JPH1147972A - Laser beam machine - Google Patents

Laser beam machine

Info

Publication number
JPH1147972A
JPH1147972A JP9206884A JP20688497A JPH1147972A JP H1147972 A JPH1147972 A JP H1147972A JP 9206884 A JP9206884 A JP 9206884A JP 20688497 A JP20688497 A JP 20688497A JP H1147972 A JPH1147972 A JP H1147972A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
laser
axis
body frame
axis direction
main body
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP9206884A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yasunori Chabata
泰範 茶畑
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nippei Toyama Corp
Original Assignee
Nippei Toyama Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nippei Toyama Corp filed Critical Nippei Toyama Corp
Priority to JP9206884A priority Critical patent/JPH1147972A/en
Publication of JPH1147972A publication Critical patent/JPH1147972A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Lasers (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a laser beam machine capable of saving installation space for a cooling chiller unit and cooling water piping. SOLUTION: An X-axis body frame 13 is supported on a pair of left and right guiding rails 11, 11 so as to be movable back and forth in the X-axis direction. With a laser generator 14 mounted on this X-axis body frame 13, the laser beam outputted from this generator 14 is supplied through an optical guiding tube 21 to a machining head 20 supported on a Y-axis saddle 16. A chiller unit 45 for cooling the laser generator 14 is mounted on the X-axis body frame 13. Cooling water is supplied from this chiller unit 45 to the laser generator 14 through piping.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、レーザ加工機に
関するものである。
The present invention relates to a laser beam machine.

【0002】[0002]

【従来の技術】図5に示すように、レーザ加工機10と
して、所定位置に配置されたワークテーブル38上にワ
ークを載置し、レーザ加工ヘッド20をX軸方向、Y軸
方向及びZ軸方向に往復動しつつ、ワークを加工する方
式のものがある。このテーブル固定方式においては、レ
ーザ加工ヘッド20にレーザを出力するレーザ発振器1
4がレール11,11に沿って往復動されるX軸移動体
12,12のうち右側のX軸移動体12に搭載されてい
る。前記レーザ発振器14は高出力になるほど高熱を発
生するので、その冷却を行う必要がある。このレーザ発
振器14の冷却用チラーユニット45はレーザ加工機1
0から離隔したフロアー上に配置され、太く長い配管5
1を介してレーザ発振器14と接続され、冷却水が配管
51により前記レーザ発振器14に供給されるようにな
っている。前記配管51は電気配線等とともにフレキシ
ブルなケーブルベア52に挿通され、X軸移動体12の
X軸方向の移動に追従するようになっている。
2. Description of the Related Art As shown in FIG. 5, as a laser processing machine 10, a work is placed on a work table 38 arranged at a predetermined position, and a laser processing head 20 is moved in an X-axis direction, a Y-axis direction and a Z-axis direction. There is a method of processing a work while reciprocating in a direction. In this table fixing method, a laser oscillator 1 that outputs a laser to a laser processing head 20 is used.
4 is mounted on the right X-axis moving body 12 among the X-axis moving bodies 12, 12 reciprocated along the rails 11. Since the laser oscillator 14 generates higher heat as its output becomes higher, it is necessary to cool it. The cooling chiller unit 45 of the laser oscillator 14 is
Thick and long pipes 5 placed on a floor separated from 0
The cooling water is supplied to the laser oscillator 14 through a pipe 51 via a connection 1. The pipe 51 is inserted into a flexible cable carrier 52 together with electric wiring and the like, and follows the movement of the X-axis moving body 12 in the X-axis direction.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】ところが、従来のレー
ザ加工機10においては、冷却用チラーユニット45が
フロアに配置された状態にあり、かつ、チラーユニット
45からレーザ発振器14へ接続されたフレキシブルな
冷却水用配管51が非常に長くなり、X軸移動体12の
X軸方向への移動に伴う前記配管51のX軸方向への動
作領域を確保する必要もあって、配管51の製造及び組
み付け作業が面倒であるばかりでなく、設置スペースが
大きくなるという問題があった。この問題はレーザ発振
器14の大容量化に伴って、太い配管51が必要となる
ので、ケーブルベア52の幅も大きくなり顕著であっ
た。
However, in the conventional laser beam machine 10, the cooling chiller unit 45 is disposed on the floor, and the flexible chiller unit 45 is connected to the laser oscillator 14 from the chiller unit 45. The cooling water pipe 51 becomes very long, and it is necessary to secure an operation area of the pipe 51 in the X-axis direction accompanying the movement of the X-axis moving body 12 in the X-axis direction. There is a problem that not only the work is troublesome, but also the installation space becomes large. This problem is conspicuous because a large pipe 51 is required as the laser oscillator 14 increases in capacity, and the width of the cable bear 52 also increases.

【0004】この発明は、このような従来の技術に存在
する問題点に着目してなされたものであって、その目的
は、製造及び組み付け作業を容易に行うことができると
ともに、冷却用チラーユニット及び冷却水用の配管の設
置スペースを低減することができるレーザ加工機を提供
することにある。
[0004] The present invention has been made in view of the problems existing in the prior art as described above, and its object is to make it possible to easily perform manufacturing and assembling operations and to provide a cooling chiller unit. Another object of the present invention is to provide a laser beam machine capable of reducing a space for installing piping for cooling water.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明は、
上記目的を達成するために、X軸方向に往復動されるX
軸本体フレーム上に、Y軸方向に往復動されるレーザ加
工ヘッドを装着し、前記レーザ加工ヘッドにはZ軸方向
に上下動が可能なノズルを備え、ワークテーブルに支持
されたワークの加工を行うようにしたレーザ加工機にお
いて、前記X軸本体フレームにレーザを出力するレーザ
発振器を装架し、前記レーザ発振器とノズル間にレーザ
光を反射する複数個の反射ミラーを備えたレーザ案内管
を設け、さらに、前記レーザ発振器を冷却する冷却用チ
ラーユニットを前記X軸本体フレーム側に装架するとい
う手段をとっている。
According to the first aspect of the present invention,
In order to achieve the above object, X reciprocated in the X-axis direction
A laser processing head that is reciprocated in the Y-axis direction is mounted on the shaft body frame, and the laser processing head includes a nozzle that can move up and down in the Z-axis direction, and can process a work supported on a work table. In the laser processing machine, a laser oscillator for outputting a laser is mounted on the X-axis main body frame, and a laser guide tube including a plurality of reflection mirrors for reflecting laser light between the laser oscillator and the nozzle is provided. And a means for mounting a cooling chiller unit for cooling the laser oscillator on the X-axis main body frame side.

【0006】請求項2記載の発明においては、請求項1
において、前記X軸本体フレームを2組のレールに沿っ
て移動可能に支持し、レーザ加工ヘッドのノズルが原位
置からY軸方向又はZ軸方向に移動する際、レーザ発振
器とノズルとの間の光路長を一定に保持する光路長保持
機構を設けるという手段をとっている。
According to the second aspect of the present invention, the first aspect is provided.
In the above, the X-axis main body frame is movably supported along two sets of rails, and when the nozzle of the laser processing head moves from the original position in the Y-axis direction or the Z-axis direction, the distance between the laser oscillator and the nozzle is A means of providing an optical path length holding mechanism for holding the optical path length constant is adopted.

【0007】請求項3記載の発明は、上記目的を達成す
るために、請求項2において、前記光路長保持機構を、
前記複数の反射ミラーのうち2組の反射ミラーをY軸方
向に一対の平行な伸縮案内管を伸縮させて同時に移動す
る反射ミラー位置調節機構としている。
According to a third aspect of the present invention, in order to achieve the above object, in the second aspect, the optical path length holding mechanism comprises:
Of the plurality of reflecting mirrors, two sets of reflecting mirrors are a reflecting mirror position adjusting mechanism that moves simultaneously by expanding and contracting a pair of parallel telescopic guide tubes in the Y-axis direction.

【0008】請求項4記載の発明においては、請求項1
〜3のいずれかにおいて、前記X軸本体フレームに装架
したレーザ発振器をY軸方向に位置調節する機構を設
け、この位置調節に連動してレーザ案内管のうちの伸縮
案内管が伸縮動作されて、該伸縮案内管を挟んで対向す
る反射ミラーの距離が調節されレーザ発振器からノズル
までの光路長が調節されるようにしている。
[0008] In the invention described in claim 4, claim 1 is provided.
In any one of (1) to (3), a mechanism for adjusting the position of the laser oscillator mounted on the X-axis main body frame in the Y-axis direction is provided. Thus, the distance between the reflecting mirrors opposed to each other with the telescopic guide tube interposed therebetween is adjusted so that the optical path length from the laser oscillator to the nozzle is adjusted.

【0009】[0009]

【発明の実施の形態】以下、この発明を具体化した一実
施形態を図面に従って説明する。フロアに互いに平行に
敷設された一対の案内レール11,11には、複数の車
輪を介してX軸移動体12,12が図示しないX軸駆動
機構によりX軸(前後)方向の往復動可能に支持され、
両X軸移動体12,12にはX軸本体フレーム13が架
設されている。該X軸本体フレーム13にはレーザ発振
器14が装架されている。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. On a pair of guide rails 11, 11 laid parallel to each other on the floor, X-axis moving bodies 12, 12 can reciprocate in the X-axis (front-rear) direction via a plurality of wheels by an X-axis drive mechanism (not shown). Supported,
An X-axis main body frame 13 is provided between the two X-axis moving bodies 12 and 12. A laser oscillator 14 is mounted on the X-axis main body frame 13.

【0010】前記一対のX軸移動体12,12の先端部
には支持台15がY軸方向に架設固定されている。この
支持台15にはY軸サドル16がY軸(左右)方向に平
行に延びる一対の案内レール17及び図示しないY軸駆
動機構によりY軸方向の往復動可能に支持されている。
このY軸サドル16の先端部にはZ軸支持筒18が連結
固定され、該Z軸支持筒18の下端部にはノズル19を
有するレーザ加工ヘッド20が装着されている。この加
工ヘッド20は図示しないZ軸駆動機構によりZ軸(上
下)方向の往復動可能に支持されている。
A support base 15 is fixedly mounted on the tip of the pair of X-axis moving bodies 12 in the Y-axis direction. A Y-axis saddle 16 is supported on the support base 15 by a pair of guide rails 17 extending parallel to the Y-axis (left-right) direction and a Y-axis drive mechanism (not shown) so as to be able to reciprocate in the Y-axis direction.
A Z-axis support cylinder 18 is connected and fixed to the tip of the Y-axis saddle 16, and a laser processing head 20 having a nozzle 19 is mounted on the lower end of the Z-axis support cylinder 18. The processing head 20 is supported by a Z-axis driving mechanism (not shown) so as to be able to reciprocate in the Z-axis (vertical) direction.

【0011】前記レーザ発振器14と前記レーザ加工ヘ
ッド20との間には、レーザ光をノズル19に導くレー
ザ光案内管21が設けられている。このレーザ光案内管
21は、発振器14に水平に支持された伸縮しない案内
管22と、該案内管22に第1反射ミラー23(図示せ
ず)を介して連結された伸縮しない傾斜案内管24とを
備えている。又、前記傾斜案内管24には第2反射ミラ
ー25(図示せず)を介してY軸方向に延びる第1の伸
縮案内管26が連結されている。この第1の伸縮案内管
26には第3の反射ミラー27(図示せず)を介してX
軸方向に延びる可動案内管28が連結されている。この
案内管28の端部には、第4の反射ミラー29(図示せ
ず)を介してY軸方向に延びる第2の伸縮案内管30が
連結されている。この第2の伸縮案内管30の端部は、
Z軸支持筒18に連結され、第5の反射ミラー31(図
3参照)とレンズLを介してレーザ加工ヘッド20のノ
ズル19にレーザ光が導かれるようになっている。
A laser light guide tube 21 for guiding laser light to a nozzle 19 is provided between the laser oscillator 14 and the laser processing head 20. The laser light guide tube 21 includes a non-contractible guide tube 22 horizontally supported by the oscillator 14 and a non-contractible inclined guide tube 24 connected to the guide tube 22 via a first reflecting mirror 23 (not shown). And Further, a first telescopic guide tube 26 extending in the Y-axis direction is connected to the inclined guide tube 24 via a second reflection mirror 25 (not shown). The first telescopic guide tube 26 is connected to the first telescopic guide tube 26 via a third reflecting mirror 27 (not shown).
A movable guide tube 28 extending in the axial direction is connected. A second telescopic guide tube 30 extending in the Y-axis direction is connected to an end of the guide tube 28 via a fourth reflection mirror 29 (not shown). The end of the second telescopic guide tube 30 is
The laser beam is guided to the nozzle 19 of the laser processing head 20 via the fifth reflection mirror 31 (see FIG. 3) and the lens L, which is connected to the Z-axis support cylinder 18.

【0012】前記第3及び第4の反射ミラー27,29
及び可動案内管28は、前記案内レール17に沿ってY
軸方向に往復動されるY軸可動体32に支持されてい
る。前記Y軸可動体32は、図2に示すように電動モー
タ33及び減速器34により回転されるピニオン35を
前記案内レール17と平行に敷設したラック36に噛み
合わせることにより往復動される。この実施形態では前
記Y軸可動体32、第1及び第2の伸縮案内管26,3
0及び電動モータ33等からなる反射ミラー位置調節機
構37を、レーザ発振器14とノズル19との間の光路
長を一定に保持する光路長保持機構K1としている。
The third and fourth reflection mirrors 27 and 29
And the movable guide tube 28 moves along the guide rail 17
It is supported by a Y-axis movable body 32 that reciprocates in the axial direction. The Y-axis movable body 32 is reciprocated by engaging a pinion 35 rotated by an electric motor 33 and a speed reducer 34 with a rack 36 laid in parallel with the guide rail 17 as shown in FIG. In this embodiment, the Y-axis movable body 32, the first and second telescopic guide tubes 26, 3
The reflection mirror position adjusting mechanism 37 including the motor 0 and the electric motor 33 is an optical path length holding mechanism K1 for keeping the optical path length between the laser oscillator 14 and the nozzle 19 constant.

【0013】図1において前記両案内レール11,11
の間には、被加工材を支持するワークテーブル38が配
設されている。右側の前記X軸移動体12の先端部には
制御ボックス39が装着され、操作盤40が設けられて
いる。
In FIG. 1, the two guide rails 11, 11
Between them, a work table 38 for supporting a workpiece is provided. A control box 39 is mounted on the tip of the X-axis movable body 12 on the right side, and an operation panel 40 is provided.

【0014】図4に示すように、レーザ発振器14はX
軸本体フレーム13上において、Y軸方向へ平行に敷設
したガイドレール41に沿ってY軸方向への位置調節可
能に取り付けられている。このレーザ発振器位置調節機
構K2は、モータ42により回動される送りねじ43
と、この送りねじ43により作動されるボールナット4
4とにより構成されている。
As shown in FIG. 4, the laser oscillator 14
On the shaft main body frame 13, it is attached so as to be adjustable in the Y-axis direction along a guide rail 41 laid in parallel with the Y-axis direction. The laser oscillator position adjusting mechanism K2 includes a feed screw 43 rotated by a motor 42.
And the ball nut 4 operated by the feed screw 43
4.

【0015】図1,4に示すように、前記X軸本体フレ
ーム13の上面には前記レーザ発振器14を冷却するた
めの冷却用チラーユニット45が装架されている。この
チラーユニット45はボックス46内に図示しないが、
水槽と、該水槽から吐出された水を冷却する冷凍機とを
備えている。前記冷凍機は圧縮機と、この圧縮機から吐
出された冷媒ガスを凝縮する凝縮器と、この凝縮器から
吐出された冷媒を蒸発させ潜熱を利用して水槽からの水
を冷却する熱交換器とを備えている。そして、熱交換器
で冷却された水が配管47を通してレーザ発振器14の
内部に供給され発振器14内が冷却される。
As shown in FIGS. 1 and 4, a cooling chiller unit 45 for cooling the laser oscillator 14 is mounted on the upper surface of the X-axis main body frame 13. Although this chiller unit 45 is not shown in the box 46,
A water tank and a refrigerator for cooling water discharged from the water tank are provided. The refrigerator is a compressor, a condenser for condensing refrigerant gas discharged from the compressor, and a heat exchanger for evaporating the refrigerant discharged from the condenser and using the latent heat to cool water from a water tank. And Then, the water cooled by the heat exchanger is supplied to the inside of the laser oscillator 14 through the pipe 47 and the inside of the oscillator 14 is cooled.

【0016】次に、前記のように構成したレーザ加工機
の動作を説明する。図1に示すワークテーブル38に未
加工ワークを載置して図示しないクランプ金具により固
定する。制御ボックス39の操作盤40を操作して所望
する加工軌跡を設定する。その後に、始動スイッチを操
作すると、Z軸駆動機構によりレーザ加工ヘッド20が
Z軸方向に移動され、原位置におけるノズル19の高さ
がワークの厚さに適した加工高さ位置に設定される。そ
の後、設定された加工プログラムに従って、X軸本体フ
レーム13がX軸駆動機構によりX軸方向に、Y軸サド
ル16及び加工ヘッド20がY軸駆動機構によりY軸方
向に移動され、ノズル19から出力されるレーザ光によ
りワークが所望する形状に切断加工される。
Next, the operation of the laser beam machine configured as described above will be described. An unprocessed work is placed on the work table 38 shown in FIG. 1 and fixed by a clamp (not shown). By operating the operation panel 40 of the control box 39, a desired machining locus is set. Thereafter, when the start switch is operated, the laser processing head 20 is moved in the Z-axis direction by the Z-axis driving mechanism, and the height of the nozzle 19 at the original position is set to a processing height position suitable for the thickness of the work. . Thereafter, the X-axis main body frame 13 is moved in the X-axis direction by the X-axis drive mechanism, and the Y-axis saddle 16 and the processing head 20 are moved in the Y-axis direction by the Y-axis drive mechanism according to the set processing program. The workpiece is cut into a desired shape by the applied laser beam.

【0017】図3において前記ノズル19がY軸方向又
はZ軸方向に移動されると、反射ミラー25,27の距
離l1 と、反射ミラー29,31の距離l2 及び反射ミ
ラー31とノズル19との距離l3 が変化する。しか
し、レーザ発振器14とノズル19との光路長が変化し
ないようにこの光路長l1 +l2 +l3 を一定に保持す
るため、反射ミラー位置調節機構37により第3及び第
4の反射ミラー27,29がY軸方向に移動される。こ
の移動距離E1は第2反射ミラー25と第3反射ミラー
27との距離l1 と第4反射ミラー29と第5反射ミラ
ー31との距離l 2 とが同時に変化し、光路長の変化は
2×Elとなるため、ノズル19のY軸方向の移動距離
E2及びZ軸方向の移動距離E3の2分の1[El=
(E2+E3)/2]となる。
In FIG. 3, the nozzle 19 is moved in the Y-axis direction or
Is moved in the Z-axis direction, the distance between the reflection mirrors 25 and 27 is changed.
Separation1And the distance l between the reflection mirrors 29 and 31TwoAnd reflection
Distance l between nozzle 31 and nozzle 19ThreeChanges. Only
Then, the optical path length between the laser oscillator 14 and the nozzle 19 changes.
This optical path length l1+ LTwo+ LThreeKeep constant
Therefore, the third and third mirrors are adjusted by the reflecting mirror position adjusting mechanism 37.
4 are moved in the Y-axis direction. This
The moving distance E1 is between the second reflection mirror 25 and the third reflection mirror.
Distance to 271And fourth reflection mirror 29 and fifth reflection mirror
Distance 1 to -31 TwoChanges simultaneously, and the change in optical path length
Since 2 × El, the moving distance of the nozzle 19 in the Y-axis direction
E2 and a half of the moving distance E3 in the Z-axis direction [El =
(E2 + E3) / 2].

【0018】前記レーザ発振器14から出力されるレー
ザ光はレーザ光案内管21を経て加工ヘッド20へ導か
れるが、レーザ発振器14は、高熱を発生する。この熱
は冷却用チラーユニット45から配管47を介して循環
供給される冷却水により冷却される。
The laser light output from the laser oscillator 14 is guided to the processing head 20 through the laser light guide tube 21, and the laser oscillator 14 generates high heat. This heat is cooled by cooling water circulated and supplied from the cooling chiller unit 45 via the pipe 47.

【0019】次に、前記のように構成したレーザ加工機
について、その作用効果を構成とともに記載する。 ・前記実施形態では、前記X軸本体フレーム13に冷却
用チラーユニット45を装架し、該ユニット45と発振
器14を配管47で接続した。このため、冷却用チラー
ユニット45に対する外部配管として冷却水用の可動形
式の長い配管を用いる必要がなくなり、チラーユニット
45への電源配線のみで済み、冷却用チラーユニット4
5及び配管47の設置スペースをX軸本体フレーム13
を有効に利用して従来必要としていた機械の設置スペー
スを大幅に減少することができる。又、チラーユニット
45及び配管47等の製造及び組み付け作業を容易に行
うことができる。
Next, the operation and effect of the laser beam machine configured as described above will be described together with the configuration. In the embodiment, the cooling chiller unit 45 is mounted on the X-axis main body frame 13, and the unit 45 and the oscillator 14 are connected by the pipe 47. Therefore, it is not necessary to use a movable long pipe for cooling water as an external pipe to the cooling chiller unit 45, and only the power supply wiring to the chiller unit 45 is required.
5 and the installation space of the piping 47 are changed to the X-axis main body frame 13.
The space required for installing the machine, which was conventionally required, can be greatly reduced by effectively utilizing the above. Also, the production and assembly work of the chiller unit 45, the pipe 47, and the like can be easily performed.

【0020】・前記実施形態では、前記レーザ発振器1
4から所定距離をおいて冷却用チラーユニット45を装
架した。このため、この空間を作業空間として利用する
ことができる。
In the above embodiment, the laser oscillator 1
4 and a cooling chiller unit 45 was mounted at a predetermined distance. Therefore, this space can be used as a work space.

【0021】・前記実施形態では、前記レーザ案内管2
1に光路長保持機構k1を設けた。このため、レーザ発
振器14から出力されるレーザ光の強度を一定に保持し
てワークの加工を適正に行うことができる。
In the above embodiment, the laser guide tube 2
1 was provided with an optical path length holding mechanism k1. For this reason, the intensity of the laser beam output from the laser oscillator 14 can be kept constant and the work can be properly processed.

【0022】・前記実施形態では、前記レーザ発振器1
4をX軸本体フレーム13上においてY軸方向に位置調
節する機構k2を設けた。このため、レーザ案内管21
のうちの第1の伸縮案内管26が伸縮動作されて、該伸
縮案内管を挟んで対向する反射ミラー25,27の距離
1 が調節される。従って、レーザ発振器14から原位
置におけるノズル19までの光路長が調節され、レーザ
発振器の製造及び組み付けによる光路長の寸法誤差が生
じた場合に、所望の光路長に容易に設定することができ
る。
In the above embodiment, the laser oscillator 1
4 is provided with a mechanism k2 for adjusting the position on the X-axis main body frame 13 in the Y-axis direction. For this reason, the laser guide tube 21
First stretchable guide tube 26 of the is expansion and contraction, the distance l 1 of the reflecting mirror 25, 27 face each other across the telescopic guide tube is adjusted. Accordingly, when the optical path length from the laser oscillator 14 to the nozzle 19 at the original position is adjusted, and a dimensional error of the optical path length occurs due to the manufacture and assembly of the laser oscillator, the desired optical path length can be easily set.

【0023】なお、この発明は前記実施形態の構成に限
定されるものではなく、この発明の趣旨から逸脱しない
範囲で、各部の構成を任意に変更して具体化することも
可能である。
It should be noted that the present invention is not limited to the configuration of the above-described embodiment, and may be embodied by arbitrarily changing the configuration of each unit without departing from the spirit of the present invention.

【0024】・前記冷却用チラーユニット45をレーザ
発振器14のケース内に組み込むこと。 ・前記光路長保持機構k1を第3及び第4の反射ミラー
27,29をY軸方向へ往復動するようにしたが、これ
に代えて、固定案内管22と可動案内管28をX軸方向
へ往復動するようにして、光路長を一定に保持するよう
にすること。
The cooling chiller unit 45 is incorporated in the case of the laser oscillator 14. The optical path length holding mechanism k1 reciprocates the third and fourth reflection mirrors 27 and 29 in the Y-axis direction. Instead, the fixed guide tube 22 and the movable guide tube 28 are moved in the X-axis direction. Reciprocating to maintain a constant optical path length.

【0025】前記実施形態により把握される技術思想に
つき、以下に説明する。請求項1〜4のいずれかにおい
て、レーザ発振器のケース内に冷却用チラーユニット4
5を内蔵したレーザ加工機。
The technical idea grasped by the embodiment will be described below. 5. The cooling chiller unit 4 according to claim 1, wherein the cooling chiller unit 4 is provided in a case of the laser oscillator.
Laser processing machine with 5 built-in.

【0026】この場合にはさらに設置スペースを低減す
ることができ、部品点数を少なくでき、製造及び組み付
け作業を容易に行うことができる。
In this case, the installation space can be further reduced, the number of parts can be reduced, and the manufacturing and assembling work can be easily performed.

【0027】[0027]

【発明の効果】以上説明したように、請求項1記載の発
明は、製造及び組み付け作業を容易に行うことができる
とともに、冷却用チラーユニット及び冷却用配管の設置
スペースを低減することができる。
As described above, according to the first aspect of the present invention, the manufacturing and assembling work can be easily performed, and the installation space for the cooling chiller unit and the cooling pipe can be reduced.

【0028】請求項2記載の発明は、請求項1記載の発
明の効果に加えて、レーザ発振器とノズルとの光路長を
一定に保持してワークの加工を適正に行うことができ
る。請求項3記載の発明は、請求項2記載の発明の効果
に加えて、光路長保持機構の構成を簡素化してその製造
及び組み付け作業を容易に行うことができる。
According to the second aspect of the invention, in addition to the effect of the first aspect, the work of the workpiece can be properly performed while keeping the optical path length between the laser oscillator and the nozzle constant. According to the third aspect of the invention, in addition to the effect of the second aspect, the structure of the optical path length holding mechanism can be simplified, and the manufacturing and assembling operation thereof can be easily performed.

【0029】請求項4記載の発明は、請求項1〜3のい
ずれかの発明に記載の効果に加えて、レーザ発振器から
原位置におけるノズルまでの光路長の製造及び組み付け
上の誤差を容易に調整し、ワークの加工を適正に行うこ
とができる。
According to a fourth aspect of the present invention, in addition to the effects of any one of the first to third aspects, errors in manufacturing and assembling the optical path length from the laser oscillator to the nozzle at the original position can be easily reduced. It is possible to adjust and work the workpiece properly.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明を具体化したレーザ加工機の一実施形
態を示す斜視図。
FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of a laser beam machine embodying the present invention.

【図2】 光路長保持機構を示す断面図。FIG. 2 is a sectional view showing an optical path length holding mechanism.

【図3】 光路長保持機構の動作説明図。FIG. 3 is an explanatory diagram of an operation of an optical path length holding mechanism.

【図4】 X軸本体フレームに支持されたレーザ発振器
と、冷却用チラーユニットの取付構造を示す断面図。
FIG. 4 is a sectional view showing a mounting structure of a laser oscillator supported on an X-axis main body frame and a cooling chiller unit.

【図5】 従来のレーザ加工機の斜視図。FIG. 5 is a perspective view of a conventional laser beam machine.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

13…X軸本体フレーム、16…Y軸サドル、20…レ
ーザ加工ヘッド、21…レーザ光案内管、32…Y軸可
動体、37…反射ミラー位置調節機構、K1…光路長保
持機構、K2…レーザ発振器位置調節機構、45…冷却
用チラーユニット、47…配管。
13: X-axis main body frame, 16: Y-axis saddle, 20: laser processing head, 21: laser light guide tube, 32: Y-axis movable body, 37: reflection mirror position adjusting mechanism, K1: optical path length holding mechanism, K2: Laser oscillator position adjusting mechanism, 45: chiller unit for cooling, 47: piping.

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 X軸方向に往復動されるX軸本体フレー
ム上に、Y軸方向に往復動されるレーザ加工ヘッドを装
着し、前記レーザ加工ヘッドにはZ軸方向に上下動が可
能なノズルを備え、ワークテーブルに支持されたワーク
の加工を行うようにしたレーザ加工機において、 前記X軸本体フレームにレーザを出力するレーザ発振器
を装架し、前記レーザ発振器とノズル間にレーザ光を反
射する複数個の反射ミラーを備えたレーザ案内管を設
け、さらに、前記レーザ発振器を冷却する冷却用チラー
ユニットを前記X軸本体フレーム側に装架したことを特
徴とするレーザ加工機。
1. A laser processing head reciprocated in a Y-axis direction is mounted on an X-axis main body frame reciprocated in an X-axis direction, and the laser processing head is capable of moving up and down in a Z-axis direction. A laser processing machine comprising a nozzle and configured to process a work supported on a work table, wherein a laser oscillator for outputting a laser is mounted on the X-axis main body frame, and a laser beam is emitted between the laser oscillator and the nozzle. A laser processing machine, comprising: a laser guide tube provided with a plurality of reflecting mirrors for reflecting light; and a cooling chiller unit for cooling the laser oscillator mounted on the X-axis main body frame side.
【請求項2】 請求項1において、前記X軸本体フレー
ムは2組のレールに沿って移動可能に支持され、レーザ
加工ヘッドのノズルが原位置からY軸方向又はZ軸方向
に移動する際、レーザ発振器とノズルとの間の光路長を
一定に保持する光路長保持機構を設けたレーザ加工機。
2. The X-axis main body frame according to claim 1, wherein the X-axis main body frame is movably supported along two sets of rails, and when the nozzle of the laser processing head moves from the original position in the Y-axis direction or the Z-axis direction, A laser processing machine provided with an optical path length holding mechanism for maintaining a constant optical path length between a laser oscillator and a nozzle.
【請求項3】 請求項2において、前記光路長保持機構
は、前記複数の反射ミラーのうち2組の反射ミラーをY
軸方向に一対の平行な伸縮案内管を伸縮させて同時に往
復動する反射ミラー位置調節機構であるレーザ加工機。
3. The optical path length holding mechanism according to claim 2, wherein the two sets of reflecting mirrors of the plurality of reflecting mirrors are Y.
A laser processing machine that is a reflecting mirror position adjusting mechanism that simultaneously expands and contracts a pair of parallel expansion and contraction guide tubes in the axial direction.
【請求項4】 請求項1〜3のいずれかにおいて、前記
X軸本体フレームに装架したレーザ発振器をY軸方向に
位置調節する機構を設け、この位置調節に連動してレー
ザ案内管のうちの伸縮案内管が伸縮動作されて、該伸縮
案内管を挟んで対向する反射ミラーの距離が調節されレ
ーザ発振器からノズルまでの光路長が調節されるレーザ
加工機。
4. A laser guide tube according to claim 1, further comprising a mechanism for adjusting a position of the laser oscillator mounted on the X-axis main body frame in the Y-axis direction. A laser processing machine in which the telescopic guide tube is extended and retracted, the distance between the reflecting mirrors facing the telescopic guide tube is adjusted, and the optical path length from the laser oscillator to the nozzle is adjusted.
JP9206884A 1997-07-31 1997-07-31 Laser beam machine Pending JPH1147972A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9206884A JPH1147972A (en) 1997-07-31 1997-07-31 Laser beam machine

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9206884A JPH1147972A (en) 1997-07-31 1997-07-31 Laser beam machine

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH1147972A true JPH1147972A (en) 1999-02-23

Family

ID=16530653

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP9206884A Pending JPH1147972A (en) 1997-07-31 1997-07-31 Laser beam machine

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH1147972A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000352651A (en) * 1999-06-14 2000-12-19 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd Lens holder
CN100441358C (en) * 2004-05-26 2008-12-10 山崎马扎克公司 Piercing method for laser beam machine

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000352651A (en) * 1999-06-14 2000-12-19 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd Lens holder
CN100441358C (en) * 2004-05-26 2008-12-10 山崎马扎克公司 Piercing method for laser beam machine

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5221560B2 (en) Laser processing equipment
JP2002144176A (en) Machine tool
US20210252637A1 (en) Laser-jet liquid beam self-generated abrasive particle flow composite processing device and method
US6835912B2 (en) Laser cutting machine with two Y-axis drives
KR20080079984A (en) Arm for attachment of horn
US4672626A (en) Laser oscillator mirror adjustment apparatus
US4680771A (en) Mirror adjustment device in laser oscillator
JPH1147972A (en) Laser beam machine
JP2000005891A (en) Laser processing device
JPH05293681A (en) Laser beam machine
JP2005334925A (en) Controller for driving shaft of reflection mirror in laser beam machine
AU3961795A (en) Double X-Y table system for use with a fixed beam laser system
KR101501960B1 (en) A laser processing machine of a laser oscillator moving type
JP3860948B2 (en) Laser processing equipment
CN216227550U (en) Code printing device of laser code printing machine
JP2891379B2 (en) Work vertical laser machine
CN212443756U (en) High-efficiency controllable precision grinding device for quartz glass section
CN218874119U (en) Laser cutting head and laser cutting equipment
CN117840624B (en) Welding device and method for photovoltaic bracket
CN217913471U (en) Five-axis linkage laser cutting machine
JPH10277857A (en) Machine tool
US20050103764A1 (en) Laser cutting machine with two X-axis drives
JP2005007519A (en) Tool positioning mechanism for cutting device
CN219169904U (en) Chip board radium carving machine with larger carving range
JP2000024788A (en) Laser beam machining device

Legal Events

Date Code Title Description
A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20040302