JPH11320086A - Clamp mechanism for semiconductor device - Google Patents
Clamp mechanism for semiconductor deviceInfo
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- JPH11320086A JPH11320086A JP15377398A JP15377398A JPH11320086A JP H11320086 A JPH11320086 A JP H11320086A JP 15377398 A JP15377398 A JP 15377398A JP 15377398 A JP15377398 A JP 15377398A JP H11320086 A JPH11320086 A JP H11320086A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体装置クラン
プ機構に関し、特に、ヒートシンクと基板を高精度で位
置決めし、基板寸法の違いにも対応可能な半導体装置ク
ランプ機構に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor device clamping mechanism, and more particularly to a semiconductor device clamping mechanism capable of positioning a heat sink and a substrate with high precision and coping with a difference in substrate dimensions.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来、ヒータブロック上にヒートシンク
を搭載し、この上に半田及びフラックスを塗布し、半田
が溶解した後に、電子部品及びリードが取り付けられた
基板をヒートシンクに搭載して、前後方向に移動させた
後、クランプ治具にて基板を把持して搬送用トレーに移
し、自然冷却を行って半導体装置を製造していた。そし
て、この工程は人手によって行われていた。2. Description of the Related Art Conventionally, a heat sink is mounted on a heater block, and solder and flux are applied thereon, and after the solder is melted, a substrate on which electronic components and leads are mounted is mounted on the heat sink, and the heat sink is mounted on the heat sink. After that, the substrate is gripped by a clamp jig, transferred to a transfer tray, and naturally cooled to manufacture a semiconductor device. And this process was performed manually.
【0003】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記工程は人
手によって行われているため、クランプ治具による挟み
込みの際に熱をクランプ治具により放熱し、半田を固め
ていた。However, since the above process is performed manually, heat is radiated by the clamp jig when the clamp jig is used to solidify the solder.
【0004】そのため、クランプ治具で正確に基板を把
持しないと、基板の位置ずれ及び浮きが発生するという
問題があった。また、基板の電子部品を変更した場合に
は、基板の寸法が変わることがあるが、クランプ治具は
一定の寸法の基板しか位置決めできないため、基板の寸
法に対応した数種のクランプ治具を用意しなければなら
ず煩雑であった。[0004] Therefore, if the substrate is not accurately grasped by the clamp jig, there is a problem that the substrate is displaced and floated. Also, when the electronic components of the board are changed, the dimensions of the board may change.However, since the clamp jig can only position the board of a certain size, several types of clamp jigs corresponding to the dimensions of the board are required. It had to be prepared and it was complicated.
【0005】そこで、本発明は上記従来技術における問
題点に鑑みてなされたものであって、基板の位置ずれ及
び浮きの発生を防止するとともに、基板の寸法が変化し
た場合にも対応できる半導体装置クランプ機構を提供す
ることを目的とする。In view of the above, the present invention has been made in view of the above-mentioned problems in the prior art, and it is a semiconductor device capable of preventing displacement and lifting of a substrate and responding to a change in the dimensions of the substrate. It is an object to provide a clamping mechanism.
【0006】[0006]
【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明は、
ヒートシンクに対して、電子部品が搭載された基板を位
置決め、半田付けするための半導体装置クランプ機構で
あって、前記ヒートシンクを固定するための固定手段
と、該固定手段に対して相対移動可能な可動プレート
と、該可動プレートの中心部から放射方向及び該放射方
向に対して逆方向に移動可能な前記基板を把持するため
のクランプ部とで構成されることを特徴とする。According to the first aspect of the present invention,
A semiconductor device clamping mechanism for positioning and soldering a substrate on which an electronic component is mounted with respect to a heat sink, comprising: fixing means for fixing the heat sink; and a movable member relatively movable with respect to the fixing means. It is characterized by comprising a plate, and a clamp part for gripping the substrate movable in a radial direction from the center of the movable plate and in a direction opposite to the radial direction.
【0007】請求項2記載の発明は、前記クランプ部
が、前記可動プレートに前記放射方向に延設された長孔
と、該可動プレートに対して相対移動可能なクランプ部
誘導ブロックに形成された長孔とのそれぞれに係合する
ガイドローラを有する軸に固定されることを特徴とす
る。According to a second aspect of the present invention, the clamp portion is formed in a long hole extending in the radial direction in the movable plate and a clamp portion guiding block movable relative to the movable plate. It is fixed to a shaft having a guide roller engaged with each of the long holes.
【0008】請求項3記載の発明は、前記クランプ部
が、前記ヒートシンクの側面に当接可能なストッパ部を
備えることを特徴とするAccording to a third aspect of the present invention, the clamp portion includes a stopper portion that can abut on a side surface of the heat sink.
【0009】請求項4記載の発明は、前記可動プレート
が、前記基板を前記ヒートシンクに付勢するための付勢
手段を備えることを特徴とする。According to a fourth aspect of the present invention, the movable plate includes an urging means for urging the substrate to the heat sink.
【0010】そして、請求項1記載の発明によれば、ヒ
ートシンクを固定するための固定手段と、該固定手段に
対して相対移動可能な可動プレートと、該可動プレート
の中心部から放射方向及び該放射方向に対して逆方向に
移動可能な前記基板を把持するためのクランプ部とで構
成されるため、ヒートシンクに対して、電子部品が搭載
された基板を位置決め、半田付けする際の作業性を向上
させることができるとともに、基板の寸法が変化しても
対応することができる。According to the first aspect of the present invention, a fixing means for fixing the heat sink, a movable plate movable relative to the fixing means, a radial direction from the center of the movable plate and the movable plate. Since it is composed of a clamp part for holding the substrate movable in the direction opposite to the radiation direction, the workability when positioning and soldering the substrate on which the electronic component is mounted with respect to the heat sink is improved. It can be improved and can cope with changes in the dimensions of the substrate.
【0011】請求項2記載の発明によれば、前記クラン
プ部は、前記可動プレートに前記放射方向に延設された
長孔と、該可動プレートに対して相対移動可能なクラン
プ部誘導ブロックに形成された長孔とのそれぞれに係合
するガイドローラを有する軸に固定されるため、該クラ
ンプ部誘導ブロックを前記可動プレートに対して相対移
動させることにより、前記クランプ部を前記可動プレー
トの中心部から放射方向及び該放射方向に対して逆方向
に移動させることができる。According to the second aspect of the present invention, the clamp portion is formed in an elongated hole extending in the radial direction in the movable plate and a clamp portion guiding block movable relative to the movable plate. Fixed to a shaft having a guide roller engaged with each of the elongated holes, so that the clamp portion guiding block is relatively moved with respect to the movable plate, so that the clamp portion is moved to a central portion of the movable plate. In the radial direction and in the opposite direction to the radial direction.
【0012】請求項3記載の発明によれば、前記クラン
プ部が、前記ヒートシンクに当接可能なストッパ部を備
えるため、基板の側面とヒートシンクの側面との位置関
係を規定し、寸法精度を向上させることができる。According to the third aspect of the present invention, since the clamp portion has the stopper portion capable of contacting the heat sink, the positional relationship between the side surface of the substrate and the side surface of the heat sink is defined, and the dimensional accuracy is improved. Can be done.
【0013】請求項4記載の発明によれば、前記可動プ
レートが、前記基板を前記ヒートシンクに付勢するため
の付勢手段を備えるため、基板をヒートシンクに対して
加圧しながら半田付けすることができ、半田付け時の基
板の浮きを防止することができる。According to the fourth aspect of the present invention, since the movable plate includes the urging means for urging the substrate to the heat sink, it is possible to perform soldering while pressing the substrate against the heat sink. It is possible to prevent the board from floating during soldering.
【0014】[0014]
【発明の実施の形態】次に、本発明にかかる半導体装置
クランプ機構の実施の形態の具体例を図面を参照しなが
ら説明する。Next, a specific example of an embodiment of a semiconductor device clamping mechanism according to the present invention will be described with reference to the drawings.
【0015】図2は、本発明にかかる半導体装置クラン
プ機構が適用される半導体装置を示す概略図であって、
この半導体装置30は、ヒートシンク31と、電子部品
32と、基板33で構成され、基板33にヒートシンク
31及び電子部品32が搭載されている。そして、本発
明にかかる半導体装置クランプ機構は、基板33を把持
し、位置決めしたヒートシンク31上に電子部品32の
搭載された基板33を半田付けするために使用される。FIG. 2 is a schematic view showing a semiconductor device to which the semiconductor device clamping mechanism according to the present invention is applied.
The semiconductor device 30 includes a heat sink 31, an electronic component 32, and a substrate 33, and the heat sink 31 and the electronic component 32 are mounted on the substrate 33. The semiconductor device clamping mechanism according to the present invention is used for holding the substrate 33 and soldering the substrate 33 on which the electronic components 32 are mounted on the positioned heat sink 31.
【0016】図1は、本発明にかかる半導体装置クラン
プ機構を示す分解斜視図であって、この半導体装置クラ
ンプ機構1は、ヒートシンク31を固定するための固定
手段としてのヒートシンク位置決め爪19と、このヒー
トシンク位置決め爪19に対して相対移動可能な第1プ
レート2と、第1プレート2の中心部から放射方向及び
該放射方向に対して逆方向に移動可能な基板33を把持
するためのクランプ部15等で構成される。FIG. 1 is an exploded perspective view showing a semiconductor device clamping mechanism according to the present invention. The semiconductor device clamping mechanism 1 includes a heat sink positioning claw 19 as fixing means for fixing a heat sink 31, A first plate 2 movable relative to the heat sink positioning claw 19 and a clamp portion 15 for gripping a substrate 33 movable in a radial direction from the center of the first plate 2 and in a direction opposite to the radial direction; Etc.
【0017】第1プレート2は、矩形状に形成され、上
辺及び下辺近傍にそれぞれ第1スライドガイド4A、4
Bが備えられる。The first plate 2 is formed in a rectangular shape, and has first slide guides 4A, 4A near the upper side and the lower side, respectively.
B is provided.
【0018】この第1スライドガイド4Aは、第1プレ
ート2に固着された固定部8Aと、この固定部8Aに沿
って摺動可能なスライダ9Aで構成され、第1スライド
ガイド4Bも同様に、固定部8Bとスライダ9Bとで構
成される。The first slide guide 4A comprises a fixed portion 8A fixed to the first plate 2 and a slider 9A slidable along the fixed portion 8A. It is composed of a fixed part 8B and a slider 9B.
【0019】クランプ部誘導ブロック6(6A、6B)
は、矩形状の板状部材であって、それぞれ長手方向に延
設された2つの長孔7が形成される。そして、このクラ
ンプ部誘導ブロック6A、6Bは、上述のスライダ9
A、9B上に固定される。すなわち、クランプ部誘導ブ
ロック6Aは、その上部6A’がスライダ9Aに、下部
6A”がスライダ9Bに固定され、クランプ部誘導ブロ
ック6Bもクランプ部誘導ブロック6Aと同様にスライ
ダ9A、9B上に固定される。これによって、クランプ
部誘導ブロック6A、6Bは、スライダ9A、9Bとと
もに、第1スライドガイド4の固定部8A、8Bに沿っ
て摺動可能である。Clamp guide block 6 (6A, 6B)
Is a rectangular plate-like member, in which two long holes 7 each extending in the longitudinal direction are formed. The clamp guide blocks 6A and 6B are connected to the slider 9 described above.
A, fixed on 9B. That is, the upper part 6A 'of the clamp part guide block 6A is fixed to the slider 9A, and the lower part 6A "is fixed to the slider 9B. Thereby, the clamp guide blocks 6A and 6B can slide along the fixing portions 8A and 8B of the first slide guide 4 together with the sliders 9A and 9B.
【0020】また、第1プレート2には、各角部から中
心に向かって延設された4つの長孔10が形成される。The first plate 2 is formed with four elongated holes 10 extending from each corner toward the center.
【0021】さらに、第1プレート2には、4本のクラ
ンプ部材11が備えられる。このクランプ部材11は、
軸14に取り付けられた第1ガイドローラ12と、第2
ガイドローラ13と、軸14の下端部に備えられたクラ
ンプ部15で構成される。Further, the first plate 2 is provided with four clamp members 11. This clamp member 11
A first guide roller 12 attached to a shaft 14;
It comprises a guide roller 13 and a clamp 15 provided at the lower end of the shaft 14.
【0022】そして、第1ガイドローラ12がクランプ
部誘導ブロック6の長孔7に、第2ガイドローラ13が
第1プレート2の長孔10にそれぞれ係合するようにク
ランプ部材11が第1プレート2に対して位置決め固定
され、クランプ部誘導ブロック6を左右に開閉すること
により、第1ガイドローラ12が長孔7に沿って移動す
るとともに、第2ガイドローラ13が長孔10に沿って
移動し、これに伴いクランプ部15が各角部から中心に
向かって移動することができるように構成される。The clamp member 11 is connected to the first plate so that the first guide roller 12 is engaged with the elongated hole 7 of the clamp guide block 6 and the second guide roller 13 is engaged with the elongated hole 10 of the first plate 2. The first guide roller 12 moves along the long hole 7 and the second guide roller 13 moves along the long hole 10 by being positioned and fixed with respect to the opening 2 and opening and closing the clamp guide block 6 right and left. Accordingly, the clamp 15 is configured to be able to move from each corner toward the center.
【0023】尚、クランプ部材11Aを含む2本のクラ
ンプ部材11には、クランプ部15の下方に延設された
部分の下端部にストッパ部20が備えられる。The two clamp members 11 including the clamp member 11A are provided with a stopper portion 20 at the lower end of a portion extending below the clamp portion 15.
【0024】また、第1プレート2の裏側には、基板を
ヒートシンクに付勢するための付勢手段として、弾性を
持つシリコンゴム16が備えられる。On the back side of the first plate 2, an elastic silicon rubber 16 is provided as an urging means for urging the substrate to the heat sink.
【0025】一方、第2プレート3は、開口部3aを有
するフレーム状に形成され、その上辺及び下辺近傍にそ
れぞれ第2スライドガイド5(5A、5B)が備えられ
る。On the other hand, the second plate 3 is formed in a frame shape having an opening 3a, and is provided with second slide guides 5 (5A, 5B) near its upper side and lower side.
【0026】この第2スライドガイド5Aは、第2プレ
ート3に固着された固定部17Aと、この固定部17A
に沿って摺動可能なスライダ18Aで構成され、第1ス
ライドガイド5Bも同様に、固定部17Bとスライダ1
8Bとで構成される。そして、前記第1プレート2をス
ライダ18A、18Bに取り付けることにより、第1プ
レート2が、固定部17A、17Bに沿って横方向に移
動することができる。The second slide guide 5A has a fixed portion 17A fixed to the second plate 3 and a fixed portion 17A.
Similarly, the first slide guide 5B includes a fixed portion 17B and a slider 1A.
8B. By attaching the first plate 2 to the sliders 18A and 18B, the first plate 2 can move in the horizontal direction along the fixing portions 17A and 17B.
【0027】また、第2プレート3には、ヒートシンク
位置決め爪19が左右裏面に備えられる。The second plate 3 is provided with heat sink positioning claws 19 on the left and right back surfaces.
【0028】次に、上記構成を有する半導体装置クラン
プ機構1の動作を図1乃至図3を参照しながら説明す
る。Next, the operation of the semiconductor device clamping mechanism 1 having the above configuration will be described with reference to FIGS.
【0029】まず、第2プレート3に備えられたヒート
シンク位置決め爪19によってヒートシンク31を固定
する。First, the heat sink 31 is fixed by the heat sink positioning claws 19 provided on the second plate 3.
【0030】次に、第1プレート2に取り付けられた第
1スライドガイド4の上に固定されたクランプ部誘導ブ
ロック6を左右に開くと、第1ガイドローラ12が長孔
7に沿って移動するとともに、第2ガイドローラ13が
長孔10に沿って移動し、これに伴いクランプ部15が
第1プレート2の中心部から各角部に向かって移動す
る。Next, when the clamp guide block 6 fixed on the first slide guide 4 attached to the first plate 2 is opened left and right, the first guide roller 12 moves along the long hole 7. At the same time, the second guide roller 13 moves along the long hole 10, and accordingly, the clamp 15 moves from the center of the first plate 2 toward each corner.
【0031】そして、第1プレート2の下方に基板33
を位置決めし、クランプ部誘導ブロック6を閉じると、
第1ガイドローラ12が長孔7に沿って移動するととも
に、第2ガイドローラ13が長孔10に沿って移動し、
図3(a)に示すように、クランプ部15が第1プレー
ト2の各角部から中心部に向かってX方向に移動し、ク
ランプ部15によって基板33が把持される。The substrate 33 is located below the first plate 2.
Is positioned, and the clamp guide block 6 is closed.
While the first guide roller 12 moves along the long hole 7, the second guide roller 13 moves along the long hole 10,
As shown in FIG. 3A, the clamp unit 15 moves in the X direction from each corner of the first plate 2 toward the center, and the substrate 33 is gripped by the clamp unit 15.
【0032】クランプ部15によって基板33を把持し
た状態で、第1プレート2を第2プレート3に対して相
対的に移動し、基板33をヒートシンク31に対して位
置決めする。この際、2本のクランプ部材11には、ク
ランプ部15の下方にストッパ部20が備えられている
ため、このストッパ部20がヒートシンク31の側面に
当接し、基板33の側面とヒートシンク31の側面との
位置を規定し、寸法精度を向上させることができる。The first plate 2 is relatively moved with respect to the second plate 3 while the substrate 33 is being held by the clamp portion 15, and the substrate 33 is positioned with respect to the heat sink 31. At this time, since the two clamp members 11 are provided with the stopper portions 20 below the clamp portions 15, the stopper portions 20 come into contact with the side surfaces of the heat sink 31, and the side surfaces of the substrate 33 and the heat sink 31. And the dimensional accuracy can be improved.
【0033】ヒートシンク31に対する基板33の位置
決めが完了すると、第1プレート2の裏面に備えられた
シリコンゴム16によって基板33をヒートシンク31
に対して加圧しながら基板33をヒートシンク31に半
田付けする。これによって、半田付け時の基板33の浮
きを防止することができる。When the positioning of the substrate 33 with respect to the heat sink 31 is completed, the substrate 33 is moved to the heat sink 31 by the silicon rubber 16 provided on the back surface of the first plate 2.
The substrate 33 is soldered to the heat sink 31 while applying pressure to the substrate 33. This can prevent the board 33 from floating during soldering.
【0034】尚、第1プレート2に取り付けられた第1
スライドガイド4の上に固定されたクランプ部誘導ブロ
ック6を開閉することにより、クランプ部15が第1プ
レート2の中心部から各角部に向かって、またはこれと
は逆方向に移動し、クランプ部15によって基板33が
把持されるため、基板33の寸法が変化しても対応する
ことができる。The first plate 2 attached to the first plate 2
By opening and closing the clamp guide block 6 fixed on the slide guide 4, the clamp 15 moves from the center of the first plate 2 toward each corner or in the opposite direction to the first plate 2. Since the substrate 33 is gripped by the portion 15, it is possible to cope with a change in the dimensions of the substrate 33.
【0035】[0035]
【発明の効果】以上説明したように、請求項1記載の発
明によれば、ヒートシンクに対して、電子部品が搭載さ
れた基板を位置決め、半田付けする際の作業性を向上さ
せることができるとともに、基板の寸法が変化しても対
応することが可能な半導体装置クランプ機構を提供する
ことができる。As described above, according to the first aspect of the present invention, it is possible to improve the workability when positioning and soldering a substrate on which an electronic component is mounted to a heat sink. Further, it is possible to provide a semiconductor device clamping mechanism capable of coping with a change in the dimensions of a substrate.
【0036】請求項2記載の発明によれば、クランプ部
誘導ブロックを可動プレートに対して相対移動させるこ
とにより、前記クランプ部を前記可動プレートの中心部
から放射方向及び該放射方向に対して逆方向に移動させ
ることができるため、簡易な構成により上記作用効果を
奏することが可能な半導体装置クランプ機構を提供する
ことができる。According to the second aspect of the present invention, by moving the clamp guide block relative to the movable plate, the clamp is radiated from the center of the movable plate in the radial direction and in the opposite direction to the radial direction. Since the semiconductor device can be moved in the direction, a semiconductor device clamping mechanism capable of achieving the above-described effects with a simple configuration can be provided.
【0037】請求項3記載の発明によれば、基板とヒー
トシンクとの間の寸法精度を向上させることが可能な半
導体装置クランプ機構を提供することができる。According to the third aspect of the present invention, it is possible to provide a semiconductor device clamping mechanism capable of improving the dimensional accuracy between the substrate and the heat sink.
【0038】請求項4記載の発明によれば、半田付け時
の基板の浮きを防止することが可能な半導体装置クラン
プ機構を提供することができる。According to the fourth aspect of the present invention, it is possible to provide a semiconductor device clamping mechanism capable of preventing the board from floating during soldering.
【図1】本発明にかかる半導体装置クランプ機構を示す
分解斜視図である。FIG. 1 is an exploded perspective view showing a semiconductor device clamping mechanism according to the present invention.
【図2】本発明にかかる半導体装置クランプ機構が適用
される半導体装置を示す概略図である。FIG. 2 is a schematic view showing a semiconductor device to which the semiconductor device clamping mechanism according to the present invention is applied.
【図3】図1の半導体装置クランプ機構の動作の説明図
であって、(a)は一部破断概略平面図、(b)は概略
正面図である。3A and 3B are explanatory views of the operation of the semiconductor device clamping mechanism of FIG. 1, wherein FIG. 3A is a partially cutaway schematic plan view, and FIG. 3B is a schematic front view.
1 半導体装置クランプ機構 2 第1プレート 3 第2プレート 4 第1スライドガイド 5 第2スライドガイド 6 クランプ部誘導ブロック 7 長孔 8 固定部 9 スライダ 10 長孔 11 クランプ部材 12 第1ガイドローラ 13 第2ガイドローラ 14 軸 15 クランプ部 16 シリコンゴム 17 固定部 18 スライダ 19 ヒートシンク位置決め爪 20 ストッパ部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Semiconductor device clamp mechanism 2 1st plate 3 2nd plate 4 1st slide guide 5 2nd slide guide 6 Clamp guidance block 7 Slot 8 Fixing part 9 Slider 10 Slot 11 Clamp member 12 First guide roller 13 Second Guide roller 14 Shaft 15 Clamp section 16 Silicon rubber 17 Fixing section 18 Slider 19 Heat sink positioning claw 20 Stopper section
Claims (4)
載された基板を位置決め、半田付けするための半導体装
置クランプ機構であって、 前記ヒートシンクを固定するための固定手段と、 該固定手段に対して相対移動可能な可動プレートと、 該可動プレートの中心部から放射方向及び該放射方向に
対して逆方向に移動可能な前記基板を把持するためのク
ランプ部とで構成されることを特徴とする半導体装置ク
ランプ機構。1. A semiconductor device clamping mechanism for positioning and soldering a substrate on which an electronic component is mounted with respect to a heat sink, comprising: fixing means for fixing the heat sink; A semiconductor comprising: a movable plate capable of relative movement; and a clamp portion for gripping the substrate movable in a radial direction from the center of the movable plate and in a direction opposite to the radial direction. Device clamping mechanism.
前記放射方向に延設された長孔と、該可動プレートに対
して相対移動可能なクランプ部誘導ブロックに形成され
た長孔とのそれぞれに係合するガイドローラを有する軸
に固定されることを特徴とする請求項1記載の半導体装
置クランプ機構。2. The clamp according to claim 1, wherein the clamp has a slot formed in the movable plate in the radial direction and a slot formed in a clamp guide block movable relative to the movable plate. 2. The semiconductor device clamping mechanism according to claim 1, wherein the semiconductor device clamping mechanism is fixed to a shaft having a guide roller to be engaged.
側面に当接可能なストッパ部を備えることを特徴とする
請求項1または2記載の半導体装置クランプ機構。3. The semiconductor device clamping mechanism according to claim 1, wherein said clamp portion includes a stopper portion capable of contacting a side surface of said heat sink.
ートシンクに付勢するための付勢手段を備えることを特
徴とする請求項1、2または3記載の半導体装置クラン
プ機構。4. The semiconductor device clamping mechanism according to claim 1, wherein said movable plate includes an urging means for urging said substrate to said heat sink.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15377398A JP3803490B2 (en) | 1998-05-19 | 1998-05-19 | Semiconductor device clamping mechanism |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15377398A JP3803490B2 (en) | 1998-05-19 | 1998-05-19 | Semiconductor device clamping mechanism |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11320086A true JPH11320086A (en) | 1999-11-24 |
JP3803490B2 JP3803490B2 (en) | 2006-08-02 |
Family
ID=15569832
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15377398A Expired - Fee Related JP3803490B2 (en) | 1998-05-19 | 1998-05-19 | Semiconductor device clamping mechanism |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP3803490B2 (en) |
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CN117697305A (en) * | 2024-02-06 | 2024-03-15 | 山西鑫德辉科技有限公司 | Welding positioning device for intelligent manufacturing production |
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1998
- 1998-05-19 JP JP15377398A patent/JP3803490B2/en not_active Expired - Fee Related
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CN117697305A (en) * | 2024-02-06 | 2024-03-15 | 山西鑫德辉科技有限公司 | Welding positioning device for intelligent manufacturing production |
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