JPH11326973A - 制御可能な多波長出力をもつ超短パルス光源 - Google Patents

制御可能な多波長出力をもつ超短パルス光源

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JPH11326973A
JPH11326973A JP11070968A JP7096899A JPH11326973A JP H11326973 A JPH11326973 A JP H11326973A JP 11070968 A JP11070968 A JP 11070968A JP 7096899 A JP7096899 A JP 7096899A JP H11326973 A JPH11326973 A JP H11326973A
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optical
laser
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Martin M Fejer
エム フィジェー マーティン
Donald J Dr Harter
ジェー ハーター ドナルド
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Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【課題】固定波長の超短光パルスを出す単一光源から可
変あるいは可調波長の超短光パルスを発生させるための
方法と装置を提供するとともに、同様の単一光源を使っ
て複数の波長の超短光パルスを発生させるための方法と
装置を提供する。複数の波長変換チャネル間の選択のた
めのレーザシステム出力の高速制御を提供する。又レー
ザシステムの単一出力で複数波長を提供する。 【解決手段】固定された波長の超短パルスを発生するた
めのレーザ発生器と、少なくとも一つの波長変換チャネ
ルとからなる多波長超短パルスレーザシステムで達成さ
れる。ファイバレーザシステムが単一波長の超短パルス
を発生するために使われる。光学的に分離したスイッチ
マトリックスは、レーザ発生器からのパルスを波長変換
チャネルに向かわせる。光学的に結合するスイッチマト
リックスは波長変換チャネルの下流に配置され、分離し
た波長変換チャネルからの出力を単一の出力チャネルに
結合させる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、複数波長の超短光パル
スを発生する装置と方法に関し、特に、そのような光パ
ルスを発生し制御する光ファイバと光導波路を使った装
置と方法に関する。超短は、ここでは、10−15秒
(フェムト秒)〜10−12秒(ピコ秒)の範囲を対象
とする。
【0002】
【従来の技術】超短光パルスを発生する様々なレーザシ
ステムが従来技術の中で知られている。実用的な観点か
ら、これらシステムは2つの大きなカテゴリに分類され
る:レーザ利得媒質の使用を基本とする固体レーザシス
テムと、導波するファイバ光学素子に基づくファイバレ
ーザシステム。ファイバレーザはその固有構造により多
数の基本的な特性を有しており、その特性はファイバレ
ーザを広範な実際の用途に著しく適合させる。従来技術
の中で知られているように、ファイバレーザはコンパク
トで、ダイオードポンプが可能で、ロバスト性、再現性
に優れている。多数の理由のために、現在、超短パルス
ファイバレーザシステムに適した最も成熟した技術は、
波長約1.55μmの出力パルスを出すErドープファ
イバを基本としている。最初、Erドープファイバは、
最も発達した希土類ドープファイバの中に位置づけられ
ている。そのようなファイバをポンピングするダイオー
ドレーザも大きく進歩している。
【0003】特に、超短パルスの発生は、レーザ共振器
内における分散の設計−制御を必要とする。これは、
1.3μm以上の波長でのみコンパクトなすべてのファ
イバ共振器内で達成される。そのファイバ共振器内での
光ファイバの分散は、正負どちらかの符号に合わされ
る。しかしながら、超短パルスの様々な実際の応用は、
他の動作波長、たとえば、より短い、あるいは、より長
い動作波長を必要とする。現在、これらの波長でのフェ
ムト秒パルスファイバ発振器は、共振器内の分散を制御
するために、プリズム対セットのようなバルク状外部部
品を使用することでのみ設計される。
【0004】いくつかの特殊なレーザシステムの波長範
囲を拡げるための一般的でよく知られた方法は、和ある
いは差周波の光高調波発生や、光パラメトリック利得の
ような非線形光学相互作用を利用することである。高調
波発生は、光信号をより高い光周波数(より短い波長)
に変換するのにだけ適しており、波長可変あるいは多波
長出力を出すことはできない。和周波と差周波の発生
は、より高い光周波数とより低い光周波数の両方の光周
波数への信号変換を可能にし、波長同調を可能にする
が、少なくとも、2つの異なる光周波数でよく同期した
2つの光源を必要とする。したがって、これら各々の相
互作用だけでは一つの単波長信号源から多波長あるいは
波長可変出力を供給することができない。
【0005】光パラメトリック相互作用は、一つの単一
波長信号源を使って可変あるいは多波長変換を行うのに
適している。さらに、光パラメトリック変換は、パラメ
トリック相互作用と上述の相互作用のうちの少なくとも
一つと組み合わせることで、光信号をより低い光周波数
(より長波長)にのみ変換することを可能にするが、信
号光周波数より高いあるいは低いどちらの光周波数も得
られる。
【0006】パラメトリック光周波数変換の一般的な欠
点は、自然量子変動ノイズを微視的なレベルから巨視的
なレベルに増幅するのに十分な高いパラメトリック利得
を達成するために、すなわち、十分な信号エネルギ変換
を達成するために、高いピークパワと高いパルスエネル
ギが必要になるということである。必要なエネルギは、
典型的なモードロックされた超短パルスレーザ発振器か
ら直接発生されるエネルギよりもはるかに大きいという
ことが、従来からよく知られている。既知の最良の実験
結果は、Galvanauskas等によって"Fiber-laser based f
emtosecond parametric generator in bulk periodical
ly poled LiNbO3"; Optics Letters, Vol.22, No.2, Ja
nuary, 1997 に報告されたように、バルクの周期的にポ
ーリング(電場配向)されたニオブ酸リチウム結晶中で
光パラメトリック発生(OPG)のしきい値が〜50n
Jで、約100nJのときのOPG変換効率が〜40%
である。それに対して、ファイバレーザからの典型的な
フェムト秒モードロックパルスエネルギは、10pJ〜
10nJの範囲であり(Fermann等によって"Environmen
tally stable Kerr-type mode-locked erbium fiber la
ser prducing 360-fs pulse"; Optics Letters; Vol.1
9, No.1; January, 1997, と"Generation of10nJ picos
econd pulses from a modelocked fiber laser"; Elect
oronics Letters, Vol.31, No.3; February, 1995,に記
載されているように)、また、固体レーザからの典型的
なフェムト秒モードロックパルスエネルギは、最大〜3
0nJである(Pelouch等によって、"Ti:sapphire-pump
ed, high-repetition-rate femtosecond optical param
etric oscillator"; Optics Letters Vol.17, No.15; A
ugust, 1992,に記載されているように)。
【0007】たとえば、Pelouch等の上記文献に見られ
るように、次のことが従来から知られている。有効な光
パラメトリック波長変換は、ポンプパルスとシグナルパ
ルスがパラメトリック利得媒質を同期して通過すること
を確実にする分離した光共振器中に非線形結晶を配置し
て、非増幅あるいは増幅されたモードロックレーザパル
スで達成される。この場合、パラメトリック相互作用は
繰り返し起こるので、低い単一通過パラメトリック利得
とモードロック発振器の低パルスエネルギは、有効な変
換を行うのに十分である。この方法の重大な実用上の欠
点は、2つの精密に長さを合わせた光共振器を必要とす
ることである;一つはモードロック発振器用であり、他
方は同期してポンピングされた光パラメトリック発振器
(OPO)用である。したがって、そのようなOPOシ
ステムは複雑で、大きく、根本的に環境条件に極めて敏
感である(ロバスト性がない)。さらに、そのようなシ
ステムの波長同調には非線形結晶の回転あるいは移動、
共振器ミラーの回転、等のような同調素子の機械的な移
動を必要とし、これは、高速の波長同調あるいは切り換
えに適合しない。したがって、OPOシステムは、モー
ドロック発振器出力で直接的に多波長パルスを発生させ
るための実用的な短パルス光源にはなり得ない。
【0008】
【本発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、固
定波長の超短光パルスを出す単一光源から、可変あるい
は可調波長の超短光パルスを発生させるための方法と装
置を提供することである。本発明のさらなる目的は、固
定波長の超短光パルスを出す単一光源を使って、複数の
波長の超短光パルスを発生させるための方法と装置を提
供することである。
【0009】本発明の別の目的は、複数の波長変換チャ
ネル間の選択のための、レーザシステム出力の高速制御
を、提供することである。本発明の別の目的は、分離し
た波長変換チャネルからの出力を単一出力ビームに組み
合わせることで、レーザシステムの単一出力で複数波長
を提供することである。
【0010】本発明の別の目的は、現存する超短パルス
レーザ発振器と合致する比較的低いパルスエネルギとパ
ワで有効な多波長あるいは可変波長動作を可能にするこ
とである。本発明の別の目的は、コンパクトで、ロバス
トな、製作しやすい、コスト面で効果的な、装置を提供
するために、ロバストで、コンパクトかつ大型化に適し
た部品を使って、そのようなシステムを実施することで
ある。
【0011】前述の目的は、個々に達成されるし、組み
合わせても達成される。そして、特許請求の範囲で明確
に要求されない限り、本発明が組み合わされる二つある
いはそれ以上の目的を必要とすると解釈されることは、
意図していない。
【0012】
【課題を解決するための手段】本発明に従い、これらの
目的は、固定された波長の超短パルスを発生するための
レーザシステムを構成する第一のパートと、少なくとも
一つ、なるべくなら複数の波長変換チャネルを構成する
第二のパートと、を有するシステムで達成される。一個
(複数)の波長制御素子は、レーザ発生器と波長変換チ
ャネルの間に配置され、パルスをレーザ発生器から少な
くとも一つの波長変換チャネルに向かわせる。別のコン
ポーネントあるいは複数のコンポーネントは、波長変換
チャネルの下流に配置され、分離した波長変換チャネル
からの出力を一つの出力チャネルに結び付ける働きをす
る。
【0013】本発明によれば、新規な光導波路が波長変
換チャネルと波長制御、ビーム制御チャネルに使用され
る。なるべくなら、ファイバレーザシステムが単一波長
の超短パルスの発生のために使われる。本発明の多波長
レーザシステムは、複数の異なる単一波長レーザシステ
ムに取って代わる。
【0014】本発明の一つの応用は、パルスを発生する
レーザの波長と異なる波長の超短光パルスを必要とする
システムへの応用である。たとえば、本発明のシステム
は、光コヒーレンス・トモグラフィ(OCT)のため
に、超短パルス波長を皮膚が最も透明な約1.3μmに
シフトさせることができる。本発明の上記およびさらな
る目的、特徴、利点は、以下に記載されたそれらについ
ての明確な実施例の検討で明らかになるだろう。特に、
いろいろな図中の引用数字が部品を指示するために使わ
れている添付図面と共に理解するとき、明らかになるだ
ろう。
【0015】上記参考文献の全ては、ここに参考として
織り込まれている。
【0016】
【実施例】図1は、本発明による可調あるいは可変光波
長、あるいは多波長の超短パルスを供給するためのシス
テムを示すトップレベルの図である。このステムは、固
定された波長の超短光パルスを発生するための超短パル
スレーザ(UPL)10と、少なくとも一つの波長変換
チャネル(WCC)121〜12nを含んでいる。
【0017】UPL10は、典型的なパルスエネルギが
10pJ(10×10−12J)〜10nJ(10×1
0−9J)で、典型的な平均パワが0.1mW〜100
mWのピコ秒あるいはフェムト秒光パルスを供給できる
モードロック・ファイバ発振器である。モードロック・
ファイバレーザ発振器は、Fermann等による上記
参考文献に記述されているような様々な実行できるデザ
インをもつことができる。ファイバ発振器は、どのよう
なファイバ分散制御素子をも有しないオールファイバ共
振器をもつことが、上記の理由で好ましい。したがっ
て、好ましい動作波長は、1.55μmである。あるい
は、UPL10はTi:サファイアレーザ、Cr:フォ
ルステライトレーザ、Cr:LiSaFレーザ、または
Cr:LiSGaFレーザのような固体レーザである。
【0018】図1に示す実施例の一つの重要な特徴は、
WCCでの波長変換が光導波路中で行われるということ
である。上述のように、最近既知の非線形材料への非線
形変換の使用は、モードロック・ファイバレーザあるい
は一般的に任意の他のモードロック超短パルスレーザか
らの非増幅出力を使っての光パラメトリック発生を起こ
させない。周期的にポーリングしたニオブ酸リチウム
(LiNbO3)中の特別に設計した導波路に光パラメ
トリック発生を使うことで、OPGしきい値が超短パル
ス発振器を利用できるエネルギ範囲に低下されること
が、最初に実験検証された。
【0019】バルク結晶中と光導波路中での光パラメト
リック発生の根本的な差異は、後者が光ビームを小さな
断面積の領域に閉じ込め、かつ光ビームを回折広がりな
しに全導波路長に渡って伝搬させることである。それに
比べ、光学結晶中の自由空間を伝搬するビームは、回折
広がりを起こす。したがって、光導波路中の長い伝搬長
に渡っての著しく高い光強度は、同じポンプパワでのバ
ルク結晶に比べ、著しく高い光パラメトリック利得をも
たらす。
【0020】さらに、二つあるいはそれ以上の超短パル
ス間の最大相互作用長は、異なる波長の異なる群速度で
制限される。制限される最大ウオークオフ長lwalk
−offは、パルス幅Δτと、光学材料の群速度不一致
(GVD)パラメータvGVDで決まる;lwalk−
off=Δτ/vGVD。同じ非線形材料(縮退での)
のバルク中の共焦点型集光ビームと比べた光導波路中の
OPGの利点は、定量的に次式で表される: Pth.conf./Pth.waveg.=λlwa
lk−off/2nAwaveg. ここで、Pth.conf.とPth.waveg.は
それぞれバルク結晶と導波路中でのポンプパルスのしき
い値ピークパワ、λとnはシグナル波長と縮退点での屈
折率、Awaveg.は導波路の断面積である。したが
って、バルク結晶と比べた光導波路を使う優位性は、パ
ルス幅に反比例する。バルク物質の場合、OPGしきい
値がパルス幅に依存しないことに注意する必要がある。
【0021】上述のように、バルク結晶での最低OPG
しきい値は、周期的にポーリングしたニオブ酸リチウム
(PPLN)で達成された。したがって、PPタンタル
酸リチウム、PPMgO:LiNbO3、PPKTP、
のような周期的にポーリングした強誘電性光材料あるい
はその他周期的にポーリングしたKTP異種同形物群の
結晶が有利に使用されるが、パラメトリック導波路用の
好ましい物質は、PPLNである。光導波路は、好まし
くは、既知のチタン内部拡散(TI)あるいはプロトン
交換(PE)(あるいはチタン内部拡散とプロトン交換
の組合せ(TIPE))技術を使って、PPLN基板に
形成される。
【0022】図2は、本発明のWCC用の好ましい導波
路構造を示している。光パラメトリック発生(OPG)
ステージ14は、分割された導波路で実施される断熱的
にテーパ化された導波路モード変換器構造16によって
先導される。モード変換器16は、Chou等がここに参考
文献として全て織り込まれている"Adiabatically taper
ed periodic segmentation of channel waveguides for
mode-size transformation and fundamental mode exc
itation"; Optics Letters, Vol.21,No.11;June,1996,
に記載したのと類似のデザインをもつことができる。O
PG導波路は、より長いパラメトリックなシグナル波長
(本実施例では〜1.55μm)でシングルモードであ
るが、より短いポンプ波長(本実施例では780nm)
でマルチモードであるので、モード変換器16の使用は
有利である。したがって、ポンプ光を導波路に直接結合
させて、導波路中のポンプ波長で単一の基本モードを励
起することは困難である。ポンプ光が、基本モードに変
換されてから基本横モードのOPGセクション14に送
り出される、モード変換ポート16に、ポンプ光が最初
に結合されるとき、しきい値、安定性、変換効率、に関
して最高の性能が達成される。
【0023】図3は、バルク(点線)とPPLN中の導
波路(実線)構造の場合における理論的なOPGしきい
値エネルギの、ポンプパルス(導波路中)幅依存性を示
している。OPGしきい値エネルギは、上式とバルクP
PLNの場合を測定したOPGエネルギしきい値50n
Jを使って計算される。2psの長いポンプパルスの場
合に測定された実験的なエネルギしきい値は図3に小球
で示すように、〜340pJである。しきい値レベル
は、この特別なパルス幅の場合、約2桁減少し、このこ
とは、モードロックレーザを利用できるエネルギ範囲の
ピコ秒とサブピコ秒パルス幅で、OPGが起きることを
証明している。そのようなファイバ発振器の一例が前述
のFermann等の文献(Electronics Letters,Vol.31,No.3)
に記載されている。記載されているファイバ発振器は、
本発明の導波路型OPG波長変換チャネルを直接駆動す
るのに十分なパルス幅2〜4ps、エネルギ6〜10n
Jのパルスを出す。
【0024】図4にグラフ表示したように、この構造で
十分なエネルギ変換が達成される。最大変換効率〜25
%が、OPGしきい値の約4〜5倍のポンプエネルギで
達成されている。単一導波路で複数光波長をアクセスで
きるように、変換された光波長は、導波路の温度を調節
することで(すなわち、導波路が形成される基板温度を
制御することで)調節される。OPG14は、二つの異
なる光波長を同時に作ることができ、二つのうちの短波
長の方は”シグナル”と呼ばれ、長波長の方は”アイド
ラ”と呼ばれる。したがって、三つ(ポンプ、シグナ
ル、アイドラ)全てに対してエネルギ保存則と運動量保
存則が満たされるように、ポンプ波長と周期的ポーリン
グの周期を正確に選択することで、単一のWCCが二つ
の必要とされる光波長の発生に適合するようになる。一
例として、図5は、温度100℃、擬位相整合(QP
M)グレーティング周期15μmでのポンプ波長に対す
る測定されたシグナルとアイドラの波長の関係を示して
いる。
【0025】さらに、図1に示されているように、多波
長が、異なる電気ポーリング周期をもつ複数の導波路を
有する単一のチップでアクセスされる。前もってデザイ
ンされた各波長は、必要な導波路を選択するために結晶
を横方向に移動させることで、アクセスされる。本発明
にしたがって、各WCCは、OPGステージ14の前に
少なくとも一つの高調波発生器HG18を、OPGステ
ージ14の後に少なくとも一つの高調波発生器HG20
を、オプション的に有している。一般的に、これはモー
ドロックレーザ波長より短い光波長を発生するようにす
る。全ての導波路は、システムを簡単にして余分な導波
路の結合損失を無くすように、単一のチップ上に形成さ
れる。もしも自由空間ポンプ光が、初期波長すなわち1
550nmでシングルモードである導波路型高調波発生
器と最初に結合するならば、より短波長に波長変換され
たビームが一般的に基本モードで得られ、OPGステー
ジ(同じチップ上の)に直接送り出される。このよう
に、第二高調波発生器はモード変換機能を遂行する。そ
のとき、断熱的にテーパ化されたモード変換器は不要で
ある。
【0026】波長変換チャネルとして単一導波路を使用
する多波長出力の構成例が図6に示してある。単一波長
をもつ超短パルス、たとえばファイバレーザからの〜1
550nmパルスが導波路内に送り出され、特定の超短
パルス波長のセット、たとえば〜680nm、〜780
nm、〜915nmが導波路内で発生され、出力端に供
給される。つまり、その1550nmパルスが導波路内
に送り出されるその導波路の第一セクションは、正確な
PPLN周期(これは導波路の正確な幾何学形状を考慮
して設計される)と導波路基板温度を通して実装された
第二高調波発生器60を構成する。1.55μmの入力
がシングルモードとすると、導波路は全てのセクション
に渡って同じ幅を持つことができる。そのとき、発生し
た第2高調波は基本モードである。2倍にされた〜78
0nmのファイバレーザ出力は、シグナル波長としての
〜1360nmとアイドラ波長としての〜1830nm
とを同時に発生させるために、導波路OPGセクション
62にさらに伝搬する。指定された波長は、OPGセク
ションに使用された確実なPPNL周期を通じて、上述
のファクタにしたがい、得られる。これら発生した二つ
のシグナルとアイドラ波長は、導波路のさらに先のセク
ションで別々に2倍にされ、それぞれ680nmと91
5nmの波長にされる。残りの780nmのポンプは、
これら二つの波長と共に伝搬して、たとえば、2光子顕
微鏡に使用される出力になる。OPG出力用の高調波発
生器64と66を含むデバイスの最終ステージは、同じ
基板、異なる一枚の基板あるいは複数の基板に別々に、
あるいはバルク材を使って、作り込まれる。
【0027】本発明による多波長、超短パルス発生シス
テムの一般的な実施例を図7に示す。多波長の超短パル
ス出力を発生し制御するシステムは、固定波長の超短光
パルスを発生する超短パルスレーザ(UPL)10と、
UPL10からの超短パルスのパワとエネルギを増加さ
せる光学的超短パルス増幅器(UPA)22と、各チャ
ネルがパラメトリック発生ステージ(PG)14と光高
調波発生(HG)ステージ18、20を有する少なくと
も一つあるいは好ましくは複数の波長変換チャネル(W
CCs)121〜12nに超短パルスを分配するための
光分岐スイッチマトリックス(OSSM)24と、単一
出力ビームを供給するため複数のWCCsの出力ポート
をシステムの出力端で結合するための光結合スイッチマ
トリックスOCSM26と、を有している(一つのWC
Cだけが使われるなら、OSSMとOCSMは必要な
い)。
【0028】モードロック・ファイバ発振器で直接発生
したパルスエネルギが、導波路型WCCsの駆動に十分
でないとすれば、レーザ出力は超短パルス増幅器UPA
22で増幅される。そのような増幅器は、ファイバ増幅
器が好ましい。非常に重要なことに、導波路型WCCs
の動作に必要なエネルギが低いことは、相対的に簡単な
ファイバ増幅器のデザインの使用を可能にする。1〜1
0nJの範囲とそれ以上のパルスは、直接あるいはGalv
anauskas等がここに参考文献として全て織り込まれてい
る"Use of Chirped-Period-Poled Lithium Niobate for
Chirped PulseAmplification in Optics Fibers";Ultr
afast Optics '97,Monterey CA;August,1997,に記載し
ているように、チャープされたファイバグレーティング
あるいはチャープされた周期ポーリング・ニオブ酸リチ
ウム圧縮器C−PPNLに基づくコンパクトでシンプル
なチャープされたパルス増幅機構を使うことで、得られ
る。
【0029】光結合スイッチマトリックス(OCSM)
26は、複数のWCCsから特定のレーザ光源を選ぶこ
とができる。強誘電体(たとえば、PPLN)基板面に
形成された基本的なOCSMの概念的な平面図を図8に
示す。基本的なOCSMは、導波路30からの波長λ1
のパルスと、あるいは導波路32からの波長λ2のパル
スを、幹線(出力)導波路34にスイッチすることがで
きる。上述のように、基板はニオブ酸リチウムあるいは
タンタル酸リチウムのような強誘電性材料で作られるこ
とが好ましい。光導波路は、チタン内部拡散(TI)あ
るいはプロトン交換(PE)あるいはチタン内部拡散と
プロトン交換の組合せ(TIPE)を使って形成され
る。光スイッチは、二つの光導波路の特定の領域を、レ
ーザ光が一方の導波路から他方へスイッチできるように
十分接近させることによって作られる。
【0030】図9に示すように、外部電界がない場合、
導波路30と32の超短パルスは、幹線導波路34にス
イッチされないで、導波路30と32の中を光学的な終
端まで伝搬し続ける。特定の電圧印加は、導波路30と
32の超短パルスあるいは、どちらか一方の超短パルス
の幹線導波路34への完全結合を引き起こす。たとえ
ば、図10に示すように、導波路32の超短光パルス
は、二つの導波路間のギャップと直交して電圧V2を印
加することで、幹線導波路34に結合される。ここに参
考文献として全て織り込まれている"Introduction to O
ptical Electronics",Amnon Yariv,pp.391-395,Holt,Ri
nehart and Winston, 1976,に記載されているような光
方向性結合器36、38は、導波路30、32と幹線導
波路34間にそれぞれの電界を供給するために使用され
る。幹線導波路34は、好ましくはTIPEプロセスの
みを使って形成される。こうすることは、様々な超短パ
ルスが幹線導波路34を効率よく伝搬するようにし、全
てのWCCsのためにコモンポートを与える。
【0031】図11は、図7に示されたOCSM26の
概観平面図である。OCSMは、図11に示された原理
に関連して任意の数のWCCsを処理するように設計さ
れるが、図11は、三つのWCCsを処理できるOCS
Mを示している。OCSM26は、強誘電性材に形成さ
れた三つの光方向性結合器40、42、44からなる。
三つのWCCsの主要な光導波路48、52、56はT
Iを使って形成される。500nmの超短パルスを伝搬
させる最初のWCCの導波路48は、屈折率n1をもつ
中心入力導波路になる。オフ(ゼロ印加電圧)段階で
は、導波路48(出力導波路46の中心部分になる)中
を伝搬し続ける。電圧V1を印加することで、500n
mの超短パルスは、レーザ投棄ポートにスイッチされ、
吸収される。出力導波路46の中で、500nmパルス
は、本来高度のシングルモード動作を保存するn1の屈
折率をもつ領域内を伝搬するようになる。
【0032】波長780nmのパルスを供給する2番目
のWCC導波路52は、2番目のハイブリッド光方向性
結合器42で出力導波路46に結合されている。オフ段
階で、780nmの超短パルスは、光学的終端ポート5
4に投棄される。電圧V2の印加で、780nmの超短
パルスは、屈折率n2のTIPE導波路をもつ出力導波
路46にスイッチされる。780nmのパルスは、本来
高度のシングルモード動作を保存する(すなわち、n1
とn2領域が組み合わさった部分は、780nmの超短
パルスのシングルモード伝搬と合致する)n1とn2の
屈折率をもつ出力導波路内を伝搬する。
【0033】OCSM26は、さらに、別のハイブリッ
ド光方向性結合器44と、屈折率n3をもつ出力導波路
46の付加的なTIPE導波路部分とを有している。こ
こで、n1>n2>n3である。この付加的TIPE導
波路部分の役割は、波長980nmのパルスが出力導波
路46内を伝搬できるようにすることである。特に、9
80nmのパルスは、本来n1、n2,n3領域(この
n1,n2,n3領域の組合せ断面積は、980nmの
超短パルスのシングルモード伝搬と合致する)を横切っ
て伝搬する。ゼロ電圧が3番目の方向性結合器44に印
加されると、導波路56中を伝搬する980nmの超短
パルスは、終端ポート58に投棄される。ハイブリッド
光方向性結合器にV3の電圧を印加することで、波長9
80nmのパルスは、コモンハイブリッド出力ポート4
6に導かれる。
【0034】便宜上、出力導波路46は、分離した屈折
率n1、n2、n3領域をもつように図11に示されて
いるが、屈折率が出力導波路46の幅方向に徐々に変化
する、すなわち、領域n1とn2の間と領域n2とn3
の間にステップ状の屈折率がない、ようにすることもで
きる。さらに、たとえば、二つのn2領域はn1領域の
下方に延びてn1領域を取り囲む一つの領域である必要
がなく、n1,n2,n3領域が基板内で並んでいても
よい。
【0035】光方向性結合器はハイブリッドが好まし
い。なぜなら、ここではTIPE導波路技術が使われる
からである。TIPE導波路の使用は、コモンポートを
通って基板から退出させるために3波長光源全てを結合
させるのに役立ち、全ての波長は準シングルモード動作
状態になる。容易にわかるように、デバイスを複雑にす
ることで、多波長が単一の導波路を伝搬してもシングル
モードを維持するようになる。波長が互いに十分接近し
ていれば、単一導波路は各波長に対してシングルモード
である。
【0036】図11に示されたOCSM26は、基板材
の大きさでのみ制限される任意の数のWCCsの結合を
拡大することができる。入手可能な4″ニオブ酸リチウ
ムウエハで10個の異なるWCCsを結合することがで
きる。様々なTIPE導波路部分を設計することは、W
CCsの数が増せば増すほど重要になる。上述のこと
は、各WCCsに受け入れられたシグナルパルスの結合
に関係する。同じ原理は、各WCCs中のアイドラ、シ
グナルのスイッチングを拡大することもできる。
【0037】上述の新しいOSCM26の代わりに、集
積化光学チップに外付けされた従来のデバイスを使うこ
とで、その結合機能がうまく働くということに注意すべ
きである。たとえば、コモンパスに多波長を結合させる
多数の既知の手段がある。これらの手段は、WDMシス
テムに使用されたことがある。最も簡単な手段は、一連
のダイクロイックミラである。別のやり方は、ファイバ
WDMを使うことである。一般に、本発明のOSCM2
6は、異なる波長を結合するためにWDMシステムに使
われるどのような方法をも使うことができる。
【0038】図7の光分岐スイッチマトリックスの構造
が、図12に一般的に示してある。OSSM24は、超
短パルス(たとえば、1.55μm)をUPL10から
WCCsのどれか一つあるいはいくつかに直接送り込
む。OSSM24の入力ポートから任意のWCCsへの
超短パルスの制御は、後述の電気−光学あるいは音響−
光学方法のどちらかを使って行われる。
【0039】図12は、入力放射光を出力ポートのどれ
かあるいは全てに分配するための1×3光方向性結合器
60の使用を示している。波長1.55μmのパルス
は、ニオブ酸リチウムあるいはタンタル酸リチウムのよ
うな強誘電体基板にTI、PE、あるいはTIPEで形
成された光導波路に送り込まれる。全ての導波路は、光
源波長でシングルモード伝搬するように設計された同じ
幅の断面積をもっている。分岐作用の条件は、1×3光
方向性結合器60への電圧V1あるいはV2の印加によ
って決定される。最適化されたデバイス動作、すなわ
ち、WCCs中の最小過剰損失と高い相互作用効率を確
実にするために、適当なモード変換器16がWCCsに
使われる(図2参照)。1×3OSSMに印加されるス
イッチング電圧は、上述のOCSM26のスイッチング
に同期される。図12に示されたOSSM24は、電気
−音響あるいは電気−光学能動スイッチを使って実現さ
れる。上記OSSMを実現するために、導波路型グレー
ティングを使うこともできる。
【0040】図13は、インターデジタル・トランスデ
ューサIDT1 70とIDT272で発生された表面
音響波(SAWs)に基づく1×3OSSMの新しい実
施形態を示す。図13に示されるように、IDT1 7
0とIDT2 72は基板表面に配置される。Δn1、
Δn2、Δn3でマークされた光導波路領域は、ベース
の1×3光導波路構造より僅かに高い屈折率である。基
板材は、TIを使って形成された導波路を有する強誘電
性材料であることが好ましい。僅かに高い屈折率の導波
路領域は、PEを使って形成される。この構成で必要と
されることから、適当な熱処理で屈折率変化が最小にさ
れる。インターデジタル電極トランスデューサに電気信
号が供給されないとき、1.55μmレーザ光のパス
は、1×3OSSMの中央出力ポートに真っ直ぐ伝搬す
る。IDT1 70に電圧V1が印加されると、発生し
たSAWsが1.55μmレーザ光を1×3構造の最初
(たとえば上方)の出力ポートへ偏向させる。同様に、
電圧V2がIDT2 72に印加されると、1.55μ
mの超短パルスは、1×3導波路構造の3番目(たとえ
ば下方)の出力ポートに偏向される。入力パルスの偏向
方向と量は、印加電圧とΔn値の両方に依存する。基板
表面へのIDTsの配置は、効率を改善するために最適
化される。そのような構成で、90%以上の効率が実現
されている。挿入損失は、Δn構造であることで最小に
される。
【0041】入力レーザ放射を1×3OSSMの三つ全
ての出力ポートへ等しく分配するために、三つのハイブ
リッド導波路領域のΔnが、熱処理時間を短くするかP
E時間を長くすることで、増大される。この動作モード
で、OSSMへの印加電圧V1、V2の両方は、等分岐
作用を最適化することを要求される。入力パルスの偏向
用に音響−光学素子を使う代わりに、強誘電体基板に一
対のグレーティング状金属電極を用いた電気−光学誘導
グレーティング(EOG)を使って、スイッチング作用
を行わせることができる。図14は、そのような1×3
OSSMの新しい実施を示している。1×3光導波路と
三つの適度に高いΔn領域があるということは、図13
に示した音響−光学型1×3OSSMに記載されたもの
に類似させている。EOG1 80に電圧V1を印加す
ることで、図13のIDTで発生されるのに類似の周期
的な屈折率変化が誘起される。金属的電気−光学誘導グ
レーティング構造の周期は、1.55μmの入力パルス
が1×3導波路デバイスの第1(たとえば上方)の出力
ポートにスイッチされるように設計される。電圧が印加
されないと、1.55μmの入力パルスは、1×3OS
SMデバイスの中間ポートに真っ直ぐ進む。電圧V2が
EOG2 82に印加されると、入ってくる1.55μ
mの入力パルスは、1×3デバイスの第3(たとえば下
方)の出力ポートに適切にスイッチされる。1×3OS
SM中の三つのハイブリッド導波路構造の屈折率変化
は、入力ポンプレーザ放射を三つの出力ポートに等分岐
できるように、増大される。EOGs80と82の両方
は、分岐を最適化するために使われる。ここに記述され
た音響−光学と電気−光学デバイスは、たとえば、電話
通信回路中にスイッチングのために使われているもので
ある。もちろん、電話通信応用のための他の集積光回路
用スイッチング方法も使われる。
【0042】上述のOCSMのように、OSSMは1×
3から1×10構造へ拡張可能である。再度、決定的な
制限は、強誘電体ウエハの大きさである。1×3OSS
M素子より大きい素子のハイブリッドPE部分は、OS
SM、WCC、OCSM構造全体に渡って要求されたよ
うに、より大きい角度分岐でのより高い分岐損失を補償
するために、多重PEプロセスで実現される。OSSM
24、WCCs、OCSM26は、好ましくは一つの基
板に形成される。
【0043】本発明の多波長光源のための特殊構造は、
応用にとって非常に重要である。システムの中の多波長
光源で、多くの可能性の広がりをもつようになる。多波
長光源の一つの応用は、市販のディスプレイあるいは印
刷用のRGB光源としてである。特にOPG導波路デバ
イスは、超高速パルスを同時にあるいは別々に赤、緑、
青の波長に変換するために使われる。上述のタイプの集
積光回路は、像形成のために色を変えたり変えなかった
りするスイッチング回路をもつこともできる。超高速パ
ルスは、各色でのハイピークパワと大きいバンド幅で得
られる有効な変換がレーザから得られるスペックルを最
小にするのに、有利である(スペックルは像を眼に対し
て粒状に見せる)。
【0044】光コヒーレンス・トモグラフィ(OCT)
は、医学的、眼科的イメージングツールとして開発され
てきた。光を強く散乱する人間の皮膚を透して撮像する
ことが、光を使ってできるようになった。OCTがMR
I、コンピュータ・トモグラフィ、あるいは超音波のよ
うな他の医学イメージングより、よい分解能を与えるこ
とが実証された。軸方向分解能が10ミクロンで、それ
がフェムト秒レーザのような短い可干渉距離の光源を使
うことで、2ミクロンに減少される。しかしながら、イ
メージングの深さは、3mmに限定される。OCTの一
つの望ましい特徴は、スーパルミネッセント・レーザダ
イオードのような簡単で安い光源が使えることである。
しかしながら、よりよい性能は、モードロックレーザを
使って得られる。たとえば、蛙の幼虫の心臓の生物体内
における撮像で、スーパルミネッセント・ダイオードを
使うと、像を得るのに20秒かかるが、モードロックレ
ーザを使うと、0.25秒しかかからないので、研究者
は、心弛緩と心収縮状態の間波打つ心臓の動きを捕らえ
ることができる。高速走査(2000Hz)がこの早い
イメージの取得を達成するのに使われる。モードロック
Ti:サファイアとモードロックCr:フォーステライ
トの両方がOCTに使われてきた。Cr:フォーステラ
イトは、その波長(1300nm)のために生物学的皮
膚の中のイメージングには特に適している;イメージン
グ深さを制限する散乱効果は、より長波長で減少する。
その方法は、ファイバ技術と両立できるので、ファイバ
スコープにうまく使われてきた。ここに参考文献として
全て織り込まれている"Rapid acquisition of in vivo
biological image by use of optical coherence tomog
raphy";Optics Letters, Vol.21, No.17;September 199
5,にTearney 等によって報告されているように、高速イ
メージ取得装置付半径方向走査型カテーテル・ファイバ
スコープが実証された。OCTは、多数の治療や人間の
腹壁中のガンの検出、豚の食道壁の表面下部イメージン
グと組織学、切除による生検に代わる光生検の実施、カ
ラードップラOCT(CDOCT)を使った血流速度の
マッピング、を含む試験研究の中で実証されてきた。O
CTは、カテーテルやファイバスコープ、あるいは腹く
う鏡的配達媒体と結合して、切除による生検と組織学的
処置なしで、ガンや前期ガン化皮膚変化を含む広い範囲
の病気のスクリーニングや診断を可能にする見込みをも
つようになる。OCTは、従来の顕微鏡と結びついて、
犠牲と組織学を必要としないで、生きた標本の内部構造
をイメージングすることを可能にする。
【0045】したがって、人間の皮膚内をOCTイメー
ジングするためには、1.3ミクロンのレーザ光源が必
要である。OPG導波路デバイスで1.3μmに変換さ
れるエルビウムドープファイバレーザは、この応用に適
している。問題と解答データを複数のディスプレイに表
示するために、新しい発明した方法と装置の好適実施例
が記述されているので、ここに示された一連の技術分野
に熟練した人にとっては、他の修正、変更、変化が暗示
されると思われる。したがって、そのような全ての変
更、修正、変化は、特許請求の範囲によって規定される
本発明の範囲内にあると信じる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による超短パルスレーザ光源の概観図。
【図2】本発明の波長変換チャネル用の好ましい導波路
構造の概観図。
【図3】バルクと周期的にポーリングしたニオブ酸リチ
ウム(PPLN)導波路構造の場合の、ポンプパルス
(導波路中の)幅に依存する理論的光パラメトリック発
生(OPG)のしきい値を示すグラフ。
【図4】本発明によるポンプエネルギを関数とする光パ
ラメトリック発生(OPG)変換効率の測定値を示すグ
ラフ。
【図5】100℃における測定したシグナル波長とアイ
ドラ波長対ポンプ波長の関係を示すグラフ。
【図6】本発明による単一導波路を使った多波長出力の
概観図。
【図7】本発明による多波長、超短パルス発生システム
の概観図。
【図8】二つの導波路の一方あるいは両方のパルスを一
つの出力導波路に切り換えるための基板面に形成された
光結合スイッチマトリックスの概観図。
【図9】二つの導波路の一方あるいは両方のパルスを一
つの出力導波路に切り換えるための基板面に形成された
光結合スイッチマトリックスの概観図。
【図10】二つの導波路の一方あるいは両方のパルスを
一つの出力導波路に切り換えるための基板面に形成され
た光結合スイッチマトリックスの概観図。
【図11】三つの波長変換チャネル導波路中を伝播する
超短光パルスを一つの出力導波路に結合できるようにす
る光結合スイッチマトリックス(OCSM)の概観図。
【図12】超短パルスを単一波長パルス光源から三つの
波長変換チャネルに選択的に分配するための光分岐スイ
ッチマトリックス(OSSM)の概観図である。
【図13】音響−光学素子を使って超短パルスを三つの
波長変換チャネルに選択的に分配するための光分岐スイ
ッチマトリックス(OSSM)の概観図。
【図14】電気−光学素子を使って超短パルスを三つの
波長変換チャネルに選択的に分配するための光分岐スイ
ッチマトリックス(OSSM)の概観図である。
【符号の説明】
10・・超短パルスレーザ(UPL)、121〜12n・
・波長変換チャネル(WCC)、14、62・・光パラ
メトリック発生導波路、16・・分割型モード変換器、
18、20・・高調波発生導波路、22・・超短パルス
増幅器、24・・光分岐スイッチマトリックス(OSS
M)、26・・光結合スイッチマトリックス(OCS
M)、30、32・・導波路、34・・幹線導波路、3
6、38、40、42、44・・光方向性結合器、46
・・出力導波路、50、54、58・・光学的終端、4
8、52、56・・WCCの主要な光導波路、60、6
4、66・・第2高調波発生器(SHG)、70・・イ
ンターディジタル・トランスデューサIDT1、72・
・インターディジタル・トランスデューサIDT2、8
0、82・・電気−光学誘導グレーティング(EOG)
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 マーティン エム フィジェー アメリカ合衆国 カリフォルニア州 メン ロ パーク イースト クリーク ドライ ブ120番地 9号 (72)発明者 ドナルド ジェー ハーター アメリカ合衆国 ミシガン州 アンアーバ ー サルグレイブ プレイス3535番地

Claims (28)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】超短光パルスを発生する超短光パルス光源
    と、 該超短光パルスの波長を異なる波長に変換するための波
    長変換チャネルと、からなり、 該波長変換チャネルは、該異なる波長の該超短パルスを
    パラメトリックに発生するための光パラメトリック発生
    部を含む、光導波路からなる超短光パルスを発生する超
    短パルス発生器。
  2. 【請求項2】さらに、入力光を前記光導波路に結合させ
    るためのモード変換器を含む請求項1に記載の超短パル
    ス発生器。
  3. 【請求項3】前記モード変換器が断熱的にテーパ化され
    た導波路からなる請求項2に記載の超短パルス発生器。
  4. 【請求項4】前記モード変換器が前記光導波路内に位置
    する第二高調波発生器からなる請求項2に記載の超短パ
    ルス発生器。
  5. 【請求項5】前記光導波路が、周期的にポーリングした
    強誘電性光材料からなる基板に形成される、請求項1に
    記載の超短パルス発生器。
  6. 【請求項6】前記周期的にポーリングした強誘電性光材
    料は、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム、Mg
    O:LiNbO3、KTP、KTP異種同形物群、のう
    ちの一つである請求項5に記載の超短パルス発生器。
  7. 【請求項7】前記波長変換チャネルは、波長変換チャネ
    ルの温度、該波長変換チャネルにポンプされた光の波
    長、該波長変換チャネル中の電界の周期的なポーリング
    の周期、のうちの少なくとも一つを関数として、前記超
    短光パルスの波長を変換する、請求項1に記載の超短パ
    ルス発生器。
  8. 【請求項8】前記超短光パルス光源は、モードロック・
    レーザである、請求項1に記載の超短パルス発生器。
  9. 【請求項9】前記モードロック・レーザは、エルビウム
    ドープ・ファイバレーザである、請求項8に記載の超短
    パルス発生器。
  10. 【請求項10】前記超短光パルス光源は、Ti:サファ
    イアレーザ、Cr:フォルステライトレーザ、Cr:L
    iSaFレーザ、Cr:LiSGaFレーザ、のうちの
    一つである、請求項1に記載の超短パルス発生器。
  11. 【請求項11】前記波長変換チャネルは、さらに、前記
    超短光パルス光源で発生される超短光パルスの波長より
    短い波長の超短光パルスを発生させるための少なくとも
    一つの高調波発生器を含む、請求項1に記載の超短パル
    ス発生器。
  12. 【請求項12】さらに、前記超短光パルスを増幅するた
    めに、前記波長変換チャネルの上流に超短パルス増幅器
    を含む、請求項1に記載の超短パルス発生器。
  13. 【請求項13】前記超短パルス増幅器は、エルビウム・
    ファイバ増幅器である、請求項12に記載の超短パルス
    発生器。
  14. 【請求項14】カラーイメージ発生デバイスと、 該カラーイメージ発生デバイスにレッド、グリーン、ブ
    ルー超短光パルスの形でイメージデータを供給するため
    の超短パルス発生器と、の組合せにおいて、 該超短パルス発生器が超短光パルスを発生する超短光パ
    ルス光源と、 レッド超短光パルスを生成するために該超短光パルスの
    波長を変換するための第一波長変換チャネルと、 ブルー超短光パルスを生成するために該超短光パルスの
    波長を変換するための第二波長変換チャネルと、 グリーン超短光パルスを生成するために該超短光パルス
    の波長を変換するための第三波長変換チャネルと、から
    なる。
  15. 【請求項15】前記第一波長変換チャネルがレッド超短
    光パルスをパラメトリックに発生する光パラメトリック
    発生部を含み、 前記第二波長変換チャネルがブルー超短光パルスをパラ
    メトリックに発生する光パラメトリック発生部を含み、 前記第三波長変換チャネルがグリーン超短光パルスをパ
    ラメトリックに発生する光パラメトリック発生部を含
    む、請求項14に記載の組合せ。
  16. 【請求項16】前記第一、第二、第三波長変換チャネル
    の各々が周期的にポーリングされた強誘電性光材料から
    なる基板に形成された導波路からなる請求項14に記載
    の組合せ。
  17. 【請求項17】前記周期的にポーリングされた強誘電性
    光材料が、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム、M
    gO:LiNbO3、KTP、KTP異種同形物群の結
    晶、のうちの一つである請求項16に記載の組合せ。
  18. 【請求項18】前記超短光パルス光源がモードロックレ
    ーザである請求項14に記載の組合せ。
  19. 【請求項19】前記超短光パルス光源がTi:サファイ
    アレーザ、Cr:フォルステライトレーザ、Cr:Li
    SaFレーザ、Cr:LiSGaFレーザ、のうちの一
    つである請求項14に記載の組合せ。
  20. 【請求項20】前記超短光パルス光源がモードロックフ
    ァイバレーザである請求項14に記載の組合せ。
  21. 【請求項21】前記モードロックファイバレーザがエル
    ビウムドープファイバレーザである請求項14に記載の
    組合せ。
  22. 【請求項22】カラーイメージ発生デバイスと、該カラ
    ーイメージ発生デバイスにレッド、グリーン、ブルー超
    短光パルスの形でイメージデータを供給するための超短
    パルス発生器と、の組合せにおいて、 該超短パルス発生器が超短光パルスを発生する超短光パ
    ルス光源と、 ポンプ波長でポンプパルスを発生するための光ポンプ
    と、 該超短光パルスの波長をレッド、グリーン、ブルー波長
    に変換するための光導波路と、からなり、 該光導波路が、調和波長で調和超短光パルスを発生する
    ための該超短光パルスによく反応する第一高調波発生部
    と、シグナル波長でのシグナル超短光パルスとアイドラ
    波長でのアイドラ超短光パルスをパラメトリックに発生
    するための調和超短光パルスとポンプパルスによく反応
    する光パラメトリック発生部位と、 ブルー超短光パルスを発生するためのシグナル超短光パ
    ルスによく反応する第二高調波発生部と、レッド超短光
    パルスを発生するための該アイドラ超短光パルスによく
    反応する第三高調波発生部と、を含み、 該光導波路が、該ポンプ波長でグリーン超短光パルスを
    透過する。
  23. 【請求項23】前記光導波路が周期的にポーリングされ
    た強誘電性光材料からなる基板に形成される請求項22
    に記載の組合せ。
  24. 【請求項24】前記周期的にポーリングされた強誘電性
    光材料が、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム、M
    gO:LiNbO3、KTP、KTP異種同形物群の結
    晶、のうちの一つである請求項23に記載の組合せ。
  25. 【請求項25】前記超短光パルス光源がモードロック・
    レーザである請求項22に記載の組合せ。
  26. 【請求項26】前記超短光パルス光源がTi:サファイ
    アレーザ、Cr:フォルステライトレーザ、Cr:Li
    SaFレーザ、Cr:LiSGaFレーザ、のうちの一
    つである請求項22に記載の組合せ。
  27. 【請求項27】前記超短光パルス光源がモードロック・
    ファイバレーザである請求項22に記載の超短パルス発
    生器。
  28. 【請求項28】前記モードロック・ファイバレーザがエ
    ルビウムドープ・ファイバレーザである請求項22に記
    載の超短パルス発生器。
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