JPH11304626A - Cylinder cabinet - Google Patents
Cylinder cabinetInfo
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- JPH11304626A JPH11304626A JP10109699A JP10969998A JPH11304626A JP H11304626 A JPH11304626 A JP H11304626A JP 10109699 A JP10109699 A JP 10109699A JP 10969998 A JP10969998 A JP 10969998A JP H11304626 A JPH11304626 A JP H11304626A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、特殊ガス使用設備
に特殊ガスを供給するシリンダーキャビネットに関し、
特に排気ダクトの構造に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a cylinder cabinet for supplying special gas to equipment using special gas,
In particular, it relates to the structure of an exhaust duct.
【０００２】[0002]
【従来の技術】はじめに、シリンダーキャビネットの基
本的な構成について説明する。図６に示すように、シリ
ンダーキャビネット１は、そのキャビネット本体１ａが
半密閉構造をしており、その内部には、特殊ガスボンベ
８が内蔵されている。キャビネット本体１ａには、この
特殊ガスボンベ８等からの漏洩ガスを除害装置１０に送
り込むために、排気ダクト３が接続されており、この排
気ダクト３を介して送風機９により常時排気されてい
る。また、このシリンダーキャビネット１のキャビネッ
ト本体１ａには、排気ダクト３内が十分な流速になるよ
うに吸気口７が設けられている。また、排気ダクト３に
は、ガス漏洩検知用のサンプリングチューブ４が設けら
れ、このサンプリングチューブ４を介して吸引ポンプ６
により排気ダクト３内の排出空気の一部が常時吸入され
てガス検知器５へと導かれるようになっている。2. Description of the Related Art First, a basic configuration of a cylinder cabinet will be described. As shown in FIG. 6, the cylinder cabinet 1 has a cabinet body 1a having a semi-hermetic structure, and a special gas cylinder 8 is built therein. An exhaust duct 3 is connected to the cabinet main body 1a to send gas leaked from the special gas cylinder 8 and the like to the abatement apparatus 10. The exhaust duct 3 is constantly exhausted by the blower 9 through the exhaust duct 3. The cabinet body 1a of the cylinder cabinet 1 is provided with an intake port 7 so that the inside of the exhaust duct 3 has a sufficient flow velocity. The exhaust duct 3 is provided with a sampling tube 4 for detecting gas leakage.
Thereby, a part of the exhaust air in the exhaust duct 3 is always sucked and guided to the gas detector 5.
【０００３】次に、上記シリンダーキャビネット１での
ガス漏洩時の検知動作について説明する。シリンダーキ
ャビネット１内の気流は、送風機９によって、図６に示
すように吸気口７から排気ダクト３へ流れ、排気ダクト
３を介して常時排気されている。ここで、シリンダーキ
ャビネット１のキャビネット本体１ａ内で特殊ガスボン
ベ８からガス漏洩があった場合、この漏洩ガスは、気流
に従い排気ダクト３へと流される。そして、この漏洩ガ
スがサンプリングチューブ４の開口部４ａに達した場
合、吸引ポンプ６によってサンプリングチューブ４に漏
洩ガスが吸入されてガス検知器５へと導かれ、このガス
検知器５にてガスの漏洩が検知される。Next, the operation of detecting a gas leak in the cylinder cabinet 1 will be described. The air flow in the cylinder cabinet 1 flows from the intake port 7 to the exhaust duct 3 by the blower 9 as shown in FIG. 6, and is constantly exhausted through the exhaust duct 3. Here, when there is a gas leak from the special gas cylinder 8 in the cabinet main body 1a of the cylinder cabinet 1, the leaked gas flows to the exhaust duct 3 according to the air flow. When the leaked gas reaches the opening 4 a of the sampling tube 4, the leaked gas is sucked into the sampling tube 4 by the suction pump 6 and guided to the gas detector 5. Leak is detected.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記シリン
ダーキャビネット１にあっては、特殊ガスボンベ８から
の漏洩ガスが微少である場合、ガス検知器５による漏洩
ガスが検知されない恐れがあった。つまり、排気ダクト
３内部の排出空気は、層流状に流れるため、特殊ガスの
微少な漏洩の場合、排気ダクト３内全体に特殊ガスが拡
散せず、これにより、径のごく細いサンプリングチュー
ブ４の開口部４ａに特殊ガスが達せず、吸入されない恐
れがある。However, in the above-mentioned cylinder cabinet 1, when the leak gas from the special gas cylinder 8 is very small, there is a possibility that the leak gas is not detected by the gas detector 5. In other words, since the exhaust air inside the exhaust duct 3 flows in a laminar flow, the special gas does not diffuse into the entire exhaust duct 3 in the case of a small leak of the special gas. There is a possibility that the special gas does not reach the opening 4a and is not sucked.
【０００５】この発明は、上記事情に鑑みてなされたも
ので、特殊ガスの漏洩が微少であっても確実に検知する
ことが可能な、極めて信頼性の高いシリンダーキャビネ
ットを提供することを目的としている。The present invention has been made in view of the above circumstances, and has as its object to provide an extremely reliable cylinder cabinet that can reliably detect the leakage of special gas even if it is very small. I have.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１記載のシリンダーキャビネットは、キャビ
ネット本体内に、特殊ガスが充填されたボンベが収納さ
れたシリンダーキャビネットにおいて、前記キャビネッ
ト本体に連結され、前記キャビネット本体内の気体が流
されるダクトと、前記キャビネット本体内における特殊
ガスの漏洩を検知するために、前記ダクト内に開口部が
配置されて前記ダクト内を流れる気体を引き込む管体と
を有しており、前記ダクトには、前記管体の上流側に、
前記ダクト内を流れる気体を撹拌する撹拌装置部が設け
られていることを特徴としている。つまり、ダクト内を
流れる気体を引き込んで漏洩ガスを検知させるために設
けられた管体の上流側にて、ダクト内を流れる気体が撹
拌装置部にて撹拌され、これにより、漏洩ガスがダクト
内全体に拡散され、管体の開口部へ確実に到達されて引
き込まれる。これにより、特殊ガスの微少な漏洩時にお
いても、信頼性の高いガス漏洩検知が可能となる。According to a first aspect of the present invention, there is provided a cylinder cabinet in which a cylinder filled with a special gas is housed in a cabinet body. A connected duct through which the gas in the cabinet body flows, and a pipe body provided with an opening in the duct to draw in the gas flowing through the duct in order to detect leakage of the special gas in the cabinet body. And the duct has an upstream side of the pipe body,
A stirrer for stirring the gas flowing in the duct is provided. In other words, the gas flowing through the duct is agitated by the stirrer on the upstream side of the pipe provided to draw in the gas flowing through the duct and to detect the leaked gas. It is diffused throughout and is reliably reached and pulled into the opening of the tube. This makes it possible to detect gas leakage with high reliability even when the special gas leaks very little.
【０００７】請求項２記載のシリンダーキャビネット
は、請求項１記載のシリンダーキャビネットにおいて、
前記撹拌装置部が、前記ダクトの軸線を中心として回転
可能に支持された回転軸の周囲に螺旋状に羽根が設けら
れた羽根車と、該羽根車に設けられた撹拌板とを有して
おり、前記羽根車の回転により前記撹拌板が、前記ダク
ト内を流れる気体を撹拌して下流側に乱流を生じさせる
ことを特徴としている。つまり、ダクト内を流れる気体
が、羽根車の羽根に当たることにより、この羽根車に回
転力が発生して回転し、羽根車の回転によって撹拌板が
回転されて、下流側にて、ダクト内を流れる気体が撹拌
され、漏洩ガスがダクト内全体に拡散され、管体の開口
部へ確実に到達されて引き込まれる。[0007] The cylinder cabinet according to claim 2 is the cylinder cabinet according to claim 1,
The stirrer unit includes an impeller provided with helical blades around a rotation shaft rotatably supported about the axis of the duct, and a stirring plate provided on the impeller. The rotation of the impeller causes the agitating plate to agitate gas flowing in the duct to generate a turbulent flow downstream. In other words, the gas flowing in the duct impinges on the blades of the impeller, generating a rotational force on the impeller and rotating, and the rotation of the impeller causes the stirring plate to rotate. The flowing gas is agitated, and the leaked gas is diffused throughout the duct and reliably reaches and is drawn into the opening of the tube.
【０００８】請求項３記載のシリンダーキャビネット
は、請求項１記載のシリンダーキャビネットにおいて、
前記撹拌装置部が、前記ダクト内に設けられた複数の孔
部を有する隔壁と、該隔壁の下流側に前記孔部に連通さ
せて設けられ、それぞれ屈曲されて先端部が前記ダクト
の同一周方向へ向けられたノズルとを有しており、前記
ダクト内を流れる気体を前記隔壁の孔部からノズル内へ
流入させ、これらノズルの先端部から吹き出させること
により、下流側に乱流を生じさせることを特徴としてい
る。即ち、ダクト内を流れる気体が、隔壁の孔部からノ
ズル内へ入り込んで、これらダクトの先端部から吹き出
すことにより、下流側にて、ダクト内を流れる気体が撹
拌され、漏洩ガスがダクト内全体に拡散され、管体の開
口部へ確実に到達さされて引き込まれる。[0008] The cylinder cabinet according to claim 3 is the cylinder cabinet according to claim 1,
The stirrer unit is provided with a partition having a plurality of holes provided in the duct, and provided downstream of the partition so as to communicate with the holes. Having a nozzle directed in the direction, the gas flowing in the duct flows into the nozzle from the hole of the partition wall, and is blown out from the tip of the nozzle, thereby generating a turbulent flow on the downstream side. It is characterized by having That is, the gas flowing in the duct enters the nozzle from the hole of the partition wall and is blown out from the tip of the duct, so that the gas flowing in the duct is agitated on the downstream side, and the leaked gas is discharged from the entire duct. And is reliably reached and pulled into the opening of the tube.
【０００９】[0009]
【発明の実施の形態】以下、本発明のシリンダーキャビ
ネットの実施の形態を図によって説明する。図１に示す
ように、本実施の形態のシリンダーキャビネット１は、
そのキャビネット本体１ａが、前述したように、半密閉
構造をしており、その内部には、特殊ガスボンベ８が内
蔵されている。また、シリンダーキャビネット１のキャ
ビネット本体１ａには、特殊ガスボンベ８等からの漏洩
ガスを除害装置１０に送り込むように、排気ダクト（ダ
クト）３が接続されており、この排気ダクト３を介して
送風機９により常時排気されるようになっている。ま
た、排気ダクト３内が十分な流速になるようにキャビネ
ット本体１ａには吸気口７が設けられている。排気ダク
ト３には、ガス漏洩検知用のサンプリングチューブ（管
体）４が設けられ、吸引ポンプ６によってサンプリング
チューブ４を介して排気ダクト３内の排出空気の一部が
常時吸入され、ガス検知器５へと導かれるようになって
いる。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of a cylinder cabinet according to the present invention will be described below with reference to the drawings. As shown in FIG. 1, the cylinder cabinet 1 of the present embodiment
As described above, the cabinet body 1a has a semi-closed structure, and a special gas cylinder 8 is built in the cabinet body 1a. Further, an exhaust duct (duct) 3 is connected to the cabinet body 1 a of the cylinder cabinet 1 so that gas leaked from the special gas cylinder 8 or the like is sent to the abatement apparatus 10. The pump 9 is always evacuated. In addition, an inlet 7 is provided in the cabinet body 1a so that the inside of the exhaust duct 3 has a sufficient flow velocity. The exhaust duct 3 is provided with a sampling tube (tube) 4 for detecting gas leakage, and a part of the exhaust air in the exhaust duct 3 is constantly sucked in by the suction pump 6 through the sampling tube 4. It is led to 5.
【００１０】また、排気ダクト３には、前記サンプリン
グチューブ４の上流側に、撹拌装置部２が設けられてい
る。この撹拌装置部２は、排気ダクト３内を流れる排出
空気を撹拌するものである。The exhaust duct 3 is provided with a stirring device 2 upstream of the sampling tube 4. The stirrer unit 2 stirs exhaust air flowing through the exhaust duct 3.
【００１１】次に、この撹拌装置部２について、図２及
び図３を参照して説明する。図に示すように、この撹拌
装置部２は、排気ダクト３の中心にて軸方向に沿って支
持された回転軸１４を有しており、この回転軸１４は、
支持フレーム２ａによって排気ダクト３に支持された軸
受け１４ａによって排気ダクト３の軸線を中心として回
転可能に支持されている。この回転軸１４には、その周
囲に螺旋状に羽根１２ａが設けられている。そして、こ
れら回転軸１４とこの回転軸１４の周囲に設けられた羽
根１２ａとから、排出ダクト３内を流れる排出空気流に
よって回転する受動羽根車（羽根車）１２が構成されて
いる。Next, the stirring device 2 will be described with reference to FIGS. As shown in the figure, the stirring device unit 2 has a rotating shaft 14 supported along the axial direction at the center of the exhaust duct 3, and the rotating shaft 14
The bearing 14a supported by the exhaust duct 3 by the support frame 2a is rotatably supported about the axis of the exhaust duct 3. The rotary shaft 14 is provided with a blade 12a in a spiral shape around the rotary shaft 14. The rotary shaft 14 and the blades 12 a provided around the rotary shaft 14 constitute a passive impeller (impeller) 12 that rotates by a discharge airflow flowing in the discharge duct 3.
【００１２】この受動羽根車１２の端部には、図３に示
すように、回転方向と直角に撹拌板１３が取り付けられ
ている。なお、受動羽根車１２の面積は撹拌板１３のそ
れよりも大きく約４倍以上にする事が望ましい。また、
受動羽根車１２の羽根１２ａの取り付け角度は排出空気
の流れ方向に対して４５度でかつ撹拌装置部２の下流側
から見て反時計方向に回転させることにより最良の回転
撹拌効率が得られる。また、この撹拌板１３には、撹拌
効率を向上させるためその面積の１／２から３／４の広
さで排出空気が通過できるように、穴１３ａを開口した
り格子状の構造とする。As shown in FIG. 3, a stirring plate 13 is attached to the end of the passive impeller 12 at right angles to the rotation direction. It is desirable that the area of the passive impeller 12 is larger than that of the stirring plate 13 and about four times or more. Also,
The angle of attachment of the blades 12a of the passive impeller 12 is 45 degrees with respect to the flow direction of the exhaust air, and by rotating the blades counterclockwise as viewed from the downstream side of the stirring device section 2, the best rotational stirring efficiency can be obtained. Further, in order to improve the stirring efficiency, the stirring plate 13 has a hole 13a or a lattice-like structure so that the exhaust air can pass therethrough in an area of か ら to ／ of the area thereof.
【００１３】次に、上記シリンダーキャビネット１のキ
ャビネット本体１ａ内でのガス漏洩時の検知動作につい
て図１を用いて説明する。シリンダーキャビネット１の
キャビネット本体１ａ内の気流は、排気ダクト３を介し
て送風機９により常時排気されているため、図１に示す
ように、吸気口７から排気ダクト３に流れている。ここ
で、キャビネット本体１ａ内でガス漏洩があった場合、
この気流に従い漏洩ガスは排気ダクト３へと流れ、撹拌
装置部２を通過して除害装置１０へ送り出される。ま
た、撹拌装置部２の下流側では、サンプリングチューブ
４にて、漏洩ガスが吸入され、ガス検知器５へと導かれ
てガス漏洩が検知される。Next, a detection operation at the time of gas leakage in the cabinet body 1a of the cylinder cabinet 1 will be described with reference to FIG. Since the airflow in the cabinet body 1a of the cylinder cabinet 1 is constantly exhausted by the blower 9 via the exhaust duct 3, it flows from the intake port 7 to the exhaust duct 3 as shown in FIG. Here, if there is a gas leak in the cabinet body 1a,
The leaked gas flows to the exhaust duct 3 according to the airflow, passes through the agitator unit 2, and is sent to the abatement apparatus 10. Further, on the downstream side of the stirrer unit 2, the leaked gas is sucked in by the sampling tube 4 and guided to the gas detector 5 to detect the gas leak.
【００１４】ここで、上記実施の形態のシリンダーキャ
ビネット１では、撹拌装置部２において、送風機９によ
り排気ダクト３内を常時流れる排出空気が、撹拌装置部
２を通過する際に、受動羽根車１２の羽根１２ａに当た
る事により、この受動羽根車１２に回転力が発生し、受
動羽根車１２が撹拌装置部２の下流側から見て反時計方
向に回転する。そして、この受動羽根車１２の回転によ
り、その端部に取り付けられた撹拌板１３が回転されて
排出空気が撹拌される。Here, in the cylinder cabinet 1 of the above-described embodiment, when the exhaust air constantly flowing through the exhaust duct 3 by the blower 9 in the stirring device section 2 passes through the stirring device section 2, the passive impeller 12 The impeller 12a generates a rotational force on the passive impeller 12, and the passive impeller 12 rotates counterclockwise as viewed from the downstream side of the agitator unit 2. Then, by the rotation of the passive impeller 12, the stirring plate 13 attached to the end thereof is rotated, and the discharged air is stirred.
【００１５】つまり、撹拌装置部２の下流側では、漏洩
ガスを含んだ排出空気が撹拌されて乱流となり、漏洩ガ
スが排気ダクト３内全体に拡散することとなる。これに
より、漏洩ガスが微少であっても、この撹拌装置２の下
流において、排気ダクト３内全体に漏洩ガスが拡散さ
れ、この拡散された漏洩ガスがサンプリングチューブ４
の開口部４ａに確実に達することとなり、このサンプリ
ングチューブ４を介してガス検知器５へ漏洩ガスが確実
に導かれてガス漏洩が検知される。That is, on the downstream side of the stirrer unit 2, the exhaust air containing the leaked gas is stirred to form a turbulent flow, and the leaked gas diffuses throughout the exhaust duct 3. Thereby, even if the leakage gas is very small, the leakage gas is diffused throughout the exhaust duct 3 downstream of the stirring device 2, and the diffused leakage gas is collected by the sampling tube 4.
The leaked gas is reliably guided to the gas detector 5 via the sampling tube 4 and the gas leak is detected.
【００１６】次に、本発明のシリンダーキャビネット１
における撹拌装置部２の他の実施の形態例を図面を参照
して詳細に説明する。図４及び図５は、本発明のシリン
ダーキャビネット１における撹拌装置部２についての他
の実施の形態例を示す図である。この撹拌装置部２は、
排気ダクト３内部に設けられた複数の孔部１６ａを有す
る隔壁１６と、この隔壁１６の下流側に、前記孔部１６
ａに連通させて設けられた複数のノズル１５とから構成
されている。これらノズル１５は、撹拌装置部２の下流
側から見て反時計方向に屈曲され、その先端部の吹き出
し口１５ａが排気ダクト３の同一周方向へ向けられてい
る。Next, the cylinder cabinet 1 of the present invention will be described.
Another embodiment of the agitating device section 2 will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 4 and FIG. 5 are views showing another embodiment of the stirring device 2 in the cylinder cabinet 1 of the present invention. This stirrer unit 2
A partition 16 having a plurality of holes 16 a provided inside the exhaust duct 3, and the hole 16 is provided downstream of the partition 16.
and a plurality of nozzles 15 provided in communication with a. These nozzles 15 are bent counterclockwise as viewed from the downstream side of the stirring device section 2, and the outlets 15 a at the tips thereof are directed in the same circumferential direction of the exhaust duct 3.
【００１７】次に、この他の実施形態例の撹拌装置部２
の動作について図４及び図５を使用して説明する。排気
ダクト３内は送風機９により常時排出空気が流れてい
る。この排出空気は撹拌装置部２の隔壁１６に形成され
た孔部１６ａへ入り込み、それぞれのノズル１５を通過
することにより整流されてその先端部の吹き出し口１５
ａから吹き出される。これにより、撹拌装置部２の下流
側には、この撹拌装置部２の下流側から見て反時計方向
に回転する力が生じ、ノズル１５の後流に、螺旋状の乱
流が発生し撹拌される。Next, the stirrer unit 2 of another embodiment will be described.
Will be described with reference to FIGS. 4 and 5. FIG. Exhaust air is constantly flowing in the exhaust duct 3 by the blower 9. The discharged air enters a hole 16 a formed in the partition 16 of the stirring device 2, is rectified by passing through each nozzle 15, and is rectified by the outlet 15
It is blown out from a. As a result, a force that rotates counterclockwise as viewed from the downstream side of the stirring device unit 2 is generated on the downstream side of the stirring device unit 2, and a turbulent spiral flow is generated downstream of the nozzle 15, and stirring is performed. Is done.
【００１８】これにより、シリンダーキャビネット１の
キャビネット本体１ａ内でガス漏洩があった場合には、
前述と同様に、撹拌装置部２の下流側にて、漏洩ガスを
含んだ排出空気が撹拌されて乱流となり、漏洩ガスが排
気ダクト３内全体に拡散されることとなり、漏洩ガスが
微少であっても、漏洩ガスがサンプリングチューブ４の
開口部４ａに確実に達することとなり、このサンプリン
グチューブ４を介してガス検知器５へ漏洩ガスが確実に
導かれてガス漏洩が検知される。Accordingly, when gas leaks in the cabinet body 1a of the cylinder cabinet 1,
Similarly to the above, on the downstream side of the stirring device section 2, the exhaust air containing the leaked gas is stirred and becomes turbulent, and the leaked gas is diffused throughout the exhaust duct 3, so that the leaked gas is very small. Even if there is, the leaked gas surely reaches the opening 4a of the sampling tube 4, and the leaked gas is reliably guided to the gas detector 5 via the sampling tube 4, and the gas leak is detected.
【００１９】なお、撹拌装置部２としては、サンプリン
グチューブ４の上流側にて乱流を生じさせる構造であれ
ば良く、例えば、排気ダクト３内に、穴あき板を設けた
り、あるいは角度の異なる複数個の斜流板を設け、下流
側にて乱流を生じさせるようにしても良い。また、上記
のシリンダーキャビネット１では、内部に空気を流すよ
うにしたが、シリンダーキャビネット１内を流す気体と
しては、空気に限らず、例えば、不活性ガス等の他の気
体であっても良い。The stirrer unit 2 may have any structure that generates a turbulent flow on the upstream side of the sampling tube 4. For example, a perforated plate may be provided in the exhaust duct 3, or a different angle may be used. A plurality of diagonal plates may be provided to generate turbulence on the downstream side. Further, in the above-described cylinder cabinet 1, air is caused to flow inside. However, the gas flowing through the cylinder cabinet 1 is not limited to air, and may be another gas such as an inert gas.
【００２０】[0020]
【発明の効果】以上、説明したように、本発明のシリン
ダーキャビネットによれば、下記の効果を得ることがで
きる。請求項１記載のシリンダーキャビネットによれ
ば、ダクト内を流れる気体を引き込んで漏洩ガスを検知
させるために設けられた管体の上流側に、ダクト内を流
れる気体を撹拌する撹拌装置部が設けられているので、
キャビネット本体内における特殊ガスの漏洩が微少であ
ったとしても、漏洩ガスをダクト内全体に拡散させて管
体の開口部へ確実に到達させて引き込ませることができ
る。これにより、特殊ガスの微少な漏洩時においても、
極めて信頼性の高いガス漏洩検知が可能となる。As described above, according to the cylinder cabinet of the present invention, the following effects can be obtained. According to the cylinder cabinet of the first aspect, a stirrer unit that stirs the gas flowing in the duct is provided on the upstream side of the pipe provided for drawing in the gas flowing in the duct and detecting the leaked gas. So
Even if the leakage of the special gas in the cabinet main body is very small, the leaked gas can be diffused throughout the duct and surely reach the opening of the tube and be drawn. As a result, even when the special gas is slightly leaked,
Extremely reliable gas leak detection becomes possible.
【００２１】請求項２記載のシリンダーキャビネットに
よれば、ダクト内を流れる気体が、羽根車の羽根に当た
ることにより、この羽根車に回転力が発生して回転する
ので、羽根車の回転によって撹拌板を回転させて、下流
側にて、ダクト内を流れる気体を確実に撹拌させること
ができ、これにより、漏洩ガスをダクト内全体に確実に
拡散させて管体の開口部へ到達させて引き込ませること
ができる。According to the cylinder cabinet of the present invention, the gas flowing in the duct hits the blades of the impeller, thereby generating a rotational force on the impeller and rotating. Therefore, the stirring plate is rotated by the rotation of the impeller. Can be rotated to reliably stir the gas flowing in the duct on the downstream side, whereby the leaked gas can be surely diffused throughout the duct, reach the opening of the tube, and be drawn in be able to.
【００２２】請求項３記載のシリンダーキャビネットに
よれば、ダクト内を流れる気体が、隔壁の孔部からノズ
ル内へ入り込んで、これらダクトの先端部から吹き出す
ことにより、下流側にて、ダクト内を流れる気体を確実
に撹拌させることができ、これにより、漏洩ガスをダク
ト内全体に確実に拡散させて管体の開口部へ到達させて
引き込ませることができる。According to the cylinder cabinet of the third aspect, the gas flowing in the duct enters the nozzle from the hole of the partition wall and blows out from the tip of the duct, so that the gas flows in the duct on the downstream side. The flowing gas can be surely agitated, whereby the leaked gas can be surely diffused throughout the duct and can reach the opening of the tube and be drawn in.
【図１】 本発明の実施の形態のシリンダーキャビネッ
トの構成及び構造を説明するシリンダーキャビネットの
概略断面図である。FIG. 1 is a schematic sectional view of a cylinder cabinet illustrating a configuration and a structure of a cylinder cabinet according to an embodiment of the present invention.
【図２】 本発明の実施の形態のシリンダーキャビネッ
トに設けられた撹拌装置部の構成及び構造を説明する撹
拌装置部の断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view of the stirrer unit illustrating the configuration and structure of the stirrer unit provided in the cylinder cabinet according to the embodiment of the present invention.
【図３】 本発明の実施の形態のシリンダーキャビネッ
トに設けられた撹拌装置部の構成及び構造を説明する撹
拌装置部の断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view of the stirrer unit illustrating the configuration and structure of the stirrer unit provided in the cylinder cabinet according to the embodiment of the present invention.
【図４】 本発明の実施の形態のシリンダーキャビネッ
トに設けられた他の構造の撹拌装置部の構成及び構造を
説明する撹拌装置部の断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view of a stirrer unit illustrating a structure and a structure of a stirrer unit having another structure provided in the cylinder cabinet according to the embodiment of the present invention.
【図５】 本発明の実施の形態のシリンダーキャビネッ
トに設けられた他の構造の撹拌装置部の構成及び構造を
説明する撹拌装置部の下流側から視た平面図である。FIG. 5 is a plan view illustrating the configuration and structure of a stirring device having another structure provided in the cylinder cabinet according to the embodiment of the present invention, as viewed from the downstream side of the stirring device.
【図６】 シリンダーキャビネットの従来例を説明する
シリンダーキャビネットの概略断面図である。FIG. 6 is a schematic sectional view of a cylinder cabinet for explaining a conventional example of a cylinder cabinet.
１ シリンダーキャビネット １ａ キャビネット本体 ２ 撹拌装置部 ３ 排気ダクト（ダクト） ４ サンプリングチューブ（管体） ４ａ 開口部 ８ 特殊ガスボンベ（ボンベ） １２ 受動羽根車（羽根車） １２ａ 羽根 １３ 撹拌板 １４ 回転軸 １５ ノズル １６ 隔壁 １６ａ 孔部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Cylinder cabinet 1a Cabinet main body 2 Stirrer part 3 Exhaust duct (duct) 4 Sampling tube (tube) 4a Opening 8 Special gas cylinder (cylinder) 12 Passive impeller (impeller) 12a Blade 13 Stirring plate 14 Rotating shaft 15 nozzle 16 partition 16a hole
─────────────────────────────────────────────────────
────────────────────────────────────────────────── ───
【手続補正書】[Procedure amendment]
【提出日】平成１１年６月１０日[Submission date] June 10, 1999
【手続補正１】[Procedure amendment 1]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】特許請求の範囲[Correction target item name] Claims
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction contents]
【特許請求の範囲】[Claims]
【手続補正２】[Procedure amendment 2]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】０００６[Correction target item name] 0006
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction contents]
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１記載のシリンダーキャビネットは、キャビ
ネット本体内に、特殊ガスが充填されたボンベが収納さ
れたシリンダーキャビネットにおいて、前記キャビネッ
ト本体に連結され、前記キャビネット本体内の気体が流
されるダクトと、前記キャビネット本体内における特殊
ガスの漏洩を検知するために、前記ダクト内に開口部が
配置されて前記ダクト内を流れる気体を引き込む管体と
を有しており、前記ダクトには、前記管体の上流側に、
前記ダクト内を流れる気体を撹拌する撹拌装置部が設け
られ、該撹拌装置部は、前記ダクトの軸線を中心として
回転可能に支持された回転軸の周囲に螺旋状に羽根が設
けられた羽根車と、該羽根車に設けられ面積の１／２か
ら３／４の広さの開口部分を有する撹拌板とを具備して
おり、前記羽根車の回転により前記撹拌板が、前記ダク
ト内を流れる気体を撹拌して下流側に乱流を生じさせる
ことを特徴としている。つまり、ダクト内を流れる気体
を引き込んで漏洩ガスを検知させるために設けられた管
体の上流側にて、ダクト内を流れる気体が撹拌装置部に
て撹拌され、これにより、漏洩ガスがダクト内全体に拡
散され、管体の開口部へ確実に到達されて引き込まれ
る。これにより、特殊ガスの微少な漏洩時においても、
信頼性の高いガス漏洩検知が可能となる。According to a first aspect of the present invention, there is provided a cylinder cabinet in which a cylinder filled with a special gas is housed in a cabinet body. A connected duct through which the gas in the cabinet body flows, and a pipe body provided with an opening in the duct to draw in the gas flowing through the duct in order to detect leakage of the special gas in the cabinet body. And the duct has an upstream side of the pipe body,
A stirrer unit that stirs the gas flowing in the duct is provided , and the stirrer unit is arranged around the axis of the duct.
Spiral blades are installed around a rotatable rotation shaft.
And the half of the area provided on the impeller
And a stir plate having an opening having a width of 3/4
And the stirring plate is rotated by the rotation of the impeller.
Agitating the gas flowing through the gas to generate a turbulent flow on the downstream side . In other words, the gas flowing through the duct is agitated by the stirrer on the upstream side of the pipe provided to draw in the gas flowing through the duct and to detect the leaked gas. It is diffused throughout and is reliably reached and pulled into the opening of the tube. As a result, even when the special gas is slightly leaked,
Reliable gas leak detection can be performed.
【手続補正３】[Procedure amendment 3]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】０００７[Correction target item name] 0007
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction contents]
【０００７】また、ダクト内を流れる気体が、羽根車の
羽根に当たることにより、この羽根車に回転力が発生し
て回転し、羽根車の回転によって撹拌板が回転されて、
下流側にて、ダクト内を流れる気体が撹拌され、漏洩ガ
スがダクト内全体に拡散され、管体の開口部へ確実に到
達されて引き込まれる。しかも、気体の流れによって回
転力を発生する羽根車に設けられた撹拌板に、面積の１
／２から３／４の広さの開口部分が設けられていること
により、ダクト内の気体の撹拌効率が向上される。 When the gas flowing in the duct hits the blades of the impeller, a rotational force is generated in the impeller, and the impeller rotates. The rotation of the impeller rotates the stirring plate.
On the downstream side, the gas flowing through the duct is agitated, and the leaked gas is diffused throughout the duct, reliably reaching and being drawn into the opening of the tube. In addition, the rotation depends on the gas flow.
The stirring plate provided on the impeller that generates the rolling force
An opening part with a width of か ら to ／ is provided.
Thereby, the efficiency of stirring the gas in the duct is improved.
【手続補正４】[Procedure amendment 4]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】０００８[Correction target item name] 0008
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction contents]
【０００８】請求項２記載のシリンダーキャビネット
は、キャビネット本体内に、特殊ガスが充填されたボン
ベが収納されたシリンダーキャビネットにおいて、前記
キャビネット本体に連結され、前記キャビネット本体内
の気体が流されるダクトと、前記キャビネット本体内に
おける特殊ガスの漏洩を検知するために、前記ダクト内
に開口部が配置されて前記ダクト内を流れる気体を引き
込む管体とを有しており、前記ダクトには、前記管体の
上流側に、前記ダクト内を流れる気体を撹拌する撹拌装
置部が設けられ、前記撹拌装置部は、前記ダクト内に設
けられた複数の孔部を有する隔壁と、該隔壁の下流側に
前記孔部に連通させて設けられ、それぞれ屈曲されて先
端部が前記ダクトの同一周方向へ向けられたノズルとを
有しており、前記ダクト内を流れる気体を前記隔壁の孔
部からノズル内へ流入させ、これらノズルの先端部から
吹き出させることにより、下流側に乱流を生じさせるこ
とを特徴としている。即ち、ダクト内を流れる気体が、
隔壁の孔部からノズル内へ入り込んで、これらダクトの
先端部から吹き出すことにより、下流側にて、ダクト内
を流れる気体が撹拌され、漏洩ガスがダクト内全体に拡
散され、管体の開口部へ確実に到達さされて引き込まれ
る。[0008] The cylinder cabinet according to claim 2
Is a special gas-filled
In the cylinder cabinet in which the cylinder is stored,
Connected to the cabinet body, inside the cabinet body
A duct through which the gas flows, and inside the cabinet body
To detect the leakage of special gas in the duct
An opening is arranged in the duct to draw gas flowing through the duct.
And a duct that fits into the duct.
On the upstream side, a stirrer for stirring the gas flowing in the duct
The stirring unit is provided with a partition having a plurality of holes provided in the duct, and provided on the downstream side of the partition so as to communicate with the holes, and each of the tip is bent. Has a nozzle directed in the same circumferential direction of the duct, the gas flowing in the duct flows into the nozzle from the hole of the partition wall, by blowing out from the tip of these nozzles, downstream It is characterized by generating turbulence on the side. That is, the gas flowing in the duct is
By flowing into the nozzle from the hole of the partition wall and blowing out from the tip of these ducts, the gas flowing in the duct is agitated on the downstream side, the leaked gas is diffused throughout the duct, and the opening of the pipe is opened. Is surely reached and pulled in.
【手続補正５】[Procedure amendment 5]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】００２１[Correction target item name] 0021
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction contents]
【００２１】また、ダクト内を流れる気体が、羽根車の
羽根に当たることにより、この羽根車に回転力が発生し
て回転するので、羽根車の回転によって撹拌板を回転さ
せて、下流側にて、ダクト内を流れる気体を確実に撹拌
させることができ、これにより、漏洩ガスをダクト内全
体に確実に拡散させて管体の開口部へ到達させて引き込
ませることができる。しかも、気体の流れによって回転
力を発生する羽根車に設けられた撹拌板に、面積の１／
２から３／４の広さの開口部分が設けられていることに
より、ダクト内の気体の撹拌効率を向上させることがで
きる。 Further, the gas flowing in the duct impinges on the blades of the impeller, thereby generating a rotational force on the impeller and rotating the impeller. Thus, the gas flowing in the duct can be surely agitated, whereby the leaked gas can be surely diffused throughout the duct to reach the opening of the tube and be drawn in. Moreover, it is rotated by gas flow
The stirring plate provided on the impeller that generates the force
The fact that an opening of 2 to 3/4 is provided
It is possible to improve the efficiency of stirring the gas in the duct.
Wear.
【手続補正６】[Procedure amendment 6]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】００２２[Correction target item name] 0022
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction contents]
【００２２】請求項２記載のシリンダーキャビネットに
よれば、ダクト内を流れる気体が、隔壁の孔部からノズ
ル内へ入り込んで、これらダクトの先端部から吹き出す
ことにより、下流側にて、ダクト内を流れる気体を確実
に撹拌させることができ、これにより、漏洩ガスをダク
ト内全体に確実に拡散させて管体の開口部へ到達させて
引き込ませることができる。According to the cylinder cabinet of the second aspect , the gas flowing in the duct enters the nozzle from the hole of the partition wall and blows out from the tip of the duct, so that the gas flows in the duct on the downstream side. The flowing gas can be surely agitated, whereby the leaked gas can be surely diffused throughout the duct and can reach the opening of the tube and be drawn in.
Claims (3)
されたボンベが収納されたシリンダーキャビネットにお
いて、 前記キャビネット本体に連結され、前記キャビネット本
体内の気体が流されるダクトと、前記キャビネット本体
内における特殊ガスの漏洩を検知するために、前記ダク
ト内に開口部が配置されて前記ダクト内を流れる気体を
引き込む管体とを有しており、 前記ダクトには、前記管体の上流側に、前記ダクト内を
流れる気体を撹拌する撹拌装置部が設けられていること
を特徴とするシリンダーキャビネット。1. A cylinder cabinet in which a cylinder filled with a special gas is accommodated in a cabinet body, wherein a duct connected to the cabinet body and through which gas in the cabinet body flows is provided. In order to detect gas leakage, a pipe is provided in the duct, and an opening is arranged to draw in gas flowing through the duct.The duct has an upstream side with the pipe, A cylinder cabinet provided with a stirring device for stirring gas flowing in a duct.
中心として回転可能に支持された回転軸の周囲に螺旋状
に羽根が設けられた羽根車と、該羽根車に設けられた撹
拌板とを有しており、 前記羽根車の回転により前記撹拌板が、前記ダクト内を
流れる気体を撹拌して下流側に乱流を生じさせることを
特徴とする請求項１記載のシリンダーキャビネット。2. An impeller having a spiral blade provided around a rotation shaft rotatably supported about an axis of the duct, and a stirring plate provided on the impeller. 2. The cylinder cabinet according to claim 1, wherein the agitating plate agitates gas flowing in the duct to generate a turbulent flow downstream by rotation of the impeller. 3.
られた複数の孔部を有する隔壁と、該隔壁の下流側に前
記孔部に連通させて設けられ、それぞれ屈曲されて先端
部が前記ダクトの同一周方向へ向けられたノズルとを有
しており、 前記ダクト内を流れる気体を前記隔壁の孔部からノズル
内へ流入させ、これらノズルの先端部から吹き出させる
ことにより、下流側に乱流を生じさせることを特徴とす
る請求項１記載のシリンダーキャビネット。3. The stirrer unit is provided with a partition wall having a plurality of holes provided in the duct, and provided downstream of the partition wall so as to communicate with the holes. Having a nozzle directed in the same circumferential direction of the duct, and allowing the gas flowing in the duct to flow into the nozzle from the hole of the partition wall and blowing out from the tip of these nozzles, so that the downstream side 2. The cylinder cabinet according to claim 1, wherein turbulence is generated in the cylinder cabinet.
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