JPH1140089A - 回転陽極型x線管装置 - Google Patents

回転陽極型x線管装置

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JPH1140089A
JPH1140089A JP19117897A JP19117897A JPH1140089A JP H1140089 A JPH1140089 A JP H1140089A JP 19117897 A JP19117897 A JP 19117897A JP 19117897 A JP19117897 A JP 19117897A JP H1140089 A JPH1140089 A JP H1140089A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 X線管を安定に固定できる回転陽極型X線管
装置を提供すること。 【解決手段】 陽極ターゲット11に連結した回転体1
4と、この回転体14との間に軸受部が形成された固定
体15と、回転陽極型X線管を構成する真空容器23
と、この真空容器23を収容する収容容器27と、真空
容器27外に位置する部分で固定体15を固定する保持
部材26とを具備した回転陽極型X線管装置において、
固定体15を保持部材26に貫通させ、かつ、保持部材
26を貫通した固定体15の先端部分に形成されたねじ
溝にナット32を締め付けている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、回転する陽極タ
ーゲットからX線を発生する回転陽極型X線管を収容容
器内に収容した回転陽極型X線管装置に関する。
【0002】
【従来の技術】回転陽極型X線管装置は、回転陽極型X
線管をハウベと称される収容容器内の所定位置に収納し
た構造になっている。この場合、回転陽極型X線管の管
外に延長した固定体部分を保持部材で固定し、その保持
部材の一部を収容容器に固定することによって、回転陽
極型X線管を収容容器内に収納している。そして、回転
陽極型X線管と収容容器の間隙には、構成部品間の電気
絶縁を確保するために絶縁油や絶縁ガスなどが充填され
ている。
【0003】また、回転陽極型X線管装置を構成する回
転陽極型X線管は、回転する陽極ターゲットに対して陰
極から電子ビームを照射し、陽極ターゲットからX線を
発生する構成になっている。このため、陽極ターゲット
は回転体に連結され、また、回転体は、固定体との間に
形成される軸受によって回転できるように支持されてい
る。なお、回転体に対する電磁気的な回転力は、回転陽
極型X線管の真空容器外に配置されたステータコイルか
ら与えられる。
【0004】ところで、回転陽極型X線管は、回転体と
固定体との間に形成する軸受として、これまで、ころが
り軸受や動圧式すべり軸受が使用されている。ころがり
軸受には例えばボールベアリングが用いられている。動
圧式すべり軸受には、軸受を形成する例えば固定体の面
にらせん状の溝を形成し、その溝の部分に、動作中に液
状となる金属潤滑剤、例えば、ガリウム(Ga)や、ガ
リウムーインジウムー錫(Ga−In−Sn)合金など
を満たした構造のものが用いられている。なお、動圧式
すべり軸受を用いた回転陽極型X線管は、特公昭60-214
63号、特開昭60-97536号、特開昭60-117531 号、特開昭
62-287555 号、特開平3-182037号などの各公報に開示さ
れている。
【0005】また、回転陽極型X線管を収容容器に収容
する場合、例えば、回転陽極型X線管の固定体部分を管
外まで延長し、その延長部分を保持部材に固定してい
る。そして、回転陽極型X線管を固定した保持部材を収
容容器に固定している。
【0006】ここで、従来の回転陽極型X線管装置につ
いて、回転陽極型X線管を保持部材で固定した部分を抜
き出した図3を参照して説明する。符号41は、X線管
の陽極固定軸即ち被固定体で、その下方部分が示されて
いる。被固定体41は、陽極ターゲットに連結された回
転体との間に軸受を形成している。また、被固定体41
の一部に径が小さくなる段部42が形成され、段部42
の外周部分に図の下方に突出する突出部43が形成され
ている。被固定体41の端面は絶縁体からなる保持部材
44に接して保持され、また、被固定体41の端部中央
にねじ穴45が設けられている。
【0007】被固定体41の周囲には補助リング46が
配置されている。補助リング46はその内周部分と外周
部分に、それぞれ下方に突出する突出部47、48が形
成されている。
【0008】符号49は、回転陽極型X線管を構成する
真空容器の一部で、その端部にシールリング50が固定
されている。
【0009】また、被固定体41の段部42に形成され
た突出部43と補助リング46の内周部分の突出部47
が溶接され、また、補助リング46の外周部分の突出部
48とシールリング50が溶接されている。これらの溶
接によって、被固定体41は真空容器49に気密に封着
されている。
【0010】そして、保持部材44の外側から、被固定
体41のねじ穴45にボルト51の雄ねじ部51aを挿
入して締め付け、回転陽極型X線管を保持部材44で固
定している。なお、保持部材44の一部は回転陽極型X
線管を収容する収容容器52に固定され、回転陽極型X
線管を収容容器52内の所定位置に収納している。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】従来の回転陽極型X線
管装置は、陽極ターゲットに連結した回転体と固定体と
の間に形成される軸受として、例えば動圧すべり軸受を
用いた場合、軸受自体から振動や騒音がほとんど生じな
いという利点がある。しかし、回転陽極型X線管を構成
する真空容器に固定体を気密に封着するために、例え
ば、固定体と補助リングを溶接し、また、補助リングと
シールリングを溶接している。このような場合、固定体
と補助リングなどを溶接する都合、あるいはスペースを
確保する都合などから、固定体の先端部分が細くなって
いる。このように細い固定体を保持部材で保持し、ボル
トで締め付け固定した構造の場合、固有振動周波数が比
較的低くなる。このため、陽極を構成する回転体が最高
回転数に到達する途中で共振が起こり、振動や騒音が発
生することがある。また、固定体は、径の小さい領域で
保持部材に保持され、また固定されるため、固定体を固
定する強度が十分でない場合がある。
【0012】この発明は、上記した欠点を解決し、振動
の発生を少なくし、X線管を安定で強固に固定した回転
陽極型X線管装置を提供することを目的とする。
【0013】
【課題を解決するための手段】この発明は、陽極ターゲ
ットに連結した回転体、この回転体との間に軸受部が形
成された固定体、前記陽極ターゲットおよび前記回転体
および前記固定体をそれぞれ収納する真空容器を有する
回転陽極型X線管と、このX線管を収容する収容容器
と、前記真空容器外に位置する部分で前記固定体を固定
する保持部材とを具備した回転陽極型X線管装置におい
て、前記X線管を固定する陽極支持固定体の前記真空容
器外に位置する被固定部を前記保持部材に貫通させ、か
つ、前記保持部材を貫通した前記被固定部の先端部分に
形成したねじ溝にナットを締め付けたことを特徴として
いる。
【0014】また、この発明は、陽極ターゲットに連結
した回転体、この回転体との間に軸受部が形成された固
定体、前記陽極ターゲットおよび前記回転体および前記
固定体をそれぞれ収納する真空容器を有する回転陽極型
X線管と、このX線管を収容する収容容器と、前記真空
容器外に位置する部分で前記固定体を固定する保持部材
とを具備した回転陽極型X線管装置において、前記保持
部材よりも内側で、前記真空容器外に位置する部分の前
記固定体の段部を前記保持部材で保持し、かつ、前記固
定体の端部に形成したねじ穴に対し前記保持部材の外側
からボルトを挿入し締め付けたことを特徴としている。
【0015】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態について、そ
の主要部を断面で示した図1を参照して説明する。符号
11は陽極ターゲットで、陰極(図示せず)から放出さ
れた電子ビームの照射でX線を発生する構成になってい
る。陽極ターゲット11は固定ねじ12で支持用シャフ
ト13に固定され、支持用シャフト13は円筒状の回転
体14に連結されている。回転体14の内側には、円柱
状の固定体15が挿入されている。
【0016】固定体15は、その表面にらせん溝16が
形成されている。そして、らせん溝16内や回転体14
との間隙部分に、動作中に液状となる液体金属潤滑剤、
例えばGa−In−Sn合金が送り込まれている。回転
体14と固定体15間は、動作中に20μm程度の軸受
間隙を保つように設定されている。
【0017】また、固定体15の外周部分に、上下方向
にある間隔で2つの段部17、18が環状に形成されて
いる。段部17、18の部分では、固定体15の径が変
化し、いずれも先端側が小さくなっている。下方に位置
する段部18の外周部分には環状の突出部19が設けら
れ、その近くに、固定体15を囲んで金属リング20が
配置されている。金属リング20は、内周部分と外周部
分にそれぞれ環状に突出部21、22が設けられてい
る。そして、固定体15の外端部15aが収容容器への
被固定部15aになっている。
【0018】符号23は、回転陽極型X線管を構成する
真空容器で、真空容器23は、陽極ターゲット11部分
を包囲する径大部23aと、回転体14や固定体15の
各部分を包囲する径小部23bから構成されている。径
小部23bは例えばガラスで形成され、その端部に薄肉
金属のシールリング24が固定されている。
【0019】そして、シールリング24と金属リング2
0の外周部分の突出部22、および、金属リング20の
内周部分の突出部21と固定体15の段部18に形成さ
れた突出部19が、それぞれ先端部分で気密溶接され、
固定体15はその延長部分が真空容器23と気密に封着
されている。また、真空容器23の径小部23b部分の
外側には、回転体14に回転力を与えるステータコイル
25が配置されている。
【0020】上記した構成の回転陽極型X線管は、絶縁
体からなる保持部材26によって収容容器27内の所定
位置に収容されている。回転陽極型X線管は、固定体1
5の端部を構成する被固定部15a、例えば、固定体1
5の真空容器23外に位置する部分で保持部材26に固
定されている。そして、保持部材26の上端部を収容容
器27にボルト28で固定し、回転陽極型X線管を収容
容器27内に収納する構造になっている。
【0021】なお、保持部材26は全体が壺状の形をし
ており、例えば、中央底部に開口のある例えば絶縁体の
壺状部分26bと、この壺状部分26bの開口部分に固
定された中央に孔30のある独楽(こま)状の金属リン
グ26aから構成され、金属リング26aは壺状部分2
6bの開口周辺にボルト29で強固に固定されている。
【0022】金属リング26a中央の透孔30に固定体
15の被固定部15aが貫通している。また、金属リン
グ26aの外径は内側がテーパ状に細くなり被固定部1
5aと接する内周部分には環状の突出部31が形成され
ている。そして、固定体15を固定した場合、その突出
部31の先端面が固定体15の段部18と接触し、被固
定部15aを保持している。また、独楽(こま)状をし
た金属リング26aの外周部分は平坦で、この平坦部分
が壺状部分26bとボルト29で固定されている。
【0023】そして、金属リング26aの外側におい
て、被固定部15aに形成された雄ねじにナット32を
螺合して締め付け、固定体15を固定している。ナット
32の締め付けによって、被固定部15aが図の下方に
引っ張られ、突出部31の先端面と固定体15の段部1
8の接触が強固になり、回転陽極型X線管が保持部材2
6に固定される。このとき、各溶接部には、締め付ける
力が加わらないため、安定で強固な締め付けができ、十
分な固定が行える。
【0024】また、回転陽極型X線管を収納した収容容
器27には、陽極ターゲット11の横方向に位置する内
側に、X線を遮蔽する鉛の遮蔽部材33が配置されてい
る。そして、収容容器27の一部にX線を外に取り出す
X線放射窓34が設けられている。また、絶縁冷却油の
循環用孔が保持部材26の壺状部分26bや金属リング
26aに形成されている。保持部材26の横方向には、
絶縁媒体を供給する供給口35が設けられている。供給
口35から供給された絶縁媒体は、矢印Yのように流
れ、回転陽極型X線管を構成する真空容器23と収容容
器27の間隙に送り込まれる。
【0025】次に、回転陽極型X線管を固定する他の方
法について、回転陽極型X線管を保持部材で固定した部
分を抜き出した図2を参照して説明する。図2では、図
1に対応する部分には同一の符号を付し、重複するは省
略する。
【0026】この場合、金属リング26aの中央に凹部
36が形成され、この凹部36に固定体15の延長端部
が入り込んでいる。また、固定体15の端部中央にねじ
穴37が形成されている。そして、金属リング26aの
外側から固定体15のねじ穴37にボルト38の雄ねじ
部38aを挿入し締め付けている。このとき、固定体1
5が図の下方に引っ張られ、突出部31の先端面と固定
体15の段部18の接触が強固になり、回転陽極型X線
管が保持部材26に固定される。
【0027】上記した2つの実施形態では、保持部材よ
りも内側において、真空容器外に位置する部分の固定体
に形成した例えば段部を保持部材の金属リングで保持
し、かつ、保持部材の金属リングを貫通した固定体の先
端部分に形成したねじ溝にナットを締め付け、あるい
は、保持部材の金属リングの外側からボルトを挿入し
て、固定体を固定している。この場合、ナットの締め付
けやボルトの挿入で、固定体部分が引っ張られ固定体の
例えば段部と保持部材の接触が強くなり、回転陽極型X
線管が保持部材で確実に固定される。この構造の場合、
固有振動周波数が高くなり、陽極を構成する回転体が最
高回転数に到達する途中で起こる共振を少なくでき、振
動や騒音を抑制できる。
【0028】また、保持部材の例えば金属リングに環状
の突出部を形成し、この突出部の先端で固定体を保持し
ている。この場合、固定体の保持部分が環状で径が大き
いため、固定体の保持や固定を確実に行える。また、保
持部材の突出部の外側が傾斜し外側の方が低くなる傾斜
面になっている。このため、固定体を保持する保持部材
の内側部分は厚くなり強度が大きい。一方、外側は薄く
なっているため、その部分にスペースが確保される。し
たがって、固定体と補助リングの溶接部分および補助リ
ングとシールリングの溶接部分などと保持部材との接触
を防止することができる。
【0029】なお、上記の実施の形態では、保持部材2
6が壺状部分26bと金属リング26aとの2つの部材
で構成され、壺状部分26bに金属リング26aがボル
ト29で固定されている。しかし、壺状部分26bと金
属リング26aを一体にして、保持部材26を1つの部
材で構成することもできる。
【0030】
【発明の効果】本発明によれば、溶接部に応力が加わら
ず、X線管を安定強固に固定した回転陽極型X線管装置
を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態を説明する主要部を抜き出し
た断面図である。
【図2】本発明の実施形態を説明する断面図で、保持部
材で固定体を保持する部分を抜き出して示している。
【図3】従来例を説明する断面図である。
【符号の説明】
11…陽極ターゲット 12…固定ねじ 13…支持用シャフト 14…回転体 15…固定体 16…らせん溝 17、18…段部 19…突出部 20…金属リング 21…突出部 22…突出部 23…真空容器 24…シールリング 25…ステータコイル 26…保持部材 27…収容容器 28…ねじ 29…ボルト 30…透孔 31…突出部 32…ナット 33…遮蔽部材 34…X線放射窓 35…供給口

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 陽極ターゲットに連結した回転体、この
    回転体との間に軸受部が形成された固定体、前記陽極タ
    ーゲットおよび前記回転体および前記固定体をそれぞれ
    収納する真空容器を有する回転陽極型X線管と、このX
    線管を収容する収容容器と、前記真空容器外に位置する
    部分で前記固定体を固定する保持部材とを具備した回転
    陽極型X線管装置において、前記X線管を固定する陽極
    支持固定体の前記真空容器外に位置する被固定部を前記
    保持部材に貫通させ、かつ、前記保持部材を貫通した前
    記被固定部の先端部分に形成したねじ溝にナットを締め
    付けたことを特徴とする回転陽極型X線管装置。
  2. 【請求項2】 陽極ターゲットに連結した回転体、この
    回転体との間に軸受部が形成された固定体、前記陽極タ
    ーゲットおよび前記回転体および前記固定体をそれぞれ
    収納する真空容器を有する回転陽極型X線管と、このX
    線管を収容する収容容器と、前記真空容器外に位置する
    部分で前記固定体を固定する保持部材とを具備した回転
    陽極型X線管装置において、前記保持部材よりも内側
    で、前記真空容器外に位置する部分の前記固定体の段部
    を前記保持部材で保持し、かつ、前記固定体の端部に形
    成したねじ穴に対し前記保持部材の外側からボルトを挿
    入し締め付けたことを特徴とする回転陽極型X線管装
    置。
  3. 【請求項3】 固定体に段部が形成され、前記段部が上
    記保持部材で保持されている請求項1記載の回転陽極型
    X線管装置。
  4. 【請求項4】 保持部材に環状の突出部を形成し、前記
    突出部の先端で固定体を保持したことを特徴とした請求
    項1または請求項2記載の回転陽極型X線管装置。
  5. 【請求項5】 保持部材に環状の突出部を形成し、前記
    突出部の先端で固定体を保持し、かつ、前記保持部材の
    前記突出部の外側が外側の方が低くなる傾斜面になって
    いることを特徴とする請求項1または請求項2記載の回
    転陽極型X線管装置。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005519450A (ja) * 2002-03-08 2005-06-30 ヴァリアン オーストラリア ピーティーワイ.エルティーディー. プラズマ質量分析計
CN110853788A (zh) * 2018-08-21 2020-02-28 Fei 公司 提高真空导电性的x射线和粒子护罩

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005519450A (ja) * 2002-03-08 2005-06-30 ヴァリアン オーストラリア ピーティーワイ.エルティーディー. プラズマ質量分析計
CN110853788A (zh) * 2018-08-21 2020-02-28 Fei 公司 提高真空导电性的x射线和粒子护罩

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