JPH11354973A - Electromagnetic wave absorber - Google Patents

Electromagnetic wave absorber

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JPH11354973A
JPH11354973A JP15509798A JP15509798A JPH11354973A JP H11354973 A JPH11354973 A JP H11354973A JP 15509798 A JP15509798 A JP 15509798A JP 15509798 A JP15509798 A JP 15509798A JP H11354973 A JPH11354973 A JP H11354973A
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JP
Japan
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powder
soft magnetic
mhz
imaginary part
magnetic powder
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Application number
JP15509798A
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Japanese (ja)
Inventor
Yoshio Bizen
嘉雄 備前
Atsushi Sunakawa
淳 砂川
Shunsuke Arakawa
俊介 荒川
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Proterial Ltd
Original Assignee
Hitachi Metals Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To display the radio wave absorbing power at the mega/giga frequency band, without using classified powders by specifying the content of an Fe-base flat nano-crystal soft magnetic powder in a bond resin and the imaginary part of the complex permeability. SOLUTION: The compsn. of a nano-crystal soft magnetic powder contains Fe as a main component which reveals a superior soft magnetic characteristic and the imaginary part μ" of the complex permeability is large. Part of Fe may be substituted by a kind of elements M such as Co and/or Ni, a mother alloy is dissolved in the atmospheric air, the melt at 1500 deg.C is atomized by the high pressure water atomizing method to make a powder of amorphous alloy Fe72.5 Cu1 Nb3 Si13.5 B9 (atm.%) of 40 μm in mean grain size and 1 μm thick, and the powder is heat treated in an N gas atmosphere at 500 deg.C for 1 hr. to obtain a nano-crystal soft magnetic powder having a fine structure of 10 nm in crystal grain size. The real part μ' of the complex permeability of a radio wave absorber sheet exceeds 1 from 1 MHz to 1 GHz and its imaginary part μ" rises abruptly from 10 MHz to several GHz, superior in radio wave absorption characteristic.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、不要電磁波ノイズ
の干渉によって起こる電磁波障害を抑制するために、M
Hz帯からGHz帯までの広い周波数帯域において電波
吸収効果の大きい電磁波吸収体に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention relates to a method for suppressing electromagnetic interference caused by interference of unwanted electromagnetic noise.
The present invention relates to an electromagnetic wave absorber having a large radio wave absorption effect in a wide frequency band from a Hz band to a GHz band.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年パソコンや移動体通信を始めとする
各種デジタル・アナログ電子機器の小型化・高性能化に
伴う駆動周波数の高周波化が急速に進展しており、この
ような高周波を利用した機器の普及はますます拡大する
傾向にある。なかでもマイクロ波帯域の電波を利用する
衛星通信、移動体通信機器、カーナビゲーション機器な
どの普及にはめざましいものがある。これに伴い、これ
らの機器が発する電磁波ノイズによる電磁環境問題が深
刻化している。
2. Description of the Related Art In recent years, the drive frequency has been rapidly increasing along with the miniaturization and high performance of various digital and analog electronic devices such as personal computers and mobile communications. The spread of equipment is on the rise. Above all, satellite communication, mobile communication equipment, and car navigation equipment using microwave band radio waves have been remarkably popularized. As a result, electromagnetic environment problems due to electromagnetic noise generated by these devices have become more serious.

【0003】電磁波障害を抑制するやり方を大きく分け
ると、電磁波を反射させる方法と、電磁波を吸収させる
方法に分けられる。電磁波を反射させる方法は、保護し
ようとする機器に進入する電磁波を遮蔽材料で反射して
遮断するものである。このような遮蔽材料としては高導
電率を持った導電性材料、例えば、アルミニウム板、銅
板、導電性プラスチックなどが適している。しかし、電
磁波を反射させる方法では、反射した電磁波による二次
障害が少なからず発生している。
[0003] Methods of suppressing electromagnetic wave interference can be roughly classified into a method of reflecting electromagnetic waves and a method of absorbing electromagnetic waves. The method of reflecting electromagnetic waves is to block electromagnetic waves entering a device to be protected by reflecting the electromagnetic waves with a shielding material. As such a shielding material, a conductive material having high conductivity, such as an aluminum plate, a copper plate, or a conductive plastic, is suitable. However, in the method of reflecting electromagnetic waves, secondary obstacles due to the reflected electromagnetic waves are not a little generated.

【0004】一方、電磁波を吸収させる方法は主として
電磁波を吸収材料で吸収し、熱エネルギーに変換するも
のがある。この方法は抜本的なノイズ対策法として有効
である。このような吸収材料としては磁気損失の大きい
磁性材料が要求され、例えば、フェライトなどが用いら
れている。
On the other hand, a method of absorbing electromagnetic waves mainly involves absorbing electromagnetic waves with an absorbing material and converting the electromagnetic waves into heat energy. This method is effective as a drastic noise countermeasure method. As such an absorbing material, a magnetic material having a large magnetic loss is required, and for example, ferrite or the like is used.

【0005】最近、電磁波吸収効果の大きな材料とし
て、扁平状Fe-Si-Al合金の粉末とポリマーとの複合体
を、吉田栄吉他が「偏平状Fe-Si-Al合金粉末・ポリマー
複合体の透磁率と電磁干渉抑制効果」(Tokin Technical
Review 平成8年11月 第23号 p.93) に報告して
いる。
Recently, as a material having a large electromagnetic wave absorbing effect, a composite of a flat Fe-Si-Al alloy powder and a polymer has been proposed. Eikichi Yoshida et al. Permeability and electromagnetic interference suppression effect '' (Tokin Technical
Review, November 1996, No. 23, p. 93).

【0006】それによると、センダストの中心組成から
Fe濃度を下げた9.8wt.%Si-6wt.%Al-bal.Feの組成のも
のの水アトマイズによる合金粉末を用いて、アトライタ
(メディア攪拌型粉砕器)で摩砕処理を行い扁平状の粉
末を得た。その粉末を分級処理により400メッシュ以
下(32μm以下)の微細な粉末を除いた後、650℃
で2時間焼鈍処理をした。この扁平状粉末とポリマーを
混合し、有機溶剤とともに混練し、スラリー化した後、
ドクターブレード法により塗工と乾燥を繰り返して試料
を得ている。この試料の電磁波吸収能を示す複素透磁率
の虚数部μ″と周波数の関係によれば、数MHzから1
GHzの帯域でのμ″が10を超えているというもので
ある。
[0006] According to this, an attritor (media stirring type pulverization) is used by using an alloy powder of 9.8 wt.% Si-6 wt.% Al-bal.Fe having a Fe concentration reduced from the center composition of Sendust by water atomization. ) To obtain a flat powder. After removing the fine powder of 400 mesh or less (32 μm or less) by classifying the powder, 650 ° C.
For 2 hours. After mixing the flat powder and the polymer, kneading with an organic solvent, and forming a slurry,
The sample was obtained by repeating coating and drying by the doctor blade method. According to the relationship between the imaginary part μ ″ of the complex magnetic permeability indicating the electromagnetic wave absorbing ability of this sample and the frequency, the frequency is 1 MHz to 1 MHz.
Μ ″ in the GHz band exceeds 10.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】しかし、上述した方法
では、電磁波吸収効果を得るためには、センダスト粉末
をアトライタで摩砕処理して得られた扁平状の粉末のう
ち、細粒の粉末を除去する分級処理を行なう必要があ
り、生産性が低くなってしまうという問題があった。
However, in the above-described method, in order to obtain an electromagnetic wave absorbing effect, fine powder among the flat powder obtained by grinding Sendust powder with an attritor is used. There is a problem that it is necessary to perform a classification process for removing, and the productivity is lowered.

【0008】本発明の目的は、特別の分級処理を行った
粉末を用いなくても、特に30MHz〜1GHzにおい
て優れた電波吸収能を発揮できる電磁波吸収体を提供す
ることである。
[0008] It is an object of the present invention to provide an electromagnetic wave absorber capable of exhibiting an excellent radio wave absorbing ability particularly at 30 MHz to 1 GHz without using a specially classified powder.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明は、ナノ結晶軟磁
性体を粉末として得たものを樹脂と複合することによっ
て、広帯域における電波吸収特性に優れているという知
見を得たことに基づいて完成したものである。
Means for Solving the Problems The present invention is based on the finding that a nanocrystalline soft magnetic material obtained as a powder is excellent in radio wave absorption characteristics over a wide band by being combined with a resin. It is completed.

【0010】すなわち、本発明の電磁波吸収体は、Fe
基扁平状ナノ結晶軟磁性体粉末をそれを結合させている
樹脂中に50〜1000phr含まれており、複素透磁
率の虚数部μ″が10MHzの周波数で1.5以上であ
り、30MHzから1GHzの周波数で4以上であるこ
とを特徴としている。
That is, the electromagnetic wave absorber of the present invention is made of Fe
The base flat nanocrystalline soft magnetic powder is contained in the resin to which it is bound in an amount of 50 to 1000 phr, the imaginary part μ ″ of the complex magnetic permeability is 1.5 or more at a frequency of 10 MHz, and 30 MHz to 1 GHz. The frequency is 4 or more.

【0011】電波波吸収能は透磁率を複素透磁率μ=
μ' −jμ" で表した時の磁気損失項である虚数部μ"
によって評価することができる。すなわち、μ" が大き
い方が、電磁波(ノイズ)を熱エネルギーに変換して吸
収する能力が高いことを意味する。本発明に係わる複素
透磁率の虚数部μ" は10MHzの低周波であっても
1.5以上、30MHzから1GHzの高周波では、4
以上という優れた電波吸収能を実現できたものである。
[0011] The radio wave absorption capacity is calculated by changing the magnetic permeability to the complex magnetic permeability μ =
The imaginary part μ ", which is the magnetic loss term when expressed as μ'-jμ"
Can be evaluated by: That is, a larger μ ″ means a higher ability to convert electromagnetic waves (noise) into thermal energy and absorb it. The imaginary part μ ″ of the complex magnetic permeability according to the present invention is a low frequency of 10 MHz. Is 1.5 or more, and at a high frequency of 30 MHz to 1 GHz, 4
The above-mentioned excellent radio wave absorbing ability can be realized.

【0012】ここで、扁平状ナノ結晶軟磁性体粉末が樹
脂中に100〜700phr含まれていることが好まし
い。また、扁平状ナノ結晶軟磁性体粉末の形状として
は、厚みが3μm以下であり、その粒径の平均値は20
〜50μmであることが好ましい。
Here, it is preferable that the flat nanocrystalline soft magnetic material powder is contained in the resin in an amount of 100 to 700 phr. The flat nanocrystalline soft magnetic powder had a thickness of 3 μm or less and an average particle size of 20 μm.
It is preferably from 50 μm to 50 μm.

【0013】本発明に用いているFe基扁平状ナノ結晶
軟磁性体粉末について以下説明する。
The Fe-based flat nanocrystalline soft magnetic powder used in the present invention will be described below.

【0014】Fe基ナノ結晶軟磁性材料とは、特公平4-
4393号公報などに記載されている、組織の少なくとも5
0%が、ナノオーダー、即ち1000nm未満のbcc-Fe
構造の結晶粒で構成された材料である。
An Fe-based nanocrystalline soft magnetic material is disclosed in
No. 4393
0% is in the nano order, that is, less than 1000 nm bcc-Fe
It is a material composed of crystal grains with a structure.

【0015】本発明に用いている磁性体粉末は扁平状で
あることが必須である。扁平粉の厚みに対する長径の比
をアスペクト比(長径/厚み)というが、ここで扁平状
の粉末のアスペクト比は20以上であることが望まし
い。扁平状にすることによって、粉末の異方性磁界が大
きくなり高周波数領域まで、その電磁波吸収能力を高め
ることができる。
It is essential that the magnetic powder used in the present invention has a flat shape. The ratio of the major axis to the thickness of the flat powder is referred to as the aspect ratio (major axis / thickness). Here, the aspect ratio of the flat powder is desirably 20 or more. By making the powder flat, the anisotropic magnetic field of the powder becomes large and the electromagnetic wave absorbing ability can be enhanced up to a high frequency region.

【0016】扁平粉の平均粒度を20〜50μmとして
いるのは、20μm未満では粉末の反磁界が大きくなり
透磁率μが小さくなって、ひいては虚数部μ″も小さく
なるためであり、50μmを超えると誘電率εが大とな
って、吸収特性が劣化するためである。
The reason why the average particle size of the flat powder is set to 20 to 50 μm is that if the average particle size is less than 20 μm, the demagnetizing field of the powder becomes large, the magnetic permeability μ becomes small, and the imaginary part μ ″ becomes small. And the dielectric constant .epsilon. Becomes large, and the absorption characteristics deteriorate.

【0017】本発明においては、扁平状ナノ結晶軟磁性
体粉末を樹脂中に50〜1000phr、好ましくは1
00〜700phr、混合させている。ここで用いる樹
脂としては、本発明の電磁波吸収体の用途に適した性質
を持ったものを選択することができる。電磁波吸収体を
板状にする場合や射出成形する場合には、ドクターブレ
ード法、カレンダーロール法、射出成形法に適した樹
脂、例えばポリエチレン、ポリプロピレンなどのポリオ
レフィン、ビニル系の樹脂、酢酸基を持った樹脂や、こ
れらの共重合体、ポリエチレンテレフタレートなどのポ
リエステルなどを用いることができる。また、カレンダ
ーロール法や加圧成形法に適用する場合には、ナイロ
ン、合成ゴムなどを用いることができる。
In the present invention, the flat nanocrystalline soft magnetic powder is mixed in the resin in an amount of 50 to 1000 phr, preferably 1 to 100 phr.
00-700 phr. As the resin used here, a resin having properties suitable for the use of the electromagnetic wave absorber of the present invention can be selected. When the electromagnetic wave absorber is made into a plate shape or injection molded, it has a resin suitable for doctor blade method, calendar roll method, injection molding method, for example, polyolefin such as polyethylene and polypropylene, vinyl resin, and acetic acid group. Resins, copolymers thereof, and polyesters such as polyethylene terephthalate. When applied to a calender roll method or a pressure molding method, nylon, synthetic rubber, or the like can be used.

【0018】ポリマーの種類によっては架橋剤を添加す
ることができる。しかし、樹脂としての重要な性質は、
扁平状ナノ結晶軟磁性体粉末を保持し、その酸化を防止
することと、粉末粒子間を電気的に絶縁することであ
る。
A crosslinking agent can be added depending on the type of the polymer. However, the important property as a resin is
The purpose is to hold the flat nanocrystalline soft magnetic powder and prevent its oxidation, and to electrically insulate the powder particles.

【0019】粉末粒子間を電気的に絶縁することは電波
吸収特性を十分に発揮させる上で重要なことである。粉
末粒子間の絶縁が悪くなると、導電性のシートの如き性
質を呈し、電磁波を反射するようになる。こうなると、
電波吸収特性が劣ってくることになる。
It is important to electrically insulate between the powder particles in order to sufficiently exhibit the radio wave absorption characteristics. When the insulation between the powder particles is deteriorated, the particles exhibit properties like a conductive sheet and reflect electromagnetic waves. This happens when,
The radio wave absorption characteristics will be inferior.

【0020】扁平状ナノ結晶軟磁性体粉末を樹脂中に5
0〜1000phr、好ましくは100〜700ph
r、混合させているが、ここでphrはparts per hund
red rubberの略で、ポリマー100重量部に対しての粉
末添加量を重量比で表したものである。磁性体粉末の添
加量が50phrよりも少ないと、10MHzにおける
複素透磁率の虚数部μ″がきわめて小さくなるので、低
周波における電波吸収特性が悪くなる。磁性体粉末の添
加量が増えるに従ってμ″が大きくなっていくが、10
00phrを超えると磁性体粉末間の絶縁が悪くなり、
誘電率εがあまりにも大きくなって、透磁率と誘電率の
バランスが崩れて電波吸収特性が悪くなる。好ましい添
加量である100〜700phrでは、μ″が10MH
zにおいても十分に高く、製造時の混練なども容易とな
る。
The flat nanocrystalline soft magnetic powder is mixed in a resin with 5
0-1000 phr, preferably 100-700 phr
r, where phr is parts per hund
An abbreviation for red rubber, which is the amount of powder added to 100 parts by weight of a polymer expressed as a weight ratio. If the addition amount of the magnetic powder is less than 50 phr, the imaginary part μ ″ of the complex magnetic permeability at 10 MHz becomes extremely small, so that the electromagnetic wave absorption characteristics at low frequencies deteriorate. The addition of the magnetic powder increases the μ ″. Is getting bigger, but 10
If it exceeds 00 phr, the insulation between the magnetic powders deteriorates,
The dielectric constant ε becomes too large, the balance between the magnetic permeability and the dielectric constant is broken, and the radio wave absorption characteristics deteriorate. At a preferred addition amount of 100 to 700 phr, μ ″ is 10 MH
z is also sufficiently high, and kneading at the time of production becomes easy.

【0021】[0021]

【発明の実施の形態】本発明に用いているナノ結晶軟磁
性体粉末は、基本的には一般式: (Fe1-aM a )100-x-y-z-u-v-wCux Siy B z M ′u M ″v
X w (原子%) ただし、M は、Coおよび/ またはNi、M ′は、Nb, W, T
a, Zr, Hf, Ti および Mo からなる群から選ばれた少な
くとも1種の元素、M ″は、V, Cr, Mn, Al,白金属元
素、Sc, Y,希土類元素, Au, Zn, Reからなる群から選ば
れた少なくとも1種の元素、X は、C, Ge, P, Ga, Sb,
In, Be, Asからなる群から選ばれた少なくとも1種の元
素、a, x, y, z, u, vおよび wはそれぞれ 0 ≦ a≦ 0.5 0 ≦ x≦ 3 0 ≦ y≦ 30 0 ≦ z≦ 25 0.1 ≦ u≦ 30 0 ≦ v≦ 10 0 ≦ w≦ 10 および0 ≦ y + z≦ 35 を満たす、により表される組成
を有し、その組織の少なくとも50%が微細な結晶粒か
らなり、その結晶粒の平均結晶粒度が50nm以下であ
る。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The nanocrystalline soft magnetic powder used in the present invention basically has the general formula: (Fe 1-a M a ) 100-xyzuvw Cu x Si y B z M ′ u M ″ v
X w (atomic%) where M is Co and / or Ni, M ′ is Nb, W, T
At least one element selected from the group consisting of a, Zr, Hf, Ti and Mo, M ″ is V, Cr, Mn, Al, a white metal element, Sc, Y, a rare earth element, Au, Zn, Re. X is at least one element selected from the group consisting of C, Ge, P, Ga, Sb,
At least one element selected from the group consisting of In, Be, As, a, x, y, z, u, v, and w are each 0 ≤ a ≤ 0.50 ≤ x ≤ 30 ≤ y ≤ 30 0 ≤ satisfying z ≦ 250.1 ≦ u ≦ 300 ≦ v ≦ 100 ≦ w ≦ 10 and 0 ≦ y + z ≦ 35, and at least 50% of the structure is composed of fine grains. And the average crystal grain size of the crystal grains is 50 nm or less.

【0022】ナノ結晶軟磁性体粉末の組成の限定理由に
ついて述べる。
The reason for limiting the composition of the nanocrystalline soft magnetic powder will be described.

【0023】(1) Fe及び M(Co および/ またはNi) Feは、この軟磁性体粉末の主成分であり、50nm以下
の平均結晶粒度を有する微細な結晶粒はα-Fe を主体と
するもので、SiやB などが固溶していると考えられる。
Feを主成分とすることにより、優れた軟磁気特性を呈
し、複素透磁率の虚数部μ″が大となる。Feの一部はCo
および/ またはNiであるM により置換することが出来
る。M の含有量a は、0 ≦ a≦ 0.5であるが。、好まし
くは0 ≦ a≦0.3である。a が0.3 を超えると、軟磁気
特性が劣化する場合がある。 (2) Cu Cuは必須元素であり、その含有量x は0.1 〜3 原子 %の
範囲である。0.1 原子% よりも少ないと Cu の添加によ
る透磁率μの改善効果がほとんどなく、一方3原子 %よ
りも多いと透磁率μが未添加のものより悪くなることが
あり好ましくない。特に好ましいCuの含有量x は0.5 〜
2 原子 %であり、この範囲で特に透磁率μが良好であ
る。
(1) Fe and M (Co and / or Ni) Fe is a main component of the soft magnetic powder, and fine crystal grains having an average crystal grain size of 50 nm or less are mainly composed of α-Fe. It is considered that Si and B are dissolved in solid solution.
By using Fe as a main component, excellent soft magnetic characteristics are exhibited, and the imaginary part μ ″ of the complex magnetic permeability is increased.
And / or Ni. Although the content a of M 2 is 0 ≦ a ≦ 0.5. , Preferably 0 ≦ a ≦ 0.3. If a exceeds 0.3, the soft magnetic properties may deteriorate. (2) Cu Cu is an essential element, and its content x is in the range of 0.1 to 3 atomic%. If it is less than 0.1 atomic%, there is almost no effect of improving the magnetic permeability μ by addition of Cu, while if it is more than 3 atomic%, the magnetic permeability μ becomes worse than that without the addition, which is not preferable. Particularly preferred Cu content x is 0.5 to
2 atomic%, and the magnetic permeability μ is particularly good in this range.

【0024】Cu添加により結晶核が多数できることと結
晶粒が成長しにくいために、結晶粒微細化が起こると考
えられるが、この作用はNb, W, Ta, Zr, Hf, Ti および
Moの存在により特に著しくなると考えられる。
It is considered that the crystal grain refinement occurs due to the large number of crystal nuclei and the difficulty in growing the crystal grains due to the addition of Cu, but this action is caused by Nb, W, Ta, Zr, Hf, Ti and
It is thought to be particularly marked by the presence of Mo.

【0025】Nb, W, Ta, Zr, Hf, Ti および Mo が存在
しない場合は、結晶粒はあまり微細化されずμも低い。
Nbおよび Mo は特に効果が大きいが、これらのなかでNb
は特に結晶粒を細かくし、高透磁率となる。
When Nb, W, Ta, Zr, Hf, Ti and Mo are not present, the crystal grains are not very fine and μ is low.
Nb and Mo are particularly effective, but among these, Nb
In particular, the crystal grains are made finer, resulting in high magnetic permeability.

【0026】(3) SiおよびB SiおよびB は合金を超急冷した際にアモルファス化する
のに有効なものである。ナノ結晶を成長するには、一度
アモルファス化した後で熱処理により微細結晶粒を形成
することにより得られる。SiおよびB の含有量y および
z は、y が30原子% 以下、z が25原子% 以下、y+z が35
原子% 以下でないと、透磁率μが著しく低くなる。
(3) Si and B Si and B are effective in turning the alloy into an amorphous phase when the alloy is rapidly quenched. In order to grow a nanocrystal, it is obtained by forming fine crystal grains by heat treatment after being made amorphous once. Si and B content y and
For z, y is 30 atom% or less, z is 25 atom% or less, and y + z is 35
If it is not less than atomic%, the magnetic permeability μ becomes extremely low.

【0027】(4) M ′(Nb, W, Ta, Zr, Hf, Tiおよ
び Mo) Nb, W, Ta, Zr, Hf, Ti および Mo からなる群から選ば
れた少なくとも1種の元素M ′は、Cuとの複合添加によ
り析出する結晶粒を微細化する。M ′の含有量u は0.1
〜30原子 %であり、0.1 原子 %未満だと結晶粒微細化の
効果が不十分であり、30原子 %を超えると透磁率μの著
しい低下を招く。好ましいM ′の含有量u は2 〜8 原子
%である。なお、M ′としてNbが最も好ましい。 (5) M ″(V, Cr, Mn, Al, 白金属元素、Sc, Y,希土
類元素, Au, Zn, Re) これらの元素は耐食性を改善したり、磁気特性を改善す
る、また磁歪を調整する、等の効果を有する。その含有
量は多くとも10原子 %である。含有量が10原子%を超え
ると著しく磁気特性を低下させる。特に好ましい含有量
は8 原子 %以下である。これらの元素の内で、Ru, Rh,
Pd, Os, Ir, Pt, Au, Cr, V は特に耐食性と耐摩耗性を
改善する。
(4) M '(Nb, W, Ta, Zr, Hf, Ti and Mo) At least one element M' selected from the group consisting of Nb, W, Ta, Zr, Hf, Ti and Mo Refines crystal grains precipitated by complex addition with Cu. M ′ content u is 0.1
If it is less than 0.1 atomic%, the effect of grain refinement is insufficient, and if it exceeds 30 atomic%, the magnetic permeability μ is remarkably reduced. Preferred M 'content u is from 2 to 8 atoms
%. Note that Nb is most preferable as M '. (5) M ″ (V, Cr, Mn, Al, white metal element, Sc, Y, rare earth element, Au, Zn, Re) These elements improve corrosion resistance, improve magnetic characteristics, and reduce magnetostriction. The content is at most 10 atomic%, and when the content exceeds 10 atomic%, the magnetic properties are remarkably deteriorated, and a particularly preferable content is 8 atomic% or less. Of the elements Ru, Rh,
Pd, Os, Ir, Pt, Au, Cr and V improve corrosion resistance and abrasion resistance in particular.

【0028】(6) X(C, Ge, P, Ga, Sb, In, Be, A
s) これらの元素はアモルファス化に有効な元素であり、S
i、B と共に添加することにより、アモルファス化を助
けると共に、磁歪やキュリー温度を上げる効果がある。
これらの元素のうち少なくとも1種を10原子% 以下含
むことができる。このナノ結晶軟磁性体粉末は、以下の
ようにして製造することができる。すなわち、上で述べ
た組成の合金溶湯を超急冷してアモルファス合金粉末と
して、粉末を扁平状に微細化する。その上で、この粉末
を結晶化温度よりも高い温度に加熱し、組織の少なくと
も50%を50nm以下の平均結晶粒度とする熱処理を
施す。
(6) X (C, Ge, P, Ga, Sb, In, Be, A
s) These elements are effective elements for amorphization, and
When added together with i and B, it has the effect of promoting the formation of an amorphous phase and increasing the magnetostriction and Curie temperature.
At least one of these elements can be contained at 10 atomic% or less. This nanocrystalline soft magnetic powder can be manufactured as follows. That is, the molten alloy having the above-described composition is rapidly quenched to obtain an amorphous alloy powder, and the powder is finely flattened. Then, the powder is heated to a temperature higher than the crystallization temperature, and a heat treatment is performed so that at least 50% of the structure has an average grain size of 50 nm or less.

【0029】この超急冷法としては水アトマイズ法が適
している。水アトマイズ法によりきわめて薄い薄片が得
られると共に、その表面が乱れた不規則形状となってい
て、十分に冷却され、形状的に粉砕しやすいものとな
る。
As the ultra-quenching method, a water atomizing method is suitable. A very thin flake can be obtained by the water atomizing method, and the surface thereof has an irregular shape with irregularities, is sufficiently cooled, and is easily crushed in shape.

【0030】このようにして、3μm以下の厚さをし、
その平均粒径が20〜50μmになった扁平状ナノ結晶
軟磁性体粉末が得られる。この軟磁性体粉末を50〜1
000phr含むように樹脂と混合して、本発明の電磁
波吸収体を作製する。
In this way, a thickness of 3 μm or less is obtained,
A flat nanocrystalline soft magnetic powder having an average particle size of 20 to 50 μm is obtained. This soft magnetic material powder is mixed with 50 to 1
By mixing with a resin so as to contain 000 phr, the electromagnetic wave absorber of the present invention is produced.

【0031】[0031]

【実施例】(実施例1)母合金を大気中で溶解した後、
1500℃の溶湯を高圧の水アトマイズ法によりFe 73.5Cu1N
b3Si13.5B9(原子%)の組成を有する平均粒径40μ
m、厚さ1μmのアモルファス合金粉末を作製し、この
アモルファス合金粉末を窒素ガス雰囲気中550℃で1
時間熱処理して、結晶粒径10nmの微細な組織を有す
るナノ結晶軟磁性体粉末を得た。
EXAMPLES (Example 1) After melting a mother alloy in the air,
1500 ° C molten iron is pressurized by high pressure water atomization 73.5Cu1N
bThreeSi13.5B9(Atomic%) average particle size 40μ
m, an amorphous alloy powder having a thickness of 1 μm was prepared.
Amorphous alloy powder at 550 ° C in nitrogen gas atmosphere
Heat treated for a long time to have a fine structure with a crystal grain size of 10 nm
A nanocrystalline soft magnetic powder was obtained.

【0032】トルエンに飽和ポリエステル樹脂を溶解し
た後、このナノ結晶軟磁性体粉末を200phrとなる
ように添加し、また架橋剤(イソシアネート化合物)を
配合し、カレンダーロールで成膜し、150℃で30分
間加熱してウレタン化して、電磁波吸収体(シート)を
得た。
After dissolving the saturated polyester resin in toluene, this nanocrystalline soft magnetic powder is added to 200 phr, and a crosslinking agent (isocyanate compound) is blended. The mixture was heated for 30 minutes to be urethane to obtain an electromagnetic wave absorber (sheet).

【0033】この電磁波吸収シートの複素透磁率をヒュ
ーレットパッカード製ネットワークアナライザーで測定
したところ、図1に示すような複素透磁率の実数部μ'
、虚数部μ" の値であった。
When the complex magnetic permeability of the electromagnetic wave absorbing sheet was measured with a network analyzer made by Hewlett-Packard, the real part μ ′ of the complex magnetic permeability as shown in FIG. 1 was obtained.
Imaginary part μ ”.

【0034】図1から明らかなように、複素透磁率の実
数部μ' は、1MHzから1GHzまでほぼ10を超え
ている。また、その虚数部μ" は立ち上がりが急峻で、
10MHzでは2を超えていて、30HMHzから10
0MHzにかけて、ほぼ5であり、そこから徐々に上が
っていって1GHzでは10を超えている。すなわち、
10MHzから数GHzまで電波吸収特性が優れている
ことがわかる。
As is clear from FIG. 1, the real part μ ′ of the complex magnetic permeability is more than about 10 from 1 MHz to 1 GHz. The imaginary part μ ”rises steeply,
At 10 MHz, it exceeds 2 and from 30 HMHz to 10
The value is almost 5 toward 0 MHz, and gradually increases from that, and exceeds 10 at 1 GHz. That is,
It can be seen that the radio wave absorption characteristics are excellent from 10 MHz to several GHz.

【0035】(実施例2)実施例1で得たナノ結晶軟磁
性体粉末を用いて、その軟磁性体粉末の添加量を50〜
500phrと変えて、電磁波吸収体(シート)を作製
した。この電磁波吸収シートの複素透磁率の虚数部μ"
を周波数をパラメータとして図2に示すように、10M
Hzではいずれも1.5以上となっており、また30M
Hzから1GHzの周波数では4以上であった。
Example 2 Using the nanocrystalline soft magnetic powder obtained in Example 1, the amount of the soft magnetic powder added was 50 to
An electromagnetic wave absorber (sheet) was prepared by changing to 500 phr. The imaginary part μ "of the complex magnetic permeability of this electromagnetic wave absorbing sheet
Is set to 10M as shown in FIG.
Hz is 1.5 or more, and 30M
The frequency was 4 or more at a frequency of 1 Hz to 1 GHz.

【0036】この例に示すように、ナノ結晶軟磁性体粉
末の添加量が多くなると、虚数部μ" が大きくなって優
れた電波吸収特性を示す。
As shown in this example, when the addition amount of the nanocrystalline soft magnetic material powder is increased, the imaginary part μ ″ is increased to exhibit excellent radio wave absorption characteristics.

【0037】[0037]

【発明の効果】本発明の電磁波吸収体は、低周波数から
高周波数までの広い周波数帯域、特に30MHz以下の
低周波で電波吸収特性に優れており、広い周波数帯域の
不要電磁波ノイズに対する電磁波障害の低減にとって極
めて有効である。
The electromagnetic wave absorber of the present invention has excellent radio wave absorption characteristics in a wide frequency band from a low frequency to a high frequency, particularly in a low frequency of 30 MHz or less, and is effective in preventing electromagnetic wave interference against unnecessary electromagnetic noise in a wide frequency band. It is extremely effective for reduction.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の電磁波吸収体の複素透磁率の値を、周
波数に対して示すグラフである。
FIG. 1 is a graph showing the value of the complex magnetic permeability of the electromagnetic wave absorber of the present invention with respect to frequency.

【図2】本発明の電磁波吸収体の中のナノ結晶軟磁性体
粉末の含有量を変えた場合の複素透磁率の虚数部の値を
周波数をパラメータとして示す図である。
FIG. 2 is a diagram showing the value of the imaginary part of the complex magnetic permeability when the content of the nanocrystalline soft magnetic material powder in the electromagnetic wave absorber of the present invention is changed, using frequency as a parameter.

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 Fe基扁平状ナノ結晶軟磁性体粉末をそ
れを結合させている樹脂中に50〜1000phr含
み、複素透磁率の虚数部μ″が10MHzの周波数で
1.5以上であり、30MHzから1GHzの周波数で
4以上であることを特徴とする電磁波吸収体。
1. An Fe-based flat nanocrystalline soft magnetic powder is contained in a resin to which it is bound in an amount of 50 to 1000 phr, and the imaginary part μ ″ of the complex magnetic permeability is 1.5 or more at a frequency of 10 MHz. An electromagnetic wave absorber having a frequency of 4 or more at a frequency of 30 MHz to 1 GHz.
【請求項2】 樹脂中にFe基扁平状ナノ結晶軟磁性体
粉末を100〜700phr含んでいることを特徴とす
る請求項1記載の電磁波吸収体。
2. The electromagnetic wave absorber according to claim 1, wherein the resin contains 100 to 700 phr of Fe-based flat nanocrystalline soft magnetic powder.
【請求項3】 Fe基扁平状ナノ結晶軟磁性体粉末の厚
みは3μm以下であり、その粒径の平均は20〜50μ
mであることを特徴とする請求項1あるいは2記載の電
磁波吸収体。
3. The thickness of the Fe-based flat nanocrystalline soft magnetic powder is 3 μm or less, and the average of the particle diameter is 20 to 50 μm.
3. The electromagnetic wave absorber according to claim 1, wherein m is m.
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