性材料をこの表面で覆う。 図３は、チャネル２０を含むＰＡＬＣディスプレイデバイスの基板部分を示し たものである。典型的にはガラスであるこの基板４６は、前述した出願中に記載 されているようにエッチングしたチャネル２０を有し、典型的にはカソード電極 ４７及びアノード電極４８を、気相堆積させる。本発明によれば、これらの電極 の形状を中空状とし、プラズマの発光を中空体５０及び５１内で生ぜしめ、この 中空体を各電極４７及び４８の頂上部分５２及び５３により周囲のプラズマから 部分的に保護する。この構造により、チャネル２０と薄いカバーシート４５との 壁の電極材料のスパッタリングによる堆積が減少されるが、その理由は殆どのス パッタリングされた電極材料が中空体５０及び５１中で生じ且つ再堆積するから である。更に、中空体５０及び５１は、チャネルの両端において互いに対向する 。 中空状の電極４７及び４８の製造段階を図４及び図５に示したが、これは図２ 及び図３の場合のように電極を湾曲した表面の代わりに平坦な表面上に形成する 場合である。これらの電極を、上層及び下層を除いてエッチ剤によって容易に除 去する中間層材料により、種々の材料の多層を堆積させることによって、基板５ ４の平坦な上側表面に形成する。例えば、上層（５９、６０）及び下層（５５、 ５６）をクロム合金とすることができ、中間層（５７、５８）を銅とすることが できる。もう一つの好適な組み合わせは、ニッケル−タングステン−ニッケルで ある。これらの複合電極を従来の手段により形成することができる。これに次い で、中空体を形成するための選択性エッチングは、フォトレジスト（６１、６２ ）か或いは他の耐エッチング性マスキング材料を有する電極（４７、４８）の一 端を覆うことにより、既知のフォトリソグラフィのパターニング技術を使用する ことにより、及び剥き出しの端部で中間層５７及び５８を選択的にエッチングす ることにより成される。電極材料の開示された組み合わせ用の好適な選択性エッ チ剤は、例えばクロム合金−銅−クロム合金用には塩化鉄及びニッケル−タング ステン−ニッケル用には過酸化水素が知られている。所望の量の中間層をエッチ ングにより除去した後に、フォトレジスト或いは他のマスキング材料を除去する と、その結果図５に示した中空体の電極構造が生じる。 プラズマチャネルをガラス基板にエッチングするＰＡＬＣディスプレイデバイ スの上述の実施例の他に、電極を平坦なガラス基板上にスクリーン印刷し、時に はチャネルの側壁を電極の頂上にスクリーン印刷することにより、プラズマチャ ネルを形成することが又知られており、これは側壁の頂上に薄いガラスシートで チャネルをシールする。このようなＰＡＬＣディスプレイデバイス用の中空状の 電極を、図６及び図７に示すようにチャネル壁の下方で形成した複合電極の選択 性エッチングにより、容易に形成する。 混合電極６４及び６５を先ず例えば基板６３の平坦な頂上表面で印刷したスク リーンにより形成し、その後、例えばチャネル側壁７２及び７３を複合電極６４ 及び６５の頂上に例えばスクリーン印刷により又形成する。中間層６７及び７０ を下層６６及び６９と上層６８及び７１とに対して選択的にエッチング可能な、 下、中間、及び上層の組み合わせ（６６、６７、６８）及び（６９、７０、７１ ）を使用することにより、選択的なエッチングが可能となり、所望な中空状電極 構造を得ることができる。この実施例において、各電極を２つの隣接するチャネ ルに対して共用させるが、マスキングは必要ない。従って、エッチングは、中間 層の剥き出しの両端部から同時に始め、その結果図７に示した２つの中空体形状 を生じる。このような選択的なエッチングに続いて、薄いガラスシート（図示せ ず）をチャネルの上壁を形成するための側壁の頂上に配置する。 図８は、アドレシング電極を交差したアレイ上に配置したプラズマディスプレ イデバイスの他の実施例を示したものであり、即ちカソード電極７４及びアノー ド電極７５は、プラズマガスを包囲する対向基板（図示せず）上の平行アレイ上 に各々配置し、これらのアレイをカソード電極とアノード電極とが互いに直交す るように配置する。動作中には、プラズマをカソード電極及びアノード電極が交 差する領域間の部分内で発光する。本発明によれば、カソード電極７４及びアノ ード電極７５は交差する領域において中空体のエッチングパターンを有する。図 ９は、図８の線Ａに沿って見た断面図であり、これらの内の幾つかの中空体（カ ソード電極７４内の７６及び７７及びアノード電極７５内の７８及び７９）を示 したものである。これらの中空体を例えば既知のフォトリソグラフィマスキング 及びエッチング技術を使用して形成することができる。中空体のこれらの対向パ ターンは、プラズマ発光と、それ故に交差部分の範囲内での電極材料のスパッタ リングとを制限する傾向にあり、従ってスパッタリングした電極材料の基板上で の堆積が減少する。 合金としての或いはフィルムとしての或いはコーティングとしての電子放出材 料を使用することにより、ＰＡＬＣディスプレイ上に種々の有利な効果をもたら す。発光電圧を低下させることができるので、駆動エレクトロニクスから必要と されるストローブ電圧を低下させることができる。電子放出電流が大きくなるの で、プラズマは短時間で均一に造ることができる。必要とされる低電圧により、 現在の電極よりもスパッタリングに対してより抵抗力のある電極を造ることがで きる。これにより、ＰＡＬＣディスプレイは、性能だけでなく、信頼性及び寿命 も改良される。更には、Ｈｅ−Ｎｅのような種々のガス混合体を、ＰＡＬＣディ スプレイの寿命及び信頼性を低下させることなく使用できる。 本発明は、上述した実施例に関して説明したが、以上に概説した原理内での変 更が当業者には明らかであり、従って本発明は上述の実施例に制限されることは なく、このような変更を含むであろう。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．プラズマを形成するための電極を有するプラズマを含むディスプレイデバイ スにおいて、プラズマ電極の少なくとも一部分により中空状部分を画成し、この 中空状部分でプラズマの発光が生じ、この部分を周囲のプラズマから少なくとも 部分的にシールドすることを特徴とするプラズマを含むディスプレイデバイス。 ２．電気光学媒体と、電気光学媒体に結合され、電気光学媒体の部分を活性化さ せるためのデータ電圧を受信するように適合したデータ電極と、データ電極に対 して横方向に延在して前記電気光学部分を選択的にスウィッチングするための複 数のスウィッチング電極とを具えることを特徴とする請求項１に記載のプラズマ を含むディスプレイデバイス。 ３．前記電気光学媒体に電気光学材料の層を設け、複数のプラズマチャネルを前 記電気光学媒体の部分を選択的にスウィッチングするデータ電極に対して垂直に に延在させ、前記プラズマチャネルの各々に、発光電極として離間したカソード 電極及びアノード電極プラズマ電極と、電離可能な充填材とを設け、少なくとも カソード電極により中空体を画成し、この中空体の中では、プラズマの発光が生 じ、この中空体部分が少なくとも部分的には周囲のプラズマからシールドされる ことを特徴とする請求項２に記載のプラズマを含むディスプレイデバイス。 ４．各カソード電極の一方の側が中空体チャネル形状を有し、チャネルの断面が Ｃ型でありチャネルのオープンサイドが他の電極と対向することを特徴とする請 求項３に記載のディスプレイデバイス。 ５．少なくともカソード電極の両側部分が、中空体形状であり、このチャネルの 断面はＩ型であり、チャネルのオープンサイドが他方の電極と対向することを特 徴とする請求項４に記載のディスプレイデバイス。 ６．中空状のチャネル電極を有するプラズマを含むディスプレイデバイスの製造 するにあたり、 （ａ）プラズマチャネル内に混合多層電極を形成し、この電極には下、中間 及び上層を設け、この中間層を上及び下層とに関して選択的に除去できる工程と 、 （ｂ）電極の中間層の部分を選択的に除去する工程とを含む、 プラズマを含むディスプレイデバイスの製造方法。 ７．前記電気光学媒体はプラズマを有するとともに、この電気光学媒体を第１の 及び第２の対向基板間で挟み、平行なカソード電極プラズマ電極のアレイを第１ 基板上に配置し、アノードプラズマ電極のアレイを第２基板上に配置し、これら アレイは互いに対向し且つ前記プラズマ電極上の交差領域を画成するように、互 いに直交する方向の関係に配置し、少なくともカソード電極プラズマ電極アレイ の電極が各交差領域内に１個以上の中空体を有することを特徴とする請求項２に 記載のプラズマを含むディスプレイデバイス。 ８．前記プラズマ電極を有するプラズマを含むディスプレイディバイスにおいて 、少なくとも電極の１箇所以上の部分のに１つ以上のエミッタ材料を含むことを 特徴とするプラズマを形成するためのプラズマ電極を有するプラズマを含むディ スプレイディバイス。 ９．前記ディスプレイディバイスに電気光学媒体を具え、データ電極を前記電気 光学部分に電気的で選択的にスウィッチングする部分を活性化させるための電圧 に結合させることを特徴とする請求項８に記載のディスプレイデバイス。 １０．前記プラズマ電極の少なくとも１部分により中空状部分を画成し、この中 空状部分では、プラズマの発光が生じ、中空状部分が周囲のプラズマから部分的 にシールドされることを特徴とする請求項８或いは９に記載のディスプレイデバ イス。