JPH1147568A - Inorganic separating membrane and its manufacture - Google Patents

Inorganic separating membrane and its manufacture

Info

Publication number
JPH1147568A
JPH1147568A JP20502097A JP20502097A JPH1147568A JP H1147568 A JPH1147568 A JP H1147568A JP 20502097 A JP20502097 A JP 20502097A JP 20502097 A JP20502097 A JP 20502097A JP H1147568 A JPH1147568 A JP H1147568A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
alkoxide
silicon
inorganic
separation membrane
organic functional
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP20502097A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hitohide Oshima
仁英 大嶋
Youji Seki
洋二 積
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kyocera Corp
Original Assignee
Kyocera Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kyocera Corp filed Critical Kyocera Corp
Priority to JP20502097A priority Critical patent/JPH1147568A/en
Publication of JPH1147568A publication Critical patent/JPH1147568A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To manufacture a silica inorganic separating membrane provided with superior characteristics such as permeability and permeability coefficient ratio when specified components are separated from respective mixed fluids, which can be formed into a thin membrane easily and among others, is provided with heat resistance suitable for separating with priority carbon dioxide and oxygen, particularly high temperature carbon dioxide, from atmosphere or various kinds of combustion exhaust gas or reaction gas. SOLUTION: Composite alkoxide composed of alkoxide of silicon partially hydrolyzed in an alcohol solvent, alkoxide of silicon having an organic functional group directly bonded with Si atoms and alkoxide of zironium is prepared, and a precursor sol prepared by hydrolyzing composite alkoxide is applied on an inorganic porous body, and then dried and burnt at a temperature of 350-600 deg.C to produce an inorganic separating membrane.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、各種気体混合物の
混合流体から特定成分を分離するに際して透過率及び透
過係数比の両方の特性に優れ、薄膜化が容易な無機分離
膜及びその製造方法に関するもので、とりわけ大気中や
各種燃焼排気ガスあるいは反応ガス中から二酸化炭素
(CO2 )や酸素(O2 )を分離する、特に高温に曝さ
れた後でも効率よく二酸化炭素(CO2 )を分離するこ
とができる耐熱性に優れた気体用分離膜に好適なシリカ
質の無機分離膜及びその製造方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an inorganic separation membrane which is excellent in both characteristics of transmittance and transmission coefficient ratio when separating a specific component from a mixed fluid of various gas mixtures and is easily formed into a thin film, and a method for producing the same. those with, especially carbon dioxide from within or various combustion exhaust gas or a reactive gas atmosphere (CO 2) and oxygen (O 2) separating, in particular separation efficiently carbon dioxide (CO 2) even after exposure to high temperatures The present invention relates to a siliceous inorganic separation membrane suitable for a gas separation membrane having excellent heat resistance and a method for producing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より、各種気体混合物の混合流体か
ら特定成分を濾過分離する薄膜や、触媒等の機能性材料
用担体、更には電解隔壁、各種充填材等には有機材料を
はじめとする各種材料から成る多孔質体が用いられてき
た。
2. Description of the Related Art Conventionally, a thin film for filtering and separating a specific component from a mixed fluid of various gas mixtures, a carrier for a functional material such as a catalyst, an electrolytic partition, various fillers, and the like include organic materials. Porous bodies made of various materials have been used.

【0003】しかしながら、前記多孔質体に対する耐熱
性や耐薬品性、耐衝撃性、耐摩耗性等の耐久性の要求が
更に高くなるにつれ、機械的及び熱的、化学的安定性に
より優れた各種無機多孔質体が特に注目されるようにな
り種々検討されている。
However, as the demand for durability of the porous body, such as heat resistance, chemical resistance, impact resistance, and abrasion resistance, becomes higher, various types of materials having better mechanical, thermal, and chemical stability have been developed. Inorganic porous bodies have received particular attention and have been studied in various ways.

【0004】その結果、前記無機多孔質体を各種用途に
適用した場合、その性能は無機多孔質体を形成するのに
用いた材料自体が有する細孔径や細孔容積、細孔径分
布、特定の物質との親和性、反応性等の特性に大きく影
響されることが明らかとなってきた。
As a result, when the inorganic porous material is applied to various uses, its performance depends on the pore size, pore volume, pore size distribution, specific pore size, etc. of the material used to form the inorganic porous material. It has been clarified that properties such as affinity and reactivity with substances are greatly affected.

【0005】そこで前記無機多孔質体の要求性能を実現
する方法として、例えばシリカ質の膜はゾルゲル法やC
VD法、水熱合成法等の各種製造方法が採用できるが、
なかでも金属アルコキシドを原料とするゾルゲル法は高
価な製造装置を必要とせず、比較的容易に無機多孔質体
を製造できることから多くの研究が成されている。
Therefore, as a method of realizing the required performance of the inorganic porous material, for example, a silica film is formed by a sol-gel method or a C method.
Various production methods such as VD method and hydrothermal synthesis method can be adopted,
Among them, the sol-gel method using a metal alkoxide as a raw material does not require an expensive production apparatus, and many studies have been made since an inorganic porous body can be produced relatively easily.

【0006】しかしながら、前記無機多孔質体は、例え
ば多孔質膜を用いた気体分離の分野では安全かつ簡便な
ことからその適用範囲が拡がり、特定のガス成分の分離
濃縮技術は各種燃焼機関をはじめ、食品工業や医療用機
器、更には廃棄物処理等の分野でも注目されているが、
特定のガス成分の分離を目的に、無機多孔質体の細孔径
を制御するだけでは安定した大きな分離効率は得られ
ず、前記産業分野の諸要求を完全には満足していない。
However, the inorganic porous material is safe and simple in the field of gas separation using, for example, a porous membrane, and its application range is widened, and the technology for separating and concentrating specific gas components includes various combustion engines. , Food industry, medical equipment, and even in the field of waste disposal,
Simply controlling the pore size of the inorganic porous material for the purpose of separating a specific gas component does not provide a stable and large separation efficiency, and does not completely satisfy the requirements of the industrial field.

【0007】かかる諸要求を満足するために、例えば多
孔質ガラス表面に特定のシランカップリング剤を反応さ
せたり、あるいは更にアミノ化合物等の塩基性化合物を
反応させた透過率が大きく、高い分離効率を有する多孔
質気体分離膜や、芳香族環上の水素の一部が特定のポリ
オルガノシロキサン鎖で置換された構造を有するポリス
ルホン系グラフト共重合体より成り、とりわけ酸素(O
2 )及び二酸化炭素(CO2 )の分離性に優れた分離膜
等、有機無機複合膜が提案されている(特開平1−90
015号公報、特公平6−92483号公報参照)。
In order to satisfy such requirements, for example, a specific silane coupling agent is reacted on the surface of the porous glass, or a basic compound such as an amino compound is further reacted, so that the transmittance is large and the separation efficiency is high. And a polysulfone-based graft copolymer having a structure in which a part of hydrogen on an aromatic ring is substituted with a specific polyorganosiloxane chain.
2 ) and an organic-inorganic composite membrane such as a separation membrane excellent in the separation of carbon dioxide (CO 2 ) has been proposed (JP-A-1-90).
015, Japanese Patent Publication No. 6-92483).

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記分
離膜はいずれも室温から数十℃の比較的低温で反応させ
て有機官能基を含有する有機無機複合膜を形成したもの
であるため、前記反応温度以下の比較的低温度域での混
合流体から特定成分を分離するには優れた特性を発揮す
るものの、例えば各種燃焼排気ガスあるいは反応ガス
等、100℃以上の環境に曝されることにより、シリコ
ン−アルキル基結合が酸化されてシロキサン結合の再配
列が起こる等、高温により微細孔構造が変質してしまう
結果、100℃以上の環境に曝された後では安定したガ
ス分離特性が得られなくなるという課題があった。
However, since all of the above separation membranes are reacted at a relatively low temperature of from room temperature to several tens of degrees Celsius to form an organic-inorganic composite membrane containing an organic functional group, the above-mentioned reaction is difficult. Although it exhibits excellent characteristics to separate specific components from a mixed fluid in a relatively low temperature range below the temperature, it is exposed to an environment of 100 ° C. or more, such as various combustion exhaust gases or reaction gases, A high temperature alters the microporous structure, such as the silicon-alkyl group bond being oxidized and rearrangement of the siloxane bond. As a result, stable gas separation characteristics cannot be obtained after exposure to an environment of 100 ° C or higher. There was a problem that.

【0009】[0009]

【発明の目的】本発明は前記課題に鑑み成されたもの
で、その目的は、各種気体混合物の混合流体から特定成
分を分離するに際して、透過率及び透過係数比の両方の
特性に優れ、薄膜化が容易で、とりわけ大気中や各種燃
焼排気ガスあるいは反応ガス中から二酸化炭素(C
2 )や酸素(O2 )を効率良く分離する、特に高温の
環境に曝された後でも二酸化炭素(CO2 )を優先的に
分離することができる耐熱性に優れた気体用分離膜に好
適なシリカ質の無機分離膜及びその製造方法を提供する
ことにある。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to provide a method for separating a specific component from a mixed fluid of various gas mixtures, which is excellent in both characteristics of a transmittance and a transmission coefficient ratio, and has a thin film. Of carbon dioxide (C) from the atmosphere and various combustion exhaust gases or reaction gases.
Efficient separation of O 2 ) and oxygen (O 2 ), especially a gas separation membrane with excellent heat resistance that can preferentially separate carbon dioxide (CO 2 ) even after exposure to a high temperature environment An object of the present invention is to provide a suitable siliceous inorganic separation membrane and a method for producing the same.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】本発明者等は、前記課題
に対して鋭意研究を重ねた結果、一般式が
Means for Solving the Problems The present inventors have conducted intensive studies on the above-mentioned problems, and as a result, the general formula was obtained.

【0011】[0011]

【化2】 Embedded image

【0012】で表される部分加水分解したシリコンのア
ルコキシドと、有機官能基を有するシリコンのアルコキ
シドと、一般式が
A partially hydrolyzed silicon alkoxide represented by the following formula, and an organic functional silicon alkoxide represented by the general formula:

【0013】[0013]

【化3】 Embedded image

【0014】で表されるジルコニウムのアルコキシドの
複合アルコキシドを加水分解して作製した前駆体ゾル
を、一定条件で焼成することにより、従来より分離膜と
しての耐熱性が向上することを見いだした。
It has been found that by calcining a precursor sol prepared by hydrolyzing a complex alkoxide of zirconium alkoxide represented by the formula (1) under a certain condition, the heat resistance as a separation membrane is improved as compared with the prior art.

【0015】即ち、本発明の無機分離膜は、ジルコニア
を含むシリカを材質とする、一般式が
That is, the inorganic separation membrane of the present invention is made of silica containing zirconia and has a general formula:

【0016】[0016]

【化2】 Embedded image

【0017】で表される部分加水分解したシリコンのア
ルコキシドと、有機官能基を有するシリコンのアルコキ
シドと、一般式が
The partially hydrolyzed silicon alkoxide represented by the formula and the silicon alkoxide having an organic functional group are represented by the following general formula:

【0018】[0018]

【化3】 Embedded image

【0019】で表されるジルコニウムのアルコキシドの
複合アルコキシドから作製した前駆体ゾルの焼成体であ
ることを特徴とするものである。
It is characterized in that it is a calcined product of a precursor sol prepared from a complex alkoxide of zirconium alkoxide represented by the formula:

【0020】なかでも、前記有機官能基を有するシリコ
ンのアルコキシドは、その一般式が
Among them, the alkoxide of silicon having an organic functional group has a general formula

【0021】[0021]

【化1】 Embedded image

【0022】で表わされるものがより望ましい。More preferably,

【0023】また、その製造方法は、アルコール溶媒中
で部分加水分解したシリコンのアルコキシドと、Si原
子に直接結合した1個の有機官能基を有するシリコンの
アルコキシドを、モル比で90対10から50対50の
範囲内で複合化し、次いで、ジルコニウムのアルコキシ
ドを全シリコン1 モルに対して0.1〜0.5モルの範
囲で加えて複合化し、得られた複合アルコキシドを加水
分解して前記前駆体ゾルとし、それを無機多孔質体に塗
布して乾燥後、350〜600℃の温度で焼成すること
を特徴とするものである。
Further, the production method is such that a alkoxide of silicon partially hydrolyzed in an alcohol solvent and an alkoxide of silicon having one organic functional group directly bonded to a Si atom are mixed in a molar ratio of 90:10 to 50. The composite alkoxide was hydrolyzed by adding the alkoxide of zirconium in the range of 0.1 to 0.5 mol based on 1 mol of total silicon, and hydrolyzing the obtained composite alkoxide to form the precursor. A body sol is applied to an inorganic porous body, dried, and fired at a temperature of 350 to 600 ° C.

【0024】特に、前記有機官能基を有するシリコンの
アルコキシドは、その一般式が
In particular, the silicon alkoxide having an organic functional group has a general formula

【0025】[0025]

【化1】 Embedded image

【0026】で表わされるものを用いることがより望ま
しく、更に、全アルコキシドに対して1〜20倍モル量
の水で加水分解して前記前駆体ゾルを得ることがより望
ましい。
More preferably, the precursor sol is obtained by hydrolyzing with 1 to 20 times the molar amount of water to the total alkoxide.

【0027】[0027]

【作用】本発明の無機分離膜及びその製造方法によれ
ば、部分加水分解したシリコンのアルコキシドと、有機
官能基を有するシリコンのアルコキシドと、ジルコニウ
ムのアルコキシドの複合アルコキシドを加水分解した前
駆体ゾルの焼成体であること、即ち、ジルコニアを含む
シリカを材質とする複合無機分離膜であることから、大
気中または各種燃焼排気ガスや反応ガス中から、二酸化
炭素を優先的に分離できると共に、100℃以上の高温
の環境下に曝されても特性の劣化しない耐熱性の高い分
離膜となる。
According to the inorganic separation membrane and the method for producing the same of the present invention, a precursor sol obtained by hydrolyzing a composite alkoxide of partially hydrolyzed silicon alkoxide, silicon alkoxide having an organic functional group, and zirconium alkoxide is used. Since it is a fired body, that is, a composite inorganic separation membrane made of silica containing zirconia, carbon dioxide can be preferentially separated from the atmosphere or from various combustion exhaust gases and reaction gases, and at 100 ° C. A separation membrane with high heat resistance, whose characteristics do not deteriorate even when exposed to the above high temperature environment.

【0028】また、350〜600℃での熱処理によ
り、得られた無機分離膜はÅオーダーの細孔径を有する
ものとなり、かつ、有機官能基の一部分が残存するた
め、細孔表面のOH基が活性化され、表面拡散機構によ
るCO2 ガス透過が優先的に起こる。
Further, by the heat treatment at 350 to 600 ° C., the obtained inorganic separation membrane has a pore size of Å order, and a part of the organic functional groups remains. When activated, CO 2 gas permeation by the surface diffusion mechanism occurs preferentially.

【0029】更に、サブミクロンの細孔径を有する多孔
質のα−アルミナ支持体表面に数nmの細孔を有するγ
−アルミナ膜を被覆することで、前記前駆体ゾルを塗布
する際に厚さが極めて薄い膜をクラックや剥離等が発生
することなく得ることができ、高い透過率を示す分離膜
とすることが可能となる。
Further, γ having pores of several nm on the surface of a porous α-alumina support having a pore diameter of submicron
-By coating the alumina film, a very thin film can be obtained without applying cracks or peeling when the precursor sol is applied, and a separation film having high transmittance can be obtained. It becomes possible.

【0030】[0030]

【発明の実施の形態】以下、本発明の無機分離膜及びそ
の製造方法について詳述する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, an inorganic separation membrane of the present invention and a method for producing the same will be described in detail.

【0031】本発明は、部分加水分解したシリコンのア
ルコキシドと、Si原子に直接結合した有機官能基を有
するシリコンのアルコキシドをアルコール溶媒中で複合
化し、次いで、ジルコニウムのアルコキシドを加えて複
合化し、この複合アルコキシドを水で加水分解すること
により均質で安定な前駆体ゾルが得られ、該ゾルを乾燥
後、350〜600℃の温度で焼成することにより、ジ
ルコニアを含むシリカを材質とするシリカ質の無機分離
膜が得られるというものである。
According to the present invention, a partially hydrolyzed silicon alkoxide and a silicon alkoxide having an organic functional group directly bonded to a Si atom are compounded in an alcohol solvent, and then a zirconium alkoxide is added to form a compound. By hydrolyzing the composite alkoxide with water, a homogeneous and stable precursor sol is obtained. After drying the sol, the precursor sol is calcined at a temperature of 350 to 600 ° C. to produce a siliceous silica containing zirconia. An inorganic separation membrane is obtained.

【0032】本発明における無機分離膜は、前記焼成過
程でシロキサン結合が過度に進むことを前駆体ゾル中に
分散させた有機官能基の立体障害により阻止して細孔構
造を形成したものである。
The inorganic separation membrane of the present invention has a pore structure formed by preventing excessive progression of siloxane bonds in the calcination process due to steric hindrance of the organic functional groups dispersed in the precursor sol. .

【0033】従って、連続した細孔の網目構造を形成す
るためには、前駆体ゾル作製時に有機官能基が十分に分
散しておく必要があり、そのためには部分加水分解した
シリコンのアルコキシドと有機官能基を有するシリコン
のアルコキシドとが均一に複合化されていることがより
望ましいものである。
Accordingly, in order to form a network structure of continuous pores, it is necessary to sufficiently disperse the organic functional groups at the time of preparing the precursor sol, and for this purpose, the partially hydrolyzed silicon alkoxide and the organic It is more desirable that the alkoxide of silicon having a functional group is uniformly compounded.

【0034】更に、分離膜として稼動する際の各種条件
下、特に100℃以上の高温に曝されても特性劣化が起
こらないように、前記シリコンの複合アルコキシドとジ
ルコニウムのアルコキシドとが均一に複合化されている
ことがより望ましいものである。
Further, the compound alkoxide of silicon and the alkoxide of zirconium are uniformly compounded so that the characteristics do not deteriorate even under various conditions when operating as a separation membrane, especially at a high temperature of 100 ° C. or more. Is more desirable.

【0035】また、本発明においてシリコンのアルコキ
シドと有機官能基を有するシリコンのアルコキシドとの
複合化及び該シリコンの複合アルコキシドとジルコニウ
ムのアルコキシドとの複合化は、該複合化を確実に行う
ためには、一般式が
In the present invention, the compounding of the silicon alkoxide with the silicon alkoxide having an organic functional group and the compounding of the silicon alkoxide with the zirconium alkoxide are necessary to ensure the compounding. And the general formula is

【0036】[0036]

【化2】 Embedded image

【0037】で表される予め部分加水分解したシリコン
のアルコキシドを用いることが必要である。
It is necessary to use a silicon alkoxide which has been partially hydrolyzed in advance and represented by the following formula:

【0038】また、前記部分加水分解したシリコンのア
ルコキシドは、シリコンのアルコキシドのアルコール溶
液に該シリコンのアルコキシド1モルに対し、1〜3倍
モル量の水と少量の酸をアルコール存在下で添加するこ
とにより作製することができる。
The partially hydrolyzed silicon alkoxide is added to an alcohol solution of silicon alkoxide in the presence of an alcohol by adding 1 to 3 moles of water and a small amount of acid to 1 mole of the silicon alkoxide. It can be manufactured by the following.

【0039】また、シリコンのアルコキシドと、有機官
能基を有するシリコンのアルコキシドの複合アルコキシ
ド及びジルコニウムのアルコキシドとの複合化は、これ
らすべてのアルコキシドをアルコール溶液中で加熱還流
することによっても作製でき、続いて全体を加水分解し
て前駆体ゾルとしても良い。
The compounding of an alkoxide of silicon with a compound alkoxide of silicon having an organic functional group and an alkoxide of zirconium can also be produced by heating and refluxing all these alkoxides in an alcohol solution. The whole may be hydrolyzed to form a precursor sol.

【0040】前記部分加水分解したシリコンのアルコキ
シドと有機官能基を有するシリコンのアルコキシドとの
複合割合は、両アルコキシドが併存すれば良いが、無機
分離膜の分離特性と成膜性の点から、モル比で90対1
0から50対50の範囲内でなければならず、特に分離
特性の点からは90対10〜70対30の範囲がより望
ましい。
The compounding ratio of the partially hydrolyzed silicon alkoxide and the silicon alkoxide having an organic functional group may be such that both alkoxides coexist. 90 to 1 in ratio
It must be in the range of 0 to 50:50, and in particular, the range of 90:10 to 70:30 is more preferable from the viewpoint of separation characteristics.

【0041】また、前記シリコンの複合アルコキシドへ
のジルコニウムのアルコキシドの添加の割合は、無機分
離膜の耐熱性と成膜性の点から、全シリコン1モルに対
して0.1〜0.5モルの範囲が必要であり、特に無機
分離膜の分離特性からは0.1〜0.3モルの範囲が望
ましい。
The ratio of the addition of the alkoxide of zirconium to the composite alkoxide of silicon is 0.1 to 0.5 mol per 1 mol of total silicon in view of the heat resistance and film formability of the inorganic separation membrane. Is required, and in particular, the range of 0.1 to 0.3 mol is desirable from the viewpoint of the separation characteristics of the inorganic separation membrane.

【0042】前記複合アルコキシドに用いるSi原子に
直接結合した有機官能基を有するシリコンのアルコキシ
ドは、Si(O−R)4 のようなアルコキシドに比べ、
熱処理による有機官能基が焼失し難く、数100℃まで
焼成体中に残存しÅオーダーの細孔を形成し、かつ、細
孔表面のOH基を活性化させるため、例えば、大気中又
は各種燃焼排気ガスや反応ガス中から、二酸化炭素(C
2 )等を優先的に分離できる分離膜を作製する上で欠
くことができないものである。
The silicon alkoxide having an organic functional group directly bonded to a Si atom used in the composite alkoxide is compared with an alkoxide such as Si (OR) 4 .
Organic functional groups hardly burn off due to heat treatment, remain in the fired body up to several hundred degrees Celsius, form pores of the order of Å, and activate OH groups on the surface of the pores. From exhaust gas and reaction gas, carbon dioxide (C
This is indispensable for producing a separation membrane capable of preferentially separating O 2 ) and the like.

【0043】一方、前記有機官能基を有するシリコンの
アルコキシドに含有される有機官能基の量が全アルコキ
シドの10〜40%の範囲では、該含有量が多いほど透
過係数比は大きくなる傾向があるが、含有量が40%を
越えると、有機官能基を有するアルコキシドの割合が多
くなることにより、成膜性が低下して膜表面に微小な欠
陥が生じるためと考えられるが、透過係数比は逆に小さ
くなる傾向を示す。
On the other hand, when the amount of the organic functional group contained in the alkoxide of silicon having the organic functional group is in the range of 10 to 40% of the total alkoxide, the transmission coefficient ratio tends to increase as the content increases. However, when the content exceeds 40%, the proportion of the alkoxide having an organic functional group is increased, and it is considered that the film-forming property is reduced and minute defects are generated on the film surface. Conversely, it tends to decrease.

【0044】更に、本発明におけるシリコンのアルコキ
シドとしては、テトラメトキシシランやテトラエトキシ
シラン、テトライソプロポキシシラン等が挙げられ、ま
た有機官能基を有するシリコンのアルコキシドとして
は、フェニル基、ビニル基、アミノプロピル基をそれぞ
れ有するトリメトキシシランやトリエトキシシラン等が
挙げられ、他方のジルコニウムのアルコキシドとして
は、テトラエトキシジルコニウム、テトラプロポキシジ
ルコニウム、テトラブトキシジルコニウム等が挙げられ
る。
The alkoxide of silicon in the present invention includes tetramethoxysilane, tetraethoxysilane, tetraisopropoxysilane and the like. The alkoxide of silicon having an organic functional group includes phenyl, vinyl, amino Examples include trimethoxysilane and triethoxysilane each having a propyl group, and the other alkoxides of zirconium include tetraethoxyzirconium, tetrapropoxyzirconium, and tetrabutoxyzirconium.

【0045】特に、ゲル膜の乾燥性及び原料の経済性の
点からは、シリコンのアルコキシドはテトラメトキシシ
ランもしくはテトラエトキシシランが、有機官能基を有
するシリコンのアルコキシドはそれぞれの官能基を有す
るトリメトキシシランもしくはトリエトキシシランが、
ジルコニウムのアルコキシドはテトラエトキシジルコニ
ウムもしくはテトラプロポキシジルコニウムが望まし
い。
Particularly, from the viewpoint of the drying property of the gel film and the economy of the raw material, the alkoxide of silicon is tetramethoxysilane or tetraethoxysilane, and the alkoxide of silicon having an organic functional group is trimethoxysilane having the respective functional groups. Silane or triethoxysilane
The alkoxide of zirconium is preferably tetraethoxyzirconium or tetrapropoxyzirconium.

【0046】また、各アルコキシドの混合溶媒のアルコ
ールとしては、メタノールやエタノール、プロパノー
ル、ブタノール、2−メトキシエタノール、2−エトキ
シエタノール等が挙げられ、ゲル膜の濡れ性、乾燥性、
原料の溶解性の点からは、メタノールやエタノール等の
低級アルコールが最適である。
Examples of the alcohol in the mixed solvent of each alkoxide include methanol, ethanol, propanol, butanol, 2-methoxyethanol, and 2-ethoxyethanol.
From the viewpoint of solubility of raw materials, lower alcohols such as methanol and ethanol are most suitable.

【0047】次に、前記複合アルコキシドの加水分解方
法は、特に限定されることなく公知あるいは周知の手段
を用いることができるが、添加する水の量は多量であれ
ば良いが、全アルコキシドに対して1〜20倍モルの範
囲がより望ましい。
The method of hydrolyzing the composite alkoxide is not particularly limited, and any known or well-known means can be used. The amount of water to be added may be a large amount. More preferably, it is in the range of 1 to 20 moles.

【0048】即ち、加水分解用の水の量が1〜20倍モ
ルの範囲の場合、成膜後の焼成で十分にシロキサン結合
が発達して機械的強度が充分な膜を得やすく、いかなる
条件でも膜の割れや膜の剥離等の欠陥は全く発生せず、
得られた前駆体ゾルも安定であり、該ゾルが白濁化した
り沈殿が生成したりすることもない。
In other words, when the amount of water for hydrolysis is in the range of 1 to 20 moles, siloxane bonds are sufficiently developed by firing after film formation, and a film having sufficient mechanical strength is easily obtained. However, no defects such as film cracking and film peeling occurred,
The obtained precursor sol is also stable, and the sol does not become cloudy or precipitate.

【0049】また、この加水分解は、各アルコキシドを
複合化した後、同時に行っても良いが、好ましくはシリ
コンのアルコキシドのみを先に部分的に加水分解し、そ
の後、有機官能基を有するシリコンのアルコキシドを複
合化し、次いでジルコニウムのアルコキシドを複合化し
た後、全体を加水分解して前駆体ゾルを作製する方が良
い。
The hydrolysis may be carried out simultaneously after complexing each alkoxide. However, preferably, only the alkoxide of silicon is partially hydrolyzed first, and then the silicon having an organic functional group is hydrolyzed. It is better to form a precursor sol by complexing an alkoxide and then a zirconium alkoxide and then hydrolyzing the whole.

【0050】次に、無機多孔質支持体に無機分離膜を形
成する方法としては、特に限定されることなく公知ある
いは周知の各種手段を適用できるが、例えば前記前駆体
ゾルを、前駆体ゾル作製に用いた溶媒で所定の濃度に希
釈した後、該希釈液中に予めγ−アルミナ膜を被覆した
多孔質α−アルミナ支持体を浸漬して引き上げて塗布す
るか、あるいは前記支持体に直接塗布した後、乾燥し、
次いで350〜600℃の温度で焼成することで作製し
ても良い。
Next, the method of forming the inorganic separation membrane on the inorganic porous support is not particularly limited, and any known or well-known means can be applied. For example, the precursor sol is prepared by preparing the precursor sol. After diluting to a predetermined concentration with the solvent used for the above, a porous α-alumina support previously coated with a γ-alumina film is immersed in the diluent and pulled up to apply, or directly applied to the support After drying,
Then, it may be produced by firing at a temperature of 350 to 600 ° C.

【0051】本発明の無機分離膜は、要求される透過率
及び透過係数比を満足し、実用的な強度を有するために
は、膜の厚さは1μm以下、特に0.1〜0.5μm程
度が望ましく、無機多孔質支持体と共に用いることが望
ましい。
The inorganic separation membrane of the present invention has a thickness of 1 μm or less, particularly 0.1 to 0.5 μm, in order to satisfy required transmittance and transmission coefficient ratio and have practical strength. The degree is desirable, and it is desirable to use together with the inorganic porous support.

【0052】一方、前記無機多孔質支持体としては、特
に限定されるものではないが、分離膜を支持するに十分
な強度を有し、焼成においても前駆体ゾルと反応せず、
少なくとも膜の焼成温度範囲で十分な耐熱性を有する多
孔質体であればいかなるものでも良い。
On the other hand, the inorganic porous support is not particularly limited, but has sufficient strength to support the separation membrane and does not react with the precursor sol even during firing.
Any material may be used as long as it is a porous material having sufficient heat resistance at least in the range of the firing temperature of the film.

【0053】例えば、多孔質なセラミックスやガラス、
金属等が挙げられ、とりわけα−アルミナ等の多孔質セ
ラミックスは耐熱性、耐薬品性等の点で好ましいもので
あるが、多孔質α−アルミナ自体を支持体として用いた
場合、その大きな孔径と表面粗さ故に割れ等の欠陥のな
い膜を作製するのは困難となり、例え欠陥のない膜を作
製できたとしても数μmの膜厚が必要となり、透過率の
著しい低下を招くことになる。
For example, porous ceramics and glass,
Metals and the like are listed, and porous ceramics such as α-alumina are particularly preferable in terms of heat resistance, chemical resistance, and the like.However, when porous α-alumina itself is used as a support, its large pore size and Due to the surface roughness, it is difficult to produce a film having no defects such as cracks. Even if a film having no defects can be produced, a film thickness of several μm is required, resulting in a significant decrease in transmittance.

【0054】従って、孔径と表面粗さを制御したγ−ア
ルミナ膜を中間層としてα−アルミナ多孔質体に担持し
た支持体を採用するのが最適となる。
Therefore, it is optimal to employ a support in which a γ-alumina film having a controlled pore diameter and surface roughness is carried on an α-alumina porous material as an intermediate layer.

【0055】また、前駆体ゾルを塗布した後の焼成温度
は、350℃未満の温度では乾燥ゲル膜中のアルコキシ
ル基を完全に除去し、シロキサン結合をより強固にする
ことができず、600℃を越える温度では焼結が進み、
分離に必要な細孔が消失することから、350〜600
℃の温度範囲に限定され、とりわけ透過性能、分離特性
の点ではその温度は400〜500℃がより好ましい。
If the firing temperature after applying the precursor sol is lower than 350 ° C., the alkoxyl groups in the dried gel film are completely removed, and the siloxane bond cannot be further strengthened. If the temperature exceeds sintering,
Since the pores required for the separation disappear, 350 to 600
The temperature is limited to a temperature range of 400C, and the temperature is more preferably 400 to 500C in view of permeation performance and separation characteristics.

【0056】また、膜の欠陥を防ぐため、前駆体ゾルの
塗布、乾燥、焼成の一連の操作を数回繰り返すことがよ
り好ましい。
Further, in order to prevent defects of the film, it is more preferable to repeat a series of operations of coating, drying and firing of the precursor sol several times.

【0057】本発明の無機分離膜は、分離、濃縮する対
象となる混合流体として、例えば二酸化炭素や酸素は勿
論、水素やヘリウム、窒素、一酸化炭素、メタン、エタ
ン、プロパン等の混合物が分離膜と反応あるいは溶解し
ないものであればいずれも適用可能であり、更にはそれ
らと粉塵等の無機物質を含む混合物等の分離にも適用可
能なことは言うまでもない。
The inorganic separation membrane of the present invention separates a mixture of, for example, carbon dioxide and oxygen, as well as hydrogen, helium, nitrogen, carbon monoxide, methane, ethane, and propane, as a mixed fluid to be separated and concentrated. As long as it does not react or dissolve with the membrane, any of them can be applied, and it goes without saying that it can also be applied to separation of a mixture containing them and an inorganic substance such as dust.

【0058】その上、本発明の無機分離膜は、常温から
100℃以上の広範囲の温度域まで使用可能であるが、
分離膜の耐熱性や耐久性の点から室温〜400℃の温度
範囲がより好適に用い得るものである。
In addition, the inorganic separation membrane of the present invention can be used in a wide temperature range from room temperature to 100 ° C. or higher.
From the viewpoint of heat resistance and durability of the separation membrane, a temperature range from room temperature to 400 ° C. can be more preferably used.

【0059】[0059]

【実施例】以下、本発明の無機分離膜及びその製造方法
を以下のようにして評価した。
EXAMPLES The inorganic separation membrane of the present invention and the method for producing the same were evaluated as follows.

【0060】先ず、テトラエトキシシラン7.29g
(モル比0.7)にエタノール23.04g(モル比1
0)、水0.63g(モル比0.9)、HCl(モル比
0.07)の混合溶液を添加して部分加水分解ゾルを作
製し、これにフェニルトリエトキシシラン0.72g
(モル比0.3)とエタノール23.04g(モル比1
0)の混合溶液を添加し、窒素気流下で攪拌し、次いで
これにジルコニウムのアルコキシド0.82g(モル比
0.25)とエタノール23.04g(モル比10)の
混合溶液を添加して複合アルコキシドを作製した。
First, 7.29 g of tetraethoxysilane
(Molar ratio 0.7) 23.04 g of ethanol (molar ratio 1)
0), a mixed solution of 0.63 g of water (molar ratio of 0.9) and HCl (molar ratio of 0.07) were added to prepare a partially hydrolyzed sol, and 0.72 g of phenyltriethoxysilane was added thereto.
(Molar ratio 0.3) and ethanol 23.04 g (molar ratio 1)
0) was added and stirred under a nitrogen stream, and then a mixed solution of 0.82 g (molar ratio 0.25) of zirconium alkoxide and 23.04 g (molar ratio 10) of ethanol was added. An alkoxide was prepared.

【0061】次に、前記複合アルコキシドに水8.37
g(モル比9.3)とエタノール115.18g(モル
比50)の混合溶液を添加し加水分解して、更に3時間
攪拌した後、前駆体ゾルを作製した。
Next, 8.37 of water was added to the composite alkoxide.
g (molar ratio: 9.3) and a mixed solution of ethanol (115.18 g (molar ratio: 50)) were added, hydrolyzed, and further stirred for 3 hours to prepare a precursor sol.

【0062】その後、前記前駆体ゾル溶液に、予め、外
径3mmのα−アルミナ多孔質管(気孔率40%)に厚
さ2μmのγ−アルミナを被覆した無機多孔質支持体
を、30秒間浸漬し、5mm/秒の速度で引き上げ、室
温で1時間乾燥した後、引き続いて表1に示す焼成温度
で1時間保持し、その後、室温まで冷却した。
Then, an inorganic porous support obtained by coating a 2 μm-thick γ-alumina on an α-alumina porous tube (porosity: 40%) having an outer diameter of 3 mm in advance was added to the precursor sol solution for 30 seconds. It was immersed, pulled up at a speed of 5 mm / sec, dried at room temperature for 1 hour, subsequently kept at the firing temperature shown in Table 1 for 1 hour, and then cooled to room temperature.

【0063】この浸漬、乾燥、焼成の一連の操作を4回
繰り返し、γ−アルミナ層上にシリカ質の膜を被着して
評価用試料を作製した。
A series of operations of immersion, drying and firing were repeated four times, and a silica-based film was deposited on the γ-alumina layer to prepare a sample for evaluation.

【0064】また、前記テトラエトキシシランとフェニ
ルトリエトキシシランのモル比を種々変更したもの、及
びフェニルトリエトキシシランに代えてビニルトリエト
キシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、
p−アミノフェニルトリメトキシシランを用いて前記同
様にして評価用試料を作製した。
Also, various molar ratios of the above-mentioned tetraethoxysilane and phenyltriethoxysilane, and vinyltriethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane instead of phenyltriethoxysilane,
A sample for evaluation was prepared in the same manner as described above using p-aminophenyltrimethoxysilane.

【0065】尚、有機官能基を有するシリコンのアルコ
キシドを混合せず、テトラエトキシシラン及びテトラプ
ロポキシジルコニウムのみで前記同様にして作製したも
の、またジルコニウムのアルコキシドを混合せず、テト
ラエトキシシラン及びフェニルトリエトキシシランのみ
で前記同様にして作製したものをそれぞれ比較例とし
た。
A silicon alkoxide having an organic functional group was not mixed with the alkoxide of tetraethoxysilane and tetrapropoxyzirconium, but was prepared in the same manner as described above. The alkoxide of zirconium was not mixed with tetraethoxysilane and phenyltrisilane. Those manufactured in the same manner as described above using only ethoxysilane were used as comparative examples.

【0066】また、全シリコン1モルに対するジルコニ
ウムのアルコキシドのモル数を、表1ではジルコニウム
アルコキシドモル比として表示した。
Further, in Table 1, the number of moles of the alkoxide of zirconium relative to 1 mole of the total silicon is shown as a molar ratio of the zirconium alkoxide.

【0067】[0067]

【表1】 [Table 1]

【0068】かくして得られた評価用試料をガス透過率
測定装置に取り付け、該試料の管内側に10cc/mi
nのヘリウムガスを、外側には窒素及び二酸化炭素ガス
の1/1混合ガスを100cc/minの割合で流し、
試料の膜部を30℃に保ち、前記膜を透過する窒素ガス
及び二酸化炭素ガスの比率(透過係数比)をガスクロマ
トグラフィで評価すると共に、試料の管内外の出口ガス
流量からそれぞれの透過率を求めた。
The sample for evaluation thus obtained was attached to a gas permeability measuring device, and 10 cc / mi was placed inside the tube of the sample.
n helium gas, and a 1/1 mixed gas of nitrogen and carbon dioxide gas at a flow rate of 100 cc / min.
While maintaining the membrane portion of the sample at 30 ° C., the ratio (permeation coefficient ratio) of nitrogen gas and carbon dioxide gas permeating the membrane is evaluated by gas chromatography, and the respective transmittances are determined from the gas flow rates at the inside and outside of the sample tube. I asked.

【0069】更にその後、耐熱性の評価として、前記評
価試料を350℃の雰囲気に2時間に曝し、該試料を3
0℃まで冷却後、前記同様にして透過率の測定を行い、
各試料の熱処理前後での透過率、透過係数比を求めた。
Thereafter, as an evaluation of heat resistance, the evaluation sample was exposed to an atmosphere at 350 ° C. for 2 hours,
After cooling to 0 ° C., the transmittance was measured in the same manner as described above,
The transmittance and the transmission coefficient ratio before and after the heat treatment of each sample were determined.

【0070】[0070]

【表2】 [Table 2]

【0071】表から明らかなように、本発明の請求範囲
外である試料番号9及び18は、熱処理前では高い分離
特性を示すものの、高温雰囲気下に曝されるとCO2
2透過係数比が熱処理前の1/5以下と特性が劣化
し、同じく試料番号5及び17では有機官能基を有する
シリコンのアルコキシドの量が少ないか、全く含有して
いないため、熱処理前後共、前記透過係数比は10以下
の低い値しか得られていない。
As is clear from the table, Sample Nos. 9 and 18, which are outside the scope of the present invention, exhibit high separation characteristics before heat treatment, but exhibit CO 2 /
The properties deteriorated when the N 2 transmission coefficient ratio was 1/5 or less before the heat treatment. Similarly, in Samples Nos. 5 and 17, the amount of alkoxide of silicon having an organic functional group was small or not contained at all. The transmission coefficient ratio is only as low as 10 or less.

【0072】更に、同じく試料番号8及び12では、膜
表面の電子顕微鏡観察より微細なクラックが発生してい
ることが確認され、その故、熱処理前後とも前記透過係
数比は2を下回る低い値となっている。
Further, in Sample Nos. 8 and 12, it was confirmed from the electron microscopic observation of the film surface that fine cracks were generated. Therefore, before and after the heat treatment, the transmission coefficient ratio was as low as less than 2. Has become.

【0073】また、同じく試料番号13は焼成温度が低
く、膜のシロキサン結合が強固とならず、試料番号16
では逆に焼成温度が高く、膜の緻密化が進行してCO2
/N2 透過係数比が細孔壁と透過ガスとの相互作用がな
い時の理論的透過係数比、即ちクヌッセン拡散による透
過係数比である0.8に近い値しかない。
Similarly, Sample No. 13 had a low firing temperature, the siloxane bond of the film was not strong, and Sample No. 16
On the contrary, the baking temperature is high, the film densification progresses, and CO 2
/ N 2 permeability coefficient ratio is only a value close to 0.8, which is the theoretical permeability coefficient ratio when there is no interaction between the pore wall and the permeated gas, that is, the permeability coefficient ratio by Knudsen diffusion.

【0074】それに対して、本発明ではCO2 /N2
過係数比が100℃を越える350℃の高温雰囲気下に
曝されても21以上と極めて大きな値が得られており、
これは有機官能基を含むシリコンのアルコキシドの利用
により本発明の無機分離膜が1nm以下の非常に狭い細
孔径分布を有していることから、高いCO2 選択性を示
したものと考えられ、ジルコニウムのアルコキシドの添
加により、耐熱性の高い無機分離膜になったものと考え
られる。
On the other hand, in the present invention, a very large value of 21 or more was obtained even when exposed to a 350 ° C. high temperature atmosphere in which the CO 2 / N 2 permeability coefficient ratio exceeded 100 ° C.
This is considered to be because the inorganic separation membrane of the present invention has a very narrow pore size distribution of 1 nm or less due to the use of alkoxide of silicon containing an organic functional group, and thus showed high CO 2 selectivity. It is considered that the addition of the alkoxide of zirconium resulted in an inorganic separation membrane having high heat resistance.

【0075】尚、本発明の無機分離膜及びその製造方法
は前記実施例に限定されるものではない。
The inorganic separation membrane and the method for producing the same according to the present invention are not limited to the above embodiments.

【0076】[0076]

【発明の効果】叙上の如く、本発明の無機分離膜及びそ
の製造方法によれば、部分加水分解したシリコンのアル
コキシドと、有機官能基を有するシリコンのアルコキシ
ド及びジルコニウムのアルコキシドを複合し、この複合
アルコキシドを加水分解することにより得た前駆体ゾル
を乾燥後、350〜600℃の温度で焼成して作製した
ジルコニア添加シリカ質の無機分離膜であることから、
有機官能基の焼失温度が高いために近傍のシロキサン結
合が過度に進むことが抑制されて1nm以下の微細孔構
造が保持される。
As described above, according to the inorganic separation membrane and the method for producing the same of the present invention, a partially hydrolyzed silicon alkoxide, a silicon alkoxide having an organic functional group and a zirconium alkoxide are combined. After drying the precursor sol obtained by hydrolyzing the composite alkoxide, it is a zirconia-added siliceous inorganic separation membrane produced by firing at a temperature of 350 to 600 ° C.
Due to the high burning temperature of the organic functional groups, excessive progress of siloxane bonds in the vicinity is suppressed, and a fine pore structure of 1 nm or less is maintained.

【0077】従って、各種気体混合物等の混合流体から
特定成分を分離するに際して透過率及び透過係数比の両
方の特性に優れ、更に添加されたジルコニアにより、1
00℃以上の高温雰囲気に曝されても特性の劣化が見ら
れず、高い耐熱性を有する気体用分離膜が得られる。
Accordingly, in separating a specific component from a mixed fluid such as various gas mixtures, both characteristics of the transmittance and the transmission coefficient ratio are excellent.
Even when exposed to a high-temperature atmosphere of 00 ° C. or higher, no deterioration in characteristics is observed, and a gas separation membrane having high heat resistance can be obtained.

【0078】更に、本発明の無機分離膜は薄膜化が容易
で、とりわけ大気中や各種燃焼排気ガスあるいは反応ガ
ス中から二酸化炭素(CO2 )や酸素(O2 )を分離す
る、特に100℃以上の高温の二酸化炭素(CO2 )を
優先的に分離する気体用分離膜に好適である。
Further, the inorganic separation membrane of the present invention can be easily formed into a thin film. Particularly, it separates carbon dioxide (CO 2 ) and oxygen (O 2 ) from the atmosphere or various combustion exhaust gases or reaction gases, particularly at 100 ° C. It is suitable for a gas separation membrane that preferentially separates the above high-temperature carbon dioxide (CO 2 ).

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】シリコンのアルコキシドと、有機官能基を
有するシリコンのアルコキシド及びジルコニウムのアル
コキシドとをアルコール溶媒中で複合化し、該複合アル
コキシドを加水分解して得た前駆体ゾルの焼成体から成
ることを特徴とする無機分離膜。
An alkoxide of silicon, an alkoxide of silicon having an organic functional group and an alkoxide of zirconium are compounded in an alcohol solvent, and the alkoxide of the precursor is obtained by hydrolyzing the compound alkoxide. An inorganic separation membrane characterized by the above-mentioned.
【請求項2】前記有機官能基を有するシリコンのアルコ
キシドの一般式が 【化1】 で表わされることを特徴とする請求項1に記載の無機分
離膜。
2. The alkoxide of silicon having an organic functional group has a general formula: The inorganic separation membrane according to claim 1, wherein:
【請求項3】部分加水分解したシリコンのアルコキシド
と、Si原子に直接結合した有機官能基を有するシリコ
ンのアルコキシドをモル比で90対10から50対50
の範囲内でアルコール溶媒中で複合化し、次いでジルコ
ニウムのアルコキシドを全シリコン1モルに対して0.
1〜0.5モルの範囲内で加えて複合化し、得られた複
合アルコキシドを加水分解して前駆体ゾルを作製した
後、該前駆体ゾルを無機多孔質支持体に塗布して乾燥
し、次いで350〜600℃の温度で焼成することを特
徴とする無機分離膜の製造方法。
3. A partially hydrolyzed silicon alkoxide and a silicon alkoxide having an organic functional group directly bonded to a Si atom in a molar ratio of 90:10 to 50:50.
In an alcohol solvent, and then the alkoxide of zirconium is added in an amount of 0.1 to 1 mol of total silicon.
After adding and complexing within a range of 1 to 0.5 mol, a precursor sol is prepared by hydrolyzing the obtained composite alkoxide, and then the precursor sol is applied to an inorganic porous support and dried, Then, the method is fired at a temperature of 350 to 600 ° C.
【請求項4】前記有機官能基を有するシリコンのアルコ
キシドの一般式が 【化1】 で表わされることを特徴とする請求項3に記載の無機分
離膜の製造方法。
4. The general formula of the silicon alkoxide having an organic functional group is as follows: The method for producing an inorganic separation membrane according to claim 3, wherein
【請求項5】前記複合アルコキシドを加水分解する際、
全アルコキシドに対して1〜20倍モル量の水を添加す
ることを特徴とする請求項3に記載の無機分離膜の製造
方法。
5. When hydrolyzing the composite alkoxide,
The method for producing an inorganic separation membrane according to claim 3, wherein water is added in an amount of 1 to 20 times the molar amount of all alkoxides.
JP20502097A 1997-07-30 1997-07-30 Inorganic separating membrane and its manufacture Pending JPH1147568A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP20502097A JPH1147568A (en) 1997-07-30 1997-07-30 Inorganic separating membrane and its manufacture

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP20502097A JPH1147568A (en) 1997-07-30 1997-07-30 Inorganic separating membrane and its manufacture

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH1147568A true JPH1147568A (en) 1999-02-23

Family

ID=16500122

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP20502097A Pending JPH1147568A (en) 1997-07-30 1997-07-30 Inorganic separating membrane and its manufacture

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH1147568A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003068630A (en) * 2001-08-29 2003-03-07 Kyocera Corp Aligner
JP4721575B2 (en) * 2001-08-29 2011-07-13 京セラ株式会社 Exposure equipment

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003068630A (en) * 2001-08-29 2003-03-07 Kyocera Corp Aligner
JP4721575B2 (en) * 2001-08-29 2011-07-13 京セラ株式会社 Exposure equipment

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2424044C2 (en) Microporous membrane for molecular separation with high hydrothermal stability
US5770275A (en) Molecular sieving silica membrane fabrication process
US5935646A (en) Molecular sieving silica membrane fabrication process
JP2005528198A (en) Hydrogen selective silica membrane
CN113648855B (en) For separating CO 2 /N 2 Method for preparing organic silicon film
Kreiter et al. Sol–gel routes for microporous zirconia and titania membranes
JPH10249175A (en) Porous separation membrane and production thereof
JP2002128512A (en) Ceramic material, ceramic membrane and use thereof
JP2004275943A (en) Fluid separation filter and method for manufacturing the same
JP2000157853A (en) Gas separating filter and its manufacture
JP2000005579A (en) Carbon dioxide separation membrane and its production
JP4250473B2 (en) Method for manufacturing fluid separation filter
JPH1147568A (en) Inorganic separating membrane and its manufacture
JP3559470B2 (en) Gas separation filter and method of manufacturing the same
JP3502755B2 (en) Carbon dioxide separation membrane and method for producing the same
JPH10323547A (en) Porous separation membrane and its production
JP2000093770A (en) Carbon dioxide separation membrane and its manufacture
JPH04349926A (en) Hydrogen gas separation membrane
JP2003047831A (en) Fluid separation filter and method for manufacturing the same
JP2000189772A (en) Separation filter of hydrogen gas and its production
JPH11244676A (en) Inorganic separation membrane and its production
JP3532090B2 (en) Carbon dioxide separation membrane and method for producing the same
JP4668043B2 (en) Method for manufacturing helium separator
JP4384540B2 (en) Hydrogen separation material and method for producing the same
JPH11255570A (en) Porous ceramic composite member and its production