JPH1140699A - Semiconductor device - Google Patents

Semiconductor device

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Publication number
JPH1140699A
JPH1140699A JP19572897A JP19572897A JPH1140699A JP H1140699 A JPH1140699 A JP H1140699A JP 19572897 A JP19572897 A JP 19572897A JP 19572897 A JP19572897 A JP 19572897A JP H1140699 A JPH1140699 A JP H1140699A
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JP
Japan
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semiconductor chip
thin plate
conductive thin
lead
leads
Prior art date
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Application number
JP19572897A
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Japanese (ja)
Inventor
Takashi Imoto
孝志 井本
Kenji Takahashi
健司 高橋
Yoshiaki Sugizaki
吉昭 杉崎
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Filing date
Publication date
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Publication of JPH1140699A publication Critical patent/JPH1140699A/en
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/44Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/45Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/45001Core members of the connector
    • H01L2224/45099Material
    • H01L2224/451Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof
    • H01L2224/45138Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
    • H01L2224/45144Gold (Au) as principal constituent
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
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    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48245Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
    • H01L2224/4826Connecting between the body and an opposite side of the item with respect to the body
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/73Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
    • H01L2224/732Location after the connecting process
    • H01L2224/73201Location after the connecting process on the same surface
    • H01L2224/73215Layer and wire connectors

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To reduce the inductance and noise of a semiconductor package having an SON structure formed by laying the outer lead sections of leads on a semiconductor chip, without sacrificing the miniaturization of the whole body of the package. SOLUTION: Each lead 12 of a lead frame is bonded to, for example, the main surface of a semiconductor chip 11 through an adhesive tape 13 carrying a conductive sheet 13b for shielding nearly the whole surface of the chip 11. Then, electrode pads 11a' assigned for grounding or power supply are electrically connected to the leads 12 with gold wires 14a and 14b through the conductive sheet 13b. Thus, the inductance and nose of a semiconductor package are reduced by setting the potentials between the semiconductor chip 11 and the leads 12 to the same potential.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、たとえばエリア
マウントタイプの半導体装置に関するもので、特に、半
導体チップ上にリードのアウタリード部をレイアウトし
てなる、SON(Small Outline Non-lead)構造の半導
体パッケージに用いられるものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to, for example, an area mount type semiconductor device, and more particularly to a semiconductor package having an SON (Small Outline Non-lead) structure in which outer leads of leads are laid out on a semiconductor chip. It is used for.

【0002】[0002]

【従来の技術】周知のように、近年においては、携帯型
の電子機器に代表されるように、各種の小型電子機器が
開発され、その普及にはめざましいものがある。このよ
うな小型電子機器の開発には、小型で、かつ、高性能な
半導体パッケージの採用が不可欠である。したがって、
小型電子機器の進歩にともなって、年々、半導体パッケ
ージの小型化,高性能化の要求が高まっている。
2. Description of the Related Art As is well known, in recent years, various types of small electronic devices have been developed, as represented by portable electronic devices, and some of them have been remarkably popularized. In the development of such a small electronic device, it is essential to use a small and high-performance semiconductor package. Therefore,
With the progress of small electronic devices, the demand for miniaturization and high performance of semiconductor packages is increasing year by year.

【0003】小型で、かつ、高性能な半導体パッケージ
の一つとして、最近、SON構造を採用したエリアマウ
ントタイプの半導体装置が注目されている。これは、パ
ッケージより延出するアウタリードが存在せず、回路基
板上への実装を、パッケージの外周面に露出するリード
の一端面により可能とし、実装の小面積化を実現したも
のである。
As one of the small and high-performance semiconductor packages, an area mount type semiconductor device employing an SON structure has recently been receiving attention. This has no outer leads extending from the package, and allows mounting on a circuit board by one end surface of the leads exposed on the outer peripheral surface of the package, thereby realizing a smaller mounting area.

【0004】図6は、上記した従来のSON構造の半導
体パッケージの概略構成を示すものである。この半導体
パッケージ100は、周知のTSOP(Thin Small Out
line Package)やSOJP(Small Outline J-Lead Pac
kage)と同様に、既存のLOC(Lead On Chip)構造に
準じた構成となっている。
FIG. 6 shows a schematic configuration of the above-mentioned conventional SON structure semiconductor package. The semiconductor package 100 is a well-known TSOP (Thin Small Out).
line Package) and SOJP (Small Outline J-Lead Pac)
Similarly to the conventional LOC (Lead On Chip) structure, the configuration is similar to that of the conventional LOC (Lead On Chip).

【0005】すなわち、半導体チップ101の表面にリ
ードフレームの各リード102を接着テープ103によ
り接着し、該チップ101上の各パッド101aと各リ
ード102のインナリード部102aとをそれぞれ金線
104を介して電気的に接続するとともに、この金線1
04を含んで、上記チップ101の周辺をモールド樹脂
105により封止してなる構成とされている。
That is, each lead 102 of a lead frame is adhered to the surface of a semiconductor chip 101 with an adhesive tape 103, and each pad 101 a on the chip 101 and an inner lead portion 102 a of each lead 102 are connected via a gold wire 104. And electrically connect the gold wire 1
04, and the periphery of the chip 101 is sealed with a mold resin 105.

【0006】そして、上記各リード102は、そのアウ
タリード部102b側がウイング形状に成形されて、上
記モールド樹脂105の上面(実装面)より平面的に露
出するように形成されている。
Each of the leads 102 is formed in a wing shape on the outer lead portion 102b side, and is formed so as to be planarly exposed from the upper surface (mounting surface) of the mold resin 105.

【0007】このSON構造の半導体パッケージ100
の場合、各リード102のアウタリード部102bをモ
ールド樹脂105の外周面より突出させることなく、側
面とほぼ同一面で切り揃えることで、パッケージ全体の
小型化が図られている。
The semiconductor package 100 having the SON structure
In this case, the size of the entire package is reduced by trimming the outer lead portions 102b of the respective leads 102 on substantially the same plane as the side surfaces without protruding from the outer peripheral surface of the mold resin 105.

【0008】しかしながら、上記した従来のSON構造
の半導体パッケージ100は、パッド101aがチップ
中央部に設けられたセンタパッド構造の半導体チップ1
01を用いているなどの理由により、思ったようなイン
ダクタンスの低減やノイズの低減が図れない、金線10
4を接続する際にリード102のインナリード部102
aの位置が下がり、チップ101の表面を傷つける可能
性があるなどの問題があった。
However, in the above-described conventional semiconductor package 100 having the SON structure, the semiconductor chip 1 having the center pad structure in which the pad 101a is provided at the center of the chip is provided.
01, etc., the inductance and noise cannot be reduced as expected.
4 is connected to the inner lead portion 102 of the lead 102.
There is a problem that the position of “a” may be lowered and the surface of the chip 101 may be damaged.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】上記したように、従来
においては、パッケージ全体の小型化が図れるものの、
インダクタンスやノイズの低減が困難で、ワイヤボンデ
ィングの際にチップにダメージを与えるなどの問題があ
った。
As described above, conventionally, although the size of the entire package can be reduced,
It is difficult to reduce inductance and noise, and there is a problem that the chip is damaged during wire bonding.

【0010】そこで、この発明は、全体の小型化を損う
ことなく、インダクタンスやノイズを低減できるととも
に、チップダメージを軽減することが可能な半導体装置
を提供することを目的としている。
An object of the present invention is to provide a semiconductor device capable of reducing inductance and noise and reducing chip damage without impairing the overall miniaturization.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、この発明の半導体装置にあっては、少なくとも、
対向する一対の辺にそれぞれ沿って複数の電極パッドが
配設されてなる半導体チップと、一端が、前記半導体チ
ップの対向する他の一対の辺に沿ってそれぞれ配置さ
れ、他端が、前記電極パッドにそれぞれ接続される複数
のリードと、前記電極パッドの配設位置を除く、前記半
導体チップの主表面に貼り付けられる第一の絶縁テー
プ、この第一の絶縁テープ上に設けられた導電薄板、お
よび、この導電薄板の少なくとも一部が露出するよう
に、前記導電薄板上に設けられ、前記リードのそれぞれ
を前記半導体チップの主表面上に接着するための第二の
絶縁テープを有してなる三層構造の接着部材と、この接
着部材の、前記導電薄板を介して、前記リードおよび前
記電極パッドの一部を選択的に接続する接続手段と、前
記各リードの一端を露出させるように、前記半導体チッ
プの周囲を封止する封止部材とから構成されている。
In order to achieve the above object, a semiconductor device according to the present invention comprises:
A semiconductor chip in which a plurality of electrode pads are disposed along a pair of opposing sides, one end of which is disposed along another pair of opposing sides of the semiconductor chip, and the other end is the electrode A plurality of leads respectively connected to the pads, a first insulating tape attached to a main surface of the semiconductor chip except for a position at which the electrode pads are provided, a conductive thin plate provided on the first insulating tape; And a second insulating tape provided on the conductive thin plate so as to expose at least a part of the conductive thin plate, and bonding each of the leads to a main surface of the semiconductor chip. An adhesive member having a three-layer structure, connecting means for selectively connecting a part of the lead and the electrode pad through the conductive thin plate, and exposing one end of each lead. As to, and a sealing member for sealing the periphery of said semiconductor chip.

【0012】この発明の半導体装置によれば、半導体チ
ップの主表面をほぼ全体的に導電薄板によりシールドで
きるようになる。これにより、半導体チップとリードと
の間を同電位(アースまたは電源)に設定することが容
易に可能となるものである。
According to the semiconductor device of the present invention, the main surface of the semiconductor chip can be shielded almost entirely by the conductive thin plate. Thus, it is possible to easily set the same potential (earth or power) between the semiconductor chip and the leads.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態につ
いて図面を参照して説明する。図1は、本発明の実施の
第一の形態にかかる、SON構造の半導体パッケージの
概略構成を示すものである。なお、同図(a)は該半導
体パッケージのパッケージ内を透過して示す平面図であ
り、同図(b)は同じく図(a)のA−A線に沿う断面
図、同図(c)は同じく図(a)のB−B線に沿う断面
図である。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 shows a schematic configuration of a semiconductor package having an SON structure according to a first embodiment of the present invention. FIG. 1A is a plan view showing the inside of the package of the semiconductor package, and FIG. 1B is a sectional view taken along the line AA of FIG. 1A, and FIG. FIG. 3 is a cross-sectional view along the line BB in FIG.

【0014】本半導体パッケージ10は、周知のLOC
構造に準じた構成となっており、たとえば、半導体チッ
プ11の主表面に、リードフレームの各リード12が接
着テープ(接着部材)13を介して接着されている。
The semiconductor package 10 has a well-known LOC.
For example, each lead 12 of a lead frame is adhered to the main surface of a semiconductor chip 11 via an adhesive tape (adhesive member) 13.

【0015】上記半導体チップ11は、その対向する一
対の辺にそれぞれ沿って、複数の電極パッド11aが配
設されている。複数の電極パッド11aのうち、たとえ
ば、各端部の電極パッド11a´が、それぞれアースま
たは電源用パッドとして割り当てられている。
The semiconductor chip 11 has a plurality of electrode pads 11a disposed along a pair of opposing sides. Of the plurality of electrode pads 11a, for example, the electrode pad 11a 'at each end is assigned as a ground or power supply pad.

【0016】上記各リード12は、たとえば、42アロ
イ合金や銅合金などの導電性材料を用いて形成され、少
なくとも、そのボンディング面にはAgなどのメッキが
施されている。
Each of the leads 12 is formed using a conductive material such as a 42 alloy alloy or a copper alloy, and at least a bonding surface thereof is plated with Ag or the like.

【0017】また、各リード12は、そのインナリード
部(他端)12a側が、上記電極パッド11aのそれぞ
れに対向して配置されている。さらに、各リード12
は、上記半導体チップ11の主表面上にてほぼ90度に
向きが変えられて、そのアウタリード部(一端)12b
側が、上記半導体チップ11の対向する他の一対の辺に
それぞれ沿うようにして配置されている。
Each of the leads 12 has its inner lead portion (the other end) 12a facing the electrode pad 11a. In addition, each lead 12
Is turned around 90 degrees on the main surface of the semiconductor chip 11, and its outer lead portion (one end) 12b
The sides are arranged along the other pair of opposing sides of the semiconductor chip 11, respectively.

【0018】この場合、全リード12の半数にあたる、
たとえば、上記半導体チップ11の対向する一対の辺の
一方に沿って配設された、各電極パッド11aに対向す
るインナリード部12aよりそれぞれ延長するアウタリ
ード部12bの半数と、同じく、対向する一対の辺の他
方に沿って配設された、各電極パッド11aに対向する
インナリード部12aよりそれぞれ延長するアウタリー
ド部12bの半数とが、上記半導体チップ11の対向す
る他の一対の辺の一方にそれぞれ沿って配置されてい
る。
In this case, half of all leads 12
For example, half of the outer lead portions 12b provided along one of a pair of opposite sides of the semiconductor chip 11 and extending from the inner lead portions 12a facing the respective electrode pads 11a. Half of the outer lead portions 12b, which are provided along the other of the sides and extend from the inner lead portions 12a facing the respective electrode pads 11a, respectively, correspond to one of the other pair of opposite sides of the semiconductor chip 11. Are arranged along.

【0019】また、上記半導体チップ11の対向する一
対の辺の一方に沿って配設された、各電極パッド11a
に対向するインナリード部12aよりそれぞれ延長する
アウタリード部12bの残りの半数と、同じく、対向す
る一対の辺の他方に沿って配設された、各電極パッド1
1aに対向するインナリード部12aよりそれぞれ延長
するアウタリード部12bの残りの半数とが、上記半導
体チップ11の対向する他の一対の辺の他方にそれぞれ
沿って配置されている。
Each of the electrode pads 11a is disposed along one of a pair of opposing sides of the semiconductor chip 11.
And the other half of the outer lead portions 12b extending from the inner lead portions 12a facing each other, and each of the electrode pads 1 similarly arranged along the other of the pair of opposed sides.
The remaining half of the outer lead portions 12b extending from the inner lead portions 12a facing the first chip 1a are arranged along the other of the other pair of opposite sides of the semiconductor chip 11, respectively.

【0020】そして、アースまたは電源用の電極パッド
11a´に対向して配置された上記インナリード部12
aを除く、他のインナリード部12aは、それぞれに対
向する電極パッド11aと個々に金線14を介して電気
的に接続されている。
Then, the inner lead portion 12 disposed opposite to the grounding or power supply electrode pad 11a '.
The other inner lead portions 12a except for a are individually electrically connected to the opposing electrode pads 11a via gold wires 14.

【0021】また、アースまたは電源用の電極パッド1
1a´と、それに対向して配置された上記インナリード
部12aとの間は、それぞれ、金線(接続手段)14
a,14bおよび上記接着テープ13の導電薄板13b
を介して、電気的に接続されるようになっている。
Further, an electrode pad 1 for ground or power supply
A gold wire (connection means) 14a is provided between the inner lead portion 1a 'and the inner lead portion 12a disposed opposite thereto.
a, 14b and the conductive thin plate 13b of the adhesive tape 13
, And are electrically connected.

【0022】上記接着テープ13は、少なくとも上記電
極パッド11aの配設位置を除く、上記半導体チップ1
1の主表面に貼り付けられる第一の絶縁テープ13a、
この第一の絶縁テープ13a上に設けられた導電薄板1
3b、および、この導電薄板13bの少なくとも一部
(金線14a,14bの接続部)が露出するように、上
記導電薄板13b上に設けられ、上記リード12のそれ
ぞれを上記半導体チップ11の主表面上に接着するため
の第二の絶縁テープ13cを有してなる三層構造となっ
ている。
The adhesive tape 13 is provided on the semiconductor chip 1 except at least the position where the electrode pads 11a are provided.
1, a first insulating tape 13a attached to the main surface of
The conductive thin plate 1 provided on the first insulating tape 13a
3b and the conductive thin plate 13b are provided on the conductive thin plate 13b such that at least a part of the conductive thin plate 13b (the connection portion of the gold wires 14a and 14b) is exposed. It has a three-layer structure having a second insulating tape 13c for bonding on top.

【0023】この場合、上記第一,第二の絶縁テープ1
3a,13cとしては、たとえば、キュアなしで接着で
きる熱可塑性の樹脂が、また、上記導電薄板13bとし
ては、たとえば、上記リード12と同じ42アロイ合金
や銅合金などの導電性材料が用いられている。
In this case, the first and second insulating tapes 1
The 3a and 13c are made of, for example, a thermoplastic resin that can be bonded without curing. The conductive thin plate 13b is made of, for example, the same conductive material as the lead 12 such as a 42 alloy alloy or a copper alloy. I have.

【0024】さらに、上記各リード12を含んで、上記
半導体チップ11の周囲がモールド樹脂15によって封
止され、そのモールド樹脂15の上面(実装面)より、
上記各リード12の、ウイング形状に成形されたアウタ
リード部12b側が平面的に露出するように形成されて
いる。
Further, the periphery of the semiconductor chip 11 including the respective leads 12 is sealed with a molding resin 15, and from the upper surface (mounting surface) of the molding resin 15,
Each of the leads 12 is formed such that the side of the outer lead portion 12b formed into a wing shape is planarly exposed.

【0025】このSON構造の半導体パッケージ10の
場合、各リード12のアウタリード部12bをモールド
樹脂15の外周面より突出させることなく、側面とほぼ
同一面で切り揃えることで、パッケージ全体の小型化が
図られている。
In the case of the semiconductor package 10 having the SON structure, the outer lead portion 12b of each lead 12 is cut out substantially on the same surface as the side surface without protruding from the outer peripheral surface of the molding resin 15, thereby reducing the size of the entire package. It is planned.

【0026】このような構成の半導体パッケージ10に
よれば、パッケージ全体の小型化とともに、半導体チッ
プ11の主表面をほぼ全体的に導電薄板13bにより電
気的および物理的にシールドできるようになる。
According to the semiconductor package 10 having such a structure, the main surface of the semiconductor chip 11 can be almost entirely electrically and physically shielded by the conductive thin plate 13b while the size of the entire package is reduced.

【0027】しかも、これにアースまたは電源を接続す
ることで、面(グランドプレイン)で、半導体チップ1
1とリード12との間を同電位に設定することが容易に
可能となる。
Moreover, by connecting a ground or a power supply to this, the semiconductor chip 1 can be mounted on a surface (ground plane).
It is possible to easily set the same potential between the lead 1 and the lead 12.

【0028】したがって、インダクタンスやノイズの低
減が可能となるとともに、金線14(含む、金線14
a)を接続する際にリード12のインナリード部12a
の位置が下がったとしても、チップ11の表面を確実に
保護することができる。
Therefore, the inductance and noise can be reduced, and the gold wire 14 (including the gold wire 14
a) when connecting the inner lead portion 12a of the lead 12
Can be reliably protected even if the position is lowered.

【0029】また、アースまたは電源用のパッド11a
´とインナリード部12aとの間を、たとえば、電極パ
ッド11aのそれぞれに対応してライン状に露出する導
電薄板13bを介して接続するようにしている。このた
め、アースまたは電源用のパッド11a´を任意の位置
に配設することが容易に可能となり、パッド11aのレ
イアウトを変更する際の自由度が格段に向上する。
Also, a pad 11a for ground or power supply
′ And the inner lead portion 12a are connected via, for example, a conductive thin plate 13b exposed in a line corresponding to each of the electrode pads 11a. Therefore, it is easy to arrange the ground or power supply pad 11a 'at an arbitrary position, and the degree of freedom in changing the layout of the pad 11a is greatly improved.

【0030】図2は、上記した接着テープ13を形成す
るためのプロセスの一例を示すものである。たとえば、
熱可塑性樹脂からなる太帯状の第一の絶縁テープ13a
の全面に、42アロイ合金や銅合金などの導電性材料を
用いてなる導電薄板13bが接着され、さらに、その導
電薄板13b上の一部に、同じく熱可塑性樹脂からなる
細帯状の第二の絶縁テープ13cが接着されて、接着テ
ープ部材21が形成されている。
FIG. 2 shows an example of a process for forming the above-mentioned adhesive tape 13. For example,
Thick strip-shaped first insulating tape 13a made of thermoplastic resin
A conductive thin plate 13b made of a conductive material such as a 42 alloy alloy or a copper alloy is adhered to the entire surface of the conductive thin plate 13b. The adhesive tape member 21 is formed by bonding the insulating tape 13c.

【0031】この接着テープ部材21は、たとえば、あ
らかじめ帯状に形成されてローラ22に卷き取られてお
り、必要に応じて、図示破線に沿って切り出されること
により、上記接着テープ13が形成されるようになって
いる。
The adhesive tape member 21 is, for example, formed in a belt shape in advance and wound around a roller 22, and is cut out along a dashed line in the drawing as necessary, whereby the adhesive tape 13 is formed. It has become so.

【0032】この場合、上記第二の絶縁テープ13cの
幅を、たとえば、上記導電薄板13bの一部(金線14
a,14bの接続部)がライン状に露出するサイズとし
ておくことで、単に、図示破線に沿う切り出しにより、
同一構造の接着テープ13を連続して得ることが可能と
なるなど、量産性に優れ、製造率の向上にとって好適な
ものとすることができる。
In this case, the width of the second insulating tape 13c is set to, for example, a part (the gold wire 14) of the conductive thin plate 13b.
a, 14b) are set in such a size that they are exposed in a line shape.
The adhesive tapes 13 having the same structure can be continuously obtained, so that the adhesive tape 13 is excellent in mass productivity and suitable for improving the production rate.

【0033】また、上記導電薄板13bに、上記リード
12と同じ42アロイ合金などを用いた場合には、剥が
れやパッケージの反りの発生を抑えるなど、応力性を向
上できる。
When the conductive thin plate 13b is made of the same 42 alloy as the lead 12, the peeling and the warpage of the package can be suppressed, so that the stress can be improved.

【0034】上記したように、半導体チップの主表面を
ほぼ全体的に導電薄板によりシールドできるようにして
いる。すなわち、半導体チップの主表面に、導電薄板を
有する接着テープを介して、リードフレームの各リード
を接着するようにしている。これにより、アースまたは
電源用の電極パッドと、それに対向して配置されたリー
ドのインナリード部との間を、それぞれ、金線により接
着テープの導電薄板を介して電気的に接続することで、
半導体チップとリードとの間を同電位に設定することが
容易に可能となる。したがって、SON構造の半導体パ
ッケージにおいて、パッケージ全体の小型化を損うこと
なく、インダクタンスやノイズを低減できるものであ
る。
As described above, the main surface of the semiconductor chip can be shielded almost entirely by the conductive thin plate. That is, each lead of the lead frame is bonded to the main surface of the semiconductor chip via an adhesive tape having a conductive thin plate. Thereby, by electrically connecting between the ground or power supply electrode pad and the inner lead portion of the lead arranged opposite thereto via a conductive thin plate of an adhesive tape by a gold wire, respectively.
It is possible to easily set the same potential between the semiconductor chip and the leads. Therefore, in the semiconductor package having the SON structure, the inductance and the noise can be reduced without impairing the miniaturization of the entire package.

【0035】しかも、半導体チップの主表面を接着テー
プの導電薄板により保護できるようになるため、ボンデ
ィング時にリードのインナリード部の位置が下がりチッ
プを傷つけるといった、チップダメージを軽減すること
が可能となる。
Moreover, since the main surface of the semiconductor chip can be protected by the conductive thin plate of the adhesive tape, the position of the inner lead portion of the lead is lowered during bonding, and chip damage such as damage to the chip can be reduced. .

【0036】また、アースまたは電源用として割り当て
られたパッドを、導電薄板を介してリードと接続するよ
うにしているため、アースまたは電源用のパッドを任意
の位置に配設することが容易に可能となり、パッドのレ
イアウトを自由に変更することができるようになる。
Further, since the pad allocated for the ground or the power supply is connected to the lead through the conductive thin plate, the pad for the ground or the power supply can be easily arranged at an arbitrary position. Thus, the layout of the pads can be freely changed.

【0037】なお、上記した本発明の実施の第一の形態
においては、接着テープ13における、導電薄板13b
の金線14a,14bとの接続部が全パッド11aに沿
ってライン状に露出するようにした場合を例に説明した
が、これに限らず、たとえば図3に示すように、導電薄
板13bの金線14a,14bとの接続部13b´のみ
が露出するように、上記導電薄板13b上に上記第二の
絶縁テープ13cを設ける構成としても良い。
In the first embodiment of the present invention, the conductive thin plate 13b in the adhesive tape 13 is used.
The case where the connection portions with the gold wires 14a and 14b are exposed linearly along all the pads 11a has been described as an example. However, the present invention is not limited to this. For example, as shown in FIG. The configuration may be such that the second insulating tape 13c is provided on the conductive thin plate 13b so that only the connection portions 13b 'to the gold wires 14a and 14b are exposed.

【0038】この本発明の実施の第二の形態にかかるS
ON構造の半導体パッケージの場合、上記した第一の形
態にかかるSON構造の半導体パッケージとほぼ同様の
効果が期待できるとともに、アースまたは電源用パッド
を、たとえば、端部の電極パッド以外に割り当てること
も可能であり、アースまたは電源が割り当てられた電極
パッド11a´の位置に応じて接続部13b´を設ける
ことができる。
The S according to the second embodiment of the present invention
In the case of the semiconductor package having the ON structure, substantially the same effects as those of the semiconductor package having the SON structure according to the above-described first embodiment can be expected, and the ground or power supply pad may be allocated to, for example, other than the electrode pads at the ends. The connection portion 13b 'can be provided according to the position of the electrode pad 11a' to which the ground or the power is allocated.

【0039】また、上記した第一の形態においては、金
線14aにより当該リード12のインナリード部12a
と導電薄板13bとの間を接続するようにしたが、これ
に限らず、たとえば図4に示すように、アースまたは電
源用パッド11a´と接続されるリード12´のインナ
リード部12aの少なくとも下面に金属メッキによる突
起状電極31を形成し、この突起状電極31によって第
二の絶縁テープ13cを貫通させることで、上記導電薄
板13bと接続されるようにすることもできる。
In the first embodiment described above, the inner lead portion 12a of the lead 12 is
Is connected to the conductive thin plate 13b, but is not limited to this. For example, as shown in FIG. 4, at least the lower surface of the inner lead portion 12a of the lead 12 'connected to the ground or power supply pad 11a' The protruding electrode 31 is formed by metal plating, and the second insulating tape 13c is penetrated by the protruding electrode 31 so that the protruding electrode 31 can be connected to the conductive thin plate 13b.

【0040】この本発明の実施の第三の形態にかかるS
ON構造の半導体パッケージの場合、金線14bにより
導電薄板13bとアースまたは電源用パッド11a´と
の間が接続されることで、上記電極パッド11a´およ
び上記リード12´の間が、それぞれ、電気的に接続さ
れることになる。
The S according to the third embodiment of the present invention
In the case of the semiconductor package having the ON structure, the conductive thin plate 13b and the ground or power supply pad 11a 'are connected by the gold wire 14b, so that the electrical connection between the electrode pad 11a' and the lead 12 'is made. Will be connected.

【0041】この第三の形態においても、上記した第一
の形態にかかるSON構造の半導体パッケージとほぼ同
様の効果が期待できるとともに、上記した第二の形態に
かかるSON構造の半導体パッケージの場合と同様に、
アースまたは電源用パッドを、たとえば、端部の電極パ
ッド以外に割り当てることも可能であり、アースまたは
電源が割り当てられた電極パッド11a´の位置に応じ
て接続部13b´を設けることも、また、突起状電極3
1を設けることもできる。
In the third embodiment, substantially the same effects as those of the SON structure semiconductor package according to the first embodiment can be expected, and the SON structure semiconductor package according to the second embodiment can be expected. Similarly,
The ground or power supply pad may be assigned to, for example, an electrode pad other than the end electrode pad. The connection portion 13b 'may be provided according to the position of the electrode pad 11a' to which the ground or power supply is assigned. Protruding electrode 3
1 can also be provided.

【0042】さらに、上記した第一の形態においては、
導電薄板13bを有する接着テープ13により半導体チ
ップ11の主表面をほぼ全体的に覆うようにようにした
が、これに限らず、たとえば図5に示すように、上記半
導体チップ11の中心部に対応する部位に開口部13z
を設けることも可能である。
Further, in the first embodiment described above,
The main surface of the semiconductor chip 11 is covered almost entirely with the adhesive tape 13 having the conductive thin plate 13b. However, the present invention is not limited to this. For example, as shown in FIG. Opening 13z
It is also possible to provide.

【0043】この本発明の実施の第四の形態にかかるS
ON構造の半導体パッケージの場合、上記した第一の形
態にかかるSON構造の半導体パッケージとほぼ同様の
効果が期待できるとともに、該接着テープ13の上記開
口部13zに対応する、上記半導体チップ11の主表面
部にアースまたは電源用の電極パッド11a´を配設す
ることが可能となるなど、さらなるパッドのレイアウト
の自由度が増し、面積上、非常に優位となる。
The S according to the fourth embodiment of the present invention
In the case of the semiconductor package having the ON structure, substantially the same effects as those of the semiconductor package having the SON structure according to the first embodiment can be expected, and the main structure of the semiconductor chip 11 corresponding to the opening 13z of the adhesive tape 13 can be expected. For example, it is possible to dispose an electrode pad 11a 'for the ground or the power supply on the surface portion, so that the degree of freedom of the layout of the pad is further increased, and the area is extremely superior.

【0044】この第四の形態においても、上記した第
二,第三の形態にかかるSON構造の半導体パッケージ
の場合と同様に、アースまたは電源用パッドを、たとえ
ば、端部の電極パッド以外に割り当てることも可能であ
り、アースまたは電源が割り当てられた電極パッド11
a´の位置に応じて接続部13b´を設けることも、ま
た、突起状電極31を設けることもできる。その他、こ
の発明の要旨を変えない範囲において、種々変形実施可
能なことは勿論である。
In the fourth embodiment as well, similarly to the case of the SON structure semiconductor package according to the second and third embodiments, the ground or power supply pad is assigned to, for example, an electrode pad other than the end electrode pad. It is also possible to have the electrode pad 11
The connecting portion 13b 'may be provided according to the position of a', or the protruding electrode 31 may be provided. Of course, various modifications can be made without departing from the scope of the present invention.

【0045】[0045]

【発明の効果】以上、詳述したようにこの発明によれ
ば、全体の小型化を損うことなく、インダクタンスやノ
イズを低減できるとともに、チップダメージを軽減する
ことが可能な半導体装置を提供できる。
As described in detail above, according to the present invention, it is possible to provide a semiconductor device capable of reducing inductance and noise and reducing chip damage without impairing the overall miniaturization. .

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】この発明の実施の第一の形態にかかる、SON
構造の半導体パッケージの概略を示す構成図。
FIG. 1 shows a SON according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 1 is a configuration diagram schematically showing a semiconductor package having a structure.

【図2】同じく、半導体パッケージの製造に用いられる
接着テープを形成するためのプロセスを説明するために
示す概略斜視図。
FIG. 2 is a schematic perspective view similarly illustrating a process for forming an adhesive tape used for manufacturing a semiconductor package.

【図3】本発明の実施の第二の形態にかかる、SON構
造の半導体パッケージの概略を示す構成図。
FIG. 3 is a configuration diagram schematically illustrating a semiconductor package having an SON structure according to a second embodiment of the present invention;

【図4】本発明の実施の第三の形態にかかる、SON構
造の半導体パッケージの概略を示す構成図。
FIG. 4 is a configuration diagram schematically showing a semiconductor package having an SON structure according to a third embodiment of the present invention.

【図5】本発明の実施の第四の形態にかかる、SON構
造の半導体パッケージの概略を示す構成図。
FIG. 5 is a configuration diagram schematically showing a semiconductor package having an SON structure according to a fourth embodiment of the present invention.

【図6】従来技術とその問題点を説明するために示す、
SON構造の半導体パッケージの概略構成図。
FIG. 6 is shown to explain the prior art and its problems;
FIG. 2 is a schematic configuration diagram of a semiconductor package having an SON structure.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10…半導体パッケージ 11…半導体チップ 11a…電極パッド 11a´…電極パッド(アースまたは電源用) 12…リード 12´…リード(アースまたは電源用) 12a…インナリード部 12b…アウタリード部 13…接着テープ 13a…第一の絶縁テープ 13b…導電薄板 13b´…接続部 13c…第二の絶縁テープ 13z…開口部 14,14a,14b…金線 15…モールド樹脂 21…接着テープ部材 22…ローラ 31…突起状電極 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Semiconductor package 11 ... Semiconductor chip 11a ... Electrode pad 11a '... Electrode pad (for earth or power supply) 12 ... Lead 12' ... Lead (for earth or power supply) 12a ... Inner lead part 12b ... Outer lead part 13 ... Adhesive tape 13a ... First insulating tape 13b ... Conducting thin plate 13b '... Connecting part 13c ... Second insulating tape 13z ... Opening 14,14a, 14b ... Gold wire 15 ... Mold resin 21 ... Adhesive tape member 22 ... Roller 31 ... Protrusion electrode

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 少なくとも、対向する一対の辺にそれぞ
れ沿って複数の電極パッドが配設されてなる半導体チッ
プと、 一端が、前記半導体チップの対向する他の一対の辺に沿
ってそれぞれ配置され、他端が、前記電極パッドにそれ
ぞれ接続される複数のリードと、 前記電極パッドの配設位置を除く、前記半導体チップの
主表面に貼り付けられる第一の絶縁テープ、この第一の
絶縁テープ上に設けられた導電薄板、および、この導電
薄板の少なくとも一部が露出するように、前記導電薄板
上に設けられ、前記リードのそれぞれを前記半導体チッ
プの主表面上に接着するための第二の絶縁テープを有し
てなる三層構造の接着部材と、 この接着部材の、前記導電薄板を介して、前記リードお
よび前記電極パッドの一部を選択的に接続する接続手段
と、 前記各リードの一端を露出させるように、前記半導体チ
ップの周囲を封止する封止部材とを具備したことを特徴
とする半導体装置。
1. A semiconductor chip having a plurality of electrode pads disposed along at least a pair of opposing sides, and one end disposed along another pair of opposing sides of the semiconductor chip. A plurality of leads each having the other end connected to the electrode pad; a first insulating tape attached to a main surface of the semiconductor chip except for a position at which the electrode pad is provided; A conductive thin plate provided on the conductive thin plate, and a second for bonding each of the leads on the main surface of the semiconductor chip, provided on the conductive thin plate such that at least a part of the conductive thin plate is exposed. An adhesive member having a three-layer structure having an insulating tape, and connection means for selectively connecting a part of the lead and the electrode pad via the conductive thin plate of the adhesive member. A sealing member for sealing a periphery of the semiconductor chip so as to expose one end of each of the leads.
【請求項2】 前記接続手段により、前記導電薄板を介
して接続される、前記リードおよび前記電極パッドは、
前記半導体チップに動作用の電源を供給するためのもの
であることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
2. The lead and the electrode pad, which are connected via the conductive thin plate by the connection means,
2. The semiconductor device according to claim 1, wherein the semiconductor device is for supplying power for operation to the semiconductor chip.
【請求項3】 前記リードは、少なくともその一部分に
金属メッキにより突起状電極が形成されていることを特
徴とする請求項2に記載の半導体装置。
3. The semiconductor device according to claim 2, wherein the lead has a protruding electrode formed on at least a part thereof by metal plating.
【請求項4】 前記リードは、前記突起状電極が前記第
二の絶縁テープを貫通することで、前記導電薄板と接続
されることを特徴とする請求項3に記載の半導体装置。
4. The semiconductor device according to claim 3, wherein the lead is connected to the conductive thin plate by passing the protruding electrode through the second insulating tape.
【請求項5】 前記接着部材は、前記半導体チップの中
心部に対応する部位に開口部が設けられてなることを特
徴とする請求項1に記載の半導体装置。
5. The semiconductor device according to claim 1, wherein the adhesive member has an opening at a position corresponding to a center of the semiconductor chip.
【請求項6】 前記半導体チップ上の電源用の電極パッ
ドの位置に対応して、前記導電薄板の一部が前記第二の
絶縁テープより露出されてなることを特徴とする請求項
1に記載の半導体装置。
6. The semiconductor device according to claim 1, wherein a part of the conductive thin plate is exposed from the second insulating tape corresponding to a position of a power supply electrode pad on the semiconductor chip. Semiconductor device.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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