JPH11316349A - Display device - Google Patents

Display device

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Publication number
JPH11316349A
JPH11316349A JP10123247A JP12324798A JPH11316349A JP H11316349 A JPH11316349 A JP H11316349A JP 10123247 A JP10123247 A JP 10123247A JP 12324798 A JP12324798 A JP 12324798A JP H11316349 A JPH11316349 A JP H11316349A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
mirror
light
pixel
light emitting
display device
Prior art date
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Pending
Application number
JP10123247A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kazuaki Aoto
和明 青砥
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Nikon Corp filed Critical Nikon Corp
Priority to JP10123247A priority Critical patent/JPH11316349A/en
Publication of JPH11316349A publication Critical patent/JPH11316349A/en
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a display device by which a bright display screen and a large viewing angle display are achieved. SOLUTION: This display device is provided with an emitting element 100, an reflecting element 200, and a diffusing element 300. The emitting element 100 has plural emitting parts 10[1]-10[m], and each of these emitting parts 10[1]-10[m] emits light, and light individually controlled according to pixel information of an image data is made to exit in the 1st direction L1. The reflecting element 200 has a reference plane 61 and plural reflecting planes 60[1]-60[q] tilted at a 1st angle θ1 to the reference plane 61, and the reference plane 61 arranged to be tilted at a 2nd angle θ2 to the 1st direction L1, and reflects the plural light made to exit from the emitting element 100 by the reflecting planes 60[1]-60[q] in the 2nd direction L2 different from the 1st direction L1. The diffusing element 300 transforms the light reflected from the reflecting element 200 into diffused light.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、映像を表示する表
示装置に関する。
The present invention relates to a display device for displaying an image.

【0002】[0002]

【従来の技術】映像を表示する表示装置として、例え
ば、透過型の液晶素子を用いた装置(図18)が知られ
ている。このような表示装置の液晶素子91は、2枚の
透明電極92,93の間に挟み込まれた液晶94を、さ
らに偏光方向の直交する2枚の偏光板95,96で挟み
込んだものである。また、上記の表示装置では、液晶素
子91の背面に、面光源97が配置される。
2. Description of the Related Art As a display device for displaying an image, for example, a device using a transmission type liquid crystal element (FIG. 18) is known. In the liquid crystal element 91 of such a display device, a liquid crystal 94 sandwiched between two transparent electrodes 92 and 93 is further sandwiched between two polarizing plates 95 and 96 whose polarization directions are orthogonal to each other. Further, in the above display device, the surface light source 97 is arranged on the back surface of the liquid crystal element 91.

【0003】この表示装置では、透明電極92,93の
間に電圧を印加するか否かによって、液晶94の分子配
列を変化させ、面光源97からの光が、偏光板96を透
過するか否かを制御できる。ここで、液晶素子91は複
数の画素に区切られているため、各画素ごとに、面光源
97からの光の透過/非透過の制御を行うことで、映像
を表示できる。
In this display device, the molecular arrangement of the liquid crystal 94 is changed depending on whether or not a voltage is applied between the transparent electrodes 92 and 93, so that light from the surface light source 97 passes through the polarizing plate 96 or not. Can be controlled. Here, since the liquid crystal element 91 is divided into a plurality of pixels, an image can be displayed by controlling transmission / non-transmission of light from the surface light source 97 for each pixel.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の表示装
置では、2枚の偏光板95,96によって、面光源97
からの光の半分以上が遮られ、表示画面が暗いという問
題があった。また、斜め方向からでは画面が見づらいと
いう問題もあった。本発明の目的は、明るい表示画面お
よび視野角の大きい表示が得られる表示装置を提供する
ことにある。
However, in the conventional display device, a plane light source 97 is provided by two polarizing plates 95 and 96.
There is a problem that more than half of the light from the screen is blocked, and the display screen is dark. There is also a problem that the screen is difficult to see from an oblique direction. An object of the present invention is to provide a display device capable of obtaining a bright display screen and a display with a large viewing angle.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】(請求項1)請求項1に
記載の表示装置は、発光素子と、反射素子と、拡散素子
とを備えたものである。このうち、発光素子は、複数の
発光部を有し、これら複数の発光部それぞれから発光
し、画像データの画素情報に応じて個別に制御される光
を、第1の方向に射出するものである。反射素子は、基
準面および該基準面に対して第1の角度θ1だけ傾斜す
る複数の反射面を有し、かつ、基準面を第1の方向に対
して第2の角度θ2だけ傾けて配置し、複数の反射面に
より、発光素子から射出される複数の光を、第1の方向
とは異なる第2の方向に反射するものである。拡散素子
は、反射素子から反射される光を拡散光に変換するもの
である。
According to the present invention, a display device includes a light emitting element, a reflecting element, and a diffusing element. Among these, the light emitting element has a plurality of light emitting portions, emits light from each of the plurality of light emitting portions, and emits light individually controlled according to pixel information of image data in a first direction. is there. The reflection element has a reference surface and a plurality of reflection surfaces inclined at a first angle θ1 with respect to the reference surface, and is arranged with the reference surface inclined at a second angle θ2 with respect to the first direction. The plurality of reflecting surfaces reflect a plurality of lights emitted from the light emitting element in a second direction different from the first direction. The diffusion element converts light reflected from the reflection element into diffused light.

【0006】したがって、請求項1に記載の発明によれ
ば、発光素子から射出される光が、ほとんど減衰なく拡
散素子に到達して拡散光に変換される。このため、明る
い表示画面が得られる。また、視野角の大きい表示が得
られる。 (請求項2)また、請求項2に記載の発明は、請求項1
に記載の表示装置において、複数の発光部を2次元マト
リクス状に配置し、第1の方向を複数の発光部が配置さ
れる配置面の法線方向に平行とし、第2の角度θ2を、
P1×tan(θ2)≒P2を満足するように設定したも
のである。ここで、P1は、第1の方向および第2の方
向に対して直交する第3の方向に隣り合う複数の発光部
の間隔である。P2は、第1の方向および第3の方向に
直交する第4の方向に隣り合う複数の発光部の間隔であ
る。
Therefore, according to the first aspect of the invention, the light emitted from the light emitting element reaches the diffusion element with almost no attenuation and is converted into the diffused light. For this reason, a bright display screen is obtained. Further, a display with a large viewing angle can be obtained. (Claim 2) The invention described in claim 2 is based on claim 1
Wherein the plurality of light emitting units are arranged in a two-dimensional matrix, the first direction is parallel to the normal direction of the arrangement surface on which the plurality of light emitting units are arranged, and the second angle θ2 is
This is set so as to satisfy P1 × tan (θ2) ≒ P2. Here, P1 is an interval between a plurality of light emitting units adjacent in a third direction orthogonal to the first direction and the second direction. P2 is an interval between a plurality of light emitting units adjacent in a fourth direction orthogonal to the first direction and the third direction.

【0007】したがって、請求項2に記載の発明によれ
ば、表示素子上での配置間隔P1と配置間隔P2とが等
しくない場合でも、発光素子の複数の発光部それぞれか
ら射出される光が、拡散素子に到達する位置は、全て等
間隔となる。したがって、拡散素子上に、画像データに
基づく縦横比で画像を表示できる。 (請求項3)また、請求項3に記載の発明は、請求項2
に記載の表示装置において、第1の角度θ1を、θ1+
θ2≒45°を満足するように設定したものである。
Therefore, according to the second aspect of the present invention, even when the arrangement interval P1 and the arrangement interval P2 on the display element are not equal, the light emitted from each of the plurality of light emitting portions of the light emitting element is The positions reaching the diffusion elements are all equally spaced. Therefore, an image can be displayed on the diffusion element at an aspect ratio based on the image data. (Claim 3) The invention described in claim 3 is based on claim 2
, The first angle θ1 is defined as θ1 +
It is set so as to satisfy θ2 ≒ 45 °.

【0008】したがって、請求項3に記載の発明によれ
ば、反射素子からの反射光を、発光素子の配置面に平行
な方向に向かわせることができる。このため、配置面に
対して直交する面上に、歪みのない像を形成できる。 (請求項4)また、請求項4に記載の発明は、請求項2
に記載の表示装置において、反射素子の複数の反射面を
各々、第3の方向に延びる帯状反射面としたものであ
る。
Therefore, according to the third aspect of the present invention, the reflected light from the reflecting element can be directed in a direction parallel to the plane on which the light emitting elements are arranged. For this reason, an image without distortion can be formed on a plane orthogonal to the arrangement plane. (Claim 4) The invention according to claim 4 is based on claim 2
Wherein the plurality of reflection surfaces of the reflection element are each a strip-shaped reflection surface extending in the third direction.

【0009】したがって、請求項4に記載の発明によれ
ば、反射素子を安価に製造できる。 (請求項5)また、請求項5に記載の発明は、請求項1
に記載の表示装置において、複数の光を、半導体レーザ
ダイオードから射出される光としたものである。したが
って、請求項5に記載の発明によれば、隣り合う発光部
からの光が互いに重ならず、画素ごとに明るさを制御で
きる。
Therefore, according to the present invention, the reflection element can be manufactured at low cost. (Claim 5) Further, the invention described in claim 5 is based on claim 1
Wherein the plurality of lights are light emitted from a semiconductor laser diode. Therefore, according to the fifth aspect of the present invention, the light from the adjacent light emitting units does not overlap each other, and the brightness can be controlled for each pixel.

【0010】[0010]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態について
図面を用いて詳細に説明する。本実施形態の表示装置
は、請求項1〜請求項5に対応する。本実施形態の表示
装置は、公知のビデオ信号を入力して、ビデオ信号が表
す画像を表示する装置である。
Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. The display device according to the present embodiment corresponds to claims 1 to 5. The display device of the present embodiment is a device that inputs a known video signal and displays an image represented by the video signal.

【0011】本実施形態の表示装置には、図1に示され
るように、発光素子100と、波状ミラー200(請求
項1の「反射素子」に対応する)と、拡散板300(請
求項1の「拡散素子」に対応する)とが設けられてい
る。発光素子100は、公知のビデオ信号を入力して、
このビデオ信号に対応するレーザ光を方向L1に射出す
る素子である。波状ミラー200は、発光素子100か
ら射出されるレーザ光を、方向L2に反射する光学部材
である。拡散板300は、波状ミラー200からのレー
ザ光を拡散する光学部材である。拡散板300には、表
示面301が設けられている。ビデオ信号が表す画像
は、表示面301に表示される。
As shown in FIG. 1, the display device of this embodiment includes a light emitting element 100, a wave-like mirror 200 (corresponding to the "reflective element" of claim 1), and a diffusion plate 300 (claim 1). Corresponding to the “diffusion element”). The light emitting element 100 inputs a known video signal,
An element that emits a laser beam corresponding to the video signal in the direction L1. The wavy mirror 200 is an optical member that reflects the laser light emitted from the light emitting element 100 in the direction L2. The diffusion plate 300 is an optical member that diffuses the laser light from the wavy mirror 200. A display surface 301 is provided on the diffusion plate 300. The image represented by the video signal is displayed on the display surface 301.

【0012】まず、発光素子100の構成について説明
する。発光素子100には、図2に示されるように、シ
リコン基板1と、k個の固定ミラー20[1]〜20[k]
と、m個の画素ミラーユニット10[1]〜10[m](請
求項1の「複数の発光部」に対応する)と、素子制御部
40と、光源30と、光吸収板2とが設けられている。
First, the configuration of the light emitting device 100 will be described. As shown in FIG. 2, the light emitting element 100 includes a silicon substrate 1 and k fixed mirrors 20 [1] to 20 [k].
And the m pixel mirror units 10 [1] to 10 [m] (corresponding to “a plurality of light emitting units” in claim 1), the element control unit 40, the light source 30, and the light absorbing plate 2 Is provided.

【0013】シリコン基板1には、電気回路を集積可能
な形成面1a(請求項2の「配置面」に対応する)が設
けられている。k個の固定ミラー20[1]〜20[k],
m個の画素ミラーユニット10[1]〜10[m],光源3
0,光吸収板2は、形成面1aに設けられている。光源
30には、半導体レーザダイオード(以下「LD」とい
う)31と、コリメータレンズ32とが設けられてい
る。LD31は、所定の立体角で広がる単色のレーザ光
を射出する。コリメータレンズ32は、LD31から射
出されるレーザ光を、立体角のほとんどない平行なレー
ザ光に変換するレンズである。LD31から射出される
レーザ光は、コリメータレンズ32を介し、光路30a
に導かれる。以下、この光路30aの方向をY軸方向
(請求項2の「第3の方向」に対応する)とする。
The silicon substrate 1 is provided with a formation surface 1a (corresponding to "arrangement surface" in claim 2) on which electric circuits can be integrated. k fixed mirrors 20 [1] to 20 [k],
m pixel mirror units 10 [1] to 10 [m], light source 3
0, the light absorbing plate 2 is provided on the forming surface 1a. The light source 30 includes a semiconductor laser diode (hereinafter, referred to as “LD”) 31 and a collimator lens 32. The LD 31 emits a monochromatic laser beam that spreads at a predetermined solid angle. The collimator lens 32 is a lens that converts a laser beam emitted from the LD 31 into a parallel laser beam having almost no solid angle. The laser light emitted from the LD 31 passes through the collimator lens 32 and passes through the optical path 30a.
It is led to. Hereinafter, the direction of the optical path 30a is referred to as a Y-axis direction (corresponding to the "third direction" of the second aspect).

【0014】また、k個の固定ミラー20[1]〜20
[k]は、シリコン基板1の形成面1aに沿って光路20
a(図2中、1点鎖線で示される)を形成するミラーで
ある。それぞれの固定ミラー20[1]〜20[k]には、
レーザ光を反射する反射面が設けられている。それぞれ
の固定ミラー20[1]〜20[k]は、反射面が形成面1
aに対して垂直になる位置に設けられている。反射面の
位置は、形成面1aに対して固定されている。このよう
な固定ミラー20[1]〜20[k]によって形成される光
路20aは、後述する画素ミラーユニット10[1]の位
置を始端とし、後述する光吸収板2の位置を終端とする
光路である。
The k fixed mirrors 20 [1] to 20 [1] to 20
[k] indicates an optical path 20 along the formation surface 1a of the silicon substrate 1.
a (indicated by a dashed line in FIG. 2). Each fixed mirror 20 [1] to 20 [k] has
A reflection surface that reflects the laser light is provided. Each of the fixed mirrors 20 [1] to 20 [k] has a
It is provided at a position perpendicular to a. The position of the reflecting surface is fixed with respect to the forming surface 1a. An optical path 20a formed by such fixed mirrors 20 [1] to 20 [k] starts at a position of a pixel mirror unit 10 [1] described later and ends at a position of a light absorbing plate 2 described later. It is.

【0015】ここで、光路20a全体のうち、始端から
固定ミラー20[1]までのY軸に沿った直線部分は、光
源30から射出されたレーザ光が+Y方向に進む光路で
ある。そして、この+Y方向の光路は、固定ミラー20
[1]によって方向が90°変更されたのち、さらに、固
定ミラー20[2]によっても方向が90°変更される。
その結果、固定ミラー20[2]から固定ミラー20[3]
までのY軸に沿った直線部分は、光源30から射出され
たレーザ光が、上記した+Y方向とは逆の−Y方向に進
む光路となる。
Here, of the entire optical path 20a, a straight line portion along the Y axis from the starting end to the fixed mirror 20 [1] is an optical path in which the laser light emitted from the light source 30 travels in the + Y direction. The optical path in the + Y direction is
After the direction is changed by 90 ° by [1], the direction is further changed by 90 ° by the fixed mirror 20 [2].
As a result, the fixed mirror 20 [2] changes from the fixed mirror 20 [2] to the fixed mirror 20 [3].
The straight line section along the Y axis up to becomes an optical path in which the laser light emitted from the light source 30 travels in the −Y direction opposite to the above + Y direction.

【0016】同様に、固定ミラー20[3],20[4]に
よっても光路20aの方向が変更される。その結果、固
定ミラー20[4]から固定ミラー20[5]までのY軸に
沿った直線部分は、+Y方向の光路となる。以降、同様
の光路変更が固定ミラー20[5]〜20[k]によって繰
り返される。因みに、固定ミラー20[k−2]から固定
ミラー20[k−1]までのY軸に沿った直線部分は−Y
方向の光路、固定ミラー20[k]から光吸収板2までの
直線部分は+Y方向の光路となる。
Similarly, the direction of the optical path 20a is changed by the fixed mirrors 20 [3] and 20 [4]. As a result, a straight line portion along the Y axis from the fixed mirror 20 [4] to the fixed mirror 20 [5] becomes an optical path in the + Y direction. Thereafter, the same optical path change is repeated by the fixed mirrors 20 [5] to 20 [k]. Incidentally, the straight line portion along the Y axis from the fixed mirror 20 [k-2] to the fixed mirror 20 [k-1] is -Y
The optical path in the direction, the straight line portion from the fixed mirror 20 [k] to the light absorbing plate 2 becomes the optical path in the + Y direction.

【0017】このように、k個の固定ミラー20[1]〜
20[k]によって形成される光路20aは、Y軸に沿っ
た複数の直線部分(例えば640本。図2では簡単のた
め、9本の直線部分のみを示した)を、+Y方向→−Y
方向→+Y方向→…と順に辿る蛇行状の光路となる。以
下、固定ミラー20[1]によって変更された光路20a
の方向をX軸方向(請求項2の「第4の方向」に対応す
る)とする。
As described above, k fixed mirrors 20 [1]-
The optical path 20a formed by 20 [k] includes a plurality of linear portions (for example, 640 lines along the Y axis; only nine linear portions are shown in FIG. 2 for simplicity) in the + Y direction → −Y.
It becomes a meandering optical path that follows the direction → + Y direction →. Hereinafter, the optical path 20a changed by the fixed mirror 20 [1]
Is defined as the X-axis direction (corresponding to the “fourth direction” of claim 2).

【0018】また、m個の画素ミラーユニット10[1]
〜10[m]は、上記した蛇行状の光路20aに沿って複
数の直線部分に分けて配置されている。個々の直線部分
には、i個(例えば480個。図2では簡単のためi=
11とした)の画素ミラーユニット10[1]〜10
[i],10[i+1]〜10[2i],…,10[m−i+
1]〜10[m]が配置される。この場合、m個の画素ミ
ラーユニット10[1]〜10[m]は、640×480の
2次元マトリクス配列をなす。因みに、画素ミラーユニ
ット10[1]〜10[m]の個数mは、テレビ受像機など
のビデオ信号の公知のディスプレイ装置の画素数に一致
している。
Further, m pixel mirror units 10 [1]
10 to 10 [m] are divided into a plurality of straight portions along the meandering optical path 20a. Each straight line portion has i (eg, 480). In FIG.
11) pixel mirror units 10 [1] to 10
[i], 10 [i + 1] to 10 [2i], ..., 10 [mi +
1] to 10 [m] are arranged. In this case, the m pixel mirror units 10 [1] to 10 [m] form a 640 × 480 two-dimensional matrix array. Incidentally, the number m of the pixel mirror units 10 [1] to 10 [m] is equal to the number of pixels of a known display device of a video signal such as a television receiver.

【0019】なお、各画素ミラーユニット10[1]〜1
0[m]の配列間隔については、Y軸方向に隣り合う間隔
P1が例えば26μm、X軸方向に隣り合う間隔P2が
上記間隔P1よりも小さく、例えば15μmとなってい
る。ここで、光路20aの始端に配された画素ミラーユ
ニット10[1]の構成について説明する。
The pixel mirror units 10 [1] to 10 [1] to 1
Regarding the arrangement interval of 0 [m], the interval P1 adjacent in the Y-axis direction is, for example, 26 μm, and the interval P2 adjacent in the X-axis direction is smaller than the above-mentioned interval P1, for example, 15 μm. Here, the configuration of the pixel mirror unit 10 [1] arranged at the start end of the optical path 20a will be described.

【0020】画素ミラーユニット10[1]は、図2中A
−A線の断面図(図3)に示されるように、薄板状の可
動ミラー11が、X軸方向の両端部で各々、細長い棒状
のヒンジ12,13の一端に連結され、かつ、ヒンジ1
2,13の他端がポール14,15に各々連結されたも
のである。また、ポール14,15は、形成面1aに設
けられている。
The pixel mirror unit 10 [1] corresponds to A in FIG.
As shown in a cross-sectional view taken along the line A (FIG. 3), the thin plate-shaped movable mirror 11 is connected to one end of each of elongated rod-shaped hinges 12 and 13 at both ends in the X-axis direction.
The other ends of the second and third poles are connected to poles 14 and 15, respectively. The poles 14 and 15 are provided on the formation surface 1a.

【0021】このように、可動ミラー11が、ポール1
4,15によりシリコン基板1の形成面1aから離れた
位置に支持されるので、可動ミラー11とシリコン基板
1との間には空間16が形成される。因みに、上記した
光路20a(図2)は、図3中B−B線の断面図(図
4)に示されるように、この空間16を通る。可動ミラ
ー11は、レーザ光を反射する反射面(図示省略)を有
する部材である。可動ミラー11は、アルミニウムを主
成分とする導体である。可動ミラー11の形状は、反射
面に沿ってほぼ一様な厚みの板状である。可動ミラー1
1の反射面の形状は、略正方形である。なお、可動ミラ
ー11の寸法は、幅および長さが共に10μm(ポール
14,15の高さのおよそ2.8倍)で、厚みが1μm
程度である。
As described above, the movable mirror 11 is
The space 16 is formed between the movable mirror 11 and the silicon substrate 1 since the silicon substrate 1 is supported at a position away from the formation surface 1a of the silicon substrate 1 by the substrates 4 and 15. Incidentally, the above-described optical path 20a (FIG. 2) passes through this space 16 as shown in a cross-sectional view taken along the line BB in FIG. 3 (FIG. 4). The movable mirror 11 is a member having a reflection surface (not shown) for reflecting a laser beam. The movable mirror 11 is a conductor whose main component is aluminum. The shape of the movable mirror 11 is a plate having a substantially uniform thickness along the reflection surface. Movable mirror 1
The shape of the first reflecting surface is substantially square. The dimensions of the movable mirror 11 are both 10 μm in width and length (about 2.8 times the height of the poles 14 and 15) and 1 μm in thickness.
It is about.

【0022】ヒンジ12,13は、導電性と弾性とを有
する部材である。したがって、可動ミラー11は、ヒン
ジ12とヒンジ13とを結ぶ空間の近傍を中心にして、
ヒンジ12,13をねじりながら、回転可能である。
The hinges 12, 13 are members having conductivity and elasticity. Therefore, the movable mirror 11 is centered on the vicinity of the space connecting the hinges 12 and 13,
It is rotatable while twisting the hinges 12 and 13.

【0023】また、シリコン基板1の形成面1aには、
図4に示されるように、着地電極21,23と駆動電極
22,24とが形成されている。ここで、可動ミラー1
1と着地電極21とは、図5に示されるように、ヒンジ
12とポール14に形成された電極(図示省略)とを介
して接続されている。同様に、可動ミラー11と着地電
極23とは、ヒンジ13とポール15に形成された電極
(図示省略)とを介して接続されている。したがって、
着地電極23と、可動ミラー11と、着地電極21と
は、互いに同電位に保たれる。
On the surface 1a of the silicon substrate 1,
As shown in FIG. 4, landing electrodes 21 and 23 and drive electrodes 22 and 24 are formed. Here, the movable mirror 1
As shown in FIG. 5, the first electrode 1 and the landing electrode 21 are connected via the hinge 12 and an electrode (not shown) formed on the pole 14. Similarly, the movable mirror 11 and the landing electrode 23 are connected via the hinge 13 and an electrode (not shown) formed on the pole 15. Therefore,
The landing electrode 23, the movable mirror 11, and the landing electrode 21 are kept at the same potential.

【0024】また、着地電極21は、素子制御部40内
の画素ミラーユニット駆動回路50[1]の出力端子71
に接続されている。駆動電極22は、画素ミラーユニッ
ト駆動回路50[1]の出力端子72に接続されている。
駆動電極24は、画素ミラーユニット駆動回路50[1]
の出力端子74に接続されている。画素ミラーユニット
駆動回路50[1]は、着地電極21と駆動電極22と駆
動電極24とに各々、電圧を印加する回路である。上記
したように、着地電極21と可動ミラー11とは同電位
に保たれるので、画素ミラーユニット駆動回路50[1]
が着地電極21に電圧を印加すると、可動ミラー11に
その電圧が印加される。
The landing electrode 21 is connected to an output terminal 71 of the pixel mirror unit driving circuit 50 [1] in the element control section 40.
It is connected to the. The drive electrode 22 is connected to the output terminal 72 of the pixel mirror unit drive circuit 50 [1].
The drive electrode 24 is connected to the pixel mirror unit drive circuit 50 [1].
Are connected to the output terminal 74. The pixel mirror unit drive circuit 50 [1] is a circuit that applies a voltage to each of the landing electrode 21, the drive electrode 22, and the drive electrode 24. As described above, since the landing electrode 21 and the movable mirror 11 are kept at the same potential, the pixel mirror unit driving circuit 50 [1]
When a voltage is applied to the landing electrode 21, the voltage is applied to the movable mirror 11.

【0025】ここで、画素ミラーユニット駆動回路50
[1]が、駆動電極22と着地電極21とに異なる極性の
電圧、駆動電極24と着地電極21とに同じ極性の電圧
(例えば10V。以下、この電圧を「傾斜電圧」とい
う)をそれぞれ印加すると、駆動電極22の電位と可動
ミラー11の電位とは極性が異なり、駆動電極24の電
位と可動ミラー11の電位とは極性が同じになる。
Here, the pixel mirror unit driving circuit 50
[1] A voltage of a different polarity is applied to the drive electrode 22 and the landing electrode 21, and a voltage of the same polarity (for example, 10 V; hereinafter, this voltage is referred to as “gradient voltage”) is applied to the drive electrode 24 and the landing electrode 21. Then, the potential of the drive electrode 22 and the potential of the movable mirror 11 have different polarities, and the potential of the drive electrode 24 and the potential of the movable mirror 11 have the same polarity.

【0026】このように、駆動電極22の電位の極性と
可動ミラー11の電位の極性とが異なると、駆動電極2
2と可動ミラー11との間には、静電吸引力が働く。ま
た、駆動電極24の電位の極性と可動ミラー11の電位
の極性とが同じになると、駆動電極24と可動ミラー1
1との間には、静電反発力が働く。
As described above, when the polarity of the potential of the drive electrode 22 and the polarity of the potential of the movable mirror 11 are different, the drive electrode 2
An electrostatic attractive force acts between the movable mirror 2 and the movable mirror 11. When the polarity of the potential of the drive electrode 24 and the polarity of the potential of the movable mirror 11 become the same, the drive electrode 24 and the movable mirror 1
Between them, an electrostatic repulsion acts.

【0027】したがって、可動ミラー11は、図4に点
線で示されるように、ヒンジ12,13を軸として回転
し、Y軸方向の端部が着地電極21に当接したところで
停止する。このとき、可動ミラー11は、その反射面
が、形成面1aの法線(Z軸方向)および光路20aに
対して約45°傾斜した位置(以下「反射位置」とい
う)となる。
Therefore, the movable mirror 11 rotates around the hinges 12 and 13 as shown by the dotted lines in FIG. 4, and stops when the end in the Y-axis direction comes into contact with the landing electrode 21. At this time, the reflecting surface of the movable mirror 11 is at a position inclined by about 45 ° with respect to the normal line (Z-axis direction) of the forming surface 1a and the optical path 20a (hereinafter referred to as “reflection position”).

【0028】可動ミラー11が反射位置のとき、空間1
6を通る+Y方向の光路20aは、その方向が反射面で
90°変更される。可動ミラー11によって変更された
光路20aの方向L1(請求項1の「第1の方向」に対
応する)は、形成面1aの法線方向(Z方向)に平行と
なる。したがって、光源30から射出されたレーザ光
は、可動ミラー11の反射面で、形成面1aの法線方向
に反射して、後述する波状ミラー200へ向かうことに
なる。
When the movable mirror 11 is at the reflection position, the space 1
6, the direction of the optical path 20a in the + Y direction is changed by 90 ° at the reflecting surface. The direction L1 (corresponding to the “first direction”) of the optical path 20a changed by the movable mirror 11 is parallel to the normal direction (Z direction) of the forming surface 1a. Therefore, the laser light emitted from the light source 30 is reflected on the reflection surface of the movable mirror 11 in the normal direction of the formation surface 1a, and travels to the wavy mirror 200 described later.

【0029】一方、画素ミラーユニット駆動回路50
[1](図5)が、駆動電極22と着地電極21と駆動電
極24とに、同じ極性の電圧(例えば10V。以下、こ
の電圧を「水平電圧」という)をそれぞれ印加すると、
駆動電極22の電位と可動ミラー11の電位と駆動電極
24の電位とは、極性が同じになる。このように、駆動
電極22の電位の極性と可動ミラー11の電位の極性と
が同じになると、駆動電極22と可動ミラー11との間
には、静電反発力が働く。
On the other hand, the pixel mirror unit driving circuit 50
[1] (FIG. 5) applies a voltage of the same polarity (for example, 10 V; hereinafter, this voltage is referred to as a “horizontal voltage”) to the drive electrode 22, the landing electrode 21, and the drive electrode 24, respectively.
The potential of the drive electrode 22, the potential of the movable mirror 11, and the potential of the drive electrode 24 have the same polarity. As described above, when the polarity of the potential of the drive electrode 22 and the polarity of the potential of the movable mirror 11 become the same, an electrostatic repulsive force acts between the drive electrode 22 and the movable mirror 11.

【0030】また、このとき、駆動電極24の電位の極
性と可動ミラー11の電位の極性とが同じになるので、
駆動電極24と可動ミラー11との間にも、静電反発力
が働く。可動ミラー11が、図4に点線で示される反射
位置にあるとき、駆動電極22と可動ミラー11との距
離の方が、駆動電極24と可動ミラー11との距離より
も小さいので、駆動電極22と可動ミラー11との間に
働く静電反発力の大きさの方が、駆動電極24と可動ミ
ラー11との間に働く静電反発力の大きさよりも大き
い。
At this time, since the polarity of the potential of the drive electrode 24 and the polarity of the potential of the movable mirror 11 are the same,
An electrostatic repulsion acts between the drive electrode 24 and the movable mirror 11. When the movable mirror 11 is at the reflection position indicated by the dotted line in FIG. 4, the distance between the drive electrode 22 and the movable mirror 11 is smaller than the distance between the drive electrode 24 and the movable mirror 11, so that the drive electrode 22 The magnitude of the electrostatic repulsion acting between the movable mirror 11 and the movable mirror 11 is larger than the magnitude of the electrostatic repulsion acting between the drive electrode 24 and the movable mirror 11.

【0031】したがって、可動ミラー11は、図4に点
線で示される反射位置から、実線で示される位置に向か
って回転する。そして、可動ミラー11は、これら2つ
の静電反発力の大きさが釣り合う位置、すなわち形成面
1aと平行な位置(以下「通過位置」という)で静止す
る。可動ミラー11が通過位置のとき、+Y方向の光路
20aの方向は変更されない。したがって、光源30か
らのレーザ光は、可動ミラー11の下方に形成された空
間16を通過して、次の画素ミラーユニット10[2]へ
向かうことになる。
Therefore, the movable mirror 11 rotates from the reflection position shown by the dotted line in FIG. 4 to the position shown by the solid line. Then, the movable mirror 11 stops at a position where the magnitudes of the two electrostatic repulsion forces are balanced, that is, at a position parallel to the forming surface 1a (hereinafter, referred to as a “passing position”). When the movable mirror 11 is at the passing position, the direction of the optical path 20a in the + Y direction is not changed. Therefore, the laser light from the light source 30 passes through the space 16 formed below the movable mirror 11, and travels to the next pixel mirror unit 10 [2].

【0032】このように、画素ミラーユニット10[1]
では、可動ミラー11を反射位置に移動させたり通過位
置に戻したりする、すなわち、光源30からのレーザ光
を波状ミラー200に向けて反射させたり次の画素ミラ
ーユニット10[2]に向けて通過させたりすることがで
きる。なお、上記のように構成された画素ミラーユニッ
ト10[1]以外の画像ミラーユニット10[2]〜10
[m](図2)のうち、光源30から射出されたレーザ光
が+Y方向に進む光路(光路20aの始端→固定ミラー
20[1],固定ミラー20[4]→固定ミラー20[5],
…,固定ミラー20[k]→光吸収板2)に沿って配置さ
れたものについては、画素ミラーユニット10[1]と同
じ構成なので説明を省略する。
As described above, the pixel mirror unit 10 [1]
Then, the movable mirror 11 is moved to the reflection position or returned to the passing position, that is, the laser light from the light source 30 is reflected toward the wave-like mirror 200 or passes toward the next pixel mirror unit 10 [2]. Or can be. The image mirror units 10 [2] to 10 other than the pixel mirror unit 10 [1] configured as described above.
[m] (FIG. 2), the optical path in which the laser light emitted from the light source 30 travels in the + Y direction (starting point of the optical path 20a → fixed mirror 20 [1], fixed mirror 20 [4] → fixed mirror 20 [5] ,
.., The arrangement arranged along the fixed mirror 20 [k] → the light absorbing plate 2) is the same as that of the pixel mirror unit 10 [1], and therefore the description is omitted.

【0033】また、画像ミラーユニット10[2]〜10
[m]のうち、レーザ光が−Y方向に進む光路(固定ミラ
ー20[2]→固定ミラー20[3],…,固定ミラー20
[k−2]→固定ミラー20[k−1])に沿って配置され
たもの(例えば、固定ミラー20[2]に隣接する画像ミ
ラーユニット10[i+1])については、画素ミラーユ
ニット10[1]と電気的な接続関係が異なっている。
The image mirror units 10 [2] to 10 [2] to 10
[m], the optical path in which the laser beam travels in the −Y direction (fixed mirror 20 [2] → fixed mirror 20 [3],..., fixed mirror 20)
[k-2] → fixed mirror 20 [k-1]) (for example, image mirror unit 10 [i + 1] adjacent to fixed mirror 20 [2]), pixel mirror unit 10 [ 1] and the electrical connection relationship is different.

【0034】すなわち、画素ミラーユニット10[i+
1]では、図6に示されるように、着地電極23が、素
子制御部40内の画素ミラーユニット駆動回路50[i
+1]の出力端子83に接続されている。駆動電極22
は、画素ミラーユニット駆動回路50[i+1]の出力端
子82に接続されている。駆動電極24は、画素ミラー
ユニット駆動回路50[i+1]の出力端子84に接続さ
れている。
That is, the pixel mirror unit 10 [i +
In [1], as shown in FIG. 6, the landing electrode 23 is connected to the pixel mirror unit drive circuit 50 [i] in the element control unit 40.
+1] output terminal 83. Drive electrode 22
Is connected to the output terminal 82 of the pixel mirror unit drive circuit 50 [i + 1]. The drive electrode 24 is connected to the output terminal 84 of the pixel mirror unit drive circuit 50 [i + 1].

【0035】画素ミラーユニット駆動回路50[i+1]
は、着地電極23と駆動電極22と駆動電極24とに各
々、電圧を印加する回路である。上記したように、着地
電極23と可動ミラー11とは同電位に保たれるので、
画素ミラーユニット駆動回路50[i+1]が着地電極2
3に電圧を印加すると、可動ミラー11にその電圧が印
加される。
Pixel mirror unit drive circuit 50 [i + 1]
Is a circuit for applying a voltage to each of the landing electrode 23, the drive electrode 22, and the drive electrode 24. As described above, since the landing electrode 23 and the movable mirror 11 are kept at the same potential,
The pixel mirror unit driving circuit 50 [i + 1] is the landing electrode 2
When a voltage is applied to 3, the voltage is applied to the movable mirror 11.

【0036】したがって、画素ミラーユニット駆動回路
50[i+1]が、駆動電極24と着地電極23とに異な
る極性、駆動電極22と着地電極23とに同じ極性の傾
斜電圧(例えば10V)をそれぞれ印加すると、駆動電
極24の電位と可動ミラー11の電位とは極性が異な
り、駆動電極22の電位と可動ミラー11の電位とは極
性が同じになる。このとき、駆動電極24と可動ミラー
11との間には静電吸引力、駆動電極22と可動ミラー
11との間には静電反発力が働く。
Accordingly, when the pixel mirror unit drive circuit 50 [i + 1] applies a different polarity voltage (for example, 10 V) to the drive electrode 24 and the landing electrode 23 and the same polarity to the drive electrode 22 and the landing electrode 23, respectively. The potential of the drive electrode 24 and the potential of the movable mirror 11 have different polarities, and the potential of the drive electrode 22 and the potential of the movable mirror 11 have the same polarity. At this time, an electrostatic attraction force acts between the drive electrode 24 and the movable mirror 11, and an electrostatic repulsion force acts between the drive electrode 22 and the movable mirror 11.

【0037】その結果、可動ミラー11は、図7に点線
で示されるように、Y軸方向の端部が着地電極23に当
接し、反射面が約45°傾斜した反射位置で停止する。
このとき、空間16を通る−Y方向の光路20aは、方
向が反射面で90°変更され、形成面1aの法線方向に
ほぼ平行な方向L1となる。したがって、光源30から
のレーザ光は、可動ミラー11の反射面で反射して、後
述する波状ミラー200へ向かうことになる。
As a result, as shown by the dotted line in FIG. 7, the end of the movable mirror 11 in the Y-axis direction comes into contact with the landing electrode 23, and stops at the reflection position where the reflection surface is inclined by about 45 °.
At this time, the direction of the optical path 20a in the −Y direction passing through the space 16 is changed by 90 ° at the reflection surface, and becomes a direction L1 substantially parallel to the normal direction of the formation surface 1a. Therefore, the laser light from the light source 30 is reflected on the reflecting surface of the movable mirror 11 and travels to a wavy mirror 200 described later.

【0038】また、画素ミラーユニット駆動回路50
[i+1](図6)が、駆動電極24と着地電極23と駆
動電極22とに、同じ極性の水平電圧(例えば10V)
をそれぞれ印加すると、駆動電極24の電位と可動ミラ
ー11の電位と駆動電極22の電位とは、極性が同じに
なる。このとき、駆動電極24と可動ミラー11との
間、および駆動電極22と可動ミラー11との間に各
々、静電反発力が働く。
The pixel mirror unit driving circuit 50
[i + 1] (FIG. 6) applies a horizontal voltage (for example, 10 V) of the same polarity to the drive electrode 24, the landing electrode 23, and the drive electrode 22.
Are applied, the potentials of the drive electrode 24, the movable mirror 11, and the drive electrode 22 have the same polarity. At this time, electrostatic repulsion acts between the drive electrode 24 and the movable mirror 11 and between the drive electrode 22 and the movable mirror 11, respectively.

【0039】可動ミラー11が、図7に点線で示される
反射位置にあるとき、駆動電極24と可動ミラー11と
の距離の方が、駆動電極22と可動ミラー11との距離
よりも小さいので、駆動電極24と可動ミラー11との
間に働く静電反発力の大きさの方が、駆動電極22と可
動ミラー11との間に働く静電反発力の大きさよりも大
きい。
When the movable mirror 11 is at the reflection position shown by the dotted line in FIG. 7, the distance between the drive electrode 24 and the movable mirror 11 is smaller than the distance between the drive electrode 22 and the movable mirror 11. The magnitude of the electrostatic repulsion acting between the drive electrode 24 and the movable mirror 11 is larger than the magnitude of the electrostatic repulsion acting between the drive electrode 22 and the movable mirror 11.

【0040】したがって、可動ミラー11は、図7に点
線で示される反射位置から、実線で示される位置に向か
って回転する。そして、可動ミラー11は、これら2つ
の静電反発力の大きさが釣り合う位置、すなわち形成面
1aと平行な通過位置で静止する。このとき、−Y方向
の光路20aの方向は変更されない。したがって、固定
ミラー20[2]からのレーザ光は、可動ミラー11の下
方に形成された空間16を通過して、次の画素ミラーユ
ニット10[i+2]へ向かうことになる。
Therefore, the movable mirror 11 rotates from the reflection position shown by the dotted line in FIG. 7 to the position shown by the solid line. Then, the movable mirror 11 stops at a position where the magnitudes of these two electrostatic repulsion forces are balanced, that is, at a passing position parallel to the forming surface 1a. At this time, the direction of the optical path 20a in the −Y direction is not changed. Therefore, the laser light from the fixed mirror 20 [2] passes through the space 16 formed below the movable mirror 11, and travels to the next pixel mirror unit 10 [i + 2].

【0041】このように、画素ミラーユニット10[i
+1]では、可動ミラー11を反射位置に移動させたり
通過位置に戻したりする、すなわち、固定ミラー20
[2]からのレーザ光を後述する波状ミラー200に向け
て反射させたり次の画素ミラーユニット10[i+2]に
向けて通過させたりすることができる。なお、上記のよ
うに構成されたm個の画素ミラーユニット10[1]〜1
0[m]において、ヒンジ12,13、およびポール1
4,15は何れも、マイクロマシンの製造プロセスを使
用して形成可能な素材で形成されている。また、着地電
極21,23、駆動電極22,24は何れも、アルミニ
ウムで形成されている。したがって、m個の画素ミラー
ユニット10[1]〜10[m]は、マイクロマシンの製造
プロセスと同様の製造工程を利用して、シリコン基板1
上に一体に形成することができる。
As described above, the pixel mirror unit 10 [i
+1], the movable mirror 11 is moved to the reflection position or returned to the passing position, that is, the fixed mirror 20 is moved.
The laser beam from [2] can be reflected toward a wave mirror 200 described later or can be passed toward the next pixel mirror unit 10 [i + 2]. Note that the m pixel mirror units 10 [1] to 10 [1] to 1 configured as described above are used.
At 0 [m], the hinges 12, 13 and the pole 1
Each of 4 and 15 is formed of a material that can be formed by using a micromachine manufacturing process. The landing electrodes 21 and 23 and the drive electrodes 22 and 24 are all made of aluminum. Therefore, the m pixel mirror units 10 [1] to 10 [m] are formed on the silicon substrate 1 using the same manufacturing process as the micromachine manufacturing process.
It can be formed integrally on top.

【0042】次に、上記したm個の画素ミラーユニット
10[1]〜10[m]や、光源30のLD31を個別に制
御する素子制御部40(図2)について説明する。この
素子制御部40には、外部から公知のビデオ信号が入力
される。素子制御部40には、図8に示されるように、
同期回路41と、反転回路42と、変換回路43と、タ
イミング制御回路44と、m個の画素ミラーユニット駆
動回路50[1]〜50[m]と、LD駆動回路47とが設
けられている。
Next, a description will be given of the above-mentioned m pixel mirror units 10 [1] to 10 [m] and the element control unit 40 (FIG. 2) for individually controlling the LD 31 of the light source 30. A known video signal is externally input to the element control unit 40. As shown in FIG. 8, the element control unit 40
A synchronization circuit 41, an inversion circuit 42, a conversion circuit 43, a timing control circuit 44, m pixel mirror unit driving circuits 50 [1] to 50 [m], and an LD driving circuit 47 are provided. .

【0043】このうちm個の画素ミラーユニット駆動回
路50[1]〜50[m]は、m個の画素ミラーユニット1
0[1]〜10[m]に各々接続される。また、LD駆動回
路47は、LD31に接続される。なお、同期回路41
には、ビデオ信号に含まれる垂直同期信号,水平同期信
号が入力される。また、反転回路42には、ビデオ信号
に含まれる映像信号が入力される。
Among them, m pixel mirror unit driving circuits 50 [1] to 50 [m] correspond to m pixel mirror units 1
0 [1] to 10 [m]. The LD drive circuit 47 is connected to the LD 31. Note that the synchronization circuit 41
Is supplied with a vertical synchronizing signal and a horizontal synchronizing signal included in the video signal. The video signal included in the video signal is input to the inversion circuit 42.

【0044】同期回路41は、垂直同期信号と水平同期
信号とに基づいて、画素ミラーユニット駆動回路50
[1]〜50[m]と、LD駆動回路47との間の同期をと
るタイミング信号を、タイミング制御回路44に出力す
る回路である。反転回路42は、映像信号の画素情報を
画像データにA/D変換し、画像データをメモリに格納
する回路である。ここで、画像データの画素情報は、各
画素ごとの明るさを表す情報(以下「輝度情報」とい
う)である。さらに、この反転回路42では、メモリに
格納された各画素の輝度情報を、画素ミラーユニット1
0[1]〜10[m]の配置順(図2中、光路20aの始端
から終端に向かう順)に対応する順番で読み出し、変換
回路43に出力する。変換回路43は、各画素の輝度情
報を各々、LD31の射出時間TLに変換して、タイミ
ング制御回路44に出力する。
The synchronizing circuit 41 generates a pixel mirror unit driving circuit 50 based on the vertical synchronizing signal and the horizontal synchronizing signal.
This circuit outputs a timing signal for synchronizing [1] to 50 [m] with the LD drive circuit 47 to the timing control circuit 44. The inverting circuit 42 is a circuit that A / D converts pixel information of a video signal into image data and stores the image data in a memory. Here, the pixel information of the image data is information indicating the brightness of each pixel (hereinafter, referred to as “luminance information”). Further, in the inverting circuit 42, the luminance information of each pixel stored in the memory is transmitted to the pixel mirror unit 1
The data is read out in the order corresponding to the arrangement order of 0 [1] to 10 [m] (in FIG. 2, the order from the beginning to the end of the optical path 20 a) and output to the conversion circuit 43. The conversion circuit 43 converts the luminance information of each pixel into the emission time TL of the LD 31 and outputs the same to the timing control circuit 44.

【0045】タイミング制御回路44は、同期回路41
を介して入力される垂直同期信号,水平同期信号に基づ
いて、LD駆動回路47に対し、LD31の点灯を開始
させるLD点灯制御信号を出力する。さらに、タイミン
グ制御回路44は、LD点灯制御信号が出力(LD31
点灯開始)されてからの経過時間Tをカウントする。
The timing control circuit 44 includes a synchronization circuit 41
The LD driving circuit 47 outputs an LD lighting control signal to start the lighting of the LD 31 to the LD driving circuit 47 based on the vertical synchronizing signal and the horizontal synchronizing signal input through. Further, the timing control circuit 44 outputs an LD lighting control signal (LD 31
The elapsed time T from the start of lighting) is counted.

【0046】また、タイミング制御回路44は、経過時
間Tに基づいて、LD31を消灯させるためのLD消灯
制御信号をLD駆動回路47に対して出力する。LD消
灯制御信号の出力は、経過時間Tが、変換回路43から
入力されるLD31の射出時間TLに達したときに行わ
れる。また、このようなLD31の点灯/消灯は、各画
素ごとに順次行われる。
The timing control circuit 44 outputs an LD extinguishing control signal for extinguishing the LD 31 to the LD driving circuit 47 based on the elapsed time T. The output of the LD extinguishing control signal is performed when the elapsed time T reaches the emission time TL of the LD 31 input from the conversion circuit 43. The turning on / off of the LD 31 is sequentially performed for each pixel.

【0047】さらに、タイミング制御回路44は、同期
回路41を介して入力される垂直同期信号,水平同期信
号に基づいて、m個の画素ミラーユニット駆動回路50
[1]〜50[m]に対し、画素ミラーユニット10[1]〜
10[m]の可動ミラー11を傾斜させるミラー傾斜制御
信号を個別に出力する。なお、ミラー傾斜制御信号の出
力は、画素ミラーユニット10[1]〜10[m]の配置順
に対応する順番で1つずつ行われる。
Further, based on the vertical synchronizing signal and the horizontal synchronizing signal input through the synchronizing circuit 41, the timing control circuit 44
For [1] to 50 [m], the pixel mirror unit 10 [1] to
A mirror tilt control signal for tilting the movable mirror 11 of 10 [m] is individually output. The output of the mirror tilt control signal is performed one by one in an order corresponding to the arrangement order of the pixel mirror units 10 [1] to 10 [m].

【0048】また、タイミング制御回路44は、経過時
間Tに基づいて、画素ミラーユニット10[1]〜10
[m]の可動ミラー11を水平に戻すためのミラー水平制
御信号を、画素ミラーユニット駆動回路50[1]〜50
[m]に対して出力する。ミラー水平制御信号の出力は、
常に、経過時間Tが予め定めた最大時間Tmaxに達し
たときに行われる。この最大時間Tmaxは、LD31
の1画素あたりの最大射出時間に相当する。
The timing control circuit 44 determines the pixel mirror units 10 [1] to 10 [1] based on the elapsed time T.
The mirror horizontal control signal for returning the movable mirror 11 of [m] to the horizontal level is supplied to the pixel mirror unit driving circuits 50 [1] to 50 [50].
Output for [m]. The output of the mirror horizontal control signal is
This is always performed when the elapsed time T reaches a predetermined maximum time Tmax. This maximum time Tmax is equal to LD31
Corresponds to the maximum emission time per pixel.

【0049】タイミング制御回路44には、内部カウン
タNが設けられている。後述の初期化動作において、内
部カウンタNの値は1にリセットされる。m個の画素ミ
ラーユニット駆動回路50[1]〜50[m]は、タイミン
グ制御回路44からミラー傾斜制御信号が入力される
と、画素ミラーユニット10[1]〜10[m]に傾斜電圧
を出力する。
The timing control circuit 44 has an internal counter N. In an initialization operation described later, the value of the internal counter N is reset to 1. When the mirror tilt control signal is input from the timing control circuit 44, the m pixel mirror unit drive circuits 50 [1] to 50 [m] apply a tilt voltage to the pixel mirror units 10 [1] to 10 [m]. Output.

【0050】また、画素ミラーユニット駆動回路50
[1]〜50[m]は、タイミング制御回路44からミラー
水平制御信号が入力されると、画素ミラーユニット10
[1]〜10[m]に水平電圧を出力する。
The pixel mirror unit driving circuit 50
When the mirror horizontal control signal is input from the timing control circuit 44, the pixel mirror unit 10 [1] to 50 [m]
A horizontal voltage is output from [1] to [m].

【0051】なお、光吸収板2は、図2に示されるよう
に、光路20aの終端に設けられる部材である。光吸収
板2は、入射するレーザ光を吸収する。したがって、画
素ミラーユニット10[1]〜10[m]の可動ミラー11
が全て通過位置に移動されて、光源30からのレーザ光
が光路20aを終端まで通り抜ける場合でも、不要なレ
ーザ光が発光素子100から射出することはない。これ
により、表示装置内での迷光の発生が防止できる。
The light absorbing plate 2, as shown in FIG. 2, is a member provided at the end of the optical path 20a. The light absorbing plate 2 absorbs the incident laser light. Therefore, the movable mirror 11 of the pixel mirror unit 10 [1] to 10 [m]
Are moved to the passing position and unnecessary laser light is not emitted from the light emitting element 100 even when the laser light from the light source 30 passes through the optical path 20a to the end. Thereby, generation of stray light in the display device can be prevented.

【0052】上記のように構成された発光素子100
は、光源30からのレーザ光を、m個の画素ミラーユニ
ット10[1]〜10[m]それぞれで、方向L1に反射す
る素子である(図1)。次に、波状ミラー200の構成
について説明する。波状ミラー200には、図9(a),
(b)に示されるように、基準面61と、q個の反射面6
0[1]〜60[q]とが設けられている。反射面60[1]
〜60[q]の数(q個)は、上記した光路20aのY軸
に沿った直線部分の数に等しい(例えば640個。図9
では簡単のため9個の反射面を示した)。q個の反射面
60[1]〜60[q]は、請求項1の「複数の反射面」に
対応する。
The light emitting device 100 configured as described above
Is an element that reflects the laser light from the light source 30 in the direction L1 in each of the m pixel mirror units 10 [1] to 10 [m] (FIG. 1). Next, the configuration of the wavy mirror 200 will be described. 9 (a), the wavy mirror 200
As shown in (b), the reference surface 61 and the q reflecting surfaces 6
0 [1] to 60 [q] are provided. Reflective surface 60 [1]
The number (q) of 6060 [q] is equal to the number of linear portions along the Y axis of the optical path 20a (for example, 640; FIG. 9).
Then, nine reflecting surfaces are shown for simplicity). The q reflection surfaces 60 [1] to 60 [q] correspond to the “plurality of reflection surfaces” in claim 1.

【0053】これらq個の反射面60[1]〜60[q]は
全て、図9(a)に示されるように、基準面61に対し
て、角度θ1(例えば15°)だけ傾けられている。こ
の角度θ1は、請求項1の「第1の角度」に対応する。
また、q個の反射面60[1]〜60[q]は全て、図9
(b)に示されるように、細長い帯状反射面である。q個
の反射面60[1]〜60[q]は平面である。
As shown in FIG. 9A, the q reflecting surfaces 60 [1] to 60 [q] are all inclined at an angle θ1 (for example, 15 °) with respect to the reference surface 61. I have. This angle θ1 corresponds to the “first angle” of claim 1.
In addition, q reflecting surfaces 60 [1] to 60 [q] are all shown in FIG.
As shown in (b), it is an elongated strip-shaped reflecting surface. The q reflection surfaces 60 [1] to 60 [q] are planes.

【0054】上記のように構成された波状ミラー200
は、図1に示されるように、反射面60[1]〜60[q]
の長軸方向をY軸方向に揃えて配置される。また、波状
ミラー200は、図10に示されるように、方向L1に
対して、基準面61を角度θ2(例えば30°)だけ傾
けて配置される。なお、図10に点線で示される61p
は、基準面61と平行な面の位置を表している。
The wavy mirror 200 configured as described above
Are reflection surfaces 60 [1] to 60 [q] as shown in FIG.
Are arranged such that the major axis direction is aligned with the Y axis direction. Further, as shown in FIG. 10, the wavy mirror 200 is arranged with the reference plane 61 inclined at an angle θ2 (for example, 30 °) with respect to the direction L1. In addition, 61p shown by a dotted line in FIG.
Represents the position of a plane parallel to the reference plane 61.

【0055】このように配置された波状ミラー200で
は、反射面60[1]が、発光素子100の1列目の画素
ミラーユニット10[1]〜10[i]に対向する。同様
に、反射面60[2],…,60[q]は、発光素子100
の2列目の画素ミラーユニット10[i+1]〜10[2
i],…,最終列の画素ミラーユニット10[m−i+
1]〜10[m]にそれぞれ対向する。
In the wavy mirror 200 arranged as described above, the reflection surface 60 [1] faces the pixel mirror units 10 [1] to 10 [i] in the first row of the light emitting element 100. Similarly, the reflection surfaces 60 [2],.
Pixel mirror units 10 [i + 1] to 10 [2]
i],..., pixel mirror unit 10 [m−i +
1] to 10 [m].

【0056】したがって、発光素子100の画素ミラー
ユニット10[1]〜10[i]それぞれから方向L1に沿
って射出されるレーザ光は、反射面60[1]に入射す
る。同様に、発光素子100の画素ミラーユニット10
[i+1]〜10[2i],…,画素ミラーユニット10
[m−i+1]〜10[m]それぞれから、方向L1に沿っ
て射出されるレーザ光は、反射面60[2],…,60
[q]に入射する。
Therefore, the laser light emitted from each of the pixel mirror units 10 [1] to 10 [i] of the light emitting element 100 along the direction L1 enters the reflection surface 60 [1]. Similarly, the pixel mirror unit 10 of the light emitting element 100
[i + 1] to 10 [2i],..., pixel mirror unit 10
The laser light emitted along the direction L1 from each of [mi + 1] to 10 [m] is reflected by the reflecting surface 60 [2],.
[q].

【0057】ここで、方向L1に対する反射面60[1]
〜60[q]の角度θ3は、図10に示されるように、方
向L1に対する基準面61の角度θ2と、基準面61に
対する反射面60[1]〜60[q]の角度θ1との和で表
される(θ3≒θ1+θ2)。本実施形態では、角度θ
2が30°、角度θ1が15°であるため、方向L1に
対する反射面60[1]〜60[q]の角度θ3は45°と
なる。
Here, the reflecting surface 60 [1] in the direction L1
As shown in FIG. 10, the angle θ3 of 60 [q] is the sum of the angle θ2 of the reference surface 61 with respect to the direction L1 and the angle θ1 of the reflection surfaces 60 [1] to 60 [q] with respect to the reference surface 61. (Θ3 ≒ θ1 + θ2). In the present embodiment, the angle θ
Since 2 is 30 ° and the angle θ1 is 15 °, the angle θ3 of the reflecting surfaces 60 [1] to 60 [q] with respect to the direction L1 is 45 °.

【0058】したがって、方向L1に沿って反射面60
[1]〜60[q]に入射するレーザ光の光路は何れも、反
射面60[1]〜60[q]で方向が90°変更される。反
射面60[1]〜60[q]によって変更された光路の方向
L2(請求項2の「第2の方向」に対応する)は何れ
も、X軸方向にほぼ平行となる。ここで、例えば画素ミ
ラーユニット10[1]と画素ミラーユニット10[2i]
(図2)のように、X軸方向に隣り合う画素ミラーユニ
ットそれぞれで、方向L1に反射されるレーザ光の間隔
を、R2とする(図11(a))。この間隔R2は、画素
ミラーユニット10[1],10[2i]のX軸方向に隣り
合う間隔P2にほぼ等しい。このように間隔R2を隔て
て隣り合う2つのレーザ光は各々、波状ミラー200
(反射面60[1],60[2])で方向が90°変更さ
れ、間隔がR3(≒R2/tan(θ2))に変更され
る。
Therefore, the reflecting surface 60 along the direction L1
The directions of the optical paths of the laser beams incident on [1] to 60 [q] are all changed by 90 ° at the reflecting surfaces 60 [1] to 60 [q]. The direction L2 (corresponding to the "second direction") of the optical path changed by the reflecting surfaces 60 [1] to 60 [q] is substantially parallel to the X-axis direction. Here, for example, the pixel mirror unit 10 [1] and the pixel mirror unit 10 [2i]
As shown in FIG. 2, the interval between the laser beams reflected in the direction L1 in each of the pixel mirror units adjacent in the X-axis direction is R2 (FIG. 11A). This interval R2 is substantially equal to the interval P2 of the pixel mirror units 10 [1] and 10 [2i] adjacent to each other in the X-axis direction. In this manner, the two laser beams adjacent to each other with the interval R2 therebetween are each a wave mirror 200
The direction is changed by 90 ° at the (reflection surfaces 60 [1], 60 [2]), and the interval is changed to R3 (≒ R2 / tan (θ2)).

【0059】ところで、方向L1に対する基準面61の
角度θ2(30°)は、画素ミラーユニット10[1]〜
10[m](図2)のY軸方向の間隔P1(26μm)
と、X軸方向の間隔P2(15μm)とに基づき、式
(1)の関係を満足するように設定されている。 P1×tan(θ2)≒P2 …… (1) したがって、上記したX軸方向に隣り合う画素ミラーユ
ニットそれぞれから方向L1に射出され、波状ミラー2
00(反射面60[1],60[2])で方向L2に反射さ
れたレーザ光の間隔R3(図11(a))は、画素ミラー
ユニット10[1]〜10[m]のY軸方向の間隔P1にほ
ぼ等しくなる。
Incidentally, the angle θ2 (30 °) of the reference plane 61 with respect to the direction L1 is different from the pixel mirror unit 10 [1] to
Interval P1 (26 μm) in the Y-axis direction of 10 [m] (FIG. 2)
And the distance P2 (15 μm) in the X-axis direction are set so as to satisfy the relationship of Expression (1). P1 × tan (θ2) ≒ P2 (1) Therefore, each of the pixel mirror units adjacent to each other in the X-axis direction is emitted in the direction L1 and the wavy mirror 2
The interval R3 (FIG. 11A) of the laser light reflected in the direction L2 at 00 (reflection surfaces 60 [1], 60 [2]) is the Y axis of the pixel mirror units 10 [1] to 10 [m]. It is almost equal to the interval P1 in the direction.

【0060】なお、例えば画素ミラーユニット10[1]
と画素ミラーユニット10[2](図2)のように、Y軸
方向に隣り合う画素ミラーユニットの場合(図11
(b))には、方向L1に沿って射出されるレーザ光の間
隔R1が、波状ミラー200(反射面60[1])で方向
変更された後でもそのまま一定に保たれる。ここで、間
隔R1は、画素ミラーユニット10[1]〜10[m]のY
軸方向に隣り合う間隔P1にほぼ等しい。
For example, the pixel mirror unit 10 [1]
And the pixel mirror unit 10 [2] (FIG. 2) adjacent to the pixel mirror unit in the Y-axis direction (FIG. 11).
In (b)), the interval R1 of the laser light emitted along the direction L1 is kept constant even after the direction is changed by the wavy mirror 200 (reflection surface 60 [1]). Here, the interval R1 is Y of the pixel mirror units 10 [1] to 10 [m].
It is almost equal to the interval P1 adjacent in the axial direction.

【0061】次に、拡散板300について説明する。拡
散板300(図1)は、ガラス板の一方の面に、微小な
凹凸が形成される拡散層65を有する光学部材である。
拡散層65に対向するガラス板の他方の面は、画像を表
示する表示面301である。拡散板300は、拡散層6
5が方向L2に対してほぼ垂直となる位置に配置され
る。したがって、波状ミラー200からの反射光(方向
L2)は、拡散層65に垂直に入射する。
Next, the diffusion plate 300 will be described. The diffusion plate 300 (FIG. 1) is an optical member having a diffusion layer 65 in which minute irregularities are formed on one surface of a glass plate.
The other surface of the glass plate facing the diffusion layer 65 is a display surface 301 for displaying an image. The diffusion plate 300 includes the diffusion layer 6.
5 is arranged at a position substantially perpendicular to the direction L2. Therefore, the reflected light (direction L2) from the wavy mirror 200 is perpendicularly incident on the diffusion layer 65.

【0062】図12に示されるように、波状ミラー20
0からのレーザ光は、拡散層65に入射すると、所定の
立体角で拡散する拡散光に変換される。拡散光に変換さ
れた波状ミラー200からのレーザ光は、表示面301
から拡散板300の外部に射出される。拡散光に変換さ
れたレーザ光が表示面301から射出する領域は、直径
がR1のほぼ円形である。
As shown in FIG. 12, the wavy mirror 20
When the laser light from zero enters the diffusion layer 65, it is converted into diffused light that diffuses at a predetermined solid angle. The laser light from the wavy mirror 200 converted into the diffused light is applied to the display surface 301.
From the diffusion plate 300. The region where the laser light converted into the diffused light exits from the display surface 301 is substantially circular with a diameter R1.

【0063】表示面301から射出されるレーザ光は、
素子制御部40に入力されたビデオ信号が表す画像の中
の、1つの画素を表示する光になる。次に、上記のよう
に構成された表示装置(図1)の画像表示動作(図13
のステップS10〜S15)について説明する。図13
に示すステップは、発光素子100の素子制御部40
(図2,図8)による制御手順を示すフローチャートで
ある。
The laser light emitted from the display surface 301 is
It becomes light for displaying one pixel in the image represented by the video signal input to the element control unit 40. Next, the image display operation of the display device (FIG. 1) configured as described above (FIG. 13)
Steps S10 to S15) will be described. FIG.
Step shown in FIG. 7 is performed by the element control unit 40
9 is a flowchart showing a control procedure according to (FIGS. 2 and 8).

【0064】図13の各ステップにしたがい、図14〜
図17を参照しながら、1画面の画像表示動作を説明す
る。図14は、1列目の画素ミラーユニット10[1]〜
10[i]の可動ミラー11の位置を説明する図である。
ここで、図14(a)は、素子制御部40が初期化動作を
実行し終えたときの、画素ミラーユニット10[1]〜1
0[i]を表している。図15は、2列目の画素ミラーユ
ニット10[i+1]〜10[2i]の可動ミラー11の位
置を説明する図である。図16は、最終列の画素ミラー
ユニット10[m−i+1]〜10[m]の可動ミラー11
の位置を説明する図である。図17は、拡散板300に
到達するレーザ光の位置を説明する図である。
According to each step of FIG. 13, FIG.
The image display operation of one screen will be described with reference to FIG. FIG. 14 shows the pixel mirror units 10 [1] to 10-1 in the first column.
FIG. 10 is a diagram illustrating the position of a movable mirror 11 at 10 [i].
Here, FIG. 14A illustrates the pixel mirror units 10 [1] to 10 [1] when the element control unit 40 finishes performing the initialization operation.
0 [i]. FIG. 15 is a diagram illustrating the positions of the movable mirrors 11 of the pixel mirror units 10 [i + 1] to 10 [2i] in the second column. FIG. 16 shows the movable mirrors 11 of the pixel mirror units 10 [mi + 1] to 10 [m] in the last column.
FIG. FIG. 17 is a diagram illustrating the position of the laser beam reaching the diffusion plate 300.

【0065】図14〜図16において、可動ミラー11
以外の図示を省略している。また、図14(c),(e),
図15(b),(d),図16(b)には、説明を分かりやす
くするため、反射面60[1]、60[2]、あるいは60
[q]を付記した。素子制御部40は、ビデオ信号の各フ
レーム期間において、画像表示動作を1度ずつ実行す
る。
In FIG. 14 to FIG.
Illustrations other than the above are omitted. 14 (c), (e),
FIGS. 15 (b), (d) and 16 (b) show the reflection surfaces 60 [1], 60 [2] or 60 for easy understanding.
[q] is appended. The element control unit 40 executes the image display operation once in each frame period of the video signal.

【0066】ビデオ信号の各フレーム期間が終了する
と、素子制御部40は、初期化動作を実行する。この初
期化動作には、LD31を消灯する動作と、画素ミラー
ユニット10[1]〜10[m]の全ての可動ミラー11を
通過位置に回転させる動作と、タイミング制御回路44
の内部カウンタNの値を1にリセットする動作とがあ
る。
When each frame period of the video signal ends, the element control section 40 executes an initialization operation. The initialization operation includes an operation of turning off the LD 31, an operation of rotating all the movable mirrors 11 of the pixel mirror units 10 [1] to 10 [m] to the passing position, and a timing control circuit 44.
Resetting the value of the internal counter N to 1.

【0067】素子制御部40は、初期化動作を実行し終
えると、ビデオ信号の各フレーム期間を開始するタイミ
ングを待つ。ビデオ信号の各フレーム期間が開始される
と、素子制御部40は、図13のステップS10〜S1
5の実行を開始する。ステップS10では、内部カウン
タNの値に対応付けられるN番目の画素ミラーユニット
10[N]について、素子制御部40は、可動ミラー11
を反射位置に移動する。初回の制御では内部カウンタN
の値が1なので、素子制御部40は、1番目の画素ミラ
ーユニット10[1]の可動ミラー11を反射位置に移動
する。したがって、1列目の画素ミラーユニット10
[1]〜10[i]は、図14(b)の状態になる。
After completing the initialization operation, the element control unit 40 waits for timing to start each frame period of the video signal. When each frame period of the video signal starts, the element control unit 40 performs steps S10 to S1 in FIG.
5 is started. In step S10, for the N-th pixel mirror unit 10 [N] associated with the value of the internal counter N, the element control unit 40
To the reflection position. In the first control, the internal counter N
Is 1, the element control unit 40 moves the movable mirror 11 of the first pixel mirror unit 10 [1] to the reflection position. Therefore, the pixel mirror unit 10 in the first column
[1] to [i] are in the state of FIG.

【0068】ステップS11では、内部カウンタNの値
に対応付けられるN番目の画素の輝度情報に応じて、素
子制御部40は、LD31を点灯/消灯する。すなわ
ち、LD31は、N番目の画素に関するLD31の射出
時間TL[N]だけ点灯される。初回の制御では、1番目
の画素に関するLD31の射出時間TL[1]だけ、LD
31が点灯される(図14(c)の状態)。このとき、L
D31から射出されたレーザ光は、画素ミラーユニット
10[1]の可動ミラー11によって方向L1に、射出時
間TL[1]だけ継続して反射される。このレーザ光はさ
らに、波状ミラー200の反射面60[1]によって方向
L2に反射され、拡散板300の位置66[1](図1
7)に到達する。
In step S11, the element control section 40 turns on / off the LD 31 according to the luminance information of the Nth pixel associated with the value of the internal counter N. That is, the LD 31 is turned on for the emission time TL [N] of the LD 31 for the Nth pixel. In the first control, the LD 31 emits only the emission time TL [1] for the first pixel.
31 is turned on (the state of FIG. 14 (c)). At this time, L
The laser light emitted from D31 is continuously reflected in the direction L1 by the movable mirror 11 of the pixel mirror unit 10 [1] for the emission time TL [1]. This laser light is further reflected in the direction L2 by the reflection surface 60 [1] of the wavy mirror 200, and is reflected at the position 66 [1] of the diffusion plate 300 (FIG.
7) is reached.

【0069】位置66[1]に到達したレーザ光は、拡散
層65で拡散光に変換されて、表示面301から拡散板
300の外部に射出される。拡散光に変換されたレーザ
光が表示面301から射出される領域は、ほぼ円形であ
る。位置66[1]に到達して拡散光に変換されたレーザ
光は、素子制御部40に入力されたビデオ信号が表す画
像の中の、1番目の画素を表示する光になる。
The laser light reaching the position 66 [1] is converted into diffused light by the diffusion layer 65 and emitted from the display surface 301 to the outside of the diffusion plate 300. An area where the laser light converted into the diffused light is emitted from the display surface 301 is substantially circular. The laser light that has reached the position 66 [1] and has been converted into diffused light becomes light that displays the first pixel in the image represented by the video signal input to the element control unit 40.

【0070】ステップS12では、タイミング制御回路
44は、ステップS11の制御(LD31の点灯)を開
始してからの経過時間Tと、1画素あたりの最大時間T
maxとを比較する。経過時間Tが最大時間Tmaxに
達すると、次のステップS13に進む。ステップS13
では、タイミング制御回路44は、画素ミラーユニット
10[N]の可動ミラー11を通過位置に戻す。したがっ
て、1列目の画素ミラーユニット10[1]〜10[i]
は、図14(a)の状態に戻る。
In step S12, the timing control circuit 44 determines the elapsed time T from the start of the control in step S11 (lighting of the LD 31) and the maximum time T per pixel.
max. When the elapsed time T reaches the maximum time Tmax, the process proceeds to the next step S13. Step S13
Then, the timing control circuit 44 returns the movable mirror 11 of the pixel mirror unit 10 [N] to the passing position. Therefore, the pixel mirror units 10 [1] to 10 [i] in the first column
Returns to the state of FIG.

【0071】次のステップS14では、タイミング制御
回路44は、内部カウンタNの値を1つ増加させる。こ
れによって、制御対象の画素ミラーユニット10[N]が
切り替わる。ステップS15では、タイミング制御回路
44は、内部カウンタNの値を最大値m(画素ミラーユ
ニット10[1]〜10[m]の数)と比較する。内部カウ
ンタNの値が最大値m以下なら、全ての画素ミラーユニ
ット10[1]〜10[m]の制御が終了してないので、ス
テップS10〜S14を繰り返す。一方、内部カウンタ
Nの値が最大値mを超えると、全ての画素ミラーユニッ
ト10[1]〜10[m]の制御が終了する。
In the next step S14, the timing control circuit 44 increases the value of the internal counter N by one. As a result, the pixel mirror unit 10 [N] to be controlled is switched. In step S15, the timing control circuit 44 compares the value of the internal counter N with the maximum value m (the number of the pixel mirror units 10 [1] to 10 [m]). If the value of the internal counter N is equal to or less than the maximum value m, the control of all the pixel mirror units 10 [1] to 10 [m] has not been completed, and thus steps S10 to S14 are repeated. On the other hand, when the value of the internal counter N exceeds the maximum value m, the control of all the pixel mirror units 10 [1] to 10 [m] ends.

【0072】なお、内部カウンタNの値が2の場合、1
列目の画素ミラーユニット10[1]〜10[i]は、ステ
ップS10で図14(d)の状態、ステップS11で図1
4(e)の状態となる。このとき、LD31からのレーザ
光は、画素ミラーユニット10[2]の可動ミラー11に
よって方向L1に、射出時間TL[2]だけ継続して反射
される。このレーザ光はさらに、波状ミラー200の反
射面60[1]によって方向L2に反射され、拡散板30
0の位置66[2](図17)に到達する。
When the value of the internal counter N is 2, 1
The pixel mirror units 10 [1] to 10 [i] in the columns are in the state of FIG. 14D in step S10, and in FIG.
4 (e). At this time, the laser beam from the LD 31 is continuously reflected by the movable mirror 11 of the pixel mirror unit 10 [2] in the direction L1 for the emission time TL [2]. This laser light is further reflected in the direction L2 by the reflection surface 60 [1] of the wavy mirror 200, and
It reaches the position 66 [2] of FIG.

【0073】位置66[2]に到達したレーザ光は、拡散
層65で拡散光に変換されて、表示面301から拡散板
300の外部に射出される。拡散光に変換されたレーザ
光が表示面301から射出される領域は、ほぼ円形であ
る。位置66[2]に到達して拡散光に変換されたレーザ
光が射出される領域の中心位置は、上記した位置66
[1]に到達して拡散光に変換されたレーザ光が射出され
る領域の中心位置から、Y軸方向に間隔P1だけ離れて
いる。このとき表示面301から射出されるレーザ光
は、素子制御部40に入力されたビデオ信号が表す画像
の中の、2番目の画素を表示する光になる。
The laser beam that has reached the position 66 [2] is converted into diffused light by the diffusion layer 65 and emitted from the display surface 301 to the outside of the diffusion plate 300. An area where the laser light converted into the diffused light is emitted from the display surface 301 is substantially circular. The center position of the region where the laser light that has reached the position 66 [2] and is converted into the diffused light is emitted is the position 66 described above.
It is separated by the interval P1 in the Y-axis direction from the center position of the region where the laser light that has reached [1] and is converted into diffused light is emitted. At this time, the laser light emitted from the display surface 301 becomes light for displaying the second pixel in the image represented by the video signal input to the element control unit 40.

【0074】同様に、内部カウンタNの値が3の場合に
は、LD31からのレーザ光は、画素ミラーユニット1
0[3]の可動ミラー11によって方向L1に、射出時間
Tr[3]だけ継続して反射される。このレーザ光はさら
に、波状ミラー200の反射面60[1]によって方向L
2に反射され、拡散板300の位置66[3](図17)
に到達する。
Similarly, when the value of the internal counter N is 3, the laser beam from the LD 31 is transmitted to the pixel mirror unit 1
The light is continuously reflected by the movable mirror 11 of 0 [3] in the direction L1 for the emission time Tr [3]. This laser light is further reflected by the reflecting surface 60 [1] of the wavy mirror 200 in the direction L.
2 and is reflected at position 66 [3] of the diffusion plate 300 (FIG. 17).
To reach.

【0075】位置66[3]に到達したレーザ光が表示面
301から射出される領域の中心位置は、上記した位置
66[2]に到達したレーザ光が表示面301から射出さ
れる領域の中心位置から、Y軸方向に間隔P1だけ離れ
ている。このように、LD31からのレーザ光は、内部
カウンタNの値が1〜iの間、1列目の画素ミラーユニ
ット10[1]〜10[i]それぞれから方向L1に、射出
時間Tr[N]だけ継続して反射され、波状ミラー200
の反射面60[1]を介して、拡散板300の位置66
[1]〜66[i](図17)に到達する。
The center position of the area where the laser light reaching position 66 [3] is emitted from display surface 301 is the center of the area where the laser light reaching position 66 [2] is emitted from display surface 301. It is separated from the position by an interval P1 in the Y-axis direction. As described above, while the value of the internal counter N is 1 to i, the laser light from the LD 31 is emitted from the pixel mirror units 10 [1] to 10 [i] in the first column in the direction L1 in the direction L1. ] Is continuously reflected, and the wavy mirror 200
Position 66 of the diffusion plate 300 via the reflection surface 60 [1]
[1] to 66 [i] (FIG. 17) are reached.

【0076】位置66[1]〜66[i]に到達するレーザ
光は、拡散層65で拡散光に変換されて、表示面301
から拡散板300の外部に射出される。位置66[1]〜
66[i]に到達して拡散光に変換されて表示面301か
ら射出されるレーザ光は、素子制御部40に入力された
ビデオ信号が表す画像の中の、1番目のラインを表示す
る光になる。
The laser light reaching the positions 66 [1] to 66 [i] is converted into diffused light by the diffusion layer 65 and is displayed on the display surface 301.
From the diffusion plate 300. Position 66 [1] ~
The laser light that reaches 66 [i] and is converted into diffused light and emitted from the display surface 301 is light that displays the first line in the image represented by the video signal input to the element control unit 40. become.

【0077】一方、内部カウンタNの値が(i+1)〜2
iの間には、2列目の画素ミラーユニット10[i+1]
〜10[2i]が制御対象となる。このとき、LD31か
らのレーザ光は、1列目の画素ミラーユニット10[1]
〜10[i]を通過し、固定ミラー20[1],20[2]
(図2)により反射されて−Y方向の光路20aとな
る。ここで、内部カウンタNの値が(i+1)の場合、2
列目の画素ミラーユニット10[i+1]〜10[2i]
は、ステップS10で図15(a)の状態、ステップS1
1で図15(b)の状態となる。したがって、LD31か
らのレーザ光は、画素ミラーユニット10[i+1]の可
動ミラー11で方向L1に、射出時間TL[i+1]だけ
継続して反射される。このレーザ光はさらに、波状ミラ
ー200の反射面60[2]で方向L2に反射されて、拡
散板300の位置66[i+1](図17)に到達する。
On the other hand, when the value of the internal counter N is (i + 1) to 2
Between i, the pixel mirror unit 10 [i + 1] of the second column
To 10 [2i] are to be controlled. At this time, the laser light from the LD 31 is supplied to the pixel mirror unit 10 [1] in the first column.
Pass through the fixed mirrors 20 [1] and 20 [2].
The light is reflected by (FIG. 2) and becomes an optical path 20a in the −Y direction. Here, when the value of the internal counter N is (i + 1), 2
Pixel mirror units 10 [i + 1] to 10 [2i] in the columns
Is the state of FIG. 15 (a) in step S10, step S1
At 1 the state shown in FIG. Therefore, the laser light from the LD 31 is continuously reflected by the movable mirror 11 of the pixel mirror unit 10 [i + 1] in the direction L1 for the emission time TL [i + 1]. This laser light is further reflected on the reflection surface 60 [2] of the wave-shaped mirror 200 in the direction L2, and reaches the position 66 [i + 1] of the diffusion plate 300 (FIG. 17).

【0078】位置66[i+1]に到達したレーザ光は、
拡散層65で拡散光に変換されて、表示面301から拡
散板300の外部に射出される。位置66[i+1]に到
達して拡散光に変換されたレーザ光が表示面301から
射出される領域の中心位置は、位置66[i]に到達して
拡散光に変換されたレーザ光が表示面301から射出さ
れる領域の中心位置から、Z軸方向に間隔P1だけ離れ
ている。
The laser beam reaching the position 66 [i + 1] is
The light is converted into diffused light by the diffusion layer 65 and emitted from the display surface 301 to the outside of the diffusion plate 300. The center position of the area where the laser light that has reached the position 66 [i + 1] and has been converted into diffused light is emitted from the display surface 301 is the laser light that has reached position 66 [i] and has been converted into diffused light. It is separated from the center position of the region emitted from the surface 301 by the interval P1 in the Z-axis direction.

【0079】同様に、内部カウンタNの値が(i+2)の
場合、2列目の画素ミラーユニット10[i+1]〜10
[2i]は、ステップS10で図15(c)の状態、ステッ
プS11で図15(d)の状態となる。このとき、LD3
1からのレーザ光は、画素ミラーユニット10[i+2]
の可動ミラー11によって方向L1に、射出時間TL
[i+2]だけ継続して反射される。このレーザ光はさら
に、波状ミラー200の反射面60[2]で方向L2に反
射されて、拡散板300の位置66[i+2](図17)
に到達する。
Similarly, when the value of the internal counter N is (i + 2), the pixel mirror units 10 [i + 1] to 10 [i + 1] to 10 in the second column
[2i] is the state shown in FIG. 15C at step S10, and is the state shown in FIG. 15D at step S11. At this time, LD3
The laser light from 1 is transmitted to the pixel mirror unit 10 [i + 2].
Of the emission time TL in the direction L1 by the movable mirror 11
It is continuously reflected by [i + 2]. This laser light is further reflected on the reflection surface 60 [2] of the wavy mirror 200 in the direction L2, and the position 66 [i + 2] of the diffusion plate 300 (FIG. 17).
To reach.

【0080】位置66[i+2]に到達したレーザ光が表
示面301から射出される領域の中心位置は、位置66
[i+1]に到達したレーザ光が表示面301から射出さ
れる領域の中心位置から、Y軸方向に間隔P1だけ離
れ、位置66[i−1]に到達したレーザ光が表示面30
1から射出される領域の中心位置から、Z軸方向に間隔
P1だけ離れている。
The center position of the region where the laser beam reaching the position 66 [i + 2] is emitted from the display surface 301 is the position 66
The laser light reaching the position 66 [i-1] is separated from the center position of the area where the laser light reaching the [i + 1] is emitted from the display surface 301 by the interval P1 in the Y-axis direction and reaches the position 66 [i-1].
1 is spaced apart from the center position of the region emitted from No. 1 by an interval P1 in the Z-axis direction.

【0081】このように、内部カウンタNの値が(i+
1)〜2iの間には、2列目の画素ミラーユニット10
[i+1]〜10[2i]それぞれから方向L1に、射出時
間Tr[N]だけ継続して反射され、波状ミラー200の
反射面60[2]を介して、拡散板300の位置66[i
+1]〜66[2i](図17)に到達する。位置66[i
+1]〜66[2i]に到達するレーザ光は、拡散層65
で拡散光に変換されて、表示面301から拡散板300
の外部に射出される。位置66[i+1]〜66[2i]に
到達して拡散光に変換されて表示面301から射出され
るレーザ光は、素子制御部40に入力されたビデオ信号
が表す画像の中の、2番目のラインを表示する光にな
る。
As described above, the value of the internal counter N is (i +
Between 1) and 2i, the pixel mirror unit 10 in the second column
The light is continuously reflected in the direction L1 from each of [i + 1] to 10 [2i] for the emission time Tr [N] and passes through the reflection surface 60 [2] of the wavy mirror 200 to the position 66 [i] of the diffusion plate 300.
+1] to 66 [2i] (FIG. 17). Position 66 [i
+1] to 66 [2i] are transmitted to the diffusion layer 65.
The light is converted into diffused light by the
It is ejected outside. The laser light that reaches the positions 66 [i + 1] to 66 [2i] and is converted into diffused light and emitted from the display surface 301 is the second laser light in the image represented by the video signal input to the element control unit 40. It becomes light to display the line.

【0082】そして、内部カウンタNの値が最大値mの
場合、最終列の画素ミラーユニット10[m−i+1]〜
10[m]は、ステップS10で図16(a)の状態、ステ
ップS11で図16(b)の状態となる。このとき、LD
31からのレーザ光は、固定ミラー20[1]〜20[k]
(図2)により次々に反射されて+Y方向の光路20a
に導かれる。そして、LD31からのレーザ光は、画素
ミラーユニット10[m]の可動ミラー11によって方向
L1に射出時間TL[m]だけ継続して反射され、さらに
波状ミラー200の反射面60[q]で方向L2に反射さ
れて、拡散板300の位置66[m](図17)に到達す
る。
When the value of the internal counter N is the maximum value m, the pixel mirror units 10 [m-i + 1] to 10
10 [m] becomes the state of FIG. 16A in step S10, and the state of FIG. 16B in step S11. At this time, LD
The laser light from 31 is fixed mirrors 20 [1] to 20 [k].
(FIG. 2), the optical path 20a in the + Y direction reflected one after another
It is led to. Then, the laser light from the LD 31 is continuously reflected by the movable mirror 11 of the pixel mirror unit 10 [m] in the direction L1 for the emission time TL [m], and further reflected by the reflecting surface 60 [q] of the wavy mirror 200. The light is reflected by L2 and reaches the position 66 [m] (FIG. 17) of the diffusion plate 300.

【0083】位置66[m]に到達するレーザ光は、拡散
層65で拡散光に変換されて、表示面301から拡散板
300の外部に射出される。位置66[m]に到達して拡
散光に変換されて表示面301から射出されるレーザ光
は、素子制御部40に入力されたビデオ信号が表す画像
の中の、m番目の画素を表示する光になる。このよう
に、図13のステップS10〜S15の処理を繰り返し
て実行することで、画素ミラーユニット10[1]〜10
[m]それぞれから順番に、LD31の反射光が拡散板3
00の位置66[1]〜66[m]に導かれ、1画面の画像
表示動作が終了する。
The laser light reaching position 66 [m] is converted into diffused light by the diffusion layer 65 and emitted from the display surface 301 to the outside of the diffusion plate 300. The laser light that reaches the position 66 [m] and is converted into diffused light and emitted from the display surface 301 displays the m-th pixel in the image represented by the video signal input to the element control unit 40. Become light. In this way, by repeatedly performing the processing of steps S10 to S15 in FIG. 13, the pixel mirror units 10 [1] to 10 [1] to 10
[m] The reflected light of the LD 31
It is guided to positions 66 [1] to 66 [m] of 00, and the image display operation of one screen is completed.

【0084】これらの位置66[1]〜66[m]は、全て
等間隔であるため、拡散板300上には、ビデオ信号に
基づく縦横比の画像が表示される。上記した1画面の画
像表示動作(図13のステップS10〜S15の処理)
に掛かる時間は、およそ1/30秒である。また、次画
面の画像を表示する場合には、上記したステップS10
〜S15の処理を再び実行すればよい。
Since these positions 66 [1] to 66 [m] are all equally spaced, an image having an aspect ratio based on the video signal is displayed on the diffusion plate 300. The above-described one-screen image display operation (the processing of steps S10 to S15 in FIG. 13)
Is about 1/30 second. When displaying the image of the next screen, the above-described step S10
What is necessary is just to perform the process of -S15 again.

【0085】なお、上述した実施形態では、可動ミラー
11を反射位置に一定時間だけ止め、LD31から射出
されるレーザ光の射出時間TLを、画像データに含まれ
る輝度情報に応じて制御することで画像を表示する例を
説明したが、可動ミラー11を反射位置に止める時間を
輝度情報に応じて制御することで画像を表示することも
できる。この場合、LD31の点灯は、1画面の画像表
示が終了するまでの間、継続される。
In the above-described embodiment, the movable mirror 11 is stopped at the reflection position for a certain time, and the emission time TL of the laser light emitted from the LD 31 is controlled in accordance with the luminance information included in the image data. Although the example in which the image is displayed has been described, the image can be displayed by controlling the time during which the movable mirror 11 is stopped at the reflection position according to the luminance information. In this case, the lighting of the LD 31 is continued until the image display of one screen is completed.

【0086】また、上述した実施形態では、光源30に
1つのLD31を配置してモノクロ画像を表示する例を
挙げて説明したが、カラー画像を表示することもでき
る。カラー画像を表示する場合には、光源30に、赤色
LD,緑色LD,青色LDと、それぞれから射出される
レーザ光を1つの光路30aに合成するハーフミラーと
を設ければよい。
In the above-described embodiment, an example in which one LD 31 is disposed on the light source 30 and a monochrome image is displayed has been described. However, a color image can be displayed. When a color image is displayed, the light source 30 may be provided with a red LD, a green LD, and a blue LD, and a half mirror that combines laser light emitted from each of them into one optical path 30a.

【0087】そして、上記したモノクロ画像表示と同様
の動作を、赤色LDによって行い(赤色画像の表示)、
その後、緑色LDによって行い(緑色画像の表示)、さ
らに青色LDによって行う(青色画像の表示)ことで、
1画面のカラー画像を表示できる(面順次動作)。この
1画面のカラー画像表示に掛かる時間は、およそ1/3
0秒であるため、赤色画像→緑色画像→青色画像を順に
表示することで、カラー画像として視認できる。また、
カラー画像の表示は、上記したモノクロ画像表示と同様
の動作を行う間、1つの可動ミラーが傾けられていると
きに、赤色LD,緑色LD,青色LDを順にまたは同時
に点灯する方法(点順次)を用いて行うこともできる。
The same operation as the above-described monochrome image display is performed by the red LD (display of a red image).
Then, by performing with a green LD (display of a green image) and further with a blue LD (display of a blue image),
A single-screen color image can be displayed (screen-sequential operation). The time required to display a color image on one screen is about 1/3.
Since the time is 0 second, a red image, a green image, and a blue image are displayed in this order, so that the image can be visually recognized as a color image. Also,
A color image is displayed by sequentially or simultaneously turning on the red LD, the green LD, and the blue LD when one movable mirror is tilted while performing the same operation as the monochrome image display described above (dot sequential). Can also be performed.

【0088】なお、上述した実施形態では、方向L1に
対する基準面61の角度θ2を30°、基準面61に対
する反射面60[1]〜60[q]の角度θ1を15°とし
た例を説明したが、これらの角度θ2と角度θ1とは、
如何なる値に設定することもできる。ただし、角度θ2
については、画素ミラーユニット10[1]〜10[m]の
配列間隔(Y軸方向の間隔P1、X軸方向の間隔P2)
と、上記した式(1)の関係を満足することが好まし
い。この場合、発光素子100の画素ミラーユニット1
0[1]〜10[m]それぞれから射出されるレーザ光が、
拡散板300に到達する位置66[1]〜66[m]は、全
て等間隔となる。したがって、拡散板300上に、ビデ
オ信号に基づく縦横比で画像を表示できる。
In the above-described embodiment, an example is described in which the angle θ2 of the reference surface 61 with respect to the direction L1 is 30 °, and the angle θ1 of the reflection surfaces 60 [1] to 60 [q] with respect to the reference surface 61 is 15 °. However, these angles θ2 and θ1 are
It can be set to any value. However, the angle θ2
Is the arrangement interval of the pixel mirror units 10 [1] to 10 [m] (interval P1 in the Y-axis direction, interval P2 in the X-axis direction).
And it is preferable to satisfy the relationship of the above equation (1). In this case, the pixel mirror unit 1 of the light emitting element 100
Laser light emitted from each of 0 [1] to 10 [m]
The positions 66 [1] to 66 [m] reaching the diffusion plate 300 are all equally spaced. Therefore, an image can be displayed on the diffusion plate 300 at an aspect ratio based on the video signal.

【0089】加えて、角度θ2は、0°<θ2≦45°
の範囲内の値に設定されることが好ましい。この場合、
発光素子100の画素ミラーユニット10[1]〜10
[m]を、X軸方向の間隔P2がY軸方向の間隔P1より
も小さくなるように配置する場合でも、拡散板300上
に、ビデオ信号に基づく縦横比で画像を表示できる。し
たがって、表示装置の小型化が図られる。
In addition, the angle θ2 is 0 ° <θ2 ≦ 45 °
Is preferably set to a value within the range. in this case,
Pixel mirror units 10 [1] to 10 of light emitting element 100
Even when [m] is arranged such that the interval P2 in the X-axis direction is smaller than the interval P1 in the Y-axis direction, an image can be displayed on the diffusion plate 300 at an aspect ratio based on a video signal. Therefore, the size of the display device can be reduced.

【0090】さらに、角度θ2と角度θ1とは、角度θ
2と角度θ1との和、すなわち、方向L1に対する反射
面60[1]〜60[q]の角度θ3が45°となるように
設定されることが好ましい。この場合、波状ミラー20
0からの反射光が拡散板300に対して垂直に入射する
ので、波状ミラー200からの反射光は、拡散層65で
表示面301の法線方向を中心に散乱する。したがっ
て、表示面301の法線方向に最も明るい画像を表示で
きる。
Further, the angle θ2 and the angle θ1 are the angle θ
It is preferable that the sum of 2 and the angle θ1, that is, the angle θ3 of the reflecting surfaces 60 [1] to 60 [q] with respect to the direction L1 be set to 45 °. In this case, the wavy mirror 20
Since the reflected light from 0 is perpendicularly incident on the diffuser plate 300, the reflected light from the wavy mirror 200 is scattered around the normal direction of the display surface 301 by the diffusion layer 65. Therefore, the brightest image can be displayed in the normal direction of the display surface 301.

【0091】また、上述した実施形態では、画素ミラー
ユニット10[1]〜10[m]のY軸方向の間隔P1を2
6μm、X軸方向の間隔P2を15μmとしたが、これ
らの間隔P1,P2は、個々の画素ミラーユニット10
[1]〜10[m]の可動ミラー11の寸法よりも大きけれ
ば如何なる値でも良い。
In the above-described embodiment, the distance P1 between the pixel mirror units 10 [1] to 10 [m] in the Y-axis direction is set to two.
6 μm and the interval P2 in the X-axis direction was set to 15 μm, but these intervals P1 and P2 were
Any value may be used as long as it is larger than the size of the movable mirror 11 of [1] to 10 [m].

【0092】さらに、上述した実施形態では、発光素子
100の可動ミラー11の傾斜角を45°に定めたが、
各可動ミラー11の傾斜角がほぼ等しければ、45°以
外の傾斜角に定めてもよい。また、上述した実施形態で
は、発光素子100の着地電極21,23を互いに接続
した例をあげて説明したが、それぞれの電極を分離し
て、これらの電極に印加する電圧を互いに独立に制御し
てもよい。
Further, in the above-described embodiment, the tilt angle of the movable mirror 11 of the light emitting element 100 is set to 45 °.
If the inclination angles of the movable mirrors 11 are almost equal, the inclination angles may be set to other than 45 degrees. In the above-described embodiment, the example in which the landing electrodes 21 and 23 of the light emitting element 100 are connected to each other has been described. However, the respective electrodes are separated, and the voltages applied to these electrodes are controlled independently of each other. You may.

【0093】さらに、上述した実施形態では、発光素子
100の素子制御部40をシリコン基板1に設けた例を
説明したが、シリコン基板1に設けなくても良い。この
場合、発光素子100を駆動するに当たって、素子制御
部40と同等の外部回路が必要となる。また、上述した
実施形態では、発光素子100の光源30をシリコン基
板1に設けた例を説明したが、シリコン基板1に設けな
くても良い。この場合、発光素子100により画像を表
示するには、k個の固定ミラー20[1]〜20[k]によ
って形成される光路20aにレーザ光を射出する光源が
外部に必要となる。
Further, in the above-described embodiment, the example in which the element control section 40 of the light emitting element 100 is provided on the silicon substrate 1 has been described. In this case, an external circuit equivalent to the element control unit 40 is required to drive the light emitting element 100. Further, in the above-described embodiment, the example in which the light source 30 of the light emitting element 100 is provided on the silicon substrate 1 is described, but the light source 30 may not be provided on the silicon substrate 1. In this case, in order to display an image with the light emitting element 100, a light source for emitting laser light to an optical path 20a formed by the k fixed mirrors 20 [1] to 20 [k] is required outside.

【0094】さらに、上述した実施形態では、反射面が
形成面1aに対して固定された固定ミラー20[1]〜2
0[k]によって光路20aを形成した発光素子を例に説
明したが、反射面が形成面1aに対して垂直な状態を保
ちつつ移動可能な可動ミラーによって同様の光路を形成
する発光素子を用いることもできる。また、上述した実
施形態では、拡散層65が一方の面のみに形成された拡
散板300を用いたが、両方の面に拡散層が形成された
拡散板を用いることもできる。
Further, in the above-described embodiment, the fixed mirrors 20 [1] to 20 [2] whose reflecting surfaces are fixed to the forming surface 1a are provided.
The light-emitting element in which the optical path 20a is formed by 0 [k] has been described as an example. However, a light-emitting element in which a similar optical path is formed by a movable mirror that can move while maintaining a reflection surface perpendicular to the formation surface 1a is used. You can also. Further, in the above-described embodiment, the diffusion plate 300 in which the diffusion layer 65 is formed only on one surface is used, but a diffusion plate in which the diffusion layer is formed on both surfaces may be used.

【0095】[0095]

【発明の効果】上記したように、請求項1〜請求項5に
記載の発明によれば、発光素子から射出される光が、反
射素子を介すだけで、ほとんど減衰することなく拡散素
子に到達して拡散光に変換されるので、明るい表示画面
および視野角の大きい表示が得られる。
As described above, according to the first to fifth aspects of the present invention, the light emitted from the light emitting element is transmitted to the diffusion element without being attenuated only through the reflection element. Since the light arrives and is converted into diffused light, a bright display screen and a display with a large viewing angle are obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本実施形態の表示装置の構成を示す概略図であ
る。
FIG. 1 is a schematic diagram illustrating a configuration of a display device according to an embodiment.

【図2】発光素子100の構成を示す概略図である。FIG. 2 is a schematic diagram illustrating a configuration of a light emitting element 100.

【図3】画素ミラーユニット10[1]の図2中A−A線
の断面図である。
FIG. 3 is a cross-sectional view of the pixel mirror unit 10 [1] taken along line AA in FIG.

【図4】画素ミラーユニット10[1]の図3中B−B線
の断面図である。
4 is a sectional view of the pixel mirror unit 10 [1] taken along line BB in FIG. 3;

【図5】画素ミラーユニット10[1]の電気的な構成を
示すブロック図である。
FIG. 5 is a block diagram showing an electrical configuration of the pixel mirror unit 10 [1].

【図6】画素ミラーユニット10[i+1]の電気的な構
成を示すブロック図である。
FIG. 6 is a block diagram illustrating an electrical configuration of a pixel mirror unit 10 [i + 1].

【図7】画素ミラーユニット10[i+1]の断面図であ
る。
FIG. 7 is a sectional view of the pixel mirror unit 10 [i + 1].

【図8】発光素子100の素子制御部40の電気的な構
成を示すブロック図である。
FIG. 8 is a block diagram illustrating an electrical configuration of an element control unit 40 of the light emitting element 100.

【図9】波状ミラー200の構成を示す側面図(a)、正
面図(b)である。
FIGS. 9A and 9B are a side view and a front view, respectively, showing the configuration of a wavy mirror 200. FIGS.

【図10】波状ミラー200の配置関係を説明する図で
ある。
FIG. 10 is a diagram illustrating an arrangement relationship of a wavy mirror 200;

【図11】発光素子100から射出されるレーザ光の光
路を説明する図である。
11 is a diagram illustrating an optical path of a laser beam emitted from the light emitting element 100. FIG.

【図12】拡散板300におけるレーザ光の拡散を説明
する図である。
FIG. 12 is a diagram illustrating diffusion of laser light in a diffusion plate 300.

【図13】表示装置の画像表示動作を説明するフローチ
ャートである。
FIG. 13 is a flowchart illustrating an image display operation of the display device.

【図14】発光素子100の様々な状態を示す側面図で
ある。
14 is a side view showing various states of the light emitting device 100. FIG.

【図15】発光素子100の様々な状態を示す側面図で
ある。
15 is a side view showing various states of the light emitting device 100. FIG.

【図16】発光素子100の様々な状態を示す側面図で
ある。
16 is a side view showing various states of the light emitting device 100. FIG.

【図17】拡散板300に到達するレーザ光の位置を説
明する図である。
FIG. 17 is a diagram illustrating a position of a laser beam reaching a diffusion plate 300.

【図18】従来の表示装置の構成を示す概略図である。FIG. 18 is a schematic diagram illustrating a configuration of a conventional display device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 シリコン基板 1a 形成面 2 光吸収板 10[1]〜10[m] 画素ミラーユニット 11 可動ミラー 12,13 ヒンジ 14,15 ポール 16 空間 20[1]〜20[k] 固定ミラー 20a 光路 21,23 着地電極 22,24 駆動電極 30 光源 31 LD 32 コリメータレンズ 40 素子制御部 41 同期回路 42 反転回路 43 変換回路 44 タイミング制御回路 47 LD駆動回路 50[1]〜50[m] 画素ミラーユニット駆動回路 60[1]〜60[q] 反射面 61 基準面 65 拡散層 66[1]〜66[m] 位置 100 発光素子 200 波状ミラー 300 拡散板 301 表示面 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Silicon substrate 1a Forming surface 2 Light absorption plate 10 [1] -10 [m] Pixel mirror unit 11 Movable mirror 12,13 Hinge 14,15 Pole 16 Space 20 [1] -20 [k] Fixed mirror 20a Optical path 21, Reference Signs List 23 landing electrode 22, 24 drive electrode 30 light source 31 LD 32 collimator lens 40 element control unit 41 synchronization circuit 42 inversion circuit 43 conversion circuit 44 timing control circuit 47 LD drive circuit 50 [1] to 50 [m] pixel mirror unit drive circuit 60 [1] to 60 [q] Reflecting surface 61 Reference surface 65 Diffusion layer 66 [1] to 66 [m] Position 100 Light emitting element 200 Wavy mirror 300 Diffusing plate 301 Display surface

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 複数の発光部を有し、前記複数の発光部
それぞれから発光し、画像データの画素情報に応じて個
別に制御される光を、第1の方向に射出する発光素子
と、 基準面および該基準面に対して第1の角度θ1だけ傾斜
する複数の反射面を有し、かつ、前記基準面を前記第1
の方向に対して第2の角度θ2だけ傾けて配置し、前記
複数の反射面により、前記発光素子から射出される複数
の光を、前記第1の方向とは異なる第2の方向に反射す
る反射素子と、 前記反射素子から反射される光を拡散光に変換する拡散
素子とを備えていることを特徴とする表示装置。
1. A light emitting element having a plurality of light emitting units, emitting light emitted from each of the plurality of light emitting units, and individually controlled according to pixel information of image data, in a first direction; A reference surface and a plurality of reflection surfaces inclined by a first angle θ1 with respect to the reference surface;
And a plurality of lights emitted from the light emitting element are reflected by the plurality of reflecting surfaces in a second direction different from the first direction. A display device comprising: a reflection element; and a diffusion element that converts light reflected from the reflection element into diffused light.
【請求項2】 請求項1に記載の表示装置において、 前記複数の発光部は、2次元マトリクス状に配置され、 前記第1の方向は、前記複数の発光部が配置される配置
面の法線方向に平行であり、 前記第1の方向および前記第2の方向に対して直交する
第3の方向に隣り合う前記複数の発光部の間隔をP1、
前記第1の方向および前記第3の方向に直交する第4の
方向に隣り合う前記複数の発光部の間隔をP2とする場
合に、 前記第2の角度θ2は、 P1×tan(θ2)≒P2 を満足することを特徴とする表示装置。
2. The display device according to claim 1, wherein the plurality of light-emitting units are arranged in a two-dimensional matrix, and the first direction is a direction of an arrangement surface on which the plurality of light-emitting units are arranged. P1 is a distance between the plurality of light emitting units that are parallel to the line direction and are adjacent to each other in a third direction orthogonal to the first direction and the second direction.
When the interval between the plurality of light emitting units adjacent in the fourth direction orthogonal to the first direction and the third direction is P2, the second angle θ2 is P1 × tan (θ2) ≒ A display device satisfying P2.
【請求項3】 請求項2に記載の表示装置において、 前記第1の角度θ1は、 θ1+θ2≒45° を満足することを特徴とする表示装置。3. The display device according to claim 2, wherein the first angle θ1 satisfies θ1 + θ2 ≒ 45 °. 【請求項4】 請求項2に記載の表示装置において、 前記反射素子の前記複数の反射面は各々、前記第3の方
向に延びる帯状反射面であることを特徴とする表示装
置。
4. The display device according to claim 2, wherein each of the plurality of reflection surfaces of the reflection element is a band-shaped reflection surface extending in the third direction.
【請求項5】 請求項1に記載の表示装置において、 前記複数の光は、半導体レーザダイオードから射出され
る光であることを特徴とする表示装置。
5. The display device according to claim 1, wherein the plurality of lights are lights emitted from a semiconductor laser diode.
JP10123247A 1998-05-06 1998-05-06 Display device Pending JPH11316349A (en)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008209779A (en) * 2007-02-27 2008-09-11 Casio Comput Co Ltd Liquid crystal display device
CN112967617A (en) * 2021-02-09 2021-06-15 维沃移动通信有限公司 Display module and electronic device

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