JPH06286127A - Ink jet recording head and ink jet recorder equipped therewith - Google Patents

Ink jet recording head and ink jet recorder equipped therewith

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JPH06286127A
JPH06286127A JP7713993A JP7713993A JPH06286127A JP H06286127 A JPH06286127 A JP H06286127A JP 7713993 A JP7713993 A JP 7713993A JP 7713993 A JP7713993 A JP 7713993A JP H06286127 A JPH06286127 A JP H06286127A
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recording head
ink
ejection
ink jet
inkjet recording
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Hirokazu Komuro
博和 小室
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Abstract

PURPOSE:To obtain an excellent image recording by a method wherein a distance between a discharge opening-formed face and a medium to be recorded can be set short. CONSTITUTION:A part of an ink tank 6 at which a driving element 3 is provided, is tapered in a shape. Thereby, the driving element 3 is provided on an opposed side in a discharge direction of a liquid drop (an ink drop) 9 to a discharge opening-formed face 13. Then, a distance between the discharge opening-formed face 13 and recording paper 7 can be shortened. Consequently, the driving element 3 and silicone resin 12 sealing the driving element 3 do not rub the recording paper 7 and an excellent image can be formed.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、インクを吐出口から吐
出してインク滴を形成するインクジェット記録ヘッドに
関し、特に、外部配線部上にインク吐出のための駆動素
子が設けられたインクジェット記録ヘッド、及び該イン
クジェット記録ヘッドを備えたインクジェット記録装置
に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ink jet recording head for ejecting ink from an ejection port to form ink droplets, and more particularly, an ink jet recording head provided with a drive element for ejecting ink on an external wiring portion. And an inkjet recording apparatus including the inkjet recording head.

【0002】[0002]

【従来の技術】この種のインクジェット記録ヘッドに関
し、例えば特開昭54−51837号公報に記載されて
いるインクジェット記録方法は、熱エネルギーを液体
(インク)に作用させて、液滴吐出の原動力を得るとい
う点において、他のインクジェット記録方法とは異なる
特徴を有している。
2. Description of the Related Art With regard to an ink jet recording head of this type, for example, an ink jet recording method described in Japanese Patent Laid-Open No. 54-51837 discloses that a thermal energy is applied to a liquid (ink) so that a driving force for ejecting droplets can be obtained. In terms of obtaining, it has a feature different from other ink jet recording methods.

【0003】すなわち、上記の公報に開示されている記
録方法は、熱エネルギーの作用を受けた液体が過熱され
て気泡を発生し、この気泡発生に基づく作用力によっ
て、記録ヘッド部先端の吐出口から液滴が形成され、こ
の液滴が記録紙等の被記録媒体に付着して画像の記録が
行われることを特徴としている。
That is, in the recording method disclosed in the above publication, the liquid which has been subjected to the action of thermal energy is overheated to generate bubbles, and the action force based on the generation of the bubbles causes the ejection port at the tip of the recording head portion. It is characterized in that droplets are formed from the droplets, and the droplets adhere to a recording medium such as recording paper to record an image.

【0004】この記録方法に適用されるインクジェット
記録ヘッドは、一般に、液体を吐出するために設けられ
た吐出口と、この吐出口に連通し、かつ液滴を吐出する
ための熱エネルギーが液体に作用する部分である熱作用
部を構成の一部とする液流路とを有する液吐出部、及び
熱エネルギーを発生する手段である熱変換体(発熱部)
としての、発熱抵抗層とそれをインクから保護する上部
保護層と蓄熱するための下部層を具備している。
In the ink jet recording head applied to this recording method, generally, an ejection port provided for ejecting a liquid and thermal energy for communicating with the ejection port and ejecting a droplet are applied to the liquid. A liquid discharge part having a liquid flow path having a heat acting part, which is a part acting, as a part of the constitution, and a heat converter (heat generating part) being means for generating heat energy.
, A heating resistance layer, an upper protection layer for protecting it from ink, and a lower layer for storing heat.

【0005】このようなインクジェット記録ヘッドは、
薄膜プロセスで発熱抵抗層や上部保護層を形成している
ため、薄膜部分に掛かるコストが高かった。これに鑑み
て、特開昭60−262657号公報に開示されている
とおり、吐出部と外部配線部(リード電極部)を分離す
ることが提案されている。
Such an ink jet recording head is
Since the heating resistance layer and the upper protective layer are formed by the thin film process, the cost for the thin film portion is high. In view of this, as disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 60-262657, it has been proposed to separate the discharge part and the external wiring part (lead electrode part).

【0006】上記の一実施形態として、特開昭63−5
01415号公報には、吐出エレメントとTABのよう
な外部配線部(外部電極部)をビームリードなどで電気
接続し、さらに、外部配線部を、キャリッジ上のフレキ
シブル回路に接続し、このフレキシブル回路を外部駆動
回路に接続した構造のインクジェット記録ヘッドが提案
されている。
As one embodiment of the above, Japanese Patent Laid-Open No. 63-5
In Japanese Patent No. 01415, an ejection element and an external wiring portion (external electrode portion) such as TAB are electrically connected by a beam lead, and the external wiring portion is connected to a flexible circuit on a carriage. An inkjet recording head having a structure connected to an external drive circuit has been proposed.

【0007】ところで、近年、吐出口の高密度化が要求
されており、印字速度を下げないために、高周波駆動を
するか、同じ印字幅で印字することが必要である。高密
度で同じ印字幅で印字するためには当然吐出口数が増加
する。
By the way, in recent years, there has been a demand for higher density of the ejection ports, and it is necessary to drive at a high frequency or print with the same print width in order to prevent the printing speed from decreasing. In order to print with the same print width at high density, the number of ejection openings naturally increases.

【0008】上記特開昭63−501415号公報で述
べられている実施形態では、外部配線部を、キャリッジ
上の本体回路に電気接続するフレキシブル回路に圧接に
より電気接続を取っているが、吐出口数が増加するため
に、圧設がうまくいかず接続不良が発生することがしば
しばあった。
In the embodiment described in the above-mentioned Japanese Patent Laid-Open No. 63-501415, the external wiring portion is electrically connected by pressure welding to a flexible circuit which is electrically connected to the main body circuit on the carriage. Due to the increase in the number of times, the pressure installation was not successful and a connection failure often occurred.

【0009】この接触不良を解消するものとして、図1
4及び図15に示すように、外部配線部としての外部配
線基板2X上に駆動素子3Xを配置し、吐出エレメント
と外部配線基板2X上の駆動素子3Xをビームリードで
電気接続し、さらに、外部配線基板2Xを、本体回路に
電気接続するフレキシブル回路X5に圧接により電気接
続したものがある。駆動素子3Xは、シフトレジスター
やドライバー素子からなり、印字信号の入力により複数
の前記発熱部に駆動信号を発生させるための素子であ
る。このようにすると、駆動素子3Xまでの電気配線数
は従来と変らないが、外部配線基板2Xと本体回路に電
気接続するフレキシブル配線基板5Xとの接続数、すな
わち圧接部の数が少なくなる。すなわち、駆動素子をヘ
ッドに搭載すると、ヘッドと駆動素子間の配線は発熱部
と同じ数必要であるが、駆動素子に送る印字信号は数本
の印字信号線で良いため、装置本体から、ヘッドの間の
印字信号線は少なくで良いことから、圧接部の数の少な
くてよい。
As a means for eliminating this contact failure, FIG.
4 and FIG. 15, the driving element 3X is arranged on the external wiring board 2X as an external wiring section, the ejection element and the driving element 3X on the external wiring board 2X are electrically connected by the beam lead, and There is one in which the wiring board 2X is electrically connected by pressure contact to a flexible circuit X5 that is electrically connected to the main body circuit. The drive element 3X is composed of a shift register and a driver element, and is an element for generating drive signals to the plurality of heat generating portions by inputting a print signal. In this way, the number of electric wirings up to the drive element 3X is the same as the conventional one, but the number of connections between the external wiring board 2X and the flexible wiring board 5X electrically connected to the main circuit, that is, the number of pressure contact portions is reduced. That is, when the drive element is mounted on the head, the number of wirings between the head and the drive element is the same as that of the heat generating part, but the print signal sent to the drive element may be several print signal lines. Since the number of print signal lines between the two may be small, the number of press contact portions may be small.

【0010】したがって、外部配線基板2Xとフレキシ
ブル配線基板5Xとの圧接がうまくいき接続不良がなか
った。このインクジェット記録ヘッドは、ヘッド部の一
部であるヒータボード1Xとインクタンク6Xとが一体
になったものであり、プラテン8Xに保持されている記
録紙7Xに向けて、吐出口10Xから液滴9Xを吐出さ
せることで、記録紙7Xに画像を形成する。外部配線基
板2Xは圧接部4Xを介してフレキシブル配線基板5X
に電気接続されている。符号13Xはオリフィスプレー
ト11Xに形成された吐出口形成面を示している。
Therefore, the external wiring board 2X and the flexible wiring board 5X were pressed well and there was no defective connection. In this inkjet recording head, a heater board 1X, which is a part of the head portion, and an ink tank 6X are integrated, and droplets are ejected from an ejection port 10X toward a recording paper 7X held by a platen 8X. An image is formed on the recording paper 7X by ejecting 9X. The external wiring board 2X is connected to the flexible wiring board 5X via the pressure contact portion 4X.
Electrically connected to. Reference numeral 13X indicates a discharge port forming surface formed on the orifice plate 11X.

【0011】[0011]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図14
に示したように、駆動素子3Xの配置する場所によって
は吐出口形成面13Xと記録紙7Xとの距離Hを長くし
なければならず、それにより、印字不良が発生した。具
体的に述べると、吐出している液滴(インク滴)9Xは
記録紙7Xに早く到達すれば、吐出方向のバラツキなど
による着弾点がずれることによる印字不良が少ない。し
たがって、吐出口形成面13Xと記録紙7Xとの間の距
離を短くすればするほど良い。しかしながら、発熱部が
設けられているヒ−タボ−ド(基板)1Xと吐出方向が
垂直であるタイプのインクジェット記録ヘッドでは、吐
出口エレメントと同一面上に駆動素子3Xが配置されて
いると、その駆動素子3X、駆動素子3Xを封止するシ
リコン樹脂12Xが記録紙7Xに当たり不都合なため、
吐出口形成面13Xを記録紙7Xから距離をはなさなけ
ればならず、良好な画像記録を得ることが難しかった。
However, as shown in FIG.
As shown in, the distance H between the ejection port forming surface 13X and the recording paper 7X must be lengthened depending on the place where the drive element 3X is arranged, which causes printing failure. More specifically, if the ejected droplets (ink droplets) 9X reach the recording paper 7X early, printing defects due to deviation of the landing point due to variations in the ejection direction or the like are small. Therefore, the shorter the distance between the ejection port forming surface 13X and the recording paper 7X, the better. However, in the ink jet recording head of the type in which the discharge direction is perpendicular to the heater board (substrate) 1X provided with the heat generating portion, if the drive element 3X is arranged on the same plane as the discharge port element, Since the drive element 3X and the silicone resin 12X that seals the drive element 3X hit the recording paper 7X and are inconvenient,
It was difficult to obtain good image recording because the discharge port forming surface 13X had to be separated from the recording paper 7X.

【0012】本発明は、上記従来技術の有する問題点に
鑑みてなされたものであり、吐出口形成面と被記録媒体
との距離を短く設定でき、その結果、良好な記録が得ら
れるインクジェット記録ヘッド及び該インクジェット記
録ヘッドを備えたインクジェット記録装置を提供するこ
とを目的とする。
The present invention has been made in view of the above problems of the prior art. Ink jet recording in which the distance between the ejection port forming surface and the recording medium can be set short, and as a result, good recording can be obtained. An object of the present invention is to provide a head and an inkjet recording apparatus including the inkjet recording head.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明は、インクを吐出するための吐出口が形成され
た吐出口形成面及び基板を備え、かつインクが前記基板
に対して垂直方向に吐出する吐出エレメントと、該吐出
エレメントに電気信号を印加するための外部配線部とを
有し、前記外部配線部上に前記吐出エレメントの駆動素
子が配置され、前記吐出エレメント、前記外部配線部及
び前記駆動素子が順次電気的に接続されているインクジ
ェット記録ヘッドにおいて、前記駆動素子が、前記吐出
エレメントの前記吐出口形成面に対して吐出方向とは反
対側に設けられていることを特徴とする。
SUMMARY OF THE INVENTION To achieve the above object, the present invention comprises an ejection port forming surface on which ejection ports for ejecting ink are formed and a substrate, and the ink is perpendicular to the substrate. A discharge element for discharging in a direction, and an external wiring part for applying an electric signal to the discharge element, and a drive element of the discharge element is arranged on the external wiring part. In an ink jet recording head in which a portion and the drive element are sequentially electrically connected, the drive element is provided on the side opposite to the ejection direction with respect to the ejection port forming surface of the ejection element. And

【0014】また、前記吐出エレメントは、熱エネルギ
ーを利用してインクを吐出するものであって、前記熱エ
ネルギーを発生させるための電気熱変換体を備えてい
る。
The ejection element is for ejecting ink by utilizing thermal energy, and is provided with an electrothermal converter for generating the thermal energy.

【0015】さらに、本発明のインクジェット記録装置
は、被記録媒体の搬送手段と、前記被記録媒体に向けて
インクを吐出して記録を行う、本発明のインクジェット
記録ヘッドとを備え、前記搬送手段によって被記録媒体
を前記インクジェット記録ヘッドに対して相対的に移動
させつつ、前記インクジェット記録ヘッドからインクを
吐出させて前記被記録媒体に画像を記録するものであ
る。
Further, the ink jet recording apparatus of the present invention comprises a conveying means for the recording medium, and an ink jet recording head of the present invention for ejecting ink toward the recording medium for recording. The recording medium is moved relative to the inkjet recording head, and ink is ejected from the inkjet recording head to record an image on the recording medium.

【0016】[0016]

【作用】上記のとおり構成された本発明では、駆動素子
が、吐出口形成面に対して吐出方向とは反対側に位置す
るので、駆動素子が被記録媒体に干渉しない上、吐出口
形成面と被記録媒体との間の距離を短くすることがで
き、良好な画像記録が得られる。
In the present invention configured as described above, since the drive element is located on the side opposite to the ejection direction with respect to the ejection port forming surface, the drive element does not interfere with the recording medium and the ejection port forming surface is formed. The distance between the recording medium and the recording medium can be shortened, and good image recording can be obtained.

【0017】[0017]

【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。
Embodiments of the present invention will now be described with reference to the drawings.

【0018】先ず、インクジェット記録装置の全体構成
について、図1を参照して説明する。
First, the overall structure of the ink jet recording apparatus will be described with reference to FIG.

【0019】本実施例のインクジェット記録装置は、後
述するインクジェット記録ヘッド14が装着されたキャ
リッジ20が、駆動モータ28の駆動力を伝達する駆動
ベルト27の一部に連結されて、互いに平行に配設され
た2本のガイドシャフト29,30に対して摺動可能に
取り付けられている。前記駆動モータ28の駆動力によ
り、前記インクジェット記録ヘッド14が、該インクジ
ェット記録ヘッド14の吐出口形成面(不図示)に対向
して配置されたプラテン8上に、不図示の媒体給送装置
(搬送手段)から給送される被記録媒体としての記録紙
(不図示)の全幅にわたって往復運動して該記録紙への
画像記録を行う構成となっている。
In the ink jet recording apparatus of this embodiment, a carriage 20 on which an ink jet recording head 14 to be described later is mounted is connected to a part of a drive belt 27 which transmits a driving force of a drive motor 28 and is arranged in parallel with each other. It is slidably attached to the two guide shafts 29, 30 provided. Due to the driving force of the drive motor 28, the inkjet recording head 14 is placed on the platen 8 arranged so as to face the ejection port forming surface (not shown) of the inkjet recording head 14, and a medium feeding device (not shown) ( The recording medium (not shown) as a recording medium fed from the conveying means reciprocates over the entire width to record an image on the recording medium.

【0020】また、本実施例のインクジェット記録装置
は、インクジェット記録ヘッド14の記録動作における
往復運動の範囲外で、ヘッド回復動作の際にインクジェ
ット記録ヘッド14が移動される位置(図中ガイドシャ
フト29の左端、以下、回復ポジションと称する。)に
おいて、該インクジェット記録ヘッド14の吐出口形成
面に対向して伝動機構22を介したクリーニング用モー
タ25の駆動力によって駆動され、前記インクジェット
記録ヘッド14の吐出口形成面をキャッピングするキャ
ップ21を備えたヘッド回復装置24が設けられてい
る。
Further, in the ink jet recording apparatus of this embodiment, the ink jet recording head 14 is moved to the position (guide shaft 29 in the figure) during the head recovering operation outside the range of the reciprocating movement of the ink jet recording head 14 in the recording operation. Of the inkjet recording head 14 is driven by the driving force of the cleaning motor 25 via the transmission mechanism 22 so as to face the ejection port forming surface of the inkjet recording head 14. A head recovery device 24 having a cap 21 for capping the ejection port forming surface is provided.

【0021】このヘッド回復装置24は、ヘッド回復動
作の際、キャップ21によるインクジェット記録ヘッド
14の吐出口形成面のキャッピングに関連して、回復系
ポンプ(不図示)によるインク吸引もしくは、インクジ
ェット記録ヘッド14へのインク供給経路に設けた適宜
の加圧手段によるインク圧送を行い、インクを吐出口よ
り強制的に排出させて、吐出口内の増粘インクを除去す
る等のヘッド回復動作を行う。このヘッド回復処理によ
りインクジェット記録ヘッド14の各吐出口から吐出不
良要因とともに、排出された廃インクは、貯蔵部材とし
ての廃インクタンク31に移送されて貯留される。
In the head recovery device 24, during the head recovery operation, in connection with the capping of the ejection port forming surface of the inkjet recording head 14 by the cap 21, ink is sucked by a recovery system pump (not shown) or the inkjet recording head is used. Ink is pressure-fed by an appropriate pressurizing means provided in the ink supply path to the ink supply head 14, and ink is forcibly discharged from the ejection port to perform head recovery operation such as removing thickened ink in the ejection port. By this head recovery process, the waste ink discharged from each ejection port of the inkjet recording head 14 is discharged and stored in the waste ink tank 31 as a storage member.

【0022】さらに、ヘッド回復装置24の側面には、
シリコンゴムで形成されるワイピング部材としてのブレ
ード23がブレード保持部材26によってカンチレバー
形態で保持され、ヘッド回復装置24と同様、クリーニ
ング用モータ25及び伝動機構によって動作し、インク
ジェット記録ヘッド14の吐出口形成面との係合が可能
となる。これにより、ヘッド回復装置24を用いたヘッ
ド回復動作後に、ブレード23をインクジェット記録ヘ
ッド14の移動経路中に突き出させ、該インクジェット
記録ヘッド14の移動動作に伴ってインクジェット記録
ヘッド14の吐出口形成面における結露、濡れあるいは
塵埃等を拭き取る。
Further, on the side surface of the head recovery device 24,
A blade 23 formed of silicon rubber as a wiping member is held in a cantilever form by a blade holding member 26, and is operated by a cleaning motor 25 and a transmission mechanism like the head recovery device 24 to form an ejection port of the inkjet recording head 14. Engagement with the surface is possible. As a result, after the head recovery operation using the head recovery device 24, the blade 23 is projected into the moving path of the inkjet recording head 14, and the ejection opening forming surface of the inkjet recording head 14 is accompanied by the moving operation of the inkjet recording head 14. Wipe off condensation, wetness, dust, etc.

【0023】以下、インクジェット記録ヘッドについて
説明する。
The ink jet recording head will be described below.

【0024】図2に示すように、インクジェット記録ヘ
ッド14には、列状に設けられた複数個の吐出口10か
ら記録液を吐出させるために、印加電圧が供給される熱
エネルギーを発生させる電気熱変換体15が各液路毎に
配設されている。そして、駆動信号を印加することによ
って、前記電気熱変換体15に熱エネルギーを発生せし
めて膜沸騰を生じインク液路内に気泡を形成する。そし
て、この気泡の成長によって前記吐出口10からインク
滴を吐出させる。電気熱変換体15はヒータボード1に
設けられ、吐出口10はオリフィスプレート11に形成
されている。なお、符号13はオリフィスプレート11
に形成された吐出口形成面を示している。
As shown in FIG. 2, in the ink jet recording head 14, an electric voltage is supplied to generate thermal energy for ejecting the recording liquid from a plurality of ejection ports 10 arranged in a row. The heat conversion body 15 is provided for each liquid path. Then, by applying a drive signal, thermal energy is generated in the electrothermal converter 15 to cause film boiling and form bubbles in the ink liquid path. Then, ink droplets are ejected from the ejection port 10 by the growth of the bubbles. The electrothermal converter 15 is provided on the heater board 1, and the discharge port 10 is formed on the orifice plate 11. Reference numeral 13 is the orifice plate 11.
The discharge port forming surface formed in FIG.

【0025】(第1の実施例)図3は本発明のインクジ
ェット記録ヘッドの第1の実施例の側面図、図4は図3
のインクジェット記録ヘッドの吐出口形成面側から見た
図である。
(First Embodiment) FIG. 3 is a side view of the first embodiment of the ink jet recording head of the present invention, and FIG.
FIG. 3 is a view seen from the side of the ejection port forming surface of the inkjet recording head of FIG.

【0026】符号1はシリコン基板(不図示)に発熱抵
抗体(電気熱変換体)が形成されているヒータボードで
あり、このヒータボード1には、インクを吐出するため
の複数の吐出口10が開いているオリフィスプレート1
1が設けられている。前記ヒータボード1とオリフィス
プレート11で吐出エレメントが構成されている。符号
2は外部配線部としての外部配線基板であり、この外部
配線基板2には、シフトレジスターやドライバー素子か
らなり、印字信号の入力により複数の発熱抵抗体(不図
示)に駆動信号を発生させるための駆動素子3が設けら
れている。外部配線基板2は圧接部4を介してフレキシ
ブル配線基板5に電気的に接続され、このフレキシブル
配線基板5は本体回路(キャリッジ20、図1参照)と
接続している。符号6は、ヒータボード1に取り付けら
れたインクタンクを示し、符号7は被記録媒体としての
記録紙であり、矢印Z方向に搬送され、符号8は記録紙
7を保持するプラテンである。
Reference numeral 1 denotes a heater board having a heating resistor (electrothermal converter) formed on a silicon substrate (not shown). The heater board 1 has a plurality of ejection ports 10 for ejecting ink. Orifice plate 1 with open
1 is provided. The heater board 1 and the orifice plate 11 constitute a discharge element. Reference numeral 2 is an external wiring board as an external wiring section. The external wiring board 2 is composed of a shift register and a driver element, and generates a drive signal to a plurality of heating resistors (not shown) by inputting a print signal. Drive element 3 for The external wiring board 2 is electrically connected to the flexible wiring board 5 via the press contact portion 4, and the flexible wiring board 5 is connected to the main circuit (carriage 20, see FIG. 1). Reference numeral 6 indicates an ink tank attached to the heater board 1, reference numeral 7 is a recording paper as a recording medium, which is conveyed in the arrow Z direction, and reference numeral 8 is a platen which holds the recording paper 7.

【0027】インクタンク6の、駆動素子3が設けられ
る部位はテーパー形状になっており、これにより、駆動
素子3は、吐出口形成面13に対して液滴9の吐出方向
とは反対側に位置する。
The portion of the ink tank 6 where the drive element 3 is provided has a tapered shape, whereby the drive element 3 is located on the opposite side of the ejection port forming surface 13 from the ejection direction of the droplet 9. To position.

【0028】以下、インクジェット記録ヘッドの具体的
な製造方法について説明する。
A specific method of manufacturing the ink jet recording head will be described below.

【0029】図5は図4のA部の拡大図、図6は図5の
X−X線断面図、図7は図4のB部の拡大図、図8は図
7のY−Y線断面図、図9は図3のC部の拡大図であ
る。
FIG. 5 is an enlarged view of portion A of FIG. 4, FIG. 6 is a sectional view taken along line XX of FIG. 5, FIG. 7 is an enlarged view of portion B of FIG. 4, and FIG. 8 is line YY of FIG. A sectional view and FIG. 9 are enlarged views of a portion C in FIG.

【0030】図5及び図6に示すように、先ず、シリコ
ン基板45上に発熱抵抗層37、電極層38を作成し、
フォトリソ技術により発熱部(電気熱変換体)35を作
成する。次に、前記発熱部35に保護層36を形成し、
フォトリソ技術により電気接続する部分に孔34を開け
る。本実施例では、リードビーム方式により外部配線部
と電気接続を行うために金属例えば金を形成する。すな
わち、フォトリソ技術によりビームリード17との電気
接続部分に電極パット(金属パット)16を形成する。
このようにして、ヒータボード1が完成する。そして、
電鋳法で作成したオリフィスプレート11をヒータボー
ド1に貼り合わせ吐出エレメントが完成する。
As shown in FIGS. 5 and 6, first, the heating resistance layer 37 and the electrode layer 38 are formed on the silicon substrate 45,
The heat generating portion (electrothermal converter) 35 is created by the photolithography technique. Next, a protective layer 36 is formed on the heat generating portion 35,
A hole 34 is formed in the portion to be electrically connected by the photolithography technique. In this embodiment, a metal such as gold is formed to electrically connect to the external wiring portion by the lead beam method. That is, the electrode pad (metal pad) 16 is formed at the portion electrically connected to the beam lead 17 by the photolithography technique.
In this way, the heater board 1 is completed. And
The orifice plate 11 formed by electroforming is attached to the heater board 1 to complete the discharge element.

【0031】図7及び図8に示すように、外部配線基板
2はポリイミドフィルムに銅配線19がしてあり、前記
ビームリード17が銅配線19に接続されている(以
下、TABという)。このTAB上に、ドライブ回路、
シフトレジスター回路が形成されている駆動素子3をダ
イボンディングし、駆動素子3の出力側の駆動素子電極
パット39をワイヤーボンディング方式によるワイヤー
18でTAB上の銅配線19と接続する。符号40は銅
配線19を保護する銅配線保護フィルム40である。さ
らに、駆動素子3をインクや湿度などから守るため、駆
動素子3上にシリコン樹脂12(図3及び図4参照)等
で封止する。
As shown in FIGS. 7 and 8, the external wiring substrate 2 has a copper wiring 19 formed on a polyimide film, and the beam lead 17 is connected to the copper wiring 19 (hereinafter referred to as TAB). On this TAB, drive circuit,
The drive element 3 in which the shift register circuit is formed is die-bonded, and the drive element electrode pad 39 on the output side of the drive element 3 is connected to the copper wiring 19 on the TAB by the wire 18 by the wire bonding method. Reference numeral 40 is a copper wiring protective film 40 that protects the copper wiring 19. Further, in order to protect the drive element 3 from ink and humidity, the drive element 3 is sealed with a silicone resin 12 (see FIGS. 3 and 4) or the like.

【0032】次に、このように作成した外部配線基板2
を熱圧着法によりビームリード17とヒータボード1の
電極パット(金属パット)16間で接合する。駆動素子
3の入力側の駆動素子電極パット39は銅配線41に電
気的に接続され、この銅配線41に圧接パット部42を
形成する。最後にインクタンク6(図3及び図4参照)
に貼り付ける。ここで、インクタンク6は図3のように
外部配線基板2の駆動素子3がある部分はテーパ形状に
なっており、駆動素子3が吐出口形成面13に対して吐
出方向の反対側に配置する構造になっている。このよう
にして、インクタンク付きインクジェットヘッド(イン
クカートリッジ)が完成する。
Next, the external wiring board 2 thus created
Is bonded between the beam lead 17 and the electrode pad (metal pad) 16 of the heater board 1 by a thermocompression bonding method. The drive element electrode pad 39 on the input side of the drive element 3 is electrically connected to the copper wiring 41, and a press contact pad portion 42 is formed on the copper wiring 41. Finally, the ink tank 6 (see FIGS. 3 and 4)
Paste it on. Here, in the ink tank 6, as shown in FIG. 3, the portion of the external wiring substrate 2 where the drive element 3 is provided is tapered, and the drive element 3 is arranged on the opposite side of the ejection port forming surface 13 in the ejection direction. It is structured to In this way, an inkjet head with an ink tank (ink cartridge) is completed.

【0033】図8及び図9に示すように、このインクカ
ートリッジを本体上のキャリッジ20(図1参照)に搭
載すると、外部配線基板2は、圧接パット部42とフレ
キシブル配線基板圧接パット部43との圧接により、本
体との電気接続のためのフレキシブル回路5と電気接続
する。圧接パット部42とフレキシブル配線基板圧接パ
ット部43とにより前記圧接部4が構成されている。
As shown in FIGS. 8 and 9, when the ink cartridge is mounted on the carriage 20 (see FIG. 1) on the main body, the external wiring board 2 has the pressure contact pad portion 42 and the flexible wiring board pressure contact pad portion 43. By pressure contacting with, the flexible circuit 5 for electrical connection with the main body is electrically connected. The pressure contact pad portion 42 and the flexible wiring board pressure contact pad portion 43 form the pressure contact portion 4.

【0034】図3及び図4に示したとおり、駆動素子
3、駆動素子3を封止するシリコン樹脂12が吐出口形
成面13と同一面上ではなく、液滴(インク滴)9の吐
出方向とは反対側に後退しているため、駆動素子3、及
び駆動素子13を封止するシリコン樹脂12が記録紙7
と擦らないとともに、吐出口形成面13と記録紙7との
間の距離を短くすることができ、良好な画像記録が可能
になった。
As shown in FIGS. 3 and 4, the driving element 3 and the silicone resin 12 for sealing the driving element 3 are not on the same surface as the ejection port forming surface 13, but the ejection direction of the droplet (ink droplet) 9. The silicon resin 12 for sealing the drive element 3 and the drive element 13 is retracted to the side opposite to the recording paper 7
In addition, the distance between the ejection port forming surface 13 and the recording paper 7 can be shortened, and good image recording can be performed.

【0035】(第2の実施例)図10は本発明のインク
ジェット記録ヘッドの第2の実施例の側面図、図11は
図10のインクジェット記録ヘッドの吐出口形成面側か
ら見た図である。
(Second Embodiment) FIG. 10 is a side view of a second embodiment of the ink jet recording head of the present invention, and FIG. 11 is a view seen from the ejection port forming surface side of the ink jet recording head of FIG. .

【0036】図10及び図11に示すように、本実施例
では、駆動素子3aが設けられる、インクタンク6aの
下部が段差部になっており、駆動素子3a、及び駆動素
子3aを封止するシリコン樹脂12aは、段差部の凹部
に設けられ、第1の実施例と同様に吐出口形成面13a
とは同一面上にはなく、液滴(インク滴)9aの吐出方
向とは反対側に後退している。これにより、吐出口形成
面13aと記録紙7aとの距離を短くすることができ、
良好な画像記録が可能である。その他の構成は第1の実
施例のものと同一である。
As shown in FIGS. 10 and 11, in this embodiment, the lower portion of the ink tank 6a in which the driving element 3a is provided is a stepped portion, and the driving element 3a and the driving element 3a are sealed. The silicone resin 12a is provided in the concave portion of the step portion, and is similar to the first embodiment in the discharge port forming surface 13a.
Is not on the same surface, and is retracted to the side opposite to the ejection direction of the droplet (ink droplet) 9a. As a result, the distance between the ejection port forming surface 13a and the recording paper 7a can be shortened,
Good image recording is possible. The other structure is the same as that of the first embodiment.

【0037】(第3の実施例)図12は本発明のインク
ジェット記録ヘッドの第3の実施例の側面図、図13は
図12のインクジェット記録ヘッドの吐出口形成面側か
ら見た図である。
(Third Embodiment) FIG. 12 is a side view of a third embodiment of the ink jet recording head of the present invention, and FIG. 13 is a view seen from the ejection port forming surface side of the ink jet recording head of FIG. .

【0038】図12及び図13に示すように、本実施例
では、インクタンク6bの下方に駆動素子3bが設けら
れ、第1の実施例と同様に駆動素子3b、及び駆動素子
3bを封止するシリコン樹脂12bは、吐出口形成面1
3bとは同一面上にはなく、インクタンク6bの下方に
配置されているため、吐出口形成面13bと記録紙7b
との距離を短くすることができ、良好な画像記録が可能
である。その他の構成は第1の実施例のものと同一であ
る。
As shown in FIGS. 12 and 13, in this embodiment, the drive element 3b is provided below the ink tank 6b, and the drive element 3b and the drive element 3b are sealed as in the first embodiment. The silicone resin 12b to be applied is the discharge port forming surface 1
Since it is not on the same surface as 3b and is arranged below the ink tank 6b, the discharge port forming surface 13b and the recording paper 7b are not formed.
The distance between and can be shortened, and good image recording is possible. The other structure is the same as that of the first embodiment.

【0039】上記各実施例では、TABを用いたが、他
の実装方式を採用してももよい。吐出エレメントと外部
配線部の電気接続をリードビームを用いたが、ワイヤー
ボンディングでもよい。さらに、駆動素子と外部配線部
の電気接続はワイヤーボンディングを用いたが、リード
ビーム方式でも良い。この場合、駆動素子が記録紙とイ
ンクカートリッジとの間の距離を短くすることの邪魔に
ならないが、駆動素子の樹脂封止が邪魔になり、本実施
例のような形状にしなければ、良好な画像記録が得られ
ない。
Although TAB is used in each of the above embodiments, other mounting methods may be adopted. Although the lead beam is used for the electrical connection between the ejection element and the external wiring portion, wire bonding may be used. Furthermore, although wire bonding is used for electrical connection between the drive element and the external wiring portion, a lead beam method may be used. In this case, the driving element does not interfere with shortening the distance between the recording paper and the ink cartridge, but the resin sealing of the driving element interferes with the driving element, and unless the shape of this embodiment is adopted, it is preferable. Image recording cannot be obtained.

【0040】本発明は、特にインクジェット記録方式の
中でもキヤノン(株)の提唱する、熱エネルギーを利用し
てインクを吐出する方式の記録ヘッド、記録装置におい
て、優れた効果をもたらすものである。
The present invention brings excellent effects particularly in a recording head and a recording device of the type which ejects ink by utilizing thermal energy, which is proposed by Canon Inc. among ink jet recording systems.

【0041】その代表的な構成や原理については、例え
ば、米国特許第4,723,129号明細書、同第4,740,796号明
細書に開示されている基本的な原理を用いて行なうもの
が好ましい。この方式はいわゆるオンデマンド型、コン
ティニュアス型のいずれにも適用可能であるが、特に、
オンデマンド型の場合には、液体(インク)が保持され
ているシートや液路に対応して配置されている電気熱変
換体に、記録情報に対応していて核沸騰を越える急速な
温度上昇を与える少なくとも一つの駆動信号を印加する
ことによって、電気熱変換体に熱エネルギーを発生せし
め、記録ヘッドの熱作用面に膜沸騰させて、結果的にこ
の駆動信号に一対一対応し液体(インク)内の気泡を形
成出来るので有効である。この気泡の成長、収縮により
吐出用開口を介して液体(インク)を吐出させて、少な
くとも一つの滴を形成する。この駆動信号をパルス形状
とすると、即時適切に気泡の成長収縮が行なわれるの
で、特に応答性に優れた液体(インク)の吐出が達成で
き、より好ましい。このパルス形状の駆動信号として
は、米国特許第4,463,359号明細書、同第4,345,262号明
細書に記載されているようなものが適している。なお、
上記熱作用面の温度上昇率に関する発明の米国特許第4,
313,124号明細書に記載されている条件を採用すると、
さらに優れた記録を行なうことができる。
With regard to its typical structure and principle, it is preferable to use the basic principle disclosed in, for example, US Pat. Nos. 4,723,129 and 4,740,796. This method is applicable to both so-called on-demand type and continuous type, but in particular,
In the case of the on-demand type, the electrothermal converter arranged corresponding to the sheet or liquid path where the liquid (ink) is held corresponds to the recorded information and the temperature rises rapidly beyond the nucleate boiling. By applying at least one drive signal that gives a heat energy to the electrothermal converter, the film is boiled on the heat-acting surface of the recording head, and as a result, the liquid (ink It is effective because bubbles can be formed inside. The liquid (ink) is ejected through the ejection openings by the growth and contraction of the bubbles to form at least one droplet. It is more preferable to make the driving signal into a pulse shape because bubbles can be grown and contracted immediately and appropriately, and thus a liquid (ink) with excellent responsiveness can be ejected. As the pulse-shaped drive signal, those described in US Pat. Nos. 4,463,359 and 4,345,262 are suitable. In addition,
US Pat. No. 4, of the invention relating to the rate of temperature rise of the heat acting surface,
If the conditions described in the specification of 313,124 are adopted,
Further excellent recording can be performed.

【0042】記録ヘッドの構成としては、上述の各明細
書に開示されているような吐出口、液路、電気熱変換体
の組み合わせ構成(直線状液流路または直角液流路)の
他に熱作用部が屈曲する領域に配置されている構成を開
示する米国特許第4,558,333号明細書、米国特許第4,45
9,600号明細書を用いた構成も本発明に含まれるもので
ある。加えて、複数の電気熱変換体に対して、共通する
スリットを電気熱変換体の吐出部とする構成を開示する
特開昭59年第123670号公報や熱エネルギーの圧力波を吸
収する開口を吐出部に対応させる構成を開示する特開昭
59年第138461号公報に基づいた構成としても本発明は有
効である。
As the constitution of the recording head, in addition to the combination constitution of the ejection port, the liquid passage, and the electrothermal converter (the straight liquid passage or the right-angled liquid passage) as disclosed in the above-mentioned respective specifications. U.S. Pat.No. 4,558,333, U.S. Pat.
The structure using the specification of No. 9,600 is also included in the present invention. In addition, for a plurality of electrothermal converters, JP-A-123670 discloses a configuration in which a common slit serves as a discharge portion of the electrothermal converters and an opening for absorbing a pressure wave of thermal energy. Japanese Patent Application Laid-Open No. Sho-Ai discloses a structure corresponding to a discharge unit
The present invention is also effective as a configuration based on the '138461 publication.

【0043】さらに、記録装置が記録できる最大記録媒
体の幅に対応した長さを有するフルラインタイプの記録
ヘッドとしては、上述した明細書に開示されているよう
な複数記録ヘッドの組み合わせによって、その長さを満
たす構成や一体的に形成された一個の記録ヘッドとして
の構成のいずれでもよいが、本発明は、上述した効果を
一層有効に発揮することができる。
Further, as a full line type recording head having a length corresponding to the width of the maximum recording medium which can be recorded by the recording device, a combination of a plurality of recording heads as disclosed in the above-mentioned specification is used. The present invention can exert the above-mentioned effects more effectively, although it may have a configuration satisfying the length or a configuration as one recording head integrally formed.

【0044】加えて、装置本体に装着されることで、装
置本体との電気的な接続や装置本体からのインクの供給
が可能になる交換自在のチップタイプの記録ヘッド、あ
るいは記録ヘッド自体に一体的に設けられたカートリッ
ジタイプの記録ヘッドを用いた場合にも本発明は有効で
ある。
In addition, by being attached to the apparatus main body, it can be electrically connected to the apparatus main body and can be supplied with ink from the apparatus main body by a replaceable chip type recording head or the recording head itself. The present invention is also effective when a cartridge-type recording head that is specially provided is used.

【0045】また、本発明の記録装置の構成として設け
られる、記録ヘッドに対しての回復手段、予備的な補助
手段などを付加することは本発明の効果を一層安定化で
きるので好ましいものである。これらを具体的に挙げれ
ば、記録ヘッドに対しての、キャッピング手段、クリー
ニング手段、加圧あるいは吸引手段、電気熱変換体ある
いはこれとは別の加熱素子あるいはこれらの組み合わせ
による予備加熱手段、記録とは別の吐出を行なう予備吐
出モードを行なうことも安定した記録を行なうために有
効である。
Further, it is preferable to add recovery means for the recording head, preliminary auxiliary means, etc., which are provided as a configuration of the recording apparatus of the present invention, because the effects of the present invention can be further stabilized. . Specific examples thereof include capping means, cleaning means, pressurization or suction means, an electrothermal converter or a heating element other than this, a preheating means for the recording head, and a recording head for the recording head. It is also effective to perform a preliminary ejection mode in which another ejection is performed for stable recording.

【0046】さらに、記録装置の記録モードとしては黒
色等の主流色のみの記録モードだけではなく、記録ヘッ
ドを一体的に構成するか複数個の組み合わせによってで
もよいが、異なる色の複色カラーまたは、混色によるフ
ルカラーの少なくとも一つを備えた装置にも本発明は極
めて有効である。
Further, the recording mode of the recording apparatus is not limited to the recording mode of only the mainstream color such as black, but the recording head may be integrally formed or a plurality of combinations may be used. The present invention is also extremely effective for an apparatus provided with at least one of full color by color mixing.

【0047】以上説明した本発明実施例においては、イ
ンクを液体として説明しているが、室温やそれ以下で固
化するインクであって、室温で軟化もしくは液体あるい
は、上述のインクジェットではインク自体を30℃以上
70℃以下の範囲内で温度調整を行なってインクの粘性
を安定吐出範囲にあるように温度制御するものが一般的
であるから、使用記録信号付与時にインクが液状をなす
ものであればよい。加えて、積極的に熱エネルギーによ
る昇温をインクの固形状態から液体状態への態変化のエ
ネルギーとして使用せしめることで防止するかまたは、
インクの蒸発防止を目的として放置状態で固化するイン
クを用いるかして、いずれにしても熱エネルギーの記録
信号に応じた付与によってインクが液化してインク液状
として吐出するものや記録媒体に到達する時点ではすで
に固化し始めるものなどのような、熱エネルギーによっ
て初めて液化する性質のインク使用も本発明には適用可
能である。このような場合インクは、特開昭54-56847号
公報あるいは特開昭60-71260号公報に記載されるよう
な、多孔質シート凹部または貫通孔に液状または固形物
として保持された状態で、電気熱変換体に対して対向す
るような形態としてもよい。本発明においては、上述し
た各インクに対して最も有効なものは、上述した膜沸騰
方式を実行するものである。
In the embodiments of the present invention described above, the ink is described as a liquid, but it is an ink that solidifies at room temperature or below, and is softened or liquid at room temperature, or the ink itself is 30 in the above ink jet. It is common to adjust the temperature within a range of ℃ to 70 ℃ to control the temperature of the ink so that the viscosity of the ink is within the stable ejection range. Good. In addition, it is possible to prevent the temperature rise due to thermal energy from being positively used as energy for changing the state of the ink from a solid state to a liquid state, or
Whether or not ink that solidifies in a standing state is used for the purpose of preventing evaporation of the ink, and in any case, the ink liquefies by being applied according to the recording signal of thermal energy and is ejected as an ink liquid or reaches a recording medium. The use of inks that have the property of only liquefying by thermal energy, such as those that have already begun to solidify at this point, is also applicable to the present invention. In such a case, the ink, as described in JP-A-54-56847 or JP-A-60-71260, in a state of being held as a liquid or a solid in the recesses or through holes of the porous sheet, It may be configured to face the electrothermal converter. In the present invention, the most effective one for each of the above-mentioned inks is to execute the above-mentioned film boiling method.

【0048】[0048]

【発明の効果】本発明は、以上説明したとおり構成され
ているので、駆動素子が被記録媒体に干渉しない上、吐
出口形成面と被記録媒体との間の距離を短くすることが
でき、良好な画像記録が得られ、また、製造歩留りも向
上するという効果を奏する。
Since the present invention is configured as described above, the driving element does not interfere with the recording medium, and the distance between the ejection port forming surface and the recording medium can be shortened. There is an effect that good image recording can be obtained and the manufacturing yield is improved.

【0049】特に、この高密度、多ノズルタイプのイン
クジェット記録ヘッドが、走査されるキャリッジに搭載
されるインクジェット記録装置では、インクカートリッ
ジとキャリッジとの接続が確実に行え、さらに良好な画
像記録が得られる。
In particular, in an ink jet recording apparatus in which this high-density, multi-nozzle type ink jet recording head is mounted on a scanned carriage, the ink cartridge and the carriage can be reliably connected to obtain a better image recording. To be

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】インクジェット記録装置の全体構成図である。FIG. 1 is an overall configuration diagram of an inkjet recording apparatus.

【図2】インクジェット記録ヘッドの概略透視図であ
る。
FIG. 2 is a schematic perspective view of an inkjet recording head.

【図3】本発明のインクジェット記録ヘッドの第1の実
施例の側面図である。
FIG. 3 is a side view of the first embodiment of the inkjet recording head of the present invention.

【図4】図3のインクジェット記録ヘッドの吐出口形成
面側から見た図である。
FIG. 4 is a diagram viewed from the ejection port forming surface side of the inkjet recording head of FIG.

【図5】図4のA部の拡大図である。5 is an enlarged view of part A in FIG. 4. FIG.

【図6】図5のX−X線断面図である。6 is a cross-sectional view taken along line XX of FIG.

【図7】図4のB部の拡大図である。FIG. 7 is an enlarged view of part B in FIG.

【図8】図7のY−Y線断面図である。8 is a cross-sectional view taken along line YY of FIG.

【図9】図3のC部の拡大図である。9 is an enlarged view of a C portion of FIG.

【図10】本発明のインクジェット記録ヘッドの第2の
実施例の側面図である。
FIG. 10 is a side view of a second embodiment of the inkjet recording head of the present invention.

【図11】図10のインクジェット記録ヘッドの吐出口
面形成側から見た図である。
FIG. 11 is a diagram viewed from the ejection port surface formation side of the inkjet recording head of FIG.

【図12】本発明のインクジェット記録ヘッドの第3の
実施例の側面図である。
FIG. 12 is a side view of a third embodiment of the inkjet recording head of the present invention.

【図13】図12のインクジェット記録ヘッドの吐出口
形成面側から見た図である。
13 is a diagram viewed from the ejection port forming surface side of the inkjet recording head of FIG.

【図14】従来のインクジェット記録ヘッドの側面図で
ある。
FIG. 14 is a side view of a conventional inkjet recording head.

【図15】図14のインクジェット記録ヘッドの吐出口
形成面側から見た図である。
15 is a diagram viewed from the ejection port forming surface side of the inkjet recording head of FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1,1a,1b ヒータボード 2,2a,2b 外部配線基板(外部配線部) 3,3a,3b 駆動素子 4,4a,4b 圧接部 5,5a,5b フレキシブル配線基板 6,6a,6b インクタンク 7,7a,7b 記録紙(被記録媒体) 8,8a,8b プラテン 9,9a,9b 液滴 10,10a,10b 吐出口 11,11a,11b オリフィスプレート 12,12a,12b シリコン樹脂 13,13a,13b 吐出口形成面 14 インクジェット記録ヘッド 15 電気熱変換体 16,16a,16b 電極パット 17,17a,17b ビ−ムリード 18,18a,18b ワイヤー 19,19a,19b 銅配線 20 キャリッジ 21 キャップ 22 伝動機構 23 ブレード 24 ヘッド回復装置 25 クリーニング用モータ 26 ブレード保持部材 27 駆動ベルト 28 駆動モータ 29,30 ガイドシャフト 31 廃インクタンク 32 共通電極 33 個別電極 34 孔 35 発熱部 36 保護層 37 発熱抵抗層 38 電極層 39 駆動素子電極パット 40 銅配線保護フィルム 41 銅配線 42 圧接パット部 43 フレキシブル配線基板圧接パット部 44 銅配線保護フィルム 45 シリコン基板 1, 1a, 1b Heater board 2, 2a, 2b External wiring board (external wiring part) 3, 3a, 3b Driving element 4, 4a, 4b Pressure contact part 5, 5a, 5b Flexible wiring board 6, 6a, 6b Ink tank 7 , 7a, 7b Recording paper (recording medium) 8, 8a, 8b Platen 9, 9a, 9b Droplet 10, 10a, 10b Discharge port 11, 11a, 11b Orifice plate 12, 12a, 12b Silicon resin 13, 13a, 13b Discharge port forming surface 14 Ink jet recording head 15 Electrothermal converter 16, 16a, 16b Electrode pad 17, 17a, 17b Beam lead 18, 18a, 18b Wire 19, 19a, 19b Copper wiring 20 Carriage 21 Cap 22 Transmission mechanism 23 Blade 24 Head Recovery Device 25 Cleaning Motor 26 Breaker Holding member 27 Drive belt 28 Drive motor 29, 30 Guide shaft 31 Waste ink tank 32 Common electrode 33 Individual electrode 34 Hole 35 Heat generating part 36 Protective layer 37 Heat generating resistance layer 38 Electrode layer 39 Drive element electrode pad 40 Copper wiring protective film 41 Copper Wiring 42 Pressure contact pad 43 Flexible wiring board Pressure contact pad 44 Copper wiring protection film 45 Silicon substrate

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 インクを吐出するための吐出口が形成さ
れた吐出口形成面及び基板を備え、かつインクが前記基
板に対して垂直方向に吐出する吐出エレメントと、該吐
出エレメントに電気信号を印加するための外部配線部と
を有し、前記外部配線部上に前記吐出エレメントの駆動
素子が配置され、前記吐出エレメント、前記外部配線部
及び前記駆動素子が順次電気的に接続されているインク
ジェット記録ヘッドにおいて、 前記駆動素子が、前記吐出エレメントの前記吐出口形成
面に対して吐出方向とは反対側に設けられていることを
特徴とするインクジェット記録ヘッド。
1. An ejection element comprising an ejection port forming surface on which ejection ports for ejecting ink are formed and a substrate, wherein ink is ejected in a direction perpendicular to the substrate, and an electric signal is applied to the ejection element. An inkjet having an external wiring part for applying a voltage, the drive element of the ejection element is disposed on the external wiring part, and the ejection element, the external wiring part, and the drive element are sequentially electrically connected. In the recording head, the inkjet recording head is characterized in that the drive element is provided on the side opposite to the ejection direction with respect to the ejection port forming surface of the ejection element.
【請求項2】 前記吐出エレメントは、熱エネルギーを
利用してインクを吐出するものであって、前記熱エネル
ギーを発生させるための電気熱変換体を備えている請求
項1に記載のインクジェット記録ヘッド。
2. The ink jet recording head according to claim 1, wherein the ejection element ejects ink by utilizing thermal energy, and includes an electrothermal converter for generating the thermal energy. .
【請求項3】 被記録媒体の搬送手段と、前記被記録媒
体に向けてインクを吐出して記録を行う、請求項1また
は2に記載のインクジェット記録ヘッドとを備え、前記
搬送手段によって前記被記録媒体を前記インクジェット
記録ヘッドに対して相対的に移動させつつ、前記インク
ジェット記録ヘッドからインクを吐出させて前記被記録
媒体に画像を記録するインクジェット記録装置。
3. The inkjet recording head according to claim 1, wherein the recording medium is transported by the inkjet recording head, and the inkjet recording head is configured to perform recording by ejecting ink toward the recording medium. An inkjet recording apparatus for recording an image on the recording medium by ejecting ink from the inkjet recording head while moving the recording medium relative to the inkjet recording head.
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