JPH11342611A

JPH11342611A - 液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置

Info

Publication number: JPH11342611A
Application number: JP14997498A
Authority: JP
Inventors: Masahiko Kubota; 雅彦久保田; Tomoyuki Hiroki; 知之廣木
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1998-05-29
Filing date: 1998-05-29
Publication date: 1999-12-14

Abstract

(57)【要約】【課題】インク流路を三次元配列して、高解像度の記
録を可能にし、プリンタとしてコンパクト化も容易であ
るインクジェット記録装置の記録ヘッドを提供する。【解決手段】ノズル３になる溝が両面に複数配設さ
れ、かつ、ノズル３へ供給する液体を貯めておく液室に
なる貫通孔２が設けられたノズル部材１と、ノズル部材
１の両面にそれぞれ接合されることでノズル３と液室を
構成し、ノズル部材との接合面側にはノズル３の各々の
中に配置されたヒーター１０を有する２つのヒーターボ
ードとを備えたインクジェットヘッドである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェット記
録装置のヘッド部の構造に関する。

【０００２】

【従来の技術】ドロップ・オン・デマンド式のインクジ
ェットヘッドには、２つの一般的な構成がある。一方の
構成においては、例えば、ホーキンズ（Ｈａｗｋｉｎ
ｓ）その他に対する米国再発行特許第３２５７２号明細
書において開示されているヘッド構造のように、小滴
は、インク流路内のインクの流れに対して平行であっ
て、記録ヘッドのバブル発生加熱要素の表面に対しても
平行である方向においてノズルから噴射される。この構
成は、縁部又は側面噴射と呼ばれることもある。他方の
ヘッド構成においては、例えば、アオキ（Ａｏｋｉ）そ
の他に対する米国特許第４５６８９５３号において開示
された記録ヘッドのように、小滴は、バブル発生加熱要
素の表面に対しても垂直な方向においてノズルから噴射
される。この後者の構成は、屋上噴射と呼ばれることも
ある。基本的な相違は、小滴噴射の方向にあることが理
解され得るであろう。つまり、側面噴射の構成が、加熱
要素を有する基板の平面において小滴を噴出するのに対
して、屋上噴射の構成は、加熱要素を有する基板の平面
から逸脱してそれに対する垂直な方向において小滴を噴
射するのである。

【０００３】従来、上述した印刷ヘッドは、キャリッジ
型（シリアル型）のプリンタにおいて使用されている。
この場合、情報列を印刷し、続いて記録媒体を１列の間
隔だけ段送りして、全ページの情報が印刷されるまで隣
接する情報列を印刷し続けることになる。また、この印
刷ヘッドは、ページ幅型記録ヘッドのサブユニットとし
ても使用されている。この場合、ページ幅型印刷のため
の構造的な画像棒材上に配列されることも可能である。
ページ幅型印刷において、印刷ヘッドは、複数の印刷ヘ
ッド・サブユニットを画像棒材上においてその端と端と
を当接させることによって、或いはそれらを２本の独立
した画像棒材上又は同一の画像棒材の対面側面上におい
て千鳥配列することによって、組み立てることも可能で
ある。

【０００４】従来、上述した印刷ヘッドを用いて、複数
のノズルを組み立てる方法としては、米国特許第４６９
８６４４号，第４４７７８２３号、および特開平５−２
４１９２号、特開平５−１３８８８５号等で提案されて
いる。また、電気熱変換素子から吐出口までのオリフィ
ス形状を変えたインクジェットヘッドとして、米国特許
第４６１１２１９号に提案されているものもある。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】キャリッジタイプのイ
ンクジェット記録装置におけるインクジェットヘッドで
は、上述したヘッドを高密度に配列するためには、ノズ
ルの配列ピッチを細かくするか、インクタンクを含むカ
ートリッジを組み立てるしか方法がない。ところが、前
者の方法では、ノズルおよび加熱要素の配列ピッチを微
細化しなければならないので、製造上限界が発生する。
また、後者の方法では、ＢＪＣ−６００Ｊ（キヤノン
製）等に搭載されているプリンタヘッドのように、チッ
プと呼ばれているものを枠の中で組み上げるタイプや、
ＢＪＣ−４００Ｊ等（キヤノン製）に搭載されているヘ
ッドのように、チップ内を色毎に分割しているタイプが
あるが、それぞれ、ヘッド部分が大きくなったり、使う
ノズル数が分割される分だけ少なくなる等の問題があ
る。

【０００６】本発明は上述した従来の問題点に鑑みてな
されたものであり、その目的とするところは、半導体デ
バイス製造技術を十二分に活用して、典型的な側面噴
射、すなわち縁部噴射（エッジシューター）型インクジ
ェット記録ヘッドにおいて、インク流路を三次元配列
し、高解像度の記録を可能にするインクジェット記録装
置の記録ヘッドを提供することにある。更に、プリンタ
としてコンパクト化も容易である記録ヘッドを提供する
ことにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明の液体吐出ヘッドは、液体を吐出する吐出口と
該吐出口に連通する液流路になる溝が両面に複数配設さ
れ、かつ、前記液流路へ供給する液体を貯めておく液室
になる貫通孔が設けられたノズル部材と、前記ノズル部
材の両面にそれぞれ接合されることで前記吐出口と前記
液流路と前記液室を構成し、前記ノズル部材との接合面
側には前記液流路の各々の中に配置された吐出エネルギ
ー発生素子を有する第１の基板及び第２の基板とを備
え、前記吐出口の列が２列になっている事を特徴とす
る。

【０００８】前記第１の基板及び第２の基板の各々にお
ける前記ノズル部材との接合面側には、前記吐出エネル
ギー発生素子の駆動条件を制御するための複数の素子あ
るいは電気回路が設けられていることが好ましい。これ
により、吐出エネルギー発生素子の作り込みと同時に吐
出エネルギー発生素子を制御する素子や回路が作製でき
る。

【０００９】また、前記第１の基板及び第２の基板の各
々における前記ノズル部材との接合面と反対側にも、前
記吐出エネルギー発生素子と前記吐出エネルギー発生素
子の駆動条件を制御するための複数の素子あるいは電気
回路とを設けたことで、多段の吐出口列を持つヘッドを
構成することが可能である。

【００１０】また、前記ノズル部材として両面が＜１１
０＞面であるシリコンウェハーを用い、前記吐出口及び
前記液流路になる溝と前記液室になる貫通孔とを形成す
る際に前記液室になる貫通孔は一度目の異方性エッチン
グにより形成され、前記吐出口及び前記液流路になる溝
は二度目の異方性エッチングにより形成されている。

【００１１】また、２列で形成された吐出口の列におい
て１列目の吐出口の間隔の中間に２列目の吐出口が位置
するようにずれていることにより、吐出エネルギー発生
素子を配列している密度の倍密度を持つ液体吐出ヘッド
が得られる。

【００１２】また、２列で形成された吐出口の列におい
て１列目と２列目とで前記吐出口が吐出する液滴量が異
なることにより、階調性を持つ液体吐出ヘッドが得られ
る。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。

【００１４】まず、図１及び図２を用い、本発明の液体
吐出ヘッドの一例であるインクジェット記録ヘッドを構
成するヘッド用基体について述べる。

【００１５】図１は、本発明の実施の一形態によるイン
クジェット記録ヘッド用基体のインク流路部分に相当す
る部分を示す断面図である。この図において、符号１０
０はインクジェット記録ヘッド用基体（以下、ヒーター
ボードともいう）、符号１０１はシリコン基板、符号１
０２は蓄熱層であるところの熱酸化膜を示す。符号１０
３は蓄熱層を兼ねる層間膜であるところのＳｉＯ₂膜ま
たはＳｉ₂Ｎ₄膜、符号１０４は抵抗層、符号１０５はＡ
ｌまたはＡｌ−Ｓｉ、Ａｌ−Ｃｕ等のＡｌ合金配線、符
号１０６は保護膜であるところのＳｉＯ₂膜またはＳｉ₂
Ｎ₄膜を示す。符号１０７は抵抗層１０４の発熱に伴う
化学的・物理的衝撃から保護膜１０６を守るための耐キ
ャビテーション膜である。また、符号１０８は、電極配
線１０５が形成されていない領域の抵抗層１０４の熱作
用部である。

【００１６】抵抗層１０４は、機能素子としての発熱抵
抗体を電極としての配線１０５間に配設し、発熱抵抗体
は勿論のこと、抵抗層１０４全体がＴａＮ_0.8を含む構
成となっている。このＴａＮ_0.8を含む発熱抵抗体は、
製造上のばらつきが少なく、同一基体に多数の発熱抵抗
体を形成しても、機能効果の安定性が得られた。更に、
通電を各種の条件で行っても、抵抗変化が少なく、多数
の発熱抵抗体各々の機能が安定して同等の作用を発揮す
ることができた。

【００１７】図２は上記インクジェット記録ヘッド用基
体の回路構成を示したものである。この図において、符
号４０１は一列に配列された吐出エネルギー発生素子と
しての発熱抵抗体（ヒーター）であり、符号４０２はド
ライバとして機能するパワートランジスタ、符号４０３
はラッチ回路、符号４０４はシフトレジスタを表してい
る。符号４０５はシフトレジスタ４０４にデータをシフ
トインするためのクロック信号を入力する端子、符号４
０６はシリアル画像データを入力する端子を示してい
る。符号４０７はラッチ信号の入力端子を示し、符号４
０８はパワートランジスタ４０２のオン時間を外部から
コントロールするためのヒートパルス入力端子を示して
いる。符号４０９はロジック電源用端子、符号４１０は
接地用端子を示し、符号４１１は発熱抵抗体駆動用の電
源（ＶＨ）入力端子を示している。このような構成で
は、シリアル画像データが入力端子４０６からシフトレ
ジスタ４０４に直列（シリアル）に入力される。こうし
てシフトレジスタ４０４にセットされた画像データは、
端子４０７より入力されるラッチ信号によりラッチ回路
４０３にラッチされる。そして、ヒートパルス入力端子
４０８からパルスが入力されると、画像データが“１”
となっているパワートランジスタ４０２がオン状態とな
る。これにより、対応する発熱抵抗体３０１が通電駆動
され、駆動された発熱抵抗体４０１で液流路中の液体
（インク）が加熱され、吐出口からインクが吐出されて
プリントが行なわれる。なお、このヘッド用基体にはセ
ンサ４１４、４１５が設けられており、センサ４１４、
４１５によって発熱抵抗体４０１の抵抗値を常にモニタ
ーし、その抵抗値により電源電圧や印加パルス幅を変化
させ、インクに対して一定のエネルギーが加わるように
している。また、吐出される液滴量はインクの発泡体積
と関係するが、このインクの発泡体積は発熱抵抗体及び
その周辺の温度によって変化する。そのため、吐出のた
めのヒートパルスの前に、インクが吐出しない程度のエ
ネルギーのパルス（プレヒートパルス）を加え、そのパ
ルス幅やタイミングにより発熱抵抗体及び周辺の温度を
調整することで、一定の量の液滴を吐出するようにし
て、印刷品位を維持するようにしている。

【００１８】次に、図３及び図４を用い、本発明のイン
クジェット記録ヘッドを構成するヘッド部材について述
べる。

【００１９】図３は本発明の実施の一形態によるインク
ジェット記録ヘッドのノズル部材を表している。ノズル
部材１は表面が＜１１０＞面のシリコンウェハーであ
る。符号２はインク供給用の貫通孔、符号３はインク吐
出ノズルを表している。この図に示すようにノズル部材
１はノズル３を形成する複数の溝を基板の両面に備えて
いる。ここでノズル部材１の材料として＜１１０＞面の
シリコンウェハーを用いているので、ノズル３及び貫通
孔２の形状は長方形となっている。符号４は液室を表し
ており、これはインクがノズル３に安定して供給されて
いるためにインクを溜めておく部分である。液室４はノ
ズル１と同時形成するので深さはノズルとほぼ同じであ
るが、ノズル路を形成する壁が無いぶんエッチングされ
やすいので若干ノズル３よりも深くなる。

【００２０】次に、このノズル部材の製造方法について
詳細に述べる。

【００２１】一般にＴＭＡＨ、ＫＯＨなどのエッチング
液を用いてシリコンをウェットエッチングすると、＜１
１１＞結晶面に沿ってエッチングされる異方性エッチン
グの現象が知られている。これを表面が＜１００＞面の
シリコンウェハーに対して施すと、＜１１１＞面は＜１
００＞面に対して５４．７°傾いているので表面に対し
て傾斜する形状にエッチングされてしまう。これに対し
表面が＜１１０＞面の場合、＜１１１＞面は表面に対し
て垂直な面であるので、図２及び図３に示すような垂直
な壁のノズルを形成することが可能になる。その結果、
ノズルピッチを微細にすることが可能になり、高解像度
の記録を行える記録ヘッドを提供できる。

【００２２】しかしながら、この場合はエッチング時間
が長ければ長いほど溝深さが深くなっていき、最後は貫
通孔になってしまうので、マスク形状によって溝深さを
制御することができない。すなわち、ノズルと貫通孔を
一度のエッチング工程で形成することができず、２度に
分けてマスク層のパターニング及びシリコンのエッチン
グを行わねばならない。ノズル深さはノズルの密度によ
って異なるが、一般的に１０〜数百ミクロンあるので、
例えばノズルを先に形成した場合、貫通孔を開ける際に
ノズルに均一にレジストを塗布することが難しく、ノズ
ルの保護が問題になる。逆に貫通孔を先に開けてしまう
と、ノズル面のパターニングが非常に困難になる。

【００２３】そこで、本発明におけるノズル部材の製造
工程を図４に従って説明する。

【００２４】ノズル部材は図４（ａ）に示すようにシリ
コンウェハー７を基材とした、表面が＜１１０＞面のも
のである。このシリコンウェハー７の両面を熱酸化、あ
るいはＣＶＤなどの成膜方法によって、図４（ｂ）に示
すように二酸化珪素（ＳｉＯ ₂）の薄膜８，９を形成す
る。二酸化珪素はシリコンの異方性エッチングの際のマ
スク層として機能するものであり、薄膜８、９の共通液
室に相当する部分に通常のフォトリソ技術で、図４
（ｃ）に示すように貫通孔形状のパターニングを行う。
これをＴＭＡＨなどのエッチングに浸して異方性ウェッ
トエッチングを行うと、パターニングした部分からエッ
チングが進み、深い穴を形成する（図４（ｄ）参照）。

【００２５】次に、薄膜８、９のノズルに相当する部分
上に図示しないレジスト材を塗布し、レジスト材を塗布
していない薄膜８、９を、ドライエッチングによりノズ
ル及び液室を合わせた形状にパターニングする（図４
（ｅ）参照）。これを再び異方性エッチング液に浸ける
と、吐出ノズル及びインク流路になる溝が形成され、本
発明におけるノズル部材が形成される（図４（ｆ）参
照）。

【００２６】以上のように形成されたノズル部材１を真
中にして、図１及び図２に示した構成のヒーターボード
１００を２枚貼り合わせる状態を斜視図にしたものが図
５である。この図に示すように、ノズル部材１の上下に
第１の基板及び第２の基板であるヒーターボード１００
を貼り合せた後に共通液室となる貫通孔２にインクを供
給するためのインク供給口５がノズル３の並び方向と平
行する方向でノズル部材１の両側に設けられている。ま
た、ヒーターボード１００のノズル部材１との接合面側
に吐出エネルギー発生素子としての発熱抵抗体であるヒ
ーター１０がノズル３の各々の中に配置されるように形
成されている。

【００２７】このような形態において、１列目の吐出口
と２列目の吐出口の位置を半ピッチずらすように形成す
ることで、加熱素子を配列している密度の倍密度を持つ
インクジェット記録ヘッドを作ることができる。また、
１列目と２列目とで吐出インクの滴量が異なるように形
成することで、階調性を持つインクジェット記録ヘッド
を作ることができる。この場合、本発明のノズル部材に
おけるノズル開口面積を１列目と２列目とで変えること
や、そのノズル開口面積は同じままでノズル内に配設さ
れている加熱要素の位置や大きさを変えることで１列目
と２列目とで吐出インクの滴量を異ならせることができ
る。

【００２８】また、上述した形態の記録ヘッドでは、上
下各ヒーターボードのノズル部材との接合面にそれぞれ
図２に示した回路を構成しているが、これと同様の回路
を下側のヒーターボードの外側面や上側のヒーターボー
ドの外側面に形成してあってもよい。このようにすれ
ば、多段のノズル列を持つ記録ヘッドをコンパクトに構
成することができ、一色で使用すると、高密度の記録や
階調性の高い記録が実現できる。また、４段のノズル列
にして、各段の液室にシアン、イエロー、マゼンダ、ブ
ラックの色インクを供給すれば、超小型のカラープリン
トヘッドを実現することができる。

【００２９】（その他の実施の形態）図６は上記のイン
クジェット記録ヘッドを装着して適用することのできる
インクジェット記録装置の一例を示す概略斜視図であ
る。図６において、符号６０１は上記のインクジェット
記録ヘッドとインクタンクとが一体となった、あるいは
インクタンクが着脱可能なインクジェットヘッドカート
リッジを示す。このヘッドカートリッジ６０１は、駆動
モータ６０２の正逆回転に連動して駆動力伝達ギア６０
３および６０４を介して回転するリードスクリュー６０
５の螺旋溝６０６に対して係合するキャリッジ６０７上
に搭載されており、上記駆動モータ６０２の動力によっ
てキャリッジ６０７とともにガイド６０８に沿って矢印
ａおよびｂ方向に往復移動される。図示しない記録媒体
供給装置によってプラテン６０９上を搬送されるプリン
ト用紙（被記録材）Ｐの紙押さえ板６１０は、キャリッ
ジ移動方向にわたってプリント用紙Ｐをプラテンローラ
６０９に対して押圧する。

【００３０】上記リードスクリュー６０５の一端の近傍
には、フォトカプラ６１１および６１２が配設されてい
る。これらはキャリッジ６０７のレバー６０７ａのこの
域での存在を確認して駆動モータ６０２の回転方向切り
換え等を行うためのホームポジション検知手段である。
同図において、符号６１３は上述のインクジェット記録
ヘッドの吐出口のある前面を覆うキャップ部材６１４を
支持する支持部材を示している。また、符号６１５はキ
ャップ部材６１４の内部にヘッド６０１から空吐出等さ
れて溜まったインクを吸引するインク吸引手段を示して
いる。この吸引手段６１５によりキャップ内開口部を介
してヘッド６０１の吸引回復が行われる。符号６１７は
クリーニングブレードを示し、符号６１８はブレード６
１７を前後方向（上記キャリッジ６０７の移動方向に直
交する方向）に移動可能にする移動部材を示しており、
ブレード６１７および移動部材６１８は本体支持体６１
９に支持されている。上記ブレード６１７はこの形態に
限らず、他の周知のクリーニングブレードであってもよ
い。符号６２０は吸引回復操作にあたって、吸引を開始
するためのレバーであり、キャリッジ６０７と係合する
カム６２１の移動に伴って移動し、駆動モータ６０２か
らの駆動力がクラッチ切り換え等の公知の伝達手段で移
動制御される。上記ヘッド６０１に設けられた発熱体２
０２に信号を付与したり、前述した各機構の駆動制御を
司ったりするインクジェット記録制御部は装置本体側に
設けられており、ここには図示しない。

【００３１】上述の構成を有するインクジェット記録装
置６００は、図示しない被記録材供給装置によりプラテ
ン６０９上を搬送されるプリント用紙Ｐに対し、ヘッド
６０１は用紙Ｐの全幅にわたって往復移動しながら記録
を行う。

【００３２】

【発明の効果】以上説明したように本発明は、吐出口及
び液流路になる溝が両面に複数配設され、かつ、各液流
路へと通じる液室になる貫通孔が設けられたノズル部材
と、ノズル部材の両面にそれぞれ接合されることで前記
吐出口と前記液流路と前記液室を構成し、前記ノズル部
材との接合面側に前記液流路の各々の中に配置された吐
出エネルギー発生素子を有する第１の基板及び第２の基
板とを備えたことで、前記吐出口の列が２列になった液
体吐出ヘッドを超小型に作製することができる。

【００３３】また、第１の基板及び第２の基板に吐出エ
ネルギー素子と同時に吐出エネルギー素子を駆動制御す
る素子及び回路を作製することでヘッドのコンパクト化
が達成される。また、第１の基板及び第２の基板におけ
る前記ノズル部材との接合面と反対側にも、吐出エネル
ギー素子を作製すれば、吐出口の列が多段になった液体
吐出ヘッドを超小型に実現することができる。この結
果、コンパクトなカラープリントヘッドを実現できる。
さらに、一色で使用した場合、各段で吐出口のピッチを
ずらしたり、吐出液量を異ならせることで、高密度の記
録や高階調性の記録を行える。

【００３４】さらに、吐出エネルギー発生素子を有する
第１の基板及び第２の基板と同様、ノズル部材も半導体
デバイス製造技術を活用して、吐出口及び液流路になる
溝を形成したことにより、ノズルピッチの微細化も容易
である。特に本発明では、ノズル部材に両面が＜１１０
＞面であるシリコンウェハーを用い、液室になる貫通孔
を一度目の異方性エッチングにより形成し、吐出口及び
液流路になる溝を二度目の異方性エッチングにより形成
したことで、吐出口及び液流路になる溝を形成する壁パ
ターンが容易にシリコンウェハーに対して垂直に作製で
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の一形態によるインクジェット記
録ヘッド用基体のインク流路部分に相当する部分を示す
断面図である。

【図２】図１に示したインクジェット記録ヘッド用基体
の回路構成を示した図である。

【図３】本発明の実施の一形態によるインクジェット記
録ヘッドのノズル部材を表す図である。

【図４】図３に示したノズル部材の製造工程を説明する
ための図である。

【図５】図３に示したノズル部材を真中にして、図１及
び図２に示した構成のヒーターボード基板２枚を貼り合
わせる状態を示している斜視図である。

【図６】本発明の実施の一形態によるインクジェット記
録ヘッドを装着して適用することのできるインクジェッ
ト記録装置の一例を示す概略斜視図である。

【符号の説明】

１ノズル部材２貫通孔３ノズル４液室５インク供給口７Ｓｉウェハー８、９ＳｉＯ₂の薄膜１０ヒーター１００記録ヘッド用基体（ヒーターボード）１０１シリコン基板１０２熱酸化膜１０３層間膜１０４抵抗層１０５電極配線１０６保護膜１０７耐キャビテーション膜１０８熱作用部４０１発熱抵抗体４０２パワートランジスタ４０３ラッチ回路４０４シフトレジスタ４１４，４１５センサ６００インクジェット記録装置６０１インクジェットヘッドカートリッジ６０２駆動モータ６０３、６０４駆動力伝達ギア６０５リードスクリュー６０６螺旋溝６０７キャリッジ６０７ａレバー６０８ガイド６０９プラテン６１０紙押さえ板６１１、６１２フォトカプラ６１３支持部材６１４キャップ部材６１５インク吸引手段６１７クリーニングブレード６１８移動部材６１９本体支持体６２０レバー６２１カムＰプリント用紙

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】液体を吐出する吐出口と該吐出口に連通
する液流路とになる溝が両面に複数個並んで配設され、
かつ、前記液流路へ供給する液体を貯めておく液室にな
る貫通孔が設けられたノズル部材と、前記ノズル部材の両面にそれぞれ接合されることで前記
吐出口と前記液流路と前記液室を構成し、前記ノズル部
材との接合面側に前記液流路の各々の中に配置された吐
出エネルギー発生素子を有する第１の基板及び第２の基
板とを備え、前記吐出口の列が２列になっている液体吐出ヘッド。
【請求項２】前記ノズル部材における前記吐出口及び
前記液流路になる溝と前記液室になる貫通孔とは異方性
エッチングにより形成されている請求項１に記載の液体
吐出ヘッド。
【請求項３】前記ノズル部材は、両面が＜１１０＞面
であるシリコンウェハーからなる請求項２に記載の液体
吐出ヘッド。
【請求項４】前記液室になる貫通孔は一度目の異方性
エッチングにより形成され、前記吐出口及び前記液流路
になる溝は二度目の異方性エッチングにより形成されて
いる請求項３に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】２列で形成された吐出口の列において１
列目の吐出口の間隔の中間に２列目の吐出口が位置する
ようにずれていることを特徴とする請求項１に記載の液
体吐出ヘッド。
【請求項６】２列で形成された吐出口の列において１
列目と２列目とで前記吐出口が吐出する液滴量が異なる
ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】前記第１の基板及び第２の基板の各々に
おける前記ノズル部材との接合面側には、前記吐出エネ
ルギー発生素子の駆動条件を制御するための複数の素子
あるいは電気回路が設けられている請求項１に記載の液
体吐出ヘッド。
【請求項８】前記第１の基板及び第２の基板の各々に
おける前記ノズル部材との接合面と反対側にも、前記吐
出エネルギー発生素子と前記吐出エネルギー発生素子の
駆動条件を制御するための複数の素子あるいは電気回路
とが設けられている請求項７に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項９】前記素子あるいは電気回路として、少な
くとも、前記吐出エネルギー発生素子を駆動するドライ
バと、画像データをシリアルに受け取り前記ドライバに
パラレルに出力するためのシフトレジスタと、前記ドラ
イバの駆動条件を制御する制御回路とを有する請求項７
又は８に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１０】前記吐出エネルギー発生素子は発熱抵
抗体である請求項１から９のいずれか１項に記載の液体
吐出ヘッド。
【請求項１１】請求項１から９のいずれか１項に記載
の液体吐出ヘッドと、該液体吐出ヘッドから吐出された
液体を受ける被記録媒体を搬送する被記録媒体搬送手段
とを備えた液体吐出装置。
【請求項１２】前記液体吐出ヘッドからインクを吐出
し、被記録媒体にインクを付着させることで記録を行う
請求項１１に記載の液体吐出装置。