JPH11307345A - Inductance element and radio terminal equipment - Google Patents

Inductance element and radio terminal equipment

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JPH11307345A
JPH11307345A JP10109086A JP10908698A JPH11307345A JP H11307345 A JPH11307345 A JP H11307345A JP 10109086 A JP10109086 A JP 10109086A JP 10908698 A JP10908698 A JP 10908698A JP H11307345 A JPH11307345 A JP H11307345A
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base
inductance element
conductive film
protective material
terminal
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Hiromi Sakida
広実 崎田
Kuniaki Kiyosue
邦昭 清末
Kazuhiro Takeda
和弘 竹田
Kenzo Isosaki
賢蔵 磯▲さき▼
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Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To improve productivity and to improve a Q value, by forming a conduction film on a substrate, forming grooves on it, forming an inductance component, and installing sheet-like or board-like terminal parts on both ends of the substrate. SOLUTION: A conduction film 12 is formed on a substrate 11 by a plating method and a sputtering method. Grooves 13 are formed on the substrate 11 and the conduction film 12 with an inductance component by using laser beams and the like or executing selective etching. Then, a protection material 14 is applied on the substrate 11, the conduction film 12 and the grooves 13. The board-like or sheet-like terminal parts 15 and 16 formed of conduction materials arc jointed on the end faces of the substrate 11. The terminal parts 15 and 16 are jointed with the substrate 11 by using conduction adhesive or by ultrasonic waves and welding. Thus, a small inductance element whose productivity is high and which has a high Q value is formed.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、移動体通信などの
電子機器に用いられ、特に高周波回路等に好適に用いら
れるインダクタンス素子及び無線端末装置に関するもの
である。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an inductance element and a radio terminal device which are used for electronic equipment such as mobile communication, and particularly suitably used for high frequency circuits and the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】図15は従来のインダクタンス素子を示
す側面図である。図15において、1は四角柱状また
は、円柱状の基台、2は基台1の上に形成された導電
膜、3は導電膜2に設けられた溝、4は導電膜3の上に
積層された保護材である。
2. Description of the Related Art FIG. 15 is a side view showing a conventional inductance element. In FIG. 15, reference numeral 1 denotes a square-pillar or cylindrical base, 2 denotes a conductive film formed on the base 1, 3 denotes a groove provided in the conductive film 2, and 4 denotes a stacked layer on the conductive film 3 Protected material.

【0003】この様な電子部品は、溝3の間隔などを調
整することによって、所定の特性に調整する。
[0003] Such electronic components are adjusted to predetermined characteristics by adjusting the interval between the grooves 3 and the like.

【0004】先行例としては、特開平7−307201
号公報,特開平7−297033号公報,特開平5−1
29133号公報,特開平1−238003号公報,実
開昭57−117636号公報,特開平5−29925
0号公報,特開平7−297033号公報等がある。
A prior example is disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-307201.
JP, JP-A-7-297033, JP-A-5-1
JP-A-29133, JP-A-1-238003, JP-A-57-117636, JP-A-5-29925
No. 0, Japanese Unexamined Patent Publication No. 7-297033, and the like.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら以上のよ
うな構成では、インダクタンス素子は、ある程度のQ値
を得ることができるものの、近年の様に携帯無線機器等
の電子機器の小型化及び高性能化または、電力の使用量
の削減等が求められてくると、前述のようなインダクタ
ンス素子では、十分な特性を得ることはできなかった。
However, in the above configuration, although the inductance element can obtain a certain Q value, the size and performance of electronic devices such as portable radio devices have been improved recently. Alternatively, when it is required to reduce the amount of electric power used, sufficient characteristics cannot be obtained with the above-described inductance element.

【0006】本発明は、上記従来の課題を解決するもの
で、生産性が良く、小型で、損失が小さな(高Q値)イ
ンダクタンス素子及び無線端末装置を提供することを目
的とする。
An object of the present invention is to solve the above-mentioned conventional problems and to provide a small-sized (high Q value) inductance element and a wireless terminal device with good productivity, small loss and low loss.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明は、基台の上に導
電膜を形成し、その導電膜に溝を形成してインダクタン
ス成分を形成し、その後に、基台の両端にシート状ある
いは板状の端子部を設けた事を特徴とする。
According to the present invention, a conductive film is formed on a base, and a groove is formed in the conductive film to form an inductance component. A plate-shaped terminal portion is provided.

【0008】[0008]

【発明の実施の形態】請求項1記載の発明は、基台と、
前記基台上に設けられた導電膜と、前記導電膜に設けら
れた溝と、前記基台を挟むように前記基台の端面に取り
付けられた一対の端子部と、前記基台上に設けられた保
護材とを備え、前記端子部として、導電性の板状体かも
しくはシート状体を用いるとともに、前記端子部にて前
記基台と前記保護材を挟み込んだ事によって、生産性を
向上させることができ、しかも高Q値を得ることができ
る。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The invention according to claim 1 comprises a base,
A conductive film provided on the base, a groove provided in the conductive film, a pair of terminal portions attached to an end surface of the base so as to sandwich the base, and provided on the base. Provided with a protective material provided, and as the terminal portion, a conductive plate-shaped or sheet-shaped member is used, and the base and the protective material are sandwiched between the terminal portions, thereby improving productivity. And a high Q value can be obtained.

【0009】請求項2記載の発明は、請求項1におい
て、基台の端子部との接合部位は、基台の端面のみであ
ることによって、更にQ値を向上させることができる。
According to a second aspect of the present invention, in the first aspect, the Q value can be further improved because the joint portion with the terminal portion of the base is only at the end face of the base.

【0010】請求項3記載の発明は、請求項1,2にお
いて、溝を覆う保護材を電着膜とした事によって、薄く
しかも確実な素子の保護を行うことができ、しかも一度
に沢山の素子に保護材を形成できるので、生産性が向上
する。
According to a third aspect of the present invention, in the first and second aspects, the protective material for covering the groove is formed of an electrodeposition film, so that a thin and reliable element can be protected. Since a protective material can be formed on the element, productivity is improved.

【0011】請求項4記載の発明は、請求項1〜3にお
いて、端子部の面積よりも基台の断面積を小さくすると
ともに、前記端子部の外端部と基台の表面との間に隙間
を設けた事によって、端子部を精度良く形成すること
で、基台に多少の寸法誤差が生じても、素子の幅及び高
さを均一化することができる。
According to a fourth aspect of the present invention, in the first to third aspects, the cross-sectional area of the base is made smaller than the area of the terminal, and a space between the outer end of the terminal and the surface of the base is provided. By providing the gap, the terminal portion can be formed with high precision, so that the width and height of the element can be made uniform even if a slight dimensional error occurs in the base.

【0012】請求項5記載の発明は、請求項4におい
て、隙間に保護材を設けたことによって、保護材の突出
を防止でき、実装性を向上させることができる。
According to a fifth aspect of the present invention, since the protective member is provided in the gap in the fourth aspect, the protection member can be prevented from protruding, and the mountability can be improved.

【0013】請求項6記載の発明は、請求項1〜5にお
いて端子部の厚さの最低限度を0.08mm以上とする
ことによって、端子部にある程度の強度を持たせること
ができ、端子部の取り扱いを容易にすることができる。
According to a sixth aspect of the present invention, the terminal can have a certain degree of strength by setting the minimum thickness of the terminal to 0.08 mm or more in the first to fifth aspects. Can be easily handled.

【0014】請求項7記載の発明は、請求項1〜6にお
いて、端子部に他の部分よりも突出した外部接触部を設
け、前記外部接触部以外を保護材で覆ったことによっ
て、素子の耐候性を向上させることができ、しかも素子
に方向性を持たせることができる。
According to a seventh aspect of the present invention, in the first to sixth aspects, the terminal is provided with an external contact portion protruding from other portions, and a portion other than the external contact portion is covered with a protective material. The weather resistance can be improved, and the element can have directionality.

【0015】請求項8記載の発明は、請求項1〜7にお
いて、基台を角柱状とし、端子部を方形板状とした事に
よって、基板上に実装する際に素子の転げ等が発生せ
ず、実装性を向上させることができ、しかも、基台の形
状がシンプルになるので、コスト面製造面で非常に有利
になる。
The invention according to claim 8 is the invention according to claims 1 to 7, wherein the base has a prismatic shape and the terminal portion has a rectangular plate shape, so that when the device is mounted on a substrate, rolling of the element or the like occurs. In addition, the mountability can be improved, and the shape of the base is simplified, which is very advantageous in terms of cost and manufacturing.

【0016】請求項9に係る発明は、請求項1〜8にお
いて、導電膜の表面粗さを1μm以下としたことによっ
て、更にQ値の低下を防止できるので、更に高いQ値を
有する素子を得ることができる。
According to a ninth aspect of the present invention, in the first to eighth aspects, by lowering the surface roughness of the conductive film to 1 μm or less, a further decrease in the Q value can be prevented. Obtainable.

【0017】請求項10に係る発明は、請求項1〜8に
おいて、基台の表面粗さを0.5μm以下としたことに
よって、更にQ値の低下を防止できるので、更に高いQ
値を有する素子を得ることができる。
According to a tenth aspect of the present invention, in the first to eighth aspects, by lowering the surface roughness of the base to 0.5 μm or less, it is possible to further prevent a decrease in the Q value.
An element having a value can be obtained.

【0018】請求項11に係る発明は、請求項1〜8に
おいて、長さL1,幅L2,高さL3としたときに、 L1=0.5〜2.1mm L2=0.2〜1.5mm L3=0.2〜1.5mm のサイズを有することによって、小型で、しかも素子折
れ等が発生に難いので、実装性にも優れ、しかも非常に
小さな回路基板を構成できる。
According to an eleventh aspect of the present invention, when the length L1, the width L2, and the height L3 in the first to eighth aspects, L1 = 0.5 to 2.1 mm L2 = 0.2 to 1.0. By having a size of 5 mm L3 = 0.2 to 1.5 mm, a small circuit board can be formed which is excellent in mountability because it is small and hard to cause element breakage and the like.

【0019】請求項12記載の発明は、断面略正方形状
の角柱状体をなす基台と、前記基台上に設けられた導電
膜と、前記導電膜に設けられ、前記基台の側面に設けら
れたスパイラル状の溝と、前記基台の両端面にそれぞれ
設けられた方形状の一対の端子部と、前記溝を覆うよう
に前記基台の側面に設けられた保護材とを備え、前記端
子部は板状体もしくはシート状体で構成され、前記基台
の端面上のみに設けたことによって、生産性を向上させ
ることができ、高Q値を得ることができ、しかも実装性
や耐候性を向上させることができる。
According to a twelfth aspect of the present invention, there is provided a base having a prismatic body having a substantially square cross section, a conductive film provided on the base, and a conductive film provided on the conductive film and having a side surface of the base. A spiral groove provided, a pair of square terminal portions provided on both end surfaces of the base, and a protection material provided on a side surface of the base to cover the groove, The terminal portion is formed of a plate or a sheet, and is provided only on the end face of the base, so that productivity can be improved, a high Q value can be obtained, and furthermore, mounting property and The weather resistance can be improved.

【0020】請求項13記載の発明は、柱状の基台を作
製し、前記基台上に導電膜を形成し、前記導電膜の一部
を取り除くように前記基台に溝を形成し、前記基台の両
端に板状体かもしくはシート状体の端子部を貼り付け、
その後に少なくとも前記溝を覆うように保護材を設けた
事によって、生産性が向上し、しかも高Q値を得ること
ができる。
According to a thirteenth aspect of the present invention, a columnar base is formed, a conductive film is formed on the base, and a groove is formed in the base so as to remove a part of the conductive film. Attach plate or sheet terminals to both ends of the base,
After that, by providing a protective material so as to cover at least the groove, productivity is improved, and a high Q value can be obtained.

【0021】請求項14記載の発明は、請求項13にお
いて、保護材を電着法による電着膜とした事によって、
薄くしかも確実な素子の保護を行うことができ、しかも
一度に沢山の素子に保護材を形成できるので、生産性が
向上する。
According to a fourteenth aspect of the present invention, in the thirteenth aspect, the protective material is an electrodeposition film formed by an electrodeposition method.
Thin and reliable protection of the elements can be performed, and moreover, protective materials can be formed on many elements at once, so that productivity is improved.

【0022】請求項15記載の発明は、表示手段と、デ
ータ信号もしくは音声信号の少なくとも一方を送信信号
に変換するか受信信号をデータ信号もしくは音声信号の
少なくとも一方に変換する変換手段と、前記送信信号及
び前記受信信号を送受信するアンテナと、各部を制御す
る制御手段を備えた無線端末装置であって、発信回路,
フィルタ回路,アンテナ部及び各段とのマッチング回路
周辺部等の少なくとも一つに請求項1〜12いずれか1
記載のインダクタンス素子を用いたことによって、装置
内部の基板等を小型化でき、しかもQ値が高いので、損
失が非常に小さくなるので、電力の削減を行うことがで
き、長時間の動作を行うことができる。
According to a fifteenth aspect of the present invention, there is provided a display means, a conversion means for converting at least one of a data signal and a voice signal into a transmission signal or a reception signal into at least one of a data signal and a voice signal, and An antenna for transmitting and receiving a signal and the reception signal, and a wireless terminal device including control means for controlling each unit, comprising: a transmission circuit;
13. At least one of a filter circuit, an antenna unit, a peripheral circuit of a matching circuit for each stage, and the like.
By using the described inductance element, the substrate and the like inside the device can be miniaturized, and since the Q value is high, the loss becomes very small, so that the power can be reduced and the operation can be performed for a long time. be able to.

【0023】以下、本発明におけるインダクタンス素子
及び無線端末装置の実施の形態について説明する。
Hereinafter, embodiments of the inductance element and the wireless terminal device according to the present invention will be described.

【0024】図1,図2はそれぞれ本発明の一実施の形
態におけるインダクタンス素子を示す斜視図及び側断面
図である。
1 and 2 are a perspective view and a side sectional view, respectively, showing an inductance element according to an embodiment of the present invention.

【0025】図1において、11は絶縁材料などをプレ
ス加工,押し出し法等を施して構成されている基台、1
2は基台11の上に設けられている導電膜で、導電膜1
2は、メッキ法やスパッタリング法等の蒸着法等によっ
て基台11上に形成される。
In FIG. 1, reference numeral 11 denotes a base which is formed by pressing an insulating material or the like by an extrusion method or the like.
Reference numeral 2 denotes a conductive film provided on the base 11.
2 is formed on the base 11 by an evaporation method such as a plating method or a sputtering method.

【0026】13は基台11及び導電膜12に設けられ
た溝で、溝13は、レーザ光線等を導電膜12に照射す
ることによって形成したり、導電膜12に砥石等を当て
て機械的に形成されたり、レジストなどを用いた選択的
エッチングによって形成されている。
Reference numeral 13 denotes a groove provided on the base 11 and the conductive film 12. The groove 13 is formed by irradiating the conductive film 12 with a laser beam or the like, or is mechanically formed by applying a grindstone or the like to the conductive film 12. Or by selective etching using a resist or the like.

【0027】14は基台11及び導電膜12の溝13を
設けた部分に塗布された保護材、15,16はそれぞれ
基台11の端面上(好ましくは端面上のみ)にそれぞれ
取り付けられた端子部で、端子部15と端子部16の間
には、基台11が挟み込まれている。すなわち、基台1
1における端子部15,16との接合部位は、基台11
の端面のみとなり、基台11の側面と端子部15,16
は非接触とすることが基本である。
Reference numeral 14 denotes a protective material applied to a portion of the base 11 and the conductive film 12 where the groove 13 is provided. Reference numerals 15 and 16 denote terminals respectively attached on the end face of the base 11 (preferably only on the end face). The base 11 is sandwiched between the terminal 15 and the terminal 16. That is, the base 1
1 is connected to the bases 11 and 16
Of the base 11 and the terminal portions 15 and 16
Is basically non-contact.

【0028】本発明の特徴は、端子部15,16を導電
材料で構成された板状体あるいはシート状体ので構成す
る点である。この様な構成によって、端子部15,16
をメッキ膜などで構成するよりもはるかに工程が簡単に
なり、しかも高いQ値を得るインダクタンス素子を得る
ことが出来る。端子部15,16の具体的な構成材料と
しては、導電性のあるセラミック材料,樹脂材料,金属
材料等を用いることが出来るが、特に金属材料は加工性
及びコスト面などで有利になる。金属材料としては、F
e,Cu,Ag,Au等の単体や、それらの合金あるい
は、ステンレスなどの複合合金等が用いられる。それら
金属材料のなかでも、コスト面等や加工性を考慮すると
CuあるはCuと他の成分の合金などを用いることが好
ましい。
A feature of the present invention is that the terminal portions 15 and 16 are made of a plate or a sheet made of a conductive material. With such a configuration, the terminal portions 15, 16
The process is much simpler than that of using a plating film or the like, and an inductance element that obtains a high Q value can be obtained. As a specific constituent material of the terminal portions 15 and 16, a conductive ceramic material, a resin material, a metal material, or the like can be used. In particular, a metal material is advantageous in workability and cost. As the metal material, F
A simple substance such as e, Cu, Ag, or Au, an alloy thereof, or a composite alloy such as stainless steel is used. Among these metallic materials, it is preferable to use Cu or an alloy of Cu and other components in consideration of cost and the like and workability.

【0029】端子部15,16と基台11との接合は、
導電性接着材(高温半田等)を用いて接合したり、超音
波や溶接などで行われる。
The connection between the terminal portions 15 and 16 and the base 11 is as follows.
The bonding is performed by using a conductive adhesive (high-temperature solder or the like), ultrasonic waves, welding, or the like.

【0030】また、本実施の形態のインダクタンス素子
は、実用周波数帯域が1〜6GHzと高周波数域に対応
し、しかも非常に高いQ値(35以上)を有しており、
そのインダクタンス素子の長さL1,幅L2,高さL3
は以下の通りとなっていることが好ましい。
Further, the inductance element of the present embodiment has a practical frequency band of 1 to 6 GHz, which corresponds to a high frequency range, and has a very high Q value (35 or more).
Length L1, width L2, height L3 of the inductance element
Is preferably as follows.

【0031】L1=0.5〜2.1mm(好ましくは
0.6〜1.6mm) L2=0.2〜1.5mm(好ましくは0.3〜0.8
mm) L3=0.2〜1.5mm(好ましくは0.3〜0.8
mm) (なお、L1,L2,L3のそれぞれの寸法誤差は0.
02mm以下が好ましい。)L1が0.5mm以下であ
ると、必要とするインダクタンスを得ることができきな
い。また、L1が2.1mmを超えてしまうと、素子自
体が大きくなってしまい、電子回路等が形成された基板
など(以下回路基板等と略す)回路基板等の小型化がで
きず、ひいてはその回路基板等を搭載した電子機器等の
小型化を行うことができない。また、L2,L3それぞ
れが0.2mm以下であると、素子自体の機械的強度が
弱くなりすぎてしまい、実装装置などで、回路基板等に
実装する場合に、素子折れ等が発生することがある。ま
た、L2,L3が1.5mm以上となると、素子が大き
くなりすぎて、回路基板等の小型化、ひいては装置の小
型化を行うことができない。
L1 = 0.5 to 2.1 mm (preferably 0.6 to 1.6 mm) L2 = 0.2 to 1.5 mm (preferably 0.3 to 0.8)
mm) L3 = 0.2 to 1.5 mm (preferably 0.3 to 0.8)
(Note that the dimensional error of each of L1, L2, and L3 is 0.3 mm.)
It is preferably equal to or less than 02 mm. If L1 is less than 0.5 mm, the required inductance cannot be obtained. Further, if L1 exceeds 2.1 mm, the element itself becomes large, and it is not possible to reduce the size of a circuit board or the like on which an electronic circuit or the like is formed (hereinafter abbreviated as a circuit board or the like). It is not possible to reduce the size of an electronic device or the like on which a circuit board or the like is mounted. If each of L2 and L3 is 0.2 mm or less, the mechanical strength of the element itself becomes too weak, and the element may break when mounted on a circuit board or the like by a mounting apparatus or the like. is there. On the other hand, if L2 and L3 are 1.5 mm or more, the elements become too large, and it is not possible to reduce the size of the circuit board or the like and, consequently, the size of the device.

【0032】以上の様に構成されたインダクタンス素子
について、以下各部の詳細な説明をする。
With respect to the inductance element configured as described above, each part will be described in detail below.

【0033】まず、基台11の形状について説明する。
基台11は角柱状もしくは円柱状とすることが好まし
く、図1,2に示す様に基台11を角柱状とすることに
よって、実装性を向上させることができ、素子の転がり
等を防止できる等の効果を有する。また、基台11を角
柱状とする中でも特に四角柱状とすることが非常に実装
性や、素子の回路基板上での位置決めを容易にする。な
お、更に好ましくは底面が正方形の直方体とすることが
更に実装性等を向上させることができる。更に、基台1
1を角柱状とすることによって構造が非常に簡単になる
ので、生産性がよく、しかもコスト面が非常に有利にな
る。
First, the shape of the base 11 will be described.
The base 11 is preferably formed in a prismatic or cylindrical shape. By forming the base 11 in a prismatic shape as shown in FIGS. 1 and 2, the mountability can be improved, and the rolling of the element can be prevented. And the like. In addition, among the rectangular bases, the base 11 is particularly preferably formed in a square pillar shape, which greatly facilitates the mounting and the positioning of the element on the circuit board. In addition, it is more preferable that the bottom surface is a rectangular parallelepiped having a square shape, so that the mountability and the like can be further improved. Furthermore, base 1
Since the structure is made very simple by making 1 a prismatic shape, productivity is good and cost is very advantageous.

【0034】また、基台11の形状を円柱状とすること
によって、後述するように基台11上に導電膜12を形
成し、その導電膜12にレーザ加工等によって溝を形成
する場合、その溝の深さなどを精度よく形成することが
でき、特性のばらつきを抑えることができる。
When the base 11 is formed in a cylindrical shape, a conductive film 12 is formed on the base 11 as described later, and when a groove is formed in the conductive film 12 by laser processing or the like, the conductive film The depth of the groove and the like can be formed with high accuracy, and variations in characteristics can be suppressed.

【0035】次に基台11の面取りについて図3を用い
て説明する。図3は基台11を示す斜視図である。
Next, the chamfering of the base 11 will be described with reference to FIG. FIG. 3 is a perspective view showing the base 11.

【0036】基台11の角部11b,11cには面取り
が施されており、その面取りした角部11b,11cの
それぞれの曲率半径R1及び角部11aの曲率半径R2
は以下の通りに形成されることが好ましい。
The corners 11b and 11c of the base 11 are chamfered, and the radius of curvature R1 of each of the chamfered corners 11b and 11c and the radius of curvature R2 of the corner 11a.
Is preferably formed as follows.

【0037】0.03<R1<0.15(mm) 0.01<R2(mm) R1が0.03mm以下であると、角部11b,11c
が尖った形状となっているので、ちょっとした衝撃など
によって角部11b,11cに欠けなどが生じることが
あり、その欠けによって、特性の劣化等が発生したりす
る。また、R1が0.15mm以上であると、角部11
b,11cが丸くなりすぎて、前述のマンハッタン現象
を起こしやすくなり、不具合が生じる。更にR2が0.
01mm以下であると、角部11aにバリなどが発生し
やすく、素子の特性を大きく左右する導電膜12の厚み
が角部11fと平坦な部分で大きく異なることがあり、
素子特性のばらつきが大きくなる。
0.03 <R1 <0.15 (mm) 0.01 <R2 (mm) If R1 is 0.03 mm or less, the corner portions 11b and 11c
Because of the sharp point, the corners 11b and 11c may be chipped by a slight impact or the like, and the chipping may cause deterioration of characteristics or the like. When R1 is 0.15 mm or more, the corner 11
Since b and 11c are too round, the above-mentioned Manhattan phenomenon is likely to occur, which causes a problem. Furthermore, when R2 is 0.
When the thickness is less than or equal to 01 mm, burrs and the like are likely to occur at the corners 11a, and the thickness of the conductive film 12, which largely affects the characteristics of the element, may be significantly different between the corners 11f and the flat portion,
Variation in element characteristics increases.

【0038】次に基台11の構成材料について説明す
る。基台11の構成材料として下記の特性を満足してお
くことが好ましい。
Next, the constituent materials of the base 11 will be described. It is preferable to satisfy the following characteristics as a constituent material of the base 11.

【0039】体積固有抵抗:1013Ωm以上(好ましく
は1014Ωm以上) 熱膨張係数:5×10-4/℃以下(好ましくは2×10
-5/℃以下)[20℃〜500℃における熱膨張係数] 比誘電率:1MHzにおいて12以下(好ましくは10
以下) 曲げ強度:1300kg/cm2以上(好ましくは20
00kg/cm2以上) 密度:2〜5g/cm3(好ましくは3〜4g/cm3) 基台11の構成材料が体積固有抵抗が1013Ωm以下で
あると、導電膜12とともに基台11にも所定に電流が
流れ始めるので、並列回路が形成された状態となり、自
己共振周波数f0及びQ値が低くなってしまい、高周波
用の素子としては不向きである。
Volume resistivity: 10 13 Ωm or more (preferably 10 14 Ωm or more) Thermal expansion coefficient: 5 × 10 −4 / ° C. or less (preferably 2 × 10 Ω / m)
−5 / ° C. or less) [Coefficient of thermal expansion at 20 ° C. to 500 ° C.] Relative permittivity: 12 or less at 1 MHz (preferably 10
Bending strength: 1300 kg / cm 2 or more (preferably 20
Density: 2 to 5 g / cm 3 (preferably 3 to 4 g / cm 3 ) When the constituent material of the base 11 has a volume resistivity of 10 13 Ωm or less, the conductive material 12 and the base 11 Also, a current starts to flow in a predetermined manner, so that a parallel circuit is formed, and the self-resonant frequency f0 and the Q value decrease, which is not suitable for a high-frequency element.

【0040】また熱膨張係数が5×10-4/℃以上であ
ると、基台11にヒートショック等でクラックなどが入
ることがある。すなわち熱膨張係数が5×10-4/℃以
上であると、上述の様に溝13を形成する際にレーザ光
線や砥石等を用いるので、基台11が局部的に高温にな
り、基台11にクラックなどが生じることあるが、上述
の様な熱膨張係数を有することによって、大幅にクラッ
ク等の発生を抑止できる。
If the coefficient of thermal expansion is 5 × 10 −4 / ° C. or more, cracks may occur in the base 11 due to heat shock or the like. That is, when the thermal expansion coefficient is 5 × 10 −4 / ° C. or more, the base 11 is locally heated to a high temperature because a laser beam or a grindstone is used when forming the groove 13 as described above. Although cracks and the like may occur in 11, the occurrence of cracks and the like can be greatly suppressed by having the above-described coefficient of thermal expansion.

【0041】また、誘電率が1MHzにおいて12以上
であると、自己共振周波数f0及びQ値が低くなってし
まい、高周波用の素子としては不向きである。
If the dielectric constant is 12 or more at 1 MHz, the self-resonant frequency f0 and the Q value become low, which is not suitable for a high-frequency device.

【0042】曲げ強度が1300kg/cm2以下であ
ると、実装装置で回路基板等に実装する際に素子折れ等
が発生することがある。
When the bending strength is 1300 kg / cm 2 or less, the device may be broken when mounted on a circuit board or the like by a mounting apparatus.

【0043】密度が2g/cm3以下であると、基台1
1の吸水率が高くなり、基台11の特性が著しく劣化
し、素子としての特性が悪くなる。また密度が5g/c
3以上になると、基台の重量が重くなり、実装性など
に問題が発生する。特に密度を上述の範囲内に設定する
と、吸水率も小さく基台11への水の進入もほとんどな
く、しかも重量も軽くなり、チップマウンタなどで基板
に実装する際にも問題は発生しない。
When the density is 2 g / cm 3 or less, the base 1
1, the water absorption rate is increased, the characteristics of the base 11 are significantly deteriorated, and the characteristics as an element are deteriorated. The density is 5 g / c
If it exceeds m 3 , the weight of the base will be heavy, and there will be a problem in mountability and the like. In particular, when the density is set within the above range, the water absorption rate is small, water hardly enters the base 11, the weight is reduced, and no problem occurs when mounting on a substrate by a chip mounter or the like.

【0044】この様に基台11の体積固有抵抗,熱膨張
係数,誘電率,曲げ強度,密度を規定することによっ
て、自己共振周波数f0やQが低下しないので、高周波
用の素子として用いることができ、ヒートショック等で
基台11にクラック等が発生することを抑制できるの
で、不良率を低減することができ、更には、機械的強度
を向上させることができるので、実装装置などを用いて
回路基板等に実装できるので、生産性が向上する等の優
れた効果を得ることができる。
By defining the volume resistivity, the thermal expansion coefficient, the dielectric constant, the bending strength, and the density of the base 11 as described above, the self-resonant frequency f0 and Q do not decrease. It is possible to suppress the occurrence of cracks or the like in the base 11 due to heat shock or the like, so that the defective rate can be reduced, and furthermore, the mechanical strength can be improved. Since it can be mounted on a circuit board or the like, excellent effects such as improvement in productivity can be obtained.

【0045】上記の諸特性を得る材料としては、アルミ
ナを主成分とするセラミック材料が挙げられる。しかし
ながら、単にアルミナを主成分とするセラミック材料を
用いても上記諸特性を得ることはできない。すなわち、
上記諸特性は、基台11を作製する際のプレス圧力や焼
成温度及び添加物によって異なるので、作製条件などを
適宜調整しなければならない。具体的な作製条件とし
て、基台11の加工時のプレス圧力を2〜5t,焼成温
度を1500〜1600℃,焼成時間1〜3時間等の条
件が挙げられる。また、アルミナ材料の具体的な材料と
しては、Al23が92重量%以上,SiO2が6重量
%以下,MgOが1.5重量%以下,Fe23が0.1
%以下,Na2Oが0.3重量%以下等が挙げられる。
As a material for obtaining the above-mentioned various properties, a ceramic material containing alumina as a main component can be mentioned. However, simply using a ceramic material mainly composed of alumina cannot obtain the above-mentioned characteristics. That is,
Since the above-mentioned various characteristics vary depending on the pressing pressure, the sintering temperature, and the additives at the time of producing the base 11, the production conditions and the like must be appropriately adjusted. Specific manufacturing conditions include a pressing pressure of 2 to 5 tons when processing the base 11, a firing temperature of 1500 to 1600 ° C., and a firing time of 1 to 3 hours. Specific examples of the alumina material include Al 2 O 3 of 92 wt% or more, SiO 2 of 6 wt% or less, MgO of 1.5 wt% or less, and Fe 2 O 3 of 0.1 wt% or less.
% Or less, and Na 2 O of 0.3% by weight or less.

【0046】また、基台11の構成材料として、フェラ
イト等の磁性材料で構成してもよい。基台11をフェラ
イト等の磁性材料で構成すると、高いインダクタンス
(大体18nH〜50nH)を有する素子を形成するこ
とができる。
The base 11 may be made of a magnetic material such as ferrite. When the base 11 is made of a magnetic material such as ferrite, an element having high inductance (about 18 nH to 50 nH) can be formed.

【0047】次に基台11の表面粗さについて説明す
る。なお、以下の説明で出てくる表面粗さとは、全て中
心線平均粗さを意味するものであり、導電膜12の説明
等に出てくる粗さも中心線平均粗さである。
Next, the surface roughness of the base 11 will be described. The surface roughness described below means the average roughness of the center line, and the roughness described in the description of the conductive film 12 is also the average roughness of the center line.

【0048】基台11の表面粗さは0.15〜0.5μ
m程度、好ましくは0.2〜0.3μm程度がよい。図
4は基台11の表面粗さと剥がれ発生率を示したグラフ
である。図4は下記に示すような実験の結果である。基
台11及び導電膜12はそれぞれアルミナ,銅で構成
し、基台11の表面粗さをいろいろ変えたサンプルを作
製し、その各サンプルの上に同じ条件で導電膜12を形
成した。それぞれのサンプルに超音波洗浄を行い、その
後に導電膜12の表面を観察して、導電膜12の剥がれ
の有無を測定した。基台11の表面粗さは、表面粗さ測
定器(東京精密サーフコム社製 574A)を用いて、
先端Rが5μmのものを用いた。この結果から判るよう
に平均表面粗さが0.15μm以下であると、基台11
の上に形成された導電膜12の剥がれの発生率が5%程
度であり、良好な基台11と導電膜12の接合強度を得
ることができる。更に、表面粗さが0.2μm以上であ
れば導電膜12の剥がれがほとんど発生していないの
で、できれば、基台11の表面粗さは0.2μm以上が
好ましい。導電膜12の剥がれは、素子の特性劣化の大
きな要因となるので、歩留まり等の面から発生率は5%
以下が好ましい。
The surface roughness of the base 11 is 0.15 to 0.5 μm
m, preferably about 0.2 to 0.3 μm. FIG. 4 is a graph showing the surface roughness of the base 11 and the rate of occurrence of peeling. FIG. 4 shows the results of an experiment as described below. The base 11 and the conductive film 12 were made of alumina and copper, respectively, and samples with various surface roughnesses of the base 11 were prepared, and the conductive film 12 was formed on each sample under the same conditions. Each sample was subjected to ultrasonic cleaning, and thereafter, the surface of the conductive film 12 was observed to determine whether or not the conductive film 12 was peeled. The surface roughness of the base 11 was measured using a surface roughness measuring device (574A, manufactured by Tokyo Seimitsu Surfcom).
The one having a tip R of 5 μm was used. As can be seen from this result, if the average surface roughness is 0.15 μm or less,
The rate of occurrence of peeling of the conductive film 12 formed thereon is about 5%, and good bonding strength between the base 11 and the conductive film 12 can be obtained. Further, if the surface roughness is 0.2 μm or more, peeling of the conductive film 12 hardly occurs. Therefore, if possible, the surface roughness of the base 11 is preferably 0.2 μm or more. Since the peeling of the conductive film 12 is a major factor in deterioration of the characteristics of the element, the rate of occurrence is 5% in terms of yield and the like.
The following is preferred.

【0049】図5は本発明の一実施の形態におけるイン
ダクタンス素子に用いられる基台の表面粗さに対する周
波数とQ値の関係を示すグラフである。図5は以下のよ
うな実験の結果である。まず、表面粗さが0.1μm以
下の基台11と、表面粗さが0.2〜0.3μmの基台
11と、表面粗さが0.5μm以上の基台11のそれぞ
れのサンプルを作製し、それぞれのサンプルに同じ材料
(銅)で同じ厚さの導電膜を形成した。そして、各サン
プルにおいて、所定の周波数FにおけるQ値を測定し
た。図5から判るように基台11の表面粗さが0.5μ
m以上であると、導電膜12の膜構造が悪くなることが
原因と考えられるQ値の低下が見られる。特に高周波領
域で顕著にQ値の劣化が見られる。また、自己共振周波
数f0(各線の極大値)も基台11の表面粗さが0.5
μmのものは、低周波側にシフトしている。従ってQ値
の面及び自己共振周波数f0の面から見れば基台11の
表面粗さは0.5μm以下とすることが好ましい。
FIG. 5 is a graph showing the relationship between the frequency and the Q value with respect to the surface roughness of the base used for the inductance element according to one embodiment of the present invention. FIG. 5 shows the results of the following experiment. First, each sample of the base 11 having a surface roughness of 0.1 μm or less, the base 11 having a surface roughness of 0.2 to 0.3 μm, and the base 11 having a surface roughness of 0.5 μm or more was prepared. Then, a conductive film having the same thickness and the same material (copper) was formed on each sample. Then, in each sample, the Q value at a predetermined frequency F was measured. As can be seen from FIG. 5, the surface roughness of the base 11 is 0.5 μm.
If it is more than m, a decrease in the Q value, which is considered to be caused by the deterioration of the film structure of the conductive film 12, is observed. Particularly in the high frequency region, the Q value is significantly deteriorated. Also, the self-resonant frequency f0 (maximum value of each line) has a surface roughness of 0.5
Those of μm are shifted to the lower frequency side. Therefore, the surface roughness of the base 11 is preferably 0.5 μm or less from the viewpoint of the Q value and the surface of the self-resonant frequency f0.

【0050】以上の様に、導電膜12と基台11との密
着強度,導電膜のQ値及び自己共振周波数f0の双方の
結果から判断すると、基台11の表面粗さは、0.15
μm〜0.5μmが好ましく、さらに好ましくは0.2
〜0.3μmが良い。
As described above, judging from the results of both the adhesion strength between the conductive film 12 and the base 11, the Q value of the conductive film, and the self-resonant frequency f0, the surface roughness of the base 11 is 0.15.
μm to 0.5 μm, more preferably 0.2 μm
0.30.3 μm is good.

【0051】なお、本実施の形態では、導電膜12と基
台11の接合強度を基台11の表面粗さを調整すること
によって、向上させたが、例えば、基台11と導電膜1
2の間にCr単体またはCrと他の金属の合金の少なく
とも一方で構成された中間層を設けることによって、表
面粗さを調整せずとも導電膜12と基台11の密着強度
を向上させることができる。もちろん基台11の表面粗
さを調整し、その上その基台11の上に中間層及び導電
膜12を積層する場合では、より強力な導電膜12と基
台11の密着強度を得ることができる。
In the present embodiment, the bonding strength between the conductive film 12 and the base 11 is improved by adjusting the surface roughness of the base 11.
2 to improve the adhesion strength between the conductive film 12 and the base 11 without adjusting the surface roughness by providing an intermediate layer composed of Cr alone or an alloy of Cr and another metal. Can be. Of course, when the surface roughness of the base 11 is adjusted and the intermediate layer and the conductive film 12 are laminated on the base 11, it is possible to obtain a stronger adhesion strength between the conductive film 12 and the base 11. it can.

【0052】次に導電膜12について説明する。導電膜
12としては、800MHz以上の高周波信号に対して
Q値が35以上であり、しかも自己共振周波数が1〜6
GHz程度のものが好ましい。この様な特性の導電膜1
2を得るためには、材料及び製法等を選択しなければな
らない。
Next, the conductive film 12 will be described. The conductive film 12 has a Q value of 35 or more for a high-frequency signal of 800 MHz or more, and has a self-resonant frequency of 1 to 6
A frequency of about GHz is preferable. Conductive film 1 having such characteristics
In order to obtain 2, it is necessary to select a material and a manufacturing method.

【0053】以下具体的に導電膜12について説明す
る。導電膜12の構成材料としては、銅,銀,金,ニッ
ケルなどの導電材料が挙げられる。この銅,銀,金,ニ
ッケル等の材料には、耐候性等を向上させために所定の
元素を添加してもよい。また、導電材料と非金属材料等
の合金を用いてもよい。構成材料としてコスト面や耐食
性の面及び作り易さの面から銅及びその合金がよく用い
られる。導電膜12の材料として、銅等を用いる場合に
は、まず、基台11上に無電解メッキによって下地膜を
形成し、その下地膜の上に電解メッキにて所定の銅膜を
形成して導電膜12が形成される。更に、合金等で導電
膜12を形成する場合には、スパッタリング法や蒸着法
で構成することが好ましい。
Hereinafter, the conductive film 12 will be specifically described. Examples of a constituent material of the conductive film 12 include conductive materials such as copper, silver, gold, and nickel. A predetermined element may be added to the material such as copper, silver, gold, and nickel to improve weather resistance and the like. Alternatively, an alloy such as a conductive material and a nonmetallic material may be used. Copper and its alloys are often used as constituent materials in terms of cost, corrosion resistance, and ease of fabrication. When copper or the like is used as the material of the conductive film 12, first, a base film is formed on the base 11 by electroless plating, and a predetermined copper film is formed on the base film by electrolytic plating. The conductive film 12 is formed. Further, when the conductive film 12 is formed of an alloy or the like, it is preferable to form the conductive film 12 by a sputtering method or a vapor deposition method.

【0054】更に、本実施の形態の様に、導電膜12を
例えば銅などで構成し、その膜厚を厚くして自己発熱を
抑える場合、導電膜12に形成される溝13の幅K1と
溝13と溝13の間の導電膜12の幅K2は以下の関係
を有する事が好ましい。
Further, as in the present embodiment, when the conductive film 12 is made of, for example, copper or the like and the film thickness is increased to suppress self-heating, the width K1 of the groove 13 formed in the conductive film 12 is reduced. The width K2 of the conductive film 12 between the grooves 13 preferably has the following relationship.

【0055】20μm>K1>15μm 200μm>K2>100μm 特に前述の様に長さL1,幅L2,高さL3を、 L1=0.5〜2.1mm(好ましくは0.6〜1.6
mm) L2=0.2〜1.5mm(好ましくは0.3〜0.8
mm) L3=0.2〜1.5mm(好ましくは0.3〜0.8
mm) (なお、L1,L2,L3のそれぞれの寸法誤差は0.
02mm以下が好ましい。)としたインダクタンス素子
とした場合、上述のK1,K2は上述の範囲とすること
によって、電気抵抗を小さくすることができ、しかも導
電膜12に形成される溝13を精度良く形成することが
でき、更に導電膜12の膜厚を厚くした場合に確実に溝
13を形成することができる。
20 μm>K1> 15 μm 200 μm>K2> 100 μm In particular, as described above, the length L1, width L2, and height L3 are L1 = 0.5 to 2.1 mm (preferably 0.6 to 1.6).
mm) L2 = 0.2 to 1.5 mm (preferably 0.3 to 0.8)
mm) L3 = 0.2 to 1.5 mm (preferably 0.3 to 0.8)
(Note that the dimensional error of each of L1, L2, and L3 is 0.3 mm.)
It is preferably equal to or less than 02 mm. In the case of the inductance element described in (1), by setting the above K1 and K2 within the above ranges, the electric resistance can be reduced and the groove 13 formed in the conductive film 12 can be formed with high accuracy. In addition, when the thickness of the conductive film 12 is further increased, the groove 13 can be surely formed.

【0056】導電膜12は単層で構成してもよいが、多
層構造としてもよい。すなわち、構成材料の異なる導電
膜を複数積層して構成しても良い。例えば、基台11の
上に先ず銅膜を形成し、その上に耐候性の良い金属膜
(ニッケル等)を積層する事によって、やや耐候性に問
題がある銅の腐食を防止することができる。
The conductive film 12 may have a single-layer structure, but may have a multilayer structure. That is, a plurality of conductive films having different constituent materials may be stacked. For example, first, a copper film is formed on the base 11, and then a metal film having good weather resistance (such as nickel) is laminated thereon, so that corrosion of copper, which is somewhat problematic in weather resistance, can be prevented. .

【0057】導電膜12の形成方法としては、メッキ法
(電解メッキ法や無電解メッキ法など),スパッタリン
グ法,蒸着法等が挙げられる。この形成方法の中でも、
量産性がよく、しかも膜厚のばらつきが小さなメッキ法
がよく用いられる。
Examples of the method for forming the conductive film 12 include a plating method (such as an electrolytic plating method and an electroless plating method), a sputtering method, and a vapor deposition method. Among these forming methods,
A plating method with good mass productivity and small variations in film thickness is often used.

【0058】導電膜12の表面粗さは1μm以下が好ま
しく、更に好ましくは0.2μm以下が好ましい。導電
膜12の表面粗さが1μmを超えると、表皮効果によっ
て高周波でのQ値が低下する。図6は本発明の一実施の
形態におけるインダクタンス素子に用いられる導電膜の
表面粗さに対する周波数とQ値の関係を示すグラフであ
る。図6は下記の様な実験を通して導き出された。ま
ず、同じ大きさ同じ材料同じ表面粗さで構成された基台
11の上に銅を構成材料とする導電膜12の表面粗さを
変えて形成し、それぞれのサンプルにて各周波数におけ
るQ値を測定した。図6から判るように、導電膜12の
表面粗さが1μm以上であれば高周波領域におけるQ値
が低くなっていることが判る。更に導電膜12の表面粗
さが0.2μm以下であれば特に高周波領域におけるQ
値が、非常に高くなっていることがわかる。
The surface roughness of the conductive film 12 is preferably 1 μm or less, more preferably 0.2 μm or less. When the surface roughness of the conductive film 12 exceeds 1 μm, the Q value at high frequencies decreases due to the skin effect. FIG. 6 is a graph showing the relationship between the frequency and the Q value with respect to the surface roughness of the conductive film used for the inductance element according to one embodiment of the present invention. FIG. 6 was derived through the following experiment. First, a conductive film 12 made of copper is formed on a base 11 having the same size and the same material with the same surface roughness while changing the surface roughness. Was measured. As can be seen from FIG. 6, when the surface roughness of the conductive film 12 is 1 μm or more, the Q value in the high frequency region is low. Furthermore, if the surface roughness of the conductive film 12 is 0.2 μm or less, Q
It can be seen that the value is very high.

【0059】以上の様に導電膜12の表面粗さは、1.
0μm以下が良く、更に好ましくは、0.2μm以下と
することによって、導電膜12の表皮効果を低減させる
ことができ、特に高周波におけるQ値を向上させる事が
できる。
As described above, the surface roughness of the conductive film 12 is 1.
The thickness is preferably 0 μm or less, and more preferably 0.2 μm or less, the skin effect of the conductive film 12 can be reduced, and the Q value particularly at high frequencies can be improved.

【0060】更に導電膜12と基台11の密着強度は、
導電膜12を形成した基台11を400℃の温度下に数
秒間放置した後に基台11から導電膜12がはがれない
程度以上であることが好ましい。素子を基板等に実装し
た際に、素子には自己発熱や他の部材からの熱が加わる
ことによって、素子に200℃以上の温度が加わること
がある。従って、400℃で基台11からの導電膜12
のはがれが発生しない程度の密着強度であれば、たとえ
素子に熱が加わっても、素子の特性劣化等は発生しな
い。
Further, the adhesion strength between the conductive film 12 and the base 11 is as follows:
After leaving the base 11 on which the conductive film 12 is formed at a temperature of 400 ° C. for a few seconds, it is preferable that the conductive film 12 be separated from the base 11 by a degree or more. When the element is mounted on a substrate or the like, a temperature of 200 ° C. or more may be applied to the element due to self-heating or heat from other members. Therefore, the conductive film 12 from the base 11 at 400 ° C.
If the adhesion strength is such that no peeling occurs, even if heat is applied to the element, the characteristics of the element do not deteriorate.

【0061】次に保護材14について説明する。保護材
14としては、耐候性に優れた有機材料、例えばエポキ
シ樹脂などの絶縁性を示す材料や電着膜が用いられる。
また、保護材14としては、溝13の状況等が観測でき
るような透明度を有する事が好ましい。更に保護材14
には透明度を有したまま、所定の色を有することが好ま
しい。保護材14に赤,青,緑などの、導電膜12や端
子部15,16等と異なる色を着色する事によって、素
子各部の区別をする事ができ、素子各部の検査などが容
易に行える。また、素子の大きさ、特性、品番等の違い
で保護材14の色を変えることによって、特性や品番等
の異なる素子を誤った部分に取り付けるなどのミスを低
減させることができる。
Next, the protective member 14 will be described. As the protective material 14, an organic material having excellent weather resistance, for example, an insulating material such as an epoxy resin or an electrodeposition film is used.
Further, it is preferable that the protective material 14 has a transparency such that the condition of the groove 13 can be observed. Further protective material 14
It is preferable to have a predetermined color while maintaining transparency. By coloring the protective material 14 with a color such as red, blue, or green, which is different from the conductive film 12 and the terminal portions 15 and 16, it is possible to distinguish each element portion, and to easily inspect each element portion. . In addition, by changing the color of the protective material 14 depending on the size, characteristics, product number, and the like of the element, it is possible to reduce errors such as mounting an element having a different characteristic, product number, and the like on an erroneous portion.

【0062】特に保護材14を電着膜で構成することに
よって、非常に薄くて絶縁性を確保でき、しかも耐熱性
も向上させることができる。すなわち、エポキシ樹脂や
レジストなどを塗布する方法であると、保護材14の部
分が大きく盛り上がり、回路基板等に実装する場合、素
子の端子部と回路基板の配線の間に隙間が生じることが
あり、十分な電気的接合を行うことができないことがあ
るが、電着膜で保護材14を形成することによって、薄
くしかも均一な保護材14を形成できるので、素子を回
路基板などに実装したときに、端子部と配線との間の隙
間が非常に小さくなり、配線と基盤の端子間の電気的接
合は十分に行うことができる。
In particular, when the protective material 14 is formed of an electrodeposited film, the insulating material can be very thin and the insulation can be secured, and the heat resistance can be improved. That is, when the method of applying an epoxy resin, a resist, or the like is applied, a portion of the protective material 14 rises greatly, and when mounted on a circuit board or the like, a gap may be generated between the terminal portion of the element and the wiring of the circuit board. In some cases, sufficient electrical bonding cannot be performed. However, by forming the protective material 14 with an electrodeposition film, a thin and uniform protective material 14 can be formed. In addition, the gap between the terminal portion and the wiring becomes very small, and the electrical connection between the wiring and the terminal of the substrate can be sufficiently performed.

【0063】また、レジストなどを塗布する方法である
と、一つ一つの素子にそれぞれテープなどを用いて塗布
しなければならないので、工程が多くなり生産性が向上
せず、製造コストも低減することはできないが、本実施
の形態の様に、電着膜で保護材14を作製することによ
って、一度にたくさんの素子に保護材14を設けること
ができるので、生産性が向上し越すとも低減させること
ができる。
Further, in the method of applying a resist or the like, each element must be applied using a tape or the like, so that the number of steps is increased, productivity is not improved, and manufacturing cost is reduced. Although it is not possible, as in the present embodiment, by forming the protective material 14 with an electrodeposition film, the protective material 14 can be provided to many elements at once, so that the productivity is reduced even if it is improved. Can be done.

【0064】保護材14の具体的構成材料としては、ア
クリル系樹脂,エポキシ系樹脂,フッ素系樹脂,ウレタ
ン系樹脂,ポリイミド系樹脂などの樹脂材料の少なくと
も1つで構成された電着樹脂膜によって構成されてい
る。また、保護材14を電着膜で構成する場合、カチオ
ン系,アニオン系のどちらかを選択する場合には、導電
膜12の構成材料、電着膜の構成材料、インダクタンス
素子の使用用途などを考慮して決定することが好まし
い。保護材14は異なる材料で構成された電着膜を積層
して構成しても良いし、同一材料を積層しても良く、更
には、複数の電着膜を溝部13の上に並列して設けても
よい。
As a specific constituent material of the protective material 14, an electrodeposition resin film made of at least one resin material such as an acrylic resin, an epoxy resin, a fluorine resin, a urethane resin, and a polyimide resin is used. It is configured. In the case where the protective material 14 is formed of an electrodeposited film, and when either the cation type or the anion type is selected, the constituent material of the conductive film 12, the constituent material of the electrodeposited film, and the usage of the inductance element are used. It is preferable to determine in consideration of the above. The protective material 14 may be formed by laminating electrodeposited films made of different materials, or may be formed by laminating the same material. Further, a plurality of electrodeposited films may be stacked on the groove 13 in parallel. It may be provided.

【0065】保護材14を電着膜で構成する場合、保護
材14の厚さが数十ミクロンで20V以上の耐圧を有す
ることが好ましく、しかもハンダの融点である183℃
で、燃焼したり、蒸発しない特性を有するものが好まし
い。なお、183℃で保護材14が軟化する程度のもの
は不具合は生じない。
When the protective member 14 is formed of an electrodeposited film, the protective member 14 preferably has a thickness of several tens of microns and a withstand voltage of 20 V or more, and has a melting point of 183 ° C., which is the melting point of solder.
It is preferable to use a material having characteristics of not burning or evaporating. In the case where the protective material 14 is softened at 183 ° C., no problem occurs.

【0066】また、図7(a)に示す様に電着膜で構成
された保護材14は、導電膜12と基台11の少なくと
も一部の双方を覆うように設けることが好ましい。この
様に保護材14を設けることによって、導電膜12をほ
ぼ覆うことができ、しかも導電膜12と外気などとの接
触確率を極めて小さくすることができるので、導電膜1
2の腐食や電流の漏洩等を防止することができる。図7
(b)に示す様に保護材14を導電膜12のみに設ける
場合では、導電膜12の角部12zがむき出しになる可
能性が高く、導電膜12の腐食の原因となることがあ
る。
As shown in FIG. 7A, it is preferable that the protective material 14 made of an electrodeposition film be provided so as to cover both the conductive film 12 and at least a part of the base 11. By providing the protective material 14 in this manner, the conductive film 12 can be substantially covered, and the probability of contact between the conductive film 12 and outside air can be extremely reduced.
2 can be prevented, current leakage, and the like can be prevented. FIG.
In the case where the protective material 14 is provided only on the conductive film 12 as shown in (b), there is a high possibility that the corner 12z of the conductive film 12 is exposed, which may cause corrosion of the conductive film 12.

【0067】従って、図7(a)に示す様に、導電膜1
2の角部12zをオバーして基台11の少なくとも一部
も保護材14で覆うように構成することによって、確実
な導電膜12の保護を覆うことができる。
Therefore, as shown in FIG.
By forming the second corner 12z so as to cover at least a part of the base 11 with the protective material 14, reliable protection of the conductive film 12 can be covered.

【0068】また、図7(a)に示す様に導電膜12の
外方の角部12p上に形成される保護材14の一部14
zは他の部分よりも膜厚を厚くすることが好ましい。一
部14zを厚くすることによって、角部12pが他の部
分との間で放電することなどを防止でき、インダクタン
ス素子としての特性の劣化を防止できる。
As shown in FIG. 7A, a part 14 of the protective material 14 formed on the outer corner 12p of the conductive film 12 is formed.
It is preferable that z is thicker than other portions. By increasing the thickness of the portion 14z, it is possible to prevent the corner portion 12p from being discharged with other portions, and to prevent deterioration of characteristics as an inductance element.

【0069】また、特殊用途などに用いられるインダク
タンス素子には、導電膜12と保護材の密着強度を持た
せることが重要になってくる場合がある。この場合に
は、導電膜12の表面を化学的エッチングすることによ
って粗面化し、その粗面化した表面に電着膜で構成した
保護材14を設けることが好ましい。前述したように、
導電膜12の表面の粗面化を行うとQ値の低下を招く危
険はあるが、特殊用途等の場合、Q値よりも保護材14
と導電膜12の密着強度を向上することが重要な場合が
あるので、このときは、用途などを考慮して導電膜12
の粗さを適宜決定する必要がある。
In some cases, it is important for an inductance element used for a special purpose to have an adhesion strength between the conductive film 12 and the protective material. In this case, it is preferable to roughen the surface of the conductive film 12 by chemical etching, and to provide a protective material 14 made of an electrodeposition film on the roughened surface. As previously mentioned,
If the surface of the conductive film 12 is roughened, there is a risk of lowering the Q value.
In some cases, it is important to improve the adhesion strength between the conductive film 12 and the conductive film 12.
Must be determined appropriately.

【0070】また、導電膜12を銅を含む材料で構成し
た場合、電着膜である保護材14は不均一な膜厚で形成
されることがあるので、この場合には、導電膜12の上
にNi等の金属膜を形成し、その金属膜の上に保護材1
4を形成しても良い。
When the conductive film 12 is made of a material containing copper, the protective material 14 which is an electrodeposition film may be formed with an uneven film thickness. A metal film such as Ni is formed thereon, and a protective material 1 is formed on the metal film.
4 may be formed.

【0071】次に、電着膜で構成された保護材14の形
成方法について説明する。図8に示す様に100は容器
で、容器100中には、水,電着樹脂,pH調整剤など
の調整剤及び他の添加剤などを混合した溶液101が収
納されている。102は電極板、103はインダクタン
ス素子、104,105はそれぞれ保持部材で、保持部
材104,105は、インダクタンス素子103の両端
がはまりこむ孔が設けられている。保持部材105には
通電部6が設けられており、この通電部6はインダクタ
ンス素子103に接触している。
Next, a method of forming the protective member 14 composed of an electrodeposition film will be described. As shown in FIG. 8, reference numeral 100 denotes a container. The container 100 contains a solution 101 obtained by mixing water, an electrodeposition resin, an adjusting agent such as a pH adjusting agent, and other additives. 102 is an electrode plate, 103 is an inductance element, 104 and 105 are holding members, respectively, and the holding members 104 and 105 are provided with holes into which both ends of the inductance element 103 fit. The holding member 105 is provided with an energizing section 6, and the energizing section 6 is in contact with the inductance element 103.

【0072】電極板102及び通電部106に所定の電
圧を加えると、インダクタンス素子103の両端部を除
く部分に電着膜が形成される。これは、インダクタンス
素子103の端子部15,16は、保持部材104,1
05に入り込んでおり、溶液101とは余り接触してい
ないからである。なお、本実施の形態では、保持部材1
04,105に端子部15,16を入り込ませたが、フ
ォトレジスト等の他のマスク部材を端子部15,16に
設ける構成にしてもよい。
When a predetermined voltage is applied to the electrode plate 102 and the current-carrying portion 106, an electrodeposition film is formed on a portion of the inductance element 103 except for both ends. This is because the terminals 15 and 16 of the inductance element 103 are connected to the holding members 104 and 1.
This is because they have entered the liquid crystal 05 and are not in contact with the solution 101 much. In the present embodiment, the holding member 1
Although the terminal portions 15 and 16 are inserted into the terminal portions 04 and 105, another mask member such as a photoresist may be provided on the terminal portions 15 and 16.

【0073】以上の様に、電着膜で構成された保護材1
4を有するインダクタンス素子を作製した後に、素子に
熱処理を加えることが好ましい。この熱処理によって、
保護材14の表面がなだらかになって、表面粗さが小さ
くなり、確実に保護材14を覆うようになる。また、熱
処理を加えると、導電膜12の角部の保護材14の厚さ
が薄くなることがあるが、この場合には、溶液101の
中に絶縁性の粒子(例えば金属酸化物など)を混入させ
て、電着膜で構成された保護材14の中にこの絶縁性の
粒子を保持させることによって、導電膜12の角部の保
護材14の厚さを抑えることができる。
As described above, the protective material 1 composed of the electrodeposited film
After manufacturing the inductance element having No. 4, it is preferable to apply heat treatment to the element. By this heat treatment,
The surface of the protection member 14 becomes gentle, the surface roughness becomes small, and the protection member 14 is surely covered. In addition, when heat treatment is performed, the thickness of the protective material 14 at the corners of the conductive film 12 may be reduced. In this case, insulating particles (for example, metal oxide) are added to the solution 101. By mixing the insulating particles in the protective material 14 made of an electrodeposited film, the thickness of the protective material 14 at the corners of the conductive film 12 can be reduced.

【0074】次に端子部15,16について説明する。
端子部15,16は前述の様に、導電材料で構成された
板状体あるいはシート状体を用いており、この端子部1
5と端子部16の間に基台11を挟み込んでいる。この
時、端子部15,16としては、耐候性を向上させるた
めに、Ni,Ti,Crなどの耐食性の大きな材料をコ
ーティングしてもよいし、回路基板との接合が良好とな
るように、半田などの導電材料をコーティングしても良
いし、更には、耐食性の大きな材料を先ず端子部15,
16上に密着させてコーティングし、回路基板との接続
性を良好にする材料をその上にコーティングしても良
い。
Next, the terminals 15 and 16 will be described.
As described above, the terminal portions 15 and 16 are made of a plate or sheet made of a conductive material.
The base 11 is sandwiched between the terminal 5 and the terminal portion 16. At this time, the terminals 15 and 16 may be coated with a material having high corrosion resistance, such as Ni, Ti, or Cr, in order to improve the weather resistance. A conductive material such as solder may be coated.
16 and may be coated with a material that improves the connectivity with the circuit board.

【0075】端子部15,16はインダクタンス素子の
幅L2及び高さL3を決定している。すなわち、図9に
示す様に、端子部15,16の幅及び高さは、インダク
タンス素子の幅L2及び高さL3に相当する。図9から
わかるように、基台11の断面積は端子部15,16の
断面積よりもわずかに小さくなるように構成され、しか
も基台11は端子部15,16からはみ出さないサイズ
を有している。更に図9に示す様に、基台11に端子部
15,16を取り付ける場合には、基台11の表面と端
子部15,16の外端面までの距離t1,t2はそれぞ
れ以下の関係を満たす事が好ましい。
The terminal portions 15 and 16 determine the width L2 and the height L3 of the inductance element. That is, as shown in FIG. 9, the width and height of the terminal portions 15 and 16 correspond to the width L2 and height L3 of the inductance element. As can be seen from FIG. 9, the cross-sectional area of the base 11 is configured to be slightly smaller than the cross-sectional areas of the terminal portions 15 and 16, and the base 11 has a size that does not protrude from the terminal portions 15 and 16. doing. Further, as shown in FIG. 9, when the terminals 15 and 16 are attached to the base 11, the distances t1 and t2 between the surface of the base 11 and the outer end surfaces of the terminals 15 and 16 respectively satisfy the following relationships. Things are preferred.

【0076】0<t1÷L2<0.1 0<t2÷L3<0.1 上記条件を満たすことによって、基台11の大きさを小
さくすることなく、高いインダクタンスや高いQ値を実
現でき、しかもt1,t2の隙間に保護材14を設ける
ことができ、端子部15,16の外端部から突出せず良
好な実装性を有することができる。
0 <t1 ÷ L2 <0.1 0 <t2 ÷ L3 <0.1 By satisfying the above conditions, a high inductance and a high Q value can be realized without reducing the size of the base 11. In addition, the protective member 14 can be provided in the gap between t1 and t2, and good mounting properties can be obtained without protruding from the outer ends of the terminal portions 15 and 16.

【0077】なお、L2=L3の場合には、当然のごと
くt2=t1とする事が好ましい。また、図2に示す様
に端子部15,16の高さZ1及びZ2は下記の条件を
満たすことが好ましい。
When L2 = L3, it is preferable that t2 = t1. Further, as shown in FIG. 2, the heights Z1 and Z2 of the terminal portions 15, 16 preferably satisfy the following conditions.

【0078】|Z1−Z2|≦80μm(好ましくは5
0μm) Z1とZ2の高さの違いが80μm(好ましくは50μ
m以下)を超えると、素子を基板に実装し、半田等で回
路基板等に取り付ける場合、半田等の表面張力によって
素子が一方の端部に引っ張られて、素子が立ってしまう
というマンハッタン現象の発生する確率が非常に高くな
る。このマンハッタン現象を図10に示す。図10に示
すように、基板200の上にインダクタンス素子を配置
し、端子部15,16それぞれと基板200の間に半田
201,202が設けられているが、リフローなどによ
って半田201,202を溶かすと、半田201,20
2のそれぞれの塗布量の違いや、材質が異なることによ
る融点の違いによって、溶融した半田201,202の
表面張力が端子部15と端子部16で異なり、その結
果、図10に示すように一方の端子部を中心に回転し、
インダクタンス素子が立ち上がってしまう。Z1とZ2
の高さの違いが80μm(好ましくは50μm以下)を
超えると、素子が傾いた状態で基板200に配置される
こととなり、素子立ちを促進する。また、マンハッタン
現象は特に小型軽量のチップ型の電子部品(チップ型イ
ンダクタンス素子を含む)において顕著に発生し、しか
もこのマンハッタン現象の発生要因の一つとして、端子
部15,16の高さの違いによって素子が傾いて基板2
00に配置されることを着目した。この結果、Z1とZ
2の高さの差を80μm以下(好ましくは50μm以
下)となるように、基台11を成形などで加工すること
によって、このマンハッタン現象の発生を大幅に抑える
ことができた。Z1とZ2の高さの差を50μm以下と
することによって、ほぼ、マンハッタン現象の発生を抑
えることができる。
| Z1-Z2 | ≦ 80 μm (preferably 5
0 μm) The height difference between Z1 and Z2 is 80 μm (preferably 50 μm).
m or less), when the element is mounted on a board and attached to a circuit board or the like with solder or the like, the element is pulled to one end by the surface tension of the solder or the like, and the element stands up. The probability of occurrence is very high. This Manhattan phenomenon is shown in FIG. As shown in FIG. 10, an inductance element is arranged on a substrate 200, and solders 201 and 202 are provided between each of the terminal portions 15 and 16 and the substrate 200. The solders 201 and 202 are melted by reflow or the like. And solder 201, 20
Due to the difference in the application amount of each of No. 2 and the difference in the melting point due to the difference in the material, the surface tension of the melted solders 201 and 202 differs between the terminal portions 15 and 16, and as a result, as shown in FIG. Around the terminal part of
The inductance element rises. Z1 and Z2
When the height difference exceeds 80 μm (preferably 50 μm or less), the elements are disposed on the substrate 200 in an inclined state, and the element is promoted. In addition, the Manhattan phenomenon occurs remarkably particularly in small and lightweight chip-type electronic components (including a chip-type inductance element), and one of the causes of the Manhattan phenomenon is the difference in height between the terminal portions 15 and 16. The device is tilted by the substrate 2
It is noted that they are arranged at 00. As a result, Z1 and Z
By forming the base 11 by molding or the like so that the difference in height between the two would be 80 μm or less (preferably 50 μm or less), the occurrence of the Manhattan phenomenon could be greatly suppressed. By setting the difference between the heights of Z1 and Z2 to 50 μm or less, the occurrence of the Manhattan phenomenon can be substantially suppressed.

【0079】次に端子部15,16の厚さについて説明
する。図2に示す端子部15,16それぞれの厚みP
2,P1は下記の条件を満たすことが好ましい。
Next, the thickness of the terminal portions 15 and 16 will be described. The thickness P of each of the terminal portions 15 and 16 shown in FIG.
2, P1 preferably satisfies the following conditions.

【0080】P1÷L1<0.12 P2÷L1<0.12 上記条件を満たすことによって、基台11の長さを長く
することができ、それにともなって、インダクタンスを
高くする事が可能になり、Q値を向上させることができ
る。なお、P1,P2が上記範囲内においても、現実的
に端子部15,16の厚みは、その強度や扱い易さ等を
考慮すると、0.08mm以下とすることは好ましくな
い。従って、L1が小さくなってきて、例えばL1が
0.6mmの場合は、P1,P2は0.072mmとな
り、0.08mmよりも薄くなってしまうが、この場合
には、端子部15,16の厚さは、多少Q値が低くなっ
ても0.08mmとすることが好ましい。
P1 ÷ L1 <0.12 P2 ÷ L1 <0.12 By satisfying the above conditions, the length of the base 11 can be increased, and accordingly, the inductance can be increased. , Q value can be improved. Even when P1 and P2 are within the above ranges, it is not preferable to set the thickness of the terminal portions 15 and 16 to 0.08 mm or less in consideration of the strength and ease of handling. Accordingly, L1 becomes smaller. For example, when L1 is 0.6 mm, P1 and P2 become 0.072 mm, which is thinner than 0.08 mm. The thickness is preferably set to 0.08 mm even if the Q value is slightly reduced.

【0081】以上の様に構成されたインダクタンス素子
について、以下その製造方法について説明する。
A method of manufacturing the inductance element having the above-described configuration will be described below.

【0082】まず、アルミナ等の絶縁材料をプレス成形
や押し出し法によって、基台11を作製する。次にその
基台11全体にメッキ法やスパッタリング法などによっ
て導電膜12を形成する。次に導電膜12を形成した基
台11にスパイラル状の溝13を形成する。溝13はレ
ーザ加工や切削加工によって作製される。レーザ加工
は、非常に生産性が良いので、以下レーザ加工について
説明する。まず、基台11を回転装置に取り付け、基台
11を回転させ、そして基台11にレーザを照射して導
電膜12及び基台11の双方を取り除き、スパイラル状
の溝を形成する。このときのレーザは、YAGレーザ,
エキシマレーザ,炭酸ガスレーザなどを用いることがで
き、レーザ光をレンズなどで絞り込むことによって、基
台11に照射する。更に、溝13の深さ等は、レーザの
パワーを調整し、溝13の幅等は、レーザ光を絞り込む
際のレンズを交換することによって行える。また、導電
膜12の構成材料等によって、レーザの吸収率が異なる
ので、レーザの種類(レーザの波長)は、導電膜12の
構成材料によって、適宜選択することが好ましい。
First, the base 11 is manufactured by pressing or extruding an insulating material such as alumina. Next, a conductive film 12 is formed on the entire base 11 by a plating method, a sputtering method, or the like. Next, a spiral groove 13 is formed in the base 11 on which the conductive film 12 is formed. The groove 13 is formed by laser processing or cutting. Since the laser processing has very high productivity, the laser processing will be described below. First, the base 11 is attached to a rotating device, the base 11 is rotated, and the base 11 is irradiated with a laser to remove both the conductive film 12 and the base 11, thereby forming a spiral groove. The laser at this time is a YAG laser,
An excimer laser, a carbon dioxide laser, or the like can be used, and the base 11 is irradiated with the laser light by narrowing the laser light with a lens or the like. Further, the depth and the like of the groove 13 can be adjusted by adjusting the power of the laser, and the width and the like of the groove 13 can be adjusted by exchanging a lens when narrowing down the laser beam. Since the laser absorptivity varies depending on the constituent material of the conductive film 12 and the like, it is preferable to appropriately select the type of laser (laser wavelength) depending on the constituent material of the conductive film 12.

【0083】溝13を形成した後に、基台11の両端に
板状体あるいはシート状体に加工された端子部15,1
6を接合する、この時、端子部15,16を基台11に
接合する場合には、高温半田などの導電性接合材を用い
る。なお、他の接合方法としては、基台11の端面に形
成された導電膜12と同材料で構成された端子部15,
16を当接させて、超音波などによって接合したり、溶
接等で端子部15,16を基台11に接合する事もでき
る。
After the grooves 13 are formed, the terminal portions 15, 1 formed into a plate-like body or a sheet-like body are provided at both ends of the base 11.
When the terminal portions 15 and 16 are bonded to the base 11 at this time, a conductive bonding material such as high-temperature solder is used. In addition, as another joining method, a terminal portion 15 made of the same material as the conductive film 12 formed on the end face of the base 11,
The terminal portions 15 and 16 can be joined to the base 11 by welding or the like by bringing the base portions 11 into contact with each other.

【0084】この時点でも、製品は完成するが、前述の
様に保護材14をエポキシ樹脂等を塗布したり、あるい
は電着膜を形成したりすることによって設け、素子全体
の耐候性を向上させる。
At this point, the product is completed. However, as described above, the protective material 14 is provided by applying an epoxy resin or the like or forming an electrodeposition film to improve the weather resistance of the entire device. .

【0085】次に第2の実施の形態について説明する。
図11は本発明の第2の実施の形態におけるインダクタ
ンス素子の側面図である。
Next, a second embodiment will be described.
FIG. 11 is a side view of the inductance element according to the second embodiment of the present invention.

【0086】図11において、図1,図2と同一番号
は、同様の部材である。図11に示すインダクタンス素
子と図1に示すインダクタンス素子の違いは、端子部1
5,16の形状と保護材14を形成する範囲に違いがあ
る。
In FIG. 11, the same reference numerals as those in FIGS. 1 and 2 denote the same members. The difference between the inductance element shown in FIG. 11 and the inductance element shown in FIG.
There is a difference between the shapes of Nos. 5 and 16 and the range in which the protective material 14 is formed.

【0087】図11に示すインダクタンス素子は、図1
2に示す様に、端子部15,16の対向する2辺が他の
辺よりも長く形成されている点である。すなわち図12
において、斜線部が図9に示す端子部15,16よりも
長くなっている部分を外部接触部700としている。
The inductance element shown in FIG.
As shown in FIG. 2, two opposite sides of the terminal portions 15 and 16 are formed longer than the other sides. That is, FIG.
In FIG. 7, the portions where the hatched portions are longer than the terminal portions 15 and 16 shown in FIG.

【0088】また、保護材14を端子部15,16上に
設け、外部接触部700上のみが保護材14が形成され
ていない点である。
Further, the protection member 14 is provided on the terminal portions 15 and 16, and only the external contact portion 700 is not formed with the protection member 14.

【0089】この様な構成によると、インダクタンス素
子を実装する際に方向性が存在することになるが、保護
材14を広く設けることができるので、素子の耐候性等
を向上させることができる。
According to such a configuration, directionality exists when the inductance element is mounted. However, since the protection member 14 can be provided widely, the weather resistance of the element can be improved.

【0090】なお、本実施の形態は、インダクタンス素
子について説明したが、絶縁材料によって構成された基
台の上に導電膜を形成する電子部品でも同様な効果を得
ることができる。
Although the present embodiment has been described with reference to an inductance element, the same effect can be obtained with an electronic component in which a conductive film is formed on a base made of an insulating material.

【0091】図13及び図14はそれぞれ本発明の一実
施の形態における無線端末装置を示す斜視図及びブロッ
ク図である。図13及び図14において、29は音声を
音声信号に変換するマイク、30は音声信号を音声に変
換するスピーカー、31はダイヤルボタン等から構成さ
れる操作部、32は着信等を表示する表示部、33はア
ンテナ、34はマイク29からの音声信号を復調して送
信信号に変換する送信部で、送信部34で作製された送
信信号は、アンテナを通して外部に放出される。35は
アンテナで受信した受信信号を音声信号に変換する受信
部で、受信部35で作成された音声信号はスピーカー3
0にて音声に変換される。36は送信部34,受信部3
5,操作部31,表示部32を制御する制御部である。
FIGS. 13 and 14 are a perspective view and a block diagram, respectively, showing a wireless terminal device according to an embodiment of the present invention. 13 and 14, reference numeral 29 denotes a microphone for converting a voice into a voice signal, 30 denotes a speaker for converting a voice signal into a voice, 31 denotes an operation unit including dial buttons and the like, and 32 denotes a display unit for displaying an incoming call and the like. 33, an antenna; and 34, a transmitting unit for demodulating an audio signal from the microphone 29 and converting it into a transmission signal. The transmission signal produced by the transmission unit 34 is emitted to the outside through the antenna. A receiving unit 35 converts a received signal received by the antenna into an audio signal, and the audio signal created by the receiving unit 35 is transmitted to the speaker 3.
At 0, it is converted to voice. 36 is a transmitting unit 34 and a receiving unit 3
5, a control unit for controlling the operation unit 31 and the display unit 32;

【0092】以下その動作の一例について説明する。先
ず、着信があった場合には、受信部35から制御部36
に着信信号を送出し、制御部36は、その着信信号に基
づいて、表示部32に所定のキャラクタ等を表示させ、
更に操作部31から着信を受ける旨のボタン等が押され
ると、信号が制御部36に送出されて、制御部36は、
着信モードに各部を設定する。即ちアンテナ33で受信
した信号は、受信部35で音声信号に変換され、音声信
号はスピーカー30から音声として出力されると共に、
マイク29から入力された音声は、音声信号に変換さ
れ、送信部34を介し、アンテナ33を通して外部に送
出される。
Hereinafter, an example of the operation will be described. First, when there is an incoming call, the receiving unit 35 sends the
The control unit 36 displays a predetermined character or the like on the display unit 32 based on the incoming signal,
Further, when a button or the like for receiving an incoming call is pressed from the operation unit 31, a signal is sent to the control unit 36, and the control unit 36
Set each part to the incoming call mode. That is, the signal received by the antenna 33 is converted into an audio signal by the receiving unit 35, and the audio signal is output from the speaker 30 as audio.
The voice input from the microphone 29 is converted into a voice signal, and is transmitted to the outside via the transmitting unit 34 and the antenna 33.

【0093】次に、発信する場合について説明する。ま
ず、発信する場合には、操作部31から発信する旨の信
号が、制御部36に入力される。続いて電話番号に相当
する信号が操作部31から制御部36に送られてくる
と、制御部36は送信部34を介して、電話番号に対応
する信号をアンテナ33から送出する。その送出信号に
よって、相手方との通信が確立されたら、その旨の信号
がアンテナ33を介し受信部35を通して制御部36に
送られると、制御部36は発信モードに各部を設定す
る。即ちアンテナ33で受信した信号は、受信部35で
音声信号に変換され、音声信号はスピーカー30から音
声として出力されると共に、マイク29から入力された
音声は、音声信号に変換され、送信部34を介し、アン
テナ33を通して外部に送出される。
Next, the case of transmitting a call will be described. First, when transmitting a signal, a signal indicating that the signal is transmitted from the operation unit 31 is input to the control unit 36. Subsequently, when a signal corresponding to the telephone number is transmitted from the operation unit 31 to the control unit 36, the control unit 36 transmits a signal corresponding to the telephone number from the antenna 33 via the transmission unit 34. When communication with the other party is established by the transmission signal, a signal to that effect is sent to the control unit 36 through the reception unit 35 via the antenna 33, and the control unit 36 sets each unit to the transmission mode. That is, the signal received by the antenna 33 is converted into an audio signal by the receiving unit 35, the audio signal is output as audio from the speaker 30, and the audio input from the microphone 29 is converted into an audio signal, Through the antenna 33 to the outside.

【0094】なお、本実施の形態では、音声を送信受信
した例を示したが、音声に限らず、文字データ等の音声
以外のデータの送信もしくは受信の少なくとも一方を行
う装置についても同様な効果を得ることができる。
In the present embodiment, an example in which voice is transmitted and received has been described. However, the present invention is not limited to voice, and a similar effect can be obtained for a device that transmits or receives data other than voice such as character data. Can be obtained.

【0095】上記で説明したインダクタンス素子(図1
〜図12に示すもの)は、発信回路,フィルタ回路,ア
ンテナ部及び各段とのマッチング回路周辺部等の高いQ
を必要とする箇所の少なくとも一つに用いられ、その数
は、一つの無線端末装置に数個〜40個程度用いられて
いる。上述の様なインダクタンス素子を用いることによ
って、装置内部の基板等を小型化でき、しかもQ値が高
いので、損失が非常に小さくなるので、電力の削減を行
うことができ、長時間の動作を行うことができる。
The inductance element described above (FIG. 1)
12 to FIG. 12) have high Q values such as a transmitting circuit, a filter circuit, an antenna section, and a peripheral section of a matching circuit with each stage.
Are used in at least one of the locations that require the same, and the number is about several to forty in one wireless terminal device. By using the inductance element as described above, the size of the substrate and the like inside the device can be reduced, and the Q value is high, so that the loss becomes very small, so that the power can be reduced and the operation for a long time can be performed. It can be carried out.

【0096】[0096]

【発明の効果】本発明は、基台の上に導電膜を形成し、
その導電膜に溝を形成してインダクタンス成分を形成
し、その後に、基台の両端にシート状あるいは板状の端
子部を設けた事によって、生産性が向上し、小型で高い
Q値を得ることができる。
According to the present invention, a conductive film is formed on a base,
A groove is formed in the conductive film to form an inductance component, and thereafter, a sheet-shaped or plate-shaped terminal portion is provided at both ends of the base, so that productivity is improved, and a small and high Q value is obtained. be able to.

【0097】また、無線端末装置において、上記インダ
クタンス素子を搭載したことによって、装置内部の基板
等を小型化でき、しかもQ値が高いので、損失が非常に
小さくなるので、電力の削減を行うことができ、長時間
の動作を行うことができる。
Also, by mounting the above-described inductance element in the wireless terminal device, it is possible to reduce the size of the substrate and the like inside the device, and furthermore, since the Q value is high, the loss is very small, so that the power can be reduced. And a long-time operation can be performed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施の形態におけるインダクタンス
素子を示す斜視図
FIG. 1 is a perspective view showing an inductance element according to an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の一実施の形態におけるインダクタンス
素子を示す側断面図
FIG. 2 is a side sectional view showing an inductance element according to an embodiment of the present invention.

【図3】本発明の一実施の形態におけるインダクタンス
素子に用いられる基台の斜視図
FIG. 3 is a perspective view of a base used for the inductance element according to the embodiment of the present invention;

【図4】本発明の一実施の形態におけるインダクタンス
素子に用いられる基台の表面粗さと剥がれ発生率を示し
たグラフ
FIG. 4 is a graph showing the surface roughness and the rate of occurrence of peeling of a base used for an inductance element according to an embodiment of the present invention.

【図5】本発明の一実施の形態におけるインダクタンス
素子に用いられる基台の表面粗さに対する周波数とQ値
の関係を示すグラフ
FIG. 5 is a graph showing a relationship between a frequency and a Q value with respect to a surface roughness of a base used for an inductance element according to an embodiment of the present invention.

【図6】本発明の一実施の形態におけるインダクタンス
素子に用いられる導電膜の表面粗さに対する周波数とQ
値の関係を示すグラフ
FIG. 6 shows a relationship between the frequency and Q with respect to the surface roughness of a conductive film used for an inductance element according to an embodiment of the present invention.
Graph showing value relationships

【図7】本発明の一実施の形態におけるインダクタンス
素子の保護材を設けた部分の拡大断面図
FIG. 7 is an enlarged sectional view of a portion provided with a protective material for an inductance element according to an embodiment of the present invention.

【図8】本発明の一実施の形態におけるインダクタンス
素子の保護材を設ける工程を示した図
FIG. 8 is a view showing a step of providing a protective material for an inductance element in one embodiment of the present invention.

【図9】本発明の一実施の形態におけるインダクタンス
素子の端子部の正面図
FIG. 9 is a front view of a terminal portion of the inductance element according to the embodiment of the present invention.

【図10】マンハッタン現象を示す図FIG. 10 is a diagram showing the Manhattan phenomenon.

【図11】本発明の第2の実施の形態におけるインダク
タンス素子の側面図
FIG. 11 is a side view of the inductance element according to the second embodiment of the present invention.

【図12】本発明の第2の実施の形態におけるインダク
タンス素子の端子部の正面図
FIG. 12 is a front view of a terminal portion of an inductance element according to a second embodiment of the present invention.

【図13】本発明の一実施の形態における無線端末装置
を示す斜視図
FIG. 13 is a perspective view showing a wireless terminal device according to one embodiment of the present invention;

【図14】本発明の一実施の形態における無線端末装置
を示すブロック図
FIG. 14 is a block diagram showing a wireless terminal device according to an embodiment of the present invention;

【図15】従来のインダクタンス素子を示す側面図FIG. 15 is a side view showing a conventional inductance element.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11 基台 12 導電膜 13 溝 14 保護材 15,16 端子部 30 スピーカー 31 操作部 32 表示部 33 アンテナ 34 送信部 35 受信部 36 制御部 700 外部接触部 Reference Signs List 11 base 12 conductive film 13 groove 14 protective material 15, 16 terminal unit 30 speaker 31 operation unit 32 display unit 33 antenna 34 transmission unit 35 reception unit 36 control unit 700 external contact unit

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 磯▲さき▼ 賢蔵 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Inventor Iso ▲ Saki ▼ Kenzo 1006, Oaza Kadoma, Kadoma City, Osaka Matsushita Electric Industrial Co., Ltd.

Claims (15)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】基台と、前記基台上に設けられた導電膜
と、前記導電膜に設けられた溝と、前記基台を挟むよう
に前記基台の端面に取り付けられた一対の端子部と、前
記基台上に設けられた保護材とを備え、前記端子部とし
て、導電性の板状体かもしくはシート状体を用いるとと
もに、前記端子部にて前記基台と前記保護材を挟み込ん
だ事を特徴とするインダクタンス素子。
1. A base, a conductive film provided on the base, a groove provided in the conductive film, and a pair of terminals mounted on an end face of the base so as to sandwich the base. And a protective material provided on the base, and a conductive plate or sheet is used as the terminal, and the base and the protective material are used at the terminal. An inductance element characterized by being sandwiched.
【請求項2】基台の端子部との接合部位は、基台の端面
のみであることを特徴とする請求項1記載のインダクタ
ンス素子。
2. The inductance element according to claim 1, wherein a joint portion of the base with the terminal portion is only an end face of the base.
【請求項3】溝を覆う保護材を電着膜とした事を特徴と
する請求項1,2いずれか1記載のインダクタンス素
子。
3. The inductance element according to claim 1, wherein the protective material covering the groove is an electrodeposition film.
【請求項4】端子部の面積よりも基台の断面積を小さく
するとともに、前記端子部の外端部と基台の表面との間
に隙間を設けた事を特徴とする請求項1〜3いずれか1
記載のインダクタンス素子。
4. The base according to claim 1, wherein a cross-sectional area of the base is smaller than an area of the terminal, and a gap is provided between an outer end of the terminal and a surface of the base. One of three
The inductance element described.
【請求項5】隙間に保護材を設けたことを特徴とする請
求項4記載のインダクタンス素子。
5. The inductance element according to claim 4, wherein a protective material is provided in the gap.
【請求項6】端子部の厚さの最低限度を0.08mm以
上とすることを特徴とする請求項1〜5いずれか1記載
のインダクタンス素子。
6. The inductance element according to claim 1, wherein the minimum thickness of the terminal portion is 0.08 mm or more.
【請求項7】端子部に他の部分よりも突出した外部接触
部を設け、前記外部接触部以外を保護材で覆ったことを
特徴とする請求項1〜6記載のインダクタンス素子。
7. The inductance element according to claim 1, wherein an external contact portion protruding from other portions is provided on the terminal portion, and a portion other than the external contact portion is covered with a protective material.
【請求項8】基台を角柱状とし、端子部を方形板状とし
た事を特徴とする請求項1〜7いずれか1記載のインダ
クタンス素子。
8. The inductance element according to claim 1, wherein the base has a prismatic shape, and the terminal portion has a rectangular plate shape.
【請求項9】導電膜の表面粗さを1μm以下としたこと
を特徴とする請求項1〜8いずれか1記載のインダクタ
ンス素子。
9. The inductance element according to claim 1, wherein the surface roughness of the conductive film is 1 μm or less.
【請求項10】基台の表面粗さを0.5μm以下とした
ことを特徴とする請求項1〜8いずれか1記載のインダ
クタンス素子。
10. The inductance element according to claim 1, wherein the surface roughness of the base is 0.5 μm or less.
【請求項11】長さL1,幅L2,高さL3としたとき
に、 L1=0.5〜2.1mm L2=0.2〜1.5mm L3=0.2〜1.5mm のサイズを有する事を特徴とする請求項1〜8いずれか
1記載のインダクタンス素子。
11. When a length L1, a width L2, and a height L3 are set, a size of L1 = 0.5 to 2.1 mm L2 = 0.2 to 1.5 mm L3 = 0.2 to 1.5 mm The inductance element according to claim 1, wherein the inductance element has:
【請求項12】断面略正方形状の角柱状体をなす基台
と、前記基台上に設けられた導電膜と、前記導電膜に設
けられ、前記基台の側面に設けられたスパイラル状の溝
と、前記基台の両端面にそれぞれ設けられた方形状の一
対の端子部と、前記溝を覆うように前記基台の側面に設
けられた保護材とを備え、前記端子部は板状体もしくは
シート状体で構成され、前記基台の端面上のみに設けた
ことを特徴とするインダクタンス素子。
12. A base having a prismatic body having a substantially square cross section, a conductive film provided on the base, and a spiral-shaped provided on the conductive film and provided on a side surface of the base. A groove, a pair of square terminal portions provided on both end surfaces of the base, and a protective material provided on a side surface of the base so as to cover the groove, wherein the terminal portion has a plate shape. An inductance element comprising a body or a sheet-like body and provided only on an end face of the base.
【請求項13】柱状の基台を作製し、前記基台上に導電
膜を形成し、前記導電膜の一部を取り除くように前記基
台に溝を形成し、前記基台の両端に板状体かもしくはシ
ート状体の端子部を貼り付け、その後に少なくとも前記
溝を覆うように保護材を設けた事を特徴とするインダク
タンス素子の製造方法。
13. A columnar base is formed, a conductive film is formed on the base, a groove is formed in the base so as to remove a part of the conductive film, and plates are formed at both ends of the base. A method of manufacturing an inductance element, comprising attaching a terminal portion of a shape or a sheet, and thereafter providing a protective material so as to cover at least the groove.
【請求項14】保護材を電着法による電着膜とした事を
特徴とする請求項13記載のインダクタンス素子の製造
方法。
14. The method according to claim 13, wherein the protective material is an electrodeposition film formed by an electrodeposition method.
【請求項15】表示手段と、データ信号もしくは音声信
号の少なくとも一方を送信信号に変換するか受信信号を
データ信号もしくは音声信号の少なくとも一方に変換す
る変換手段と、前記送信信号及び前記受信信号を送受信
するアンテナと、各部を制御する制御手段を備えた無線
端末装置であって、発信回路,フィルタ回路,アンテナ
部及び各段とのマッチング回路周辺部等の少なくとも一
つに請求項1〜12いずれか1記載のインダクタンス素
子を用いたことを特徴とする無線端末装置。
15. A display means, conversion means for converting at least one of a data signal and an audio signal into a transmission signal or converting a reception signal into at least one of a data signal and an audio signal, and converting the transmission signal and the reception signal. 13. A wireless terminal device comprising an antenna for transmitting and receiving and control means for controlling each part, wherein at least one of a transmitting circuit, a filter circuit, an antenna part and a peripheral part of a matching circuit for each stage is provided. A wireless terminal device using the inductance element according to claim 1.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2001294815A (en) * 2000-04-13 2001-10-23 Jsr Corp Aqueous dispersion for forming low-dielectric constant insulation film, the resultant low-dielectric constant insulation film, and electronic component
US6621378B2 (en) 2000-06-15 2003-09-16 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Filter
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001185425A (en) * 1999-12-24 2001-07-06 Matsushita Electric Ind Co Ltd Electronic parts manufacturing method and radio terminal device
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