JPH11326456A - Test method and integrated circuit device - Google Patents

Test method and integrated circuit device

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JPH11326456A
JPH11326456A JP10125986A JP12598698A JPH11326456A JP H11326456 A JPH11326456 A JP H11326456A JP 10125986 A JP10125986 A JP 10125986A JP 12598698 A JP12598698 A JP 12598698A JP H11326456 A JPH11326456 A JP H11326456A
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JP
Japan
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integrated circuit
pins
test
circuit device
scan path
Prior art date
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Application number
JP10125986A
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Japanese (ja)
Inventor
Hajime Matsuzawa
肇 松澤
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NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To conduct a test to an integrated circuit device in a high speed without using a tester. SOLUTION: In a test method of an integrated circuit device 1 having plural pins 6 and plural flip-flops 11 which are connected to the plural pins 6 and also connected respectively in series so as to compose a scan path 3 which performs a shift motion as a shift resister at the time of the test, following steps are established, namely, a step in which a test control circuit 5, by which a test using the scan path 3 is performed, is installed beforehand in the integrated circuit device 1 in the state where the test control circuit 5 is connected to the scan path 3, and a step in which the plural pins 6 are connected respectively by an external wiring 4, and also a step in which the test using the scan path 3 is performed by the test control circuit 5, by giving a test mode signal to the test control circuit 5 in the state where the plural pins 6 are connected respectively by the external wiring 4.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、スキャンパスを構
成するように設計されたパッケージやカード等の集積回
路装置を被試験物として検査する技術に関する。
[0001] 1. Field of the Invention [0002] The present invention relates to a technique for inspecting an integrated circuit device such as a package or a card designed to constitute a scan path as a device under test.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、プリント基板やセラミック基板な
どにICやLSI等の集積回路部を搭載することにより
作られたパッケージやカード(集積回路装置)を被試験
物として検査する方法としては、被試験物のI/O(入
出力)ピンをアクセスする方法や、インサーキットテス
トと呼ばれるような、被試験物の各ノ一ドにプロービン
グしてテスタからアクセスを行いテストする方法が一般
的である。いずれの方法においても、被試験物の高密度
化に伴い、テスタは膨大な数のピン(ドライバ/レシー
バ)が必要になる。
2. Description of the Related Art Conventionally, a package or a card (integrated circuit device) produced by mounting an integrated circuit unit such as an IC or an LSI on a printed circuit board or a ceramic substrate is inspected as a device under test. A method of accessing an I / O (input / output) pin of a test object or a method of probing each node of a test object and accessing from a tester to perform a test, which is called an in-circuit test, is generally used. . In any of these methods, a tester requires an enormous number of pins (drivers / receivers) as the density of the device under test increases.

【0003】また、図4に示すように、集積化された被
試験物1の検査容易化を図るため、被試験物1のLSI
2にそれぞれ本来構成素子として備えられているフリッ
プフロップ(或いはラッチ)11を用いて、スキャンパ
ス3を構成する方法が知られている。即ち、この方法で
は、予め、被試験物1のLSI2のフリップフロップ
(或いはラッチ)11を、シフトレジスタとして働かせ
るべくシリアルに接続してスキャンパス3を構成してお
く。そして、テスタ10からスキャンパス3のスキャン
インピンを介してシフト動作によって1ビットずつ全フ
リップフロップ11にデータをセットし、その後シフト
動作を解除する。続いて、被試験物1のLSI2のフリ
ップフロップ11に接続されているI/O(入出力)ピ
ン6に接続されたテスタ10から、クロックCLKを被
試験物1のLSI2に供給するノ一マル動作によつて、
今度は、通常の方向にデータを送受する。その結果デー
タを再びシフト動作によって1ビットずつスキャンパス
3のスキャンアウトピンから抜き出し、観測し、該結果
データをテスタ10にて、期待値と比較して検査を行
う。
Further, as shown in FIG. 4, in order to facilitate inspection of the integrated DUT 1, an LSI of the DUT 1 is used.
A method is known in which the scan path 3 is configured using flip-flops (or latches) 11 originally provided as constituent elements of the scan path 3. That is, in this method, the scan path 3 is configured in advance by connecting the flip-flops (or latches) 11 of the LSI 2 of the device under test 1 serially so as to function as a shift register. Then, data is set to all flip-flops 11 bit by bit from the tester 10 via the scan-in pin of the scan path 3 by a shift operation, and then the shift operation is released. Subsequently, a normal clock CLK is supplied from the tester 10 connected to the I / O (input / output) pin 6 connected to the flip-flop 11 of the LSI 2 of the DUT 1 to the LSI 2 of the DUT 1. By operation,
Now send and receive data in the normal direction. The result data is again extracted one bit at a time from the scan-out pin of the scan path 3 by the shift operation, observed, and the result data is compared with an expected value by the tester 10 for inspection.

【0004】しかし、テスト時の動作速度はテスタ10
の動作速度に依存してしまうため、高速動作でのテスト
は事実上不可能である。
However, the operating speed at the time of the test is
It is practically impossible to test at high speed because it depends on the operation speed of the device.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】図4を用いて説明した
従来の方法における第1の問題点は、被試験物1の高密
度化に伴い、非常に多ピン(ドライバ/レシーバ)の高
価なテスタ10を必要とすることである。
The first problem with the conventional method described with reference to FIG. 4 is that, with the increase in the density of the DUT 1, a very large number of pins (drivers / receivers) is expensive. That is, the tester 10 is required.

【0006】その理由は、非常に多ピン化した被試験物
1に対し、それらピン6に1対1でテスタピンを接続し
てテストするためである。
The reason is that a tester pin is connected to each of the pins 6 on a one-to-one basis with respect to the DUT 1 having a very large number of pins, and the test is performed.

【0007】図4を用いて説明した従来の方法における
第2の問題点は、高速に動作させてテストを行うことが
困難なことである。
A second problem with the conventional method described with reference to FIG. 4 is that it is difficult to perform a test while operating at high speed.

【0008】その理由は、テスト時の動作速度はテスタ
10の動作速度によって制限されるからである。
The reason is that the operation speed at the time of the test is limited by the operation speed of the tester 10.

【0009】それ故、本発明の課題は、テスタを使用し
ないで集積回路装置(パッケージやカード)を高速でテ
ストする方法を提供することにある。
An object of the present invention is to provide a method for testing an integrated circuit device (package or card) at high speed without using a tester.

【0010】本発明の別の課題は、テスタを使用しない
で高速でテストされ得る集積回路装置(パッケージやカ
ード)を提供することにある。
Another object of the present invention is to provide an integrated circuit device (package or card) that can be tested at high speed without using a tester.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】本発明によれば、複数の
ピンと、前記複数のピンにそれぞれ接続された複数の構
成素子とを有する集積回路装置をテストするテスト方法
であって、前記複数の構成素子は、テスト時にシフトレ
ジスタとしてシフト動作を行うスキャンパスを構成すべ
く、互いにシリアルに接続されている状態の前記集積回
路装置をテストする方法において、前記スキャンパスを
用いたテストを行うテスト制御回路部を、予め、前記集
積回路装置に、該テスト制御回路部が前記スキャンパス
に接続された状態に、設けておくステップと、前記複数
のピンを互いに外部配線で接続するステップと、前記複
数のピンが互いに前記外部配線で接続された状態で、前
記テスト制御回路部にテストモード信号を与えて、前記
テスト制御回路部に、前記スキャンパスを用いたテスト
を行わせるステップとを有することを特徴とするテスト
方法が得られる。
According to the present invention, there is provided a test method for testing an integrated circuit device having a plurality of pins and a plurality of constituent elements connected to the plurality of pins, respectively. In the method of testing the integrated circuit devices in a state where the components are serially connected to each other to configure a scan path that performs a shift operation as a shift register during a test, a test control that performs a test using the scan path Providing a circuit unit in advance in the integrated circuit device in a state where the test control circuit unit is connected to the scan path; connecting the plurality of pins to each other via external wiring; A test mode signal to the test control circuit unit in a state where the pins of the test control circuit unit are connected to each other by the external wiring. , Testing method characterized by a step to perform a test using the scan path is obtained.

【0012】更に本発明によれば、基板と、該基板に実
装された複数の第1のピンと、前記基板に実装され、前
記複数の第1のピンにそれぞれ接続された複数の第1の
構成素子を有する第1の集積回路部と、前記基板に実装
された複数の第2のピンと、前記基板に実装され、前記
複数の第2のピンにそれぞれ接続された複数の第2の構
成素子を有する第2の集積回路部とを有する集積回路装
置をテストするテスト方法であって、前記複数の第1の
構成素子及び前記複数の第2の構成素子は、テスト時に
シフトレジスタとしてシフト動作を行うスキャンパスを
構成すべく、互いにシリアルに接続されている状態の前
記集積回路装置をテストする方法において、前記スキャ
ンパスを用いたテストを行うテスト制御回路部を、予
め、前記基板に、該テスト制御回路部が前記スキャンパ
スに接続された状態に、実装しておくステップと、前記
複数の第1のピンと前記複数の第2のピンとを互いに複
数の外部配線で接続するステップと、前記複数の第1の
ピンと前記複数の第2のピンとが互いに前記複数の外部
配線で接続された状態で、前記テスト制御回路部にテス
トモード信号を与えて、前記テスト制御回路部に、前記
スキャンパスを用いたテストを行わせるステップとを有
することを特徴とするテスト方法が得られる。
Further, according to the present invention, a substrate, a plurality of first pins mounted on the substrate, and a plurality of first structures mounted on the substrate and connected to the plurality of first pins, respectively. A first integrated circuit portion having an element, a plurality of second pins mounted on the substrate, and a plurality of second components mounted on the substrate and connected to the plurality of second pins, respectively. A test method for testing an integrated circuit device having a second integrated circuit unit, wherein the plurality of first constituent elements and the plurality of second constituent elements perform a shift operation as a shift register during a test. In the method of testing the integrated circuit devices serially connected to each other to configure a scan path, a test control circuit unit that performs a test using the scan path is provided on the substrate in advance. Mounting the test control circuit unit in a state connected to the scan path; connecting the plurality of first pins and the plurality of second pins to each other by a plurality of external wirings; In a state where the first pin and the plurality of second pins are connected to each other by the plurality of external wirings, a test mode signal is given to the test control circuit unit, and the scan path is provided to the test control circuit unit. Performing the used test.

【0013】また本発明によれば、複数のピンと、前記
複数のピンにそれぞれ接続された複数の構成素子とを有
する集積回路装置であって、前記複数の構成素子は、テ
スト時にシフトレジスタとしてシフト動作を行うスキャ
ンパスを構成すべく、互いにシリアルに接続されている
前記集積回路装置において、前記複数のピンを互いに接
続する外部配線と、前記スキャンパスに接続され、テス
トモード信号を受けると、前記スキャンパスを用いたテ
ストを行うテスト制御回路部とを有することを特徴とす
る集積回路装置が得られる。
Further, according to the present invention, there is provided an integrated circuit device having a plurality of pins and a plurality of constituent elements respectively connected to the plurality of pins, wherein the plurality of constituent elements are shifted as shift registers during a test. In the integrated circuit device, which is serially connected to each other to form a scan path for performing an operation, an external wiring connecting the plurality of pins to each other, and a test mode signal connected to the scan path, An integrated circuit device having a test control circuit unit for performing a test using a scan path is obtained.

【0014】更に本発明によれば、基板と、該基板に実
装された複数の第1のピンと、前記基板に実装され、前
記複数の第1のピンにそれぞれ接続された複数の第1の
構成素子を有する第1の集積回路部と、前記基板に実装
された複数の第2のピンと、前記基板に実装され、前記
複数の第2のピンにそれぞれ接続された複数の第2の構
成素子を有する第2の集積回路部とを有する集積回路装
置であって、前記複数の第1の構成素子及び前記複数の
第2の構成素子は、テスト時にシフトレジスタとしてシ
フト動作を行うスキャンパスを構成すべく、互いにシリ
アルに接続されている前記集積回路装置において、前記
複数の第1のピンと前記複数の第2のピンとを互いに接
続する複数の外部配線と、前記基板に、前記スキャンパ
スに接続された状態に実装され、テストモード信号を受
けると、前記スキャンパスを用いたテストを行うテスト
制御回路部とを有することを特徴とする集積回路装置が
得られる。
Further, according to the present invention, a substrate, a plurality of first pins mounted on the substrate, and a plurality of first structures mounted on the substrate and connected to the plurality of first pins, respectively. A first integrated circuit portion having an element, a plurality of second pins mounted on the substrate, and a plurality of second components mounted on the substrate and connected to the plurality of second pins, respectively. A plurality of first constituent elements and the plurality of second constituent elements constitute a scan path that performs a shift operation as a shift register during a test. Therefore, in the integrated circuit device, which is serially connected to each other, the plurality of external wirings connecting the plurality of first pins and the plurality of second pins to each other, and the substrate is connected to the scan path. Condition It is implemented, when receiving a test mode signal, the integrated circuit device is obtained, characterized in that it comprises a test control circuit section for performing a test using the scan path.

【0015】集積回路装置は、典型的には、構成素子と
してフリップフロップ或いはラッチを有する集積回路部
(LSIやIC)を有するパッケージ又はカードであ
る。
The integrated circuit device is typically a package or a card having an integrated circuit unit (LSI or IC) having a flip-flop or a latch as a constituent element.

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】次に本発明の実施例について図面
を参照して説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

【0017】以下に、集積回路装置が、構成素子として
フリップフロップを有するLSIを有するパッケージで
ある場合について主に説明されるが、構成素子としてラ
ッチを用いた場合や、LSIの代りにICを用いた場合
や、集積回路装置がパッケージである場合にも同様に動
作する。
Hereinafter, the case where the integrated circuit device is a package having an LSI having a flip-flop as a constituent element will be mainly described. However, a case where a latch is used as a constituent element or an IC is used instead of the LSI. When the integrated circuit device is a package, the same operation is performed.

【0018】本発明では、被試験物(即ち、集積回路装
置)内にテスト制御回路を設け、テスト時には被試験物
1のI/O信号を折り返して、テスタと接続せずに、高
速にテストを行う。
According to the present invention, a test control circuit is provided in a device under test (ie, an integrated circuit device), and at the time of a test, the I / O signal of the device under test 1 is turned back and a high-speed test is performed without connecting to a tester. I do.

【0019】より具体的には、被試験物であるパッケー
ジやカードに対しスキャンパス設計を行い、テスト時は
I/Oピンどうしを接続する。このとき、接続されるI
/Oピンどうしは互いにデータを送受できる入出力関係
になるように選択して接続する。また、被試験物には、
スキャンパスを制御し、テストパタンを実行するテスト
制御回路を設けておく。被試験物に対しては電源供給と
テストモードの設定を行うだけでテスト制御回路が動作
し、スキャンパスを用いたテストを行う。
More specifically, a scan path is designed for a package or card to be tested, and I / O pins are connected at the time of testing. At this time, the connected I
The / O pins are selected and connected so as to have an input / output relationship in which data can be transmitted and received. In addition, the DUT
A test control circuit for controlling a scan path and executing a test pattern is provided. The test control circuit operates only by supplying power and setting the test mode for the device under test, and performs a test using a scan path.

【0020】被試験物はスキャンパス設計となってい
る。LSI間の接続については、従来通り、各LSIの
スキャンパスによりデータを送受して検査を行う。I/
Oピンは治具などにより出力ピンと入力ピンの1:1接
続、あるいは1:n(2以上の整数)接続とし折り返し
配線を行う。双方向ピンはテスト時には入力あるいは出
力に任意に固定するように制御される。全てのI/Oピ
ンは一方の出力データを他方の入力データとして利用す
るため、テスタがドライブ/レシープをする必要がな
い。
The DUT has a scan path design. As for the connection between the LSIs, the data is transmitted and received by the scan path of each LSI and the inspection is performed as in the related art. I /
The O-pin is connected to the output pin and the input pin by a jig or the like in a 1: 1 connection or a 1: n (an integer of 2 or more) connection to perform the return wiring. The bidirectional pins are controlled so as to be arbitrarily fixed to input or output during testing. Since all I / O pins use one output data as the other input data, the tester does not need to drive / receive.

【0021】テスト制御回路5は、予めシミュレーショ
ンなどによって用意されたテストパタンや期待値を記憶
する機能を持ち、テストが開始されると、スキャンパス
を制御してシフト動作を行いデータをセットする。テス
ト制御回路は、スキャンパスによって観測されたデータ
送受の結果を再びシフト動作によって抜き出して、予め
記憶された期待値と比較を行い、結果を出力する。従っ
て、テスタでデータ入力、データ観測、期待値比較をす
る必要がない。
The test control circuit 5 has a function of storing test patterns and expected values prepared in advance by simulation or the like. When a test is started, the test control circuit 5 controls a scan path to perform a shift operation and set data. The test control circuit extracts again the result of data transmission / reception observed by the scan path by the shift operation, compares it with the expected value stored in advance, and outputs the result. Therefore, there is no need to input data, observe data, and compare expected values with a tester.

【0022】このようにテスタと接続する必要がないた
め、テスト時の動作速度もテスタの動作速度に依存せ
ず、高速な検査が可能となる。
Since there is no need to connect to the tester, the operation speed during the test does not depend on the operation speed of the tester, and a high-speed inspection can be performed.

【0023】図1を参照すると、本発明の第1の実施例
は、同様の参照符号で示される同様の部分を含む。本実
施例では、被試験物(集積回路装置としてパッケージ)
1はスキャンパス3が組み込まれたLSI2と、それら
を制御するテスト制御回路5で構成される。被試験物の
I/O(入出力)ピン6は外部に設けられた折り返し配
線(外部配線)4により、出力ピンと入力ピンが1:1
または1:nで接続される。双方向ピンについては、テ
スト制御回路5によって入力あるいは出力に任意に固定
されるように制御される。このようにして、すべてのI
/Oピン6は一方の出力データを他方の入力データとし
て利用し、テスタからのドライブ/レシーブは行わな
い。
Referring to FIG. 1, a first embodiment of the present invention includes similar parts indicated by similar reference numerals. In this embodiment, the DUT (package as an integrated circuit device)
Reference numeral 1 denotes an LSI 2 having a scan path 3 incorporated therein and a test control circuit 5 for controlling the LSI 2. An I / O (input / output) pin 6 of the device under test has an output pin and an input pin in a 1: 1 ratio by a return wiring (external wiring) 4 provided outside.
Or they are connected at 1: n. The bidirectional pin is controlled by the test control circuit 5 so as to be arbitrarily fixed to an input or an output. In this way, all I
The / O pin 6 uses one output data as the other input data and does not drive / receive from the tester.

【0024】テスト制御回路5は電源投入とテストモー
ド信号によってテストを開始する。テスト制御回路5は
予めシミュレーションなどによって用意されたテストパ
タンや期待値を記憶する部分をもち、テストが開始され
ると、スキャンパス3を制御してシフト動作を行い、ス
キャンパス3を構成する各フリップフロップ11にデー
タをセットする。データをセットし終わると、デスト制
御回路5はスキャンパス3のシフト動作を解除して、L
SI2にクロックを供給し、フリップフロップ11間、
LSI2間でデータの送受を行う。このとき、I/Oピ
ン6に接続された信号は出力ピンから入力ピンへI/O
ピン間でデータの送受が行われる。
The test control circuit 5 starts a test in response to power-on and a test mode signal. The test control circuit 5 has a portion for storing test patterns and expected values prepared in advance by simulation or the like. When a test is started, the test control circuit 5 controls the scan path 3 to perform a shift operation, and Data is set in the flip-flop 11. When the data has been set, the dest control circuit 5 releases the shift operation of the scan path 3 and sets the L level.
A clock is supplied to SI2, and between flip-flops 11,
Data is transmitted and received between the LSIs 2. At this time, the signal connected to the I / O pin 6 changes the I / O pin from the output pin to the input pin.
Data is transmitted and received between pins.

【0025】テスト制御回路5は、スキャンパス3によ
って観測されたデータ送受の結果を再びシフト動作によ
って抜き出して、予め用意された期待値と比較を行い、
結果を出力する。
The test control circuit 5 extracts the result of data transmission / reception observed by the scan path 3 again by the shift operation and compares it with the expected value prepared in advance.
Output the result.

【0026】このようにしてテスタと接続することな
く、高速なテストが可能となる。
Thus, a high-speed test can be performed without connecting to a tester.

【0027】図2を参照すると、本発明の第2の実施例
は、同様の参照符号で示される同様の部分を含む。この
実施例では、被試験物1はスキャンパス3が組み込まれ
たLSI2とそれらを制御し被試験物単体でのテストを
行うテスト制御回路5で構成される。被試験物1のI/
0ピン6は外部に設けられた折り返し配線4により、出
力ピンと入力ピンが1:1または1:n(nは2以上の
整数)で接続される。双方向ピンについては、入力ある
いは出力に任意に固定されるようにテスト制御回路5に
よって制御される。このようにして、すべてのI/Oピ
ン6は一方の出力データを他方の入カデータとして利用
し、テスタからのドライブ/レシーブは行わない。
Referring to FIG. 2, a second embodiment of the present invention includes similar parts indicated by similar reference numerals. In this embodiment, the DUT 1 includes an LSI 2 having a scan path 3 incorporated therein, and a test control circuit 5 for controlling the LSI 2 and performing a test on the DUT alone. I / of test sample 1
The 0 pin 6 is connected to the output pin and the input pin in a 1: 1 or 1: n (n is an integer of 2 or more) by a return wiring 4 provided outside. The bidirectional pins are controlled by the test control circuit 5 so as to be arbitrarily fixed to an input or an output. In this way, all I / O pins 6 use one output data as the other input data, and do not drive / receive from the tester.

【0028】次に各部の機能について説明する。Next, the function of each section will be described.

【0029】テスト制御回路5は、例えば、テスト時に
スキャンパス3にセットするテストパタンやそれに対す
る期待値を記億しているパタンメモリ部7と、スキャン
パス3で実際に観測された値と期待値を比較するための
コンパレータ部8と、それらの動作を制御する制御部9
とで構成される。被試験物1に電源を供給し、テストモ
ード信号によりテスト制御回路5をテストモードに設定
すると、テストを開始する。制御部9はパタンメモリ部
7からテストパタンを読み出し、LSIテストモード信
号(TST)やスキャンモードコントロール信号(SM
C)などを制御してスキャンパス3をシフト動作させ、
スキャンパス3を構成する各フリップフロップ11にデ
ータをセットする。データをセットし終わると、制御部
9はスキャンパス3のシフト動作を解除して、所定の回
数のクロック(CLK)をLSI2に供給し、フリップ
フロップ11間で折り返し配線4を介してデータの送受
を行う。場合によってはこの動作を数回繰り返すことも
ある。このとき、I/Oピン6に接続された信号は出力
ピンから入力ピンへ折り返し配線4を介してI/Oピン
6間でデータの送受が行われる。
The test control circuit 5 includes, for example, a pattern memory unit 7 for storing a test pattern to be set in the scan path 3 during a test and an expected value for the test pattern. A comparator section 8 for comparing values and a control section 9 for controlling their operations
It is composed of When power is supplied to the DUT 1 and the test control circuit 5 is set to the test mode by the test mode signal, the test starts. The control unit 9 reads a test pattern from the pattern memory unit 7 and reads an LSI test mode signal (TST) or a scan mode control signal (SM).
C) to control the scan path 3 to shift,
Data is set in each flip-flop 11 constituting the scan path 3. When the data has been set, the control unit 9 releases the shift operation of the scan path 3, supplies a predetermined number of clocks (CLK) to the LSI 2, and sends and receives data between the flip-flops 11 via the return wiring 4. I do. In some cases, this operation may be repeated several times. At this time, the signal connected to the I / O pin 6 is transmitted and received between the I / O pin 6 via the return wiring 4 from the output pin to the input pin.

【0030】フリップフロップ11間でデータの送受が
行われた後、制御部9は、スキャンパス3によって観測
されたデータ送受の結果を再びシフト動作によって抜き
出して、パタンメモリ部7に予め記憶された期待値とコ
ンパレータ部8において比較を行い、結果を出力する。
After data transmission / reception between the flip-flops 11, the control unit 9 extracts again the data transmission / reception result observed by the scan path 3 by the shift operation, and the result is stored in the pattern memory unit 7 in advance. The comparator 8 compares the expected value with the expected value and outputs the result.

【0031】このようにしてテスタと接続することな
く、被試験物1の実際の動作に近い速度でのテストが可
能となる。
In this way, a test at a speed close to the actual operation of the DUT 1 can be performed without connecting to the tester.

【0032】図3を参照すると、本発明の第3の実施例
は、同様の参照符号で示される同様の部分を含む。この
実施例の特徴は、テスト制御回路5が独立して存在せ
ず、各LSI2に分散して内蔵されている点である。こ
のような構成をとった場合、個々のLSI2にテスト制
御回路5を作り込まなければならないが、テスト専用の
LSIなどの部品を実装する必要がなく、被試験物1の
実装密度を上げることができるという効果がある。
Referring to FIG. 3, a third embodiment of the present invention includes similar parts indicated by similar reference numerals. The feature of this embodiment is that the test control circuit 5 does not exist independently but is distributed and built in each LSI 2. In such a configuration, the test control circuit 5 must be built in each of the LSIs 2. However, it is not necessary to mount a component such as an LSI dedicated to the test, and the mounting density of the DUT 1 can be increased. There is an effect that can be.

【0033】[0033]

【発明の効果】本発明による第1の効果は、高価なテス
タを使用せずにI/Oピンを含めてテストができること
である。
A first advantage of the present invention is that a test including I / O pins can be performed without using an expensive tester.

【0034】その理由は、I/Oピンを折り返して接続
し、内蔵したテスト制御回路によってスキャンパスを用
いたテストを行うからである。
The reason is that the I / O pins are turned back and connected, and a test using a scan path is performed by a built-in test control circuit.

【0035】本発明による第2の効果は、実動作に近い
速度で被試験物単体のテストができることである。
A second effect of the present invention is that a test object can be tested at a speed close to actual operation.

【0036】その理由は、テスタに接続せず、被試験物
自身のテスト制御回路でテストを行うためである。
The reason is that the test is performed by the test control circuit of the DUT itself without connecting to the tester.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1の実施例を説明するための図であ
る。
FIG. 1 is a diagram for explaining a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明の第2の実施例を説明するための図であ
る。
FIG. 2 is a diagram for explaining a second embodiment of the present invention.

【図3】本発明の第3の実施例を説明するための図であ
る。
FIG. 3 is a diagram for explaining a third embodiment of the present invention.

【図4】従来技術を説明するための図である。FIG. 4 is a diagram for explaining a conventional technique.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 被試験物(集積回路装置) 2 LSI 3 スキャンパス 4 折り返し配線 5 テスト制御回路 6 I/Oピン 7 パタンメモリ部 8 コンパレータ部 9 制御部 10 テスタ 11 フリップフロップ(構成素子) REFERENCE SIGNS LIST 1 device under test (integrated circuit device) 2 LSI 3 scan path 4 return wiring 5 test control circuit 6 I / O pin 7 pattern memory unit 8 comparator unit 9 control unit 10 tester 11 flip-flop (component element)

Claims (16)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 複数のピンと、前記複数のピンにそれぞ
れ接続された複数の構成素子とを有する集積回路装置を
テストするテスト方法であって、前記複数の構成素子
は、テスト時にシフトレジスタとしてシフト動作を行う
スキャンパスを構成すべく、互いにシリアルに接続され
ている状態の前記集積回路装置をテストする方法におい
て、 前記スキャンパスを用いたテストを行うテスト制御回路
部を、予め、前記集積回路装置に、該テスト制御回路部
が前記スキャンパスに接続された状態に、設けておくス
テップと、 前記複数のピンを互いに外部配線で接続するステップ
と、 前記複数のピンが互いに前記外部配線で接続された状態
で、前記テスト制御回路部にテストモード信号を与え
て、前記テスト制御回路部に、前記スキャンパスを用い
たテストを行わせるステップとを有することを特徴とす
るテスト方法。
1. A test method for testing an integrated circuit device having a plurality of pins and a plurality of components respectively connected to the plurality of pins, wherein the plurality of components are shifted as shift registers during a test. In a method of testing said integrated circuit devices serially connected to each other to form a scan path for performing an operation, a test control circuit unit for performing a test using said scan path is provided in advance of said integrated circuit device. Providing the test control circuit section in a state where the test control circuit section is connected to the scan path; connecting the plurality of pins to each other via external wiring; and connecting the plurality of pins to each other via the external wiring. In this state, a test mode signal is given to the test control circuit unit, and a test using the scan path is sent to the test control circuit unit. Performing a test.
【請求項2】 請求項1に記載のテスト方法において、 前記集積回路装置は、前記複数のピンと、前記複数のピ
ンにそれぞれ接続された複数のフリップフロップ又は複
数のラッチを前記複数の構成素子として有するパッケー
ジ又はカードであることを特徴とするテスト方法。
2. The test method according to claim 1, wherein the integrated circuit device includes the plurality of pins and a plurality of flip-flops or a plurality of latches respectively connected to the plurality of pins as the plurality of components. A test method characterized by being a package or a card having the same.
【請求項3】 基板と、該基板に実装された複数の第1
のピンと、前記基板に実装され、前記複数の第1のピン
にそれぞれ接続された複数の第1の構成素子を有する第
1の集積回路部と、前記基板に実装された複数の第2の
ピンと、前記基板に実装され、前記複数の第2のピンに
それぞれ接続された複数の第2の構成素子を有する第2
の集積回路部とを有する集積回路装置をテストするテス
ト方法であって、前記複数の第1の構成素子及び前記複
数の第2の構成素子は、テスト時にシフトレジスタとし
てシフト動作を行うスキャンパスを構成すべく、互いに
シリアルに接続されている状態の前記集積回路装置をテ
ストする方法において、 前記スキャンパスを用いたテストを行うテスト制御回路
部を、予め、前記基板に、該テスト制御回路部が前記ス
キャンパスに接続された状態に、実装しておくステップ
と、 前記複数の第1のピンと前記複数の第2のピンとを互い
に複数の外部配線で接続するステップと、 前記複数の第1のピンと前記複数の第2のピンとが互い
に前記複数の外部配線で接続された状態で、前記テスト
制御回路部にテストモード信号を与えて、前記テスト制
御回路部に、前記スキャンパスを用いたテストを行わせ
るステップとを有することを特徴とするテスト方法。
3. A substrate, and a plurality of first substrates mounted on the substrate.
A first integrated circuit unit having a plurality of first constituent elements mounted on the board and connected to the plurality of first pins, respectively, and a plurality of second pins mounted on the board. A second component having a plurality of second components mounted on the substrate and connected to the plurality of second pins, respectively.
A test method for testing an integrated circuit device having an integrated circuit unit, wherein the plurality of first constituent elements and the plurality of second constituent elements perform a scan path that performs a shift operation as a shift register during a test. In the method for testing the integrated circuit devices serially connected to each other to configure, a test control circuit unit that performs a test using the scan path is provided on the substrate in advance, and the test control circuit unit Mounting in a state connected to the scan path; connecting the plurality of first pins and the plurality of second pins to each other with a plurality of external wirings; In a state where the plurality of second pins are connected to each other by the plurality of external wirings, a test mode signal is supplied to the test control circuit unit to perform the test control. The circuit portion, the test method characterized by a step to perform the test using the scan path.
【請求項4】 請求項3に記載のテスト方法において、 前記第1の集積回路部は、前記複数の第1のピンにそれ
ぞれ接続された複数の第1のフリップフロップ又は複数
の第1のラッチを前記複数の第1の構成素子として有
し、 前記第2の集積回路部は、前記複数の第2のピンにそれ
ぞれ接続された複数の第2のフリップフロップ又は複数
の第2のラッチを前記複数の第2の構成素子として有
し、 前記集積回路装置は、前記複数の第1のピンと、前記第
1の集積回路部と、前記複数の第2のピンと、前記第2
の集積回路部とを有するパッケージ又はカードであるこ
とを特徴とするテスト方法。
4. The test method according to claim 3, wherein the first integrated circuit section includes a plurality of first flip-flops or a plurality of first latches respectively connected to the plurality of first pins. As the plurality of first constituent elements, and the second integrated circuit unit includes a plurality of second flip-flops or a plurality of second latches respectively connected to the plurality of second pins. A plurality of second constituent elements, wherein the integrated circuit device includes the plurality of first pins, the first integrated circuit unit, the plurality of second pins, and the second
A test method characterized by being a package or a card having an integrated circuit unit according to (1).
【請求項5】 複数のピンと、前記複数のピンにそれぞ
れ接続された複数の構成素子とを有する集積回路装置で
あって、前記複数の構成素子は、テスト時にシフトレジ
スタとしてシフト動作を行うスキャンパスを構成すべ
く、互いにシリアルに接続されている前記集積回路装置
において、 前記複数のピンを互いに接続する外部配線と、 前記スキャンパスに接続され、テストモード信号を受け
ると、前記スキャンパスを用いたテストを行うテスト制
御回路部とを有することを特徴とする集積回路装置。
5. An integrated circuit device having a plurality of pins and a plurality of components connected to the plurality of pins, respectively, wherein the plurality of components perform a shift operation as a shift register during a test. The integrated circuit device serially connected to each other, wherein the external path connecting the plurality of pins to each other, and the test path signal is connected to the scan path. An integrated circuit device comprising: a test control circuit unit for performing a test.
【請求項6】 請求項5に記載の集積回路装置におい
て、 前記集積回路装置は、前記複数のピンと、前記複数のピ
ンにそれぞれ接続された複数のフリップフロップ又は複
数のラッチを前記複数の構成素子として有するパッケー
ジであることを特徴とする集積回路装置。
6. The integrated circuit device according to claim 5, wherein the integrated circuit device includes the plurality of pins and a plurality of flip-flops or a plurality of latches respectively connected to the plurality of pins. An integrated circuit device, characterized in that it is a package having the following.
【請求項7】 請求項5に記載の集積回路装置におい
て、 前記テスト制御回路部は、 テストパタン及び該テストパタンによる期待値パタンと
を予め記憶しているパタンメモリ部と、 前記パタンメモリに接続され、前記テストモード信号を
受けると、前記スキャンパスに前記シフト動作を行わ
せ、前記テストパタンを前記スキャンパスの前記複数の
構成素子にデータとしてセットする機能と、前記シフト
動作を解除し、前記複数の構成素子間で前記外部配線を
介して前記データの送受を行わせる機能と、前記スキャ
ンパスに再び前記シフト動作を行わせ、前記スキャンパ
スの前記複数の構成素子から前記データの送受の結果を
抜き出す機能と、前記データの送受の結果を前記期待値
パタンと比較し、比較結果をテスト結果として出力する
機能とを有する制御及び比較部とを有することを特徴と
する集積回路装置。
7. The integrated circuit device according to claim 5, wherein the test control circuit unit is connected to the pattern memory unit that stores a test pattern and an expected value pattern based on the test pattern in advance. Receiving the test mode signal, causing the scan path to perform the shift operation, setting the test pattern as data in the plurality of constituent elements of the scan path, and releasing the shift operation; A function of transmitting and receiving the data between the plurality of components via the external wiring, and causing the scan path to perform the shift operation again, and a result of transmitting and receiving the data from the plurality of components of the scan path. And a function of comparing the result of the data transmission and reception with the expected value pattern, and outputting the comparison result as a test result. An integrated circuit device comprising: a control and comparison unit having:
【請求項8】 請求項7に記載の集積回路装置におい
て、 前記集積回路装置は、前記複数のピンと、前記複数のピ
ンにそれぞれ接続された複数のフリップフロップ又は複
数のラッチを前記複数の構成素子として有するパッケー
ジであることを特徴とする集積回路装置。
8. The integrated circuit device according to claim 7, wherein the integrated circuit device includes the plurality of pins and a plurality of flip-flops or a plurality of latches respectively connected to the plurality of pins. An integrated circuit device, characterized in that it is a package having the following.
【請求項9】 基板と、該基板に実装された複数の第1
のピンと、前記基板に実装され、前記複数の第1のピン
にそれぞれ接続された複数の第1の構成素子を有する第
1の集積回路部と、前記基板に実装された複数の第2の
ピンと、前記基板に実装され、前記複数の第2のピンに
それぞれ接続された複数の第2の構成素子を有する第2
の集積回路部とを有する集積回路装置であって、前記複
数の第1の構成素子及び前記複数の第2の構成素子は、
テスト時にシフトレジスタとしてシフト動作を行うスキ
ャンパスを構成すべく、互いにシリアルに接続されてい
る前記集積回路装置において、 前記複数の第1のピンと前記複数の第2のピンとを互い
に接続する複数の外部配線と、 前記基板に、前記スキャンパスに接続された状態に実装
され、テストモード信号を受けると、前記スキャンパス
を用いたテストを行うテスト制御回路部とを有すること
を特徴とする集積回路装置。
9. A substrate, and a plurality of first substrates mounted on the substrate.
A first integrated circuit unit having a plurality of first constituent elements mounted on the board and connected to the plurality of first pins, respectively, and a plurality of second pins mounted on the board. A second component having a plurality of second components mounted on the substrate and connected to the plurality of second pins, respectively.
Wherein the plurality of first constituent elements and the plurality of second constituent elements are:
In the integrated circuit device, which is serially connected to each other so as to form a scan path that performs a shift operation as a shift register during a test, a plurality of external circuits that connect the plurality of first pins and the plurality of second pins to each other An integrated circuit device comprising: a wiring; and a test control circuit unit mounted on the substrate so as to be connected to the scan path, and performing a test using the scan path when receiving a test mode signal. .
【請求項10】 請求項9に記載の集積回路装置におい
て、 前記第1の集積回路部は、前記複数の第1のピンにそれ
ぞれ接続された複数の第1のフリップフロップ又は複数
の第1のラッチを前記複数の第1の構成素子として有
し、 前記第2の集積回路部は、前記複数の第2のピンにそれ
ぞれ接続された複数の第2のフリップフロップ又は複数
の第2のラッチを前記複数の第2の構成素子として有
し、 前記集積回路装置は、前記複数の第1のピンと、前記第
1の集積回路部と、前記複数の第2のピンと、前記第2
の集積回路部とを有するパッケージ又はカードであるこ
とを特徴とする集積回路装置。
10. The integrated circuit device according to claim 9, wherein the first integrated circuit section includes a plurality of first flip-flops or a plurality of first flip-flops respectively connected to the plurality of first pins. A plurality of second flip-flops or a plurality of second latches connected to the plurality of second pins, respectively, having a latch as the plurality of first constituent elements; The plurality of second constituent elements, wherein the integrated circuit device includes the plurality of first pins, the first integrated circuit unit, the plurality of second pins, and the second
An integrated circuit device, which is a package or a card having the integrated circuit unit of (1).
【請求項11】 請求項9に記載の集積回路装置におい
て、 前記テスト制御回路部は、 テストパタン及び該テストパタンによる期待値パタンと
を予め記憶しているパタンメモリ部と、 前記パタンメモリに接続され、前記テストモード信号を
受けると、前記スキャンパスに前記シフト動作を行わ
せ、前記テストパタンを前記スキャンパスの前記複数の
第1の構成素子及び前記複数の第2の構成素子にデータ
としてセットする機能と、前記シフト動作を解除し、前
記複数の第1の構成素子及び前記複数の第2の構成素子
間で前記複数の外部配線を介して前記データの送受を行
わせる機能と、前記スキャンパスに再び前記シフト動作
を行わせ、前記スキャンパスの前記複数の第1の構成素
子及び前記複数の第2の構成素子から前記データの送受
の結果を抜き出す機能と、前記データの送受の結果を前
記期待値パタンと比較し、比較結果をテスト結果として
出力する機能とを有する制御及び比較部とを有すること
を特徴とする集積回路装置。
11. The integrated circuit device according to claim 9, wherein the test control circuit unit is connected to the pattern memory unit that stores a test pattern and an expected value pattern based on the test pattern in advance. Receiving the test mode signal, causing the scan path to perform the shift operation, and setting the test pattern as data in the plurality of first constituent elements and the plurality of second constituent elements of the scan path. A function of canceling the shift operation and transmitting and receiving the data between the plurality of first constituent elements and the plurality of second constituent elements via the plurality of external wirings. Causing the campus to perform the shift operation again to transmit and receive the data from the plurality of first constituent elements and the plurality of second constituent elements of the scan path. An integrated circuit device comprising: a control and comparison unit having a function of extracting a result and a function of comparing a result of data transmission / reception with the expected value pattern and outputting a comparison result as a test result.
【請求項12】 請求項11に記載の集積回路装置にお
いて、 前記第1の集積回路部は、前記複数の第1のピンにそれ
ぞれ接続された複数の第1のフリップフロップ又は複数
の第1のラッチを前記複数の第1の構成素子として有
し、 前記第2の集積回路部は、前記複数の第2のピンにそれ
ぞれ接続された複数の第2のフリップフロップ又は複数
の第2のラッチを前記複数の第2の構成素子として有
し、 前記集積回路装置は、前記複数の第1のピンと、前記第
1の集積回路部と、前記複数の第2のピンと、前記第2
の集積回路部とを有するパッケージ又はカードであるこ
とを特徴とする集積回路装置。
12. The integrated circuit device according to claim 11, wherein the first integrated circuit section includes a plurality of first flip-flops or a plurality of first flip-flops respectively connected to the plurality of first pins. A plurality of second flip-flops or a plurality of second latches connected to the plurality of second pins, respectively, having a latch as the plurality of first constituent elements; The plurality of second constituent elements, wherein the integrated circuit device includes the plurality of first pins, the first integrated circuit unit, the plurality of second pins, and the second
An integrated circuit device, which is a package or a card having the integrated circuit unit of (1).
【請求項13】 請求項9に記載の集積回路装置におい
て、 前記テスト制御回路部は、前記基板に、前記第1及び前
記第2の集積回路部に対応して分散されて実装された第
1及び第2の分散テスト制御回路部を有することを特徴
とする集積回路装置。
13. The integrated circuit device according to claim 9, wherein the test control circuit unit is mounted on the substrate in a distributed manner corresponding to the first and second integrated circuit units. And a second distributed test control circuit section.
【請求項14】 請求項13に記載の集積回路装置にお
いて、 前記第1の集積回路部は、前記複数の第1のピンにそれ
ぞれ接続された複数の第1のフリップフロップ又は複数
の第1のラッチを前記複数の第1の構成素子として有
し、 前記第2の集積回路部は、前記複数の第2のピンにそれ
ぞれ接続された複数の第2のフリップフロップ又は複数
の第2のラッチを前記複数の第2の構成素子として有
し、 前記集積回路装置は、前記複数の第1のピンと、前記第
1の集積回路部と、前記複数の第2のピンと、前記第2
の集積回路部とを有するパッケージ又はカードであるこ
とを特徴とする集積回路装置。
14. The integrated circuit device according to claim 13, wherein the first integrated circuit section includes a plurality of first flip-flops or a plurality of first flip-flops respectively connected to the plurality of first pins. A plurality of second flip-flops or a plurality of second latches connected to the plurality of second pins, respectively, having a latch as the plurality of first constituent elements; The plurality of second constituent elements, wherein the integrated circuit device includes the plurality of first pins, the first integrated circuit unit, the plurality of second pins, and the second
An integrated circuit device, which is a package or a card having the integrated circuit unit of (1).
【請求項15】 請求項13に記載の集積回路装置にお
いて、 前記第1及び前記第2の分散テスト制御回路部が前記第
1及び前記第2の集積回路部に内臓されていることを特
徴とする集積回路装置。
15. The integrated circuit device according to claim 13, wherein the first and second distributed test control circuit units are incorporated in the first and second integrated circuit units. Integrated circuit device.
【請求項16】 請求項15に記載の集積回路装置にお
いて、 前記第1の集積回路部は、前記複数の第1のピンにそれ
ぞれ接続された複数の第1のフリップフロップ又は複数
の第1のラッチを前記複数の第1の構成素子として有
し、 前記第2の集積回路部は、前記複数の第2のピンにそれ
ぞれ接続された複数の第2のフリップフロップ又は複数
の第2のラッチを前記複数の第2の構成素子として有
し、 前記集積回路装置は、前記複数の第1のピンと、前記第
1の集積回路部と、前記複数の第2のピンと、前記第2
の集積回路部とを有するパッケージ又はカードであるこ
とを特徴とする集積回路装置。
16. The integrated circuit device according to claim 15, wherein the first integrated circuit section includes a plurality of first flip-flops or a plurality of first flip-flops respectively connected to the plurality of first pins. A plurality of second flip-flops or a plurality of second latches connected to the plurality of second pins, respectively, having a latch as the plurality of first constituent elements; The plurality of second constituent elements, wherein the integrated circuit device includes the plurality of first pins, the first integrated circuit unit, the plurality of second pins, and the second
An integrated circuit device, which is a package or a card having the integrated circuit unit of (1).
JP10125986A 1998-05-08 1998-05-08 Test method and integrated circuit device Pending JPH11326456A (en)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003014819A (en) * 2001-07-03 2003-01-15 Matsushita Electric Ind Co Ltd Semiconductor wiring board, semiconductor device, test method therefor and mounting method therefor

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