JPH1130602A

JPH1130602A - ガス検出センサー及びその防爆取付構造

Info

Publication number: JPH1130602A
Application number: JP18638397A
Authority: JP
Inventors: Tadahiro Omi; 忠弘大見; Koji Kawada; 幸司川田; Shinichi Ikeda; 信一池田; Akihiro Morimoto; 明弘森本; Yukio Minami; 幸男皆見
Original assignee: Fujikin Inc
Current assignee: Fujikin Inc
Priority date: 1997-07-11
Filing date: 1997-07-11
Publication date: 1999-02-02

Abstract

(57)【要約】【課題】ガス検出センサーの構造の簡素化を図ると共
に、Ｈ₂ＯやＯ₂の存在下に於いて長期に、しかも安定
した高精度な可燃性ガス濃度や酸素ガス濃度の検出が行
なえるようにする。【解決手段】可燃性ガスを含有する被検出ガス内へセ
ンサー素子を配設し、可燃性ガスの接触反応によるセン
サー素子の発熱により可燃性ガスの検出信号を発信する
ようにした可燃性ガス検出センサーに於いて、表面に触
媒コーティング層１４を有する熱電対から成り、可燃性
ガスの接触反応により加熱される第１検出センサー１１
と、前記第１検出センサー１１と同じ熱電対から成り、
第１検出センサー１１と間隔Ｄを置いて配設されること
により被検出ガスの温度を検出する第２検出センサー１
２とから構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は可燃性ガスや可燃性
ガス内の酸素ガスの検出センサーとその防爆取付構造の
改良に関するものであり、各種の生産装置や生産設備の
保安用及び半導体製造用純水や半導体製造用ガス内の水
素の検出等に利用されるものである。

【０００２】

【従来の技術】可燃性ガスの検出センサーとしては、従
前から接触反応式（又は接触燃焼式）センサーや半導体
式センサー、熱伝導度式センサーが広く利用されてお
り、その中でも接触反応式センサーは、寿命及び安定性
に優れているため水素等の検出には数多く用いられてい
る。

【０００３】図２３は、従前の接触反応式センサーのセ
ンサー素子Ａの一例を示すものであり、白金線（直径約
２０μｍ）のコイルＢに、触媒担体Ｃとなるアルミナ又
はシリカアルミナとバインダーとの混合物を焼結し、こ
れに白金等の触媒Ｄを担持させることにより構成されて
いる。

【０００４】また、上記センサー素子Ａの使用に際して
は、図２４に示す如く、センサー素子Ａと不活性物質を
焼結させた温度補償素子Ａｏとでブリッジ回路を組み、
予かじめセンサー素子Ａに適当な電圧を加えてこれを約
２５０℃以上の温度に予熱しておく。この予熱されたセ
ンサー素子Ａに水素等の可燃性ガスが接触すると、触媒
Ｄの触媒作用によって水素等が接触反応を起し、センサ
ー素子Ａが加熱されてその電気抵抗が増大する。その結
果、ブリッジ回路の平衡が崩れて電位差が生じ、指示計
Ｅの振れの大きさからセンサー素子Ａでの発熱量即ち被
検出ガス内の可燃性ガス濃度が読み取られる。

【０００５】前記図２３のセンサー素子Ａは、（イ）可
燃性ガスに対する選択性に優れていること、（ロ）共存
するＨ₂Ｏの影響を受け難いこと、（ハ）爆発下限界程
度のガス濃度（水素ガスの場合４〜１０％位い）の測定
に適していること等の優れた利点を有している。

【０００６】しかし、センサー素子の温度を２５０℃以
上に保持しなければならず、しかも可燃性ガスの検出中
は動作温度が更に上昇して着火源となる可能性があるた
め、２００メッシュ程度の金網や焼結金属等でもってセ
ンサー素子Ａを覆うことにより、センサー素子Ａを防爆
構造とする必要があり、安全性の点に難点がある。ま
た、この種のセンサー素子Ａは、前述の通り触媒担体Ｃ
内に触媒Ｄを担持する構成となっているため、触媒活性
の安定性と云う点に基本的な問題を抱えている。特に、
可燃性ガスの燃焼による触媒のシンターや、一部の不完
全燃焼により発生したカーボンの触媒活性度に及ぼす影
響は未だ十分に解析されておらず、高濃度のＨ₂ＯやＯ
₂の共存下に於けるこの種のセンサー素子Ａの使用実績
は殆んど見当らない。加えて、この種センサー素子Ａは
触媒担体Ｃの内部の洗浄が困難であり、そのため高清浄
度を要求される半導体製造プロセスに於いては使用でき
ないと云う問題がある。

【０００７】このように、高濃度のＨ₂ＯやＯ₂の共存
下に於ける接触反応式可燃性ガス検出センサー素子Ａの
使用は、信頼性等の点で大きな問題が残されており、こ
のことは半導体式可燃性ガス検出センサーや熱伝導度式
可燃性ガスセンサーの使用に於いても同様である。ま
た、この種のセンサー素子Ａは、原理的には可燃性ガス
中の酸素検出用のセンサーとしても使用可能なものであ
るが、現実には前記信頼性等の問題から実用化されてお
らず、その使用実績も殆ど見当たらない。

【０００８】図２５は、従前の接触反応式可燃性ガス検
出センサーの試験に使用した試験系の説明図であり、図
に於いて１ａ〜１ｅはマスフローコントローラ、２ａ〜
２ｃは混合部、３は水分発生反応炉、４は可燃性ガス吸
引ライン、５はセンサー素子Ａを取り付けした検出部、
６は排気ラインである。前記水分発生反応炉３内へは通
常適宜量のＨ₂及びＯ₂が供給され、水分発生反応炉３
内の触媒層により活性化されたＨ₂及びＯ₂が反応炉３
内で気相中での燃焼反応をすることなしに接触反応を
し、その結果Ｈ₂Ｏが生成される。尚、水分発生反応炉
３は常時約４００℃の温度に制御されている。

【０００９】水分発生反応炉３内で生じたＨ₂Ｏ蒸気と
未反応のＨ₂及び未反応のＯ₂は、約１２０℃に加熱さ
れた可燃性ガス吸引ライン（内径約１／４″、長さ５０
０ｍｍ）４を通してセンサー素子Ａを設けた検出部５内
へ導出され、排気ライン６を通して外部へ放出されて行
く。尚、吸引ライン４及び検出部５が１２０℃に加熱さ
れているのは、内部を通るＨ₂Ｏ蒸気が凝縮（結露）す
るのを防止するためである。また、排気ライン６の末端
には排気ポンプが連結されており、排気ライン６内は大
気圧よりも僅かに減圧されている。

【００１０】図２６は、図２５の水分発生反応炉３から
の発生水分量を５０（ｓｃｃｍ）、２００（ｓｃｃ
ｍ）、１０００（ｓｃｃｍ）とした場合に於ける接触反
応式可燃性ガス検出センサー素子Ａを用いて測定した発
生水分＋余剰酸素雰囲気（Ｈ₂Ｏ：Ｏ₂＝１０：１）中
の水素ガス濃度（ＶｏＬ％）と検出器出力（指示計Ｅの
振れ）の関係を示すものである。尚、可燃性ガス検出セ
ンサー素子Ａとしては図２３に記載のセンサー素子を用
い、また、検出器としては図２４に記載の検出器を使用
した。更に、前記水分発生量の単位（ｓｃｃｍ）は標準
状態に換算したＨ₂Ｏ（ｃｃ／ｍｉｎ）を表わすもので
ある。

【００１１】図２６からも明らかなように、同じ水素ガ
スの混合濃度であっても、Ｈ₂Ｏの発生量によって検出
器の出力（ｍＡ）は大きく異なってくることが判る。結
果として、検出部５内を流れるＨ₂Ｏ量によって、Ｈ₂
濃度が同一であっても検出器の振れが大きく変化するた
め、その校正に手数がかかることになるが、水分発生量
をほぼ一定値に制御した状態下で長時間使用をする半導
体製造装置等に於いては、Ｈ₂濃度（％）と検出器の出
力（ｍＡ）とがリニアーの関係になっているので、Ｈ₂
ガス濃度の測定に利用することは可能である。

【００１２】これに対して、図２７は図２５の実験系に
於いて、センサー素子Ａを取り付けした検出部５へＨ₂
＝１％、Ｏ₂＝９％、Ｈ₂Ｏ＝９０％の混合ガスを１１
００ｓｃｃｍの割合で連続的に流通させ、且つ前記検出
部５の温度を１４０℃に保持した場合の、センサー素子
Ａによる検出時間（Ｈｒ）と検出器（指示計Ｅ）の出力
（ｍｖ）との関係を示すものである。

【００１３】図２７からも明らかなように、連続検出時
間が長くなるにつれて出力（ｍｖ）が大きく変化するこ
とになり、水素ガス検出用センサー素子Ａの触媒Ｄの活
性度低下による検出感度の悪化が明確に示されている。

【００１４】換言すれば、従前の接触反応式可燃性ガス
検出用センサー素子Ａは、使用時間の経過と共に触媒活
性度、即ちＨ₂ガス検出感度が大きく低下することにな
り、図２５の如き半導体製造用の水分発生反応炉３の発
生水分取出ライン内の未反応水素ガス濃度の検出等に
は、信頼性の点で到底利用することができない。尚、こ
のことは、前記した半導体式水素ガス検出用センサーや
熱伝導度式水素ガス検出用センサーの場合でも同様であ
ることが、実験により確認されている。また、図２５の
如き半導体製造用の水分発生炉３に於いては、水素ガス
過剰状態で水分を発生させる使い方をする場合もあり、
この場合には、発生水分の取出ライン内の発生水分＋余
剰水素雰囲気中の未反応酸素ガスの濃度を検出する必要
があるが、従前のセンサー素子Ａは、これ等の場合に利
用することが出来ないことは勿論である。

【００１５】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、従前の接触
反応式可燃性ガス検出センサーや半導体式可燃性ガス検
出センサー、熱伝導式可燃性ガス検出センサー等に於け
る上述の如き問題、即ち、（イ）検出部へ流入する被検
出ガス流量によって、同じ可燃性ガス濃度であっても検
出値が大きく異なり、校正に手数がかかること、及び
（ロ）ガス検出精度が使用時間の経過と共に大きく低下
し、信頼性に欠けること、（ハ）可燃性ガス中の酸素ガ
ス濃度を精度よく検出できないこと、（ニ）高清浄度を
保ち難いこと、（ホ）防爆性の点に難点があること等の
問題を解決せんとするものであり、被検出ガス流量が変
った場合でも簡単に検出値の校正ができると共に、被検
出ガス内の可燃性ガス濃度や酸素ガス濃度と検出値との
間に再現性のあるリニアー関係が保持されることにより
高精度なガス濃度の検出を行なうことができ、しかも検
出感度の経時変化が少なくて常に高い信頼性を発揮でき
るようにしたガス検出センサーと、その防爆取付構造を
提供せんとするものである。

【００１６】

【課題を解決するための手段】本願発明者等は、接触反
応式可燃性ガス検出センサーＡの出力特性を調査する過
程に於いて、当該センサーＡの信頼性を損なう検出感度
の低下等は、その殆んどが触媒担体Ｃ内に担持された触
媒Ｄの活性度の変化に起因するものであることを知得し
た。一方、本願発明者等は、水分反応発生炉の開発を進
める過程に於いて、発生炉本体の内壁面に形成した白金
触媒層の安定化、即ち触媒性能の経時変化の防止に成功
をしている。そこで、本願発明者等は水分発生反応炉に
於ける白金触媒層の形成技術を可燃性ガス検出センサー
へ応用することにより、触媒性能の劣化が少なくて信頼
性の高い可燃性ガス検出センサーが得られることを着想
した。

【００１７】また、本願発明者等は上述の如き着想に基
づいて、「白金線コイルの温度変化に基づく抵抗変化」
に代えて「熱電対の温度変化による出力変化」を可燃性
ガス濃度の検出要素とすることを想到し、各種の「熱電
対と白金コーティング触媒」との組み合わせについて、
可燃性ガス検出センサーとしての諸特性をテストすると
共にその結果について詳細な検討をした。

【００１８】本願発明は上述のような過程を経て創作さ
れたものであり、請求項１に記載の発明は可燃性ガスを
含有する被検出ガス内へセンサー素子を配設し、可燃性
ガスの接触反応によるセンサー素子の発熱により可燃性
ガスの検出信号を発信するようにしたガス検出センサー
に於いて、表面に触媒コーティング層１４を有する熱電
対から成り、可燃性ガスの接触反応により加熱される第
１検出センサー１１と、前記第１検出センサー１１と同
じ熱電対から成り、第１検出センサー１１と間隔Ｄを置
いて配設されることにより被検出ガスの温度を測定する
第２検出センサー１２とから構成したことを発明の基本
構成とするものである。

【００１９】請求項２に記載の発明は、可燃性ガスを含
有する被検出ガス内へセンサー素子を配設し、可燃性ガ
スの接触反応によるセンサー素子の発熱により被検出ガ
ス内の酸素ガスの検出信号を発信するようにしたガス検
出センサーに於いて、表面に触媒コーティング層１４を
有する熱電対から成り、可燃性ガスの接触反応により加
熱される第１検出センサー１１と、前記第１検出センサ
ー１１と同じ熱電対から成り、第１検出センサー１１と
間隔Ｄを置いて配設されることにより被検出ガスの温度
を測定する第２検出センサー１２とから構成したことを
発明の基本構成とするものである。

【００２０】請求項３の発明は、請求項１又は請求項２
の発明に於いて、第１検出センサー１１及び第２検出セ
ンサー１２を、両側端面が開放された同じ形態のカバー
体１５、１７により間隔Ｇを置いて覆う構成としたもの
である。

【００２１】請求項４の発明は、請求項１、請求項２又
は請求項３の発明に於いて、第１検出センサーの方のカ
バー体１５の内壁面に、触媒コーティング層１６を設け
るようにしたものである。

【００２２】請求項５の発明は請求項１、請求項２、請
求項３又は請求項４の発明に於いて、第１検出センサー
１１及び第２検出センサー１２を形成する熱電対をクロ
メル・アルメルから成る熱電対とすると共に、第１検出
センサー１１の外表面に設ける触媒コーティング層１４
及び第１検出センサー１１の方のカバー体１５の内壁面
に設ける触媒コーティング層１６を、カバー体１５の外
表面に形成した酸化物又は窒化物から成るバリヤー皮膜
とその上部に形成した白金コーティング触媒とから形成
するようにしたものである。

【００２３】請求項６の発明は、可燃性ガスを含有する
被検出ガス内へセンサー素子を配設し、可燃性ガスの接
触反応によるセンサー素子の発熱により可燃性ガスの検
出信号を発信するようにしたガス検出センサーに於い
て、白金又は白金を含有する金属から成る熱電対から成
り、可燃性ガスの接触反応により加熱される第１検出セ
ンサー１１と、前記第１検出センサー１１と同じ熱電対
から成り、第１検出センサー１１と間隔Ｄを置いて配設
されると共にその外表面を酸化物又は窒化物から成るバ
リヤー皮膜によって覆うことにより、被検出ガスの温度
を検出する第２検出センサー１２とから構成したことを
発明の基本構成とするものである。

【００２４】請求項７の発明は、可燃性ガスを含有する
被検出ガス内へセンサー素子を配設し、可燃性ガスの接
触反応によるセンサー素子の発熱により被検出ガス内の
酸素ガスの検出信号を発信するようにしたガス検出セン
サーに於いて、白金又は白金を含有する金属から成る熱
電対から成り、可燃性ガスの接触反応により加熱される
第１検出センサー１１と、前記第１検出センサー１１と
同じ熱電対から成り、第１検出センサー１１と間隔Ｄを
置いて配設されると共にその外表面を酸化物又は窒化物
から成るバリヤー皮膜によって覆うことにより、被検出
ガスの温度を検出する第２検出センサー１２とから構成
したことを発明の基本構成とするものである。

【００２５】請求項８の発明は、請求項１乃至請求項７
の発明に於いて、第１検出センサー１１と第２検出セン
サー１２とを薄板状の検出センサーとしたものである。

【００２６】請求項９の発明は、請求項１乃至請求項８
の発明に於いて、第１検出センサー１１と第２検出セン
サー１２とを間隔を置いて対向状に配設するか、又は第
１検出センサー１１を第２検出センサー１２よりガスの
流れの下流側に配設するようにしたものである。

【００２７】請求項１０の発明は、請求項１乃至請求項
８の発明に於いて、第１検出センサー１１と第２検出セ
ンサー１２とを一つのガス流路内へ配設するか、又は並
列状に分岐した二つのガス流路内へ夫々分離して配設す
るようにしたものである。

【００２８】請求項１１の発明は、可燃性ガスを含有す
る被検出ガスの流路内へ介挿する分岐部３３を備えたガ
ス検出センサー取付体３４と、ガス検出センサー取付体
３４のガス入口側及びガス出口側に夫々設けたメッシュ
体又は多孔質焼結体３５とから成り、前記ガス検出セン
サー取付体３４の分岐部３３より被検出ガスの流通部内
へガス検出センサーを気密状に挿入固定することを発明
の基本構成とするものである。

【００２９】

【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて本発明の実
施態様を説明する。図１は本発明の可燃性ガス検出セン
サーを用いた可燃性ガス検出器の構成図である。本発明
に係る可燃性ガス検出器は可燃性ガス検出センサー１０
と検出器本体２０と両者の間を連結する接続ケーブル３
０とから形成されている。また、前記可燃性ガス検出セ
ンサー１０は後述するように白金コーティング触媒を施
した第１検出センサー１１と被検出ガスの温度を検出す
る第２検出センサー１２とセンサー保持部１３等から形
成されている。更に、前記検出器本体２０は第１検出セ
ンサー１１からの温度信号を検知する第１温度検出器２
１、第２検出センサー１２からの温度信号を検知する第
２温度検出器２２、両者の検出温度を夫々表示する第１
温度表示部２３及び第２温度表示部２４、両者の検出温
度の差を検出する温度差検出器２５、検出器２５からの
差温度を表示する温度差表示部２６等より構成されてい
る。更に、前記接続ケーブル３０はその両端にコネクタ
ー部３１、３２が設けられており、可燃性ガス検出セン
サー１０と検出器本体２０間を電気的に着脱自在に連結
する。

【００３０】尚、本実施態様では、検出器本体２０に第
１温度表示部２３及び第２温度表示部２４を備え、両検
出センサー１１、１２の検出温度を夫々個別に表示する
ようにしているが、差温度（可燃性ガス濃度）表示部２
６のみを設けたものでもよく、或いは差温度表示部２６
に可燃性ガス濃度警報発信部（図示省略）を具備したも
のであってもよく、検出器本体２０の構成は如何なるも
のでもよい。

【００３１】前記可燃性ガス検出センサー１０は図２及
び図３に示す如く、通常ガス供給管３６に設けたＴ字形
分岐管３３内へセンサー保持部１３を気密状に挿着する
ことにより、両検出センサー１１、１２を供給管３６内
へ配設固定している。即ち、図２は本発明に係る可燃性
ガス検出センサー１０の防爆取付構造を示すものであ
り、図に於いて３４は被検出ガスの供給管３６内へ介挿
するガス検出センサー取付体、３３はガス検出センサー
取付体３４に設けたＴ字形の分岐部、３４ａはフラン
ジ、３４ｂはメッシュ体押え、３４ｃはメッシュ体受
け、３５は防爆用の金属メッシュ体である。前記金属メ
ッシュ体３５はステンレス鋼製の約２００メッシュ程度
の金網を複数枚積層することによりディスク状に形成さ
れており、ガス検出センサー取付体３４の入口側及び出
口側に設けたメッシュ体受け３４ｃとメッシュ体押え３
４ｂ間に夫々挾着保持されている。当該金属メッシュ体
３５を設けることにより、万一ガス検出センサー取付体
３４の内部で発火が生じても火炎が金属メッシュ体３５
によって遮断され、ガス供給管３６内へ火炎が移行して
所謂爆発に至るのが完全に防止される。

【００３２】尚、本実施態様では、爆発防止用に金属メ
ッシュ体を使用しているが、これに替えて金属やセラミ
ックの多孔質焼結体を使用してもよい。また、図２の実
施態様では、ガス検出センサー取付体３４のＴ形の分岐
部３３内へセンサー保持部１３を挿着し、被検出ガスを
直線状に流通させるようにしているが、ガス供給管３６
の下流側からセンサー保持部１３を挿入固着して、被検
出ガスを図２のガス供給管３６の上流側からＴ形分岐部
３３の方向へ流通させることも可能である。

【００３３】また、本実施態様では、後述するように、
水素ガスを含有する被検出ガスを用いて検出センサー１
０の各種の特性試験を行なっているが、第１検出センサ
ー１１の白金触媒コーティング層と接触して活性化さ
れ、これによって燃焼するガスであれば如何なる可燃性
ガス、例えばＣＯであっても検出することができ、可燃
性ガスは水素ガスに限定されるものでないことは勿論で
ある。

【００３４】図４乃至図１６は、本発明に係る可燃性ガ
ス検出センサー１０の各実施態様を示すものである。即
ち、図４及び図５は第１実施態様の検出センサー１０を
示す正面図及び側面図であり、第１検出センサー１１を
逆Ｕ字形の薄板状熱電対（以下第１検出センサー本体１
１ａと呼ぶ）の表・裏両面側に後述する触媒コーティン
グ層１４を形成した構成としたものである。

【００３５】また図６及び図７は第２実施態様の検出セ
ンサー１０を示す正面図及び側面図であり、第１検出セ
ンサー１１を、第１検出センサー本体１１ａの表・裏両
面側に１．２ｍｍ×１．２ｍｍの触媒コーティング層１
４を有する構成としたものである。即ち、触媒コーティ
ング層１４の面積を減らして検出感度を低下させたもの
である。

【００３６】更に、図８及び図９は第３実施態様の検出
センサー１０を示す正面図及び側面図であり、第１検出
センサー１１を、第１検出センサー本体１１ａの表・裏
何れか片面側のみに０．７ｍｍ×１ｍｍの触媒コーティ
ング層１４を設け、検出感度をより低下させる構成とし
たものである。

【００３７】図１０及び図１１は第４実施態様の検出セ
ンサー１０を示す正面図及び側面図であり、第１検出セ
ンサー１１を、第１検出センサー本体１１ａの表・裏両
面側に触媒コーティング層１４を形成すると共に、両端
面を開口した金属製カバー体１５により、間隙Ｇ＝０．
５ｍｍの間隔を置いて第１検出センサー本体１１ａの表
・裏両面側を覆う構成としたものである。また、当該第
４実施態様に於いては、第２検出センサー１２の方は、
第１検出センサー本体１１ａと同じ構成の第２検出セン
サー本体１２ａの表・裏両面側を前記カバー体１５と同
じ構成のカバー体１７により、間隙Ｇ＝０．５ｍｍの間
隔を置いて覆った構成としている。

【００３８】図１２及び図１３は、第５実施態様の検出
センサー１０を示す正面図及び側面図であり、第１検出
センサー１１を、第１検出センサー本体１１ａの表・裏
両面側に触媒コーティング層１４を形成すると共に、両
端面を開口とし且つその内面側のみに触媒コーティング
層１６を設けた金属製カバー体１５により、間隙Ｇ＝
０．５ｍｍの間隔を置いて前記第１検出センサー１１ａ
の表・裏両面側を覆う構成としたものである。又、第２
検出センサー１２の方は、前記第４実施態様に於ける第
２検出センサー１２と同じ構成のものとなっている。

【００３９】図１４及び図１５は、第６実施態様の検出
センサー１０を示す正面図及び側面図であり、第１検出
センサー１１を、前記第５実施態様の場合と同一の金属
製カバー体１５により、間隙Ｇ＝１．０ｍｍの間隔を置
いて第１検出センサー本体１１ａの表・裏両面側を覆う
構成としたものである。又、当該第６実施態様に於いて
は、第２検出センサー１２の方は、第１検出センサー１
１の金属製カバー体１５と同じ構造（但し、触媒コーテ
ィング層１６は無い）のカバー体１７により、間隙Ｇ＝
１．０ｍｍの間隔を置いて、前記第１検出センサー本体
１１ａと同じ構造の第２検出センサー本体１２ａの表・
裏両面側を覆った構成のものとしている。

【００４０】より具体的には、第１検出センサー１１を
形成する第１検出センサー本体１１ａと第２検出センサ
ー１２を形成する第２検出センサー本体１２ａとは、同
材料を用いて同一形態に構成された熱電対であり、図４
及び図５に示すように厚さＴ＝０．０６ｍｍ、横幅Ｗ＝
１．５ｍｍのシート材を横寸法Ｌが４．４ｍｍの逆Ｕ字
形に成形したものである。また、両センサー本体１１
ａ、１２ｂは間隔Ｄ＝４ｍｍを置いて平行状に配置され
ており、センサー保持部１３に固設されている。

【００４１】前記、両センサー本体１１ａ、１２ａを形
成する熱電対には、酸化雰囲気に強いクロメル・アルメ
ル熱電対が使用されている。即ち、当該熱電対は、Ｎｉ
８９％、Ｃｒ９．８％、Ｆｅ１％、Ｍｎ０．２％から成
るＮｉ−Ｃｒ系合金（クロメル，＋脚）と、Ｎｉ９４
％、Ｍｎ２．５％、Ａｌ２％、Ｓｉ１％、Ｆｅ０．５％
のＮｉを主体とする合金（アルメル，−脚）とから形成
されており、約１０００℃の温度まで使用可能である。

【００４２】本実施態様では、クロメル・アルメルから
成る熱電対（ＣＡ型）を使用しているが、他の銅−コン
スタンタン（ＣＣ型）や鉄−コンスタンタン（ＣＩ型）
等の熱電対を使用することも勿論可能である。尚、この
場合には両検出センサー１１ａ、１２ａの外表面に耐食
性のＴｉＮ皮膜等を形成するのが望ましい。

【００４３】また、本実施態様では両検出センサー本体
１１ａ、１２ａにクロメル・アルメル熱電対等を使用
し、第１検出センサー本体１１ａの方に後述するように
白金触媒コーティング層１４を設ける構成としている
が、これ等の熱電対に替えて白金−ロジウム系熱電対を
使用することも可能である。尚、白金−ロジウム系熱電
対を使用した場合には、第１検出センサー本体１１ａの
方に白金触媒コーティング層１４を設ける必要はない
が、温度補償用（温度比較用）のセンサーを形成する第
２検出センサー本体１２ａの方は、その触媒性を消すた
めに外表面をＴｉＮコーティング層等によって覆う必要
がある。

【００４４】更に、本実施態様では、両検出センサー本
体１１ａ、１２ａを細幅の薄いシート状の合金材を用い
て逆Ｕ字形に形成しているが、両検出センサー本体１１
ａ、１２ａの形態やその断面形状は如何なるものであっ
てもよいことは勿論である。

【００４５】前記両検出センサー本体１１ａ、１２ａを
被覆するカバー体１５、１７は薄いステンレス鋼板（Ｓ
ＵＳ３１６Ｌ）から断面形状が長方形状に形成されてお
り、短辺側の両側面が開放されている。その結果、被検
出ガスは、カバー体１５、１７の短辺側の開口からカバ
ー体とセンサー本体の間へ流入し、センサー本体の外表
面に沿ってカバー体とセンサー本体の間隙Ｇ内を下流側
へ流通して行く。

【００４６】尚、本実施態様では、カバー体１５、１７
の材質をステンレス鋼（ＳＵＳ３１６Ｌ）としている
が、耐食性材料であれば如何なるものであってもよい。
また、本実施態様ではカバー体１５、１７の断面形状を
長方形状としているが、その断面形状は長方形に限られ
るものではない。更に、カバー体１５、１７は、その下
端部をセンサー保持部１３へ固定することにより、セン
サー本体との間に所定の間隙Ｇを保持した状態で垂直状
に固設されている。

【００４７】前記第１検出センサー本体１１ａの外表面
やカバー体１５の内壁面に設けた触媒コーティング層１
４・１６は、金属材の外表面に形成したバリヤー皮膜と
バリヤー皮膜の外表面に形成した白金コーティング皮膜
とから形成されている。

【００４８】即ち、前記バリヤー皮膜は、金属材から白
金コーティング皮膜内への金属拡散を防止するためのも
のであり、ＴｉＮやＴｉＣ、ＴｉＣＮ、ＴｉＡｌＮ、Ａ
ｌ₂Ｏ₃、Ｃｒ₂Ｏ₃、ＳｉＯ₂、ＣｒＮ等の酸化物や
窒化物から成る厚さ０．１〜５μｍ程度の皮膜であっ
て、イオンプレーティング工法やスパッター工法により
形成される。

【００４９】尚、バリヤー皮膜の厚さは前述の通り０．
１μｍ〜５μｍ程度が適当である。何故なら、厚さが
０．１μｍ以下であると、バリヤー機能が十分に発揮さ
れず、また逆に、厚さが５μｍを越えるとバリヤー皮膜
そのものの形成に手数がかかるうえ、５μｍ以上の厚さ
としても、地金からの金属類の拡散阻止機能がほとんど
変化せず、しかも加熱時の膨張差等が原因となってバリ
ヤー皮膜の剥離等を生ずるおそれがあるからである。ま
た、バリヤー皮膜の形成方法としては、前記イオンプレ
ーティング工法やイオンスパッタリング法以外に、真空
蒸着法等のＰＶＤ法や化学蒸着法（ＣＶＤ法）、ホット
プレス法等を用いることができる。

【００５０】一方、前記白金コーティング皮膜は、被検
知流体内の可燃性ガス成分を活性化してこれを接触触媒
反応（接触燃焼）させるものであり、０．１〜３μｍ程
度の厚さの皮膜であってイオンプレーティング工法やス
パッター工法により形成されている。尚、白金コーティ
ング皮膜の厚さは前述の通り０．１μｍ〜３μｍ程度が
適当である。何故なら、厚さが０．１μｍ以下の場合に
は、長期に亘って触媒活性を発揮することが困難とな
り、また逆に、厚さが３μｍ以上になると、白金コーテ
ィング皮膜の形成費が高騰するうえ、３μｍ以上の厚さ
にしても触媒活性度やその保持期間にほとんど差がな
く、しかも加熱時に膨張差等によって剥離を生ずるおそ
れがあるからである。また、白金コーティング皮膜の形
成方法は、前記イオンプレーティング工法やイオンスパ
ッタリング法以外に、真空蒸着法、化学蒸着法、ホット
プレス法等が使用可能であり、更に、バリヤー皮膜がＴ
ｉＮ等の導電性のある物質の時にはメッキ法も使用可能
である。

【００５１】前記各実施態様に於いては、前述り通り両
検出センサー１１，１２を薄板状にすることにより触媒
面積を増やしつつ熱容量を小さくし、センサーとしての
検出感度や応答性を上げるようにしているが、検出セン
サー１１，１２の形状は如何なるものであってもよいこ
とは勿論である。

【００５２】また、前記各実施態様に於いては、両検出
センサー１１，１２を間隔Ｄを置いて対向状（図１に示
すように、平面視で平行になる）に配置するようにして
いるが、両検出センサー１１，１２をガスの流れの方向
に間隔を置いて一列状（平面視に於いて、直線状の配置
となる）に配置し、且つ第２検出センサー１２の方を第
１検出センサー１１よりも被検出ガスの流れの上流側に
位置せしめるようにしてもよい。後者のような両検出セ
ンサー１１，１２の配置とすることにより、第１検出セ
ンサー１１の発熱の影響が第２検出センサー１２に伝わ
らず、センサーの検出精度をより高めることができる。

【００５３】更に、前記各実施態様に於いては、第１検
出センサー１１と第２検出センサー１２の両方を一つの
センサー保持部１３に固定して被検出ガスの流路内へ一
緒に挿着するようにしているが、被検出ガスの流路を並
列状に分岐させ、一方の分岐流路に第１検出センサー１
１のみを、また他方の分岐流路に第２検出センサー１２
のみを夫々挿着するようにしてもよい。後者のような両
検出センサー１１，１２の配置とすることにより、第１
検出センサー１１の発熱の影響が第２検出センサー１２
に及ばなくなり、センサーの検出精度をより高めること
ができる。

【００５４】次に、本発明に係る可燃性ガス検出センサ
ー１０の各実施態様について、その特性を説明する。図
１６は実施態様Ｎｏ１（図４、図５）の可燃性ガス検出
センサー１０の出力特性を示すものであり、図２６に示
した試験装置を用い、Ｏ₂の存在下にＨ₂濃度（又はＨ
₂の存在下にＯ₂濃度）を変化させて測定したものであ
る。ケース１からケース３の各試験例について、Ｈ₂濃
度に対する出力（温度差）がリニアーになっており、可
燃性ガス検出センサーとして利用し得ることが示されて
いる。また、ケース４・５の試験例については、Ｈ₂の
存在下にＯ₂濃度を変化させて測定したものであり、実
施態様Ｎｏ１の検出センサーが、可燃性ガス中の酸素濃
度検出用センサーとしても利用できるものであることが
示されている。

【００５５】図１７は、実施態様Ｎｏ２（図６、図７）
の可燃性ガス検出センサー１０の出力特性を示すもので
あり、第１検出センサー１１の触媒コーティング層１４
の面積を少なくして、検出感度を低下させたものであ
る。この実施態様Ｎｏ２のセンサー１０の場合には、Ｏ
₂存在下に於けるＨ₂センサー（ケース１及びケース
２）としては出力（温度差）とＨ₂濃度の間にリニアー
性が保たれているが、Ｈ₂存在下に於けるＯ₂センサー
（ケース４及びケース５）としては、特性がリニアー性
を失なうため、可燃性ガス中のＯ₂検出センサーとして
は利用し難くくなる。

【００５６】図１８は実施態様Ｎｏ３（図８、図９）の
可燃性ガス検出センサー１０の出力特性を示すものであ
り、第１検出センサー１１の触媒コーティング層１４の
面積をより少なくして、検出感度を低下せしめたもので
ある。この実施態様Ｎｏ３のセンサー１０の場合には、
Ｏ₂濃度が高いケース１の場合には、Ｈ₂に対して優れ
た出力特性のリニアー性が得られるが、Ｏ₂濃度の低い
場合（ケース２）には、リニアー性の範囲が狭くなり、
また、Ｈ₂存在下に於けるＯ₂センサー（ケース４及び
ケース５）としては、検出感度が著しく低下する。

【００５７】図１９及び図２０は実施態様Ｎｏ４（図１
０、図１１）の可燃性ガス検出センサー１０の出力特性
を示すものであり、カバー体１５を設けることにより第
１検出センサー本体１１ａと被検出ガスとの接触度を調
整し、センサー感度を調節するようにしたものである。
この実施態様Ｎｏ４の検出センサー１０の場合には、何
れのケースの場合にも出力特性がリニアー性を有するも
のになるが、ケース３及びケース５の場合には検出感度
が低下する。尚、検出センサー１０の初期温度を高めた
場合（図２０）には、ケース３及びケース５の場合の検
出感度も上昇することになり、好都合である。

【００５８】図２１は、本実施態様Ｎｏ５（図１２、図
１３）の可燃性ガス検出センサー１０の出力特性を示す
ものであり、カバー体１５の内面にも触媒コーティング
層１４を設けることによって、間隙Ｇ内へ流入した被検
出ガス内の可燃性成分の接触反応性を高め、センサーの
検出感度を上昇させるようにしたものである。尚、前記
間隙Ｇは０．５ｍｍに設定されている。この実施態様Ｎ
ｏ５の検出センサー１０の場合、その出力特性はケース
１からケース５の全てに亘ってほぼリニアー性を保持し
ており、且つケース３及びケース５の場合の検出感度も
上昇している。

【００５９】図２２及び図２３は実施態様Ｎｏ６の可燃
性ガス検出センサー１０の出力特性を示すものであり、
前記実施態様Ｎｏ５の場合よりも間隙Ｇを増し（Ｇ＝
１．０ｍｍ）、間隙Ｇ内へ流入する被検出ガスの量を増
すことにより、検出感度を若干高めるようにしたもので
ある。即ち、図２２は検出センサー１０の初期温度を１
９８〜２２１℃とし、且つ各ケースに於いてＨ₂とＯ₂
流量を調整することによりガス濃度（Ｈ₂濃度）を調整
した場合の出力特性を示すものである。

【００６０】この実施態様Ｎｏ６の検出センサー１０の
場合には、全ケースについて、即ちＯ₂存在下に於ける
Ｈ₂センサーとしても或いはＨ₂存在下に於けるＯ₂セ
ンサーとしても、その出力特性に優れたリニアー性が得
られ、検出センサーとしては最も理想的なものである。
尚、図２２に於いてケース４の特性がＯ₂濃度約６％以
上（Ｏ₂＝６０ｓｃｃｍ）の範囲で飽和しているのは、
間隙Ｇ内へ流入した被検出ガス内のＨ₂（１００ｓｃｃ
ｍ）が全て接触反応をしてしまい（Ｈ₂＋１／２Ｏ₂→
Ｈ₂Ｏ）、Ｏ₂リッチガスになっているためである。

【００６１】尚、前記図１６乃至図２２は、可燃性ガス
としてＨ₂ガスを含んだ被検出ガスの場合の出力特性を
示すものであり、厳密には水素ガス検出センサーとして
の出力特性を示すものである。しかし、可燃性ガスとし
てＨ₂ガス以外のガス、例えばプロパン、メタン等のガ
スを含有する被検出ガスにも、前記Ｈ₂ガスを含有する
被検出ガスの場合とほぼ同じ傾向の出力特性となり、従
って、本発明の可燃性ガス検出センサー１０は、酸素存
在下に於ける殆んどの可燃性ガスの濃度検出又は殆どの
可燃性ガス中の酸素ガス濃度の検出に適用することが出
来る。

【００６２】

【発明の効果】本願請求項１の発明に於いては、熱電対
から成る第１検出センサー本体の外表面に触媒コーティ
ング層１４を形成し、可燃性ガスの接触反応により加熱
される第１検出センサー１１と、当該第１検出センサー
と同じ熱電対から成り、前記被検出ガスの温度を検出す
る第２検出センサー１２とから可燃性ガス検出センサー
を形成している。その結果、構造が極めて簡単で、しか
も検出出力と可燃性ガス濃度とが極めてリニアーな関係
にある可燃性ガス検出センサーが得られ、半導体製造装
置用水分発生反応炉から取り出された発生水分中の残留
水素等の検出に極めて有用である。

【００６３】同様に、請求項２の発明に於いては、可燃
性ガスを含有する被検出ガス内の酸素ガス濃度を高精度
で検出することができ、水分発生反応炉から取り出され
た発生水分中の残留酸素等の検出に有用である。

【００６４】第１検出センサー１１及び第２検出センサ
ー１２にカバー体１５、１７を設け、第１検出センサー
等の触媒コーティング層１４上で接触反応させる可燃性
ガス量を適宜に調整する構成とした場合には、検出を必
要とする可燃性ガス又は酸素ガスの全濃度範囲に亘って
適宜の感度で高精度なガス濃度の測定が行なえる。

【００６５】第１検出センサー等に設けた触媒コーティ
ング層１４は、地金の上面に設けた酸化物や窒化物から
成るバリヤー皮膜とその上面に設けた白金コーティング
皮膜とから形成されているため、地金の金属成分の白金
コーティング皮膜内へ拡散等に起因する触媒性能の劣化
が完全に防止される。その結果、ガス検出センサーの出
力特性が殆んど経年変化を起さず、安定した可燃性ガス
又は酸素ガスの検出が行なえる。

【００６６】第１検出センサー及び第２検出センサーを
形成する熱電対として白金−ロジウム系の熱電対を用い
た場合には、第２検出センサーを形成する白金−ロジウ
ム系熱電対に前記ＴｉＮ等のバリヤー皮膜を形成するだ
けで、触媒コーティング層を設けることなく長期に亘っ
て安定した高精度の可燃性ガス又は酸素ガスの検出が行
なえる。

【００６７】本発明のガス検出センサーは構成部材の外
表面が全て平滑な平面に形成されており、従前のこの種
のセンサーのように凹凸の多い触媒担持体で覆われてい
ない。その結果、センサー外表面の洗浄性がよく、高清
浄度を要求される半導体製造用プロセスに用いても、ガ
ス純度の低下を招く心配がない。

【００６８】本発明のガス検出センサーは熱電対方式で
あるため、センサー部の温度を直接モニターすることが
できる。その結果、センサー部自体の温度が着火源とな
る程度に到達する前に、ガス供給を停止する等の手段を
講じて爆発の危険を簡単且つ確実に回避することがで
き、安全性の確保の点でも極めて有利である。

【００６９】本発明に係るガス検出センサーの防爆取付
構造によれば、ガス検出センサー取付体３４を配管路内
へ介挿し、その分岐部３３内へガス検出センサーの保持
部１３を挿着するだけで極めて簡単にセンサーの取り付
けができると共に、ガス検出センサー取付体３４のガス
入口側及びガス出口側に金属メッシュ体３５を配設して
いるため、万一取付体３４の内部で着火が生じても、火
炎が取付体３４の外部へ拡散することはない。本発明は
上述の通り、酸素存在下に於ける可燃性ガスの検出セン
サーとしてのみならず可燃性ガス中の酸素ガスの検出セ
ンサーとしても用いることができ、優れた実用的効用を
有するものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の可燃性ガス検出センサーを用いた可燃
性ガス検出器の構成説明図。

【図２】本発明の可燃性ガス検出センサーの取付け状態
を示す説明図。

【図３】図２のイ−イ視図。

【図４】第１実施態様に係る可燃性ガス検出センサーの
正面図。

【図５】図４の側面図。

【図６】第２実施態様に係る可燃性ガス検出センサーの
正面図。

【図７】図６の側面図。

【図８】第３実施態様に係る可燃性ガス検出センサーの
正面図。

【図９】図７の側面図。

【図１０】第４実施態様に係る可燃性ガス検出センサー
の正面図。

【図１１】図１０の側面図。

【図１２】第５実施態様に係る可燃性ガス検出センサー
の正面図。

【図１３】図１２の側面図。

【図１４】第６実施態様に係る可燃性ガス検出センサー
の正面図。

【図１５】図１４の側面図。

【図１６】第１実施態様に係る可燃性ガス検出センサー
（Ｎｏ１検出センサー）の出力特性図。

【図１７】第２実施態様に係る可燃性ガス検出センサー
（Ｎｏ２検出センサー）の出力特性図。

【図１８】第３実施態様に係る可燃性ガス検出センサー
（Ｎｏ３検出センサー）の出力特性図。

【図１９】第４実施態様に係る可燃性ガス検出センサー
（Ｎｏ４検出センサー）の出力特性図（初期温度１９７
〜２１５℃）。

【図２０】第４実施態様に係る可燃性ガス検出センサー
（Ｎｏ４検出センサー）の出力特性図（初期温度２０６
〜２１６℃）。

【図２１】第５実施態様に係る可燃性ガス検出センサー
（Ｎｏ５検出センサー）の出力特性図。

【図２２】第６実施態様に係る可燃性ガス検出センサー
（Ｎｏ６検出センサー）の出力特性図。

【図２３】従前の接触反応式可燃性ガス検出用センサー
素子の一例を示す斜面図。

【図２４】接触反応式可燃性ガス検出器の基本回路図。

【図２５】接触反応式可燃性ガス検出用センサー素子の
出力特性測定系の説明図。

【図２６】接触反応式可燃性ガス検出用センサー素子の
出力特性図。

【図２７】接触反応式可燃性ガス検出用センサー素子の
出力特性の経時変化を示す図。

【符号の説明】

１０は可燃性ガス検出センサー、１１は第１検出センサ
ー、１１ａは第１検出センサー本体、１２は第２検出セ
ンサー、１２ａは第２検出センサー本体、１３はセンサ
ー保持部、１４は触媒コーティング層（第１検出センサ
ー本体側）、１５はカバー体（第１検出センサー本体
側）、１６はカバー体内面の触媒コーティング層、１７
はカバー体（第２検出センサー本体側）、２０は検出器
本体、２１は第１温度検出器、２２は第２温度検出器、
２３は第１温度表示部、２４は第２温度表示部、２５は
温度差検出器、２６は温度差（Ｈ₂ガス濃度）表示部、
３０は接続ケーブル、３１はコネクター部、３２はコネ
クター部、３３は分岐部、３４はガス検出センサー取付
体、３４ａはフランジ、３４ｂはメッシュ体押え、３４
ｃはメッシュ体受け、３５は防爆用メッシュ体。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者川田幸司大阪府大阪市西区立売堀２丁目３番２号株式会社フジキン内 (72)発明者池田信一大阪府大阪市西区立売堀２丁目３番２号株式会社フジキン内 (72)発明者森本明弘大阪府大阪市西区立売堀２丁目３番２号株式会社フジキン内 (72)発明者皆見幸男大阪府大阪市西区立売堀２丁目３番２号株式会社フジキン内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】可燃性ガスを含有する被検出ガス内へセ
ンサー素子を配設し、可燃性ガスの接触反応によるセン
サー素子の発熱により可燃性ガスの検出信号を発信する
ようにしたガス検出センサーに於いて、表面に触媒コー
ティング層（１４）を有する熱電対から成り、可燃性ガ
スの接触反応により加熱される第１検出センサー（１
１）と、前記第１検出センサー（１１）と同じ熱電対か
ら成り、第１検出センサー（１１）と間隔を置いて配設
されることにより被検出ガスの温度を検出する第２検出
センサー（１２）とから構成したことを特徴とする可燃
性ガスのガス検出センサー。
【請求項２】可燃性ガスを含有する被検出ガス内へセ
ンサー素子を配設し、可燃性ガスの接触反応によるセン
サー素子の発熱により被検出ガス内の酸素ガスの検出信
号を発信するようにしたガス検出センサーに於いて、表
面に触媒コーティング層（１４）を有する熱電対から成
り、可燃性ガスの接触反応により加熱される第１検出セ
ンサー（１１）と、前記第１検出センサー（１１）と同
じ熱電対から成り、第１検出センサー（１１）と間隔を
置いて配設されることにより被検出ガスの温度を検出す
る第２検出センサー（１２）とから構成したことを特徴
とする酸素ガスのガス検出センサー。
【請求項３】第１検出センサー（１１）及び第２検出
センサー（１２）を、両側端面が開放された同じ形態の
カバー体（１５）、（１７）により間隔（Ｇ）を置いて
覆う構成とした請求項１又は請求項２に記載のガス検出
センサー。
【請求項４】第１検出センサーの方のカバー体（１
５）の内壁面に、触媒コーティング層（１６）を設ける
ようにした請求項１、請求項２又は請求項３に記載のガ
ス検出センサー。
【請求項５】第１検出センサー（１１）及び第２検出
センサー（１２）を形成する熱電対をクロメル・アルメ
ルから成る熱電対とすると共に、第１検出センサー（１
１）の外表面に設ける触媒コーティング層（１４）及び
第１検出センサー（１１）の方のカバー体（１５）の内
壁面に設ける触媒コーティング層（１６）を、カバー体
（１５）の外表面に形成した酸化物又は窒化物から成る
バリヤー皮膜とその上部に形成した白金コーティング皮
膜とから形成するようにした請求項１、請求項２、請求
項３又は請求項４に記載のガス検出センサー。
【請求項６】可燃性ガスを含有する被検出ガス内へセ
ンサー素子を配設し、可燃性ガスの接触反応によるセン
サー素子の発熱により可燃性ガスの検出信号を発信する
ようにしたガス検出センサーに於いて、白金又は白金を
含有する金属から成る熱電対から成り、可燃性ガスの接
触反応により加熱される第１検出センサー（１１）と、
前記第１検出センサー（１１）と同じ熱電対から成り、
第１検出センサー（１１）と間隔を置いて配設されると
共にその外表面を酸化物又は窒化物から成るバリヤー皮
膜によって覆うことにより、被検出ガスの温度を検出す
る第２検出センサー（１２）とから構成したことを特徴
とする可燃性ガスのガス検出センサー。
【請求項７】可燃性ガスを含有する被検出ガス内へセ
ンサー素子を配設し、可燃性ガスの接触反応によるセン
サー素子の発熱により被検出ガス内の酸素ガスの検出信
号を発信するようにしたガス検出センサーに於いて、白
金又は白金を含有する金属から成る熱電対から成り、可
燃性ガスの接触反応により加熱される第１検出センサー
（１１）と、前記第１検出センサー（１１）と同じ熱電
対から成り、第１検出センサー（１１）と間隔を置いて
配設されると共にその外表面を酸化物又は窒化物から成
るバリヤー皮膜によって覆うことにより、被検出ガスの
温度を検出する第２検出センサー（１２）とから構成し
たことを特徴とする酸素ガスのガス検出センサー。
【請求項８】第１検出センサー（１１）と第２検出セ
ンサー（１２）とを薄板状の検出センサーとした請求項
１、請求項２、請求項３、請求項４、請求項５、請求項
６又は請求項７に記載のガス検出センサー。
【請求項９】第１検出センサー（１１）と第２検出セ
ンサー（１２）とを間隔を置いて対向状に配設するか、
又は第１検出センサー（１１）を第２検出センサー（１
２）よりガスの流れの下流側に配設するようにした請求
項１、請求項２、請求項３、請求項４、請求項５、請求
項６、請求項７又は請求項８に記載のガス検出センサ
ー。
【請求項１０】第１検出センサー（１１）と第２検出
センサー（１２）とを一つのガス流路内へ配設するか、
又は並列状に分岐した二つのガス流路内へ夫々分離して
配設するようにした請求項１、請求項２、請求項３、請
求項４、請求項５、請求項６、請求項７又は請求項８に
記載のガス検出センサー。
【請求項１１】可燃性ガスを含有する被検出ガスの流
路内へ介挿する分岐部（３３）を備えたガス検出センサ
ー取付体（３４）と、ガス検出センサー取付体（３４）
のガス入口側及びガス出口側に夫々設けたメッシュ体又
は多孔質焼結体（３５）とから成り、前記ガス検出セン
サー取付体（３４）の分岐部（３３）より被検出ガスの
流通部内へガス検出センサーを気密状に挿入固定するこ
とを特徴とするガス検出センサーの防爆取付構造。