JP3283838B2 - Electronic component, manufacturing method, and wireless terminal device - Google Patents

Electronic component, manufacturing method, and wireless terminal device

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JP3283838B2
JP3283838B2 JP36709198A JP36709198A JP3283838B2 JP 3283838 B2 JP3283838 B2 JP 3283838B2 JP 36709198 A JP36709198 A JP 36709198A JP 36709198 A JP36709198 A JP 36709198A JP 3283838 B2 JP3283838 B2 JP 3283838B2
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film
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、移動体通信などの
電子機器に用いられ、特に高周波回路等に好適に用いら
れる電子部品及び無線端末装置に関するものである。特
に、絶縁性の基体上に導電膜を設けたインダクタンス素
子及び無線端末装置に関するものである。
The present invention relates are used in electronic devices such as mobile communications, and in particular an electronic component及beauty no line terminal device suitably used for a high frequency circuit or the like. In particular, an inductance element in which a conductive film is provided on an insulating substrate.
It relates child及 beauty wireless terminal.

【0002】[0002]

【従来の技術】図14は従来のインダクタンス素子を示
す側面図である。図14において、1は四角柱状また
は、円柱状の基台、2は基台1の上に形成された導電
膜、3は導電膜2に設けられた溝、4は導電膜3の上に
積層された保護材である。
2. Description of the Related Art FIG. 14 is a side view showing a conventional inductance element. In FIG. 14, reference numeral 1 denotes a square or cylindrical base, 2 denotes a conductive film formed on the base 1, 3 denotes a groove provided in the conductive film 2, and 4 denotes a stacked layer on the conductive film 3. Protected material.

【0003】この様な電子部品は、溝3の間隔などを調
整することによって、所定の特性に調整する。
[0003] Such electronic components are adjusted to predetermined characteristics by adjusting the interval between the grooves 3 and the like.

【0004】先行例としては、特開平7−307201
号公報,特開平7−297033号公報,特開平5−1
29133号公報,特開平1−238003号公報,実
開昭57−117636号公報,特開平5−29925
0号公報,特開平7−297033号公報等がある。
A prior example is disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-307201.
JP, JP-A-7-297033, JP-A-5-1
JP-A-29133, JP-A-1-238003, JP-A-57-117636, JP-A-5-29925
No. 0, Japanese Unexamined Patent Publication No. 7-297033, and the like.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながらますます
素子の小型化を行っていくと、素子立ち現象(マンハッ
タン現象)の発生の問題や生産性の問題等が生じてく
る。
However, as the size of the device is further reduced, the problem of the device standing phenomenon (Manhattan phenomenon) and the problem of productivity arise.

【0006】本発明は、上記従来の課題を解決するもの
で、生産性が良いか、素子立ち現象の発生を抑制の少な
くとも一方が実現可能な電子部品及び無線端末装置を提
供することを目的とする。
[0006] The present invention is intended to solve the conventional problems described above, or productivity is good, providing at least one electronic component及beauty no line terminal device capable of realizing suppression of the occurrence of the element falling phenomenon Aim.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明は、底面が略正方
形状の直方体に面取りを施した基台の全面に導電膜を形
成し、その導電膜に溝を形成し、基台の両端部に端子
を形成し、溝を覆うように電着膜で構成された保護材を
設け、長さL1,幅L2,高さL3としたときに、 L1=0.5〜1.1mm L2=0.2〜0.6mm L3=0.2〜0.6mm のサイズを有した電子部品であって、端子部の厚さP
1,P2それぞれを導電膜の厚さの1.5〜7倍とし、
更には端子部の一部を保護材の上に設け、更に基台の端
面上に設けられた導電膜の表面と保護材の端部をほぼ一
致させるか或いは基台の端面上に設けられた導電膜の表
面に対して保護材の端部が多少内側に位置するように保
護材を設けた。
According to the present invention , a conductive film is formed on the entire surface of a base having a rectangular parallelepiped with a substantially square bottom, and a groove is formed in the conductive film. when the terminal unit <br/> is formed, a protective material which is constituted by an electrodeposition film so as to cover the groove is provided, the length L1, a width L2, and the height L3 to, L1 = 0.5 to 1 .1 mm L2 = 0.2 to 0.6 mm L3 = 0.2 to 0.6 mm
1 and P2 are each 1.5 to 7 times the thickness of the conductive film,
Furthermore provided a part of the terminal portion on the protective member, further the end of the base
The surface of the conductive film provided on the surface is almost
Table of conductive film to be matched or provided on the end face of base
Keep the edge of the protective material slightly inward with respect to the surface.
Protective materials were provided .

【0008】[0008]

【発明の実施の形態】請求項1記載の発明は、底面を略
正方形状とした直方体に面取りを施した基台の全面に導
電膜を設け、前記導電膜に溝を設け、前記基台を挟むよ
うに前記基台の端面に取り付けられた一対の端子部を設
、前記導電膜上に設けられ電着膜で構成された保護材
とを設け、長さL1,幅L2,高さL3としたときに、 L1=0.5〜1.1mm L2=0.2〜0.6mm L3=0.2〜0.6mm のサイズを有し、前記端子部の厚さを前記導電膜の厚さ
よりも1.5〜7倍厚くするとともに、前記端子部の一
部を前記基台の側面上に形成された前記保護材上に設
、更に前記基台の端面上に設けられた導電膜の表面と
前記保護材の端部をほぼ一致させるか或いは前記基台の
端面上に設けられた導電膜の表面に対して前記保護材の
端部が多少内側に位置するように保護材を設けたことを
特徴とする電子部品とすることによって、端子部を突出
させることが容易になるので、生産性が向上すると共に
素子立ち現象の発生を抑制でき、回路基板などとの接合
性を向上させることができる。更に、底面が略正方形状
の直方体に面取りした基台を用いることによって、簡単
な構成で、しかも素子の転がりを抑制できるので、コス
ト面で非常に有利になると共に、基台の作製が容易にな
り、生産性が向上し、しかも実装性も向上する。更に、
電子部品のサイズを規定することによって、小型で、し
かも素子折れ等が発生に難いので、実装性にも優れ、し
かも非常に小さな回路基板を構成できる。また、保護材
を電着膜で構成することによって、薄くしかも確実な素
子の保護を行うことができ、しかも一度に沢山の素子に
保護材を形成できるので、生産性が向上する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The invention according to claim 1 is directed to the entire surface of a base in which a rectangular parallelepiped having a substantially square bottom surface is chamfered.
Provided electroconductive film, the groove is provided on the conductive film, setting a pair of terminal portions attached to the end face of the base so as to sandwich the base
Only, the conductive provided a protective constituted by provided electrodeposition film material onto the film, when the length L1, width L2, the height L3, L1 = 0.5~1.1mm L2 = 0 . 2 to 0.6 mm L3 = 0.2 to 0.6 mm, the thickness of the terminal portion is 1.5 to 7 times thicker than the thickness of the conductive film, and a part of the terminal portion. Is provided on the protective material formed on the side surface of the base, and the surface of the conductive film provided on the end surface of the base.
Make the ends of the protective material substantially coincide with each other or
Of the protective material with respect to the surface of the conductive film provided on the end face.
Make sure that the protective material is provided so that the end is located
By making the electronic component a feature, it becomes easy to protrude the terminal portion, so that productivity can be improved, occurrence of an element standing phenomenon can be suppressed, and bondability with a circuit board or the like can be improved. . Furthermore, by using a base chamfered into a rectangular parallelepiped with a substantially square bottom surface, the rolling of the element can be suppressed with a simple configuration, so that it is very advantageous in terms of cost and the base can be easily manufactured. As a result, the productivity is improved, and the mountability is also improved. Furthermore,
By defining the size of the electronic component, it is possible to configure a circuit board that is small and hard to cause element breakage or the like, has excellent mountability, and is very small. Further, by forming the protective material from the electrodeposited film, it is possible to protect the element thinly and surely, and moreover, it is possible to form the protective material on many elements at once, thereby improving the productivity.

【0009】[0009]

【0010】請求項記載の発明は、請求項1,2にお
いて、端子部の厚さP1,P2それぞれを30μm〜1
40μmとしたことによって、素子立ち現象の発生を抑
制できる。
According to a second aspect of the present invention, in each of the first and second aspects, each of the terminal portions has a thickness P1 and P2 of 30 μm to 1 μm.
By setting the thickness to 40 μm, the occurrence of an element standing phenomenon can be suppressed.

【0011】[0011]

【0012】請求項記載の発明は、請求項におい
て、端子部の保護材表面からの突出量P3,P4それぞ
れを20μm〜120μmとした事によって、更に、素
子立ち現象を抑えることができ、しかも回路基板などと
の接合性を向上させることができる。
According to a third aspect of the present invention, in the first aspect , the protrusions P3 and P4 of the terminal portions from the surface of the protective material are each set to 20 μm to 120 μm, thereby further suppressing the element standing phenomenon. In addition, the bondability with a circuit board or the like can be improved.

【0013】請求項記載の発明は、請求項におい
て、基台の側面に露出した端子部の長さP5,P6それ
ぞれを30μm〜100μmとしたことによって、更
に、素子立ち現象を抑えることができ、しかも回路基板
などとの接合性を向上させることができる。
According to a fourth aspect of the present invention, in the first aspect, the lengths P5 and P6 of the terminal portions exposed on the side surfaces of the base are set to 30 μm to 100 μm, respectively, thereby further suppressing the phenomenon of standing up of the element. It is possible to improve the bonding property with a circuit board or the like.

【0014】請求項記載の発明は、請求項1〜にお
いて、端子部を導電膜上に端子膜を積層した構成とした
事によって、簡単な構成で、端子部を容易に突出させる
事ができるので、生産性が向上するとともに、素子立ち
現象を抑えることができる。
According to a fifth aspect of the present invention, in the first to fourth aspects, the terminal portion is formed by laminating a terminal film on a conductive film, so that the terminal portion can be easily projected with a simple configuration. As a result, the productivity can be improved and the phenomenon of standing up of the element can be suppressed.

【0015】請求項記載の発明は、請求項におい
て、端子膜上に耐食膜か接合膜の少なくとも一つを設け
た事によって、耐食性を向上させることができるか、回
路基板などとの接合性を向上させる事ができる。
According to a sixth aspect of the present invention, in the fifth aspect , at least one of a corrosion-resistant film and a bonding film is provided on the terminal film so that the corrosion resistance can be improved. Performance can be improved.

【0016】[0016]

【0017】[0017]

【0018】[0018]

【0019】請求項記載の発明は、請求項1〜6にお
いて、端子部の全部或いは少なくとも一部をメッキ法に
て形成したことによって、成膜時間などを調整すること
によって、容易に所望の突出量を確保できるので、生産
性が良くなる。
[0019] According to a seventh aspect, our in claims 1-6
In addition, since all or at least a part of the terminal portion is formed by the plating method, a desired amount of protrusion can be easily secured by adjusting a film forming time and the like, so that productivity is improved.

【0020】[0020]

【0021】[0021]

【0022】請求項記載の発明は、請求項1〜にお
いて、導電膜と溝によって、インダクタンス成分を形成
することによって、構成が簡単でしかも素子立ちの発生
しにくい、インダクタンス素子を提供できる。
According to an eighth aspect of the present invention, in accordance with the first to seventh aspects, by forming an inductance component by using the conductive film and the groove, it is possible to provide an inductance element having a simple structure and in which the element is unlikely to stand up.

【0023】[0023]

【0024】[0024]

【0025】請求項記載の発明は、表示手段と、デー
タ信号もしくは音声信号の少なくとも一方を送信信号に
変換するか受信信号をデータ信号もしくは音声信号の少
なくとも一方に変換する変換手段と、前記送信信号及び
前記受信信号を送受信するアンテナと、各部を制御する
制御手段を備えた無線端末装置であって、発信回路,フ
ィルタ回路,アンテナ部及び各段とのマッチング回路周
辺部等の少なくとも一つに請求項1〜いずれか1記載
の電子部品を用いたことによって、素子立ち現象を抑え
ることができる電子部品を搭載したので、不良率が非常
に小さくなり、生産性が向上すると共に、非常に小型の
装置を得ることができる。
According to a ninth aspect of the present invention, there is provided a display unit, a conversion unit for converting at least one of a data signal and a voice signal into a transmission signal or a reception signal into at least one of a data signal and a voice signal, An antenna for transmitting and receiving a signal and the reception signal, and a control unit for controlling each unit, wherein at least one of a transmission circuit, a filter circuit, an antenna unit, a peripheral circuit of a matching circuit with each stage, and the like are provided. By using the electronic component according to any one of claims 1 to 8, an electronic component capable of suppressing the element standing phenomenon is mounted. Therefore, the defect rate is extremely reduced, and the productivity is improved. A small device can be obtained.

【0026】以下、本発明における電子部品及び製造方
法及び無線端末装置の実施の形態についてインダクタン
ス素子を例に挙げて具体的に説明する。
Hereinafter, embodiments of an electronic component, a manufacturing method, and a wireless terminal device according to the present invention will be specifically described with reference to an inductance element as an example.

【0027】図1,図2はそれぞれ本発明の一実施の形
態における電子部品の一例として挙げたインダクタンス
素子を示す斜視図及び側断面図である。
FIGS. 1 and 2 are a perspective view and a side sectional view showing an inductance element as an example of an electronic component according to an embodiment of the present invention.

【0028】図1において、11は絶縁材料などをプレ
ス加工,押し出し法等を施して構成されている基台、1
2は基台11の上に設けられている導電膜で、導電膜1
2は、メッキ法やスパッタリング法等の蒸着法等によっ
て基台11上に形成される。
In FIG. 1, reference numeral 11 denotes a base which is formed by subjecting an insulating material or the like to press working, extrusion, or the like.
Reference numeral 2 denotes a conductive film provided on the base 11.
2 is formed on the base 11 by an evaporation method such as a plating method or a sputtering method.

【0029】13は基台11及び導電膜12に設けられ
た溝で、溝13は、レーザ光線等を導電膜12に照射す
ることによって形成したり、導電膜12に砥石等を当て
て機械的に形成されたり、レジストなどを用いた選択的
エッチングによって形成されている。
Reference numeral 13 denotes a groove provided in the base 11 and the conductive film 12. The groove 13 is formed by irradiating the conductive film 12 with a laser beam or the like, or mechanically by applying a grindstone or the like to the conductive film 12. Or by selective etching using a resist or the like.

【0030】14は基台11及び導電膜12の溝13を
設けた部分に塗布された保護材、15,16はそれぞれ
基台11の端面上(好ましくは端面上のみ)にそれぞれ
取り付けられた端子部で、端子部15と端子部16の間
には、基台11が挟み込まれている。すなわち、基台1
1における端子部15,16との接合部位は、基台11
の端面のみとなり、基台11の側面と端子部15,16
は非接触とすることが基本である。
Reference numeral 14 denotes a protective material applied to a portion of the base 11 and the conductive film 12 where the groove 13 is provided. Reference numerals 15 and 16 denote terminals respectively attached on the end face of the base 11 (preferably only on the end face). The base 11 is sandwiched between the terminal 15 and the terminal 16. That is, the base 1
1 is connected to the bases 11 and 16
Of the base 11 and the terminal portions 15 and 16
Is basically non-contact.

【0031】また、本実施の形態のインダクタンス素子
は、実用周波数帯域が1〜6GHzと高周波数域に対応
し、しかも非常に高いQ値(35以上)を有しており、
そのインダクタンス素子の長さL1,幅L2,高さL3
は以下の通りとなっていることが好ましい。
The inductance element according to the present embodiment has a practical frequency band of 1 to 6 GHz, corresponding to a high frequency range, and has a very high Q value (35 or more).
Length L1, width L2, height L3 of the inductance element
Is preferably as follows.

【0032】L1=0.5〜1.1mm(好ましくは
0.6〜1.0mm) L2=0.2〜0.6mm(好ましくは0.3〜0.5
mm) L3=0.2〜0.6mm(好ましくは0.3〜0.5
mm) (なお、L1,L2,L3のそれぞれの寸法誤差は0.
02mm以下が好ましい。) L1が0.5mm以下であると、必要とするインダクタ
ンスを得ることができきない。また、L1が1.1mm
を超えてしまうと、素子自体が大きくなってしまい、電
子回路等が形成された基板など(以下回路基板等と略
す)回路基板等の小型化ができず、ひいてはその回路基
板等を搭載した電子機器等の小型化を行うことができな
い。また、L2,L3それぞれが0.2mm以下である
と、素子自体の機械的強度が弱くなりすぎてしまい、実
装装置などで、回路基板等に実装する場合に、素子折れ
等が発生することがある。また、L2,L3が0.6m
m以上となると、素子が大きくなりすぎて、回路基板等
の小型化、ひいては装置の小型化を行うことができな
い。
L1 = 0.5-1.1 mm (preferably 0.6-1.0 mm) L2 = 0.2-0.6 mm (preferably 0.3-0.5 mm)
mm) L3 = 0.2 to 0.6 mm (preferably 0.3 to 0.5 mm)
(Note that the dimensional error of each of L1, L2, and L3 is 0.3 mm.)
It is preferably equal to or less than 02 mm. If L1 is less than 0.5 mm, the required inductance cannot be obtained. L1 is 1.1 mm
If it exceeds the limit, the element itself becomes large, and it is not possible to reduce the size of a circuit board or the like on which an electronic circuit or the like is formed (hereinafter abbreviated as a circuit board or the like). Equipment cannot be miniaturized. If each of L2 and L3 is 0.2 mm or less, the mechanical strength of the element itself becomes too weak, and the element may break when mounted on a circuit board or the like by a mounting apparatus or the like. is there. L2 and L3 are 0.6 m
If m is larger than m, the elements become too large, and it is not possible to reduce the size of the circuit board and the like and, consequently, the device.

【0033】以上の様に構成されたインダクタンス素子
について、以下各部の詳細な説明をする。
With respect to the inductance element configured as described above, each part will be described in detail below.

【0034】まず、基台11の形状について説明する。
基台11は角柱状もしくは円柱状とすることが好まし
く、図1,2に示す様に基台11を角柱状とすることに
よって、実装性を向上させることができ、素子の転がり
等を防止できる等の効果を有する。また、基台11を角
柱状とする中でも特に四角柱状とすることが非常に実装
性や、素子の回路基板上での位置決めを容易にする。な
お、更に好ましくは底面が正方形の直方体とすることが
更に実装性等を向上させることができる。更に、基台1
1を角柱状とすることによって構造が非常に簡単になる
ので、生産性がよく、しかもコスト面が非常に有利にな
る。
First, the shape of the base 11 will be described.
The base 11 is preferably formed in a prismatic or cylindrical shape. By forming the base 11 in a prismatic shape as shown in FIGS. 1 and 2, the mountability can be improved, and the rolling of the element can be prevented. And the like. In addition, among the rectangular bases, the base 11 is particularly preferably formed in a square pillar shape, which greatly facilitates the mounting and the positioning of the element on the circuit board. In addition, it is more preferable that the bottom surface is a rectangular parallelepiped having a square shape, so that the mountability and the like can be further improved. Furthermore, base 1
Since the structure is made very simple by making 1 a prismatic shape, productivity is good and cost is very advantageous.

【0035】また、基台11の形状を円柱状とすること
によって、後述するように基台11上に導電膜12を形
成し、その導電膜12にレーザ加工等によって溝を形成
する場合、その溝の深さなどを精度よく形成することが
でき、特性のばらつきを抑えることができる。
When the base 11 is formed in a cylindrical shape, a conductive film 12 is formed on the base 11 as described later, and when a groove is formed in the conductive film 12 by laser processing or the like, the The depth of the groove and the like can be formed with high accuracy, and variations in characteristics can be suppressed.

【0036】次に基台11の面取りについて図3を用い
て説明する。図3は本発明の一実施の形態における電子
部品の一例として挙げたインダクタンス素子に用いられ
る基台の斜視図である。
Next, chamfering of the base 11 will be described with reference to FIG. FIG. 3 is a perspective view of a base used for an inductance element as an example of an electronic component according to an embodiment of the present invention.

【0037】基台11の角部11b,11cには面取り
が施されており、その面取りした角部11b,11cの
それぞれの曲率半径R1及び角部11aの曲率半径R2
は以下の通りに形成されることが好ましい。
The corners 11b and 11c of the base 11 are chamfered, and the radius of curvature R1 of the chamfered corners 11b and 11c and the radius of curvature R2 of the corner 11a.
Is preferably formed as follows.

【0038】0.03<R1<0.15(mm) 0.01<R2(mm) R1が0.03mm以下であると、角部11b,11c
が尖った形状となっているので、ちょっとした衝撃など
によって角部11b,11cに欠けなどが生じることが
あり、その欠けによって、特性の劣化等が発生したりす
る。また、R1が0.15mm以上であると、角部11
b,11cが丸くなりすぎて、前述のマンハッタン現象
を起こしやすくなり、不具合が生じる。更にR2が0.
01mm以下であると、角部11aにバリなどが発生し
やすく、素子の特性を大きく左右する導電膜12の厚み
が角部11fと平坦な部分で大きく異なることがあり、
素子特性のばらつきが大きくなる。
0.03 <R1 <0.15 (mm) 0.01 <R2 (mm) If R1 is 0.03 mm or less, the corner portions 11b and 11c
Because of the sharp point, the corners 11b and 11c may be chipped by a slight impact or the like, and the chipping may cause deterioration of characteristics or the like. When R1 is 0.15 mm or more, the corner 11
Since b and 11c are too round, the above-mentioned Manhattan phenomenon is likely to occur, which causes a problem. Furthermore, when R2 is 0.
When the thickness is less than or equal to 01 mm, burrs and the like are likely to occur at the corners 11a, and the thickness of the conductive film 12, which largely affects the characteristics of the element, may be significantly different between the corners 11f and the flat portion,
Variation in element characteristics increases.

【0039】次に基台11の構成材料について説明す
る。基台11の構成材料として下記の特性を満足してお
くことが好ましい。
Next, the constituent materials of the base 11 will be described. It is preferable to satisfy the following characteristics as a constituent material of the base 11.

【0040】体積固有抵抗:1013Ωm以上(好ましく
は1014Ωm以上) 熱膨張係数:5×10-4/℃以下(好ましくは2×10
-5/℃以下)[20℃〜500℃における熱膨張係数] 比誘電率:1MHzにおいて12以下(好ましくは10
以下) 曲げ強度:1300kg/cm2以上(好ましくは20
00kg/cm2以上) 密度:2〜5g/cm3(好ましくは3〜4g/cm3) 基台11の構成材料が体積固有抵抗が1013Ωm以下で
あると、導電膜12とともに基台11にも所定に電流が
流れ始めるので、並列回路が形成された状態となり、自
己共振周波数f0及びQ値が低くなってしまい、高周波
用の素子としては不向きである。
Volume resistivity: 10 13 Ωm or more (preferably 10 14 Ωm or more) Thermal expansion coefficient: 5 × 10 −4 / ° C. or less (preferably 2 × 10
−5 / ° C. or less) [Coefficient of thermal expansion at 20 ° C. to 500 ° C.] Relative permittivity: 12 or less at 1 MHz (preferably 10
Bending strength: 1300 kg / cm 2 or more (preferably 20
Density: 2 to 5 g / cm 3 (preferably 3 to 4 g / cm 3 ) When the constituent material of the base 11 has a volume resistivity of 10 13 Ωm or less, the conductive material 12 and the base 11 Also, a current starts to flow in a predetermined manner, so that a parallel circuit is formed, and the self-resonant frequency f0 and the Q value decrease, which is not suitable for a high-frequency element.

【0041】また熱膨張係数が5×10-4/℃以上であ
ると、基台11にヒートショック等でクラックなどが入
ることがある。すなわち熱膨張係数が5×10-4/℃以
上であると、上述の様に溝13を形成する際にレーザ光
線や砥石等を用いるので、基台11が局部的に高温にな
り、基台11にクラックなどが生じることあるが、上述
の様な熱膨張係数を有することによって、大幅にクラッ
ク等の発生を抑止できる。
If the coefficient of thermal expansion is 5 × 10 −4 / ° C. or more, cracks may occur in the base 11 due to heat shock or the like. That is, when the thermal expansion coefficient is 5 × 10 −4 / ° C. or more, the base 11 is locally heated to a high temperature because a laser beam or a grindstone is used when forming the groove 13 as described above. Although cracks and the like may occur in 11, the occurrence of cracks and the like can be greatly suppressed by having the above-described coefficient of thermal expansion.

【0042】また、誘電率が1MHzにおいて12以上
であると、自己共振周波数f0及びQ値が低くなってし
まい、高周波用の素子としては不向きである。
If the dielectric constant is 12 or more at 1 MHz, the self-resonant frequency f0 and the Q value become low, which is not suitable for a high-frequency device.

【0043】曲げ強度が1300kg/cm2以下であ
ると、実装装置で回路基板等に実装する際に素子折れ等
が発生することがある。
If the bending strength is 1300 kg / cm 2 or less, the device may be broken when mounted on a circuit board or the like by a mounting apparatus.

【0044】密度が2g/cm3以下であると、基台1
1の吸水率が高くなり、基台11の特性が著しく劣化
し、素子としての特性が悪くなる。また密度が5g/c
3以上になると、基台の重量が重くなり、実装性など
に問題が発生する。特に密度を上述の範囲内に設定する
と、吸水率も小さく基台11への水の進入もほとんどな
く、しかも重量も軽くなり、チップマウンタなどで基板
に実装する際にも問題は発生しない。
When the density is 2 g / cm 3 or less, the base 1
1, the water absorption rate is increased, the characteristics of the base 11 are significantly deteriorated, and the characteristics as an element are deteriorated. The density is 5 g / c
If it exceeds m 3 , the weight of the base will be heavy, and there will be a problem in mountability and the like. In particular, when the density is set within the above range, the water absorption rate is small, water hardly enters the base 11, the weight is reduced, and no problem occurs when mounting on a substrate by a chip mounter or the like.

【0045】この様に基台11の体積固有抵抗,熱膨張
係数,誘電率,曲げ強度,密度を規定することによっ
て、自己共振周波数f0やQが低下しないので、高周波
用の素子として用いることができ、ヒートショック等で
基台11にクラック等が発生することを抑制できるの
で、不良率を低減することができ、更には、機械的強度
を向上させることができるので、実装装置などを用いて
回路基板等に実装できるので、生産性が向上する等の優
れた効果を得ることができる。
By defining the volume resistivity, the coefficient of thermal expansion, the dielectric constant, the bending strength, and the density of the base 11 in this manner, the self-resonant frequency f0 and Q do not decrease, so that the base 11 can be used as a high-frequency element. It is possible to suppress the occurrence of cracks or the like in the base 11 due to heat shock or the like, so that the defective rate can be reduced, and furthermore, the mechanical strength can be improved. Since it can be mounted on a circuit board or the like, excellent effects such as improvement in productivity can be obtained.

【0046】上記の諸特性を得る材料としては、アルミ
ナを主成分とするセラミック材料が挙げられる。しかし
ながら、単にアルミナを主成分とするセラミック材料を
用いても上記諸特性を得ることはできない。すなわち、
上記諸特性は、基台11を作製する際のプレス圧力や焼
成温度及び添加物によって異なるので、作製条件などを
適宜調整しなければならない。具体的な作製条件とし
て、基台11の加工時のプレス圧力を2〜5t,焼成温
度を1500〜1600℃,焼成時間1〜3時間等の条
件が挙げられる。また、アルミナ材料の具体的な材料と
しては、Al23が92重量%以上,SiO2が6重量
%以下,MgOが1.5重量%以下,Fe23が0.1
%以下,Na2Oが0.3重量%以下等が挙げられる。
As a material for obtaining the above-mentioned various properties, a ceramic material containing alumina as a main component can be mentioned. However, simply using a ceramic material mainly composed of alumina cannot obtain the above-mentioned characteristics. That is,
Since the above-mentioned various characteristics vary depending on the pressing pressure, the sintering temperature, and the additives at the time of producing the base 11, the production conditions and the like must be appropriately adjusted. Specific manufacturing conditions include a pressing pressure of 2 to 5 tons when processing the base 11, a firing temperature of 1500 to 1600 ° C., and a firing time of 1 to 3 hours. Specific examples of the alumina material include Al 2 O 3 of 92 wt% or more, SiO 2 of 6 wt% or less, MgO of 1.5 wt% or less, and Fe 2 O 3 of 0.1 wt% or less.
% Or less, and Na 2 O of 0.3% by weight or less.

【0047】また、基台11の構成材料として、フェラ
イト等の磁性材料で構成してもよい。基台11をフェラ
イト等の磁性材料で構成すると、高いインダクタンス
(大体18nH〜50nH)を有する素子を形成するこ
とができる。
The base 11 may be made of a magnetic material such as ferrite. When the base 11 is made of a magnetic material such as ferrite, an element having high inductance (about 18 nH to 50 nH) can be formed.

【0048】次に基台11の表面粗さについて説明す
る。なお、以下の説明で出てくる表面粗さとは、全て中
心線平均粗さを意味するものであり、導電膜12の説明
等に出てくる粗さも中心線平均粗さである。
Next, the surface roughness of the base 11 will be described. The surface roughness described below means the average roughness of the center line, and the roughness described in the description of the conductive film 12 is also the average roughness of the center line.

【0049】基台11の表面粗さは0.15〜0.5μ
m程度、好ましくは0.2〜0.3μm程度がよい。図
4は基台11の表面粗さと剥がれ発生率を示したグラフ
である。図4は下記に示すような実験の結果である。基
台11及び導電膜12はそれぞれアルミナ,銅で構成
し、基台11の表面粗さをいろいろ変えたサンプルを作
製し、その各サンプルの上に同じ条件で導電膜12を形
成した。それぞれのサンプルに超音波洗浄を行い、その
後に導電膜12の表面を観察して、導電膜12の剥がれ
の有無を測定した。基台11の表面粗さは、表面粗さ測
定器(東京精密サーフコム社製 574A)を用いて、
先端Rが5μmのものを用いた。この結果から判るよう
に平均表面粗さが0.15μm以下であると、基台11
の上に形成された導電膜12の剥がれの発生率が5%程
度であり、良好な基台11と導電膜12の接合強度を得
ることができる。更に、表面粗さが0.2μm以上であ
れば導電膜12の剥がれがほとんど発生していないの
で、できれば、基台11の表面粗さは0.2μm以上が
好ましい。導電膜12の剥がれは、素子の特性劣化の大
きな要因となるので、歩留まり等の面から発生率は5%
以下が好ましい。
The surface roughness of the base 11 is 0.15 to 0.5 μm
m, preferably about 0.2 to 0.3 μm. FIG. 4 is a graph showing the surface roughness of the base 11 and the rate of occurrence of peeling. FIG. 4 shows the results of an experiment as described below. The base 11 and the conductive film 12 were made of alumina and copper, respectively, and samples with various surface roughnesses of the base 11 were prepared, and the conductive film 12 was formed on each sample under the same conditions. Each sample was subjected to ultrasonic cleaning, and thereafter, the surface of the conductive film 12 was observed to determine whether or not the conductive film 12 was peeled. The surface roughness of the base 11 was measured using a surface roughness measuring device (574A, manufactured by Tokyo Seimitsu Surfcom).
The one having a tip R of 5 μm was used. As can be seen from this result, if the average surface roughness is 0.15 μm or less,
The rate of occurrence of peeling of the conductive film 12 formed thereon is about 5%, and good bonding strength between the base 11 and the conductive film 12 can be obtained. Further, if the surface roughness is 0.2 μm or more, peeling of the conductive film 12 hardly occurs. Therefore, if possible, the surface roughness of the base 11 is preferably 0.2 μm or more. Since the peeling of the conductive film 12 is a major factor in deterioration of the characteristics of the element, the rate of occurrence is 5% in terms of yield and the like.
The following is preferred.

【0050】図5は本発明の一実施の形態におけるイン
ダクタンス素子に用いられる基台の表面粗さに対する周
波数とQ値の関係を示すグラフである。図5は以下のよ
うな実験の結果である。まず、表面粗さが0.1μm以
下の基台11と、表面粗さが0.2〜0.3μmの基台
11と、表面粗さが0.5μm以上の基台11のそれぞ
れのサンプルを作製し、それぞれのサンプルに同じ材料
(銅)で同じ厚さの導電膜を形成した。そして、各サン
プルにおいて、所定の周波数FにおけるQ値を測定し
た。図5から判るように基台11の表面粗さが0.5μ
m以上であると、導電膜12の膜構造が悪くなることが
原因と考えられるQ値の低下が見られる。特に高周波領
域で顕著にQ値の劣化が見られる。また、自己共振周波
数f0(各線の極大値)も基台11の表面粗さが0.5
μmのものは、低周波側にシフトしている。従ってQ値
の面及び自己共振周波数f0の面から見れば基台11の
表面粗さは0.5μm以下とすることが好ましい。
FIG. 5 is a graph showing the relationship between the frequency and the Q value with respect to the surface roughness of the base used for the inductance element according to one embodiment of the present invention. FIG. 5 shows the results of the following experiment. First, each sample of the base 11 having a surface roughness of 0.1 μm or less, the base 11 having a surface roughness of 0.2 to 0.3 μm, and the base 11 having a surface roughness of 0.5 μm or more was prepared. Then, a conductive film having the same thickness and the same material (copper) was formed on each sample. Then, in each sample, the Q value at a predetermined frequency F was measured. As can be seen from FIG. 5, the surface roughness of the base 11 is 0.5 μm.
If it is more than m, a decrease in the Q value, which is considered to be caused by the deterioration of the film structure of the conductive film 12, is observed. Particularly in the high frequency region, the Q value is significantly deteriorated. Also, the self-resonant frequency f0 (maximum value of each line) has a surface roughness of 0.5
Those of μm are shifted to the lower frequency side. Therefore, the surface roughness of the base 11 is preferably 0.5 μm or less from the viewpoint of the Q value and the surface of the self-resonant frequency f0.

【0051】以上の様に、導電膜12と基台11との密
着強度,導電膜のQ値及び自己共振周波数f0の双方の
結果から判断すると、基台11の表面粗さは、0.15
μm〜0.5μmが好ましく、さらに好ましくは0.2
〜0.3μmが良い。
As described above, judging from the results of both the adhesion strength between the conductive film 12 and the base 11, the Q value of the conductive film, and the self-resonance frequency f0, the surface roughness of the base 11 is 0.15.
μm to 0.5 μm, more preferably 0.2 μm
0.30.3 μm is good.

【0052】なお、本実施の形態では、導電膜12と基
台11の接合強度を基台11の表面粗さを調整すること
によって、向上させたが、例えば、基台11と導電膜1
2の間にCr単体またはCrと他の金属の合金の少なく
とも一方で構成された中間層を設けることによって、表
面粗さを調整せずとも導電膜12と基台11の密着強度
を向上させることができる。もちろん基台11の表面粗
さを調整し、その上その基台11の上に中間層及び導電
膜12を積層する場合では、より強力な導電膜12と基
台11の密着強度を得ることができる。
In this embodiment, the bonding strength between the conductive film 12 and the base 11 is improved by adjusting the surface roughness of the base 11.
2 to improve the adhesion strength between the conductive film 12 and the base 11 without adjusting the surface roughness by providing an intermediate layer composed of Cr alone or an alloy of Cr and another metal. Can be. Of course, when the surface roughness of the base 11 is adjusted and the intermediate layer and the conductive film 12 are laminated on the base 11, it is possible to obtain a stronger adhesion strength between the conductive film 12 and the base 11. it can.

【0053】次に導電膜12について説明する。導電膜
12としては、800MHz以上の高周波信号に対して
Q値が35以上であり、しかも自己共振周波数が1〜6
GHz程度のものが好ましい。この様な特性の導電膜1
2を得るためには、材料及び製法等を選択しなければな
らない。
Next, the conductive film 12 will be described. The conductive film 12 has a Q value of 35 or more for a high-frequency signal of 800 MHz or more, and has a self-resonant frequency of 1 to 6
A frequency of about GHz is preferable. Conductive film 1 having such characteristics
In order to obtain 2, it is necessary to select a material and a manufacturing method.

【0054】以下具体的に導電膜12について説明す
る。導電膜12の構成材料としては、銅,銀,金,ニッ
ケルなどの導電材料が挙げられる。この銅,銀,金,ニ
ッケル等の材料には、耐候性等を向上させために所定の
元素を添加してもよい。また、導電材料と非金属材料等
の合金を用いてもよい。構成材料としてコスト面や耐食
性の面及び作り易さの面から銅及びその合金がよく用い
られる。導電膜12の材料として、銅等を用いる場合に
は、まず、基台11上に無電解メッキによって下地膜を
形成し、その下地膜の上に電解メッキにて所定の銅膜を
形成して導電膜12が形成される。更に、合金等で導電
膜12を形成する場合には、スパッタリング法や蒸着法
で構成することが好ましい。
Hereinafter, the conductive film 12 will be specifically described. Examples of a constituent material of the conductive film 12 include conductive materials such as copper, silver, gold, and nickel. A predetermined element may be added to the material such as copper, silver, gold, and nickel to improve weather resistance and the like. Alternatively, an alloy such as a conductive material and a nonmetallic material may be used. Copper and its alloys are often used as constituent materials in terms of cost, corrosion resistance, and ease of fabrication. When copper or the like is used as the material of the conductive film 12, first, a base film is formed on the base 11 by electroless plating, and a predetermined copper film is formed on the base film by electrolytic plating. The conductive film 12 is formed. Further, when the conductive film 12 is formed of an alloy or the like, it is preferable to form the conductive film 12 by a sputtering method or a vapor deposition method.

【0055】更に、本実施の形態の様に、導電膜12を
例えば銅などで構成し、その膜厚を厚くして自己発熱を
抑える場合、導電膜12に形成される溝13の幅K1と
溝13と溝13の間の導電膜12の幅K2は以下の関係
を有する事が好ましい。
Further, as in the present embodiment, when the conductive film 12 is made of, for example, copper or the like and the film thickness is increased to suppress self-heating, the width K1 of the groove 13 formed in the conductive film 12 is reduced. The width K2 of the conductive film 12 between the grooves 13 preferably has the following relationship.

【0056】20μm>K1>15μm 200μm>K2>100μm 特に前述の様に長さL1,幅L2,高さL3を、 L1=0.5〜2.1mm(好ましくは0.6〜1.6
mm) L2=0.2〜1.5mm(好ましくは0.3〜0.8
mm) L3=0.2〜1.5mm(好ましくは0.3〜0.8
mm) (なお、L1,L2,L3のそれぞれの寸法誤差は0.
02mm以下が好ましい。)としたインダクタンス素子
とした場合、上述のK1,K2は上述の範囲とすること
によって、電気抵抗を小さくすることができ、しかも導
電膜12に形成される溝13を精度良く形成することが
でき、更に導電膜12の膜厚を厚くした場合に確実に溝
13を形成することができる。
20 μm>K1> 15 μm 200 μm>K2> 100 μm In particular, as described above, the length L1, width L2, and height L3 are L1 = 0.5 to 2.1 mm (preferably 0.6 to 1.6).
mm) L2 = 0.2 to 1.5 mm (preferably 0.3 to 0.8)
mm) L3 = 0.2 to 1.5 mm (preferably 0.3 to 0.8)
(Note that the dimensional error of each of L1, L2, and L3 is 0.3 mm.)
It is preferably equal to or less than 02 mm. In the case of the inductance element described in (1), by setting the above K1 and K2 within the above ranges, the electric resistance can be reduced and the groove 13 formed in the conductive film 12 can be formed with high accuracy. In addition, when the thickness of the conductive film 12 is further increased, the groove 13 can be surely formed.

【0057】導電膜12は単層で構成してもよいが、多
層構造としてもよい。すなわち、構成材料の異なる導電
膜を複数積層して構成しても良い。例えば、基台11の
上に先ず銅膜を形成し、その上に耐候性の良い金属膜
(ニッケル等)を積層する事によって、やや耐候性に問
題がある銅の腐食を防止することができる。
The conductive film 12 may be composed of a single layer, but may have a multilayer structure. That is, a plurality of conductive films having different constituent materials may be stacked. For example, first, a copper film is formed on the base 11, and then a metal film having good weather resistance (such as nickel) is laminated thereon, so that corrosion of copper, which is somewhat problematic in weather resistance, can be prevented. .

【0058】導電膜12の形成方法としては、メッキ法
(電解メッキ法や無電解メッキ法など),スパッタリン
グ法,蒸着法等が挙げられる。この形成方法の中でも、
量産性がよく、しかも膜厚のばらつきが小さなメッキ法
がよく用いられる。
Examples of the method for forming the conductive film 12 include a plating method (such as an electrolytic plating method and an electroless plating method), a sputtering method, and a vapor deposition method. Among these forming methods,
A plating method with good mass productivity and small variations in film thickness is often used.

【0059】導電膜12の表面粗さは1μm以下が好ま
しく、更に好ましくは0.2μm以下が好ましい。導電
膜12の表面粗さが1μmを超えると、表皮効果によっ
て高周波でのQ値が低下する。図6は本発明の一実施の
形態における電子部品の一例として挙げたインダクタン
ス素子に用いられる導電膜の表面粗さに対する周波数と
Q値の関係を示すグラフである。図6は下記の様な実験
を通して導き出された。まず、同じ大きさ同じ材料同じ
表面粗さで構成された基台11の上に銅を構成材料とす
る導電膜12の表面粗さを変えて形成し、それぞれのサ
ンプルにて各周波数におけるQ値を測定した。図6から
判るように、導電膜12の表面粗さが1μm以上であれ
ば高周波領域におけるQ値が低くなっていることが判
る。更に導電膜12の表面粗さが0.2μm以下であれ
ば特に高周波領域におけるQ値が、非常に高くなってい
ることがわかる。
The surface roughness of the conductive film 12 is preferably 1 μm or less, more preferably 0.2 μm or less. When the surface roughness of the conductive film 12 exceeds 1 μm, the Q value at high frequencies decreases due to the skin effect. FIG. 6 is a graph showing the relationship between the frequency and the Q value with respect to the surface roughness of a conductive film used as an example of an electronic component according to an embodiment of the present invention. FIG. 6 was derived through the following experiment. First, a conductive film 12 made of copper is formed on a base 11 having the same size and the same material with the same surface roughness while changing the surface roughness. Was measured. As can be seen from FIG. 6, when the surface roughness of the conductive film 12 is 1 μm or more, the Q value in the high frequency region is low. Further, it can be seen that when the surface roughness of the conductive film 12 is 0.2 μm or less, the Q value particularly in a high frequency region is extremely high.

【0060】以上の様に導電膜12の表面粗さは、1.
0μm以下が良く、更に好ましくは、0.2μm以下と
することによって、導電膜12の表皮効果を低減させる
ことができ、特に高周波におけるQ値を向上させる事が
できる。
As described above, the surface roughness of the conductive film 12 is 1.
The thickness is preferably 0 μm or less, and more preferably 0.2 μm or less, the skin effect of the conductive film 12 can be reduced, and the Q value particularly at high frequencies can be improved.

【0061】更に導電膜12と基台11の密着強度は、
導電膜12を形成した基台11を400℃の温度下に数
秒間放置した後に基台11から導電膜12がはがれない
程度以上であることが好ましい。素子を基板等に実装し
た際に、素子には自己発熱や他の部材からの熱が加わる
ことによって、素子に200℃以上の温度が加わること
がある。従って、400℃で基台11からの導電膜12
のはがれが発生しない程度の密着強度であれば、たとえ
素子に熱が加わっても、素子の特性劣化等は発生しな
い。
Further, the adhesion strength between the conductive film 12 and the base 11 is as follows:
After leaving the base 11 on which the conductive film 12 is formed at a temperature of 400 ° C. for a few seconds, it is preferable that the conductive film 12 be separated from the base 11 by a degree or more. When the element is mounted on a substrate or the like, a temperature of 200 ° C. or more may be applied to the element due to self-heating or heat from other members. Therefore, the conductive film 12 from the base 11 at 400 ° C.
If the adhesion strength is such that no peeling occurs, even if heat is applied to the element, the characteristics of the element do not deteriorate.

【0062】次に保護材14について説明する。保護材
14としては、耐候性に優れた有機材料、例えばエポキ
シ樹脂などの絶縁性を示す材料や電着膜が用いられる。
また、保護材14としては、溝13の状況等が観測でき
るような透明度を有する事が好ましい。更に保護材14
には透明度を有したまま、所定の色を有することが好ま
しい。保護材14に赤,青,緑などの、導電膜12や端
子部15,16等と異なる色を着色する事によって、素
子各部の区別をする事ができ、素子各部の検査などが容
易に行える。また、素子の大きさ、特性、品番等の違い
で保護材14の色を変えることによって、特性や品番等
の異なる素子を誤った部分に取り付けるなどのミスを低
減させることができる。
Next, the protective member 14 will be described. As the protective material 14, an organic material having excellent weather resistance, for example, an insulating material such as an epoxy resin or an electrodeposition film is used.
Further, it is preferable that the protective material 14 has a transparency such that the condition of the groove 13 can be observed. Further protective material 14
It is preferable to have a predetermined color while maintaining transparency. By coloring the protective material 14 with a color such as red, blue, or green, which is different from the conductive film 12 and the terminal portions 15 and 16, it is possible to distinguish each element portion, and to easily inspect each element portion. . In addition, by changing the color of the protective material 14 depending on the size, characteristics, product number, and the like of the element, it is possible to reduce errors such as mounting an element having a different characteristic, product number, and the like on an erroneous portion.

【0063】特に保護材14を電着膜で構成することに
よって、非常に薄くて絶縁性を確保でき、しかも耐熱性
も向上させることができる。すなわち、エポキシ樹脂や
レジストなどを塗布する方法であると、保護材14の部
分が大きく盛り上がり、回路基板等に実装する場合、素
子の端子部と回路基板の配線の間に隙間が生じることが
あり、十分な電気的接合を行うことができないことがあ
るが、電着膜で保護材14を形成することによって、薄
くしかも均一な保護材14を形成できるので、素子を回
路基板などに実装したときに、端子部と配線との間の隙
間が非常に小さくなり、配線と基盤の端子間の電気的接
合は十分に行うことができる。
In particular, when the protective member 14 is formed of an electrodeposited film, the protective member 14 is very thin, can secure insulation properties, and can have improved heat resistance. That is, when the method of applying an epoxy resin, a resist, or the like is applied, a portion of the protective material 14 rises greatly, and when mounted on a circuit board or the like, a gap may be generated between the terminal portion of the element and the wiring of the circuit board. In some cases, sufficient electrical bonding cannot be performed. However, by forming the protective material 14 with an electrodeposition film, a thin and uniform protective material 14 can be formed. In addition, the gap between the terminal portion and the wiring becomes very small, and the electrical connection between the wiring and the terminal of the substrate can be sufficiently performed.

【0064】また、レジストなどを塗布する方法である
と、一つ一つの素子にそれぞれテープなどを用いて塗布
しなければならないので、工程が多くなり生産性が向上
せず、製造コストも低減することはできないが、本実施
の形態の様に、電着膜で保護材14を作製することによ
って、一度にたくさんの素子に保護材14を設けること
ができるので、生産性が向上しコストも低減させること
ができる。
Further, in the method of applying a resist or the like, each element must be applied using a tape or the like, so that the number of steps is increased, productivity is not improved, and manufacturing cost is reduced. Although it is not possible, as in the present embodiment, by forming the protective material 14 with an electrodeposition film, the protective material 14 can be provided to many elements at once, so that productivity is improved and cost is reduced. Can be done.

【0065】保護材14の具体的構成材料としては、ア
クリル系樹脂,エポキシ系樹脂,フッ素系樹脂,ウレタ
ン系樹脂,ポリイミド系樹脂などの樹脂材料の少なくと
も1つで構成された電着樹脂膜によって構成されてい
る。また、保護材14を電着膜で構成する場合、カチオ
ン系,アニオン系のどちらかを選択する場合には、導電
膜12の構成材料、電着膜の構成材料、インダクタンス
素子の使用用途などを考慮して決定することが好まし
い。保護材14は異なる材料で構成された電着膜を積層
して構成しても良いし、同一材料を積層しても良く、更
には、複数の電着膜を溝13の上に並列して設けてもよ
い。
As a specific constituent material of the protective material 14, an electrodeposition resin film made of at least one of a resin material such as an acrylic resin, an epoxy resin, a fluorine resin, a urethane resin, and a polyimide resin is used. It is configured. In the case where the protective material 14 is formed of an electrodeposited film, and when either the cation type or the anion type is selected, the constituent material of the conductive film 12, the constituent material of the electrodeposited film, and the usage of the inductance element are used. It is preferable to determine in consideration of the above. The protective material 14 may be formed by laminating electrodeposited films made of different materials, or may be formed by laminating the same material. Further, a plurality of electrodeposited films may be arranged in parallel on the groove 13. It may be provided.

【0066】保護材14を電着膜で構成する場合、保護
材14の厚さが数十ミクロンで20V以上の耐圧を有す
ることが好ましく、しかもハンダの融点である183℃
で、燃焼したり、蒸発しない特性を有するものが好まし
い。なお、183℃で保護材14が軟化する程度のもの
は不具合は生じない。
When the protective material 14 is formed of an electrodeposition film, it is preferable that the protective material 14 has a thickness of several tens of microns and a withstand voltage of 20 V or more, and has a melting point of 183 ° C., which is the melting point of solder.
It is preferable to use a material having characteristics of not burning or evaporating. In the case where the protective material 14 is softened at 183 ° C., no problem occurs.

【0067】また、図7(a)に示す様に電着膜で構成
された保護材14は、導電膜12と基台11の少なくと
も一部の双方を覆うように設けることが好ましい。この
様に保護材14を設けることによって、導電膜12をほ
ぼ覆うことができ、しかも導電膜12と外気などとの接
触確率を極めて小さくすることができるので、導電膜1
2の腐食や電流の漏洩等を防止することができる。図7
(b)に示す様に保護材14を導電膜12のみに設ける
場合では、導電膜12の角部12zがむき出しになる可
能性が高く、導電膜12の腐食の原因となることがあ
る。
As shown in FIG. 7A, it is preferable that the protective material 14 made of an electrodeposition film be provided so as to cover both the conductive film 12 and at least a part of the base 11. By providing the protective material 14 in this manner, the conductive film 12 can be substantially covered, and the probability of contact between the conductive film 12 and outside air can be extremely reduced.
2 can be prevented, current leakage, and the like can be prevented. FIG.
In the case where the protective material 14 is provided only on the conductive film 12 as shown in (b), there is a high possibility that the corner 12z of the conductive film 12 is exposed, which may cause corrosion of the conductive film 12.

【0068】従って、図7(a)に示す様に、導電膜1
2の角部12zをオバーして基台11の少なくとも一部
も保護材14で覆うように構成することによって、確実
な導電膜12の保護を覆うことができる。
Therefore, as shown in FIG.
By forming the second corner 12z so as to cover at least a part of the base 11 with the protective material 14, reliable protection of the conductive film 12 can be covered.

【0069】また、図7(a)に示す様に導電膜12の
外方の角部12p上に形成される保護材14の一部14
zは他の部分よりも膜厚を厚くすることが好ましい。一
部14zを厚くすることによって、角部12pが他の部
分との間で放電することなどを防止でき、インダクタン
ス素子としての特性の劣化を防止できる。
Further, as shown in FIG. 7A, a part 14 of the protective material 14 formed on the outer corner 12p of the conductive film 12 is formed.
It is preferable that z is thicker than other portions. By increasing the thickness of the portion 14z, it is possible to prevent the corner portion 12p from being discharged with other portions, and to prevent deterioration of characteristics as an inductance element.

【0070】また、特殊用途などに用いられるインダク
タンス素子には、導電膜12と保護材の密着強度を持た
せることが重要になってくる場合がある。この場合に
は、導電膜12の表面を化学的エッチングすることによ
って粗面化し、その粗面化した表面に電着膜で構成した
保護材14を設けることが好ましい。前述したように、
導電膜12の表面の粗面化を行うとQ値の低下を招く危
険はあるが、特殊用途等の場合、Q値よりも保護材14
と導電膜12の密着強度を向上することが重要な場合が
あるので、このときは、用途などを考慮して導電膜12
の粗さを適宜決定する必要がある。
In some cases, it is important for an inductance element used for a special purpose to have an adhesion strength between the conductive film 12 and the protective material. In this case, it is preferable to roughen the surface of the conductive film 12 by chemical etching, and to provide a protective material 14 made of an electrodeposition film on the roughened surface. As previously mentioned,
If the surface of the conductive film 12 is roughened, there is a risk of lowering the Q value.
In some cases, it is important to improve the adhesion strength between the conductive film 12 and the conductive film 12.
Must be determined appropriately.

【0071】また、導電膜12を銅を含む材料で構成し
た場合、電着膜である保護材14は不均一な膜厚で形成
されることがあるので、この場合には、導電膜12の上
にNi等の金属膜を形成し、その金属膜の上に保護材1
4を形成しても良い。
When the conductive film 12 is made of a material containing copper, the protective material 14 serving as an electrodeposition film may be formed with an uneven film thickness. A metal film such as Ni is formed thereon, and a protective material 1 is formed on the metal film.
4 may be formed.

【0072】次に、電着膜で構成された保護材14の形
成方法について説明する。図8に示す様に100は容器
で、容器100中には、水,電着樹脂,pH調整剤など
の調整剤及び他の添加剤などを混合した溶液101が収
納されている。102は電極板、103はインダクタン
ス素子、104,105はそれぞれ保持部材で、保持部
材104,105は、インダクタンス素子103の両端
がはまりこむ孔が設けられている。保持部材105には
通電部106が設けられており、この通電部106はイ
ンダクタンス素子103に接触している。
Next, a method for forming the protective member 14 composed of an electrodeposition film will be described. As shown in FIG. 8, reference numeral 100 denotes a container. The container 100 contains a solution 101 obtained by mixing water, an electrodeposition resin, an adjusting agent such as a pH adjusting agent, and other additives. 102 is an electrode plate, 103 is an inductance element, 104 and 105 are holding members, respectively, and the holding members 104 and 105 are provided with holes into which both ends of the inductance element 103 fit. The holding member 105 is provided with an energizing section 106, which is in contact with the inductance element 103.

【0073】電極板102及び通電部106に所定の電
圧を加えると、インダクタンス素子103の両端部を除
く部分に電着膜が形成される。これは、インダクタンス
素子103の端子部15,16は、保持部材104,1
05に入り込んでおり、溶液101とは余り接触してい
ないからである。なお、本実施の形態では、保持部材1
04,105に端子部15,16を入り込ませたが、フ
ォトレジスト等の他のマスク部材を端子部15,16に
設ける構成にしてもよい。
When a predetermined voltage is applied to the electrode plate 102 and the current-carrying portion 106, an electrodeposition film is formed on portions except for both ends of the inductance element 103. This is because the terminals 15 and 16 of the inductance element 103 are connected to the holding members 104 and 1.
This is because they have entered the liquid crystal 05 and are not in contact with the solution 101 much. In the present embodiment, the holding member 1
Although the terminal portions 15 and 16 are inserted into the terminal portions 04 and 105, another mask member such as a photoresist may be provided on the terminal portions 15 and 16.

【0074】以上の様に、電着膜で構成された保護材1
4を有するインダクタンス素子を作製した後に、素子に
熱処理を加えることが好ましい。この熱処理によって、
保護材14の表面がなだらかになって、表面粗さが小さ
くなり、確実に保護材14を覆うようになる。また、熱
処理を加えると、導電膜12の角部の保護材14の厚さ
が薄くなることがあるが、この場合には、溶液101の
中に絶縁性の粒子(例えば金属酸化物など)を混入させ
て、電着膜で構成された保護材14の中にこの絶縁性の
粒子を保持させることによって、導電膜12の角部の保
護材14の厚さが薄くなることを防止できる。
As described above, the protective material 1 composed of the electrodeposited film
After manufacturing the inductance element having No. 4, it is preferable to apply heat treatment to the element. By this heat treatment,
The surface of the protection member 14 becomes gentle, the surface roughness becomes small, and the protection member 14 is surely covered. In addition, when heat treatment is performed, the thickness of the protective material 14 at the corners of the conductive film 12 may be reduced. In this case, insulating particles (for example, metal oxide) are added to the solution 101. By mixing and holding the insulating particles in the protective material 14 made of the electrodeposited film, the thickness of the protective material 14 at the corner of the conductive film 12 can be prevented from being reduced.

【0075】なお、本実施の形態において、保護材14
の端部は、基台11の端面に設けられた導電膜12の表
面とほぼ一致させるように構成したが、図11に示すよ
うに、保護材14の端部が導電膜12の表面よりも多少
内側に位置するように構成しても良い。この時、保護材
14の端部と導電膜12の表面の間隔P7は素子の全長
L1を1とした場合に、0.1以下となるように構成す
ることが好ましい。
In this embodiment, the protection member 14
The end of the protective material 14 is configured to substantially coincide with the surface of the conductive film 12 provided on the end surface of the base 11, but the end of the protective material 14 is larger than the surface of the conductive film 12 as shown in FIG. You may comprise so that it may be located a little inside. At this time, it is preferable that the distance P7 between the end portion of the protective material 14 and the surface of the conductive film 12 is 0.1 or less when the total length L1 of the element is 1.

【0076】また、図11に示す導電膜12の角部12
Xを保護する様に、保護材14の端部が基台11の端面
11Lに設けられた保護材14の表面まで達するように
設けることで、角部12zを保護材14によって覆うこ
とができるので、角部12Xが欠けたりする事はなく、
安定した特性を得ることができる。
The corners 12 of the conductive film 12 shown in FIG.
The corners 12z can be covered with the protective material 14 by providing the end of the protective material 14 to reach the surface of the protective material 14 provided on the end face 11L of the base 11 so as to protect X. , The corner 12X is not chipped,
Stable characteristics can be obtained.

【0077】次に端子部15,16について説明する。
端子部15,16は、図2に示すように、基台11の端
面に設けられた導電膜12上に所定の導電材料を設けた
構成となっている。この端子部15,16のそれぞれの
膜厚P1,P2はそれぞれ導電膜12の膜厚の1.5倍
から7倍に設定されている。この様に、端子部15,1
6の膜厚を規定することによって、端子部15,16と
回路基板などに設けられたランドパターン等との接合を
確実にできるとともに、生産性が良く、しかも素子立ち
現象を抑える事ができる。
Next, the terminals 15 and 16 will be described.
As shown in FIG. 2, the terminal portions 15 and 16 have a configuration in which a predetermined conductive material is provided on a conductive film 12 provided on an end surface of the base 11. The thicknesses P1 and P2 of the terminal portions 15 and 16 are set to 1.5 to 7 times the thickness of the conductive film 12, respectively. Thus, the terminal parts 15, 1
By defining the film thickness of 6, the connection between the terminal portions 15 and 16 and the land pattern or the like provided on the circuit board or the like can be ensured, the productivity can be improved, and the device standing phenomenon can be suppressed.

【0078】端子部15,16の膜厚P1,P2の具体
的な寸法としては、30μm〜140μm(特に好まし
くは40μm〜60μm)が挙げられる。端子部15,
16の膜厚が30μm以下であると、基台11端面から
突出する突出量が小さいために、回路基板等のランドパ
ターン等との接合性がうまくいかないことがあり、14
0μmを超えると、素子立ち現象の発生する確率が高く
なり、しかも端子部15,16の形成時間が長くなり、
生産性が悪くなる。
Specific dimensions of the film thicknesses P1, P2 of the terminal portions 15, 16 are 30 μm to 140 μm (particularly preferably 40 μm to 60 μm). Terminal part 15,
If the film thickness of the substrate 16 is 30 μm or less, the amount of protrusion from the end face of the base 11 is small, so that the bonding property with a land pattern of a circuit board or the like may not be good.
When the thickness exceeds 0 μm, the probability of occurrence of the element standing phenomenon increases, and the formation time of the terminal portions 15 and 16 becomes longer.
Productivity decreases.

【0079】端子部15,16は、メッキ法やスパッタ
リング法等の薄膜形成技術によって、形成されることが
好ましい。端子部15,16を薄膜形成技術で構成する
ことによって、薄膜形成の際の条件などによって、比較
的精度の良い膜厚管理が行える。特に本実施の形態の場
合、基台11の端面に導電膜12が設けられているの
で、メッキ法によって、端子部15,16を形成するこ
とが好ましい。メッキ法にて端子部15,16を形成す
ることによって、緻密で、結晶性の良い膜を形成するこ
とができ、しかも生産性が非常に良くなる。
The terminal portions 15 and 16 are preferably formed by a thin film forming technique such as a plating method or a sputtering method. By forming the terminal portions 15 and 16 by the thin film forming technique, the film thickness can be controlled with relatively high accuracy depending on the conditions at the time of forming the thin film. Particularly, in the case of the present embodiment, since the conductive film 12 is provided on the end surface of the base 11, it is preferable to form the terminal portions 15, 16 by plating. By forming the terminal portions 15 and 16 by plating, a dense and highly crystalline film can be formed, and the productivity is extremely improved.

【0080】端子部15,16は図2に示すように、一
部が保護材14の上に乗るように構成されている。すな
わち、保護材14の端面部付近上に端子部15,16が
突出した構成となっている。この様な構成によって、更
に、回路基板などとの接合性が向上し、実装性が向上す
ると共に、素子立ち現象の発生を一層抑える事ができ
る。この時に保護材14からの突出量P3,P4は20
μm〜120μm(好ましくは、30μm〜70μm)
とする事が好ましい。突出量P3,P4が20μm以下
であると、接合性が悪くなり、実装性があまり向上せ
ず、しかも素子立ち現象が発生する確率が高くなり、1
20μmを超えると、膜付け時間が長くなり、生産性が
悪くなる。突出量P3,P4は保護材14の表面の内で
端面近傍の表面から突出量を示している。なお、保護材
14全体の最大突出高さよりも、端子部15,16の突
出高さが高いことが好ましい。
As shown in FIG. 2, the terminal portions 15 and 16 are configured so that a part thereof is mounted on the protective member 14. That is, the terminal portions 15 and 16 protrude above the vicinity of the end surface of the protective member 14. With such a configuration, the bondability with a circuit board or the like is further improved, the mountability is improved, and the occurrence of an element standing phenomenon can be further suppressed. At this time, the protrusion amounts P3 and P4 from the protective material 14 are 20
μm to 120 μm (preferably 30 μm to 70 μm)
It is preferable that When the protrusion amounts P3 and P4 are 20 μm or less, the bonding property is deteriorated, the mountability is not significantly improved, and the probability that the element standing phenomenon occurs increases.
If it exceeds 20 μm, the time for forming a film is prolonged, and the productivity is deteriorated. The protrusion amounts P3 and P4 indicate the protrusion amounts from the surface near the end face in the surface of the protective material 14. It is preferable that the protruding height of the terminal portions 15 and 16 be higher than the maximum protruding height of the entire protective member 14.

【0081】また、端子部15,16の基台11側面に
おける幅P5,P6はそれぞれは30μm〜100μm
とする事が好ましい。P5,P6がそれぞれ30μm以
下であると、回路基板等との接合性があまり良くなく、
100μmを超えると、素子立ち現象の発生が大きくな
る。幅P5と幅P6はP5/P6=0.9〜1.1の関
係になるように調整することで、素子立ち現象の割合を
抑えることができる。
The widths P5 and P6 of the terminal portions 15 and 16 on the side surface of the base 11 are 30 μm to 100 μm, respectively.
It is preferable that If each of P5 and P6 is 30 μm or less, the bondability with a circuit board or the like is not so good.
If it exceeds 100 μm, the occurrence of the element standing phenomenon will increase. By adjusting the width P5 and the width P6 so that P5 / P6 = 0.9 to 1.1, the ratio of the element standing phenomenon can be suppressed.

【0082】次に端子部15,16の具体的膜構造につ
いて図10を用いて説明する。まず、基台11端面にむ
き出しになった導電膜12上に端子膜300を導電材料
にて構成する。この時、好ましくは導電膜12と同一材
料で端子膜300を構成することが好ましく、この様な
構成によって、密着性の向上やヒートサイクルに対し
て、強くなるといったような効果を得ることが可能とな
る。また、端子膜300はメッキ法で構成することによ
って、各条件を調整することで、精度の良い膜厚管理を
行うことができる。
Next, a specific film structure of the terminal portions 15 and 16 will be described with reference to FIG. First, the terminal film 300 is formed of a conductive material on the conductive film 12 exposed on the end face of the base 11. At this time, it is preferable that the terminal film 300 is made of the same material as that of the conductive film 12, and it is possible to obtain an effect such as improvement in adhesion and resistance to a heat cycle by such a structure. Becomes In addition, by forming the terminal film 300 by a plating method, it is possible to perform accurate film thickness control by adjusting each condition.

【0083】また、端子部15,16の耐候性を向上さ
せる様にするには、端子膜300の上に、Ti,Ni,
W,Cr等の腐食しにくい金属膜や、それら金属材料の
合金膜(Ni−Cr等)等の耐食膜301を膜厚2〜7
μmの膜厚で構成することが良い。
In order to improve the weather resistance of the terminal portions 15 and 16, Ti, Ni,
A corrosion resistant film 301 such as a metal film hardly corroded, such as W or Cr, or an alloy film (Ni—Cr, etc.) of such a metal material is formed to a thickness of 2 to 7 mm.
It is preferable that the thickness is set to be μm.

【0084】更に、端子部15,16と回路基板などと
の接合性を向上させるためには、端子膜300或いは耐
食膜301の上に半田や鉛フリーの接合材(SnにA
g,Cu,Zn,Bi,Inの少なくとも一つを含ませ
た鉛フリー半田等)で構成された接合膜302を5〜1
0μmの膜厚で形成しても良い。
Further, in order to improve the bondability between the terminal portions 15 and 16 and the circuit board or the like, a solder or a lead-free bonding material (A
g, Cu, Zn, Bi, In, or a lead-free solder containing at least one of them).
It may be formed with a thickness of 0 μm.

【0085】ここで、端子部15,16の構成の一例を
まとめると、 ・導電膜12+端子膜300 ・導電膜12+端子膜300+耐食膜301 ・導電膜12+端子膜300+接合膜302 ・導電膜12+端子膜300+耐食膜301+接合膜3
02 となり、それぞれの合計膜厚は30μm〜140μmと
なるように調整される。更に別の観点から見ると、上述
で説明したように、端子部15,16の膜厚は、導電膜
12の1.5倍から7倍の間に設定することが好まし
い。
Here, an example of the configuration of the terminal portions 15 and 16 is summarized as follows: conductive film 12 + terminal film 300 conductive film 12 + terminal film 300 + corrosion resistant film 301 conductive film 12 + terminal film 300 + bonding film 302 conductive film 12+ Terminal film 300 + corrosion resistant film 301 + bonding film 3
02, and the total film thickness of each is adjusted to be 30 μm to 140 μm. From a further viewpoint, as described above, it is preferable that the thickness of the terminal portions 15 and 16 be set between 1.5 times and 7 times the conductive film 12.

【0086】なお、端子部15,16の構成としては、
上述の構成に新たな膜を追加してもよい。
Note that the configuration of the terminal portions 15 and 16 is as follows.
A new film may be added to the above configuration.

【0087】また、図2に示す様に端子部15,16の
高さZ1及びZ2は下記の条件を満たすことが好まし
い。
Further, as shown in FIG. 2, the heights Z1 and Z2 of the terminal portions 15, 16 preferably satisfy the following conditions.

【0088】|Z1−Z2|≦80μm(好ましくは5
0μm) Z1とZ2の高さの違いが80μm(好ましくは50μ
m以下)を超えると、素子を基板に実装し、半田等で回
路基板等に取り付ける場合、半田等の表面張力によって
素子が一方の端部に引っ張られて、素子が立ってしまう
というマンハッタン現象の発生する確率が非常に高くな
る。このマンハッタン現象を図9に示す。図9に示すよ
うに、基板200の上にインダクタンス素子を配置し、
端子部15,16それぞれと基板200の間に半田20
1,202が設けられているが、リフローなどによって
半田201,202を溶かすと、半田201,202の
それぞれの塗布量の違いや、材質が異なることによる融
点の違いによって、溶融した半田201,202の表面
張力が端子部15と端子部16で異なり、その結果、図
9に示すように一方の端子部を中心に回転し、インダク
タンス素子が立ち上がってしまう。Z1とZ2の高さの
違いが80μm(好ましくは50μm以下)を超える
と、素子が傾いた状態で基板200に配置されることと
なり、素子立ちを促進する。また、マンハッタン現象は
特に小型軽量のチップ型の電子部品(チップ型インダク
タンス素子を含む)において顕著に発生し、しかもこの
マンハッタン現象の発生要因の一つとして、端子部1
5,16の高さの違いによって素子が傾いて基板200
に配置されることを着目した。この結果、Z1とZ2の
高さの差を80μm以下(好ましくは50μm以下)と
なるように、基台11を成形などで加工することによっ
て、このマンハッタン現象の発生を大幅に抑えることが
できた。Z1とZ2の高さの差を50μm以下とするこ
とによって、ほぼ、マンハッタン現象の発生を抑えるこ
とができる。
| Z1-Z2 | ≦ 80 μm (preferably 5
0 μm) The height difference between Z1 and Z2 is 80 μm (preferably 50 μm).
m or less), when the element is mounted on a circuit board and attached to a circuit board or the like with solder or the like, the element is pulled to one end by surface tension of the solder or the like, and the element stands up. The probability of occurrence is very high. This Manhattan phenomenon is shown in FIG. As shown in FIG. 9, an inductance element is arranged on a substrate 200,
Solder 20 between each of terminal portions 15 and 16 and substrate 200
Although the solders 201 and 202 are provided, when the solders 201 and 202 are melted by reflow or the like, the molten solders 201 and 202 are melted due to a difference in the application amount of each of the solders 201 and 202 and a difference in melting point due to a difference in material. The surface tension of the terminal 15 differs between the terminal 15 and the terminal 16, and as a result, as shown in FIG. 9, the terminal rotates about one terminal and the inductance element rises. If the difference between the heights of Z1 and Z2 exceeds 80 μm (preferably 50 μm or less), the elements are arranged on the substrate 200 in an inclined state, and the standing of the elements is promoted. In addition, the Manhattan phenomenon is particularly remarkable in small and lightweight chip-type electronic components (including chip-type inductance elements). One of the causes of the Manhattan phenomenon is the terminal portion 1.
The element is tilted due to the difference in height between 5 and 16 and the substrate 200
We paid attention to being placed in. As a result, by forming the base 11 by molding or the like so that the difference between the heights of Z1 and Z2 is 80 μm or less (preferably 50 μm or less), the occurrence of the Manhattan phenomenon could be significantly suppressed. . By setting the difference between the heights of Z1 and Z2 to 50 μm or less, the occurrence of the Manhattan phenomenon can be substantially suppressed.

【0089】以上の様に構成されたインダクタンス素子
について、以下その製造方法について説明する。
A method of manufacturing the inductance element having the above-described configuration will be described below.

【0090】まず、アルミナ等の絶縁材料をプレス成形
や押し出し法によって、基台11を作製する。次にその
基台11全体にメッキ法やスパッタリング法などによっ
て導電膜12をほぼ全面に形成する。次に導電膜12を
形成した基台11にスパイラル状の溝13を形成する。
溝13はレーザ加工や切削加工によって作製される。レ
ーザ加工は、非常に生産性が良いので、以下レーザ加工
について説明する。まず、基台11を回転装置に取り付
け、基台11を回転させ、そして基台11にレーザを照
射して導電膜12及び基台11の双方を取り除き、スパ
イラル状の溝を形成する。このときのレーザは、YAG
レーザ,エキシマレーザ,炭酸ガスレーザなどを用いる
ことができ、レーザ光をレンズなどで絞り込むことによ
って、基台11に照射する。更に、溝13の深さ等は、
レーザのパワーを調整し、溝13の幅等は、レーザ光を
絞り込む際のレンズを交換することによって行える。ま
た、導電膜12の構成材料等によって、レーザの吸収率
が異なるので、レーザの種類(レーザの波長)は、導電
膜12の構成材料によって、適宜選択することが好まし
い。なお、砥石などを用いて溝13を形成しても良い。
First, the base 11 is manufactured by pressing or extruding an insulating material such as alumina. Next, a conductive film 12 is formed on substantially the entire surface of the base 11 by plating or sputtering. Next, a spiral groove 13 is formed in the base 11 on which the conductive film 12 is formed.
The groove 13 is formed by laser processing or cutting. Since the laser processing has very high productivity, the laser processing will be described below. First, the base 11 is attached to a rotating device, the base 11 is rotated, and the base 11 is irradiated with a laser to remove both the conductive film 12 and the base 11, thereby forming a spiral groove. The laser at this time is YAG
A laser, an excimer laser, a carbon dioxide laser, or the like can be used. Furthermore, the depth of the groove 13
The power of the laser is adjusted, and the width of the groove 13 and the like can be changed by exchanging a lens when narrowing down the laser beam. Since the laser absorptivity varies depending on the constituent material of the conductive film 12 and the like, it is preferable to appropriately select the type of laser (laser wavelength) depending on the constituent material of the conductive film 12. The groove 13 may be formed using a grindstone or the like.

【0091】溝13を形成した後に、電着法などを用い
て、溝13の両端面11L上に設けられた導電膜12の
全部或いは一部が露出するように保護材14を形成す
る。
After the groove 13 is formed, a protective material 14 is formed by using an electrodeposition method or the like so that all or a part of the conductive film 12 provided on both end surfaces 11L of the groove 13 is exposed.

【0092】次に、メッキ法などを用いて、基台11の
端面に露出した導電膜12上に端子膜300を形成す
る。
Next, a terminal film 300 is formed on the conductive film 12 exposed on the end face of the base 11 by using a plating method or the like.

【0093】この時点でも、製品は完成するが、前述の
様に、仕様等によって、耐食膜301や接合膜302を
設ける。
At this point, the product is completed, but as described above, the corrosion resistant film 301 and the bonding film 302 are provided according to the specifications and the like.

【0094】なお、本実施の形態は、インダクタンス素
子について説明したが、絶縁材料によって構成された基
台の上に導電膜を形成する電子部品でも同様な効果を得
ることができる。
Although the present embodiment has been described with respect to an inductance element, the same effect can be obtained with an electronic component having a conductive film formed on a base made of an insulating material.

【0095】図12及び図13はそれぞれ本発明の一実
施の形態における無線端末装置を示す斜視図及びブロッ
ク図である。図12及び図13において、29は音声を
音声信号に変換するマイク、30は音声信号を音声に変
換するスピーカー、31はダイヤルボタン等から構成さ
れる操作部、32は着信等を表示する表示部、33はア
ンテナ、34はマイク29からの音声信号を復調して送
信信号に変換する送信部で、送信部34で作製された送
信信号は、アンテナを通して外部に放出される。35は
アンテナで受信した受信信号を音声信号に変換する受信
部で、受信部35で作成された音声信号はスピーカー3
0にて音声に変換される。36は送信部34,受信部3
5,操作部31,表示部32を制御する制御部である。
FIGS. 12 and 13 are a perspective view and a block diagram, respectively, showing a wireless terminal device according to an embodiment of the present invention. 12 and 13, reference numeral 29 denotes a microphone for converting a voice into a voice signal, 30 denotes a speaker for converting a voice signal into a voice, 31 denotes an operation unit including dial buttons and the like, and 32 denotes a display unit for displaying an incoming call and the like. Reference numeral 33 denotes an antenna, and reference numeral 34 denotes a transmission unit for demodulating an audio signal from the microphone 29 and converting it into a transmission signal. The transmission signal produced by the transmission unit 34 is emitted to the outside through the antenna. A receiving unit 35 converts a received signal received by the antenna into an audio signal, and the audio signal created by the receiving unit 35 is transmitted to the speaker 3.
At 0, it is converted to voice. 36 is a transmitting unit 34 and a receiving unit 3
5, a control unit for controlling the operation unit 31 and the display unit 32;

【0096】以下その動作の一例について説明する。先
ず、着信があった場合には、受信部35から制御部36
に着信信号を送出し、制御部36は、その着信信号に基
づいて、表示部32に所定のキャラクタ等を表示させ、
更に操作部31から着信を受ける旨のボタン等が押され
ると、信号が制御部36に送出されて、制御部36は、
着信モードに各部を設定する。即ちアンテナ33で受信
した信号は、受信部35で音声信号に変換され、音声信
号はスピーカー30から音声として出力されると共に、
マイク29から入力された音声は、音声信号に変換さ
れ、送信部34を介し、アンテナ33を通して外部に送
出される。
An example of the operation will be described below. First, when there is an incoming call, the receiving unit 35 sends the
The control unit 36 displays a predetermined character or the like on the display unit 32 based on the incoming signal,
Further, when a button or the like for receiving an incoming call is pressed from the operation unit 31, a signal is sent to the control unit 36, and the control unit 36
Set each part to the incoming call mode. That is, the signal received by the antenna 33 is converted into an audio signal by the receiving unit 35, and the audio signal is output from the speaker 30 as audio.
The voice input from the microphone 29 is converted into a voice signal, and is transmitted to the outside via the transmitting unit 34 and the antenna 33.

【0097】次に、発信する場合について説明する。ま
ず、発信する場合には、操作部31から発信する旨の信
号が、制御部36に入力される。続いて電話番号に相当
する信号が操作部31から制御部36に送られてくる
と、制御部36は送信部34を介して、電話番号に対応
する信号をアンテナ33から送出する。その送出信号に
よって、相手方との通信が確立されたら、その旨の信号
がアンテナ33を介し受信部35を通して制御部36に
送られると、制御部36は発信モードに各部を設定す
る。即ちアンテナ33で受信した信号は、受信部35で
音声信号に変換され、音声信号はスピーカー30から音
声として出力されると共に、マイク29から入力された
音声は、音声信号に変換され、送信部34を介し、アン
テナ33を通して外部に送出される。
Next, a case of transmitting a call will be described. First, when transmitting a signal, a signal indicating that the signal is transmitted from the operation unit 31 is input to the control unit 36. Subsequently, when a signal corresponding to the telephone number is transmitted from the operation unit 31 to the control unit 36, the control unit 36 transmits a signal corresponding to the telephone number from the antenna 33 via the transmission unit 34. When communication with the other party is established by the transmission signal, a signal to that effect is sent to the control unit 36 through the reception unit 35 via the antenna 33, and the control unit 36 sets each unit to the transmission mode. That is, the signal received by the antenna 33 is converted into an audio signal by the receiving unit 35, the audio signal is output as audio from the speaker 30, and the audio input from the microphone 29 is converted into an audio signal, Through the antenna 33 to the outside.

【0098】なお、本実施の形態では、音声を送信受信
した例を示したが、音声に限らず、文字データ等の音声
以外のデータの送信もしくは受信の少なくとも一方を行
う装置についても同様な効果を得ることができる。
[0098] In this embodiment, an example in which voice is transmitted and received has been described. However, the present invention is not limited to voice, and a similar effect can be obtained for a device that transmits or receives data other than voice such as character data. Can be obtained.

【0099】上記で説明したインダクタンス素子(図1
〜図11に示すもの)は、発信回路,フィルタ回路,ア
ンテナ部及び各段とのマッチング回路周辺部等の高いQ
を必要とする箇所の少なくとも一つに用いられ、その数
は、一つの無線端末装置に数個〜40個程度用いられて
いる。上述の様なインダクタンス素子を用いることによ
って、装置内部の基板等を小型化でき、素子立ち現象な
どを抑えることができるので、回路基板などの不良率が
極めて小さくなり、生産性が非常によくなる。
The inductance element described above (FIG. 1)
To FIG. 11) have high Q values such as a transmitting circuit, a filter circuit, an antenna section, and a peripheral section of a matching circuit with each stage.
Are used in at least one of the locations that require the same, and the number is about several to forty in one wireless terminal device. By using the above-described inductance element, the size of the substrate and the like inside the device can be reduced, and the phenomenon of standing up of the element can be suppressed. Therefore, the defect rate of the circuit board and the like becomes extremely small, and the productivity becomes very high.

【0100】[0100]

【発明の効果】本発明は、底面が略正方形状の直方体に
面取りを施した基台の全面に導電膜を形成し、その導電
膜に溝を形成し、基台の両端部に端子を形成し、溝を
覆うように電着膜で構成された保護材を設け、長さL
1,幅L2,高さL3としたときに、 L1=0.5〜1.1mm L2=0.2〜0.6mm L3=0.2〜0.6mm のサイズを有した電子部品であって、端子部の厚さP
1,P2それぞれを導電膜の厚さの1.5〜7倍とし、
更には端子部の一部を保護材の上に設け、更に基台の端
面上に設けられた導電膜の表面と保護材の端部をほぼ一
致させるか或いは基台の端面上に設けられた導電膜の表
面に対して保護材の端部が多少内側に位置するように保
護材を設けた事によって、生産性が良いか、素子立ち現
象の発生を抑制の少なくとも一方が実現可能となる。
According to the present invention , a conductive film is formed on the entire surface of a base having a substantially rectangular parallelepiped chamfered bottom surface, grooves are formed in the conductive film, and terminal portions are provided at both ends of the base. And a protective material made of an electrodeposition film is provided so as to cover the groove.
1, an electronic component having a size of L1 = 0.5 to 1.1 mm L2 = 0.2 to 0.6 mm L3 = 0.2 to 0.6 mm, where width L2 and height L3 , Terminal thickness P
1 and P2 are each 1.5 to 7 times the thickness of the conductive film,
Furthermore provided a part of the terminal portion on the protective member, further the end of the base
The surface of the conductive film provided on the surface is almost
Table of conductive film to be matched or provided on the end face of base
Keep the edge of the protective material slightly inward with respect to the surface.
By providing the protective material, it is possible to realize at least one of good productivity or suppression of occurrence of the element standing phenomenon.

【0101】また、無線端末装置において、上記電子部
品を搭載したことによって、装置内部の基板等を小型化
でき、装置内部の基板等を小型化でき、素子立ち現象な
どを抑えることができるので、回路基板などの不良率が
極めて小さくなり、生産性が非常によくなる。
Also, by mounting the above electronic components in the wireless terminal device, the size of the substrate and the like inside the device can be reduced, the size of the substrate and the like inside the device can be reduced, and the element standing phenomenon can be suppressed. The defective rate of a circuit board or the like becomes extremely small, and the productivity becomes very good.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施の形態における電子部品の一例
として挙げたインダクタンス素子を示す斜視図
FIG. 1 is a perspective view showing an inductance element as an example of an electronic component according to an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の一実施の形態における電子部品の一例
として挙げたインダクタンス素子を示す側断面図
FIG. 2 is a side sectional view showing an inductance element as an example of an electronic component according to an embodiment of the present invention.

【図3】本発明の一実施の形態における電子部品の一例
として挙げたインダクタンス素子に用いられる基台の斜
視図
FIG. 3 is a perspective view of a base used for an inductance element as an example of an electronic component according to an embodiment of the present invention.

【図4】本発明の一実施の形態における電子部品の一例
として挙げたインダクタンス素子に用いられる基台の表
面粗さと剥がれ発生率を示したグラフ
FIG. 4 is a graph showing a surface roughness and a peeling rate of a base used for an inductance element as an example of an electronic component according to an embodiment of the present invention;

【図5】本発明の一実施の形態におけ電子部品の一例と
して挙げたるインダクタンス素子に用いられる基台の表
面粗さに対する周波数とQ値の関係を示すグラフ
FIG. 5 is a graph showing the relationship between the frequency and the Q value with respect to the surface roughness of a base used for an inductance element as an example of an electronic component according to an embodiment of the present invention.

【図6】本発明の一実施の形態における電子部品の一例
として挙げたインダクタンス素子に用いられる導電膜の
表面粗さに対する周波数とQ値の関係を示すグラフ
FIG. 6 is a graph showing the relationship between the frequency and the Q value with respect to the surface roughness of a conductive film used as an example of an electronic component according to one embodiment of the present invention;

【図7】本発明の一実施の形態における電子部品の一例
として挙げたインダクタンス素子の保護材を設けた部分
の拡大断面図
FIG. 7 is an enlarged cross-sectional view of a part provided with a protective material for an inductance element as an example of an electronic component according to an embodiment of the present invention.

【図8】本発明の一実施の形態における電子部品の一例
として挙げたインダクタンス素子の保護材を設ける工程
を示した図
FIG. 8 is a view showing a step of providing a protective material for an inductance element as an example of an electronic component according to an embodiment of the present invention.

【図9】マンハッタン現象を示す図FIG. 9 illustrates the Manhattan phenomenon.

【図10】本発明の一実施の形態における電子部品の一
例として挙げたインダクタンス素子の部分拡大断面図
FIG. 10 is a partially enlarged cross-sectional view of an inductance element as an example of an electronic component according to an embodiment of the present invention.

【図11】本発明の一実施の形態における電子部品の一
例として挙げたインダクタンス素子の部分拡大断面図
FIG. 11 is a partially enlarged cross-sectional view of an inductance element as an example of an electronic component according to an embodiment of the present invention.

【図12】本発明の一実施の形態における無線端末装置
を示す斜視図
FIG. 12 is a perspective view showing a wireless terminal device according to one embodiment of the present invention;

【図13】本発明の一実施の形態における無線端末装置
を示すブロック図
FIG. 13 is a block diagram showing a wireless terminal device according to an embodiment of the present invention;

【図14】従来のインダクタンス素子を示す側面図FIG. 14 is a side view showing a conventional inductance element.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11 基台 12 導電膜 13 溝 14 保護材 15,16 端子部 30 スピーカー 31 操作部 32 表示部 33 アンテナ 34 送信部 35 受信部 36 制御部 300 端子膜 301 耐食膜 302 接合膜 Reference Signs List 11 base 12 conductive film 13 groove 14 protective material 15, 16 terminal unit 30 speaker 31 operation unit 32 display unit 33 antenna 34 transmission unit 35 reception unit 36 control unit 300 terminal film 301 corrosion-resistant film 302 bonding film

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 崎田 広実 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (72)発明者 磯崎 賢蔵 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (56)参考文献 特開 平11−144959(JP,A) 特開 平7−307201(JP,A) 特開 平7−122446(JP,A) 特開 平8−88123(JP,A) 特開 平9−186037(JP,A) 特開 平5−267025(JP,A) 実開 昭58−155823(JP,U) ──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (72) Inventor Hiromi Sakita 1006 Kazuma Kadoma, Osaka Prefecture Inside Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. (56) References JP-A-11-144959 (JP, A) JP-A-7-307201 (JP, A) JP-A-7-122446 (JP, A) JP-A-8-88123 (JP, A) JP-A-9-186037 (JP, A) JP-A-5-267025 (JP, A) Japanese Utility Model Application No. Sho 58-155823 (JP, U)

Claims (9)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】底面を略正方形状とした直方体に面取りを
施した基台の全面に導電膜を設け、前記導電膜に溝を設
け、前記基台を挟むように前記基台の端面に取り付けら
れた一対の端子部を設け、前記導電膜上に設けられ電着
膜で構成された保護材とを設け、長さL1,幅L2,高
さL3としたときに、 L1=0.5〜1.1mm L2=0.2〜0.6mm L3=0.2〜0.6mm のサイズを有し、前記端子部の厚さを前記導電膜の厚さ
よりも1.5〜7倍厚くするとともに、前記端子部の一
部を前記基台の側面上に形成された前記保護材上に設
、更に前記基台の端面上に設けられた導電膜の表面と
前記保護材の端部をほぼ一致させるか或いは前記基台の
端面上に設けられた導電膜の表面に対して前記保護材の
端部が多少内側に位置するように保護材を設けたこと
特徴とする電子部品。
1. A conductive film is provided on the entire surface of a base having a substantially rectangular parallelepiped bottom and chamfered, and a groove is provided in the conductive film.
Only, the a pair of terminal portions attached to the base end face of so as to sandwich the base, provided a protective member constituted by provided electrodeposition film on the conductive film, a length L1, a width L2 = height L3: L1 = 0.5-1.1 mm L2 = 0.2-0.6 mm L3 = 0.2-0.6 mm A thickness of 1.5 to 7 times the thickness of the conductive film, a part of the terminal portion is provided on the protective material formed on a side surface of the base, and further provided on an end surface of the base. The surface of the conductive film
Make the ends of the protective material substantially coincide with each other or
Of the protective material with respect to the surface of the conductive film provided on the end face.
An electronic component , wherein a protective material is provided such that an end is located slightly inside .
【請求項2】端子部の厚さP1,P2それぞれを30μ
m〜140μmとしたことを特徴とする請求項1記載の
電子部品。
2. Each of the terminal portions has a thickness P1 and P2 of 30 μm.
The electronic component according to claim 1, wherein the electronic component has a thickness of m to 140 μm.
【請求項3】端子部の保護材表面からの突出量P3,P
4それぞれを20μm〜120μmとした事を特徴とす
る請求項1記載の電子部品。
3. The amount of protrusion P3, P of the terminal portion from the surface of the protective material.
4. The electronic component according to claim 1, wherein each of said components has a thickness of 20 to 120 [mu] m.
【請求項4】基台の側面に露出した端子部の長さP5,
P6それぞれを30μm〜100μmとしたことを特徴
とする請求項1記載の電子部品。
4. The length P5 of the terminal portion exposed on the side surface of the base.
2. The electronic component according to claim 1, wherein each of P6 is 30 μm to 100 μm.
【請求項5】端子部を導電膜上に端子膜を積層した構成
とした事を特徴とする請求項1〜4いずれか1記載の電
子部品。
5. The electronic component according to claim 1, wherein the terminal portion has a structure in which a terminal film is laminated on a conductive film.
【請求項6】端子膜上に耐食膜か接合膜の少なくとも一
つを設けた事を特徴とする請求項5記載の電子部品。
6. The electronic component according to claim 5, wherein at least one of a corrosion-resistant film and a bonding film is provided on the terminal film.
【請求項7】端子部の全部或いは少なくとも一部をメッ
キ法にて形成したことを特徴とする請求項1〜6いずれ
か1記載の電子部品。
7. The electronic component according to claim 1, wherein all or at least a part of the terminal portion is formed by plating.
【請求項8】導電膜と溝によって、インダクタンス成分
を形成することを特徴とする請求項1〜7いずれか1記
載の電子部品。
8. The electronic component according to claim 1, wherein an inductance component is formed by the conductive film and the groove.
【請求項9】表示手段と、データ信号もしくは音声信号
の少なくとも一方を送信信号に変換するか受信信号をデ
ータ信号もしくは音声信号の少なくとも一方に変換する
変換手段と、前記送信信号及び前記受信信号を送受信す
るアンテナと、各部を制御する制御手段を備えた無線端
末装置であって、発信回路,フィルタ回路,アンテナ部
及び各段とのマッチング回路周辺部等の少なくとも一つ
に請求項1〜8いずれか1記載の電子部品を用いたこと
を特徴とする無線端末装置。
9. A display, conversion means for converting at least one of a data signal and an audio signal into a transmission signal or converting a reception signal into at least one of a data signal and an audio signal, and converting the transmission signal and the reception signal. 9. A wireless terminal device comprising an antenna for transmitting and receiving and control means for controlling each part, wherein at least one of a transmitting circuit, a filter circuit, an antenna part and a peripheral part of a matching circuit for each stage and the like are provided. A wireless terminal device using the electronic component according to claim 1.
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