JPH11281338A - 化学処理表面状態検査装置および化学処理液劣化状態検査方法 - Google Patents
化学処理表面状態検査装置および化学処理液劣化状態検査方法Info
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- JPH11281338A JPH11281338A JP8196298A JP8196298A JPH11281338A JP H11281338 A JPH11281338 A JP H11281338A JP 8196298 A JP8196298 A JP 8196298A JP 8196298 A JP8196298 A JP 8196298A JP H11281338 A JPH11281338 A JP H11281338A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 良品と不良品とで析出物の形状が相似ではな
く、析出物の分布状態もランダムで、かつ、成長途中で
変化するような検査対象でも、精度良く良否判定を行う
ことが可能な化学処理表面状態検査装置を提供する。 【解決手段】 化学処理された表面に微細な凹凸形状を
有する検査対象表面にレーザ光を照射して得られる散乱
光の空間的な光量分布が、良品と不良品とで異なること
に基づいて良否検査を行う。例えば、レーザ光源３から
出射されたレーザ光束４は、検査対象物１の表面に垂直
に照射され、化学処理によって対象物１の表面に析出し
た析出物２により散乱されて散乱光６が発生する。散乱
光６の空間的な強度分布は、析出物２の大きさ等に依存
して変化する。そこで、受光素子７１〜７３で散乱光６
の光量分布を測定し、正規化手段８で、所定の受光素子
から得られた受光量で各受光素子の受光量を正規化す
る。そして、良否判定手段９で、この正規化された散乱
光量の分布形状や各受光素子の受光量の絶対値が良品と
不良品で異なることに基づいて、良否判定を行う。
く、析出物の分布状態もランダムで、かつ、成長途中で
変化するような検査対象でも、精度良く良否判定を行う
ことが可能な化学処理表面状態検査装置を提供する。 【解決手段】 化学処理された表面に微細な凹凸形状を
有する検査対象表面にレーザ光を照射して得られる散乱
光の空間的な光量分布が、良品と不良品とで異なること
に基づいて良否検査を行う。例えば、レーザ光源３から
出射されたレーザ光束４は、検査対象物１の表面に垂直
に照射され、化学処理によって対象物１の表面に析出し
た析出物２により散乱されて散乱光６が発生する。散乱
光６の空間的な強度分布は、析出物２の大きさ等に依存
して変化する。そこで、受光素子７１〜７３で散乱光６
の光量分布を測定し、正規化手段８で、所定の受光素子
から得られた受光量で各受光素子の受光量を正規化す
る。そして、良否判定手段９で、この正規化された散乱
光量の分布形状や各受光素子の受光量の絶対値が良品と
不良品で異なることに基づいて、良否判定を行う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、化学処理により対
象物表面に成長した析出物の成長状態を検査し、その良
否判定を行う化学処理表面状態検査装置に関する。ま
た、本発明は、上記化学処理を行う化学処理液の劣化状
態の検査を行う化学処理液劣化状態検査方法に関する。
象物表面に成長した析出物の成長状態を検査し、その良
否判定を行う化学処理表面状態検査装置に関する。ま
た、本発明は、上記化学処理を行う化学処理液の劣化状
態の検査を行う化学処理液劣化状態検査方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】部材の周囲を樹脂モールドする部品の製
造においては、モールド前に部材の酸化処理を行い、部
材の表面に針状の析出物を成長させることで樹脂との剥
離強度を高めている、このとき、析出物の成長が不足し
ていると、樹脂モールドとの剥離強度が十分に得られ
ず、製品の信頼性を確保できないため、表面状態の検査
を行う必要がある。
造においては、モールド前に部材の酸化処理を行い、部
材の表面に針状の析出物を成長させることで樹脂との剥
離強度を高めている、このとき、析出物の成長が不足し
ていると、樹脂モールドとの剥離強度が十分に得られ
ず、製品の信頼性を確保できないため、表面状態の検査
を行う必要がある。
【０００３】このような表面状態の検査を行う従来の技
術としては、例えば特許第２６３８５５４号に示される
技術がある。図５は従来の表面状態検査装置の一例を示
す構成図である。図５に示す表面状態検査装置は、検査
対象物１の表面にレーザ光束４を照射するレーザ光源３
と、検査対象物１の表面で反射されたレーザ光束４のう
ち正反射光成分を受光して正反射光量信号ｇを出力する
第５の受光素子７５と、正反射光量信号ｇを受けて、処
理の進行に伴う正反射光量信号ｇの変化をモニタし、所
定のしきい値を下回った時点で処理が終了したと判定す
るデータ処理部１７とを含んで構成される。
術としては、例えば特許第２６３８５５４号に示される
技術がある。図５は従来の表面状態検査装置の一例を示
す構成図である。図５に示す表面状態検査装置は、検査
対象物１の表面にレーザ光束４を照射するレーザ光源３
と、検査対象物１の表面で反射されたレーザ光束４のう
ち正反射光成分を受光して正反射光量信号ｇを出力する
第５の受光素子７５と、正反射光量信号ｇを受けて、処
理の進行に伴う正反射光量信号ｇの変化をモニタし、所
定のしきい値を下回った時点で処理が終了したと判定す
るデータ処理部１７とを含んで構成される。
【０００４】図５の従来装置では、まず、レーザ光源３
から検査対象物１の表面に向けてレーザ光束４を照射
し、次に、その正反射光量を第５の受光素子７５で測定
して、正反射光量信号ｇを出力する。このとき、検査対
象物１はその表面に半球状のグレイン１８を有してお
り、処理の進行に伴って成長していくため、処理が進む
と散乱成分が大きくなり、正反射光量信号ｇは低下して
いく。そこで、データ処理部１７では、処理の進行に伴
う正反射光量ｇの低下をモニタし、この値が所定のしき
い値を下回った時点で、半球状グレイン１８が適切に成
長し、処理が終了したと判定する。
から検査対象物１の表面に向けてレーザ光束４を照射
し、次に、その正反射光量を第５の受光素子７５で測定
して、正反射光量信号ｇを出力する。このとき、検査対
象物１はその表面に半球状のグレイン１８を有してお
り、処理の進行に伴って成長していくため、処理が進む
と散乱成分が大きくなり、正反射光量信号ｇは低下して
いく。そこで、データ処理部１７では、処理の進行に伴
う正反射光量ｇの低下をモニタし、この値が所定のしき
い値を下回った時点で、半球状グレイン１８が適切に成
長し、処理が終了したと判定する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】前述した従来技術は、
検査対象物表面に成長する物が、半球状グレインのよう
に、ほぼ規則的に並んでおり、形状がほぼ相似のまま、
その大きさのみが変化していくような成長過程のモニタ
には有効な手段である。しかしながら、レーザ光の散乱
は、散乱物の大きさの変化以外にも、形状や分布状態等
によっても変化する。
検査対象物表面に成長する物が、半球状グレインのよう
に、ほぼ規則的に並んでおり、形状がほぼ相似のまま、
その大きさのみが変化していくような成長過程のモニタ
には有効な手段である。しかしながら、レーザ光の散乱
は、散乱物の大きさの変化以外にも、形状や分布状態等
によっても変化する。
【０００６】したがって、本発明の対象である化学処理
による析出物のように、良品と不良品とで析出物の形状
が相似にはならず、析出物の分布状態もランダムで、か
つ、成長途中で変化するような検査対象の場合には、従
来技術のように正反射光の光量変化を測定するだけで
は、形状の変化と分布状態の変化を正確に捉えることが
できないため、良否判定を精度良く行うことができな
い。
による析出物のように、良品と不良品とで析出物の形状
が相似にはならず、析出物の分布状態もランダムで、か
つ、成長途中で変化するような検査対象の場合には、従
来技術のように正反射光の光量変化を測定するだけで
は、形状の変化と分布状態の変化を正確に捉えることが
できないため、良否判定を精度良く行うことができな
い。
【０００７】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
で、良品と不良品とで析出物の形状が相似ではなく、析
出物の分布状態もランダムで、かつ、成長途中で変化す
るような検査対象でも、精度良く良否判定を行うことが
可能な化学処理表面状態検査装置を提供することを目的
とする。また、本発明は、上記化学処理を行う化学処理
液の劣化状態の検査を行う化学処理液劣化状態検査方法
を提供することを目的とする。
で、良品と不良品とで析出物の形状が相似ではなく、析
出物の分布状態もランダムで、かつ、成長途中で変化す
るような検査対象でも、精度良く良否判定を行うことが
可能な化学処理表面状態検査装置を提供することを目的
とする。また、本発明は、上記化学処理を行う化学処理
液の劣化状態の検査を行う化学処理液劣化状態検査方法
を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するため、下記（１）〜（１１）の発明を提供する。 （１）化学処理された検査対象表面にレーザ光を照射し
て得られる散乱光の空間的な光量分布が、良品と不良品
とで異なることに基づいて良否検査を行うことを特徴と
する化学処理表面状態検査装置。 （２）得られた散乱光量を正規化し、その正規化された
散乱光量分布形状が良品と不良品とで異なることに基づ
いて良否検査を行う（１）の化学処理表面状態検査装
置。 （３）得られた散乱光量の絶対値を所定のしきい値と比
較することで良否検査を行う（１）の化学処理表面状態
検査装置。 （４）散乱光量分布を測定するための受光素子は複数で
あり、あらかじめ決められた所定箇所に配置されている
（１）〜（３）の化学処理表面状態検査装置。 （５）散乱光量を測定するための受光素子は１つであ
り、それを、品種毎にあらかじめ設定された測定位置に
順次移動して、それぞれの測定位置で散乱光量を測定す
ることで散乱光量分布を得る（１）〜（３）の化学処理
表面状態検査装置。
成するため、下記（１）〜（１１）の発明を提供する。 （１）化学処理された検査対象表面にレーザ光を照射し
て得られる散乱光の空間的な光量分布が、良品と不良品
とで異なることに基づいて良否検査を行うことを特徴と
する化学処理表面状態検査装置。 （２）得られた散乱光量を正規化し、その正規化された
散乱光量分布形状が良品と不良品とで異なることに基づ
いて良否検査を行う（１）の化学処理表面状態検査装
置。 （３）得られた散乱光量の絶対値を所定のしきい値と比
較することで良否検査を行う（１）の化学処理表面状態
検査装置。 （４）散乱光量分布を測定するための受光素子は複数で
あり、あらかじめ決められた所定箇所に配置されている
（１）〜（３）の化学処理表面状態検査装置。 （５）散乱光量を測定するための受光素子は１つであ
り、それを、品種毎にあらかじめ設定された測定位置に
順次移動して、それぞれの測定位置で散乱光量を測定す
ることで散乱光量分布を得る（１）〜（３）の化学処理
表面状態検査装置。
【０００９】（６）検査光としてのレーザ光束を出射す
るレーザ光源と、化学処理された検査対象表面に前記レ
ーザ光束を照射して得られる散乱光のうち、複数の角度
成分の散乱光をそれぞれ受光して受光量信号を出力する
複数の受光素子と、各受光素子の各受光量信号を受け
て、所定受光量信号の値で各受光量信号を正規化し、各
正規化データを出力する正規化手段と、各正規化データ
を受けて、正規化データの特徴に基づいて検査対象物の
化学処理表面状態の良否を判定する良否判定手段とを具
備することを特徴とする化学処理表面状態検査装置。
るレーザ光源と、化学処理された検査対象表面に前記レ
ーザ光束を照射して得られる散乱光のうち、複数の角度
成分の散乱光をそれぞれ受光して受光量信号を出力する
複数の受光素子と、各受光素子の各受光量信号を受け
て、所定受光量信号の値で各受光量信号を正規化し、各
正規化データを出力する正規化手段と、各正規化データ
を受けて、正規化データの特徴に基づいて検査対象物の
化学処理表面状態の良否を判定する良否判定手段とを具
備することを特徴とする化学処理表面状態検査装置。
【００１０】（７）検査光としてのレーザ光束を出射す
るレーザ光源と、レーザ光源から出射されたレーザ光束
を反射し、化学処理された表面に微細な凹凸形状を有す
る検査対象物の表面に垂直に照射するミラーと、レーザ
光束の照射点を通り検査対象物に垂直な所定面内のレー
ザ光照射点を中心とした所定半径の半円上又は水平面内
にあって、それぞれ所定の角度で配置され、検査対象物
からの散乱光のうち、垂直又は水平から複数の角度成分
の散乱光をそれぞれ受光して受光量信号を出力する複数
の受光素子と、各受光素子の各受光量信号を受けて、所
定受光量信号の値で各受光量信号を正規化し、各正規化
データを出力する正規化手段と、各正規化データを受け
て、正規化データの特徴に基づいて検査対象物の化学処
理表面状態の良否を判定する良否判定手段とを具備する
ことを特徴とする化学処理表面状態検査装置。
るレーザ光源と、レーザ光源から出射されたレーザ光束
を反射し、化学処理された表面に微細な凹凸形状を有す
る検査対象物の表面に垂直に照射するミラーと、レーザ
光束の照射点を通り検査対象物に垂直な所定面内のレー
ザ光照射点を中心とした所定半径の半円上又は水平面内
にあって、それぞれ所定の角度で配置され、検査対象物
からの散乱光のうち、垂直又は水平から複数の角度成分
の散乱光をそれぞれ受光して受光量信号を出力する複数
の受光素子と、各受光素子の各受光量信号を受けて、所
定受光量信号の値で各受光量信号を正規化し、各正規化
データを出力する正規化手段と、各正規化データを受け
て、正規化データの特徴に基づいて検査対象物の化学処
理表面状態の良否を判定する良否判定手段とを具備する
ことを特徴とする化学処理表面状態検査装置。
【００１１】（８）検査光としてのレーザ光束を出射す
るレーザ光源と、化学処理された表面に微細な凹凸形状
を有する検査対象表面に前記レーザ光束を照射して得ら
れる散乱光のうち、複数の角度成分の散乱光をそれぞれ
受光して受光量信号を出力する複数の受光素子と、各受
光素子の各受光量信号を受けて、散乱光量の絶対値を所
定のしきい値と比較する比較手段と、比較手段による比
較結果に基づいて検査対象物の化学処理表面状態の良否
を判定する良否判定手段とを具備することを特徴とする
化学処理表面状態検査装置。
るレーザ光源と、化学処理された表面に微細な凹凸形状
を有する検査対象表面に前記レーザ光束を照射して得ら
れる散乱光のうち、複数の角度成分の散乱光をそれぞれ
受光して受光量信号を出力する複数の受光素子と、各受
光素子の各受光量信号を受けて、散乱光量の絶対値を所
定のしきい値と比較する比較手段と、比較手段による比
較結果に基づいて検査対象物の化学処理表面状態の良否
を判定する良否判定手段とを具備することを特徴とする
化学処理表面状態検査装置。
【００１２】（９）検査光としてのレーザ光束を出射す
るレーザ光源と、化学処理された表面に微細な凹凸形状
を有する検査対象表面に前記レーザ光束を照射して得ら
れる散乱光のうち、所定の角度成分の散乱光を受光して
受光量信号を出力する受光素子と、該受光素子をそれぞ
れ異なる複数の測定位置に移動させる受光素子移動手段
と、あらかじめ登録しておいた検査対象物の品種を選択
し品種信号を出力する品種選択手段と、品種選択手段か
らの品種信号を受けて、品種に応じてあらかじめ設定さ
れている複数の測定位置に受光素子を順次移動させるよ
うに受光素子移動手段に制御信号を出力する測定位置制
御手段と、品種選択手段からの品種信号を受けて、品種
に応じてあらかじめ設定された良否判定の基準となる良
否判定データを出力する判定値設定手段と、受光素子移
動手段によりそれぞれ異なる複数の測定位置に配置され
たときの受光素子の各受光量信号を受けて、所定の測定
位置のときの受光量信号の値で各測定位置での受光量信
号の値を正規化し正規化データ列を出力する正規化デー
タ列生成手段と、良否判定データと正規化データ列を受
けて、良否判定データに基づいて正規化データ列を処理
し、検査対象物の化学処理表面状態の良否を判定する良
否判定手段とを具備することを特徴とする化学処理表面
状態検査装置。
るレーザ光源と、化学処理された表面に微細な凹凸形状
を有する検査対象表面に前記レーザ光束を照射して得ら
れる散乱光のうち、所定の角度成分の散乱光を受光して
受光量信号を出力する受光素子と、該受光素子をそれぞ
れ異なる複数の測定位置に移動させる受光素子移動手段
と、あらかじめ登録しておいた検査対象物の品種を選択
し品種信号を出力する品種選択手段と、品種選択手段か
らの品種信号を受けて、品種に応じてあらかじめ設定さ
れている複数の測定位置に受光素子を順次移動させるよ
うに受光素子移動手段に制御信号を出力する測定位置制
御手段と、品種選択手段からの品種信号を受けて、品種
に応じてあらかじめ設定された良否判定の基準となる良
否判定データを出力する判定値設定手段と、受光素子移
動手段によりそれぞれ異なる複数の測定位置に配置され
たときの受光素子の各受光量信号を受けて、所定の測定
位置のときの受光量信号の値で各測定位置での受光量信
号の値を正規化し正規化データ列を出力する正規化デー
タ列生成手段と、良否判定データと正規化データ列を受
けて、良否判定データに基づいて正規化データ列を処理
し、検査対象物の化学処理表面状態の良否を判定する良
否判定手段とを具備することを特徴とする化学処理表面
状態検査装置。
【００１３】（１０）検査光としてのレーザ光束を出射
するレーザ光源と、レーザ光源から出射されたレーザ光
束を反射し、化学処理された表面に微細な凹凸形状を有
する検査対象物の表面に垂直に照射するミラーと、検査
対象物上のレーザ光束照射点に受光面を向けて、所定距
離に所定角度をもって配置され、検査対象物からの散乱
光のうち、所定の角度成分の散乱光を受光して受光量信
号を出力する受光素子と、該受光素子を、その受光面を
検査対象物上のレーザ光束照射点に向けたまま、レーザ
光束照射点を通り検査対象物に垂直な所定面内の所定半
径の半円上又は半径方向又は水平面内の回転方向に沿っ
て、それぞれ異なる複数の測定位置に移動させる受光素
子移動手段と、あらかじめ登録しておいた検査対象物の
品種を選択し品種信号を出力する品種選択手段と、品種
選択手段からの品種信号を受けて、品種に応じてあらか
じめ設定されている複数の測定位置に受光素子を順次移
動させるように受光素子移動手段に制御信号を出力する
測定位置制御手段と、品種選択手段からの品種信号を受
けて、品種に応じてあらかじめ設定された良否判定の基
準となる良否判定データを出力する判定値設定手段と、
受光素子移動手段によりそれぞれ異なる複数の測定位置
に配置されたときの受光素子の各受光量信号を受けて、
所定の測定位置のときの受光量信号の値で各測定位置で
の受光量信号の値を正規化し正規化データ列を出力する
正規化データ列生成手段と、良否判定データと正規化デ
ータ列を受けて、良否判定データに基づいて正規化デー
タ列を処理し、検査対象物の化学処理表面状態の良否を
判定する良否判定手段とを具備することを特徴とする化
学処理表面状態検査装置。
するレーザ光源と、レーザ光源から出射されたレーザ光
束を反射し、化学処理された表面に微細な凹凸形状を有
する検査対象物の表面に垂直に照射するミラーと、検査
対象物上のレーザ光束照射点に受光面を向けて、所定距
離に所定角度をもって配置され、検査対象物からの散乱
光のうち、所定の角度成分の散乱光を受光して受光量信
号を出力する受光素子と、該受光素子を、その受光面を
検査対象物上のレーザ光束照射点に向けたまま、レーザ
光束照射点を通り検査対象物に垂直な所定面内の所定半
径の半円上又は半径方向又は水平面内の回転方向に沿っ
て、それぞれ異なる複数の測定位置に移動させる受光素
子移動手段と、あらかじめ登録しておいた検査対象物の
品種を選択し品種信号を出力する品種選択手段と、品種
選択手段からの品種信号を受けて、品種に応じてあらか
じめ設定されている複数の測定位置に受光素子を順次移
動させるように受光素子移動手段に制御信号を出力する
測定位置制御手段と、品種選択手段からの品種信号を受
けて、品種に応じてあらかじめ設定された良否判定の基
準となる良否判定データを出力する判定値設定手段と、
受光素子移動手段によりそれぞれ異なる複数の測定位置
に配置されたときの受光素子の各受光量信号を受けて、
所定の測定位置のときの受光量信号の値で各測定位置で
の受光量信号の値を正規化し正規化データ列を出力する
正規化データ列生成手段と、良否判定データと正規化デ
ータ列を受けて、良否判定データに基づいて正規化デー
タ列を処理し、検査対象物の化学処理表面状態の良否を
判定する良否判定手段とを具備することを特徴とする化
学処理表面状態検査装置。
【００１４】（１１）一定期間毎に異なる処理時間で複
数の部材を処理してその良否判定を行い、良品となる限
界の処理時間の変化を捉えることで化学処理液の劣化状
態を判定することを特徴とする化学処理液劣化状態検査
方法。
数の部材を処理してその良否判定を行い、良品となる限
界の処理時間の変化を捉えることで化学処理液の劣化状
態を判定することを特徴とする化学処理液劣化状態検査
方法。
【００１５】本発明を、後述する第１の実施形態例を示
した図１を参照して説明する。図１において、まず、レ
ーザ光源３から出射されたレーザ光束４は、検査対象物
１の表面に垂直に照射され、化学処理によって検査対象
物１の表面に析出した析出物２により散乱されて散乱光
６が発生する。このとき、析出物２はレーザ光束４の波
長程度以下のサイズであるため、この散乱はレイリー散
乱やミー散乱になり、散乱光６の空間的な強度分布は、
析出物２の大きさ、形状、分布状態等に依存して変化す
る。そこで次に、レーザ光束４の照射点を通り検査対象
物１に垂直な所定面内にあって、それぞれ所定の角度成
分の散乱光量を受光する第１〜第３の受光素子７１〜７
３で散乱光６の光量分布を測定し、正規化手段８で、所
定の受光素子から得られた受光量で各受光素子の受光量
を正規化する。最後に、良否判定手段９で、この正規化
された散乱光量の分布形状や各受光素子の受光量の絶対
値が良品と不良品で異なることに基づいて、良否判定を
行う。
した図１を参照して説明する。図１において、まず、レ
ーザ光源３から出射されたレーザ光束４は、検査対象物
１の表面に垂直に照射され、化学処理によって検査対象
物１の表面に析出した析出物２により散乱されて散乱光
６が発生する。このとき、析出物２はレーザ光束４の波
長程度以下のサイズであるため、この散乱はレイリー散
乱やミー散乱になり、散乱光６の空間的な強度分布は、
析出物２の大きさ、形状、分布状態等に依存して変化す
る。そこで次に、レーザ光束４の照射点を通り検査対象
物１に垂直な所定面内にあって、それぞれ所定の角度成
分の散乱光量を受光する第１〜第３の受光素子７１〜７
３で散乱光６の光量分布を測定し、正規化手段８で、所
定の受光素子から得られた受光量で各受光素子の受光量
を正規化する。最後に、良否判定手段９で、この正規化
された散乱光量の分布形状や各受光素子の受光量の絶対
値が良品と不良品で異なることに基づいて、良否判定を
行う。
【００１６】なお、受光素子の個数は特に３つには限定
されず、明確に良否判定ができれば２つ以下でも４つ以
上でもよい。また、受光素子を１つとし、これをあらか
じめ設定された複数の測定位置に移動して、順次、散乱
光量を測定することで散乱光量分布を得てもよい。
されず、明確に良否判定ができれば２つ以下でも４つ以
上でもよい。また、受光素子を１つとし、これをあらか
じめ設定された複数の測定位置に移動して、順次、散乱
光量を測定することで散乱光量分布を得てもよい。
【００１７】
【発明の実施の形態】［第１実施形態例］図１は、本発
明の第１の実施形態例を示す構成図である。図１に示す
化学処理表面状態検査装置は、検査光としてのレーザ光
束４を出射するレーザ光源３と、レーザ光源３から出射
されたレーザ光束４を反射し、化学処理されて表面に析
出物２を有する検査対象物１の表面に垂直に照射するミ
ラー５と、レーザ光束４の照射点を通り検査対象物１に
垂直な所定面内のレーザ光４照射点を中心とした所定半
径の半円上にあって、それぞれ所定の角度で配置され、
検査対象物１からの散乱光６のうち、垂直から１０ｄｅ
ｇの角度成分の散乱光６を受光して受光量信号ａ１を出
力する第１の受光素子７１と、垂直から６０ｄｅｇの角
度成分の散乱光を受光して受光量信号ａ２を出力する第
２の受光素子７２と、垂直から９０ｄｅｇの角度成分の
散乱光を受光して受光量信号ａ３を出力する第３の受光
素子７３と、各受光素子７１〜７３の各受光量信号ａ１
〜ａ３を受けて、受光量信号ａ１の値で各受光量信号ａ
１〜ａ３を正規化し、各正規化データｂ１〜ｂ３を出力
する正規化手段８と、正規化データｂ１〜ｂ３を受け
て、正規化データｂ１〜ｂ３の特徴に基づいて検査対象
物１の化学処理表面状態の良否を判定する良否判定手段
９とで構成される。
明の第１の実施形態例を示す構成図である。図１に示す
化学処理表面状態検査装置は、検査光としてのレーザ光
束４を出射するレーザ光源３と、レーザ光源３から出射
されたレーザ光束４を反射し、化学処理されて表面に析
出物２を有する検査対象物１の表面に垂直に照射するミ
ラー５と、レーザ光束４の照射点を通り検査対象物１に
垂直な所定面内のレーザ光４照射点を中心とした所定半
径の半円上にあって、それぞれ所定の角度で配置され、
検査対象物１からの散乱光６のうち、垂直から１０ｄｅ
ｇの角度成分の散乱光６を受光して受光量信号ａ１を出
力する第１の受光素子７１と、垂直から６０ｄｅｇの角
度成分の散乱光を受光して受光量信号ａ２を出力する第
２の受光素子７２と、垂直から９０ｄｅｇの角度成分の
散乱光を受光して受光量信号ａ３を出力する第３の受光
素子７３と、各受光素子７１〜７３の各受光量信号ａ１
〜ａ３を受けて、受光量信号ａ１の値で各受光量信号ａ
１〜ａ３を正規化し、各正規化データｂ１〜ｂ３を出力
する正規化手段８と、正規化データｂ１〜ｂ３を受け
て、正規化データｂ１〜ｂ３の特徴に基づいて検査対象
物１の化学処理表面状態の良否を判定する良否判定手段
９とで構成される。
【００１８】図１の装置では、まず、レーザ光源３から
出射されたレーザ光束４は、ミラー５で反射されて検査
対象物１の表面に垂直に照射され、化学処理によって検
査対象物１の表面に析出した析出物２により散乱されて
散乱光６が発生する。このとき、析出物２はレーザ光束
４の波長程度以下のサイズであるため、この散乱はレイ
リー散乱やミー散乱になり、散乱光６の空間的な強度分
布は、析出物２の大きさ、形状、分布状態等に依存して
変化する。
出射されたレーザ光束４は、ミラー５で反射されて検査
対象物１の表面に垂直に照射され、化学処理によって検
査対象物１の表面に析出した析出物２により散乱されて
散乱光６が発生する。このとき、析出物２はレーザ光束
４の波長程度以下のサイズであるため、この散乱はレイ
リー散乱やミー散乱になり、散乱光６の空間的な強度分
布は、析出物２の大きさ、形状、分布状態等に依存して
変化する。
【００１９】そこで、レーザ光束４の照射点を通り検査
対象物１に垂直な所定面内の、レーザ光４の照射点を中
心とした所定半径の半円上にある第１〜第３の受光素子
７１〜７３で、それぞれ垂直から１０ｄｅｇ，６０ｄｅ
ｇ，９０ｄｅｇの角度成分の散乱光６を受光して受光量
信号ａ１〜ａ３を出力する。
対象物１に垂直な所定面内の、レーザ光４の照射点を中
心とした所定半径の半円上にある第１〜第３の受光素子
７１〜７３で、それぞれ垂直から１０ｄｅｇ，６０ｄｅ
ｇ，９０ｄｅｇの角度成分の散乱光６を受光して受光量
信号ａ１〜ａ３を出力する。
【００２０】次に、正規化手段８では、垂直から１０ｄ
ｅｇの受光量信号ａ１で各受光量信号ａ１〜ａ３を除算
して正規化データｂ１〜ｂ３を出力し、最後に、良否判
定手段９で、この正規化データｂ１〜ｂ３の特徴を基に
良否判定を行う。
ｅｇの受光量信号ａ１で各受光量信号ａ１〜ａ３を除算
して正規化データｂ１〜ｂ３を出力し、最後に、良否判
定手段９で、この正規化データｂ１〜ｂ３の特徴を基に
良否判定を行う。
【００２１】良否判定手段９での良否判定は以下のよう
に行う。図２は、散乱光６の正規化された光量分布測定
例を示すグラフである。レーザ光源３としては波長４８
８ｎｍのＡｒレーザを使用し、垂直から１０ｄｅｇピッ
チで測定してある。検査対象物１の材質はＢｅＣｕで、
化学処理による析出物２は、酸化第１銅および酸化第２
銅である。また、各測定サンプルのうち、サンプル１〜
３は不良品、サンプル４〜８は良品である。この正規化
された散乱光量分布グラフの形状は、不良品と良品とで
次のように異なる。
に行う。図２は、散乱光６の正規化された光量分布測定
例を示すグラフである。レーザ光源３としては波長４８
８ｎｍのＡｒレーザを使用し、垂直から１０ｄｅｇピッ
チで測定してある。検査対象物１の材質はＢｅＣｕで、
化学処理による析出物２は、酸化第１銅および酸化第２
銅である。また、各測定サンプルのうち、サンプル１〜
３は不良品、サンプル４〜８は良品である。この正規化
された散乱光量分布グラフの形状は、不良品と良品とで
次のように異なる。
【００２２】（１）不良品（サンプル１〜３）の場合 析出物２が成長している領域が小さく析出物２のサイズ
も小さいので、析出物２により散乱される成分に比べて
正反射される成分の方が大きいため、受光の角度が正反
射軸である垂直に近づくに従って光量が急激に増加し、
下側に凸のグラフ形状となる。 （２）良品（サンプル４〜８）の場合 析出物２が成長している領域が大きく析出物２のサイズ
も大きいため、レーザ光が析出物２で散乱されることに
より、受光角度１０ｄｅｇ〜７０ｄｅｇ程度までの光量
変化が少なく、上側に凸のグラフ形状となる。
も小さいので、析出物２により散乱される成分に比べて
正反射される成分の方が大きいため、受光の角度が正反
射軸である垂直に近づくに従って光量が急激に増加し、
下側に凸のグラフ形状となる。 （２）良品（サンプル４〜８）の場合 析出物２が成長している領域が大きく析出物２のサイズ
も大きいため、レーザ光が析出物２で散乱されることに
より、受光角度１０ｄｅｇ〜７０ｄｅｇ程度までの光量
変化が少なく、上側に凸のグラフ形状となる。
【００２３】そこで、良否判定手段９では、上記に示し
た正規化データｂ１〜ｂ３の特徴に基づいて検査対象物
１の化学処理表面状態の良否を判定する。まず、受光角
度１０ｄｅｇの値である正規化データｂ１と受光角度９
０ｄｅｇの値である正規化データｂ３とを通る直線を計
算し、その直線上での受光角度６０ｄｅｇのときの値を
判定値として算出する。次に、受光角度６０ｄｅｇの値
である正規化データｂ２とこの判定値を比較し、良否判
定を行う。図２に示したように、良品は上に凸、不良品
は下に凸のグラフ形状を示すため、（正規化データｂ２
＞判定値）であれば良品、（正規化データｂ２＜判定
値）であれば不良品と判定する。
た正規化データｂ１〜ｂ３の特徴に基づいて検査対象物
１の化学処理表面状態の良否を判定する。まず、受光角
度１０ｄｅｇの値である正規化データｂ１と受光角度９
０ｄｅｇの値である正規化データｂ３とを通る直線を計
算し、その直線上での受光角度６０ｄｅｇのときの値を
判定値として算出する。次に、受光角度６０ｄｅｇの値
である正規化データｂ２とこの判定値を比較し、良否判
定を行う。図２に示したように、良品は上に凸、不良品
は下に凸のグラフ形状を示すため、（正規化データｂ２
＞判定値）であれば良品、（正規化データｂ２＜判定
値）であれば不良品と判定する。
【００２４】なお、この良否判定手段９での良否判定動
作は、上記のみに限定されない。要は、良品と不良品の
散乱光量分布が異なることに基づいて、判定を行えば良
い。例えば、各受光素子７１〜７３の配置角度は、特に
１０ｄｅｇ，６０ｄｅｇ，９０ｄｅｇに限定されず、明
確に良否を判定できる角度であればよい。受光素子の個
数も特に３つに限定されず、明確に良否判定ができれば
２つ以下でも４つ以上でも良い。さらに、散乱光６の発
生のしかたによっては、測定した散乱光量の絶対値を所
定のしきい値と比較することで良否判定を行ってもよ
く、この場合には、正規化手段８を含まずに構成するこ
とが可能である。また、析出物２の形状や分布のしかた
によっては、水平面内で散乱光量分布が異なることもあ
る。この場合、水平面内の複数の角度についてそれぞれ
複数の受光素子を配置し、それぞれ上記の測定と良否判
定を行うことで対応できる。
作は、上記のみに限定されない。要は、良品と不良品の
散乱光量分布が異なることに基づいて、判定を行えば良
い。例えば、各受光素子７１〜７３の配置角度は、特に
１０ｄｅｇ，６０ｄｅｇ，９０ｄｅｇに限定されず、明
確に良否を判定できる角度であればよい。受光素子の個
数も特に３つに限定されず、明確に良否判定ができれば
２つ以下でも４つ以上でも良い。さらに、散乱光６の発
生のしかたによっては、測定した散乱光量の絶対値を所
定のしきい値と比較することで良否判定を行ってもよ
く、この場合には、正規化手段８を含まずに構成するこ
とが可能である。また、析出物２の形状や分布のしかた
によっては、水平面内で散乱光量分布が異なることもあ
る。この場合、水平面内の複数の角度についてそれぞれ
複数の受光素子を配置し、それぞれ上記の測定と良否判
定を行うことで対応できる。
【００２５】［第２実施形態例］図３は、本発明の第２
の実施形態例を示す構成図である。図３に示す化学処理
表面状態検査装置は、検査光としてのレーザ光束４を出
射するレーザ光源３と、レーザ光源３から出射されたレ
ーザ光束４を反射し、化学処理されて表面に析出物２を
有する検査対象物１の表面に垂直に照射するミラー５
と、検査対象物１上のレーザ光束４照射点に受光面を向
けて、所定距離に所定角度をもって配置され、検査対象
物１からの散乱光６のうち、所定の角度成分の散乱光６
を受光して受光量信号ａ４を出力する第４の受光素子７
４と、第４の受光素子７４を、その受光面を検査対象物
１上のレーザ光束４照射点に向けたまま、レーザ光束４
照射点を通り検査対象物１に垂直な所定面内の所定半径
の半円上に沿って、それぞれ異なる複数の測定位置に移
動させる、駆動源としてのモータ１１およびモータ１１
と第４の受光素子７４を連結するアーム１２からなる受
光素子移動手段１０と、あらかじめ登録しておいた検査
対象物１の品種を選択し品種信号ｃを出力する品種選択
手段１３と、品種選択手段１３からの品種信号ｃを受け
て、品種に応じてあらかじめ設定されている複数の測定
位置に第４の受光素子７４を順次移動させるように受光
素子移動手段１０に制御信号ｄを出力する測定位置制御
手段１４と、品種選択手段１３からの品種信号ｃを受け
て、品種に応じてあらかじめ設定された良否判定の基準
となる良否判定データｅを出力する判定値設定手段１５
と、受光素子移動手段１０によりそれぞれ異なる複数の
測定位置に配置されたときの第４の受光素子７４の各受
光量信号ａ４を受けて、所定の測定位置のときの受光量
信号ａ４の値で各測定位置での受光量信号ａ４の値を正
規化し正規化データ列ｆを出力する正規化データ列生成
手段１６と、良否判定データｅと正規化データ列ｆを受
けて、良否判定データｅに基づいて正規化データ列ｆを
処理し、検査対象物１の化学処理表面状態の良否を判定
する良否判定手段９とで構成される。
の実施形態例を示す構成図である。図３に示す化学処理
表面状態検査装置は、検査光としてのレーザ光束４を出
射するレーザ光源３と、レーザ光源３から出射されたレ
ーザ光束４を反射し、化学処理されて表面に析出物２を
有する検査対象物１の表面に垂直に照射するミラー５
と、検査対象物１上のレーザ光束４照射点に受光面を向
けて、所定距離に所定角度をもって配置され、検査対象
物１からの散乱光６のうち、所定の角度成分の散乱光６
を受光して受光量信号ａ４を出力する第４の受光素子７
４と、第４の受光素子７４を、その受光面を検査対象物
１上のレーザ光束４照射点に向けたまま、レーザ光束４
照射点を通り検査対象物１に垂直な所定面内の所定半径
の半円上に沿って、それぞれ異なる複数の測定位置に移
動させる、駆動源としてのモータ１１およびモータ１１
と第４の受光素子７４を連結するアーム１２からなる受
光素子移動手段１０と、あらかじめ登録しておいた検査
対象物１の品種を選択し品種信号ｃを出力する品種選択
手段１３と、品種選択手段１３からの品種信号ｃを受け
て、品種に応じてあらかじめ設定されている複数の測定
位置に第４の受光素子７４を順次移動させるように受光
素子移動手段１０に制御信号ｄを出力する測定位置制御
手段１４と、品種選択手段１３からの品種信号ｃを受け
て、品種に応じてあらかじめ設定された良否判定の基準
となる良否判定データｅを出力する判定値設定手段１５
と、受光素子移動手段１０によりそれぞれ異なる複数の
測定位置に配置されたときの第４の受光素子７４の各受
光量信号ａ４を受けて、所定の測定位置のときの受光量
信号ａ４の値で各測定位置での受光量信号ａ４の値を正
規化し正規化データ列ｆを出力する正規化データ列生成
手段１６と、良否判定データｅと正規化データ列ｆを受
けて、良否判定データｅに基づいて正規化データ列ｆを
処理し、検査対象物１の化学処理表面状態の良否を判定
する良否判定手段９とで構成される。
【００２６】図１に示した第１の実施形態例が３つの角
度に配置した３つの受光素子７１〜７３を用いて散乱光
量分布を得るのに対して、図３に示す第２の実施形態例
では、受光素子は第４の受光素子７４のみであり、これ
を受光素子移動手段１０で移動させ、複数の測定位置で
散乱光量を測定することで散乱光量分布を得るものであ
る。
度に配置した３つの受光素子７１〜７３を用いて散乱光
量分布を得るのに対して、図３に示す第２の実施形態例
では、受光素子は第４の受光素子７４のみであり、これ
を受光素子移動手段１０で移動させ、複数の測定位置で
散乱光量を測定することで散乱光量分布を得るものであ
る。
【００２７】第２の実施形態例による動作を以下に示
す。但し、レーザ光束４の照射に関しては、第１の実施
形態例と同一であるため、特に説明しない。まず、品種
選択手段１３にて選択された品種信号ｃに応じて、測定
位置制御手段１４によりモータ１１を制御して、品種に
応じてあらかじめ設定されている所定の測定位置に第４
の受光素子７４を配置し、第４の受光素子７４は散乱光
６を受光してその光量を受光量信号ａ４として出力す
る。この動作を、測定位置制御手段１４にあらかじめ設
定しておいた測定位置分だけ繰り返し、第４の受光素子
７４は各測定位置における受光量信号ａ４を順次出力す
る。
す。但し、レーザ光束４の照射に関しては、第１の実施
形態例と同一であるため、特に説明しない。まず、品種
選択手段１３にて選択された品種信号ｃに応じて、測定
位置制御手段１４によりモータ１１を制御して、品種に
応じてあらかじめ設定されている所定の測定位置に第４
の受光素子７４を配置し、第４の受光素子７４は散乱光
６を受光してその光量を受光量信号ａ４として出力す
る。この動作を、測定位置制御手段１４にあらかじめ設
定しておいた測定位置分だけ繰り返し、第４の受光素子
７４は各測定位置における受光量信号ａ４を順次出力す
る。
【００２８】次に、正規化データ列生成手段１６にて、
順次得られる各受光量信号ａ４を、所定の測定位置のと
きの値で正規化し、正規化データ列ｆを生成する。ま
た、判定値設定手段１５では、品種選択手段１３で選択
された品種信号ｃを受けて、あらかじめ品種毎に設定し
てある良否判定を行う基準となるデータのうち、その品
種に応じたデータを良否判定データｅとして出力する。
順次得られる各受光量信号ａ４を、所定の測定位置のと
きの値で正規化し、正規化データ列ｆを生成する。ま
た、判定値設定手段１５では、品種選択手段１３で選択
された品種信号ｃを受けて、あらかじめ品種毎に設定し
てある良否判定を行う基準となるデータのうち、その品
種に応じたデータを良否判定データｅとして出力する。
【００２９】最後に、良否判定手段９では、良否判定デ
ータｅと正規化データ列ｆを受けて、良否判定データｅ
に基づいて正規化データ列ｆを処理し、検査対象物１の
化学処理表面状態の良否を判定する。この判定動作につ
いては第１の実施形態例と同様である。
ータｅと正規化データ列ｆを受けて、良否判定データｅ
に基づいて正規化データ列ｆを処理し、検査対象物１の
化学処理表面状態の良否を判定する。この判定動作につ
いては第１の実施形態例と同様である。
【００３０】この第２の実施形態例は、第１の実施形態
例に比べて構成は複雑になるが、検査対象物１の品種が
変わっても同一の装置にて対応できるという利点があ
る。第１の実施形態例では、測定する３つの角度成分は
固定されているため、検査対象物１の品種が変わり、散
乱光量分布形状が変わってしまう場合には、そのままで
は対応できない。第２の実施形態例であれば、品種が変
わった場合には、その品種の散乱光量分布形状に応じた
測定角度と判定値をあらかじめ設定しておくことで、品
種変更への対応が可能である。
例に比べて構成は複雑になるが、検査対象物１の品種が
変わっても同一の装置にて対応できるという利点があ
る。第１の実施形態例では、測定する３つの角度成分は
固定されているため、検査対象物１の品種が変わり、散
乱光量分布形状が変わってしまう場合には、そのままで
は対応できない。第２の実施形態例であれば、品種が変
わった場合には、その品種の散乱光量分布形状に応じた
測定角度と判定値をあらかじめ設定しておくことで、品
種変更への対応が可能である。
【００３１】さらには、第４の受光素子７４の移動軸を
増やし、検査対象物１に垂直な所定面内の所定半径の半
円上のみではなく、その半径方向および水平面内の回転
方向にも可動に構成することも可能である。半径方向に
移動可能とすることで、品種毎に分布が明確に現れる半
径方向位置が異なる場合でも対応ができる。水平面内に
回転可能とすることで、水平面内で散乱光量分布が異な
る品種にも対応ができる。また、水平面内の回転に関し
ては、第４の受光素子７４を回転させる代わりに、検査
対象物１を水平面内で回転させてもよい。なお、単一品
種のみを検査する場合には、受光素子移動手段１０が無
く、装置構成が簡単で安価にできる第１の実施形態例の
方が有利である。
増やし、検査対象物１に垂直な所定面内の所定半径の半
円上のみではなく、その半径方向および水平面内の回転
方向にも可動に構成することも可能である。半径方向に
移動可能とすることで、品種毎に分布が明確に現れる半
径方向位置が異なる場合でも対応ができる。水平面内に
回転可能とすることで、水平面内で散乱光量分布が異な
る品種にも対応ができる。また、水平面内の回転に関し
ては、第４の受光素子７４を回転させる代わりに、検査
対象物１を水平面内で回転させてもよい。なお、単一品
種のみを検査する場合には、受光素子移動手段１０が無
く、装置構成が簡単で安価にできる第１の実施形態例の
方が有利である。
【００３２】［第３実施形態例］図４は、本発明の化学
処理表面状態検査装置を用いた化学処理液劣化状態検査
方法の一実施形態例を示すステップ図である。図４に示
す化学処理液劣化状態検査方法は、異なる処理時間で複
数の部材の化学処理を行う第１のステップと、第１のス
テップで化学処理を行った各部材の表面処理状態の良否
を本発明の化学処理表面状態検査装置で判定する第２の
ステップと、第２のステップで行った各処理時間での良
否判定結果に基づいて化学処理液の劣化状態を判定する
第３のステップとを含むことを特徴とする。
処理表面状態検査装置を用いた化学処理液劣化状態検査
方法の一実施形態例を示すステップ図である。図４に示
す化学処理液劣化状態検査方法は、異なる処理時間で複
数の部材の化学処理を行う第１のステップと、第１のス
テップで化学処理を行った各部材の表面処理状態の良否
を本発明の化学処理表面状態検査装置で判定する第２の
ステップと、第２のステップで行った各処理時間での良
否判定結果に基づいて化学処理液の劣化状態を判定する
第３のステップとを含むことを特徴とする。
【００３３】
【表１】
【００３４】表１は、同一の化学処理液を用い、化学処
理液の交換直後から２週間毎に３分，６分，９分，１２
分，１５分の各処理時間で処理を行った部材の、良否判
定結果の一例を示す表である。このとき、通常の処理工
程では処理時間１５分で処理を行っているが、これは、
余裕をみて長めの時間で処理を行っており、化学処理液
の交換直後においては、３分でも十分処理が可能であ
る。しかし、交換後次々に部材を処理していくに伴い、
化学処理液が劣化していき、良品となる処理時間が長く
なっていく。
理液の交換直後から２週間毎に３分，６分，９分，１２
分，１５分の各処理時間で処理を行った部材の、良否判
定結果の一例を示す表である。このとき、通常の処理工
程では処理時間１５分で処理を行っているが、これは、
余裕をみて長めの時間で処理を行っており、化学処理液
の交換直後においては、３分でも十分処理が可能であ
る。しかし、交換後次々に部材を処理していくに伴い、
化学処理液が劣化していき、良品となる処理時間が長く
なっていく。
【００３５】したがって、一定期間毎に異なる処理時間
で複数の部材を処理してその良否判定を行い、良品とな
る限界の処理時間の変化を捉えることで、化学処理液の
劣化状態を判定する。例えば、通常の処理時間が１５分
であれば、良品となる処理時間が１５分のみになった段
階を、化学処理液の交換時期と判定する。
で複数の部材を処理してその良否判定を行い、良品とな
る限界の処理時間の変化を捉えることで、化学処理液の
劣化状態を判定する。例えば、通常の処理時間が１５分
であれば、良品となる処理時間が１５分のみになった段
階を、化学処理液の交換時期と判定する。
【００３６】
【発明の効果】本発明の化学処理表面状態検査装置は、
正反射光の光量変化に基づいて検査を行う代わりに、検
査対象にレーザ光を照射して得られる散乱光量の空間的
な強度分布に基づいて化学処理表面状態の良否判定を行
うため、良品と不良品とで析出物の形状が相似ではな
く、析出物の分布状態もランダムで、かつ、成長途中で
変化するような検査対象でも、精度良く良否判定ができ
るという効果がある。
正反射光の光量変化に基づいて検査を行う代わりに、検
査対象にレーザ光を照射して得られる散乱光量の空間的
な強度分布に基づいて化学処理表面状態の良否判定を行
うため、良品と不良品とで析出物の形状が相似ではな
く、析出物の分布状態もランダムで、かつ、成長途中で
変化するような検査対象でも、精度良く良否判定ができ
るという効果がある。
【図１】本発明に係る化学処理表面状態検査装置の第１
実施形態例を示す構成図である。
実施形態例を示す構成図である。
【図２】散乱光の正規化された光量分布測定例を示すグ
ラフである。
ラフである。
【図３】本発明に係る化学処理表面状態検査装置の第２
実施形態例を示す構成図である。
実施形態例を示す構成図である。
【図４】本発明の化学処理表面状態検査装置を用いた化
学処理液劣化状態検査方法の一実施形態例を示すステッ
プ図である。
学処理液劣化状態検査方法の一実施形態例を示すステッ
プ図である。
【図５】従来の表面状態検査装置の一例を示す構成図で
ある。
ある。
１ 検査対象物 ２ 析出物 ３ レーザ光源 ４ レーザ光束 ５ ミラー ６ 散乱光 ７１ 第１の受光素子 ７２ 第２の受光素子 ７３ 第３の受光素子 ７４ 第４の受光素子 ８ 正規化手段 ９ 良否判定手段 １０ 受光素子移動手段 １１ モータ １２ アーム １３ 品種選択手段 １４ 測定位置制御手段 １５ 判定値設定手段 １６ 正規化データ列生成手段 ａ 受光量信号 ｂ 正規化データ ｃ 品種信号 ｄ 制御信号 ｅ 良否判定データ ｆ 正規化データ列 ｇ 正反射光量信号
Claims (11)
- 【請求項１】 化学処理された検査対象表面にレーザ光
を照射して得られる散乱光の空間的な光量分布が、良品
と不良品とで異なることに基づいて良否検査を行うこと
を特徴とする化学処理表面状態検査装置。 - 【請求項２】 得られた散乱光量を正規化し、その正規
化された散乱光量分布形状が良品と不良品とで異なるこ
とに基づいて良否検査を行う請求項１に記載の化学処理
表面状態検査装置。 - 【請求項３】 得られた散乱光量の絶対値を所定のしき
い値と比較することで良否検査を行う請求項１に記載の
化学処理表面状態検査装置。 - 【請求項４】 散乱光量分布を測定するための受光素子
は複数であり、あらかじめ決められた所定箇所に配置さ
れている請求項１、２又は３に記載の化学処理表面状態
検査装置。 - 【請求項５】 散乱光量を測定するための受光素子は１
つであり、それを、品種毎にあらかじめ設定された測定
位置に順次移動して、それぞれの測定位置で散乱光量を
測定することで散乱光量分布を得る請求項１、２又は３
に記載の化学処理表面状態検査装置。 - 【請求項６】 検査光としてのレーザ光束を出射するレ
ーザ光源と、化学処理された表面に微細な凹凸形状を有
する検査対象表面に前記レーザ光束を照射して得られる
散乱光のうち、複数の角度成分の散乱光をそれぞれ受光
して受光量信号を出力する複数の受光素子と、各受光素
子の各受光量信号を受けて、所定受光量信号の値で各受
光量信号を正規化し、各正規化データを出力する正規化
手段と、各正規化データを受けて、正規化データの特徴
に基づいて検査対象物の化学処理表面状態の良否を判定
する良否判定手段とを具備することを特徴とする化学処
理表面状態検査装置。 - 【請求項７】 検査光としてのレーザ光束を出射するレ
ーザ光源と、レーザ光源から出射されたレーザ光束を反
射し、化学処理された表面に微細な凹凸形状を有する検
査対象物の表面に垂直に照射するミラーと、レーザ光束
の照射点を通り検査対象物に垂直な所定面内のレーザ光
照射点を中心とした所定半径の半円上及び水平面内にあ
って、それぞれ所定の角度で配置され、検査対象物から
の散乱光のうち、垂直及び水平から複数の角度成分の散
乱光をそれぞれ受光して受光量信号を出力する複数の受
光素子と、各受光素子の各受光量信号を受けて、所定受
光量信号の値で各受光量信号を正規化し、各正規化デー
タを出力する正規化手段と、各正規化データを受けて、
正規化データの特徴に基づいて検査対象物の化学処理表
面状態の良否を判定する良否判定手段とを具備すること
を特徴とする化学処理表面状態検査装置。 - 【請求項８】 検査光としてのレーザ光束を出射するレ
ーザ光源と、化学処理された表面に微細な凹凸形状を有
するを検査対象表面に前記レーザ光束を照射して得られ
る散乱光のうち、複数の角度成分の散乱光をそれぞれ受
光して受光量信号を出力する複数の受光素子と、各受光
素子の各受光量信号を受けて、散乱光量の絶対値を所定
のしきい値と比較する比較手段と、比較手段による比較
結果に基づいて検査対象物の化学処理表面状態の良否を
判定する良否判定手段とを具備することを特徴とする化
学処理表面状態検査装置。 - 【請求項９】 検査光としてのレーザ光束を出射するレ
ーザ光源と、化学処理された表面に微細な凹凸形状を有
する検査対象表面に前記レーザ光束を照射して得られる
散乱光のうち、所定の角度成分の散乱光を受光して受光
量信号を出力する受光素子と、該受光素子をそれぞれ異
なる複数の測定位置に移動させる受光素子移動手段と、
あらかじめ登録しておいた検査対象物の品種を選択し品
種信号を出力する品種選択手段と、品種選択手段からの
品種信号を受けて、品種に応じてあらかじめ設定されて
いる複数の測定位置に受光素子を順次移動させるように
受光素子移動手段に制御信号を出力する測定位置制御手
段と、品種選択手段からの品種信号を受けて、品種に応
じてあらかじめ設定された良否判定の基準となる良否判
定データを出力する判定値設定手段と、受光素子移動手
段によりそれぞれ異なる複数の測定位置に配置されたと
きの受光素子の各受光量信号を受けて、所定の測定位置
のときの受光量信号の値で各測定位置での受光量信号の
値を正規化し正規化データ列を出力する正規化データ列
生成手段と、良否判定データと正規化データ列を受け
て、良否判定データに基づいて正規化データ列を処理
し、検査対象物の化学処理表面状態の良否を判定する良
否判定手段とを具備することを特徴とする化学処理表面
状態検査装置。 - 【請求項１０】 検査光としてのレーザ光束を出射する
レーザ光源と、レーザ光源から出射されたレーザ光束を
反射し、化学処理されて表面に析出物を有する検査対象
物の表面に垂直に照射するミラーと、検査対象物上のレ
ーザ光束照射点に受光面を向けて、所定距離に所定角度
をもって配置され、検査対象物からの散乱光のうち、所
定の角度成分の散乱光を受光して受光量信号を出力する
受光素子と、該受光素子を、その受光面を検査対象物上
のレーザ光束照射点に向けたまま、レーザ光束照射点を
通り検査対象物に垂直な所定面内の所定半径の半円上及
び半径方向又は水平面内の回転方向に沿って、それぞれ
異なる複数の測定位置に移動させる受光素子移動手段
と、あらかじめ登録しておいた検査対象物の品種を選択
し品種信号を出力する品種選択手段と、品種選択手段か
らの品種信号を受けて、品種に応じてあらかじめ設定さ
れている複数の測定位置に受光素子を順次移動させるよ
うに受光素子移動手段に制御信号を出力する測定位置制
御手段と、品種選択手段からの品種信号を受けて、品種
に応じてあらかじめ設定された良否判定の基準となる良
否判定データを出力する判定値設定手段と、受光素子移
動手段によりそれぞれ異なる複数の測定位置に配置され
たときの受光素子の各受光量信号を受けて、所定の測定
位置のときの受光量信号の値で各測定位置での受光量信
号の値を正規化し正規化データ列を出力する正規化デー
タ列生成手段と、良否判定データと正規化データ列を受
けて、良否判定データに基づいて正規化データ列を処理
し、検査対象物の化学処理表面状態の良否を判定する良
否判定手段とを具備することを特徴とする化学処理表面
状態検査装置。 - 【請求項１１】 一定期間毎に異なる処理時間で複数の
部材を処理してその良否判定を行い、良品となる限界の
処理時間の変化を捉えることで化学処理液の劣化状態を
判定することを特徴とする化学処理液劣化状態検査方
法。で構成される。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10081962A JP3129278B2 (ja) | 1998-03-27 | 1998-03-27 | 化学処理表面状態検査装置および化学処理液劣化状態検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10081962A JP3129278B2 (ja) | 1998-03-27 | 1998-03-27 | 化学処理表面状態検査装置および化学処理液劣化状態検査方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11281338A true JPH11281338A (ja) | 1999-10-15 |
| JP3129278B2 JP3129278B2 (ja) | 2001-01-29 |
Family
ID=13761139
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10081962A Expired - Fee Related JP3129278B2 (ja) | 1998-03-27 | 1998-03-27 | 化学処理表面状態検査装置および化学処理液劣化状態検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3129278B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003531735A (ja) * | 2000-04-24 | 2003-10-28 | ケーエルエー−テンカー テクノロジィース コーポレイション | 化学機械研磨中にキラー粒子を検出するための装置および方法 |
| JP2011163916A (ja) * | 2010-02-09 | 2011-08-25 | Aisin Seiki Co Ltd | 欠陥判定装置および欠陥判定方法 |
| JP2012047673A (ja) * | 2010-08-30 | 2012-03-08 | Kobe Steel Ltd | 検査装置及び検査方法 |
| CN110515090A (zh) * | 2018-05-22 | 2019-11-29 | 诚盟电科技股份有限公司 | 光感测模组及感测方法 |
-
1998
- 1998-03-27 JP JP10081962A patent/JP3129278B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003531735A (ja) * | 2000-04-24 | 2003-10-28 | ケーエルエー−テンカー テクノロジィース コーポレイション | 化学機械研磨中にキラー粒子を検出するための装置および方法 |
| JP2011163916A (ja) * | 2010-02-09 | 2011-08-25 | Aisin Seiki Co Ltd | 欠陥判定装置および欠陥判定方法 |
| JP2012047673A (ja) * | 2010-08-30 | 2012-03-08 | Kobe Steel Ltd | 検査装置及び検査方法 |
| CN110515090A (zh) * | 2018-05-22 | 2019-11-29 | 诚盟电科技股份有限公司 | 光感测模组及感测方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3129278B2 (ja) | 2001-01-29 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
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