JPH11334065A - Ink jet head and manufacture thereof - Google Patents

Ink jet head and manufacture thereof

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JPH11334065A
JPH11334065A JP14145198A JP14145198A JPH11334065A JP H11334065 A JPH11334065 A JP H11334065A JP 14145198 A JP14145198 A JP 14145198A JP 14145198 A JP14145198 A JP 14145198A JP H11334065 A JPH11334065 A JP H11334065A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
top plate
heater
heater board
marking
ink jet
Prior art date
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Pending
Application number
JP14145198A
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Japanese (ja)
Inventor
Fumio Ichikawa
文雄 市川
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Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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Publication date
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  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To enhance alignment accuracy between a heater board and a top plate by marking the heater board on the ejection face side at a position aligned with a heater and the top plate. SOLUTION: The position of a heater 1a on a heater board 1 is measured from the upper surface thereof by means of an objective lens 4, an ITV 5 and an image processor 6 for processing the output from the ITV. A stage 10 mounting a heater board 1 is moved such that the measuring position is fixed. The operation is repeated until the deviation falls within a specified dimension. When the measuring position is fixed, a laser 7 is oscillated by delivering a command from a controller 3. The laser 7 uses the second harmonic or basic wave of a YAG laser. Since the laser light is projected to a mask 8 and focused on the ejection face, i.e., the dicing face 1c, of the mask 8, the heater board 1 can be marked at a position aligned with the heater 1a.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明はインクジェット記録
に用いる、インクを吐出するための改良されたインクジ
ェットヘッドおよびその製造方法に関する。
[0001] 1. Field of the Invention [0002] The present invention relates to an improved ink jet head for ejecting ink used in ink jet recording and a method of manufacturing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】インクジェットヘッドのヒータボードの
従来の構造は、パターニングされた面にヒータを有し、
吐出面側はウエハーから切断したときのダイシイング面
を有していた。そしてこのヒータボード上に、溝を有す
る天板が、溝とヒータとの位置合せをして接着剤などに
より固定されていた。
2. Description of the Related Art The conventional structure of a heater board of an ink jet head has a heater on a patterned surface,
The ejection surface side had a dicing surface when cut from the wafer. On the heater board, a top plate having a groove is fixed with an adhesive or the like by aligning the groove with the heater.

【0003】このヒータボードのヒータの位置と天板の
溝との位置合わせは、以下の方法で行われていた。
The positioning of the heater on the heater board and the groove on the top plate has been performed by the following method.

【0004】一つの方法は、ヒータボード上のヒータの
位置を画像処理して位置測定を行い、その上から天板を
乗せ、天板の穴の位置もしくは溝の位置を測定し、天板
の位置あわせを行うものである。この方法は、工程を分
割できないため装置のタクトがかかっていた。
In one method, the position of a heater on a heater board is image-processed to perform position measurement, a top plate is placed on the top, a hole position or a groove position of the top plate is measured, and the position of the top plate is measured. This is for positioning. In this method, since the process cannot be divided, the tact of the apparatus is required.

【0005】また、別の方法は、ヒータの位置から一定
寸法で切断したヒータボード断面に、溝位置から一定寸
法の位置に突き当て面を有する天板ヒータボードに乗
せ、上記ヒータ断面と突き当て面を突き当てるものであ
る。この方法は、必要以上にヒータボードの切断精度が
必要になること、又、天板の端面で位置あわせを行うた
め天板のピッチずれの影響を受けやすかった。
[0005] Another method is to place a heater board cross section cut at a certain dimension from the heater position on a top plate heater board having a butting surface at a certain dimension position from the groove position, and to make contact with the heater cross section. It hits the surface. In this method, the cutting accuracy of the heater board is required more than necessary, and the alignment is performed at the end face of the top board, so that it is easily affected by the pitch shift of the top board.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、ヒー
タボードと天板との位置合せ精度が向上し、かつ天板の
ピッチずれの影響を受けにくいインクジェットヘッドお
よびその製造方法を提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide an ink-jet head which has improved positioning accuracy between a heater board and a top plate and is less susceptible to a pitch shift of the top plate, and a method of manufacturing the same. It is in.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明の上記目的は、以
下に記載するインクジェットヘッドおよびその製造方法
により達成される。 (1)ヒータボードに、オリフィスプレートを有する天
板を固定してなるインクジェットヘッドにおいて、該ヒ
ータボードが、その吐出面側に、ヒータの位置にあわせ
て、天板との位置合せをして固定するためのマーキング
を有するインクジェットヘッド。 (2)該マーキングを該ヒータボードの吐出面側のほぼ
中央に設ける上記(1)に記載のインクジェットヘッ
ド。 (3)ヒータボードに、オリフィスプレートを有する天
板を固定することからなるインクジェットヘッドの製造
方法であって、該ヒータボードの吐出面側に、ヒータの
位置にあわせて、天板との位置合せをして固定するため
のマーキングを行う工程と、該ヒータボード状に載置し
た天板のオリフィスプレートの穴を通して前記マーキン
グの位置と天板の溝位置のずれを一定の範囲に入るよう
に調整する調整工程とからなるインクジェットヘッドの
製造方法。 (4)該ヒータボード上のヒータの位置を、対物レンズ
と、ITVと、その出力を画像処理する画像処理装置と
を用いて測定し、この位置が所定の位置から一定のずれ
範囲に入るように移動し、ついで該ヒータの位置に合せ
て該吐出面側にレーザ光を用いてマーキングを行う上記
(3)に記載の方法。 (5)該マーキングを該吐出面側のほぼ中央に設ける上
記(3)または(4)に記載の方法。 (6)該ヒータボード上に該天板を載置し、対物レンズ
と、ITVと、その出力を画像処理する画像処理装置と
を用いて、該天板のオリフィスプレートの穴の位置の、
該マーキングからのずれ量を所定の範囲内に入るように
該天板を移動させ、ついで該天板を該ヒータボードに固
定する上記(3)〜(5)のいずれかに記載の方法。
The above object of the present invention is attained by the following ink jet head and a method of manufacturing the same. (1) In an ink jet head in which a top plate having an orifice plate is fixed to a heater board, the heater board is fixed to the discharge surface side thereof in alignment with the top plate in accordance with the position of the heater. Ink-jet head having markings for printing. (2) The ink jet head according to the above (1), wherein the marking is provided substantially at the center on the ejection surface side of the heater board. (3) A method for manufacturing an ink jet head, comprising fixing a top plate having an orifice plate to a heater board, wherein the position of the heater board is aligned with the position of the heater on the discharge surface side of the heater board. A step of performing marking for fixing by adjusting the position of the marking and the groove position of the top plate through a hole in the orifice plate of the top plate placed on the heater board so as to fall within a certain range. And a method of manufacturing an ink jet head. (4) The position of the heater on the heater board is measured using an objective lens, an ITV, and an image processing device that performs image processing on the output of the heater so that the position falls within a certain deviation range from a predetermined position. (3) The method according to (3), wherein the laser beam is used to mark the ejection surface in accordance with the position of the heater. (5) The method according to (3) or (4), wherein the marking is provided substantially at the center on the ejection surface side. (6) Place the top plate on the heater board, and use an objective lens, an ITV, and an image processing device that performs image processing on the output of the top plate to determine the position of the hole in the orifice plate of the top plate.
The method according to any one of the above (3) to (5), wherein the top plate is moved so that an amount of deviation from the marking falls within a predetermined range, and then the top plate is fixed to the heater board.

【0008】上記のインクジェットヘッドおよびインク
ジェットヘッドの製造方法によれば、ヒータボードの吐
出面側にマーキングすることで天板のオリフィスプレー
トの光が透過可能な薄い膜を通してそのマーキングと穴
位置とが1画面の画像処理の中で捕らえられるため、位
置合せ精度が向上する。また、ヒータボードの吐出面側
のほぼ中央にマーキングを行うことで天板中央で位置合
せができるため天板のピッチずれの影響を、天板の端面
で位置合せを行う場合の1/2に押さえることができ
る。
According to the above-described ink jet head and the method of manufacturing the ink jet head, by marking on the discharge surface side of the heater board, the marking and the hole position can be set to 1 through the light-permeable thin film of the orifice plate of the top plate. Since the image is captured in the image processing of the screen, the alignment accuracy is improved. In addition, since marking can be performed at the center of the top plate by performing marking at almost the center on the discharge surface side of the heater board, the influence of the pitch shift of the top plate can be reduced to half of that when positioning at the end surface of the top plate Can be held down.

【0009】[0009]

【発明の実施の形態】まず、本発明のインクジェットヘ
ッドの正面図である図1、マーキングと天板の穴とを示
すヒータボード正面図である図2、ヒータボードのヒー
タ位置と吐出面側のマーキング位置とを示すヒータボー
ドの斜視図である図3、ヒータボードのヒータとマーキ
ングとの位置関係を示すヒータボードの上面および正面
図である図4、マーキング装置の模式図である図5およ
び図5のマーキング装置の部分平面図である図6を参照
して本発明のインクジェットヘッドのマーキングにつき
説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS First, FIG. 1 is a front view of an ink jet head according to the present invention, FIG. 2 is a front view of a heater board showing markings and holes of a top plate, and FIG. FIG. 3 is a perspective view of the heater board showing a marking position, FIG. 4 is a top view and a front view of the heater board showing a positional relationship between the heater of the heater board and the marking, and FIGS. 5 and 5 are schematic views of a marking device. The marking of the ink jet head of the present invention will be described with reference to FIG.

【0010】ヒータボード1は上面にヒータ1aを、ま
たダイシング面1cにマーキング1bを有する。マーキ
ング1bの位置は吐出面の穴並び方向のほぼ中央で、ヒ
ータの位置と合致する位置で、かつ天板の接合面から1
00ミクロン以内であるのが好ましい。天板のほぼ中央
で位置合せをすることができるので、天板の端面で位置
合せする場合に比較して天板のピッチずれの影響を1/
2に押さえることができるからである。マーキングの形
状は図示したものに限定されず、どのような形状のもの
でもよい。またマーキング1bの大きさは50ミクロン
角程度であるのが好ましい。天板とヒータボードとの接
合時の画像処理を行う際に、このマーキングと天板2の
穴2aとを一画面に収めることが望まれる。また、測定
精度を1ミクロン程度におさえるには、分解能を0.5
ミクロン程度にすることが望まれる。このときの、画像
処理のエリアはフレーム処理で250ミクロン角とな
る。従って、この範囲に入る程度のマーキングの位置お
よび大きさが必要となる。例えば、50ミクロン角のマ
ーキングを天板の接合面から100ミクロン以内の距離
で離れたヒータボードの吐出面側に記録すれば、天板と
ヒータボード接合時の画像処理を行う際に一画面に収容
することができる。ただし、上記以外の位置および大き
さであっても、本発明の効果が失われるものではない。
The heater board 1 has a heater 1a on an upper surface and a marking 1b on a dicing surface 1c. The position of the marking 1b is substantially at the center of the hole arrangement direction of the discharge surface, at a position matching the position of the heater, and at a position 1 mm from the joint surface of the top plate.
Preferably it is within 00 microns. Since the positioning can be performed almost at the center of the top plate, the influence of the pitch shift of the top plate is reduced by 1 / compared to the case where the positioning is performed at the end surface of the top plate.
This is because it can be suppressed to 2. The shape of the marking is not limited to the illustrated one, but may be any shape. The size of the marking 1b is preferably about 50 microns square. When performing image processing at the time of joining the top plate and the heater board, it is desired that the marking and the hole 2a of the top plate 2 be contained in one screen. To keep the measurement accuracy at about 1 micron, a resolution of 0.5
It is desired to be on the order of microns. At this time, the area of the image processing is 250 microns square in the frame processing. Therefore, the position and size of the marking that falls within this range are required. For example, if a 50-micron square marking is recorded on the discharge surface side of the heater board at a distance of 100 microns or less from the joint surface of the top plate, a single screen can be displayed when performing image processing when joining the top plate and the heater board. Can be accommodated. However, the effect of the present invention is not lost even if the position and size are other than those described above.

【0011】次に、マーキングを行う方法について、図
5および図6を参照して説明する。
Next, a method of performing marking will be described with reference to FIGS.

【0012】ヒータボード1の上面から対物レンズ4と
ITV5とそのITVの出力を画像処理する画像処理装
置6によって、ヒータボード1上のヒータ1aの位置を
測定する。この測定位置が決まった位置に来るようにヒ
ータボード1を乗せているステージ10を移動させる。
ずれが一定の寸法になるまでこの操作を繰り返す。一定
の位置に来たらレーザ7に制御装置3から指令を出して
レーザ発振をさせる。レーザ7は、例えばYAGレーザ
の第2高調波もしくは基本波を使用する。レーザ光はマ
スク8に照射され、マスク8を通過した光は投影レンズ
9を通してヒータボード1の吐出面側であるダイシング
面1cに結像され、これによってヒータボード1のヒー
タ1aの位置にあわせた位置にマーキングをすることが
できる。
The position of the heater 1a on the heater board 1 is measured by the objective lens 4, the ITV 5, and the image processing device 6 for performing image processing on the output of the ITV from the upper surface of the heater board 1. The stage 10 on which the heater board 1 is mounted is moved so that the measurement position is at a predetermined position.
This operation is repeated until the displacement reaches a certain size. When a certain position is reached, a command is issued from the control device 3 to the laser 7 to cause the laser 7 to oscillate. As the laser 7, for example, a second harmonic or a fundamental wave of a YAG laser is used. The laser beam is applied to the mask 8, and the light passing through the mask 8 forms an image on the dicing surface 1 c on the discharge surface side of the heater board 1 through the projection lens 9, thereby adjusting the position of the heater 1 a of the heater board 1. The location can be marked.

【0013】さらに、天板とヒータボードとの接合を説
明するための正面図である図7、画像処理装置による位
置合せを説明するためのヒータボードの部分正面図であ
る図8および天板とヒータボードとの位置合せのための
装置の模式図である図9を参照して天板とヒータボード
とを位置合せして固定する方法を説明する。
FIG. 7 is a front view for explaining the bonding between the top plate and the heater board, FIG. 8 is a partial front view of the heater board for explaining the alignment by the image processing apparatus, and FIG. A method for aligning and fixing the top plate and the heater board will be described with reference to FIG. 9 which is a schematic view of an apparatus for aligning the heater board.

【0014】アルミプレート300に取り付けられたヒ
ータボード1を図示しないオートハンドで供給後、図示
しないストッパーと図示しない押し機構で位置決めし、
アルミプレート300をクランプ機構107とアクチュ
エータ108によりクランプする。その上から天板2を
乗せる。天板2はよせ機構103、105、そのシリン
ダー104、106により片寄せされてヒータボードの
面に密着される。そして穴並び方向に天板を押す押し機
構120、駆動系121と、その反対側に配置されたば
ね101により支えられた支持棒102とにより挟持さ
れた天板2を駆動系121により天板2の位置を移動さ
せることが可能な機構となっている。対物レンズ202
とITV201により、天板2の穴2aの位置とヒータ
ボードのマーキングの位置の差を測定する。この差分を
制御装置204に転送し、制御装置204はステージ2
05をその量だけ移動させる。この測定と移動を前記差
分が、図示しないメモリに記憶された範囲内に入るまで
繰り返し行なう。その後、ヒータボード1と天板2を接
着剤の塗布等により固定する。
After the heater board 1 attached to the aluminum plate 300 is supplied by an automatic hand (not shown), the heater board 1 is positioned by a stopper (not shown) and a pushing mechanism (not shown).
The aluminum plate 300 is clamped by the clamp mechanism 107 and the actuator 108. The top plate 2 is placed on top of it. The top plate 2 is biased by the bending mechanisms 103 and 105 and its cylinders 104 and 106 and is brought into close contact with the surface of the heater board. Then, the top plate 2 sandwiched by the pressing mechanism 120 for pushing the top plate in the hole arrangement direction, the drive system 121 and the support rod 102 supported by the spring 101 arranged on the opposite side is used to drive the top plate 2 by the drive system 121. It is a mechanism that can move the position. Objective lens 202
And the ITV 201, the difference between the position of the hole 2a of the top plate 2 and the position of the marking on the heater board is measured. The difference is transferred to the control device 204, and the control device 204
05 by that amount. This measurement and movement are repeated until the difference falls within a range stored in a memory (not shown). Thereafter, the heater board 1 and the top plate 2 are fixed by applying an adhesive or the like.

【0015】上記した本発明は、特にインクジェット記
録方式の中でも、熱エネルギーを利用して飛翔液滴を形
成し、記録を行うインクジェット記録方式の記録ヘッ
ド、記録装置に於いて、優れた効果をもたらすものであ
る。
The present invention as described above provides an excellent effect particularly in a recording head and a recording apparatus of an ink jet recording system in which a flying droplet is formed by utilizing thermal energy and recording is performed among the ink jet recording systems. Things.

【0016】その代表的な構成や原理については、例え
ば、米国特許第4723129号明細書、同第4740
796号明細書に開示されており、本発明はこれらの基
本的な原理を用いて行なうものが好ましい。この方式は
所謂オンデマンド型、コンティニュアス型のいずれにも
適用可能である。
The typical configuration and principle are described in, for example, US Pat. Nos. 4,723,129 and 4,740.
No. 796, and the present invention is preferably performed using these basic principles. This method can be applied to both on-demand type and continuous type.

【0017】この記録方式を簡単に説明すると、液体
(インク)が保持されているシートや液路に対応して配
置されている電気熱変換体に、記録情報に対応して液体
(インク)に核沸騰現象を越え、膜沸騰現象を生じる様
な急速な温度上昇を与えるための少なくとも一つの駆動
信号を印加することによって、熱エネルギーを発生せし
め、記録ヘッドの熱作用面に膜沸騰を生じさせる。この
様に液体(インク)から電気熱変換体に付与する駆動信
号に一対一で対応した気泡を形成出来るため、特にオン
デマンド型の記録法には有効である。この気泡の成長,
収縮により吐出孔を介して液体(インク)を吐出させ
て、少なくとも一つの滴を形成する。この駆動信号をパ
ルス形状とすると、即時適切に気泡の成長収縮が行なわ
れるので、特に応答性に優れた液体(インク)の吐出が
達成でき、より好ましい。このパルス形状の駆動信号と
しては、米国特許第4463359号明細書、同第43
45262号明細書に記載されているようなものが適し
ている。尚、上記熱作用面の温度上昇率に関する発明の
米国特許第4313124号明細書に記載されている条
件を採用すると、更に優れた記録を行なうことができ
る。
The recording method will be briefly described. An electrothermal transducer disposed corresponding to a sheet or a liquid path holding a liquid (ink) is provided with a liquid (ink) corresponding to recording information. Heat energy is generated by applying at least one drive signal for providing a rapid temperature rise that exceeds the nucleate boiling phenomenon and causes a film boiling phenomenon, thereby causing film boiling on the heat-acting surface of the recording head. . As described above, since bubbles corresponding to the drive signal applied to the electrothermal converter from the liquid (ink) on a one-to-one basis can be formed, it is particularly effective for an on-demand type recording method. The growth of this bubble,
The liquid (ink) is ejected through the ejection hole by the contraction to form at least one droplet. When the drive signal is formed into a pulse shape, the growth and shrinkage of the bubble are performed immediately and appropriately, so that the ejection of liquid (ink) having particularly excellent responsiveness can be achieved, which is more preferable. Examples of the drive signal in the form of a pulse include those described in U.S. Pat.
Suitable are those described in US Pat. No. 45,262. If the conditions described in U.S. Pat. No. 4,313,124 relating to the temperature rise rate of the heat acting surface are adopted, more excellent recording can be performed.

【0018】記録ヘッドの構成としては、上述の各明細
書に開示されているような吐出孔、液流路、電気熱変換
体を組み合わせた構成(直線状液流路または直角液流
路)の他に、米国特許第4558333号明細書、米国
特許第4459600号明細書に開示されている様に、
熱作用部が屈曲する領域に配置された構成を持つものも
本発明に含まれる。
The configuration of the recording head is a combination of a discharge hole, a liquid flow path, and an electrothermal converter (a linear liquid flow path or a right-angle liquid flow path) as disclosed in the above-mentioned respective specifications. In addition, as disclosed in U.S. Pat. Nos. 4,558,333 and 4,459,600,
The present invention also includes a configuration in which the heat acting portion is arranged in a bent region.

【0019】加えて、複数の電気熱変換体に対して、共
通するスリットを電気熱変換体の吐出孔とする構成を開
示する特開昭59年第123670号公報や熱エネルギ
ーの圧力波を吸収する開孔を吐出部に対応させる構成を
開示する特開昭59年第138461号公報に基づいた
構成としても本発明は有効である。
In addition, Japanese Unexamined Patent Publication No. 123670/1984 discloses a configuration in which a common slit is used as a discharge hole of an electrothermal transducer for a plurality of electrothermal transducers, or absorbs a pressure wave of thermal energy. The present invention is also effective in a configuration based on JP-A-59-138461, which discloses a configuration in which the opening to be made corresponds to the discharge section.

【0020】更に、本発明が有効に利用される記録ヘッ
ドとしては、記録装置が記録できる記録媒体の最大幅に
対応した長さのフルラインタイプの記録ヘッドがある。
このフルラインヘッドは、上述した明細書に開示されて
いるような記録ヘッドを複数組み合わせることによって
フルライン構成にしたものや、一体的に形成された一個
のフルライン記録ヘッドであっても良い。
Further, as a recording head in which the present invention is effectively used, there is a full line type recording head having a length corresponding to the maximum width of a recording medium on which a recording apparatus can record.
The full line head may be a full line configuration by combining a plurality of recording heads as disclosed in the above specification, or may be a single full line recording head formed integrally.

【0021】加えて、装置本体に装着されることで、装
置本体との電気的な接続や装置本体からのインクの供給
が可能になる交換自在のチップタイプの記録ヘッド、あ
るいは記録ヘッド自体に一体的に設けられたカートリッ
ジタイプの記録ヘッドを用いた場合にも本発明は有効で
ある。
In addition, the print head is replaceable with a print head of a chip type which can be electrically connected to the main body of the apparatus or supplied with ink from the main body of the apparatus, or is integrated with the print head itself. The present invention is also effective when a cartridge-type recording head provided in a fixed manner is used.

【0022】また、本発明の記録装置に、記録ヘッドに
対する回復手段や、予備的な補助手段等を付加すること
は、本発明の記録装置を一層安定にすることができるの
で好ましいものである。これらを具体的に挙げれば、記
録ヘッドに対しての、キャッピング手段、クリーニング
手段、加圧或は吸引手段、電気熱変換体或はこれとは別
の加熱素子、或はこれらの組み合わせによる予備加熱手
段、記録とは別の吐出を行なう予備吐出モードを行なう
手段を付加することも安定した記録を行なうために有効
である。
It is preferable to add recovery means for the print head, preliminary auxiliary means, and the like to the recording apparatus of the present invention, since the recording apparatus of the present invention can be further stabilized. More specifically, preheating of the recording head by capping means, cleaning means, pressurizing or suction means, an electrothermal transducer or another heating element, or a combination thereof. Means and means for performing a preliminary ejection mode for performing ejection other than printing are also effective for performing stable printing.

【0023】更に、記録装置の記録モードとしては黒色
等の主流色のみを記録するモードだけではなく、記録ヘ
ッドを一体的に構成したものか、複数個を組み合わせて
構成したものかのいずれでも良いが、異なる色の複色カ
ラーまたは、混色によるフルカラーの少なくとも一つを
備えた装置にも本発明は極めて有効である。
Further, the recording mode of the recording apparatus is not limited to a mode for recording only the mainstream color such as black, but may be a mode in which a recording head is integrally formed or a plurality of recording heads are combined. However, the present invention is extremely effective for an apparatus provided with at least one of multiple colors of different colors or full color by mixing colors.

【0024】以上説明した本発明の例においては、液体
インクを用いて説明しているが、本発明では室温で固体
状であるインクであっても、室温で軟化状態となるイン
クであっても用いることができる。上述のインクジェッ
ト装置ではインク自体を30℃以上70℃以下の範囲内
で温度調整を行ってインクの粘性を安定吐出範囲にある
ように温度制御するものが一般的であるから、使用記録
信号付与時にインクが液状をなすものであれば良い。
In the embodiments of the present invention described above, the description is made using the liquid ink. However, in the present invention, the ink which is solid at room temperature or the ink which becomes soft at room temperature is used. Can be used. In general, in the above-described ink jet device, the temperature of the ink itself is adjusted within a range of 30 ° C. or more and 70 ° C. or less to control the temperature so that the viscosity of the ink is in a stable ejection range. It is sufficient if the ink is in a liquid state.

【0025】加えて、熱エネルギーによるヘッドやイン
クの過剰な昇温をインクの固形状態から液体状態へ状態
変化のエネルギーとして使用せしめることで積極的に防
止するか、またはインクの蒸発防止を目的として放置状
態で固化するインクを用いることも出来る。いずれにし
ても熱エネルギーの記録信号に応じた付与によってイン
クが液化してインク液状として吐出するものや、記録媒
体に到達する時点ではすでに固化し始めるもの等のよう
な、熱エネルギーの付与によって初めて液化する性質を
持つインクの使用も本発明には適用可能である。
In addition, excessive heating of the head or the ink due to thermal energy is positively prevented by using the ink as a state change energy from a solid state to a liquid state, or for the purpose of preventing evaporation of the ink. It is also possible to use an ink that solidifies in a standing state. In any case, by applying heat energy, such as one in which the ink liquefies and is ejected as an ink liquid by applying the heat energy according to the recording signal, or one which already starts to solidify when reaching the recording medium, Use of an ink having a liquefying property is also applicable to the present invention.

【0026】このようなインクは、特開昭54−568
47号公報あるいは特開昭60−71260号公報に記
載されるような、多孔質シートの凹部または貫通孔に液
状または固形物として保持された状態で、電気熱変換体
に対して対向するような形態としても良い。
Such an ink is disclosed in JP-A-54-568.
No. 47 or Japanese Unexamined Patent Publication No. Sho 60-71260, in a state where it is held as a liquid or solid substance in a concave portion or a through hole of a porous sheet and faces an electrothermal converter. It is good also as a form.

【0027】本発明において、上述した各インクにたい
して最も有効なものは、上述した膜沸騰方式を実行する
ものである。
In the present invention, the most effective one for each of the above-mentioned inks is to execute the above-mentioned film boiling method.

【0028】図10は本発明により得らわた記録ヘッド
をインクジェットヘッドカートリッジ(IJC)として
装着したインクジェット記録装置(IJRA)の一例を
示す外観斜視図である。
FIG. 10 is an external perspective view showing an example of an ink jet recording apparatus (IJRA) in which the recording head obtained by the present invention is mounted as an ink jet head cartridge (IJC).

【0029】図10において、20はプラテン24上に
送紙されてきた記録紙の記録面に対向してインク吐出を
行なうノズル群を具えたインクジェットヘッドカートリ
ッジ(IJC)である。16はIJC20を保持するキ
ャリッジHCであり、駆動モータ17の駆動力を伝達す
る駆動ベルト18の一部と連結し、互いに平行に配設さ
れた2本のガイドシャフト19Aおよび19Bと摺動可
能とすることにより、IJC20の記録紙の全幅にわた
る往復移動が可能となる。
In FIG. 10, reference numeral 20 denotes an ink jet head cartridge (IJC) having a nozzle group for discharging ink while facing a recording surface of a recording sheet sent on a platen 24. Reference numeral 16 denotes a carriage HC that holds the IJC 20, which is connected to a part of a drive belt 18 that transmits the driving force of a drive motor 17, and is slidable with two guide shafts 19A and 19B disposed in parallel with each other. By doing so, the reciprocating movement over the entire width of the recording paper of the IJC 20 becomes possible.

【0030】26はヘッド回復装置であり、IJC20
の移動経路の一端、例えばホームポジションと対向する
位置に配設される。伝動機構23を介したモータ22の
駆動力によって、ヘッド回復装置26を動作せしめ、I
JC20のキャッピングを行なう。このヘッド回復装置
26のキャップ部26AによるIJC20へのキャッピ
ングに関連させて、ヘッド回復装置26内に設けた適宜
の吸引手段によるインク吸引もしくはIJC20へのイ
ンク供給経路に設けた適宜の加圧手段によるインク圧送
を行ない、インクを吐出口より強制的に排出させること
によりノズル内の増粘インクを除去する等の吐出回復処
理を行なう。また、記録終了時等にキャッピングを施す
ことによりIJCが保護される。
Reference numeral 26 denotes a head recovery device, which is an IJC 20
, For example, at a position facing the home position. The head recovery device 26 is operated by the driving force of the motor 22 via the transmission mechanism 23, and I
JC20 capping is performed. In connection with the capping of the IJC 20 by the cap portion 26A of the head recovery device 26, ink is suctioned by a suitable suction device provided in the head recovery device 26 or by an appropriate pressurizing device provided in an ink supply path to the IJC 20. Discharge recovery processing such as removing the thickened ink in the nozzles by performing ink pressure feeding and forcibly discharging the ink from the discharge port is performed. Also, by performing capping at the end of recording or the like, IJC is protected.

【0031】30はヘッド回復装置26の側面に配設さ
れ、シリコンゴムで形成されるワイピング部材としての
ブレードである。ブレード31はブレード保持部材31
Aにカンチレバー形態で保持され、ヘッド回復装置12
6と同様、モータ22および伝動機構23によって動作
し、IJC20の吐出面との係合が可能となる。これに
より、IJC20の記録動作における適切なタイミング
で、あるいはヘッド回復装置26を用いた吐出回復処理
後に、ブレード31をIJC20の移動経路中に突出さ
せ、IJC20の移動動作に伴なってIJC20の吐出
面における結露、濡れあるいは塵挨等をふきとるもので
ある。
Reference numeral 30 denotes a blade disposed on the side surface of the head recovery device 26 and formed of silicon rubber as a wiping member. The blade 31 is a blade holding member 31
A in the form of a cantilever and the head recovery device 12
6, the motor 22 and the transmission mechanism 23 operate to enable engagement with the ejection surface of the IJC 20. Thus, at an appropriate timing in the recording operation of the IJC 20, or after the ejection recovery processing using the head recovery device 26, the blade 31 is protruded into the movement path of the IJC 20, and the ejection surface of the IJC 20 is moved with the movement operation of the IJC 20. To wipe off condensation, wetness, dust, etc.

【0032】[0032]

【発明の効果】同一画面での画像処理が可能なため、位
置合せの精度が向上される。また、天板中央で位置あわ
せが行えるため天板のピッチずれの影響が小さく、位置
合せの精度が向上される。さらに、あらかじめヒータの
位置を測定する必要がないため装置の機構がシンプルと
なる。
Since the image processing can be performed on the same screen, the accuracy of the alignment is improved. Further, since the positioning can be performed at the center of the top plate, the influence of the pitch shift of the top plate is small, and the positioning accuracy is improved. Further, since it is not necessary to measure the position of the heater in advance, the mechanism of the apparatus is simplified.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明のインクジェットヘッドの正面図であ
る。
FIG. 1 is a front view of an ink jet head of the present invention.

【図2】マーキングと天板の穴とを示す、ヒータボード
の正面図である。
FIG. 2 is a front view of the heater board showing markings and holes in a top plate.

【図3】ヒータボードのヒータ位置と吐出面側のマーキ
ング位置とを示すヒータボードの斜視図である。
FIG. 3 is a perspective view of the heater board showing a heater position of the heater board and a marking position on a discharge surface side.

【図4】ヒータボードのヒータとマーキングとの位置関
係を示すヒータボードの上面および正面図である。
FIG. 4 is a top view and a front view of the heater board showing a positional relationship between a heater and a marking of the heater board.

【図5】マーキング装置の模式図である。FIG. 5 is a schematic diagram of a marking device.

【図6】図5のマーキング装置の部分平面図である。FIG. 6 is a partial plan view of the marking device of FIG. 5;

【図7】天板とヒータボードとの接合を説明するための
正面図である。
FIG. 7 is a front view for explaining joining of the top plate and the heater board.

【図8】画像処理装置による位置合せを説明するための
ヒータボードの部分正面図である。
FIG. 8 is a partial front view of a heater board for explaining alignment by the image processing apparatus.

【図9】天板とヒータボードとの位置合せのための装置
の模式図である。
FIG. 9 is a schematic view of an apparatus for aligning a top plate and a heater board.

【図10】本発明のインクジェットヘッドを組込んだイ
ンクジェット記録装置の一例の外観斜視図である。
FIG. 10 is an external perspective view of an example of an ink jet recording apparatus incorporating the ink jet head of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ヒータボード(HB) 1a ヒータ 1b マーキング 1c ダイシング面 2 天板 2a 穴 2b 溝 3 制御装置 4 対物レンズ 5 ITV 6 画像処理装置 7 レーザ 8 マスク 9 投影レンズ 10 ステージ 16 キャリッジ 17 駆動モータ 18 駆動ベルト 19A、19B ガイドシャフト 20 インクジェットヘッドカートリッジ 22 クリーニング用モータ 23 伝動機構 24 プラテン 26 ヘッド回復装置 26A キャップ部材 30 ブレード 30A ブレード保持部材 101 ばね 102 支持棒 103、105 よせ機構 104、106 シリンダー 107 クランプ機構 108 アクチュエーター 120 押し機構 121 駆動系 201 ITV 202 対物レンズ 203 画像処理装置 203 制御装置 205 ステージ 300 アルミプレート DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Heater board (HB) 1a Heater 1b Marking 1c Dicing surface 2 Top plate 2a Hole 2b Groove 3 Control device 4 Objective lens 5 ITV 6 Image processing device 7 Laser 8 Mask 9 Projection lens 10 Stage 16 Carriage 17 Drive motor 18 Drive belt 19A , 19B guide shaft 20 ink jet head cartridge 22 cleaning motor 23 transmission mechanism 24 platen 26 head recovery device 26A cap member 30 blade 30A blade holding member 101 spring 102 support rod 103, 105 deflection mechanism 104, 106 cylinder 107 clamp mechanism 108 actuator 120 Push mechanism 121 Drive system 201 ITV 202 Objective lens 203 Image processing device 203 Control device 205 Stage 300 Aluminum plate Door

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ヒータボードに、オリフィスプレートを
有する天板を固定してなるインクジェットヘッドにおい
て、該ヒータボードが、その吐出面側に、ヒータの位置
にあわせて、天板との位置合せをして固定するためのマ
ーキングを有することを特徴とするインクジェットヘッ
ド。
1. An ink jet head comprising a heater board and a top plate having an orifice plate fixed thereto, wherein the heater board aligns with a top plate on a discharge surface side thereof in accordance with a position of a heater. An ink jet head having a marking for fixing the ink jet head.
【請求項2】 該マーキングを該ヒータボードの吐出面
側のほぼ中央に設ける請求項1に記載のインクジェット
ヘッド。
2. The ink jet head according to claim 1, wherein the marking is provided substantially at the center on the ejection surface side of the heater board.
【請求項3】 ヒータボードに、オリフィスプレートを
有する天板を固定することからなるインクジェットヘッ
ドの製造方法であって、該ヒータボードの吐出面側に、
ヒータの位置にあわせて、天板との位置合せをして固定
するためのマーキングを行う工程と、該ヒータボード上
に載置した天板のオリフィスプレートの穴を通して前記
マーキングの位置と天板の溝位置のずれを一定の範囲に
入るように調整する調整工程とからなることを特徴とす
るインクジェットヘッドの製造方法。
3. A method for manufacturing an ink jet head, comprising fixing a top plate having an orifice plate to a heater board, the method comprising:
A step of performing marking for aligning and fixing with the top plate in accordance with the position of the heater, and passing the position of the marking and the position of the top plate through a hole in the orifice plate of the top plate placed on the heater board. An adjusting step of adjusting the deviation of the groove position so as to fall within a predetermined range.
【請求項4】 該ヒータボード上のヒータの位置を、対
物レンズと、ITVと、その出力を画像処理する画像処
理装置とを用いて測定し、この位置が所定の位置から一
定のずれ範囲に入るように該ヒータボードを移動し、つ
いで該ヒータの位置に合せて該吐出面側にレーザ光を用
いてマーキングを行う請求項3に記載の方法。
4. The position of the heater on the heater board is measured by using an objective lens, an ITV, and an image processing device for processing the output of the heater, and the position is set within a certain deviation range from a predetermined position. 4. The method according to claim 3, wherein the heater board is moved so as to enter, and then the ejection surface side is marked using laser light in accordance with the position of the heater.
【請求項5】 該マーキングを該吐出面側のほぼ中央に
設ける請求項3または4に記載の方法。
5. The method according to claim 3, wherein the marking is provided substantially at the center on the ejection surface side.
【請求項6】 該ヒータボード上に該天板を載置し、対
物レンズと、ITVと、その出力を画像処理する画像処
理装置とを用いて、該天板のオリフィスプレートの穴の
位置の、該マーキングからのずれ量を所定の範囲内に入
るように該天板を移動させ、ついで該天板を該ヒータボ
ードに固定する請求項3〜5のいずれかに記載の方法。
6. Place the top plate on the heater board, and use an objective lens, an ITV, and an image processing device for image processing the output of the top plate to determine the position of the hole in the orifice plate of the top plate. The method according to any one of claims 3 to 5, wherein the top plate is moved so that an amount of deviation from the marking falls within a predetermined range, and then the top plate is fixed to the heater board.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN108215531A (en) * 2016-12-22 2018-06-29 精工爱普生株式会社 Printing equipment

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CN108215531A (en) * 2016-12-22 2018-06-29 精工爱普生株式会社 Printing equipment
CN108215531B (en) * 2016-12-22 2021-03-30 精工爱普生株式会社 Printing device

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