JPH11354570A - Method and device for testing rewinding of bonding wire - Google Patents

Method and device for testing rewinding of bonding wire

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JPH11354570A
JPH11354570A JP10159443A JP15944398A JPH11354570A JP H11354570 A JPH11354570 A JP H11354570A JP 10159443 A JP10159443 A JP 10159443A JP 15944398 A JP15944398 A JP 15944398A JP H11354570 A JPH11354570 A JP H11354570A
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bonding
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To detect obstructive hooking portion of bonding in short time without a manual operation and a material at a condition simulated to real wire bonding, and to evaluate the winding quality of a bonding wire. SOLUTION: When a spool 2 which is horizontally held is rotated, the bonding wire 1 is rewound, the bonding wire 1 which is continuously drooped laterally moves with the rotation of the spool 2 while tension force is given by gravity and the spraying of air, a sensor 3 detects it and the rotation of the spool 2 is stopped. When rotation is resumed, the degree of the hooking of the bonding wire 1 is identified and evaluated in accordance with whether the bonding wire 1 immediately and laterally moves and the sensor 3 detects it again or not.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、スプールに巻き付
けたボンディングワイヤーを巻き戻しながら、その巻き
品質を評価する方法、及びそのための装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for evaluating the winding quality of a bonding wire wound on a spool while rewinding the bonding wire, and an apparatus therefor.

【0002】[0002]

【従来の技術】半導体素子と外部リードとの結線に使用
されるボンディングワイヤーは、円筒状のスプールに巻
き付けて供給される。従って、このボンディングワイヤ
ーをワイヤーボンダーで使用するときには、ワイヤーボ
ンダーで引き出されたボンディグワイヤーがスプールか
らスムーズに巻き戻される必要がある。
2. Description of the Related Art A bonding wire used for connecting a semiconductor element to an external lead is supplied by being wound around a cylindrical spool. Therefore, when this bonding wire is used in a wire bonder, the bond wire pulled out by the wire bonder must be smoothly unwound from the spool.

【0003】特に近年では、1つのスプールに巻かれる
ボンディングワイヤーの長さが長くなり、より多層に巻
き付ける場合が多くなっている。このように巻層数が多
くなると、ボンディングワイヤーの食い込みや絡みなど
によって巻き戻しがスムーズに行われず、ワイヤーボン
ディングに支障を来し易い。
In particular, in recent years, the length of a bonding wire wound around one spool has become longer, and the number of windings has increased in many cases. When the number of winding layers is increased as described above, unwinding is not performed smoothly due to biting or entanglement of the bonding wire, which tends to hinder wire bonding.

【0004】この問題を解決するために、ボンディング
ワイヤーをスプールに巻き付ける際に、巻きピッチや引
張力などを調整することが行われている。しかし、スプ
ールに巻き付けたボンディングワイヤーの巻き品質を評
価する方法がなかったため、材質や線径の異なるボンデ
ィングワイヤーごとに適切な巻きピッチや引張力などの
巻き条件を定めることが難しかった。
In order to solve this problem, when winding a bonding wire around a spool, a winding pitch, a tensile force, and the like are adjusted. However, since there is no method for evaluating the winding quality of the bonding wire wound around the spool, it has been difficult to determine appropriate winding conditions such as a winding pitch and a tensile force for each bonding wire having a different material and a different wire diameter.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】従来、ボンディングワ
イヤーの巻き品質を評価する場合には、スプールに巻き
付けたボンディングワイヤーをワイヤーボンダーに供し
て、実際にワイヤーボンディングを行いながら巻き戻し
での引っ掛かりを計測するか、又はスプールをボンディ
ングワイヤーが巻かれた面が地面と垂直になるように吊
るして、重力によって巻き戻しながら、引っ掛かりを数
えるという方法しかなかった。
Conventionally, when evaluating the winding quality of a bonding wire, a bonding wire wound on a spool is provided to a wire bonder, and the wire is caught by rewinding while actually performing wire bonding. Alternatively, the only method was to suspend the spool so that the surface around which the bonding wire was wound was perpendicular to the ground, and to rewind by gravity while counting the number of hooks.

【0006】しかし、ワイヤーボンダーを使用する場合
は、実際にボンディングすることになるため、ボンディ
ングワイヤーを消費してしまうほか、リードフレームな
どの部材も大量に必要となり、極めて不経済であった。
また、重力によってボンディングワイヤーを巻き戻す方
法では、実際のワイヤーボンディングと巻き戻しの条件
が全く異なるうえ、作業者が常時横について引っ掛かり
の回数を計測すると共に、引っ掛かりを解消する作業を
行わねばならなかった。
However, when a wire bonder is used, since bonding is actually performed, a bonding wire is consumed, and a large number of members such as a lead frame are required, which is extremely uneconomical.
In the method of unwinding the bonding wire by gravity, the conditions of actual wire bonding and unwinding are completely different, and the worker must always count the number of horizontal hooks and work to eliminate the hooks. Was.

【0007】本発明は、このような従来の事情に鑑み、
実際のワイヤーボンディングに近い条件で、人手や資材
をかけずに短時間で、ボンディングワイヤーの巻き品質
を評価する方法、及びその装置を提供することを目的と
するものである。
The present invention has been made in view of such a conventional situation,
It is an object of the present invention to provide a method and an apparatus for evaluating the winding quality of a bonding wire in a short time under conditions similar to actual wire bonding without using any manpower or materials.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明が提供する試験方法は、ボンディングワイヤ
ーを巻き付けたスプールの軸を水平に保持し、スプール
を回転駆動させてボンディングワイヤーを巻き戻し、引
張力を与えながら連続的に垂下させ、下方に移動するボ
ンディングワイヤーが引っ掛かりのためスプールの回転
に伴って横方向に動いたとき、その横移動をセンサーで
検知するボンディングワイヤーの巻き戻し試験方法にお
いて、センサーがボンディングワイヤーの横移動を検知
したときスプールの回転を一旦停止させ、所定時間後に
再度スプールを回転させて巻き戻しを再開したとき、直
ちにボンディングワイヤーの横移動がセンサーにより再
検知されるか否かによって引っ掛かりの程度を識別する
ことを特徴とする。
In order to achieve the above object, a test method provided by the present invention is to hold a shaft of a spool around which a bonding wire is wound horizontally, and to rotate the spool to rewind the bonding wire. A method for unwinding a bonding wire that detects the lateral movement with a sensor when the downwardly moving bonding wire moves in the horizontal direction with the rotation of the spool due to catching when the downwardly moving bonding wire is caught. In the above, when the sensor detects the lateral movement of the bonding wire, the rotation of the spool is temporarily stopped, and when the spool is rotated again after a predetermined time to resume the rewinding, the lateral movement of the bonding wire is immediately detected again by the sensor. It is characterized in that the degree of snagging is identified by whether or not it is.

【0009】このボンディングワイヤーの巻き戻し試験
方法においては、巻き戻しているボンディングワイヤー
に引張力を付加するため、ボンディングワイヤーをスプ
ールから200〜1000mmの長さに垂下させるか、
及び/又は、スプールから垂下したボンディングワイヤ
ーに横方向から空気を吹き付けることが好ましい。
In this bonding wire rewind test method, in order to apply a tensile force to the unwound bonding wire, the bonding wire is suspended from the spool to a length of 200 to 1000 mm,
Preferably, air is blown laterally onto the bonding wire hanging from the spool.

【0010】本発明が提供する試験装置は、ボンディン
グワイヤーを巻き付けたスプールを軸を水平に保持して
定められた速度で回転させるスプールの回転駆動部と、
回転駆動部に保持されたスプールの下方に配置された少
なくとも1つのセンサーとを備え、スプールから連続的
に巻き戻され、垂下して下方に移動するボンディングワ
イヤーが引っ掛かりのためスプールの回転に伴って横方
向に動いたとき、その横移動をセンサーで検知するボン
ディングワイヤーの巻き戻し試験装置において、前記ス
プールの回転駆動部はセンサーがボンディングワイヤー
の横移動を検知したときスプールの回転を一旦停止さ
せ、所定時間後に再度スプールを回転させる機構を有
し、再度スプールを回転させて巻き戻しを再開したと
き、直ちにボンディングワイヤーの横移動がセンサーに
より再検知されるか否かによって引っ掛かりの程度を識
別することを特徴とする。
[0010] A test apparatus provided by the present invention comprises: a spool rotation driving unit for rotating a spool around which a bonding wire is wound at a predetermined speed while holding a shaft horizontally;
At least one sensor disposed below the spool held by the rotation drive unit, wherein the bonding wire that is continuously unwound from the spool and hangs down and moves downward with the rotation of the spool due to catching When moved in the lateral direction, in a bonding wire rewinding test device that detects the lateral movement with a sensor, the rotation drive unit of the spool temporarily stops rotation of the spool when the sensor detects the lateral movement of the bonding wire, Having a mechanism to rotate the spool again after a predetermined time, when the spool is rotated again and rewinding is resumed, immediately identify the degree of catch by whether or not the lateral movement of the bonding wire is detected again by the sensor. It is characterized by.

【0011】このボンディングワイヤーの巻き戻し試験
装置は、スプールから垂下したボンディングワイヤー
に、横方向から空気を吹き付ける空気吹出口を備えるこ
とができる。また、ボンディングワイヤーの横移動を検
知するセンサーとしては、電気接点を有する電気的接触
センサー、近接センサー、又は光センサーなどを使用す
ることができる。
[0011] The bonding wire rewinding test apparatus may be provided with an air outlet for blowing air laterally to the bonding wire hanging from the spool. Further, as a sensor for detecting the lateral movement of the bonding wire, an electric contact sensor having an electric contact, a proximity sensor, an optical sensor, or the like can be used.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】本発明では、実際のワイヤーボン
ディングに近い条件でボンディングワイヤーをスプール
から巻き戻しながら、引っ掛かりがあるか否かによって
巻き品質を評価する。そのために、図1に示すように、
軸を水平にして保持したスプール2をモーターにより駆
動して回転させながら、スプール2からボンディングワ
イヤー1を巻き戻す。ボンディングワイヤー1の巻き戻
し速度は、実際のワイヤーボンダーとほぼ同じか又は近
似した速度が好ましく、例えば0.6〜1m/分程度が
適当である。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS In the present invention, the winding quality is evaluated based on whether or not there is a hook while the bonding wire is unwound from the spool under conditions close to actual wire bonding. Therefore, as shown in FIG.
The bonding wire 1 is rewound from the spool 2 while rotating the spool 2 held by keeping the axis horizontal by a motor. The unwinding speed of the bonding wire 1 is preferably substantially the same as or similar to that of an actual wire bonder, for example, about 0.6 to 1 m / min.

【0013】また同時に、巻き戻されるボンディングワ
イヤー1に実際のワイヤーボンディングの場合に近い引
張力を与えながら、ワイヤーボンダーが巻き戻し時の引
っ掛かりにより停止する状態に近いボンディングワイヤ
ー1の引っ掛かりを、センサー3で検知する。そのため
の一般的手段としては、連続的に巻き戻されるボンディ
ングワイヤー1をスプール2から下方に所定の長さとな
るように垂下させ、重力による引張力をボンディングワ
イヤー1に与える方法がある。
At the same time, while applying a tensile force to the unwound bonding wire 1 in a manner similar to that of actual wire bonding, the sensor 3 detects the hooking of the bonding wire 1 that is almost stopped by the wire bonder during the unwinding. To detect. As a general means therefor, there is a method in which a continuously unwound bonding wire 1 is hung downward from a spool 2 so as to have a predetermined length, and a tensile force due to gravity is applied to the bonding wire 1.

【0014】重力によりボンディングワイヤーに引張力
を与える場合には、スプールから垂下しているボンディ
ングワイヤーの長さ、即ちスプールの軸中心と巻き戻し
たボンディングワイヤーを堆積する受皿部又は巻き取る
巻取部との間隔を、200〜1000mmの範囲に調整
することが好ましい。この長さ又は間隔が200mm未
満では、垂下したボンディングワイヤーにかかる重力が
小さ過ぎるため、問題の無い極めて軽微な引っ掛かりで
も検知してしまう。また、1000mmより長く垂下さ
せた場合には、ボンディングワイヤーにかかる重力が大
きくなり、実際のワイヤーボンディングで問題となる程
度の引っ掛かりが解消されて検出できなかったり、大き
過ぎる引張力のためボンディングワイヤーが逆に食い込
んでしまう恐れがある。
When a tensile force is applied to the bonding wire by gravity, the length of the bonding wire hanging down from the spool, ie, the center of the axis of the spool and a receiving portion for depositing the unwound bonding wire or a winding portion for winding up. Is preferably adjusted in the range of 200 to 1000 mm. If the length or the interval is less than 200 mm, the gravity applied to the hanging bonding wire is too small, and even a very slight hook without any problem is detected. If the wire is suspended for more than 1000 mm, the gravitational force applied to the bonding wire is increased, and the problem of the actual wire bonding is eliminated. Conversely, there is a risk of digging into it.

【0015】また、ボンディングワイヤーに引張力を付
加する別の方法として、実際のワイヤーボンダーと同様
に、図2に示すように、巻き戻されて垂下したボンディ
ングワイヤー1に横方向から空気を吹き付けて引張力を
与えることもできる。その場合には、吹き付ける空気の
方向や流速、流量を一定に保つと共に、巻き戻されたボ
ンディングワイヤー1の受皿部又は巻取部の位置を調整
して、定常状態では空気の吹き付けにより湾曲したボン
ディングワイヤー1を所定の範囲内に位置せしめる。こ
のようにボンディングワイヤー1の垂下している部分の
位置を調節することによって、垂下したボンディングワ
イヤー1に付加される引張力も一定に保たれる。
As another method of applying a tensile force to the bonding wire, as shown in FIG. 2, air is blown from the lateral direction onto the unwound and hanging bonding wire 1 as shown in FIG. A tensile force can also be applied. In that case, the direction, flow rate, and flow rate of the air to be blown are kept constant, and the position of the receiving portion or take-up portion of the unwound bonding wire 1 is adjusted. The wire 1 is positioned within a predetermined range. By adjusting the position of the hanging portion of the bonding wire 1 in this manner, the tensile force applied to the hanging bonding wire 1 is also kept constant.

【0016】このように引張力を付加しながらボンディ
ングワイヤー1をスプール2から巻き戻すことによっ
て、実際のワイヤーボンディングに近い条件で試験を実
施できるので、スプール2に巻かれたボンディングワイ
ヤー1に実用上問題となる程度の引っ掛かりがあると、
その時点でスプール2の回転に伴ってボンディングワイ
ヤー1が横方向に移動する。この横移動したボンディン
グワイヤー1(図1に点線で図示)をセンサー3で検知
する。
By unwinding the bonding wire 1 from the spool 2 while applying a tensile force in this way, a test can be performed under conditions similar to actual wire bonding, so that the bonding wire 1 wound on the spool 2 is practically used. If there is a problematic amount of snagging,
At that time, the bonding wire 1 moves in the lateral direction as the spool 2 rotates. The sensor 3 detects the laterally moved bonding wire 1 (shown by a dotted line in FIG. 1).

【0017】センサーでボンディングワイヤーの横移動
を検知するには各種の方法が考えられるが、通常は電気
接点を有する電気的接触センサーを用い、横移動したボ
ンディングワイヤーがセンサーに接することにより検知
する。また、近接センサーや光センサーなどの非接触型
センサーを使用することもできる。
Various methods are conceivable for detecting the lateral movement of the bonding wire by the sensor. Usually, an electrical contact sensor having an electric contact is used, and the lateral movement of the bonding wire is detected by contact with the sensor. Further, a non-contact type sensor such as a proximity sensor or a light sensor can be used.

【0018】ボンディングワイヤーの巻き品質の評価に
ついては、上記のごとくセンサーがボンディングワイヤ
ーの横移動を検知したとき、引っ掛かり有りと評価して
カウントし、ボンディングワイヤー全長でのカウント数
から巻き品質を評価することができる。しかしながら、
例えばボンディングワイヤーがセンサーに接した時の衝
撃や、スプールを停止した時の衝撃で解消される程度の
引っ掛かりは、実際のワイヤーボンディングでは障害と
ならない場合があるので、これらの引っ掛かりは軽度の
引っ掛かりとして、区別して評価することもできる。
Regarding the evaluation of the winding quality of the bonding wire, when the sensor detects the lateral movement of the bonding wire as described above, the winding is evaluated as being caught and counted, and the winding quality is evaluated from the counted number in the entire length of the bonding wire. be able to. However,
For example, hooks that are resolved by the impact of the bonding wire touching the sensor or the impact of stopping the spool may not be an obstacle in actual wire bonding, so these hooks are considered as slight hooks , And can be evaluated separately.

【0019】上記の引っ掛かりの程度を自動的に識別し
て巻き品質を評価するには、センサーがボンディングワ
イヤーの横移動を検知したときスプールの回転を一旦停
止させ、1〜30秒間程度の所定時間後に再度スプール
を回転させて、この再回転直後の引っ掛かりの有無をセ
ンサーで検知する方法がある。即ち、最初の検知で回転
を停止した後、再び回転を開始したとき、引っ掛かりが
解消されていればセンサーによって検知されない。一
方、引っ掛かりが解消されないとき、又は引っ掛かりが
一部解消されても、引っ掛かりが連続している場合に
は、再回転後直ちにセンサーによって再び検知される。
そこで、前者を軽度の引っ掛かりとし、後者を重度の引
っ掛かりとして識別し、区別して評価することができ
る。この方法によれば、連続的測定を可能にながら、ボ
ンディングワイヤーの巻き品質を更に詳しく解析するこ
とが可能である。
In order to evaluate the winding quality by automatically identifying the degree of the above-mentioned catch, the rotation of the spool is temporarily stopped when the sensor detects the lateral movement of the bonding wire, and the predetermined time of about 1 to 30 seconds is set. After that, there is a method in which the spool is rotated again and the presence or absence of the catch immediately after the re-rotation is detected by a sensor. That is, when the rotation is stopped after the first detection and then the rotation is started again, the detection is not performed by the sensor if the catch is eliminated. On the other hand, when the catch is not eliminated, or when the catch is continued even if the catch is partially eliminated, the sensor is again detected immediately after the re-rotation.
Therefore, the former can be identified as lightly caught and the latter as severely caught, and can be evaluated separately. According to this method, it is possible to analyze the winding quality of the bonding wire in more detail while enabling continuous measurement.

【0020】尚、この軽度と重度の引っ掛かりを識別し
て評価する方法の場合、図3に示すように、ボンディン
グワイヤー1が横移動する方向に沿って、複数のセンサ
ー3a、3b、3cを設置しておくことが好ましい。特
に光センサーや近接センサーを使用する場合には、横移
動したボンディングワイヤーとセンサーとの接触によっ
て引っ掛かりが解消することがないので、回転を再開し
たとき直ちに複数のセンサーのいずれかが検知したら、
重度の引っ掛かりであると識別して評価することが好ま
しい。
In the case of the method of discriminating and evaluating the slight and heavy snagging, as shown in FIG. 3, a plurality of sensors 3a, 3b, 3c are installed along the direction in which the bonding wire 1 moves laterally. It is preferable to keep it. Especially when using an optical sensor or proximity sensor, the contact between the laterally moving bonding wire and the sensor does not eliminate the catch, so if one of the multiple sensors detects immediately when rotation resumes,
It is preferable to evaluate it by identifying it as severely caught.

【0021】[0021]

【実施例】巻き条件を変えてスプールに巻き付けた3種
類のボンディングワイヤーを用意し、本発明の巻き戻し
試験装置を使用して、ボンディングワイヤーの巻き品質
を評価した。即ち、試験装置の回転駆動部にボンディン
グワイヤーを巻き付けたスプールを軸を水平にして保持
し、スプールを回転駆動させて0.8m/分の速度でボ
ンディングワイヤーを巻き戻し、鉛直方向に垂下させ
て、スプールから600mm下方に配置した受皿部上に
連続的に受けるようにした。
EXAMPLES Three types of bonding wires wound on a spool with different winding conditions were prepared, and the winding quality of the bonding wires was evaluated using the rewinding test apparatus of the present invention. That is, the spool around which the bonding wire is wound around the rotation drive unit of the test apparatus is held with the shaft being horizontal, the spool is driven to rotate, the bonding wire is rewound at a speed of 0.8 m / min, and the bonding wire is hung vertically. , And continuously received on a pan portion arranged 600 mm below the spool.

【0022】また、スプールの下方に電気的接触センサ
ーを配置し、スプールから垂下して移動するボンディン
グワイヤーが、引っ掛かりのためにスプールの回転に伴
って横方向に動いたとき、その横移動をセンサーで検知
してスプールの回転を停止させ、15秒後に再び回転を
開始した。この回転を再開したとき、直ちにセンサーが
ボンディングワイヤーの横移動を再検知した場合のみ、
重度の引っ掛かりであると評価して、その重度の引っ掛
かりの回数をカウントした。
An electric contact sensor is disposed below the spool, and when a bonding wire hanging down from the spool moves laterally with rotation of the spool due to catching, the lateral movement is detected by the sensor. , The rotation of the spool was stopped, and the rotation was started again after 15 seconds. When this rotation is resumed, only if the sensor immediately re-detects the lateral movement of the bonding wire,
It was evaluated as a severe hook, and the number of times of the severe hook was counted.

【0023】この巻き戻し試験によれば、重度の引っ掛
かかりの数、即ち各ボンディングワイヤーの長さ100
0m当たりの重度の引っ掛かりのカウント数は、巻き条
件Aのボンディングワイヤーでは24回、巻き条件Bで
は8回、及び巻き条件Cでは0回であった。
According to the rewind test, the number of severe hooks, that is, the length of each bonding wire 100
The count of severe hooking per 0 m was 24 for the bonding wire under the winding condition A, 8 for the winding condition B, and 0 for the winding condition C.

【0024】次に、上記と同じ3種の巻き条件A〜Cで
スプールに巻き付けた長さ1000mのボンディングワ
イヤーを各3個ずつ用意し、実際のワイヤーボンダーに
取り付けて、半導体素子と外部リードとのワイヤーボン
ディングを実施した。この実際のワイヤーボンディング
において、ボンディング不良検出機能によって起こるワ
イヤーボンダーの停止回数を測定した。
Next, three bonding wires each having a length of 1000 m and wound on a spool under the same three kinds of winding conditions A to C as described above are prepared, and each of the three bonding wires is attached to an actual wire bonder. Was carried out. In this actual wire bonding, the number of stops of the wire bonder caused by the bonding failure detection function was measured.

【0025】その結果、ワイヤーボンダーの停止回数
は、巻き条件Aのボンディングワイヤー3個では47
回、56回、44回、巻き条件Bのボンディングワイヤ
ー3個では32回、27回、35回、及び巻き条件Cの
ボンディングワイヤー3個では11回、13回、9回で
あった。
As a result, the number of stops of the wire bonder is 47 for three bonding wires under the winding condition A.
Times, 56 times, 44 times, 32 times, 27 times, 35 times for three bonding wires of winding condition B, and 11, 13, 9 times for three bonding wires of winding condition C.

【0026】このことから、本発明の巻き戻し試験によ
り、重度の引っ掛かりのみをカウントして得られたボン
ディングワイヤーの巻き品質の評価は、実際のワイヤー
ボンダーの停止回数と良く関連していることが判った。
尚、軽度の引っ掛かりについても併せて評価すれば、ボ
ンディングワイヤーの巻き品質の評価の信頼性を更に向
上させることができる。
From the above, it can be seen that the evaluation of the winding quality of the bonding wire obtained by counting only the severe hooking in the rewind test of the present invention is well related to the actual number of stoppages of the wire bonder. understood.
In addition, if the evaluation of the slight hooking is also made, the reliability of the evaluation of the winding quality of the bonding wire can be further improved.

【0027】[0027]

【発明の効果】本発明によれば、ワイヤーボンディング
に影響を及ぼすボンディングワイヤーの巻き品質を、実
際のワイヤーボンディングに近い条件で巻き戻しなが
ら、人手や資材をかけずに、短時間で経済的に評価する
ことができる。
According to the present invention, the winding quality of a bonding wire affecting wire bonding can be reduced economically in a short period of time without any manual work or material while rewinding under conditions close to actual wire bonding. Can be evaluated.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明によるボンディングワイヤーの基本的な
巻き戻し試験方法を説明するための概略の側面図であ
る。
FIG. 1 is a schematic side view for explaining a basic unwinding test method of a bonding wire according to the present invention.

【図2】本発明によるボンディングワイヤーの別の巻き
戻し試験方法を説明するための概略の側面図である。
FIG. 2 is a schematic side view for explaining another unwinding test method of a bonding wire according to the present invention.

【図3】本発明によるボンディングワイヤーの更に別の
巻き戻し試験方法を説明するための概略の側面図であ
る。
FIG. 3 is a schematic side view for explaining still another unwinding test method of a bonding wire according to the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ボンディングワイヤー 2 スプール 3、3a、3b、3c センサー DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Bonding wire 2 Spool 3, 3a, 3b, 3c Sensor

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ボンディングワイヤーを巻き付けたスプ
ールの軸を水平に保持し、スプールを回転駆動させてボ
ンディングワイヤーを巻き戻し、引張力を与えながら連
続的に垂下させ、下方に移動するボンディングワイヤー
が引っ掛かりのためスプールの回転に伴って横方向に動
いたとき、その横移動をセンサーで検知するボンディン
グワイヤーの巻き戻し試験方法において、センサーがボ
ンディングワイヤーの横移動を検知したときスプールの
回転を一旦停止させ、所定時間後に再度スプールを回転
させて巻き戻しを再開したとき、直ちにボンディングワ
イヤーの横移動がセンサーにより再検知されるか否かに
よって引っ掛かりの程度を識別することを特徴とするボ
ンディングワイヤーの巻き戻し試験方法。
1. A spool wire around which a bonding wire is wound is held horizontally, and the spool is rotated to rewind the bonding wire. The bonding wire is continuously hung down while applying a tensile force. Therefore, in the bonding wire rewind test method where the lateral movement is detected by a sensor when the lateral movement is caused by the rotation of the spool, the rotation of the spool is temporarily stopped when the sensor detects the lateral movement of the bonding wire. When the spool is rotated again after a predetermined time and rewinding is resumed, the extent of the hooking is immediately identified by whether or not the lateral movement of the bonding wire is detected again by the sensor. Test method.
【請求項2】 ボンディングワイヤーを巻き戻しながら
スプールから200〜1000mmの長さに垂下させる
ことにより、ボンディングワイヤーに引張力を付加する
ことを特徴とする、請求項1に記載のボンディングワイ
ヤーの巻き戻し試験方法。
2. The unwinding of the bonding wire according to claim 1, wherein a tensile force is applied to the bonding wire by dropping the bonding wire from the spool to a length of 200 to 1000 mm while rewinding the bonding wire. Test method.
【請求項3】 スプールから巻き戻されて垂下したボン
ディングワイヤーに横方向から空気を吹き付けることに
より、ボンディングワイヤーに引張力を付加することを
特徴とする、請求項1又は2に記載のボンディングワイ
ヤーの巻き戻し試験方法。
3. The bonding wire according to claim 1, wherein a tensile force is applied to the bonding wire by blowing air from a lateral direction onto the bonding wire unwound from the spool and hung down. Rewind test method.
【請求項4】 ボンディングワイヤーを巻き付けたスプ
ールを軸を水平に保持して定められた速度で回転させる
スプールの回転駆動部と、回転駆動部に保持されたスプ
ールの下方に配置された少なくとも1つのセンサーとを
備え、スプールから連続的に巻き戻され、垂下して下方
に移動するボンディングワイヤーが引っ掛かりのためス
プールの回転に伴って横方向に動いたとき、その横移動
をセンサーで検知するボンディングワイヤーの巻き戻し
試験装置において、前記スプールの回転駆動部はセンサ
ーがボンディングワイヤーの横移動を検知したときスプ
ールの回転を一旦停止させ、所定時間後に再度スプール
を回転させる機構を有し、再度スプールを回転させて巻
き戻しを再開したとき、直ちにボンディングワイヤーの
横移動がセンサーにより再検知されるか否かによって引
っ掛かりの程度を識別することを特徴とするボンディン
グワイヤーの巻き戻し試験装置。
4. A spool rotation drive for rotating a spool around which a bonding wire is wound at a predetermined speed while keeping a shaft horizontal, and at least one spool disposed below the spool held by the rotation drive. A bonding wire that has a sensor and detects the lateral movement with a sensor when the bonding wire that is continuously rewound from the spool and moves downward by hanging is moved in the horizontal direction with the rotation of the spool due to catching. In the rewinding test apparatus, the rotation drive unit of the spool has a mechanism for temporarily stopping the rotation of the spool when the sensor detects the lateral movement of the bonding wire, rotating the spool again after a predetermined time, and rotating the spool again. When rewinding is resumed, the lateral movement of the bonding wire is immediately applied to the sensor. An unwinding test apparatus for a bonding wire, characterized in that the degree of snagging is identified based on whether or not re-detection is performed.
【請求項5】 スプールから垂下したボンディングワイ
ヤーに横方向から空気を吹き付ける空気吹出口を備える
ことを特徴とする、請求項4に記載のボンディングワイ
ヤーの巻き戻し試験装置。
5. The apparatus according to claim 4, further comprising an air outlet for blowing air from a lateral direction to the bonding wire hanging from the spool.
【請求項6】 前記センサーが、電気接点を有する電気
的接触センサー、近接センサー、又は光センサーである
ことを特徴とする、請求項4又は5に記載のボンディン
グワイヤーの巻き戻し試験装置。
6. The apparatus according to claim 4, wherein the sensor is an electrical contact sensor having an electrical contact, a proximity sensor, or an optical sensor.
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