JPH11323151A - Resin composition for sealing - Google Patents
Resin composition for sealingInfo
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- JPH11323151A JPH11323151A JP14660398A JP14660398A JPH11323151A JP H11323151 A JPH11323151 A JP H11323151A JP 14660398 A JP14660398 A JP 14660398A JP 14660398 A JP14660398 A JP 14660398A JP H11323151 A JPH11323151 A JP H11323151A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体等の電子部
品をトランスファー成形などで封止するに用いる合成樹
脂組成物に関する。更に詳しくは、封止用樹脂組成物の
充填剤に適するように角を丸めたシリカ微粉末粒子と熱
硬化性樹脂を主成分とする合成樹脂組成物に関する。The present invention relates to a synthetic resin composition used for sealing electronic parts such as semiconductors by transfer molding or the like. More specifically, the present invention relates to a synthetic resin composition containing silica fine powder particles having rounded corners suitable for a filler of a sealing resin composition and a thermosetting resin as main components.
【0002】[0002]
【従来の技術】半導体等の電子部品は、それを外部環境
から保護するためにセラミックパッケージまたは樹脂パ
ッケージ等で封止されているが、この封止材料について
は、コスト、生産性等の面から無機質充填剤を含有させ
た合成樹脂組成物によるものが普及している。2. Description of the Related Art Electronic components such as semiconductors are sealed with a ceramic package or a resin package or the like in order to protect them from the external environment. A synthetic resin composition containing an inorganic filler has been widely used.
【0003】この合成樹脂組成物は、エポキシ樹脂など
の熱硬化性樹脂とシリカ等の無機充填剤とから構成され
ているが、これらの合成樹脂組成物は、熱膨張係数が小
さく、良熱伝導性、低透湿性で機械的特性などに優れ、
しかも低コストのものが望ましいことから、この無機質
充填剤をその成形性の許す限り、できるだけ多量に配合
する必要がある。[0003] This synthetic resin composition is composed of a thermosetting resin such as an epoxy resin and an inorganic filler such as silica. However, these synthetic resin compositions have a small coefficient of thermal expansion and a good thermal conductivity. , Low moisture permeability, excellent mechanical properties, etc.
In addition, since a low-cost one is desirable, it is necessary to mix this inorganic filler in as large an amount as possible, as long as its moldability is allowed.
【0004】しかしながら、充填剤として用いる無機質
粉末は、主としてその塊状物を、適度の大きさと分布を
もった粉末に粉砕するため、その形状は一般に角をもっ
ており、これとエポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂を混合し
て封止材料とする場合、その流動性が十分ではなく、充
填性や作業性が悪いうえ、成形加工工程の装置類を著し
く摩耗するという欠点をもっていた。また、封止される
半導体にとっても、充填剤粒子の鋭くとがった角が半導
体素子表面を傷つけ、そのことがソフトエラーを引き起
こす原因となるとの報告も出されている。However, the inorganic powder used as a filler is mainly crushed into a powder having an appropriate size and distribution. When a sealing material is mixed with a resin, the fluidity is not sufficient, the filling property and the workability are poor, and the devices in the molding process have the drawback of being significantly worn. In addition, it has been reported that even for a semiconductor to be sealed, sharp sharp corners of the filler particles damage the surface of the semiconductor element, which causes a soft error.
【0005】一般に、熱硬化性樹脂が硬化する際には収
縮することにより応力が生じるが、この応力のほか半導
体から発生する熱により、素子半導体と封止用樹脂組成
物の熱膨張係数の差が大きいために生ずる応力も存在す
る。これらの内部応力のうち、後者の応力を緩和するた
めに、通常、熱膨張率の小さい無機質充填剤を、できる
だけ多量に充填することが望ましい。しかしながら、こ
の面においても、粉砕によって製造される、角ばった充
填剤では、充填剤を増やすと、極端に流動性が低下する
ため、量的な制約を受けざるを得ず、内部応力の緩和に
は十分に役立たない。Generally, when a thermosetting resin cures, a stress is generated due to shrinkage. In addition to this stress, heat generated from the semiconductor causes a difference in the coefficient of thermal expansion between the element semiconductor and the sealing resin composition. There is also a stress caused by the large. Of these internal stresses, in order to relieve the latter stress, it is usually desirable to fill the inorganic filler having a low coefficient of thermal expansion as much as possible. However, even in this aspect, in the case of a square filler produced by pulverization, if the filler is increased, the fluidity is extremely reduced, so that the amount must be limited, and the internal stress is reduced. Is not helpful enough.
【0006】このような問題点を解決するため、例え
ば、特開昭 58-145613号公報または特開昭 61-118131号
公報によれば、結晶微粉末シリカをガス流とともにノズ
ルから噴出させ、粒子の分散、溶融、冷却等を適当な条
件に制御して、球状の溶融微粉末シリカをつくる方法が
提案されている。しかしながら、この方法はコストが高
くなる欠点を有する。In order to solve such a problem, for example, according to JP-A-58-145613 or JP-A-61-118131, silica fine powder is ejected from a nozzle together with a gas flow to form particles. There has been proposed a method for producing spherical fused fine powder silica by controlling dispersion, melting, cooling and the like of the powder under appropriate conditions. However, this method has the disadvantage of increasing costs.
【0007】一方、結晶タイプの球状シリカの丸味を帯
びたシリカ微粉末粒子の製造方法については、特公平 4
-60053号(シリカ微粉末粒子の製造方法)として公告さ
れている。しかしながら、この方法は、シリカ充填剤の
不純物イオン濃度が高くなり、また、シリカ充填剤の水
分含有量が高くなる等の欠点があった。On the other hand, a method for producing rounded silica fine powder of crystalline spherical silica is disclosed in
No. -60053 (Method for producing silica fine powder particles). However, this method has drawbacks such as an increase in the impurity ion concentration of the silica filler and an increase in the water content of the silica filler.
【0008】[0008]
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、シリ
カ充填剤を熱硬化性樹脂に配合し、充填性や作業性がよ
く、成形加工工程での装置の摩耗も少なくて、かつ半導
体等電子部品での内部応力が小さく、かつ内部応力の小
さいトランスファー成形に適した熱硬化性樹脂組成物を
提供しようとするものである。SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to mix a silica filler with a thermosetting resin, to provide a good filling property and workability, to reduce the wear of equipment in a molding process, and to provide a semiconductor and the like. An object of the present invention is to provide a thermosetting resin composition having a small internal stress in an electronic component and suitable for transfer molding having a small internal stress.
【0009】[0009]
【課題を解決するための手段】本発明者は、上記の目的
を達成しようと鋭意研究を重ねた結果、機械的応力また
は気体中で粒子同士を摩砕して、最大粒子径が200 μm
以下で、平均粒子径が5 μm以上70μm以下であるシリ
カ微粉末が、シリカ充填剤としてより優れた特性をもつ
ことを知った。Means for Solving the Problems The inventors of the present invention have conducted intensive studies to achieve the above object, and as a result, the particles were crushed with each other in a mechanical stress or a gas so that the maximum particle diameter was 200 μm.
In the following, it has been found that silica fine powder having an average particle size of 5 μm or more and 70 μm or less has more excellent properties as a silica filler.
【0010】さらに本発明は、角を丸めたシリカ微粉末
粒子を熱硬化性樹脂に配合すれば、充填性や作業性がよ
く、成形加工工程での装置の摩耗も少なくて、かつ半導
体封止装置などの内部応力が小さく、トランスファー成
形に適した熱硬化性樹脂組成物が得られることをも見い
だし、本発明を完成したものである。[0010] Further, the present invention is intended to improve the filling property and workability by mixing the silica fine powder particles having rounded corners with the thermosetting resin, to reduce the wear of the device in the molding process, and to seal the semiconductor. The present inventors have also found that a thermosetting resin composition suitable for transfer molding can be obtained with a small internal stress of an apparatus or the like, and the present invention has been completed.
【0011】即ち、本発明は、熱硬化性樹脂とシリカ充
填剤とからなり、シリカ充填剤が、破砕状シリカに機械
的応力または気体中で粒子同士を摩砕することによって
シリカ粒子の角をとり、丸みをおびさせたシリカ微粉末
であって、最大粒子径が200 μm以下で平均粒子径が5
μm以上70μm以下であるとともに、熱硬化性樹脂100
重量部に対して該シリカ充填剤100 〜2000重量部の割合
に配合されることを特徴とする封止用樹脂組成物であ
る。That is, the present invention comprises a thermosetting resin and a silica filler, and the silica filler crushes the silica particles by mechanical stress or by grinding the particles in a gas to form corners of the silica particles. And a rounded silica fine powder having a maximum particle diameter of 200 μm or less and an average particle diameter of 5 μm.
μm or more and 70 μm or less and thermosetting resin 100
A sealing resin composition characterized in that the silica filler is blended in an amount of 100 to 2,000 parts by weight with respect to parts by weight.
【0012】以下、本発明を詳細に説明する。Hereinafter, the present invention will be described in detail.
【0013】本発明に用いるシリカは、結晶シリカ、溶
融シリカのいずれでも構わず、結晶シリカとしては、一
般に天然の高純度の珪石、珪砂、水晶等が用いられ、溶
融シリカは、これら結晶シリカを高温で溶融してインゴ
ットにしたものである。通常、これらをジョークラッシ
ャー、ロールクラッシャー等で粗砕し、これら粗砕品を
さらにボールミル等で微粉砕し、本発明における破砕状
シリカとして用いる。ここで得られる破砕状シリカの平
均粒子径は、最終製品の角をとって丸みを帯びたシリカ
充填剤のそれよりもやや大きくしておく必要がある。The silica used in the present invention may be either crystalline silica or fused silica. As the crystalline silica, natural high-purity silica, silica sand, quartz or the like is generally used. It is melted at high temperature to form an ingot. Usually, these are coarsely crushed by a jaw crusher, a roll crusher or the like, and these crushed products are further finely crushed by a ball mill or the like, and used as crushed silica in the present invention. The average particle size of the crushed silica obtained here must be slightly larger than that of the silica filler which is rounded at the corners of the final product.
【0014】また、本発明において、機械的応力または
気体中で粒子同士を摩砕することによって破砕状シリカ
粒子の角をとるが、例えば外部からローラーに加える押
圧力は、機械により押圧の仕方が異なるので数値的に限
定できないが、押圧力があまり強い場合、角とりのみな
らず粒子の体積破壊がおき、粉砕が進行し角とりが阻害
される。また、あまり弱い場合は、角とりの効率が低下
してくるので、機械、原料、品種(結晶質、非結晶質)
等に応じて、適切に決めればよい。また、数mm以下の
粗砕品を直接この角とり工程に送って、所望粒度への粉
砕と同時に角とり操作を行うこともできる。Further, in the present invention, the corners of the crushed silica particles are formed by grinding the particles in a mechanical stress or in a gas, and for example, the pressing force applied to the roller from the outside is determined by a method of pressing by a machine. If the pressing force is too strong, not only the cornering but also the volume destruction of the particles occurs, and the pulverization proceeds and the cornering is hindered. Also, if it is too weak, the efficiency of the squaring will decrease, so the machine, raw material, variety (crystalline, non-crystalline)
It may be appropriately determined according to the situation. In addition, a crushed product having a size of several mm or less can be directly sent to the de-squaring step, and the de-sizing operation can be performed simultaneously with the pulverization to a desired particle size.
【0015】このように外部から押圧力を加えがら粒子
同士を摩砕する手段には、種々の方法があるが、エネル
ギー等のコストあるいは効率性の面からみてローラミル
が最も有効に使用できる。There are various methods for grinding the particles while applying a pressing force from the outside as described above, but a roller mill can be used most effectively from the viewpoint of cost and efficiency of energy and the like.
【0016】本発明に用いるシリカ充填剤は、上記の如
くして得たシリカ微粉末を含有するものである。そのシ
リカ充填剤の最大粒子径は、200 μm以下で、好ましく
は100 μm以下である。粒子径が200 μmを超えると、
半導体の樹脂封止の工程でつまりを生じる場合があるた
め使用できない。更に平均粒子径は、5 μm以上70μm
以下である。5 μm未満または70μmを超えると樹脂組
成物の良好な流動性が損なわれる。The silica filler used in the present invention contains the silica fine powder obtained as described above. The maximum particle size of the silica filler is 200 μm or less, preferably 100 μm or less. When the particle size exceeds 200 μm,
It cannot be used because clogging may occur in the resin sealing process of the semiconductor. Further, the average particle size is 5 μm or more and 70 μm
It is as follows. If it is less than 5 μm or more than 70 μm, good fluidity of the resin composition is impaired.
【0017】上記、5 〜70μmの平均粒子径のシリカ充
填剤は、押圧力あるいは回転数等を適宜調節することに
より得ることができる。The above-mentioned silica filler having an average particle diameter of 5 to 70 μm can be obtained by appropriately adjusting the pressing force or the number of rotations.
【0018】本発明の樹脂組成物は、上述したシリカ充
填剤を熱硬化性樹脂に配合させたものである。The resin composition of the present invention is obtained by mixing the above-mentioned silica filler with a thermosetting resin.
【0019】ここで用いる熱硬化性樹脂としては、例え
ば、ユリア樹脂、メラミン樹脂、フェノール樹脂、レゾ
ルシノール樹脂、エポキシ樹脂、ポリウレタン樹脂、酢
酸ビニル樹脂、ポリビニルアルコール樹脂、アクリル樹
脂、ビニルウレタン樹脂、シリコーン樹脂、α−オレフ
ィン無水マレイン酸樹脂、ポリアミド樹脂、ポリイミド
樹脂等が挙げられ、これらは単独又は2 種以上混合して
使用することができる。このなかでもエポキシ樹脂が工
業的に有利に用いられる。これらの熱硬化性樹脂100 重
量部に対して、本発明のシリカ充填剤を100 〜2000重量
部の範囲で配合すると所望の樹脂組成物が得られる。な
お、熱硬化性樹脂の100 重量部のなかには、その熱硬化
性樹脂に必要な硬化剤および硬化触媒の配合量が含まれ
る。シリカ充填剤配合が100 重量部以下では内部応力低
下の効果がみられず、2000重量部を超えると、樹脂の流
動性が著しく低下するので好ましくない。熱硬化性樹脂
に充填剤を混練する方法としては、通常、ニーダ、ロー
ルミル、ミキサー等を用いればよい。The thermosetting resin used here includes, for example, urea resin, melamine resin, phenol resin, resorcinol resin, epoxy resin, polyurethane resin, vinyl acetate resin, polyvinyl alcohol resin, acrylic resin, vinyl urethane resin, silicone resin , Α-olefin maleic anhydride resin, polyamide resin, polyimide resin and the like, and these can be used alone or in combination of two or more. Among them, epoxy resins are industrially advantageously used. By mixing the silica filler of the present invention in an amount of 100 to 2,000 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the thermosetting resin, a desired resin composition can be obtained. The amount of the curing agent and curing catalyst required for the thermosetting resin is included in 100 parts by weight of the thermosetting resin. When the amount of the silica filler is less than 100 parts by weight, the effect of lowering the internal stress is not observed, and when the amount exceeds 2,000 parts by weight, the fluidity of the resin is remarkably reduced. As a method of kneading the filler with the thermosetting resin, usually, a kneader, a roll mill, a mixer, or the like may be used.
【0020】本発明の封止用樹脂組成物は、上述したシ
リカ充填剤および熱硬化性樹脂を主成分とするが、本発
明の目的に反しない限り、また必要に応じて、粘度調整
用の溶剤、カップリング剤、その他の添加剤を配合する
ことができる。その溶剤としては、ジオキサン、ヘキサ
ン、ベンゼン、トルエン、ソルベントナフサ、工業用ガ
ソリン、酢酸セロソルブ、エチルセロソルブ、ブチルセ
ロソルブアセテート、ブチルカルビトールアセテート、
ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、N−メ
チルピロリドン等が挙げられ、これらは単独又は2 種以
上混合して使用することができる。The encapsulating resin composition of the present invention contains the above-mentioned silica filler and thermosetting resin as main components, but it does not deviate from the object of the present invention. Solvents, coupling agents, and other additives can be blended. As the solvent, dioxane, hexane, benzene, toluene, solvent naphtha, industrial gasoline, cellosolve acetate, ethyl cellosolve, butyl cellosolve acetate, butyl carbitol acetate,
Examples thereof include dimethylformamide, dimethylacetamide, N-methylpyrrolidone, and the like, and these can be used alone or in combination of two or more.
【0021】[0021]
【作用】本発明において角が丸められたシリカ充填剤
と、熱硬化性樹脂とを特定量配合することによって、本
発明の封止用樹脂組成物が得られる。この樹脂組成物を
使用することにより、充填性や作業性がよく、成形加工
工程での装置の摩耗も少なくなり、かつ内部応力の小さ
いトランスファー成形等をすることができる。According to the present invention, the encapsulating resin composition of the present invention can be obtained by blending a specific amount of a silica filler having rounded corners and a thermosetting resin. By using this resin composition, it is possible to perform transfer molding or the like with good filling properties and workability, with less wear of the apparatus in the molding process, and with small internal stress.
【0022】[0022]
【発明の実施の形態】以下、本発明を実施例によって説
明するが、本発明は、これらの実施例によって限定され
るものではない。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples.
【0023】実施例 破砕状シリカを気体中で粒子同士を摩砕することによっ
てシリカ粒子の角をとり、丸みをおびさせたシリカ微粉
末であって、最大粒子径が180 μmで平均粒子径が20μ
mであるシリカ充填剤Aを、エポキシ樹脂100 重量部に
対し、表1に示す重量部を配合し、ロールミルにて混練
後冷却、粉砕し、エポキシ樹脂組成物1〜4を得た。EXAMPLE A silica fine powder obtained by grinding crushed silica particles in a gas to grind the particles together to round the silica particles, has a maximum particle diameter of 180 μm and an average particle diameter of 180 μm. 20μ
m of the silica filler A was mixed with 100 parts by weight of the epoxy resin in parts by weight shown in Table 1, kneaded by a roll mill, cooled and pulverized to obtain epoxy resin compositions 1 to 4.
【0024】比較例 角張ったシリカ微粉末であって、最大粒子径が120 μm
で平均粒子径が25μmであるシリカ充填剤Bを、エポキ
シ樹脂100 重量部に対し、表2に示す重量部を配合し、
ロールミルにて混練後冷却、粉砕し、エポキシ樹脂組成
物5〜8を得た。Comparative Example A square silica fine powder having a maximum particle size of 120 μm
A silica filler B having an average particle diameter of 25 μm is blended with 100 parts by weight of the epoxy resin in parts by weight shown in Table 2,
After kneading with a roll mill, the mixture was cooled and pulverized to obtain epoxy resin compositions 5 to 8.
【0025】前記実施例および比較例で作成したエポキ
シ樹脂組成物の流動性をみるため、高化式フロー粘度お
よびスパイラルフローを測定してこの結果を表1〜2に
それぞれ示した。実施例1〜4のシリカ充填剤Aを使用
した樹脂組成物が比較例5〜8のシリカ充填剤Bを使用
した樹脂組成物より流動性に優れ、また、フィラーを高
充填しても樹脂組成物粘度が低く、成形性および作業性
に優れていて、本発明の効果が確認された。In order to check the fluidity of the epoxy resin compositions prepared in the above Examples and Comparative Examples, Koka flow viscosity and spiral flow were measured, and the results are shown in Tables 1 and 2, respectively. The resin compositions using the silica fillers A of Examples 1 to 4 are more excellent in fluidity than the resin compositions using the silica fillers B of Comparative Examples 5 to 8, and the resin composition even when the filler is highly filled. The product viscosity was low, the moldability and workability were excellent, and the effect of the present invention was confirmed.
【0026】[0026]
【表1】 *1 :クレゾールノボラックエポキシ樹脂−ノボラックフェノール樹脂等量配合 、有機燐系触媒。 *2 :175 ℃、荷重10kg(島津フローテスターCFT−500型)。 *3 :175 ℃×2 分硬化、EMMI規格1一66に準じる。[Table 1] * 1: Cresol novolak epoxy resin-novolak phenol resin equivalent weight blend, organophosphorus catalyst. * 2: 175 ° C, load 10kg (Shimadzu flow tester CFT-500 type). * 3: Cured at 175 ° C for 2 minutes, according to EMMI Standard 1-166.
【0027】[0027]
【表2】 *1 :クレゾールノボラックエポキシ樹脂−ノボラックフェノール樹脂等量配合 、有機燐系触媒。 *2 :175 ℃、荷重10kg(島津フローテスターCFT−500型)。 *3 :175 ℃×2 分硬化、EMMI規格1一66に準じる[Table 2] * 1: Cresol novolak epoxy resin-novolak phenol resin equivalent weight blend, organophosphorus catalyst. * 2: 175 ° C, load 10kg (Shimadzu flow tester CFT-500 type). * 3: Curing at 175 ° C for 2 minutes, according to EMMI Standard 1-166
【0028】[0028]
【発明の効果】本発明のシリカ充填剤を含有する熱硬化
性樹脂組成物を半導体等の電子部品の封止に用いること
により、トランスファー成形工程における流動性、摩耗
性が改善されるうえ、封止物の内部応力の低下にも役立
ち、作業性、特性の両面で改善をはかることができる。By using the thermosetting resin composition containing the silica filler of the present invention for sealing electronic parts such as semiconductors, the fluidity and abrasion in the transfer molding step are improved and the sealing property is improved. It also helps to reduce the internal stress of the fastener and improves both workability and characteristics.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI // C09C 3/04 ──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (51) Int.Cl. 6 Identification symbol FI // C09C 3/04
Claims (2)
り、シリカ充填剤が、破砕状シリカに機械的応力または
気体中で粒子同士を摩砕することによってシリカ粒子の
角をとり、丸みをおびさせたシリカ微粉末であって、最
大粒子径が200μm以下で平均粒子径が5 μm以上70μ
m以下であるとともに、熱硬化性樹脂100 重量部に対し
て該シリカ充填剤100 〜2000重量部の割合に配合される
ことを特徴とする封止用樹脂組成物。Claims: 1. A silica filler comprising a thermosetting resin and a silica filler, wherein the silica filler crushes the silica particles by mechanical stress or by grinding the particles in a gas to form corners of the silica particles, thereby rounding the silica particles. Fused silica fine powder with a maximum particle size of 200 μm or less and an average particle size of 5 μm or more and 70 μm
m or less, and is added in a proportion of 100 to 2,000 parts by weight of the silica filler with respect to 100 parts by weight of the thermosetting resin.
項1記載の封止用樹脂組成物。2. The sealing resin composition according to claim 1, wherein the thermosetting resin is an epoxy resin.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14660398A JPH11323151A (en) | 1998-05-12 | 1998-05-12 | Resin composition for sealing |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14660398A JPH11323151A (en) | 1998-05-12 | 1998-05-12 | Resin composition for sealing |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11323151A true JPH11323151A (en) | 1999-11-26 |
Family
ID=15411471
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14660398A Pending JPH11323151A (en) | 1998-05-12 | 1998-05-12 | Resin composition for sealing |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH11323151A (en) |
-
1998
- 1998-05-12 JP JP14660398A patent/JPH11323151A/en active Pending
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