JPH11296234A - Method and device for weighted control for position control of motor or the like - Google Patents

Method and device for weighted control for position control of motor or the like

Info

Publication number
JPH11296234A
JPH11296234A JP9861698A JP9861698A JPH11296234A JP H11296234 A JPH11296234 A JP H11296234A JP 9861698 A JP9861698 A JP 9861698A JP 9861698 A JP9861698 A JP 9861698A JP H11296234 A JPH11296234 A JP H11296234A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
control
command torque
weight
load
position control
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP9861698A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP3724948B2 (en
Inventor
Akira Shiomi
陽 塩見
Osamu Nakao
修 中尾
Shinzo Eguchi
信三 江口
Takeshi Takeda
健 武田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP09861698A priority Critical patent/JP3724948B2/en
Publication of JPH11296234A publication Critical patent/JPH11296234A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3724948B2 publication Critical patent/JP3724948B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Manipulator (AREA)
  • Control Of Position Or Direction (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain highly reliable method and device capable of executing highly accurate weighted control reflecting a measurement of weighted characteristics. SOLUTION: Command torque Te corresponding to a target weighting value L is selected from a calibration table CT. Various command torque Te measured with a motor 1 or the like and a position control load 1b to be used for weighted control are applied to a working target 14 by the command torque Te at the time of controlling a position on which the load 1b is abutted upon the target 14, corresponding to the result of a weighted characteristics L obtained at the time of driving the load 1b by the torque Te. The motor 1 or the like is driven by the selected command torque Te for weighted control and the measured weighted characteristics is reflected to the control so as to attain the purpose.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する利用分野】本発明は、サーボモータなど
の各種モータ類を、指令トルクにより駆動して位置制御
負荷を目標位置へ移動させて作業対象に当接させる位置
制御時に、指令トルクによって前記位置制御負荷から作
業対象へ与える加重の制御を行うモータ類の加重制御方
法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a position control load for driving various motors such as a servomotor with a command torque to move a position control load to a target position and abut on a work object. The present invention relates to a weight control method for motors for controlling weight applied to a work target from a position control load.

【0002】[0002]

【従来の技術】上記のような位置制御および加重制御は
高い位置精度および作業性が必要な、例えば電子部品を
取り扱う技術分野で用いられている。
2. Description of the Related Art The above-described position control and weight control are used in a technical field which requires high position accuracy and workability, for example, handling electronic components.

【0003】このような位置制御には、ベアICチップ
を回路基板に装着したり実装したりするときの、電子部
品を取り扱う吸着ノズルなどの位置制御、特に、電子部
品の高さ寸法の違いに対応した装着高さの制御、あるい
は、ベアICチップの電極部に金属バンプを形成すると
きの、ボンディングツールの位置制御、特に金属線のボ
ンディング位置への押しつけ高さの制御などがある。
Such position control involves controlling the position of a suction nozzle for handling electronic components when mounting or mounting a bare IC chip on a circuit board. There is a corresponding mounting height control, a position control of a bonding tool when forming a metal bump on an electrode portion of a bare IC chip, and particularly a control of a pressing height of a metal wire to a bonding position.

【0004】加重制御には、コネクタ等の異形部品やそ
れぞれ加重の許容範囲の異なる電子部品を回路基板に装
着したり、金属線をICチップの電極部に押しつけた状
態で超音波振動などによってそれを溶融させて溶着させ
た後、金属線を前記溶着部から引きちぎって前記電極部
上にバンプを形成したりするとき、これらの作業を行う
部品取り扱いツールやボンディングツールを作業対象で
ある回路基板やICチップなどに電子部品や金属線を押
しつけさせる制御がある。
[0004] The weight control is performed by mounting a deformed part such as a connector or an electronic part having a different allowable load range on a circuit board, or by applying a metal wire to an electrode portion of an IC chip by ultrasonic vibration or the like. After melting and welding, when a metal wire is torn off from the welded portion to form a bump on the electrode portion, a component handling tool or a bonding tool for performing these operations is used as a circuit board or a work target. There is a control for pressing an electronic component or a metal wire against an IC chip or the like.

【0005】従来、このような位置制御および加重制御
は、部品取り扱いツールやボンディングツールないしは
これらに連結されるネジ軸などの動作部材を、図6に示
すような位置制御の対象、つまり位置制御負荷1a1と
し、ACサーボモータやボイスコイルモータ等のモータ
1aを駆動源として行われる。モータ1aは、その時々
に必要な方向および速度での移動、停止や当接、および
当接時の加重を行わせるべき指令トルクTeを電流制御
部としてのドライバ6aに与えて駆動制御する。
Conventionally, such position control and weighting control are performed by moving a component handling tool, a bonding tool, or an operating member such as a screw shaft connected thereto to a position control target as shown in FIG. The driving is performed using a motor 1a such as an AC servomotor or a voice coil motor as a driving source. The motor 1a performs drive control by giving a command torque Te for performing movement, stop, contact, and weight at the time of the necessary direction and speed to the driver 6a as a current control unit.

【0006】位置制御は図7に示す位置決めコントロー
ル部7aの制御機能によって行われる。追値制御の場
合、制御負荷1a1を目標位置に向かわせる指令位置b
と位置検出部2aで検出される現在位置cとの差分から
位置制御部4aで指令速度dを生成し、この指令速度d
と速度検出部3aで検出される現在速度eとの差分から
速度制御部5aで、前記指令位置bに到達させるために
必要な指令トルクTeを生成する。指令トルクTeは制
御のオン、オフスイッチ10aを介してドライバ6aに
与えられ、ドライバ6aは受けた指令トルクTeに対応
した出力電流によりモータ1aを駆動して制御負荷1a
1を位置制御し、これの連続で目標位置、例えば電子部
品を装着する回路基板、あるいは金属バンプを形成する
ベアICなどの図6に示すような作業対象14aに当接
する位置に到達させる。
The position control is performed by a control function of a positioning control section 7a shown in FIG. In the case of the additional value control, a command position b for moving the control load 1a1 to the target position
A command speed d is generated by the position control unit 4a from the difference between the command speed d and the current position c detected by the position detection unit 2a.
The speed control unit 5a generates a command torque Te required to reach the command position b from the difference between the current speed e and the current speed e detected by the speed detection unit 3a. The command torque Te is given to the driver 6a via the control ON / OFF switch 10a, and the driver 6a drives the motor 1a with an output current corresponding to the received command torque Te to control the load 1a.
1 is continuously controlled to reach a target position, such as a circuit board on which electronic components are mounted, or a position such as a bare IC for forming metal bumps, which comes into contact with the work object 14a as shown in FIG.

【0007】制御負荷1a1が作業対象11aに当接し
たときに現在速度が0になるのに対応して、速度制御部
5aから出力される指令トルクTeが増大する変化によ
って、あたり検出部8aはその当接を検出する。あたり
検出部8aは当接を検出すると位置決めコントロール部
7aの制御を停止させて、加重コントロール部9aを働
かせる。加重コントロール部9aは目標加重値に対応し
た所定の指令トルクTe′をドライバ6aに入力してモ
ータ1aがさらに駆動力を得て、作業対象14aに当接
している制御負荷1a1をさらに押しつけ所定の加重が
達成されるようにする。
When the command torque Te output from the speed control unit 5a increases in response to the current speed becoming 0 when the control load 1a1 comes into contact with the work object 11a, the hit detection unit 8a The contact is detected. Upon detecting the contact, the hit detection unit 8a stops the control of the positioning control unit 7a and activates the weight control unit 9a. The weight control section 9a inputs a predetermined command torque Te 'corresponding to the target weight value to the driver 6a, and the motor 1a further obtains a driving force, and further presses the control load 1a1 in contact with the work object 14a to a predetermined value. Let the weight be achieved.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】しかし、電子部品の微
細化も手伝って、前記位置制御や加重制御のさらなる高
精度化が望まれるなか、上記従来のような制御では、加
重制御で特に精度不足を招き、十分な信頼性が得られな
くなっている。
However, while the precision of the position control and the weighting control is desired to be further improved with the help of miniaturization of electronic parts, the above-described conventional control is particularly insufficient in the weighting control. And sufficient reliability cannot be obtained.

【0009】これにつき、本発明者等が種々に実験し検
討を重ねたところ、精度不足に影響する要因は、図8の
駆動電流と加重との関係で見られるようなモータA、
B、Cごとの推力のバラツキ、指令トルクに対する電流
制御部、つまりドライバ6aでの出力電流のバラツキ、
制御負荷1a1などの可動部の摩擦負荷のバラツキなど
がある。また、前記金属バンプを形成するとき、図9に
示すように、位置制御負荷1a1にて金属線を所定の加
重状態で電極に当接させて加重する過程で、指令トルク
Teを徐々に増大させていき、所定の加重状態で金属線
の加重当接部が溶融されるのを待って、指令トルクTe
を徐々に減少させていき最終的に解除する制御が行われ
るが、このように指令トルクを増大させていくときと、
減少させていくときの加重特性の変化には図10に示す
ようなヒステリシス特性があり、指令トルクTeを増大
させていくときの変化特性Te1nと、減少させていく
ときの変化特性Te2nとの差も前記精度不足に影響す
る。上記従来の制御ではこれらに対応できていない。
In this connection, the present inventors have conducted various experiments and studies and found that the factors affecting the lack of accuracy are the motor A and the motor A, which can be seen in the relationship between the driving current and the weight in FIG.
The variation of the thrust for each of B and C, the variation of the output current of the current control unit for the command torque, ie, the driver 6a,
There are variations in the friction load of the movable part such as the control load 1a1. When the metal bump is formed, as shown in FIG. 9, the command torque Te is gradually increased in the process of contacting the metal wire with the electrode in the predetermined load state by the position control load 1a1 to apply the load. When the weighted contact portion of the metal wire is melted in a predetermined weight state, the command torque Te
Is gradually reduced and finally released, control is performed. When the command torque is increased in this manner,
There is a hysteresis characteristic as shown in FIG. 10 in the change of the weighting characteristic when decreasing, and the difference between the change characteristic Te1n when increasing the command torque Te and the change characteristic Te2n when decreasing the command torque Te. Also affects the lack of accuracy. The above conventional control cannot cope with these.

【0010】本発明の目的は、上記のような新たな知見
に基づき、実測した加重特性を制御に反映させた高精度
な加重制御ができる信頼性の高いモータ類の位置制御時
の加重制御方法およびその装置を提供することにある。
An object of the present invention is to provide a highly reliable weight control method at the time of position control of motors capable of performing high-precision weight control by reflecting actually measured weight characteristics in control based on the above new knowledge. And to provide the device.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】上記のような目的を達成
するため、本発明のモータ類の位置制御時の加重制御方
法は、サーボモータなどのモータ類を指令トルクにより
駆動して位置制御負荷を、目標位置へ移動させて作業対
象に当接させる位置制御時に、指令トルクによって前記
位置制御負荷から作業対象へ与える加重の制御を行うの
に、用いるモータ類および位置制御負荷などにて実測し
て得た、各種指令トルクとそれによる駆動時の加重特性
結果を対応させたキャリブレーションテーブルから、目
標の加重値に対応する指令トルクを選択し、選択した指
令トルクによりモータ類を駆動して加重制御を行うこと
を1つの特徴としている。
SUMMARY OF THE INVENTION In order to achieve the above object, a weight control method for controlling the position of motors according to the present invention comprises: Is moved to the target position and is brought into contact with the work target.When controlling the weight applied from the position control load to the work target by the command torque during the position control in which the command torque is used, actual measurement is performed using the motors and the position control load used. A command torque corresponding to a target weight value is selected from a calibration table in which various command torques obtained and the results of the weighting characteristics at the time of driving are obtained, and motors are driven by the selected command torque to perform weighting. Performing control is one feature.

【0012】このように、モータ類の位置制御によって
位置制御負荷が、作業対象に当接して以降、加重制御を
行うのに、加重制御のための指令トルクを、用いるモー
タ類および位置制御対象などにて実測して得た、各種指
令トルクとそれによる駆動時の加重特性結果を対応させ
たキャリブレーションテーブルから、目標の加重値に対
応するものを選択して適用するので、モータから位置制
御負荷に至るまでの、認識できる、できないに係わらな
いあらゆるバラツキ要素を含む実績データに基づき、目
標通りの加重値が高精度に得られる。
As described above, after the position control load is brought into contact with the work object by the position control of the motors, the command torque for the load control is used to perform the weight control after the load is applied. From the calibration table in which various command torques and the results of the weighting characteristics at the time of driving obtained by actual measurement are selected, the one corresponding to the target weight value is selected and applied. , A weight value as a target can be obtained with high accuracy based on actual data including all variations that can be recognized or cannot be recognized.

【0013】キャリブレーションテーブルに、指令トル
クを増大させていくときの加重特性に対応する第1の変
化分と、指令トルクを減少させていくときの加重特性に
対応する第2の変化分とを備え、指令トルクが増大する
ときの加重制御は第1の変化分のデータによって、指令
トルクが減少するときの加重制御は第2の変化分のデー
タによって、それぞれ加重制御を行うようにすると、指
令トルクを増大させていくときと、減少させていくとき
との加重特性にヒステリシス特性があっても、指令トル
クを増大させていく加重制御と、指令トルクを減少させ
ていく加重制御とをそのようなヒステリシス特性の影響
に対処したより正確な加重制御を達成することができ
る。
In the calibration table, a first change corresponding to the weighting characteristic when increasing the command torque and a second change corresponding to the weighting characteristic when decreasing the command torque are stored. When the weighting control when the command torque is increased is performed by the data of the first change, and when the command torque is decreased, the weighting control is performed by the data of the second change. Even if there is a hysteresis characteristic in the load characteristics when increasing and decreasing the torque, such a load control that increases the command torque and a load control that decreases the command torque are such. It is possible to achieve more accurate weight control in consideration of the influence of the hysteresis characteristic.

【0014】本発明のモータ類の位置制御時の加重制御
装置は、サーボモータなどのモータ類を、指令トルクに
より駆動して位置制御負荷を目標位置へ移動させて作業
対象に当接させる位置制御手段に加え、指令トルクによ
ってモータ類を駆動し、前記位置制御負荷からこれが当
接した作業対象へ与える加重を制御する加重制御手段
と、加重制御の目標の加重値を設定する加重値設定手段
と、用いるモータ類および位置制御負荷などにて実測し
て得た、各種指令トルクとそれによる駆動時の加重特性
結果を対応させたキャリブレーションテーブルから、設
定された目標の加重値に対応する指令トルクを選択して
これを加重制御手段に与える指令トルク設定手段と、前
記位置制御負荷の作業対象への当接を検出する当接検出
手段と、当接検出手段による当接の検出があったときモ
ータの制御を位置制御手段による位置制御から加重制御
手段による加重制御に切り替える切換手段とを備えたこ
とを1つの特徴とし、上記本発明の加重制御方法を自動
的に達成することができる。
The weight control apparatus for controlling the position of motors according to the present invention is a position control for driving a motor such as a servomotor by a command torque to move a position control load to a target position and abut on a work object. In addition to the means, the motors are driven by the command torque, weight control means for controlling the weight applied from the position control load to the work object with which it is in contact, and weight value setting means for setting a target weight value of the weight control. The command torque corresponding to the set target weight value from the calibration table that correlates the various command torques obtained by actually measuring with the motors and position control loads to be used and the results of the weighting characteristics during driving. Command torque setting means for selecting the position control load and the load control means, contact detection means for detecting contact of the position control load with the work object, and contact detection means. Switching means for switching the control of the motor from the position control by the position control means to the weight control by the weight control means when the contact is detected by the weight control means. Can be achieved.

【0015】キャリブレーションテーブルを格納した記
憶手段を備え、指令トルク設定手段は設定された目標の
加重値に対応した指令トルクを記憶手段に格納されたキ
ャリブレーションテーブルから読みだし、指令トルクを
設定するようにすると、その装置につき実測して得たキ
ャリブレーションテーブルを一旦記憶手段に記憶してお
けば、その後何らかの変化によりデータ変更が必要にな
るまで、その時々に必要な加重値の設定を行うだけで自
動的に対応できる。
A storage means for storing a calibration table is provided. The command torque setting means reads a command torque corresponding to the set target weight value from the calibration table stored in the storage means and sets the command torque. In this way, once the calibration table obtained by actually measuring the device is stored in the storage means, the necessary weight value is set only at that time until the data needs to be changed due to any change. Can respond automatically.

【0016】さらに、駆動されるモータ類の位置制御負
荷を当接されて、そのときの圧力状態から前記駆動を行
っている指令トルクに対応した加重特性を検出する加重
特性検出手段と、モータ類を各種の指令トルクにて駆動
しながら、その都度前記位置制御負荷を加重特性検出手
段に当接させるとともに、そのときどきに加重特性検出
手段が出力する加重特性を、それらに対応する指令トル
クと対をなしたキャリブレーションデータとして記憶手
段に記憶していき、キャリブレーションテーブルを作成
するテーブル作成手段とを備えたものとすると、キャリ
ブレーションテーブルがこれを利用する作業機そのもの
の動作機能によって自動的に得られるので、人がいちい
ち試験操作してデータを収集し、データ設定するような
必要がなく便利である。また、何らかの変化があったと
きや、定期的に、キャリブレーションテーブルを作成し
直すことで、ときどきの変化に対応することが自動的に
行える。
Further, a load characteristic detecting means for contacting the position control load of the driven motors and detecting a weight characteristic corresponding to the command torque for performing the driving from the pressure state at that time, While driving the position control load with the weighting characteristic detecting means each time while driving with various command torques, the weighting characteristic output from the weighting characteristic detecting means at each time is compared with the corresponding command torque. If it is provided with a table creating means for creating a calibration table, the calibration table is automatically stored in accordance with the operation function of the working machine itself using the calibration data. It is convenient because there is no need to manually test and collect data and set data. That. In addition, when there is a certain change or by periodically re-creating the calibration table, it is possible to automatically cope with the occasional change.

【0017】本発明のそれ以上の特徴は、以下の詳細な
説明および図面によって明らかになる。
Further features of the present invention will become apparent from the following detailed description and drawings.

【0018】[0018]

【発明の実施の形態】以下、本発明のモータ類の位置制
御時の加重制御方法およびその装置に係る実施の形態に
ついて、図1〜図5を参照しながら説明する。
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of a weight control method and apparatus for position control of motors according to the present invention. FIG.

【0019】本実施の形態の加重制御方法につき、図1
に示す位置制御および加重制御を行う加重制御装置21
に基づき説明すると、ACサーボモータなどの各種のモ
ータ1を、指令トルクTeにより駆動して目標位置へ移
動させて作業対象14に位置制御負荷1bを当接させる
位置制御時に、指令トルクTeによって前記位置制御負
荷1bからこれが当接した作業対象14へ与える加重の
制御を行うのに、用いるモータ1および位置制御負荷1
bなどにつき実測して得た、表1に示すような各種指令
トルクTe1〜Tenそれぞれによる駆動時の加重特性
結果L1〜Lnを対応させたキャリブレーションテーブ
ルCT(図1)から、目標の加重値Lに対応する指令ト
ルクTeを選択し、選択した指令トルクTeによりモー
タ1を駆動して加重制御を行う。モータ1の位置制御
は、図2に示す位置制御手段22によって従来と同様に
行われればよい。しかし、別の方法であってもよい。
FIG. 1 shows a weight control method according to this embodiment.
Weight control device 21 for performing position control and weight control shown in FIG.
When the position is controlled by driving various motors 1 such as an AC servomotor with a command torque Te to move to a target position and bring a position control load 1b into contact with a work object 14, the command torque Te is used. The motor 1 and the position control load 1 used to control the weight applied from the position control load 1b to the work object 14 to which the position control load 1b abuts.
From the calibration table CT (FIG. 1) corresponding to the weighting characteristic results L1 to Ln at the time of driving with the various command torques Te1 to Ten as shown in Table 1 obtained by actually measuring b and the like, The command torque Te corresponding to L is selected, and the weight control is performed by driving the motor 1 with the selected command torque Te. The position control of the motor 1 may be performed by the position control means 22 shown in FIG. However, another method may be used.

【0020】[0020]

【表1】 [Table 1]

【0021】図2に示す位置制御手段22などによる位
置制御においてその負荷1bが作業対象14に当接して
以降加重制御を行うのに、加重制御のための指令トルク
Teを、前記のように用いるモータ1および位置制御負
荷1bなどにつき実測して得た、各種指令トルクTe1
〜Tenとそれによる駆動時の加重特性結果L1〜Ln
を対応させたキャリブレーションテーブルCTから、目
標の加重値Lに対応するものを選択して適用するので、
モータ1から位置制御負荷1bに至るまでの、認識でき
る、できないに係わらないあらゆるバラツキ要素を含む
実績データに基づき、目標通りの加重値Lが高精度に達
成される。
In the position control by the position control means 22 shown in FIG. 2 and the like, the command torque Te for the load control is used as described above to perform the load control after the load 1b comes into contact with the work object 14. Various command torques Te1 obtained by actually measuring the motor 1 and the position control load 1b, etc.
To Ten and the weighting characteristic results L1 to Ln at the time of driving thereby
Is selected from the calibration table CT corresponding to the target weight L and applied.
The target weight value L is achieved with high accuracy based on the actual data including all the recognizable and unrecognizable variations from the motor 1 to the position control load 1b.

【0022】一方、キャリブレーションテーブルCT
は、表2に示すように、指令トルクTeをTe11〜T
e1nへと増大させていくときの加重特性L1〜Lnに
対応する第1の変化分と、指令トルクをTe21〜Te
2nと減少させていくときの加重特性L1〜Lnに対応
する第2の変化分とも備え、指令トルクが増大するとき
の加重制御は第1の変化分のデータTe11〜Te1n
によって、指令トルクが減少するときの加重制御は第2
の変化分のデータTe21〜Te2nによって、それぞ
れ加重制御を行うようにする。
On the other hand, the calibration table CT
As shown in Table 2, the command torque Te is changed from Te11 to T
e1n, the first change corresponding to the weighting characteristics L1 to Ln and the command torque Te21 to Te21.
In addition to the second variation corresponding to the weighting characteristics L1 to Ln at the time of decreasing to 2n, the weighting control when the command torque increases is performed by the data Te11 to Te1n of the first variation.
Weighting control when the command torque decreases
Weighting control is performed by the data Te21 to Te2n corresponding to the change of

【0023】これにより、指令トルクを増大させていく
ときと、減少させていくときとの加重特性に記述したよ
うなヒステリシス特性があっても、指令トルクを増大さ
せていく加重制御と、指令トルクを減少させていく加重
制御とをそのようなヒステリシス特性の影響に対処した
より正確な加重制御を達成することができ、前記した金
属バンプを形成するようなときの位置制御時の加重制御
に好適である。
Thus, even if there is a hysteresis characteristic as described in the weighting characteristics when increasing and decreasing the command torque, the weighting control for increasing the command torque and the command torque It is possible to achieve more accurate weight control with the influence of the hysteresis characteristic and to reduce the weight control, which is suitable for weight control at the time of position control when forming the above-described metal bump. It is.

【0024】[0024]

【表2】 [Table 2]

【0025】表1、および表2に示すキャリブレーショ
ンテーブルCTの双方を備え選択使用するのが好適であ
る。しかし、これに限られることはなくその一方を利用
するだけでも有効である。
It is preferable that both of the calibration tables CT shown in Table 1 and Table 2 are provided and selectively used. However, the present invention is not limited to this, and it is effective to use only one of them.

【0026】図1に示すモータ類の位置制御時の加重制
御装置21は、上記のような制御を行うため、モータ1
を、指令トルクTeにより駆動して位置制御負荷1bを
目標位置へ移動させて作業対象に当接させる位置制御手
段22に加え、指令トルクTeによってモータ1を駆動
し、前記位置制御負荷1bからこれが当接した作業対象
14へ与える加重を制御する加重制御手段としての加重
コントロール部9と、加重制御での目標の加重値を手入
力または動作制御プログラムに従い自動で入力して設定
する加重値設定手段23と、前記のように用いるモータ
1および位置制御負荷1bなどにて実測して得た、ある
いはさらに、ヒステリシス特性をも実測した各種指令ト
ルクTeとそれによる駆動時の加重特性結果を対応させ
たキャリブレーションテーブルCTから、設定された目
標の加重値に対応する指令トルクTeを選択してこれを
加重コントロール部9に与える指令トルク設定手段24
と、前記位置制御負荷1bを作業対象14への当接を検
出する当接検出手段であるあたり検出部8と、あたり検
出部8による当接の検出があったときモータ1の制御を
位置制御手段22による位置制御から加重制御手段21
による加重制御に切り替える切換手段25とを備え、上
記のような方法を自動的に達成することができる。
The weight control device 21 for controlling the position of the motors shown in FIG.
Is driven by the command torque Te to move the position control load 1b to the target position and contact the work object, and the motor 1 is driven by the command torque Te. Weight control unit 9 as weight control means for controlling the weight applied to the contacted work object 14, and weight value setting means for automatically inputting and setting a target weight value in the weight control according to a manual input or an operation control program. 23, various command torques Te obtained by actually measuring with the motor 1 and the position control load 1b used as described above, or further measuring the hysteresis characteristics, and the results of the weighting characteristics at the time of driving by using them. A command torque Te corresponding to the set target weight value is selected from the calibration table CT, and is controlled by weighting. Command torque setting means give to the 9 24
And a hit detection unit 8 which is a contact detection means for detecting the contact of the position control load 1b with the work object 14, and a position control for controlling the motor 1 when the contact detection by the hit detection unit 8 is detected. From the position control by the means 22 to the weight control means 21
And switching means 25 for switching to the weighting control by the above-mentioned method, and the above-described method can be automatically achieved.

【0027】位置制御手段22は前記した従来例通りの
ものであり、位置制御負荷1bを作業対象14に当接さ
せる位置制御は位置決めコントロール部7の制御機能に
よって行われる。制御は追値制御である。加重値設定手
段23は加重コントロール部9への設定入力手段を示し
ているが、操作パネルや加重コントロール部9などの制
御機器の内部あるいは外部の記憶手段に記憶した動作プ
ログラムによって設定されるものであってもよい。指令
トルク設定手段24は加重コントロール部9の内部機能
を利用したものでもよいが、外部機器を用いたものでも
よい。切換手段25はあたり検出部8の内部機能を利用
したものでもよいが、外部機器を用いたものでもよい。
さらに、図2に示す各機器は、作業機の動作制御を行う
マイクロコンピュータの内部機能で代替できるし、それ
ぞれ、独立の、あるいは各種に組合せ構成した部分的な
機器とすることもできる。要は必要な機能が達成されれ
ばよい。
The position control means 22 is the same as the conventional example described above, and the position control for bringing the position control load 1b into contact with the work object 14 is performed by the control function of the positioning control section 7. The control is additional value control. The weight value setting means 23 is a setting input means for the weight control unit 9, but is set by an operation program stored in a storage device inside or outside the control device such as the operation panel or the weight control unit 9. There may be. The command torque setting unit 24 may use the internal function of the weight control unit 9 or may use an external device. The switching unit 25 may use the internal function of the hit detection unit 8 or may use an external device.
Further, each device shown in FIG. 2 can be replaced by an internal function of a microcomputer for controlling the operation of the work machine, or can be each an independent device or a partial device configured in various combinations. The point is that the necessary functions are achieved.

【0028】図1、図2に示す加重制御手段21はさら
に、キャリブレーションテーブルCTを格納した記憶手
段としてのキャリブレーションデータテーブル記憶部1
2を備え、指令トルク設定手段24は設定された目標の
加重値に対応した指令トルクTeをキャリブレーション
データテーブル記憶部12に格納されたキャリブレーシ
ョンテーブルCTから読みだし、指令トルクTeを設定
する。これにより、その装置につき実測して得たキャリ
ブレーションテーブルCTを一旦キャリブレーションデ
ータテーブル記憶部12に記憶しておけば、その後何ら
かの変化によりデータ変更が必要になるまで、その時々
に必要な加重値の設定を行うだけで自動的に対応でき
る。
The weight control means 21 shown in FIGS. 1 and 2 further includes a calibration data table storage unit 1 as storage means for storing the calibration table CT.
The command torque setting means 24 reads the command torque Te corresponding to the set target weight from the calibration table CT stored in the calibration data table storage unit 12 and sets the command torque Te. Thus, once the calibration table CT obtained by actually measuring the apparatus is once stored in the calibration data table storage unit 12, the weight value required at each time is necessary until the data needs to be changed due to some change. It is possible to respond automatically just by setting.

【0029】さらに、図1、図2に示す加重制御手段2
1は、前記キャリブレーションデータテーブル記憶部1
2に格納するキャリブレーションテーブルCTを自ら作
成する機能を持つように、テーブル作成手段としてのキ
ャリブレーションコントロール部11と、作業機の実際
の加重特性を検出するための圧力センサなどよりなる加
重特性検出手段13も備えている。キャリブレーション
コントロール部11は、駆動されるモータ1の位置制御
負荷1bを加重特性検出手段13に当接させて、そのと
きどきの圧力状態から前記駆動を行っている指令トルク
Teに対応した加重特性Lを検出し、それらに対応する
指令トルクTeと対をなしたキャリブレーションデータ
としてキャリブレーションデータテーブル記憶部12に
記憶していき、キャリブレーションテーブルCTを作成
する。これにより、キャリブレーションテーブルCTが
これを利用する作業機そのものの動作機能によって自動
的に得られるので、人がいちいち試験操作してデータを
収集し、データ設定するような必要がなく便利である。
また、何らかの変化があったときや、定期的に、キャリ
ブレーションテーブルCTを作成し直すことで、ときど
きの変化に対応することが自動的に行える。
Further, the weight control means 2 shown in FIGS.
1 is the calibration data table storage unit 1
2 has a function of creating the calibration table CT to be stored in the storage unit 2 by itself, a calibration control unit 11 as a table creation unit, and a weight characteristic detection including a pressure sensor for detecting an actual weight characteristic of the work machine. Means 13 are also provided. The calibration control unit 11 causes the position control load 1b of the driven motor 1 to abut on the weighting characteristic detecting means 13 and changes the weighting characteristic L corresponding to the command torque Te performing the driving from the pressure state at that time. Are stored in the calibration data table storage unit 12 as calibration data paired with the corresponding command torque Te, and a calibration table CT is created. As a result, the calibration table CT is automatically obtained by the operation function of the working machine itself that uses the calibration table CT, so that it is not necessary for a person to perform a test operation to collect data and set data, which is convenient.
In addition, when there is some change or by periodically re-creating the calibration table CT, it is possible to automatically cope with the occasional change.

【0030】なお、加重特性検出手段13は作業機の作
業対象14が位置決めされる近傍に固定的に設置してお
いて、作業機のキャリブレーションテーブルCT作成動
作時に、位置制御負荷1bをそれに押し当てるようにす
ればよい。もっとも、加重特性検出手段13は必要なと
きに必要な位置に移動されるようにもできる。
The weighting characteristic detecting means 13 is fixedly installed in the vicinity of the position where the work object 14 of the work machine is positioned, and pushes the position control load 1b to the work machine when the calibration table CT is created. You just have to hit it. However, the weighting characteristic detecting means 13 can be moved to a required position when necessary.

【0031】以上のようなキャリブレーションテーブル
CTを活かすには、先ず、エンドユーザーでの作業機の
使用が始まる前に、メーカー側で、あるいはエンドユー
ザーでの使用開始前に、図3に示すキャリブレーション
テーブルCTの作成操作を行うのが好適である。作業機
の動作プログラム中に動作初期だけ、あるいはその後も
所定の稼働時間経過ごとや作業機の稼働開始ごとなど定
期的に、あるいは所定の判断データに基づく自動的な判
定信号や人為的な入力信号によって、キャリブレーショ
ンテーブルCTの作成操作が行われるようにするのが好
適である。
To utilize the calibration table CT as described above, first, before the end user starts using the work machine, at the manufacturer or before the end user starts using the work machine, the calibration table CT shown in FIG. It is preferable to perform an operation of creating the option table CT. Automatic judgment signal or artificial input signal based on predetermined judgment data only at the beginning of operation or periodically after operation time of operation machine or start of operation of work machine during operation program of work machine It is preferable that the operation of creating the calibration table CT is performed by the above operation.

【0032】キャリブレーションテーブルCTの作成操
作は、図3に示すように上記のような指定トルクごとの
キャリブレーション動作を必要回数行って、図4に示す
ような実際にモータ1を駆動したときの指令トルクTe
と、そのときどきで検出された加重特性検出手段13の
ロードセル出力とを収集して、キャリブレーションデー
タテーブルを作成する。次いで、これをキャリブレーシ
ョンデータテーブル記憶部12に記憶する。
The operation of preparing the calibration table CT is performed when the calibration operation for each designated torque is performed a required number of times as shown in FIG. 3 and the motor 1 is actually driven as shown in FIG. Command torque Te
And the load cell output of the weighting characteristic detecting means 13 detected at that time are collected to create a calibration data table. Next, this is stored in the calibration data table storage unit 12.

【0033】これ以降作業機の使用が開始され、図5に
示すようにまず位置制御手段22により位置決め動作が
行われ、目標位置に到達したかどうかのサーチ動作が行
われる。具体的には、制御負荷1bを目標位置に向かわ
せる指令位置bと位置検出部2で検出される現在位置c
との差分から位置制御部4で速度指令dを生成し、この
速度指令dと速度検出部3で検出される現在速度eとの
差分から速度制御部5で、前記指令位置bに到達させる
ために必要な指令トルクTeを生成する。指令トルクT
eは制御のオン、オフスイッチ10を介してドライバを
含む電流制御部6に与えられ、電流制御部6は受けた指
令トルクTeに従いモータ1を駆動して制御負荷1bを
位置制御し、目標位置、例えば電子部品を装着する回路
基板、あるいは金属バンプを形成するベアICなどの作
業対象14に当接する位置に到達させる。
Thereafter, the use of the working machine is started, and as shown in FIG. 5, first, a positioning operation is performed by the position control means 22, and a search operation is performed to determine whether or not the target position has been reached. Specifically, a command position b for moving the control load 1b to the target position and a current position c detected by the position detection unit 2
A speed command d is generated by the position control unit 4 from the difference between the speed command d and the current speed e detected by the speed detection unit 3. The command torque Te required for the above is generated. Command torque T
e is supplied to a current control unit 6 including a driver via a control on / off switch 10, and the current control unit 6 drives the motor 1 in accordance with the received command torque Te to control the position of the control load 1b, thereby controlling the target position. For example, it is caused to reach a position where it comes into contact with the work object 14 such as a circuit board on which electronic components are mounted or a bare IC for forming metal bumps.

【0034】目標位置に到達して位置制御負荷1bが作
業対象14に当接した当たりが検出されると、加重制御
手段21による加重制御に切り替わり、加重動作が行わ
れる。具体的には、制御負荷1bが作業対象14に当接
したときに現在速度が0になるのに対応して、速度制御
部5から出力される指令トルクTeが増大する変化によ
って、あたり検出部8がその当接を検出する。あたり検
出部8が当接を検出すると位置決めコントロール部7の
制御を停止させて、加重コントロール部9を働かせる。
加重コントロール部9はその後の指令位置などの信号に
基づいて所定の指令トルクTe′を電流制御部6に入力
しモータ1がさらなる駆動力を得て、位置制御負荷1b
をそれが当接した作業対象14にさらに押しつけて所定
の加重状態が得られる。加重動作の終了によってリター
ン動作が行われる。
When it is detected that the position control load 1b has come into contact with the work object 14 after reaching the target position, the control is switched to the weight control by the weight control means 21, and the weight operation is performed. More specifically, the change in the command torque Te output from the speed control unit 5 corresponding to the current speed becoming 0 when the control load 1b abuts on the work object 14 causes the hit detection unit 8 detects the contact. When the hit detection unit 8 detects the contact, the control of the positioning control unit 7 is stopped, and the weight control unit 9 is activated.
The weight control section 9 inputs a predetermined command torque Te 'to the current control section 6 based on a signal such as a subsequent command position, so that the motor 1 obtains further driving force and the position control load 1b
Is further pressed against the work object 14 against which it abuts, and a predetermined weighted state is obtained. Upon completion of the weighting operation, a return operation is performed.

【0035】[0035]

【発明の効果】本発明のモータ類の位置制御時の加重制
御方法およびその装置の1つの特徴によれば、モータか
ら位置制御負荷に至るまでの、認識できる、できないに
係わらないあらゆるバラツキ要素を含む実績データに基
づき、目標通りの加重値が高精度に得られ、装置では特
にそのような加重制御を自動的に達成することができ
る。
According to one aspect of the weight control method and apparatus for controlling the position of motors according to the present invention, any variation elements that can be recognized or not, from the motor to the position control load, can be recognized. A weight value as a target is obtained with high accuracy based on the performance data included, and the apparatus can automatically achieve such weight control in particular.

【0036】また、別の特徴によれば、指令トルクを増
大させていくときと、減少させていくときとの加重特性
にヒステリシス特性があっても、指令トルクを増大させ
ていく加重制御と、指令トルクを減少させていく加重制
御とをそのようなヒステリシス特性の影響に対処したよ
り正確な加重制御を達成することができる。
According to another feature, a weighting control for increasing the command torque even if the weighting characteristics for increasing and decreasing the command torque have a hysteresis characteristic. Weighting control for decreasing the command torque and more accurate weighting control that takes into account the influence of such hysteresis characteristics can be achieved.

【0037】また、装置のべつの特徴によれば、その装
置につき実測して得たキャリブレーションテーブルCT
を一旦記憶手段に記憶しておけば、その後何らかの変化
によりデータ変更が必要になるまで、その時々に必要な
加重値の設定を行うだけで自動的に対応できる。
According to another feature of the apparatus, a calibration table CT obtained by actually measuring the apparatus is provided.
Is temporarily stored in the storage means, until the data needs to be changed due to some change thereafter, it is possible to automatically cope with the situation simply by setting the necessary weight value.

【0038】さらに、別の特徴では、キャリブレーショ
ンテーブルCTがこれを利用する実機そのものの動作機
能によって自動的に得られるので、人がいちいち試験操
作してデータを収集し、データ設定するような必要がな
く便利である。また、何らかの変化があったときや、定
期的にキャリブレーションテーブルCTを作成し直し、
そのときどきの変化に対応することが自動的に行える。
Further, as another characteristic, since the calibration table CT is automatically obtained by the operation function of the actual machine using the calibration table CT, it is necessary for a person to perform a test operation to collect data and set data. There is no convenience. Also, when there is any change or periodically, the calibration table CT is re-created,
It can automatically respond to the occasional change.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の代表的な1つの実施の形態に係るモー
タ類の位置決め制御時の加重制御方法および装置を示す
模式図である。
FIG. 1 is a schematic diagram illustrating a weight control method and device during positioning control of motors according to a representative embodiment of the present invention.

【図2】図1の方法および装置の具体的構成を示すブロ
ック図である。
FIG. 2 is a block diagram showing a specific configuration of the method and apparatus of FIG. 1;

【図3】図1の方法および装置でのキャリブレーション
操作の一例を示すフローチャートである。
FIG. 3 is a flowchart illustrating an example of a calibration operation in the method and apparatus of FIG. 1;

【図4】図3の操作において得られるキャリブレーショ
ンテーブルをグラフ化して示したグラフである。
FIG. 4 is a graph showing a calibration table obtained in the operation of FIG. 3;

【図5】図3の操作で得たキャリブレーションテーブル
を利用した場合の位置決め制御およびそれに続く加重制
御の一例を示すフローチャートである。
FIG. 5 is a flowchart showing an example of positioning control and subsequent weighting control when a calibration table obtained by the operation of FIG. 3 is used.

【図6】従来のモータ類の位置決め制御時の加重制御方
法および装置を示す模式図である。
FIG. 6 is a schematic diagram showing a conventional weight control method and device during positioning control of motors.

【図7】図6の方法および装置の具体的構成を示すブロ
ック図である。
FIG. 7 is a block diagram showing a specific configuration of the method and apparatus of FIG. 6;

【図8】モータごとの推力、および加重特性にバラツキ
のある状態を示すグラフである。
FIG. 8 is a graph showing a state in which the thrust and the load characteristics of each motor vary.

【図9】指令トルクを増減する加重制御状態の一例を示
すグラフである。
FIG. 9 is a graph showing an example of a weight control state for increasing or decreasing a command torque.

【図10】図9に示す加重制御において生じる加重特性
のヒステリシス特性を示すグラフである。
FIG. 10 is a graph showing a hysteresis characteristic of a weight characteristic generated in the weight control shown in FIG. 9;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 モータ 1b 位置制御負荷 4 位置制御部 5 速度制御部 6 電流制御部 7 位置決めコントロール部 8 あたり検出部 9 加重コントロール部 11 キャリブレーションコントロール部 12 キャリブレーションデータテーブル記憶部 13 加重特性検出手段 14 作業対象 21 加重制御手段 22 位置制御手段 23 加重値設定手段 24 指令トルク設定手段 25 切換手段 Te、Te′ 指令トルク L 加重特性 Reference Signs List 1 motor 1b position control load 4 position control unit 5 speed control unit 6 current control unit 7 positioning control unit 8 per unit detection unit 9 weight control unit 11 calibration control unit 12 calibration data table storage unit 13 weight characteristic detection unit 14 work target 21 weight control means 22 position control means 23 weight value setting means 24 command torque setting means 25 switching means Te, Te 'command torque L weighting characteristics

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 武田 健 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Takeshi Takeda 1006 Kazuma Kadoma, Osaka Prefecture Matsushita Electric Industrial Co., Ltd.

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 サーボモータなどのモータ類を指令トル
クにより駆動して位置制御負荷を、目標位置へ移動させ
て作業対象に当接させる位置制御時に、指令トルクによ
って前記位置制御負荷から作業対象へ与える加重の制御
を行うモータ類の加重制御方法において、 用いるモータ類および位置制御負荷などにて実測して得
た、各種指令トルクとそれによる駆動時の加重特性結果
を対応させたキャリブレーションテーブルから、目標の
加重値に対応する指令トルクを選択し、選択した指令ト
ルクによりモータ類を駆動して加重制御を行うことを特
徴とするモータ類の加重制御方法。
When a position control load is moved to a target position by driving motors such as a servomotor with a command torque and brought into contact with a work object, the position control load is moved from the position control load to the work object by the command torque. In the weight control method for the motors that control the applied weight, a calibration table that correlates various command torques obtained by actually measuring the motors and position control load to be used and the results of the weighting characteristics at the time of driving with them is used. A weighting control method for motors, comprising selecting a command torque corresponding to a target weight value, and performing weighting control by driving the motors with the selected command torque.
【請求項2】 キャリブレーションテーブルは、指令ト
ルクを増大させていくときの加重特性に対応する第1の
変化分と、指令トルクを減少させていくときの加重特性
に対応する第2の変化分とを備え、指令トルクが増大す
るときの加重制御は第1の変化分のデータによって、指
令トルクが減少するときの加重制御は第2の変化分のデ
ータによって、それぞれ加重制御を行う請求項1に記載
のモータ類の位置制御時の加重制御方法。
2. The calibration table according to claim 1, wherein the first change corresponding to the weighting characteristic when increasing the command torque and the second change corresponding to the weighting characteristic when decreasing the command torque. The weight control when the command torque increases is performed by the data of the first change, and the weight control when the command torque decreases is performed by the data of the second change, respectively. 4. A weight control method at the time of position control of motors according to 4.
【請求項3】 サーボモータなどのモータ類を、指令ト
ルクにより駆動して位置制御負荷を目標位置へ移動させ
て作業対象に当接させる位置制御手段に加え、指令トル
クによってモータ類を駆動し、前記位置制御負荷からこ
れが当接した作業対象へ与える加重を制御する加重制御
手段と、加重制御の目標の加重値を設定する加重値設定
手段と、用いるモータ類および位置制御負荷などにて実
測して得た、各種指令トルクとそれによる駆動時の加重
特性結果を対応させたキャリブレーションテーブルか
ら、設定された目標の加重値に対応する指令トルクを選
択してこれを加重制御手段に与える指令トルク設定手段
と、前記位置制御負荷の作業対象への当接を検出する当
接検出手段と、当接検出手段による当接の検出があった
ときモータの制御を位置制御手段による位置制御から加
重制御手段による加重制御に切り替える切換手段とを備
えたことを特徴とするモータ類の位置制御時の加重制御
装置。
3. A motor, such as a servomotor, is driven by a command torque to move a position control load to a target position and abut on a work object. Weight control means for controlling the weight given to the work object contacted by the position control load, weight setting means for setting a target weight value of the weight control, motors and position control loads to be actually measured. A command torque corresponding to a set target weight value is selected from a calibration table in which various command torques obtained and a result of a weight characteristic during driving are obtained, and the command torque is given to the weight control means. Setting means, contact detection means for detecting contact of the position control load with the work object, and control of the motor when contact is detected by the contact detection means. Switching means for switching from the position control by the position control means to the weight control by the weight control means.
【請求項4】 キャリブレーションテーブルを格納した
記憶手段を備え、指令トルク設定手段は設定された目標
の加重値に対応した指令トルクを記憶手段に格納された
キャリブレーションテーブルから読みだし、指令トルク
を設定する請求項3に記載のモータ類の加重制御装置。
4. A storage means for storing a calibration table, wherein the command torque setting means reads a command torque corresponding to the set target weight value from the calibration table stored in the storage means, and stores the command torque. 4. The weight control device for motors according to claim 3, wherein the setting is performed.
【請求項5】 駆動されるモータ類の位置制御負荷を当
接されて、そのときの圧力状態から前記駆動を行ってい
る指令トルクに対応した加重特性を検出する加重特性検
出手段と、モータ類を各種の指令トルクにて駆動しなが
ら、その都度前記位置制御負荷を加重特性検出手段に当
接させるとともに、そのときどきに加重特性検出手段が
出力する加重特性を、それらに対応する指令トルクと対
をなしたキャリブレーションデータとして記憶手段に記
憶していき、キャリブレーションテーブルを作成するテ
ーブル作成手段とを備えた請求項4に記載のモータ類の
位置制御時の加重制御装置。
5. A load characteristic detecting means for contacting a position control load of a driven motor and detecting a load characteristic corresponding to a command torque for performing the driving from a pressure state at that time, and a motor and the like. While driving the position control load with the weighting characteristic detecting means each time while driving with various command torques, the weighting characteristic output from the weighting characteristic detecting means at each time is compared with the corresponding command torque. 5. The weight control device according to claim 4, further comprising: a table creation unit that stores the calibration data obtained in the storage unit in the storage unit and creates a calibration table.
JP09861698A 1998-04-10 1998-04-10 Weight control method for position control of motors Expired - Fee Related JP3724948B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP09861698A JP3724948B2 (en) 1998-04-10 1998-04-10 Weight control method for position control of motors

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP09861698A JP3724948B2 (en) 1998-04-10 1998-04-10 Weight control method for position control of motors

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH11296234A true JPH11296234A (en) 1999-10-29
JP3724948B2 JP3724948B2 (en) 2005-12-07

Family

ID=14224513

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP09861698A Expired - Fee Related JP3724948B2 (en) 1998-04-10 1998-04-10 Weight control method for position control of motors

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3724948B2 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2013008602A1 (en) * 2011-07-12 2013-01-17 いすゞ自動車株式会社 Actuator control method and actuator control device
WO2013038856A1 (en) * 2011-09-16 2013-03-21 いすゞ自動車株式会社 Actuator control method and actuator control device

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2013008602A1 (en) * 2011-07-12 2013-01-17 いすゞ自動車株式会社 Actuator control method and actuator control device
JP2013020464A (en) * 2011-07-12 2013-01-31 Isuzu Motors Ltd Actuator control method and actuator control device
CN103649851A (en) * 2011-07-12 2014-03-19 五十铃自动车株式会社 Actuator control method and actuator control device
US9558897B2 (en) 2011-07-12 2017-01-31 Isuzu Motors Limited Actuator control method and actuator control device
WO2013038856A1 (en) * 2011-09-16 2013-03-21 いすゞ自動車株式会社 Actuator control method and actuator control device
JP2013065152A (en) * 2011-09-16 2013-04-11 Isuzu Motors Ltd Control method for actuator and control device of actuator
CN103797429A (en) * 2011-09-16 2014-05-14 五十铃自动车株式会社 Actuator control method and actuator control device
US9519275B2 (en) 2011-09-16 2016-12-13 Isuzu Motors Limited Actuator control method and actuator control device

Also Published As

Publication number Publication date
JP3724948B2 (en) 2005-12-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1799388A1 (en) Method of controlling contact load in electronic component mounting apparatus
JPH02187286A (en) Automatic wire welder
WO1994014564A1 (en) Fast response weld head
JPH10126098A (en) Method of inserting electric contact pin having elastic fitting region into a hole of printed-circuit board
JPS63194343A (en) Method of controlling wire bonding apparatus
JP2008544475A (en) Semiconductor element bonding apparatus and semiconductor element bonding method using the same
JPH1094882A (en) Method and device for detecting and controlling pressure of welding gun
JPH11296234A (en) Method and device for weighted control for position control of motor or the like
JP4086981B2 (en) Weight control method for motors and weight control device using the method
JPH11768A (en) Spot welding controller
JP3598892B2 (en) Welding device and welding method
JP3578118B2 (en) Bonding apparatus and bonding method
JPH09270440A (en) Method and apparatus for mounting semiconductor
JP2001062765A (en) Method and device for automatic pressing
JPH0774201A (en) Supervising device of wire supply and comsumption
JP2002192385A (en) Electric pushing device
JP3313568B2 (en) Wire bonding apparatus and control method therefor
JP3791424B2 (en) Ultrasonic bonding apparatus and ultrasonic bonding method
JP2725117B2 (en) Wire bonding apparatus and method
JP2004042074A (en) Joining device
JPH0897590A (en) Method and device for automatically pressing object against another object
JPH1131723A (en) Ultrasonic wire bonding method and apparatus therefor
KR102536694B1 (en) Wire bonding device and wire bonding method
JP3022209B2 (en) Wire bonding method
JPS63136536A (en) Wire bonding method

Legal Events

Date Code Title Description
A131 Notification of reasons for refusal

Effective date: 20050118

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20050309

A02 Decision of refusal

Effective date: 20050524

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

A521 Written amendment

Effective date: 20050621

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

A911 Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi)

Effective date: 20050725

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20050823

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Effective date: 20050920

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

R150 Certificate of patent (=grant) or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080930

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090930

Year of fee payment: 4

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees