JPH11273572A - Manufacture of plasma display panel - Google Patents

Manufacture of plasma display panel

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JPH11273572A
JPH11273572A JP7707298A JP7707298A JPH11273572A JP H11273572 A JPH11273572 A JP H11273572A JP 7707298 A JP7707298 A JP 7707298A JP 7707298 A JP7707298 A JP 7707298A JP H11273572 A JPH11273572 A JP H11273572A
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JP
Japan
Prior art keywords
cell
light emitting
electrode
abnormal light
transparent electrodes
Prior art date
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Pending
Application number
JP7707298A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yasuhisa Ishikura
靖久 石倉
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPH11273572A publication Critical patent/JPH11273572A/en
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    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02WCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO WASTEWATER TREATMENT OR WASTE MANAGEMENT
    • Y02W30/00Technologies for solid waste management
    • Y02W30/50Reuse, recycling or recovery technologies
    • Y02W30/82Recycling of waste of electrical or electronic equipment [WEEE]

Landscapes

  • Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
  • Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To put out an abnormal light emitting cell by forming plural cells between a first substrate forming a display electrode composed of transparent electrodes and a metallic electrode and a second substrate oppositely arranged to this. SOLUTION: Electric charge is accumulated on the surface of a protective layer 8 through transparent electrodes 5 by impressing voltage between two bus electrodes 6 in a single cell. There, discharge is performed between the two transparent electrodes 5 in the cell by impressing pulse voltage not less than critical voltage by a data electrode 9 so as to excite a phosphor 12 by emitting the ultraviolet light by exciting rare gas in a discharge space 13 by energy to display a color image. When a YAG laser beam 21 is applied to a required laser irradiation area of an abnormal light emitting cell found by a lighting inspection of this plasma display panel, the transparent electrodes 5 of the area deteriorate by heat absorbing energy, and are turned into high resistance, and are put in the same state of substantially expanding an interelectrode distance of the abnormal light emitting cell. Therefore, discharge starting voltage increases, so that this abnormal light emitting cell is put out.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、プラズマディスプ
レイパネルの製造方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a plasma display panel.

【0002】[0002]

【従来の技術】プラズマディスプレイパネル(以下、
「PDP」と称す)は、電極等が形成された2枚の基板
の間に形成されたセルにキセノンを含む希ガスを封入し
た後、封止することにより形成される。この封止した後
に、一般に「輝点」と呼ばれるセルの異常発光が発見さ
れることがあり、これはあるセルが他のセルよりも非常
に強い輝度で光るものである。この輝点は、PDPが低
輝度の表示の時、あるいはPDPが単色表示されている
場合に輝点がその単色以外の色の時においては非常に目
立つものである。
2. Description of the Related Art Plasma display panels (hereinafter, referred to as plasma display panels)
The “PDP” is formed by sealing a rare gas containing xenon in a cell formed between two substrates on which electrodes and the like are formed, and then sealing the cell. After this sealing, extraordinary emission of cells, commonly referred to as "bright spots", may be found, in which some cells shine at a much higher intensity than others. These bright spots are very conspicuous when the PDP is displayed with low brightness or when the PDP is displayed in a single color and the bright spot is a color other than the single color.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、PDP
ではこれまでこの異常発光するセルをなくす方法が発明
されていなかった。
SUMMARY OF THE INVENTION However, PDP
So far, no method has been invented to eliminate such cells that emit abnormal light.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】この課題を解決するた
め、本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法
は、透明電極および金属電極からなる表示電極が形成さ
れた第1基板と、前記第1基板と対向配置された第2基
板との間に複数のセルが形成されたプラズマディスプレ
イパネルの製造方法であって、前記セルのうち異常発光
セルを不点灯化するものである。
In order to solve this problem, a method for manufacturing a plasma display panel according to the present invention comprises a first substrate on which a display electrode comprising a transparent electrode and a metal electrode is formed; A method for manufacturing a plasma display panel in which a plurality of cells are formed between a second substrate and an opposing second substrate, wherein the abnormal light emitting cells among the cells are turned off.

【0005】さらに、このプラズマディスプレイパネル
の製造方法において、第1基板上に透明電極と金属電極
とからなる表示電極が形成されており、異常発光セルに
対応する前記透明電極に、前記第1基板を通して前記透
明電極に吸収される波長のレーザー光を照射するもので
ある。
Further, in this plasma display panel manufacturing method, a display electrode comprising a transparent electrode and a metal electrode is formed on the first substrate, and the first substrate is provided on the transparent electrode corresponding to the abnormal light emitting cell. And a laser beam having a wavelength that can be absorbed by the transparent electrode.

【0006】この方法により、異常発光するセルをなく
すことができ、製造歩留まりを向上することができる。
According to this method, cells emitting abnormal light can be eliminated, and the production yield can be improved.

【0007】[0007]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を用いて説明する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0008】図1は本発明の一実施の形態のPDPの製
造方法を示す図である。図1に示すように、PDP1は
前面基板2と背面基板3とをはりあわせたものであり、
レーザー集光照射ユニット20から発生させたレーザー
ビーム21を前面基板2の表面側(パネル点灯表示面
側)から、PDPの点灯検査で発見された異常発光セル
の必要な領域(レーザー照射領域4)に集光して照射し
ている。
FIG. 1 is a diagram showing a method of manufacturing a PDP according to an embodiment of the present invention. As shown in FIG. 1, a PDP 1 is obtained by bonding a front substrate 2 and a rear substrate 3 together.
The laser beam 21 generated from the laser condensing / irradiating unit 20 is applied from the front side of the front substrate 2 (panel lighting display surface side) to a necessary area of the abnormal light emitting cell found in the PDP lighting inspection (laser irradiation area 4). The light is focused and irradiated.

【0009】図2は図1に示したレーザー照射領域4お
よびその周辺領域を前面基板2の表面側から見た図であ
る。図3は図2のA−A’断面図であり、レーザービー
ム21を照射した状態を示している。
FIG. 2 is a view of the laser irradiation area 4 and its peripheral area shown in FIG. FIG. 3 is a sectional view taken along line AA ′ of FIG. 2 and shows a state where the laser beam 21 is irradiated.

【0010】図2または図3に示すように、前面基板2
上には透明電極5およびバス電極6が形成され、これら
透明電極5およびバス電極6を覆うようにガラスからな
る誘電体層7およびMgOからなる保護層8が積層され
ている。電流を流しやすくするためのバス電極6はCr
−Cu−Cr等の低抵抗の金属膜層からなり、放電面積
を確保するための透明電極5は酸化錫等の比較的抵抗の
高い透明電極からなる。
As shown in FIG. 2 or FIG.
A transparent electrode 5 and a bus electrode 6 are formed thereon, and a dielectric layer 7 made of glass and a protective layer 8 made of MgO are laminated so as to cover the transparent electrode 5 and the bus electrode 6. The bus electrode 6 for facilitating current flow is made of Cr.
-A transparent electrode 5 made of a low-resistance metal film layer such as Cu-Cr and securing a discharge area is made of a transparent electrode having relatively high resistance such as tin oxide.

【0011】背面基板3上には、銀からなる帯状のデー
タ電極9が形成され、データ電極9を覆うようにガラス
からなる誘電体層10が形成されている。誘電体層10
上には隣接するデータ電極9の間に帯状の隔壁11が設
けられ、誘電体層10上から隔壁11の側面にかけて蛍
光体12が設けられている。前面基板2と背面基板3と
の間の放電空間13にはキセノンを含む希ガスが封入さ
れている。破線で囲まれた領域は1つのセル14を表
す。
On the back substrate 3, a band-shaped data electrode 9 made of silver is formed, and a dielectric layer 10 made of glass is formed so as to cover the data electrode 9. Dielectric layer 10
A strip-shaped partition 11 is provided between the adjacent data electrodes 9, and a phosphor 12 is provided from above the dielectric layer 10 to the side surface of the partition 11. The discharge space 13 between the front substrate 2 and the back substrate 3 is filled with a rare gas containing xenon. A region surrounded by a broken line represents one cell 14.

【0012】1つのセル14内の2本のバス電極6の間
に電圧が印加されると透明電極5を介して保護層8の表
面に電荷が蓄積される。そこにデータ電極9により臨界
電圧を超えるパルス電圧を印加すると、セル14内の2
つの透明電極5の間で放電が生じる。この放電により放
電空間13内に充填されている希ガスがエネルギー励起
されて紫外光を放出する。この紫外光により蛍光体12
が励起されて赤、緑、青各色に蛍光発光することによ
り、PDPにカラー画像が表示される。
When a voltage is applied between two bus electrodes 6 in one cell 14, charges are accumulated on the surface of the protective layer 8 via the transparent electrode 5. When a pulse voltage exceeding the critical voltage is applied thereto by the data electrode 9, 2
Discharge occurs between the two transparent electrodes 5. This discharge excites the rare gas filling the discharge space 13 to emit ultraviolet light. This ultraviolet light causes the phosphor 12
Is excited to emit fluorescent light in each of red, green, and blue, whereby a color image is displayed on the PDP.

【0013】次に、異常発光しているセル14をなくす
方法について説明する。本実施の形態では、CW−YA
Gレーザーを約20μmの直径をもつ円形状に集光し
て、異常発光するセル14の中のレーザー照射領域4
(250μm×400μm)全体がレーザー照射される
ように折り返しスキャン照射した。この結果、異常発光
していたセル14はまったく発光しなくなり、このセル
14を不点灯化することができた。
Next, a method for eliminating the abnormally emitting cells 14 will be described. In the present embodiment, CW-YA
G laser is condensed into a circular shape having a diameter of about 20 μm, and the laser irradiation area 4 in the cell 14 that emits abnormal light
(250 μm × 400 μm), the entire surface was irradiated with a scan so as to be irradiated with a laser. As a result, the cell 14 that had abnormally emitted light stopped emitting light at all, and the cell 14 could be turned off.

【0014】光学顕微鏡で観察した結果、レーザー照射
されたレーザー照射領域4に存在する酸化錫からなる透
明電極の色が変化し、この変色した部分を解析すると酸
化錫が変質し、測定不可能なほど高抵抗になっていた。
As a result of observation with an optical microscope, the color of the transparent electrode made of tin oxide existing in the laser-irradiated area 4 changed by the laser is changed. When the discolored portion is analyzed, the tin oxide is deteriorated and cannot be measured. The higher the resistance.

【0015】この構造のPDPでは、セルの放電開始電
圧はそのセルに含まれる透明電極間の電極間距離により
規定される。すなわち透明電極間距離が大きいと放電開
始電圧が高く、逆に透明電極間距離が小さいと放電開始
電圧が低くなる。ここでもし一部のセルにおいて透明電
極間距離を極端に大きくするとそのセルにおいて放電開
始電圧が高くなり、バス電極に印加されている電圧では
放電が生じなくなる。
In the PDP having this structure, the discharge starting voltage of the cell is defined by the distance between the transparent electrodes included in the cell. That is, when the distance between the transparent electrodes is large, the firing voltage is high, and when the distance between the transparent electrodes is small, the firing voltage is low. Here, if the distance between the transparent electrodes is extremely increased in some cells, the discharge starting voltage increases in the cells, and the discharge is not generated by the voltage applied to the bus electrodes.

【0016】このことから考えて、図2および図3に示
した構造のPDPでは、異常発光するセル14の中のレ
ーザー照射領域4にYAGレーザーを照射すると、レー
ザー照射領域4にある透明電極はレーザーエネルギーを
吸収して熱により変質して高抵抗化するため、異常発光
するセル14の電極間距離が実質的に拡がった状態にな
る。このため、放電開始電圧が高くなるので、このセル
14が不点灯化するものと考えられる。
Considering this, in the PDP having the structure shown in FIGS. 2 and 3, when the laser irradiation area 4 in the cell 14 that emits abnormal light is irradiated with the YAG laser, the transparent electrode in the laser irradiation area 4 becomes Since the laser energy is absorbed and the resistance is changed by heat to increase the resistance, the distance between the electrodes of the cell 14 that emits abnormal light is substantially increased. For this reason, it is considered that the cell 14 becomes unlit because the discharge starting voltage is increased.

【0017】次に、照射されたレーザーの挙動について
説明する。図3に示すように前面基板2の表面側から照
射されたレーザービーム21は、前面基板2ではほとん
どエネルギー吸収されずに透明電極5に到達し、透明電
極5がレーザーエネルギーを吸収することにより加熱さ
れるため、透明電極5は変質しているものと推測でき
る。透明電極5でエネルギー吸収されたレーザービーム
21はパワーが低下する上に、その先の誘電体層7に吸
収されることはほとんどないため、熱破壊によって誘電
体層7に穴があいたり内部に泡が生じたりすることはほ
とんどない。したがって、PDPの駆動時に誘電体層7
において絶縁破壊が生じることはない。
Next, the behavior of the irradiated laser will be described. As shown in FIG. 3, the laser beam 21 irradiated from the front side of the front substrate 2 reaches the transparent electrode 5 with little energy absorption in the front substrate 2 and is heated by the transparent electrode 5 absorbing the laser energy. Therefore, it can be assumed that the transparent electrode 5 is deteriorated. The power of the laser beam 21 absorbed by the transparent electrode 5 is reduced, and the laser beam 21 is hardly absorbed by the dielectric layer 7 thereabove. Almost no bubbles are formed. Therefore, when the PDP is driven, the dielectric layer 7
Does not cause dielectric breakdown.

【0018】CW−YAGレーザーをスキャン照射する
代わりにシングルパルス発振YAGレーザーのスポット
をレーザー照射領域4に当たるようにパルス照射した場
合にも同様の効果が得られた。
The same effect can be obtained when pulse irradiation is performed so that the spot of the single pulse oscillation YAG laser irradiates the laser irradiation area 4 instead of scanning irradiation of the CW-YAG laser.

【0019】図4は透明電極材料である酸化錫薄膜とI
TO(Indium Tin Oxide)薄膜の分光透過率と分光反射
率との和を各波長においてとったデータであり、この値
が低くなっている領域の光は吸収されていることを表し
ている。曲線aが酸化錫薄膜の場合、曲線bがITO薄
膜の場合であり、膜の厚みは各々0.1μmである。こ
の結果から、いずれの膜でも波長1μmから3μmの間
で吸収が認められる。YAGレーザーの波長は図4に破
線で示したように1.064μmであり、この吸収が認
められる範囲に入っている。このためYAGレーザーを
用いることで、透明電極にレーザーエネルギーを吸収さ
せて透明電極を変質させることができるものである。
FIG. 4 shows a thin film of tin oxide as a transparent electrode material and I
This is data obtained by summing the spectral transmittance and spectral reflectance of a TO (Indium Tin Oxide) thin film at each wavelength, and indicates that light in a region where this value is low is absorbed. Curve a is the case of the tin oxide thin film, curve b is the case of the ITO thin film, and the thickness of each film is 0.1 μm. From these results, absorption was observed at a wavelength of 1 μm to 3 μm in any of the films. The wavelength of the YAG laser is 1.064 μm as shown by the broken line in FIG. 4, which is within a range where this absorption is recognized. Therefore, by using a YAG laser, the transparent electrode can absorb the laser energy to change the quality of the transparent electrode.

【0020】透明電極の変質の主原因は、透明電極によ
るレーザーエネルギーの吸収である。上記実施の形態で
はYAGレーザーを用いた場合について説明したが、レ
ーザーの種類は透明電極に吸収される波長のものであれ
ば、これ以外のレーザーを用いることができる。
The main cause of the deterioration of the transparent electrode is absorption of laser energy by the transparent electrode. In the above embodiment, the case where the YAG laser is used has been described. However, any other laser can be used as long as it has a wavelength that can be absorbed by the transparent electrode.

【0021】[0021]

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
のプラズマディスプレイパネルの製造方法によれば、異
常発光するセルを不点灯化して目立たなくすることが可
能になる。また、透明電極に吸収される波長のレーザー
を用いるため、誘電体層ではレーザーエネルギーの吸収
はほとんどないため、誘電体層の熱破壊による絶縁破壊
も生じず、プラズマディスプレイパネルの製造歩留まり
を向上することができるものである。
As is apparent from the above description, according to the method for manufacturing a plasma display panel of the present invention, it is possible to turn off a cell that emits abnormal light to make it inconspicuous. In addition, since a laser having a wavelength that is absorbed by the transparent electrode is used, the dielectric layer hardly absorbs laser energy, so that dielectric breakdown due to thermal breakdown of the dielectric layer does not occur, and the manufacturing yield of the plasma display panel is improved. Is what you can do.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施の形態のPDPの製造方法を示
す図
FIG. 1 is a diagram showing a method of manufacturing a PDP according to an embodiment of the present invention.

【図2】レーザー照射領域およびその周辺領域を表す図FIG. 2 is a diagram showing a laser irradiation area and its surrounding area.

【図3】図2のA−A’断面図FIG. 3 is a sectional view taken along line A-A ′ of FIG. 2;

【図4】透明電極薄膜の分光光学特性を示す図FIG. 4 is a view showing spectral optical characteristics of a transparent electrode thin film.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 プラズマディスプレイパネル 2 前面基板 3 背面基板 4 レーザー照射領域 5 透明電極 6 バス電極 7、10 誘電体層 8 保護層 9 データ電極 14 セル 20 レーザー集光照射ユニット 21 レーザービーム DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Plasma display panel 2 Front substrate 3 Back substrate 4 Laser irradiation area 5 Transparent electrode 6 Bus electrode 7, 10 Dielectric layer 8 Protective layer 9 Data electrode 14 Cell 20 Laser condensing irradiation unit 21 Laser beam

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 透明電極および金属電極からなる表示電
極が形成された第1基板と、前記第1基板と対向配置さ
れた第2基板との間に複数のセルが形成されたプラズマ
ディスプレイパネルの製造方法であって、前記セルのう
ち異常発光セルを不点灯化することを特徴とするプラズ
マディスプレイパネルの製造方法。
1. A plasma display panel having a plurality of cells formed between a first substrate on which a display electrode composed of a transparent electrode and a metal electrode is formed, and a second substrate opposed to the first substrate. A method for manufacturing a plasma display panel, wherein an abnormal light emitting cell among the cells is turned off.
【請求項2】 第1基板上に透明電極と金属電極とから
なる表示電極が形成されており、異常発光セルに対応す
る前記透明電極に、前記第1基板を通して前記透明電極
に吸収される波長のレーザー光を照射することを特徴と
する請求項1記載のプラズマディスプレイパネルの製造
方法。
2. A display electrode comprising a transparent electrode and a metal electrode is formed on a first substrate, and a wavelength that is absorbed by the transparent electrode through the first substrate to the transparent electrode corresponding to an abnormal light emitting cell. 2. The method for manufacturing a plasma display panel according to claim 1, wherein the laser light is irradiated.
【請求項3】 YAGレーザーを用いてレーザー光を照
射することを特徴とする請求項2記載のプラズマディス
プレイパネルの製造方法。
3. The method for manufacturing a plasma display panel according to claim 2, wherein laser light is irradiated using a YAG laser.
JP7707298A 1998-03-25 1998-03-25 Manufacture of plasma display panel Pending JPH11273572A (en)

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