JPH11281967A - Liquid crystal display device - Google Patents

Liquid crystal display device

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Publication number
JPH11281967A
JPH11281967A JP10086796A JP8679698A JPH11281967A JP H11281967 A JPH11281967 A JP H11281967A JP 10086796 A JP10086796 A JP 10086796A JP 8679698 A JP8679698 A JP 8679698A JP H11281967 A JPH11281967 A JP H11281967A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
oxide layer
liquid crystal
display device
crystal display
mixed oxide
Prior art date
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Pending
Application number
JP10086796A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kenzo Fukuyoshi
健蔵 福吉
Yukihiro Kimura
幸弘 木村
Koji Imayoshi
孝二 今吉
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Toppan Inc
Original Assignee
Toppan Printing Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Toppan Printing Co Ltd filed Critical Toppan Printing Co Ltd
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Publication of JPH11281967A publication Critical patent/JPH11281967A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To reduce the reflection of incident light and to prevent contrast from decreasing by providing at least one side electrode substrate with a transparent electrode laminating a mixed oxide layer, a silver base alloy layer, an intermediate oxide layer, a silver base alloy layer, and a mixed oxide layer. SOLUTION: When an overcoat 15 (refractive index approximately 1.5) is in contact with a mixed oxide layer 25 (refractive index approximately 2.1), reflected light R1 is reduced on the surface of the mixed oxide layer 25, therefore, to supplement this reduction, an intermediate oxide layer 23 and a mixed oxide layer 21 are provided under the mixed oxide layer 25, and light R3 , R5 which are reflected from these surfaces and in-phase with the reflected light R1 from the mixed oxide 25 are added thereto. Moreover, each of the reflected light R2 , R4 on the surface of the silver base alloy layers 24, 22 is reduced by dividing the silver base alloy layer into two. And the reflection of external incident light occurring at the interface is brought close to 0 as a whole by setting it so that the sum of the reflected light R2 and R4 has almost the same reflection amount as the reflected light R1 , R3 , and R5 (R2 and R4 are different phases from each other).

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、透過型や反射型の
液晶表示装置に関わるものであり、PDA、携帯型情報
機器用ディスプレイ、パームPCやノートブックタイプ
などの液晶表示装置において、特に、外光に起因する表
面(界面)反射を減少させて、表示品質を向上せしめた
液晶表示装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a transmission type or reflection type liquid crystal display device, and particularly to a liquid crystal display device such as a PDA, a display for a portable information device, a palm PC and a notebook type. The present invention relates to a liquid crystal display device having improved display quality by reducing surface (interface) reflection caused by external light.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、外光を利用した反射型液晶表示装
置の開発が活発になっている。反射型液晶表示装置とし
ては、例えば、図4の断面図に示すような、透明基板
(41)の上に反射電極(42)を形成した背面側の電
極基板(40)と、透明基板(47)の上にカラーフィ
ルタ(46)、透明電極(44)などを形成した観察者
側の電極基板(49)とを、液晶(43)を介して反射
型液晶表示装置を構成した構造のものが多く提案されて
いる。
2. Description of the Related Art In recent years, the development of a reflection type liquid crystal display device using external light has been active. As the reflection type liquid crystal display device, for example, as shown in the cross-sectional view of FIG. 4, a rear electrode substrate (40) having a reflection electrode (42) formed on a transparent substrate (41), and a transparent substrate (47). ) On which a color filter (46), a transparent electrode (44), etc. are formed, and an electrode substrate (49) on the observer side, and a structure in which a reflection type liquid crystal display device is configured via a liquid crystal (43). Many have been proposed.

【0003】図4において、カラーフィルタ(46)
は、例えば、R(赤)、G(緑)、B(青)に着色され
た光透過性の画素として形成されたものである。従来、
図4に示す背面側の電極基板(40)に形成する反射電
極(42)として、アルミニウム薄膜が多く使用されて
おり、アルミニウム薄膜は可視領域の光の反射率が高い
金属である。しかし、アルミニウム薄膜の反射率は、必
ずしも満足されるものではなく、また、アルミニウム薄
膜を液晶やガラスと接して用いた際は、さらに反射率が
低下するものである。
In FIG. 4, a color filter (46)
Are formed as light transmissive pixels colored R (red), G (green), and B (blue), for example. Conventionally,
As the reflective electrode (42) formed on the back electrode substrate (40) shown in FIG. 4, an aluminum thin film is often used, and the aluminum thin film is a metal having a high light reflectance in the visible region. However, the reflectance of the aluminum thin film is not always satisfactory, and the reflectance is further reduced when the aluminum thin film is used in contact with liquid crystal or glass.

【0004】図4に示すような構成の反射型液晶表示装
置の場合、観察者側の透明基板(47)上には、カラー
フィルタ(46)、オーバーコート(45)、透明電極
(44)などが積層されているが、観察者側から表示画
像を見たときに透明電極(44)とオーバーコート(4
5)との界面で、外光が一部反射される。この反射光
は、透明電極とオーバーコートとの屈折率の比が大きい
ほど大きく、また、表示面に対する外光の入射角度の大
きいほど大きくなるものである。また、この反射光は、
液晶のオン、オフに関係なく迷光のように表示装置のコ
ントラストを低下させることになる。これは、透過型液
晶表示装置についても同様で、とくに透過型において
は、外光の照度が高い場合(例えば、天気の良いときの
屋外)に問題となるものである。
In the case of a reflection type liquid crystal display device having the structure shown in FIG. 4, a color filter (46), an overcoat (45), a transparent electrode (44) and the like are provided on a transparent substrate (47) on the viewer side. Are stacked, but when the display image is viewed from the observer side, the transparent electrode (44) and the overcoat (4)
At the interface with 5), external light is partially reflected. This reflected light increases as the refractive index ratio between the transparent electrode and the overcoat increases, and increases as the incident angle of external light on the display surface increases. Also, this reflected light
Regardless of whether the liquid crystal is on or off, the contrast of the display device is reduced like stray light. The same applies to the transmissive liquid crystal display device. In particular, the transmissive liquid crystal display device has a problem when the illuminance of external light is high (for example, outdoors when the weather is good).

【0005】このような外部からの入射光の界面での反
射を低減させる関連技術として、例えば、特開平2−3
7326には、「酸化物層/銀層/酸化物層の3層構成
の透明電極は、反射を低減に有効であり、且つ導電性の
高い透明電極である」と提案している。しかし、この技
術による3層構成では、図3に示すように外部からの入
射光(I)の第1層目の酸化物層(33)表面での反射
光はr1 であるが、酸化物層(33)表面で反射しなか
った透過光の一部は、銀層(32)表面で反射され反射
光r2 となる。
As a related technique for reducing the reflection of the incident light from the outside at the interface, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No.
7326 proposes that “a transparent electrode having a three-layer structure of an oxide layer / a silver layer / an oxide layer is a transparent electrode that is effective in reducing reflection and has high conductivity”. However, in the three-layer structure according to this technique, as shown in FIG. 3, the reflected light of the incident light (I) from the outside on the surface of the first oxide layer (33) is r 1 , some of the transmitted light not reflected by the layer (33) surface is reflected by the silver layer (32) surface becomes reflected light r 2.

【0006】この際、図3に示すオーバーコート(3
4)の屈折率と酸化物層(33)の屈折率との比が小さ
いために、透過光が多くなり反射光r1 は、酸化物層
(33)が空気(屈折率1.0)に接している際の反射
光r’1 より小さくなってしまうものである。この小さ
くなってしまう程度は、反射光r1 と第2の酸化物層
(31)面での反射光r3 の和が、銀層(32)表面で
の反射光r2 (r1 及びr3 と位相が異なる)より小さ
くなるほどに、反射光r1 及び反射光r3 は小さなもの
であり、このため、干渉効果が十分に作用しなくなり、
入射光の界面での反射の低減は少ないものとなる。すな
わち、上記3層構成の透明電極は、例えば、図3に示す
ように、上方にオーバーコート(34)のような樹脂な
どが接している構成で用いると、酸化物層(33)表面
での反射光が弱まり、銀層(32)表面での反射光が強
くなり、全体として入射光に対して界面での反射を低く
するという効果は小さなものとなる。
At this time, the overcoat (3) shown in FIG.
Since the ratio of the refractive index of 4) to the refractive index of the oxide layer (33) is small, the transmitted light increases, and the reflected light r 1 is converted from the oxide layer (33) to air (refractive index: 1.0). in which becomes smaller than the reflected light r '1 when in contact. The degree of the decrease is that the sum of the reflected light r 1 and the reflected light r 3 on the surface of the second oxide layer (31) is the reflected light r 2 (r 1 and r 1 ) on the surface of the silver layer (32). (The phase is different from 3 ), the reflected light r 1 and the reflected light r 3 are smaller, so that the interference effect does not work sufficiently,
The reflection of the incident light at the interface is hardly reduced. That is, for example, as shown in FIG. 3, when the transparent electrode having the three-layer structure is used in a structure in which a resin or the like such as an overcoat (34) is in contact with the upper layer, the transparent electrode on the surface of the oxide layer (33) is formed. The reflected light is weakened, the reflected light on the surface of the silver layer (32) is increased, and the effect of reducing the reflection of the incident light at the interface as a whole is small.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、このような
問題点に着目してなされたものであり、その課題とする
ところは、観察者側の電極基板におけるオーバーコート
と透明電極との界面で生じる外部からの入射光の反射を
低減させることにより液晶表示装置のコントラストの低
下を防ぎ、高い表示品質をもつ液晶表示装置を提供する
ことにある。また、外部からの入射光の反射を低減させ
た反射型液晶表示装置を提供することにある。また、光
反射性の高い反射電極を有する液晶表示装置を提供する
ことにある。また、密着性の優れた光反射性の反射電極
を有する液晶表示装置を提供することにある。また、本
発明は、透明電極の信頼性を低下させない液晶表示装置
を提供することにある。また、本発明は、外部からの入
射光の反射を著しく低減させた液晶表示装置を提供する
ことにある。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of such a problem, and an object of the present invention is to provide an interface between an overcoat on a viewer-side electrode substrate and a transparent electrode. An object of the present invention is to provide a liquid crystal display device having a high display quality by preventing a decrease in contrast of the liquid crystal display device by reducing reflection of incident light from the outside caused by the above. Another object of the present invention is to provide a reflective liquid crystal display device in which reflection of incident light from the outside is reduced. Another object of the present invention is to provide a liquid crystal display device having a reflective electrode having high light reflectivity. Another object of the present invention is to provide a liquid crystal display device having a light-reflective reflective electrode having excellent adhesion. Another object of the present invention is to provide a liquid crystal display device that does not reduce the reliability of the transparent electrode. Another object of the present invention is to provide a liquid crystal display device in which reflection of incident light from the outside is significantly reduced.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明の第一発明は、液
晶表示装置を構成する一対の電極基板の、少なくとも片
側の電極基板が、混合酸化物層/銀合金層/中間酸化物
層/銀合金層/混合酸化物層を積層した透明電極を備え
ていることを特徴とする液晶表示装置である。また、本
発明は、上記発明の液晶表示装置において、前記片側の
電極基板が、観察者側の電極基板であることを特徴とす
る液晶表示装置である。また、本発明は、上記発明の液
晶表示装置において、前記片側の電極基板の、他側の電
極基板が、光反射性の反射電極を備えている背面側の電
極基板であることを特徴とする液晶表示装置である。ま
た、本発明は、上記発明の液晶表示装置において、前記
光反射性の反射電極が、アルミニウム、銀、或いは、こ
れらの金属と他の金属との合金の薄膜により形成される
ことを特徴とする液晶表示装置である。また、本発明
は、上記発明の液晶表示装置において、前記光反射性の
反射電極が、混合酸化物層/銀合金層/混合酸化物層で
構成する反射電極であることを特徴とする液晶表示装置
である。
According to a first aspect of the present invention, at least one of a pair of electrode substrates constituting a liquid crystal display device has a mixed oxide layer / silver alloy layer / intermediate oxide layer / A liquid crystal display device comprising a transparent electrode having a stacked silver alloy layer / mixed oxide layer. Further, the present invention is the liquid crystal display device according to the above invention, wherein the one-side electrode substrate is an observer-side electrode substrate. Further, according to the invention, in the liquid crystal display device of the invention, the electrode substrate on the other side of the electrode substrate on one side is an electrode substrate on the back side provided with a light-reflective reflective electrode. It is a liquid crystal display device. Further, according to the invention, in the liquid crystal display device according to the invention, the light-reflective reflective electrode is formed of a thin film of aluminum, silver, or an alloy of these metals and another metal. It is a liquid crystal display device. Further, according to the present invention, in the liquid crystal display device according to the invention, the light-reflective reflective electrode is a reflective electrode composed of a mixed oxide layer / a silver alloy layer / a mixed oxide layer. Device.

【0009】本発明の第二の発明は、上記発明の液晶表
示装置において、前記混合酸化物層及び中間酸化物層
が、アモルファス或いはアモルファス類似の酸化物であ
ることを特徴とする液晶表示装置である。また、本発明
の第三の発明は、上記発明の液晶表示装置において、前
記混合酸化物層及び中間酸化物層が、屈折率1.9以上
の酸化物であることを特徴とする液晶表示装置である。
また、本発明の第四の発明は、上記発明の液晶表示装置
において、前記中間酸化物層の光学膜厚が、前記混合酸
化物層の光学膜厚の略2倍であることを特徴とする液晶
表示装置である。
According to a second aspect of the present invention, there is provided the liquid crystal display device according to the above invention, wherein the mixed oxide layer and the intermediate oxide layer are amorphous or amorphous-like oxides. is there. According to a third aspect of the present invention, in the liquid crystal display device of the above aspect, the mixed oxide layer and the intermediate oxide layer are oxides having a refractive index of 1.9 or more. It is.
According to a fourth aspect of the present invention, in the liquid crystal display device according to the above aspect, the optical thickness of the intermediate oxide layer is approximately twice the optical thickness of the mixed oxide layer. It is a liquid crystal display device.

【0010】[0010]

【発明の実施の形態】以下に、本発明による液晶表示装
置を、その一実施の形態に基づいて詳細に説明する。図
1は、本発明による液晶表示装置の一実施例をその断面
で示す説明図である。図1において、液晶表示装置は偏
光板(18)、観察者側の電極基板(19)、液晶(1
3)、背面側の電極基板(10)などで構成されてい
る。そして、観察者側の電極基板(19)は透明基板
(17)の液晶(13)側上に、カラーフィルタ(1
6)、オーバーコート(15)、透明電極(14)など
が積層され、電極基板(19)の他面の観察者側上には
偏光板(18)が配置されているものである。また、背
面側の電極基板(10)は透明基板(11)の液晶(1
3)側上に、反射電極(12)などが積層されているも
のである。そして、透明電極(14)は混合酸化物層/
銀合金層/中間酸化物層/銀合金層/混合酸化物層を積
層した透明電極であり、また、電極基板(10)は光反
射性の反射電極であり、例えば、混合酸化物層/銀合金
層/混合酸化物層を積層した反射電極である。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, a liquid crystal display device according to the present invention will be described in detail based on one embodiment. FIG. 1 is an explanatory diagram showing a cross section of one embodiment of the liquid crystal display device according to the present invention. In FIG. 1, a liquid crystal display device includes a polarizing plate (18), an electrode substrate (19) on the viewer side, and a liquid crystal (1).
3), the back side electrode substrate (10) and the like. The electrode substrate (19) on the observer side is provided with a color filter (1) on the liquid crystal (13) side of the transparent substrate (17).
6), an overcoat (15), a transparent electrode (14), and the like are laminated, and a polarizing plate (18) is disposed on the viewer side of the other surface of the electrode substrate (19). The back electrode substrate (10) is a liquid crystal (1) on a transparent substrate (11).
3) The reflective electrode (12) and the like are stacked on the side. And the transparent electrode (14) is a mixed oxide layer /
It is a transparent electrode in which a silver alloy layer / intermediate oxide layer / silver alloy layer / mixed oxide layer is laminated, and the electrode substrate (10) is a light-reflective reflective electrode, for example, mixed oxide layer / silver It is a reflective electrode in which an alloy layer / a mixed oxide layer is laminated.

【0011】図2は、本発明における液晶表示装置のオ
ーバーコートと透明電極との界面で生じる外部からの入
射光の反射を低減させる原理を示す説明図である。図2
において、透明電極(14)は混合酸化物層(25)、
銀合金層(24)、中間酸化物層(23)、銀合金層
(22)、混合酸化物層(21)で構成されており、こ
の透明電極(14)の混合酸化物層(25)はオーバー
コート(15)に接している。また、Iは入射光、R1
〜R5 は透明電極(14)を構成する各々の層の界面で
入射光が反射した反射光を示している。
FIG. 2 is an explanatory view showing the principle of reducing the reflection of incident light from the outside generated at the interface between the overcoat and the transparent electrode of the liquid crystal display device according to the present invention. FIG.
Wherein the transparent electrode (14) comprises a mixed oxide layer (25),
The transparent electrode (14) is composed of a silver alloy layer (24), an intermediate oxide layer (23), a silver alloy layer (22), and a mixed oxide layer (21). It is in contact with the overcoat (15). Also, I is incident light, R 1
To R 5 incident light indicates light reflected at the interface of each layer constituting the transparent electrode (14).

【0012】本発明における液晶表示装置のオーバーコ
ートと透明電極との界面で生じる外部からの入射光の反
射を低減させる原理は次のようなものである。すなわ
ち、図2に示すように、オーバーコート(15)(屈折
率略1.5)と混合酸化物層(25)(屈折率略2.
1)が接する際には、混合酸化物層(25)表面での反
射光R1 は小さくなるので、これを補うために混合酸化
物層(25)の下方に中間酸化物層(23)、混合酸化
物層(21)を設け、これらの表面からの、混合酸化物
層(25)表面での反射光R1 と同じ位相の反射光
3 、R 5 を加えるものである。また、一方、一層で構
成される層厚のある銀合金層は、その反射光が大きいの
で、これを2分割し、層厚の薄い二層で構成される銀合
金層(24)、(22)とする。このように、銀合金層
を2分割することにより、銀合金層(24)、(22)
の表面での反射光R2 、R4 の各々を小さくするもので
ある。そして、銀合金層(24)、(22)の表面での
反射光R2 とR4 の和と、混合酸化物層(25)、中間
酸化物層(23)、混合酸化物層(21)の表面からの
反射光R1 とR3 とR5 (R2 、R4 と位相が異なる)
の和とが、ほぼ同じ反射量になるように設定して、界面
で生じる外部からの入射光の反射を全体としてゼロに近
づけようとするものである。
The liquid crystal display device according to the present invention has an
Of external incident light generated at the interface between the heat sink and the transparent electrode
The principle of reducing radiation is as follows. Sand
2, as shown in FIG.
Index of about 1.5) and the mixed oxide layer (25) (refractive index of about 2.
When 1) comes into contact, the reaction on the surface of the mixed oxide layer (25)
Glow R1Mixed oxidation to compensate for this
Oxide layer (23) below the material layer (25), mixed oxidation
Layer (21), mixed oxides from these surfaces
Light R reflected on the surface of the layer (25)1Reflected light with the same phase as
RThree, R FiveIs added. In addition, one layer
The thick silver alloy layer formed has large reflected light.
Then, this is divided into two, and the silver composite composed of two thin layers
The layers are gold layers (24) and (22). Thus, the silver alloy layer
Is divided into two to form silver alloy layers (24) and (22).
Light R on the surface ofTwo, RFourTo make each of the smaller
is there. Then, the surface of the silver alloy layers (24) and (22)
Reflected light RTwoAnd RFourAnd mixed oxide layer (25), intermediate
From the surface of the oxide layer (23) and the mixed oxide layer (21)
Reflected light R1And RThreeAnd RFive(RTwo, RFourPhase is different)
Is set so that the sum of
The reflection of incident light from outside caused by
It is intended to be attached.

【0013】本発明に用いる銀合金層(24)、(2
2)は、銀に金、銅、白金、パラジウム、ニッケルなど
を銀の導電性に大きな影響を与えない範囲で少量添加し
た合金を用いる。添加量は、銀に対し3at%以下が望ま
しい。銀合金層の膜厚は、それぞれ6nm〜30nmの
範囲で、5層構成の透明電極の透過率を大きく低下せし
めないように設定すればよい。
The silver alloy layers (24) and (2) used in the present invention
2) uses an alloy in which silver, gold, copper, platinum, palladium, nickel or the like is added in a small amount within a range that does not significantly affect the conductivity of silver. The addition amount is desirably 3 at% or less based on silver. The thickness of the silver alloy layer may be set in the range of 6 nm to 30 nm so that the transmittance of the five-layered transparent electrode is not significantly reduced.

【0014】本発明に用いる混合酸化物層(25)、
(21)の屈折率は、高い方が反射率を低下せしめ透過
率を向上させ得る。酸化インジウムや酸化亜鉛は、屈折
率が1.8〜2.0の範囲にあり適切なものであるが、
これらに高屈折率酸化物を添加して、より高い屈折率と
した混合酸化物を用いることもできる。代表的なもの
に、酸化セリウムや酸化チタンがあり、これらの屈折率
は波長550nmで2.4〜2.5程度である。これら
と導電性酸化物の混合酸化物を混合酸化物層(25)、
(21)、及び中間酸化物層(23)として用いること
ができる。
The mixed oxide layer (25) used in the present invention,
The higher the refractive index of (21) is, the lower the reflectance can be and the higher the transmittance can be. Indium oxide and zinc oxide have a refractive index in the range of 1.8 to 2.0 and are suitable.
A mixed oxide having a higher refractive index can also be used by adding a high refractive index oxide to them. Representative examples include cerium oxide and titanium oxide, and their refractive indexes are about 2.4 to 2.5 at a wavelength of 550 nm. A mixed oxide of these and a conductive oxide is mixed oxide layer (25),
(21) and an intermediate oxide layer (23).

【0015】混合酸化物層の膜厚は、20〜50nmの
範囲に設定することが好ましい。混合酸化物の屈折率が
高い際は膜厚を薄く、また、屈折率が低い際は膜厚を厚
く形成することになる。中間酸化物層は、この膜厚の2
倍の膜厚の40〜100nmの範囲に設定することが好
ましい。しかし、中間酸化物層の場合には、2層の銀合
金層間の電子移動を良好にするため40nmより薄く形
成してもよい。また、混合酸化物層の膜厚は、20nm
より薄く形成すると銀合金層の反射を十分に抑えきれな
くなるものである。
The thickness of the mixed oxide layer is preferably set in the range of 20 to 50 nm. When the refractive index of the mixed oxide is high, the film thickness is small, and when the refractive index is low, the film thickness is large. The intermediate oxide layer has a thickness of 2
It is preferable to set the thickness twice as large in the range of 40 to 100 nm. However, in the case of the intermediate oxide layer, it may be formed thinner than 40 nm in order to improve the electron transfer between the two silver alloy layers. The thickness of the mixed oxide layer is 20 nm.
If the layer is formed thinner, the reflection of the silver alloy layer cannot be sufficiently suppressed.

【0016】本発明による5層構成の透明電極(14)
は、透過型液晶表示装置においては、液晶を挟持する両
側の基板に用いることが可能である。しかし、反射型液
晶表示装置においては、図1に示すように、観察者側の
電極基板(19)と向かい合う背面側の電極基板(1
0)の透明基板(11)上に、例えば、光反射性の反射
電極(12)を形成するため、5層構成の透明電極は、
観察者側の電極基板の一方だけで良い。
A five-layer transparent electrode (14) according to the present invention.
In a transmissive liquid crystal display device, can be used for both substrates that sandwich liquid crystal. However, in the reflection type liquid crystal display device, as shown in FIG. 1, the back side electrode substrate (1) facing the observer side electrode substrate (19).
For example, to form a light-reflective reflective electrode (12) on the transparent substrate (11) of (0), the five-layered transparent electrode comprises:
Only one of the electrode substrates on the observer side is required.

【0017】また、本発明による5層構成の透明電極
は、液晶表示装置のみでなく、太陽電池用電極、熱線反
射膜、電磁波シールド膜にも使用可能で、また、低反射
率を活かして、液晶表示装置などの反射防止膜としてデ
ィスプレイ表面に形成することもできるものである。
The five-layered transparent electrode according to the present invention can be used not only for a liquid crystal display device but also for a solar cell electrode, a heat ray reflection film, an electromagnetic wave shielding film, and by taking advantage of a low reflectance. It can also be formed on the display surface as an antireflection film for a liquid crystal display device or the like.

【0018】反射型液晶表示装置の場合は、観察者側の
電極基板(19)と向かい合う背面側の電極基板(1
0)の透明基板(11)上に光反射性の反射電極(1
2)を形成する必要がある。反射電極(12)として
は、無機の酸化物を多層に積層した光干渉フィルター上
にITOなどの透明電極を積層したものでもよい。しか
し、高い反射率と高い導電性を兼ね備えるアルミニウム
や銀、或いは、これらの合金の金属薄膜を所望の形状に
加工したものを用いることが簡便である。
In the case of the reflection type liquid crystal display device, the back side electrode substrate (1) facing the observer side electrode substrate (19).
On the transparent substrate (11) of FIG.
2) needs to be formed. As the reflection electrode (12), a transparent electrode such as ITO may be laminated on an optical interference filter in which inorganic oxides are laminated in multiple layers. However, it is convenient to use a metal thin film of aluminum, silver, or an alloy thereof having both high reflectivity and high conductivity processed into a desired shape.

【0019】本発明における光反射性の反射電極(1
2)は、アルミニウム、銀、或いは、これらの金属と他
の金属との合金の薄膜により形成されることを特徴とす
るものである。アルミニウムや銀に添加する金属は、ガ
ラスなどの基板に接着性を付与させることが主目的であ
れば、チタン、タンタル、マグネシウムなど密着性を向
上させる金属を、例えば、0.5〜3.0%の少量を加
えればよい。また、反射率や導電性を付与させることが
主目的であれば、アルミニウム、銀、それぞれの原子の
自由電子に影響の少ない金属を少量加えればよい。ま
た、アルミニウムや銀に、保護や増反射の性能を付与さ
せることが目的で、これらの金属薄膜上に酸化物を積層
する場合には、酸化物との接触電位差や仕事関数を調整
する金属を少量添加すればよい。
In the present invention, the light-reflective reflective electrode (1) is used.
2) is characterized by being formed of a thin film of aluminum, silver, or an alloy of these metals and other metals. The metal to be added to aluminum or silver may be a metal that improves adhesion, such as titanium, tantalum, or magnesium, if the main purpose is to impart adhesion to a substrate such as glass, for example, 0.5 to 3.0. % May be added. If the main purpose is to impart reflectance or conductivity, a small amount of aluminum, silver, or a metal having little effect on the free electrons of each atom may be added. In addition, when an oxide is laminated on these metal thin films for the purpose of imparting protection or enhanced reflection performance to aluminum or silver, a metal for adjusting a contact potential difference with the oxide or a work function is used. What is necessary is just to add a small amount.

【0020】金属のなかで反射率の最も高い金属は銀で
ある。しかし銀は、ガラスやプラスチックフィルムなど
の基板に対して密着性が乏しく、単体の金属薄膜として
は好ましいものではない。本発明においては、保護と密
着の目的で、混合酸化物層によって銀合金層を挟持し
た、混合酸化物層/銀合金層/混合酸化物層の3層構成
としたものである。この反射電極の銀合金層の膜厚は、
透明電極の場合と異なり、十分な反射率の確保できる8
0nm以上の膜厚、好ましくは100〜200nmが良
い。
The metal having the highest reflectance among the metals is silver. However, silver has poor adhesion to substrates such as glass and plastic films, and is not preferred as a single metal thin film. In the present invention, for the purpose of protection and adhesion, a three-layer structure of a mixed oxide layer / silver alloy layer / mixed oxide layer is provided in which a silver alloy layer is sandwiched between mixed oxide layers. The thickness of the silver alloy layer of this reflective electrode is
Unlike the case of a transparent electrode, a sufficient reflectance can be secured. 8
The thickness is preferably 0 nm or more, preferably 100 to 200 nm.

【0021】本発明における液晶表示装置の透明電極
(14)、反射電極(12)に用いる混合酸化物層(2
5)、(21)、中間酸化物層(23)の材料は、導電
性酸化物である酸化インジウムや酸化亜鉛であることが
望ましい。しかし、銀は、これを挟持する酸化物層の結
晶粒界に沿って移動しやすく、この銀の拡散により電極
としての信頼性が低下してしまう。つまり、銀の粒界移
動を抑制するためには、粒界が実質的に存在しないアモ
ルファスないしアモルファス類似の酸化物を、混合酸化
物層、中間酸化物層に採用することが好ましいものであ
る。
The mixed oxide layer (2) used for the transparent electrode (14) and the reflective electrode (12) of the liquid crystal display device according to the present invention.
5), (21), It is desirable that the material of the intermediate oxide layer (23) is indium oxide or zinc oxide which is a conductive oxide. However, silver easily moves along the crystal grain boundaries of the oxide layer sandwiching the silver, and the diffusion of the silver lowers the reliability as an electrode. In other words, in order to suppress the movement of silver at the grain boundary, it is preferable to employ an amorphous or amorphous-like oxide having substantially no grain boundary for the mixed oxide layer and the intermediate oxide layer.

【0022】上記のように、混合酸化物層や中間酸化物
層の材料は、酸化インジウムもしくは、酸化亜鉛が好適
であるが、アモルファスないしアモルファス類似の酸化
物とするには、異種の酸化物を15%以上、好ましくは
20%前後添加すれば良い。また、相溶性の乏しい酸化
物では10%前後が好ましい。この酸化物の添加量が多
すぎると混合酸化物層、もしくは、中間酸化物層として
必要な導電性が失われてしまうものである。特に中間酸
化物層の導電性は、5層構成の透明電極の抵抗値への影
響が大きいために、銀合金の2層間で電気的導通がある
ことが望ましいものである。
As described above, the material of the mixed oxide layer and the intermediate oxide layer is preferably indium oxide or zinc oxide. However, in order to obtain an amorphous or amorphous-like oxide, a different oxide must be used. 15% or more, preferably about 20% may be added. In the case of oxides having poor compatibility, the content is preferably about 10%. If the amount of the oxide is too large, the conductivity required for the mixed oxide layer or the intermediate oxide layer is lost. In particular, since the conductivity of the intermediate oxide layer greatly affects the resistance value of the five-layered transparent electrode, it is desirable that there be electrical conduction between the two layers of the silver alloy.

【0023】混合酸化物として、酸化インジウムや酸化
亜鉛、酸化錫などに、酸化セリウム、酸化チタン、酸化
ニオブ、酸化タンタル、酸化カルシウム、酸化マグネシ
ウムなどの酸化物を適量添加すればよい。酸化インジウ
ムに酸化亜鉛、酸化錫を添加した2種以上の系の混合酸
化物であっても良い。その材料を酸化インジウムとする
と混合酸化物層は導電性の点で好ましいものとなる。
As a mixed oxide, an appropriate amount of an oxide such as cerium oxide, titanium oxide, niobium oxide, tantalum oxide, calcium oxide, or magnesium oxide may be added to indium oxide, zinc oxide, tin oxide, or the like. It may be a mixed oxide of two or more types in which zinc oxide and tin oxide are added to indium oxide. When the material is indium oxide, the mixed oxide layer is preferable in terms of conductivity.

【0024】本発明においては、銀合金層を混合酸化物
層で挟持した構成の透明電極での銀合金層の大きな反射
光を、位相の異なる混合酸化物層の反射光で相殺するも
のであり、混合酸化物層の反射光を大きくすることが重
要となる。混合酸化物層の反射光を増やすために、高屈
折率の酸化物を添加した混合酸化物層とするものであ
る。高屈折率の酸化物には、酸化チタン、酸化セリウ
ム、酸化タンタル、酸化ジルコニウムなどのほか、原子
量の大きな金属の酸化物がある。例えば、酸化インジウ
ムの屈折率は、略1.9であり、酸化インジウムを添加
することにより透過率の高い透明電極が得られることに
なる。
In the present invention, the large reflected light of the silver alloy layer on the transparent electrode having the structure in which the silver alloy layer is sandwiched between the mixed oxide layers is offset by the reflected light of the mixed oxide layers having different phases. It is important to increase the reflected light of the mixed oxide layer. In order to increase the reflected light of the mixed oxide layer, a mixed oxide layer to which an oxide having a high refractive index is added is used. Examples of the oxide having a high refractive index include titanium oxide, cerium oxide, tantalum oxide, zirconium oxide, and the like, and an oxide of a metal having a large atomic weight. For example, the refractive index of indium oxide is approximately 1.9, and a transparent electrode having a high transmittance can be obtained by adding indium oxide.

【0025】混合酸化物層の屈折率が2〜2.1程度、
その膜厚が40nm程度である際に、中間酸化物層の膜
厚が80nm程度であれば可視光、特に視感度の高い5
50nm付近の反射率が低くなるものである。また、銀
合金層の膜厚により、或いは、透明電極と接する材料の
屈折率によってその最適膜厚は若干変動するが、中間酸
化物層の光学膜厚が混合酸化物層の光学膜厚の略2倍程
度であると、透明電極の反射率が低くなるものである。
The mixed oxide layer has a refractive index of about 2 to 2.1,
When the thickness of the intermediate oxide layer is about 80 nm when the thickness is about 40 nm, visible light,
The reflectance around 50 nm is low. Although the optimum thickness slightly varies depending on the thickness of the silver alloy layer or the refractive index of the material in contact with the transparent electrode, the optical thickness of the intermediate oxide layer is substantially equal to the optical thickness of the mixed oxide layer. If it is about twice, the reflectance of the transparent electrode will be low.

【0026】本発明の液晶表示装置の観察者側の電極基
板には、例えば、赤(R)、緑(G)、青(B)の3色
の、或いは、イエロー(Y)、マゼンタ(M)、シアン
(C)の3色のカラーフィルタを配設しても良い。な
お、本発明の液晶表示装置には、偏光板、位相差板、λ
/4波長板、旋光補償フィルム、マイクロレンス、光の
散乱膜、回折格子、反射防止膜、アンチグレアフィル
ム、ホログラム等の光学素子など、或いは、TFT、M
IMなどの液晶駆動素子を、その目的に応じ設けてもよ
いものである。また、用いる液晶の種類は、TN、ST
N、OCB(HAN)、高分子分散、強誘電、反強誘
電、ゲストホストなど、液晶の種類によって限定するも
のでない。また、水平配向、垂直配向のなど、液晶の配
向によって限定するものでない。
The electrode substrate on the observer side of the liquid crystal display device of the present invention has, for example, three colors of red (R), green (G) and blue (B), or yellow (Y) and magenta (M). ) And three color filters of cyan (C) may be provided. The liquid crystal display of the present invention includes a polarizing plate, a retardation plate,
/ 4 wavelength plate, optical rotation compensation film, microlens, light scattering film, diffraction grating, antireflection film, antiglare film, optical element such as hologram, etc., or TFT, M
A liquid crystal driving element such as an IM may be provided according to the purpose. The type of liquid crystal used is TN, ST
There is no limitation on the type of liquid crystal, such as N, OCB (HAN), polymer dispersion, ferroelectricity, antiferroelectricity, and guest host. Further, the present invention is not limited by the orientation of liquid crystal such as horizontal orientation and vertical orientation.

【0027】以下に本発明の実施例を具体的に説明す
る。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described specifically.

【実施例】<実施例1>実施例1における液晶表示装置
は、図1に示すようなカラーフィルタ(16)、オーバ
ーコート(15)、透明電極(14)などが積層された
観察者側の電極基板(19)と、反射電極(12)など
が積層された背面側の電極基板(10)とで液晶(1
3)を挟持する構成で、観察者側の電極基板(19)の
観察者側には、位相差フィルムを含む偏光板(18)が
配置されている。
<Embodiment 1> A liquid crystal display device according to Embodiment 1 has a color filter (16), an overcoat (15), and a transparent electrode (14) as shown in FIG. The liquid crystal (1) is formed by the electrode substrate (19) and the rear electrode substrate (10) on which the reflective electrode (12) and the like are stacked.
In the configuration sandwiching 3), a polarizing plate (18) including a retardation film is disposed on the observer side of the electrode substrate (19) on the observer side.

【0028】そして、透明電極(14)は、幅約90μ
m、ピッチ約100μmのストライプ形状に、また、反
射電極(12)は、幅約290μm、ピッチ約300μ
mのストライプ形状にパターン形成され、透明電極(1
4)と直交している。透明電極は、図2に示すような、
層厚約40nmの混合酸化物層(25)、約9nmの銀
合金層(24)、約82nmの中間酸化物層(23)、
約9nmの銀合金層(22)、約40nmの混合酸化物
層(21)の5層の構成とした。
The transparent electrode (14) has a width of about 90 μm.
m, a stripe shape having a pitch of about 100 μm, and the reflective electrode (12) having a width of about 290 μm and a pitch of about 300 μm.
m is formed in a stripe pattern, and the transparent electrode (1
It is orthogonal to 4). The transparent electrode, as shown in FIG.
A mixed oxide layer (25) with a layer thickness of about 40 nm, a silver alloy layer (24) of about 9 nm, an intermediate oxide layer (23) of about 82 nm,
The silver alloy layer (22) having a thickness of about 9 nm and the mixed oxide layer (21) having a thickness of about 40 nm had a five-layer structure.

【0029】反射電極(12)は、透明基板(11)側
から約20nmの混合酸化物層、約150nmの銀合金
層、約4nmの混合酸化物層の3層の構成とした。反射
電極は、短波長側の反射率を上げるために、液晶に接す
る側を薄い混合酸化物とした。この透明電極の面積抵抗
値は、約4Ω/□、反射電極の面積抵抗値は約0.3Ω
/□であった。混合酸化物層及び中間酸化物層の組成
は、酸素を除く金属元素のみのアトミックパーセント
で、インジウム83at%、セリウム8.5at%、亜
鉛8.5at%とした。銀合金層の組成は、銀98.5
at%、金1at%、銅0.5at%とした。
The reflective electrode (12) was composed of three layers of a mixed oxide layer of about 20 nm, a silver alloy layer of about 150 nm, and a mixed oxide layer of about 4 nm from the transparent substrate (11) side. The reflective electrode was made of a thin mixed oxide on the side in contact with the liquid crystal in order to increase the reflectance on the short wavelength side. The sheet resistance of this transparent electrode is about 4Ω / □, and the sheet resistance of the reflection electrode is about 0.3Ω.
/ □. The composition of the mixed oxide layer and the intermediate oxide layer was 83 atomic% of indium, 8.5 atomic% of cerium, and 8.5 atomic% of zinc in atomic percentage of only metal elements excluding oxygen. The composition of the silver alloy layer was 98.5 silver.
at%, gold 1 at%, and copper 0.5 at%.

【0030】このようにして得られた透明電極を用いた
液晶表示装置と、透明電極としてITO(酸化インジウ
ムと酸化錫の混合酸化物)の単層を用いた液晶表示装置
とを比較してみると、本発明による透明電極を用いた液
晶表示装置は、オーバーコートと透明電極との界面で白
色味〜緑色味の反射光がなく、コントラストの高い表示
品質のものであった。
A comparison will be made between a liquid crystal display device using the transparent electrode thus obtained and a liquid crystal display device using a single layer of ITO (a mixed oxide of indium oxide and tin oxide) as the transparent electrode. In addition, the liquid crystal display device using the transparent electrode according to the present invention did not have white to greenish reflected light at the interface between the overcoat and the transparent electrode, and had high contrast display quality.

【0031】また、本発明において、液晶表示装置の反
射を低減させる効果をシミュレーションにて検証した。 A透明電極の積層構成 1混合酸化物層 ‥‥ 屈折率2.1、 膜厚 40nm 2銀合金層 ‥‥ 屈折率0.12、 膜厚 10nm 3中間酸化物層 ‥‥ 屈折率2.1、 膜厚 82nm 4銀合金層 ‥‥ 屈折率0.12、 膜厚 10nm 5混合酸化物層 ‥‥ 屈折率2.1、 膜厚 40nm なお、透明電極に接するオーバーコートの屈折率は、1.5とした。 B従来法の透明電極の積層構成 1混合酸化物層 ‥‥ 屈折率2.1、 膜厚 40nm 2銀合金層 ‥‥ 屈折率0.12、 膜厚 20nm 3混合酸化物層 ‥‥ 屈折率2.1、 膜厚 40nm なお、透明電極に接するオーバーコートの屈折率は、1.5とした。
In the present invention, the effect of reducing the reflection of the liquid crystal display device was verified by simulation. A: Laminated structure of transparent electrode 1 Mixed oxide layer ‥‥ Refractive index 2.1, thickness 40 nm 2 Silver alloy layer 屈折 Refractive index 0.12, film thickness 10 nm 3 Intermediate oxide layer 屈折 Refractive index 2.1, 82 nm thickness 4 silver alloy layer 屈折 refractive index 0.12, thickness 10 nm 5 mixed oxide layer ‥‥ refractive index 2.1, thickness 40 nm The refractive index of the overcoat in contact with the transparent electrode is 1.5. And B Laminated structure of conventional transparent electrode 1 Mixed oxide layer 屈折 Refractive index 2.1, film thickness 40 nm 2 Silver alloy layer 屈折 Refractive index 0.12, film thickness 20 nm 3 Mixed oxide layer ‥‥ Refractive index 2 The thickness of the overcoat in contact with the transparent electrode was 1.5.

【0032】上記構成でのシミュレーション結果を、図
5に分光反射率A、及び、分光反射率Bとして示した。
図5に示すように、屈折率1.5のオーバーコートと接
する際には、本発明による5層構成の透明電極は、従来
法による3層構成の透明電極より反射の低いものとなっ
た。
FIG. 5 shows the results of the simulation with the above configuration as the spectral reflectance A and the spectral reflectance B.
As shown in FIG. 5, the transparent electrode having the five-layer structure according to the present invention had lower reflection than the conventional three-layer transparent electrode when in contact with the overcoat having a refractive index of 1.5.

【0033】[0033]

【発明の効果】本発明は、液晶表示装置を構成する一対
の電極基板の、少なくとも片側の電極基板が、混合酸化
物層/銀合金層/中間酸化物層/銀合金層/混合酸化物
層を積層した透明電極を備えているので、外部からの入
射光の反射を低減させ液晶表示装置のコントラストの低
下を防ぎ、高い表示品質をもつ液晶表示装置が得られ
る。また、背面側の電極基板の透明基板上に、光反射性
の反射電極を形成するので、外部からの入射光の反射を
低減させた反射型液晶表示装置が得られる。また、光反
射性の反射電極は、アルミニウム、銀、或いは、これら
の金属と他の金属との合金の薄膜により形成されるの
で、光反射性の高い反射電極を有する液晶表示装置が得
られる。また、光反射性の反射電極を、混合酸化物層に
よって銀合金層を挟持した、混合酸化物層/銀合金層/
混合酸化物層の3層構成としたので、密着性の優れた光
反射性の反射電極を有する液晶表示装置が得られる。
According to the present invention, at least one of the pair of electrode substrates constituting the liquid crystal display device has a mixed oxide layer / silver alloy layer / intermediate oxide layer / silver alloy layer / mixed oxide layer. Is provided, the reflection of incident light from the outside is reduced, the contrast of the liquid crystal display device is prevented from lowering, and a liquid crystal display device with high display quality can be obtained. In addition, since the light-reflective reflective electrode is formed on the transparent substrate of the electrode substrate on the back side, a reflective liquid crystal display device in which the reflection of incident light from the outside is reduced can be obtained. In addition, since the light-reflective reflective electrode is formed of a thin film of aluminum, silver, or an alloy of these metals and another metal, a liquid crystal display device having a highly light-reflective reflective electrode can be obtained. Further, a light-reflective reflective electrode is formed by sandwiching a silver alloy layer with a mixed oxide layer.
Since the mixed oxide layer has a three-layer structure, a liquid crystal display device having a light-reflective reflective electrode having excellent adhesion can be obtained.

【0034】また、本発明は、粒界が実質的に存在しな
いアモルファスないしアモルファス類似の酸化物を、混
合酸化物層、中間酸化物層に採用するので、透明電極の
信頼性を低下させない液晶表示装置が得られる。また、
本発明は、混合酸化物層の反射光を増やすために、高屈
折率の酸化物を添加し屈折率が、略1.9以上の混合酸
化物層とするので、外部からの入射光の反射を著しく低
減させた液晶表示装置が得られる。また、本発明は、中
間酸化物層の光学膜厚が混合酸化物層の光学膜厚の略2
倍程度であるので、外部からの入射光の反射を著しく低
減させた液晶表示装置が得られる。
Further, according to the present invention, an amorphous or amorphous-like oxide having substantially no grain boundaries is used for the mixed oxide layer and the intermediate oxide layer, so that the reliability of the transparent electrode is not reduced. A device is obtained. Also,
In the present invention, in order to increase the reflected light of the mixed oxide layer, an oxide having a high refractive index is added to form a mixed oxide layer having a refractive index of about 1.9 or more. , A liquid crystal display device in which is greatly reduced. Further, the present invention provides that the optical thickness of the intermediate oxide layer is about 2 times the optical thickness of the mixed oxide layer.
Since it is about twice, a liquid crystal display device in which reflection of incident light from the outside is significantly reduced can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明による液晶表示装置の一実施例をその断
面で示す説明図である。
FIG. 1 is an explanatory view showing a cross section of one embodiment of a liquid crystal display device according to the present invention.

【図2】本発明における液晶表示装置の入射光の反射を
低減させる原理を示す説明図である。
FIG. 2 is an explanatory diagram showing the principle of reducing the reflection of incident light of the liquid crystal display device according to the present invention.

【図3】従来法による液晶表示装置の入射光の反射を低
減させる原理を示す説明図である。
FIG. 3 is an explanatory diagram showing a principle of reducing reflection of incident light of a liquid crystal display device according to a conventional method.

【図4】従来法による液晶表示装置の一例をその断面で
示す説明図である。
FIG. 4 is an explanatory view showing an example of a conventional liquid crystal display device in a cross section thereof.

【図5】分光反射率のシミュレーション結果である。FIG. 5 is a simulation result of spectral reflectance.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10…背面側の電極基板 11、17、41、47…透明基板 12、42…反射電極 13…液晶 14、44…透明電極 15、34…オーバーコート 16…カラーフィルタ 18…偏光板 19…観察者側の電極基板 21、25、31、33…混合酸化物層 23…中間酸化物層 22、24…銀合金層 32…銀層 I…入射光 r1 〜r3 ,R1 〜R5 …反射光DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Back electrode substrate 11, 17, 41, 47 ... Transparent substrate 12, 42 ... Reflection electrode 13 ... Liquid crystal 14, 44 ... Transparent electrode 15, 34 ... Overcoat 16 ... Color filter 18 ... Polarizing plate 19 ... Observer side of the electrode substrate 21,25,31,33 ... mixed oxide layer 23 ... intermediate oxide layer 22, 24 ... silver alloy layer 32 ... silver layer I ... incident light r 1 ~r 3, R 1 ~R 5 ... reflector light

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】液晶表示装置を構成する一対の電極基板
の、少なくとも片側の電極基板が、混合酸化物層/銀合
金層/中間酸化物層/銀合金層/混合酸化物層を積層し
た透明電極を備えていることを特徴とする液晶表示装
置。
At least one of a pair of electrode substrates constituting a liquid crystal display device has a transparent structure in which a mixed oxide layer / silver alloy layer / intermediate oxide layer / silver alloy layer / mixed oxide layer is laminated. A liquid crystal display device comprising an electrode.
【請求項2】前記片側の電極基板が、観察者側の電極基
板であることを特徴とする請求項1記載の液晶表示装
置。
2. The liquid crystal display device according to claim 1, wherein said one electrode substrate is an observer-side electrode substrate.
【請求項3】前記片側の電極基板の、他側の電極基板
が、光反射性の反射電極を備えている背面側の電極基板
であることを特徴とする請求項2記載の液晶表示装置。
3. The liquid crystal display device according to claim 2, wherein the electrode substrate on the other side of the electrode substrate on one side is an electrode substrate on the rear side provided with a light-reflective reflective electrode.
【請求項4】前記光反射性の反射電極が、アルミニウ
ム、銀、或いは、これらの金属と他の金属との合金の薄
膜により形成されることを特徴とする請求項3記載の液
晶表示装置。
4. The liquid crystal display device according to claim 3, wherein said light-reflective reflective electrode is formed of a thin film of aluminum, silver, or an alloy of these metals and another metal.
【請求項5】前記光反射性の反射電極が、混合酸化物層
/銀合金層/混合酸化物層で構成する反射電極であるこ
とを特徴とする請求項3記載の液晶表示装置。
5. The liquid crystal display device according to claim 3, wherein the light-reflective reflective electrode is a reflective electrode composed of a mixed oxide layer / silver alloy layer / mixed oxide layer.
【請求項6】前記混合酸化物層及び中間酸化物層が、ア
モルファス或いはアモルファス類似の酸化物であること
を特徴とする請求項1乃至5記載の液晶表示装置。
6. A liquid crystal display device according to claim 1, wherein said mixed oxide layer and said intermediate oxide layer are amorphous or amorphous-like oxides.
【請求項7】前記混合酸化物層及び中間酸化物層が、屈
折率1.9以上の酸化物であることを特徴とする請求項
1乃至6記載の液晶表示装置。
7. The liquid crystal display device according to claim 1, wherein the mixed oxide layer and the intermediate oxide layer are oxides having a refractive index of 1.9 or more.
【請求項8】前記中間酸化物層の光学膜厚が、前記混合
酸化物層の光学膜厚の略2倍であることを特徴とする請
求項1乃至7記載の液晶表示装置。
8. The liquid crystal display device according to claim 1, wherein the optical thickness of the intermediate oxide layer is approximately twice the optical thickness of the mixed oxide layer.
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