JPH11291482A - Ink jet head - Google Patents
Ink jet headInfo
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- JPH11291482A JPH11291482A JP9442698A JP9442698A JPH11291482A JP H11291482 A JPH11291482 A JP H11291482A JP 9442698 A JP9442698 A JP 9442698A JP 9442698 A JP9442698 A JP 9442698A JP H11291482 A JPH11291482 A JP H11291482A
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- electrode
- diaphragm
- ink
- jet head
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14314—Structure of ink jet print heads with electrostatically actuated membrane
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、静電アクチュエー
タ方式のインクジェットヘッドに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electrostatic actuator type ink jet head.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、静電アクチュエータ方式のインク
ジェットヘッドとして、例えば特開平６−３４００６９
号公報又は特開平７−２４６７０６号公報に図８に示す
インクジェットヘッド１００が開示されている。このイ
ンクジェットヘッド１００は、カバープレート１２、チ
ャンネルプレート１４及び基板１６を一体接合して構成
されている。2. Description of the Related Art Conventionally, as an inkjet head of an electrostatic actuator type, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 6-340069 is used.
8 or JP-A-7-246706 discloses an ink jet head 100 shown in FIG. The inkjet head 100 is configured by integrally joining a cover plate 12, a channel plate 14, and a substrate 16 together.
【０００３】上記チャンネルプレート１４はシリコンプ
レートからなり、異方性エッチングにより複数の溝部が
形成されている。これら溝部が上記カバープレート１２
によって覆われることによりそれぞれ、インクを収容す
るインクチャンネル１８、インクチャンネル１８内のイ
ンクを液滴として吐出するノズル２２、インクチャンネ
ル１８に補給されるインクを収容する共通インク室２
６、及びインクチャンネル１８と共通インク室２６とを
連通させるインレット３０になっている。The channel plate 14 is made of a silicon plate, and has a plurality of grooves formed by anisotropic etching. These grooves correspond to the cover plate 12.
The ink channel 18 that accommodates the ink, the nozzle 22 that ejects the ink in the ink channel 18 as droplets, and the common ink chamber 2 that accommodates the ink supplied to the ink channel 18 are covered by the ink channel 18.
6 and an inlet 30 for communicating the ink channel 18 with the common ink chamber 26.
【０００４】インクチャンネル１８の底部は振動板１９
となっており、この振動板１９のインクチャンネル１８
とは反対側の表面に共通電極３４が形成されている。一
方、基板１６のインクチャンネル１８に対応する位置に
は凹部３６が形成され、この凹部３６の底面には駆動電
極３８が上記共通電極３４に対向して形成されている。The bottom of the ink channel 18 is provided with a diaphragm 19
The ink channel 18 of the diaphragm 19
A common electrode 34 is formed on the surface on the opposite side. On the other hand, a concave portion 36 is formed at a position corresponding to the ink channel 18 on the substrate 16, and a drive electrode 38 is formed on the bottom surface of the concave portion 36 so as to face the common electrode 34.
【０００５】上記構成のインクジェットヘッド１００で
は、共通電極３４と駆動電極３８とに異なる極性の電圧
をそれぞれ印加すると、静電吸引力により両電極３４、
３８が引き合うために振動板１９が駆動電極３８側に撓
む。このときの撓み量は、図９に点線で示すように、振
動板１９の縁部近傍よりもその中央部１９ａで最も大き
くなり、その中央部１９ａが駆動電極３８に最接近する
ことになる。In the ink jet head 100 having the above-described structure, when voltages of different polarities are applied to the common electrode 34 and the driving electrode 38, respectively, the two electrodes 34,
The diaphragm 19 bends toward the drive electrode 38 due to the attraction of 38. The amount of deflection at this time is greatest at the central portion 19a than near the edge of the diaphragm 19, and the central portion 19a comes closest to the drive electrode 38, as indicated by the dotted line in FIG.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、静電気
力は電極間ギャップの２乗に反比例する関係にあるた
め、変形により駆動電極３８とのギャップが最も狭くな
った振動板１９の中央部１９ａには、さらに大きな静電
気力が集中的に作用してより一層撓むことになる。その
結果、振動板１９の中央部１９ａには他の部分よりも大
きな応力が発生し、このような大きな応力が部分的に集
中して繰り返し発生することにより、振動板１９自体の
耐久性が低下し、ヘッド寿命が短くなるという問題があ
った。However, since the electrostatic force is inversely proportional to the square of the gap between the electrodes, the electrostatic force is located at the central portion 19a of the diaphragm 19 where the gap with the drive electrode 38 becomes narrowest due to deformation. In addition, the larger electrostatic force acts intensively, and further flexure occurs. As a result, a larger stress is generated in the central portion 19a of the diaphragm 19 than in other portions, and such a large stress is partially concentrated and repeatedly generated, thereby lowering the durability of the diaphragm 19 itself. However, there is a problem that the life of the head is shortened.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】そこで、本発明は上記問
題を解決するため、ノズルと、該ノズルに連通するイン
ク流路と、該インク流路の一部に設けられた振動板と、
該振動板に設けられた振動板電極と、該振動板電極に対
向して設けられた対向電極とを有し、上記振動板電極と
上記対向電極間にパルス電圧を印加し、上記振動板を静
電気力により変形させ、この変形によって上記ノズルか
らインク滴を記録紙に向けて吐出し印刷を行うインクジ
ェットヘッドにおいて、上記振動板電極の中央部と上記
対向電極との間隔が、上記振動板電極の縁部近傍と上記
対向電極との間隔よりも大きくなるように形成したこと
を特徴とする。In order to solve the above problems, the present invention provides a nozzle, an ink flow path communicating with the nozzle, a diaphragm provided in a part of the ink flow path,
A diaphragm electrode provided on the diaphragm, and a counter electrode provided to face the diaphragm electrode, applying a pulse voltage between the diaphragm electrode and the counter electrode, In an ink jet head which deforms by electrostatic force and discharges ink droplets from the nozzles toward recording paper by this deformation to perform printing, the interval between the center portion of the diaphragm electrode and the counter electrode is equal to the distance of the diaphragm electrode. It is characterized in that it is formed so as to be larger than the distance between the vicinity of the edge and the counter electrode.
【０００８】本発明のインクジェットヘッドでは、上記
振動板電極の中央部に対向する対向電極の位置に凹部を
形成してもよい。この場合、階段状の凹部としてもよ
い。また、上記対向電極を上記振動板電極に対して凹曲
面状に形成してもよい。In the ink jet head of the present invention, a concave portion may be formed at a position of the counter electrode facing the center of the diaphragm electrode. In this case, a stepped recess may be used. Further, the counter electrode may be formed in a concave curved shape with respect to the diaphragm electrode.
【０００９】[0009]
【発明の効果】本発明のインクジェットヘッドによれ
ば、上記振動板電極の中央部と上記対向電極との間隔
が、上記振動板電極の縁部近傍と上記対向電極との間隔
よりも大きくなるように形成してあるために、対向電極
に向かって湾曲変形した振動板の中央部と縁部近傍とで
対向電極との間のギャップがほぼ一定になる。その結
果、変形した状態にある振動板には全体的にほぼ均一な
静電気力が作用するため、上記中央部だけに比較的大き
な応力が発生することがなくなり、応力が全域において
ほぼ一定になる。これにより、振動板の早期劣化を防止
することで耐久性が向上し、ヘッド寿命を延ばすことが
できる。According to the ink jet head of the present invention, the distance between the center of the diaphragm electrode and the counter electrode is larger than the distance between the vicinity of the edge of the diaphragm electrode and the counter electrode. Therefore, the gap between the center electrode and the vicinity of the edge of the diaphragm curved and deformed toward the counter electrode becomes substantially constant. As a result, since a substantially uniform electrostatic force acts on the vibrating plate in the deformed state as a whole, a relatively large stress is not generated only in the central portion, and the stress becomes substantially constant in the entire region. As a result, the durability of the diaphragm is improved by preventing early deterioration of the diaphragm, and the life of the head can be extended.
【００１０】また、作用する静電気力が均一化されるこ
とにより、振動板の縁部近傍における変形量も従来に比
べて大きくなり、その結果、大きなインク吐出力を得る
ことができる。Further, since the applied electrostatic force is made uniform, the amount of deformation in the vicinity of the edge of the diaphragm becomes larger than before, and as a result, a large ink ejection force can be obtained.
【００１１】[0011]
【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照して本発明
の実施の形態について説明する。図１は本発明にかかる
インクジェットヘッド１０の平面図、図２は図１におけ
るＡ−Ａ線断面図、図３は図２におけるＢ−Ｂ線断面図
である。このインクジェットヘッド１０は、カバープレ
ート１２、チャンネルプレート１４及び基板１６を積層
して陽極接合により一体接合されている。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a plan view of an inkjet head 10 according to the present invention, FIG. 2 is a sectional view taken along line AA in FIG. 1, and FIG. 3 is a sectional view taken along line BB in FIG. In the inkjet head 10, the cover plate 12, the channel plate 14, and the substrate 16 are laminated and integrally joined by anodic joining.
【００１２】カバープレート１２は例えばガラス製の平
板であり、チャンネルプレート１４の上部を覆ってい
る。チャンネルプレート１４は例えばシリコンプレート
からなり、その上面には異方性エッチングにより複数の
溝が形成されている。具体的には、インクチャンネル
（インク流路）１８となる複数の長溝２０が互いに平行
に配列形成されている。また、チャンネルプレート１４
の縁部には、ノズル２２となる細溝２４が上記各長溝２
０に連通して形成されている。さらに、チャンネルプレ
ート１４の上記細溝２４の反対側には、共通インク室２
６となる横溝２８が上記複数の長溝２０の配列方向に沿
って延設されている。そして、インクチャンネル１８と
なる長溝２０と共通インク室２６となる横溝２８とは、
インレット３０となる細溝３２によってそれぞれ連通し
ている。これらの溝部２０、２４、２８、３２がカバー
プレート１２によって覆われることにより、インクチャ
ンネル１８、ノズル２２、共通インク室２６及びインレ
ット３０がそれぞれ形成される。The cover plate 12 is, for example, a flat plate made of glass and covers an upper portion of the channel plate 14. The channel plate 14 is made of, for example, a silicon plate, and has a plurality of grooves formed on its upper surface by anisotropic etching. Specifically, a plurality of long grooves 20 to be ink channels (ink flow paths) 18 are arranged in parallel with each other. In addition, the channel plate 14
The narrow groove 24 which becomes the nozzle 22 is provided at the edge of the long groove 2.
0 is formed. Further, on the opposite side of the narrow groove 24 of the channel plate 14, the common ink chamber 2 is provided.
The lateral grooves 28 which are 6 extend in the arrangement direction of the plurality of long grooves 20. The long groove 20 serving as the ink channel 18 and the lateral groove 28 serving as the common ink chamber 26
They communicate with each other through narrow grooves 32 that serve as inlets 30. By covering these grooves 20, 24, 28, and 32 with the cover plate 12, the ink channels 18, the nozzles 22, the common ink chamber 26, and the inlet 30 are respectively formed.
【００１３】ノズル２２はインクチャンネル１８に連通
し、インクチャンネル１８内のインクを吐出するように
なっている。また、インクチャンネル１８と共通インク
室２６とはインレット３０を介して連通しており、共通
インク室２６から各インクチャンネル１８にインクが供
給されて収容されるようになっている。さらに、共通イ
ンク室２６はインク供給路２９を介して図示しないイン
クタンクに接続され、そこからインクが供給されるよう
になっている。The nozzle 22 communicates with the ink channel 18 and discharges ink in the ink channel 18. Further, the ink channel 18 and the common ink chamber 26 communicate with each other via an inlet 30, and ink is supplied from the common ink chamber 26 to each of the ink channels 18 to be stored therein. Further, the common ink chamber 26 is connected to an ink tank (not shown) via an ink supply path 29, from which ink is supplied.
【００１４】チャンネルプレート１４の基板対向面に
は、各インクチャンネル１８に対応する位置に複数の矩
形凹部１５が形成されている。そして、この凹部１５の
天井部であって且つインクチャンネル１８の底部である
振動板１９には、凹部１５側の表面に金属材料をスパッ
タリングすることにより共通電極（振動板電極）３４が
形成されている。一方、例えばガラス等からなる基板１
６の表面には、図３に示すように、複数の凹部３６が上
記共通電極３４の中央部に対向する位置にエッチングに
よりそれぞれ形成されいる。この凹部３６の内面と上記
凹部１５に臨む基板１６の表面には、金属材料をスパッ
タリングすることにより駆動電極（対向電極）３８が形
成されている。これにより、駆動電極３８の中央部もま
た凹部３６に沿って窪んでいる。共通電極３４と駆動電
極３８は、駆動回路４０にそれぞれ電気的に接続されて
いる。On the substrate facing surface of the channel plate 14, a plurality of rectangular recesses 15 are formed at positions corresponding to the respective ink channels 18. A common electrode (diaphragm electrode) 34 is formed on the diaphragm 19 which is the ceiling of the recess 15 and the bottom of the ink channel 18 by sputtering a metal material on the surface on the side of the recess 15. I have. On the other hand, a substrate 1 made of, for example, glass
As shown in FIG. 3, a plurality of concave portions 36 are formed on the surface of the surface 6 by etching at positions facing the central portion of the common electrode 34, respectively. A drive electrode (counter electrode) 38 is formed on the inner surface of the concave portion 36 and the surface of the substrate 16 facing the concave portion 15 by sputtering a metal material. Thus, the center of the drive electrode 38 is also recessed along the recess 36. The common electrode 34 and the drive electrode 38 are electrically connected to a drive circuit 40, respectively.
【００１５】図４は、図３において共通電極３４と駆動
電極３８とが対向する部分の拡大図である。この図４に
示すように、駆動電極３８の中央部が窪んでいることに
より、共通電極３４の中央部と駆動電極３８との間隔ｄ
1が、共通電極３４の両側縁部近傍と駆動電極３８との
間隔ｄ2よりも大きくなるように形成されている。これ
ら電極間の間隔ｄ1、ｄ2は、後述するように振動板１９
が変形したときに、ｄ1とｄ2がほぼ等しくなるように設
定してある。FIG. 4 is an enlarged view of a portion where the common electrode 34 and the drive electrode 38 face each other in FIG. As shown in FIG. 4, since the center of the drive electrode 38 is depressed, the distance d between the center of the common electrode 34 and the drive electrode 38 is reduced.
1 is formed so as to be larger than the distance d 2 between the vicinity of both side edges of the common electrode 34 and the drive electrode 38. The distances d 1 and d 2 between these electrodes are determined by the diaphragm 19 as described later.
Is set so that d 1 and d 2 are substantially equal when is deformed.
【００１６】次に、上記構成からなるインクジェットヘ
ッド１０のインク吐出動作について説明する。図示しな
いインクタンクからインク供給路２９を介して共通イン
ク室２６に供給されたインクは、対応するインレット３
０を介して各インクチャンネル１８にそれぞれ収容され
ている。この状態で、駆動回路４０から駆動電極３８に
パルス電圧が印加されると、上記パルス電圧とは異なる
極性の電圧が印加された共通電極３４が静電気力によっ
て引き付けられる。これにより、図５に示すように振動
板１９は駆動電極３８に向けて凸状に撓み変形するが、
このとき共通電極３４の中央部と駆動電極３８との間隔
ｄ1は、共通電極３４の縁部近傍と駆動電極３８との間
隔ｄ2とほぼ等しくなる。ここで、共通電極３４と駆動
電極３８間に作用する単位面積当たりの静電気力Ｆは次
式で表される。Next, an ink discharging operation of the ink jet head 10 having the above configuration will be described. The ink supplied from the ink tank (not shown) to the common ink chamber 26 via the ink supply path 29 is supplied to the corresponding inlet 3.
Each of the ink channels 18 is accommodated in each of the ink channels 18. In this state, when a pulse voltage is applied from the drive circuit 40 to the drive electrode 38, the common electrode 34 to which a voltage having a polarity different from the pulse voltage is applied is attracted by the electrostatic force. Thereby, as shown in FIG. 5, the diaphragm 19 bends and deforms in a convex shape toward the drive electrode 38.
At this time, the distance d 1 between the center of the common electrode 34 and the drive electrode 38 is substantially equal to the distance d 2 between the vicinity of the edge of the common electrode 34 and the drive electrode 38. Here, the electrostatic force F per unit area acting between the common electrode 34 and the drive electrode 38 is expressed by the following equation.
【００１７】[0017]
【数１】Ｆ＝（１／２）εrε0（Ｖ／ｄ）2 … εr：ギャップ間の比誘電率 ε0：真空の誘電率 Ｖ：電圧 ｄ：電極間ギャップF = (1/2) ε r ε 0 (V / d) 2 ... Ε r : dielectric constant between gaps ε 0 : dielectric constant of vacuum V: voltage d: gap between electrodes
【００１８】この式から明らかなように、図５に示す
ように変形した振動板１９の中央部と両側縁部近傍に
は、電極間ギャップｄ1、ｄ2がほぼ等しくなっているこ
とから、ほぼ均一な静電気力Ｆが作用することになる。
これにより、振動板１９の全体にわたってほぼ均一な応
力が発生し、駆動電極形状が平面である上述した従来の
インクジェットヘッドの場合のように振動板１９の中央
部に他の部分よりも大きな応力が集中的に発生すること
がなくなる。その結果、振動板１９の早期劣化が防止さ
れて耐久性が向上し、ヘッド寿命を延ばすことができ
る。また、作用する静電気力が均一化されることによ
り、振動板１９の縁部近傍における変形量も従来より大
きくなり、その結果、大きなインク吐出力が得られる。As is apparent from this equation, the gaps d 1 and d 2 between the electrodes are almost equal in the vicinity of the center and both side edges of the diaphragm 19 deformed as shown in FIG. A substantially uniform electrostatic force F acts.
As a result, a substantially uniform stress is generated over the entire vibration plate 19, and a larger stress is applied to the center of the vibration plate 19 than the other portions in the center of the vibration plate 19 as in the case of the above-described conventional inkjet head having a flat drive electrode shape. It does not occur intensively. As a result, early deterioration of the diaphragm 19 is prevented, the durability is improved, and the life of the head can be extended. Further, since the applied electrostatic force is made uniform, the amount of deformation in the vicinity of the edge of the vibration plate 19 becomes larger than before, and as a result, a large ink ejection force is obtained.
【００１９】上記振動板１９の変形によってインクチャ
ンネル１８内の体積が増加し、それに伴って共通インク
室２６からインレット３０を介してインクチャンネル１
８にインクが引き込まれる。そして、駆動電極３８への
電圧印加が解除されると、振動板１９はそれ自体の弾性
によって元の状態に復帰し、これによりインクチャンネ
ル１８内のインクが加圧されてノズル２２からインク滴
が吐出される。このインク滴が図示しない用紙等の記録
媒体に付着してドットを形成し、このドットの集合によ
り画像が記録される。Due to the deformation of the vibration plate 19, the volume in the ink channel 18 increases, and accordingly, the ink channel 1 from the common ink chamber 26 through the inlet 30.
The ink is drawn into 8. Then, when the voltage application to the drive electrode 38 is released, the diaphragm 19 returns to its original state due to its own elasticity, whereby the ink in the ink channel 18 is pressurized, and the ink droplet is Discharged. The ink droplets adhere to a recording medium such as a sheet of paper (not shown) to form dots, and an image is recorded by a group of the dots.
【００２０】なお、上記インクジェットヘッド１０で
は、基板１６の凹部３６に駆動電極３８を形成すること
により駆動電極３８の中央部を凹部として振動板１９変
形時の電極間ギャップがほぼ一定になるようにしたが、
図６に示すように、駆動電極３８を階段状の凹部に形成
して中央部をへこませて振動板１９変形時の電極間ギャ
ップをほぼ一定にするようにしてもよい。このような階
段状の凹部は多段階エッチングにより形成できる。In the ink jet head 10, the drive electrode 38 is formed in the recess 36 of the substrate 16 so that the gap between the electrodes when the diaphragm 19 is deformed becomes substantially constant, with the center of the drive electrode 38 serving as the recess. But
As shown in FIG. 6, the drive electrode 38 may be formed in a stepped concave portion so that the central portion is dented so that the gap between the electrodes when the diaphragm 19 is deformed is made substantially constant. Such a stepped recess can be formed by multi-step etching.
【００２１】また、図７に示すように、変形時の振動板
１９の形状に合わせるように、駆動電極３８を共通電極
３４に対して凹曲面状に形成して電極間ギャップがほぼ
完全に一定となるようにしてもよい。As shown in FIG. 7, the drive electrode 38 is formed in a concave curved shape with respect to the common electrode 34 so as to conform to the shape of the diaphragm 19 at the time of deformation, and the gap between the electrodes is almost completely constant. You may make it become.
【００２２】さらに、本実施形態のインクジェットヘッ
ド１０では、駆動電極３８側に凹部を形成して振動板変
形時の電極間ギャップを一定にするようにしたが、駆動
電極を平面形状に形成する一方で、共通電極３４側に凹
部を設けるか、または共通電極３４を駆動電極３８に対
して凹面形状にすることで、振動板変形時の電極間ギャ
ップを一定にするようにしてもよい。Further, in the ink-jet head 10 of the present embodiment, a concave portion is formed on the drive electrode 38 side so as to make the gap between the electrodes constant when the diaphragm is deformed. Thus, a concave portion may be provided on the common electrode 34 side, or the common electrode 34 may have a concave shape with respect to the drive electrode 38 so that the gap between the electrodes when the diaphragm is deformed may be constant.
【００２３】さらにまた、上述した本発明の実施形態で
は、振動板１９側に共通電極３４を設けたが、振動板１
９側に駆動電極を設けて基板１６側に共通電極を設けて
もよい。また、上記実施形態では振動板１９にスパッタ
リングにより金属薄膜からなる電極を設けたが、シリコ
ンからなる振動板にボロンドーピングを施すことにより
導電性を付与して振動板自体を共通電極又は駆動電極と
して使用する場合にも本発明は適用可能である。Further, in the above-described embodiment of the present invention, the common electrode 34 is provided on the diaphragm 19 side.
A drive electrode may be provided on the 9 side and a common electrode may be provided on the substrate 16 side. In the above-described embodiment, the diaphragm 19 is provided with an electrode made of a metal thin film by sputtering. However, the diaphragm made of silicon is provided with conductivity by performing boron doping, and the diaphragm itself is used as a common electrode or a drive electrode. The present invention is also applicable when used.
【図１】 インクジェットヘッドの平面図。FIG. 1 is a plan view of an inkjet head.
【図２】 図１におけるＡ−Ａ線断面図。FIG. 2 is a sectional view taken along line AA in FIG.
【図３】 図２におけるＢ−Ｂ線断面図。FIG. 3 is a sectional view taken along line BB in FIG. 2;
【図４】 図３において共通電極と駆動電極とが対向す
る部分を拡大した部分拡大断面図。FIG. 4 is a partially enlarged cross-sectional view in which a portion where a common electrode and a drive electrode face each other in FIG. 3 is enlarged;
【図５】 図４において振動板が変形した状態を示す部
分拡大断面図。5 is a partially enlarged cross-sectional view showing a state in which the diaphragm is deformed in FIG.
【図６】 駆動電極形状の変形例を示す部分拡大断面
図。FIG. 6 is a partially enlarged cross-sectional view showing a modification of the shape of the drive electrode.
【図７】 駆動電極形状の別の変形例を示す部分拡大断
面図。FIG. 7 is a partially enlarged sectional view showing another modification of the shape of the drive electrode.
【図８】 従来のインクジェットヘッドの一例を示す部
分断面図。FIG. 8 is a partial cross-sectional view illustrating an example of a conventional inkjet head.
【図９】 図８におけるＣ−Ｃ断面図。FIG. 9 is a sectional view taken along the line CC in FIG. 8;
１８…インクチャンネル（インク流路）、１９…振動
板、２２…ノズル、３４…共通電極（振動板電極）、３
８…駆動電極（対向電極）、ｄ1，ｄ2…電極間ギャッ
プ。18 ink channel (ink flow path), 19 diaphragm, 22 nozzle, 34 common electrode (diaphragm electrode), 3
8 ... drive electrode (counter electrode), d 1, d 2 ... inter-electrode gap.
Claims (4)
路と、該インク流路の一部に設けられた振動板と、該振
動板に設けられた振動板電極と、該振動板電極に対向し
て設けられた対向電極とを有し、上記振動板電極と上記
対向電極間にパルス電圧を印加し、上記振動板を静電気
力により変形させ、この変形によって上記ノズルからイ
ンク滴を記録紙に向けて吐出し印刷を行うインクジェッ
トヘッドにおいて、 上記振動板電極の中央部と上記対向電極との間隔が、上
記振動板電極の縁部近傍と上記対向電極との間隔よりも
大きくなるように形成したことを特徴とするインクジェ
ットヘッド。A nozzle, an ink flow path communicating with the nozzle, a vibrating plate provided in a part of the ink flow path, a vibrating plate electrode provided on the vibrating plate, and a vibrating plate electrode. A pulse voltage is applied between the diaphragm electrode and the counter electrode, the diaphragm is deformed by electrostatic force, and the deformation causes ink droplets to be discharged from the nozzles on the recording paper. In the ink jet head which performs printing by discharging toward, the gap between the center of the diaphragm electrode and the counter electrode is formed to be larger than the gap between the vicinity of the edge of the diaphragm electrode and the counter electrode. An ink jet head, characterized in that:
電極の位置に凹部を形成したことを特徴とする請求項１
のインクジェットヘッド。2. A concave portion is formed at a position of a counter electrode facing a central portion of the diaphragm electrode.
Inkjet head.
徴とする請求項２のインクジェットヘッド。3. The ink jet head according to claim 2, wherein said concave portion is a step-shaped concave portion.
凹曲面状に形成したことを特徴とする請求項１のインク
ジェットヘッド。4. The ink jet head according to claim 1, wherein said counter electrode is formed in a concave curved shape with respect to said diaphragm electrode.
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9442698A JPH11291482A (en) | 1998-04-07 | 1998-04-07 | Ink jet head |
| US09/286,637 US6322198B1 (en) | 1998-04-07 | 1999-04-02 | Electrostatic inkjet head having spaced electrodes |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9442698A JPH11291482A (en) | 1998-04-07 | 1998-04-07 | Ink jet head |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11291482A true JPH11291482A (en) | 1999-10-26 |
Family
ID=14109915
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9442698A Pending JPH11291482A (en) | 1998-04-07 | 1998-04-07 | Ink jet head |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11291482A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1693207A1 (en) | 2005-02-17 | 2006-08-23 | Seiko Epson Corporation | Electrostatic actuator and manufacturing method thereof |
-
1998
- 1998-04-07 JP JP9442698A patent/JPH11291482A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1693207A1 (en) | 2005-02-17 | 2006-08-23 | Seiko Epson Corporation | Electrostatic actuator and manufacturing method thereof |
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Legal Events
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| A131 | Notification of reasons for refusal |
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