JPH11273393A - Semiconductor memory - Google Patents

Semiconductor memory

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JPH11273393A
JPH11273393A JP10078038A JP7803898A JPH11273393A JP H11273393 A JPH11273393 A JP H11273393A JP 10078038 A JP10078038 A JP 10078038A JP 7803898 A JP7803898 A JP 7803898A JP H11273393 A JPH11273393 A JP H11273393A
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JP
Japan
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address
memory cell
circuit
redundant
word line
Prior art date
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Pending
Application number
JP10078038A
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Japanese (ja)
Inventor
Katsuhisa Hirano
勝久 平野
Yoshiaki Urakawa
義昭 浦川
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Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To realize high speed memory access while reducing design cost by comparing an input address with the address of a failure memory cell stored in a address register circuit if arrival of input address is detected at the time of memory access and designating access to any one of a memory cell array or a redundant memory cell depending on the comparison results. SOLUTION: Each row redundant circuit 32- 0, 32- 1, 32- 2, 32- 3 is provided with a circuit for detecting arrival of address. When arrival of a specified address is detected by the address arrival detecting circuit, the row redundant circuit 32- 0, 32- 1, 32- 2, 32- 3 outputs a redundant control signal for designating whether a redundant memory cell is selected or not to a word line driver. The word line driver selects a normal or a redundant word line depending on the redundant control signal.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、正規メモリセルア
レイの他に当該正規メモリセルアレイにおける不良メモ
リセルが置き換えられる冗長メモリセルが設けられてい
る、いわゆる冗長機能を有する半導体記憶装置に関する
ものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor memory device having a so-called redundant function, in which, in addition to a normal memory cell array, a redundant memory cell for replacing a defective memory cell in the normal memory cell array is provided.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、半導体微細加工技術の進歩に伴い
半導体の高集積化が進み、大容量な半導体記憶装置が実
用化されている。一方、メモリチップの記憶容量の増大
に伴い、欠陥メモリセルの発生する確率が増大する傾向
にあり、メモリチップの製造歩留りを低下させる原因と
なる。このため、製造歩留り低下の原因である欠陥メモ
リセルを救済すべく、欠陥メモリセルを回路的に置換で
きるメモリセルをあらかじめメモリチップ内に設け、必
要に応じて欠陥メモリセルと置き換える、いわゆる冗長
機能を半導体記憶装置に付与することが一般的に行われ
ている。
2. Description of the Related Art In recent years, with the advance of semiconductor fine processing technology, high integration of semiconductors has progressed, and large capacity semiconductor memory devices have been put to practical use. On the other hand, as the storage capacity of the memory chip increases, the probability of occurrence of defective memory cells tends to increase, which causes a decrease in the manufacturing yield of the memory chip. For this reason, in order to remedy defective memory cells that cause a reduction in manufacturing yield, a so-called redundant function is provided in which a memory cell capable of replacing a defective memory cell in a circuit is provided in a memory chip in advance, and the defective memory cell is replaced as necessary. Is generally applied to a semiconductor memory device.

【0003】不良メモリセルの救済は、メモリセル毎
に、またはメモリアレイにおけるワード線またはビット
線に沿った一行あるいは一列のメモリセル配列毎に行わ
れる。さらに、不良メモリセルを含む正規のメモリブロ
ックを、同じ数の冗長メモリセルからなる冗長メモリブ
ロックにより置き換えられるブロック単位の救済方法も
ある。その一例として、正規メモリセルアレイに欠陥メ
モリセルを含むワード線に沿った一行あるいはビット線
に沿った一列のメモリセルの置き換えは、予備ワード線
あるいは予備ビット線を選択する冗長デコーダに欠陥ア
ドレスを登録することによって行われる。アドレスの登
録は、通常レーザによるプログラミングまたは電気的に
ヒューズを溶断するなどの方法がとられている。
The remedy of a defective memory cell is performed for each memory cell or for each memory cell array in one row or one column along a word line or a bit line in a memory array. Further, there is a block-by-block repair method in which a regular memory block including a defective memory cell is replaced by a redundant memory block including the same number of redundant memory cells. As an example, replacement of a memory cell in a row along a word line or a column along a bit line including a defective memory cell in a normal memory cell array registers a defective address in a redundant decoder that selects a spare word line or a spare bit line. It is done by doing. The registration of the address is usually performed by a method such as programming with a laser or electrically blowing a fuse.

【0004】図5および図6は冗長機能が備えられてい
る半導体記憶装置の一例を示している。図5はロウ冗長
回路を有する半導体記憶装置の一構成例を示す回路図で
ある。図示のように、半導体記憶装置は、4つのメモリ
セルアレイ25_0,25_1,25_2,25_3を
有する。各メモリセルアレイは、例えば、行列状に配置
されている複数のメモリセルにより構成され、同一行の
メモリセルが同じワード線に接続され、同一列のメモリ
セルが同じビット線に接続されている。並列に配置され
ている複数のワード線は、それぞれワード線ドライバー
24_0,24_1,24_2,24_3に接続されて
いる。上記ワード線と交差して配置されている複数のビ
ット線は、センスアンプに接続されている。なお、図5
においては、ワード線、ビット線およびセンスアンプは
省略している。さらに、実際の半導体記憶装置におい
て、メモリセルアレイは4つに限定されることなく、必
要に応じて任意個のメモリセルアレイが設けられる。
FIGS. 5 and 6 show an example of a semiconductor memory device provided with a redundancy function. FIG. 5 is a circuit diagram showing a configuration example of a semiconductor memory device having a row redundancy circuit. As shown, the semiconductor memory device has four memory cell arrays 25_0, 25_1, 25_2, and 25_3. Each memory cell array is composed of, for example, a plurality of memory cells arranged in a matrix. Memory cells in the same row are connected to the same word line, and memory cells in the same column are connected to the same bit line. The plurality of word lines arranged in parallel are connected to word line drivers 24_0, 24_1, 24_2, and 24_3, respectively. A plurality of bit lines arranged crossing the word lines are connected to a sense amplifier. FIG.
, Word lines, bit lines and sense amplifiers are omitted. Further, in an actual semiconductor memory device, the number of memory cell arrays is not limited to four, and any number of memory cell arrays may be provided as needed.

【0005】メモリセルアレイ25_0,25_1,2
5_2,25_3には、上述した正規のメモリセルの他
に、それぞれ冗長メモリセルからなる冗長メモリ行が、
例えば、複数行が配置されている。各冗長メモリ行に配
置されている冗長メモリセルがそれぞれ一本の冗長ワー
ド線に接続されている。図5において、ワード線ドライ
バー24_0,24_1,24_2および24_3は、
それぞれ各メモリセルアレイ25_0,25_1,25
_2および25_3に配置されているワード線および冗
長ワード線を駆動するために設けられている。冗長ワー
ド線の駆動は、それぞれロウ冗長回路22_0,22_
1,22_2および22_3により制御される。
[0005] Memory cell arrays 25_0, 25_1, 2
In 5_2 and 25_3, in addition to the normal memory cells described above, redundant memory rows each including redundant memory cells are provided.
For example, a plurality of rows are arranged. The redundant memory cells arranged in each redundant memory row are connected to one redundant word line. In FIG. 5, word line drivers 24_0, 24_1, 24_2 and 24_3 are
Each of the memory cell arrays 25_0, 25_1, 25
_2 and 25_3 are provided to drive the word lines and redundant word lines. The redundant word lines are driven by row redundant circuits 22_0 and 22_, respectively.
1, 22_2 and 22_3.

【0006】ロウデコーダ21は、外部から入力された
ロウアドレスROWADRに応じて、ワード線ドライバ
ー24_0,24_1,24_2および24_3を制御
するためのプリデコード信号PRDを出力する。当該プ
リデコード信号PRDは、例えば、複数のビットからな
り、それぞれ各ワード線ドライバーおよびアドレス到達
検出回路23に出力される。ワード線ドライバー24_
0,24_1,24_2および24_3は、それぞれロ
ウデコーダ21からのプリデコード信号PRDを受け
て、当該プリデコード信号PRDに応じて複数のワード
線から一つを選択して、それを活性化する。例えば、選
択されたワード線に図示しない昇圧回路により発生した
昇圧電圧を印加するので、選択されたワード線に接続さ
れている各メモリセルに対して、書き込み、読み出しま
たは消去などを行うことができる。
The row decoder 21 outputs a predecode signal PRD for controlling the word line drivers 24_0, 24_1, 24_2 and 24_3 according to a row address ROWADR input from the outside. The predecode signal PRD includes, for example, a plurality of bits, and is output to each word line driver and the address arrival detection circuit 23, respectively. Word line driver 24_
Each of 0, 24_1, 24_2 and 24_3 receives the predecode signal PRD from the row decoder 21, selects one of a plurality of word lines according to the predecode signal PRD, and activates it. For example, since a boosted voltage generated by a booster circuit (not shown) is applied to a selected word line, writing, reading or erasing can be performed on each memory cell connected to the selected word line. .

【0007】メモリセルアレイ25_0,25_1,2
5_2および25_3に不良メモリセルが検出された場
合、プログラミングにより不良メモリセルのアドレスが
それぞれロウ冗長回路22_0,22_1,22_2お
よび22_3に登録される。図5に示すように、ロウデ
コーダ21からのプリデコード信号PRDは、それぞれ
各ロウ冗長回路22_0,22_1,22_2および2
2_3に入力される。これらのロウ冗長回路は登録され
た不良メモリセルのアドレスと入力されたプリデコード
信号PRDとを比較し、当該比較結果に応じて冗長メモ
リセルへのアクセスを指示する。
The memory cell arrays 25_0, 25_1, 2
When defective memory cells are detected in 5_2 and 25_3, the addresses of the defective memory cells are registered in the row redundant circuits 22_0, 22_1, 22_2 and 22_3 by programming. As shown in FIG. 5, the predecode signals PRD from the row decoder 21 correspond to the row redundancy circuits 22_0, 22_1, 22_2 and 2 respectively.
2_3. These row redundant circuits compare the registered address of the defective memory cell with the input predecode signal PRD, and instruct access to the redundant memory cell according to the comparison result.

【0008】例えば、ロウ冗長回路22_0において、
当該したメモリセルアレイ25_0の不良メモリセルの
アドレスとプリデコード信号PRDとを比較する結果、
両者が一致である場合に、ワード線ドライバー24_0
に対して、冗長メモリへのアクセスを指示する制御信号
を出力する。ワード線ドライバー24_0は、ロウ冗長
回路22_0からの制御信号に応じて、正規のワード線
を選択せず、その代わりに冗長ワード線を選択する。こ
の制御により、入力アドレスによりメモリセルアレイの
不良メモリセルが選択された場合に、当該不良メモリセ
ルへのアクセスが禁止され、代わりに冗長メモリセルへ
のアクセスが行われるので、不良メモリセルの救済が実
現できる。
For example, in the row redundancy circuit 22_0,
As a result of comparing the address of the defective memory cell of the memory cell array 25_0 with the predecode signal PRD,
If they match, the word line driver 24_0
Outputs a control signal instructing access to the redundant memory. The word line driver 24_0 does not select a normal word line according to a control signal from the row redundant circuit 22_0, but selects a redundant word line instead. By this control, when a defective memory cell in the memory cell array is selected by the input address, access to the defective memory cell is prohibited, and access to the redundant memory cell is performed instead. realizable.

【0009】図6は、ロウ冗長回路の具体的な構成例を
示している。図示のように、本例のロウ冗長回路は、メ
モリイネーブル信号MEと冗長イネーブル信号REを受
けて、ワード線ドライバーに冗長ワード線を選択する冗
長制御信号RDE0を出力する。図示のように、pMO
SトランジスタQ10は、電源電圧VCCとノードNDa
との間に接続され、そのゲートに冗長イネーブル信号R
Eが印加される。メモリアクセス前に、冗長イネーブル
信号REは一旦ローレベルに保持されるので、トランジ
スタQ10がオン状態となり、ノードNDaは電源電圧
CCによりプリチャージされ、ハイレベル、例えば、電
源電圧VCCまたはそれに近いレベルに保持される。
FIG. 6 shows a specific configuration example of the row redundancy circuit. As shown, the row redundancy circuit of this example receives a memory enable signal ME and a redundancy enable signal RE, and outputs a redundancy control signal RDE0 for selecting a redundancy word line to a word line driver. As shown, pMO
S transistor Q10 is connected between power supply voltage V CC and node NDa
And its gate has a redundant enable signal R
E is applied. Before the memory access, the redundancy enable signal RE is held temporarily in the low level, the transistor Q10 is turned on, and node NDa is precharged by the power supply voltage V CC, a high level, for example, the power supply voltage V CC or near Retained on level.

【0010】ノードNDaは、複数のフューズF0,F
1,…,FNおよびnMOSトランジスタQ10_0,
Q10_1,…,Q10_Nを通して接地されている。
これらのトランジスタQ10_0,Q10_1,…,Q
10_Nのゲートに、例えば、ロウデコーダ21からの
プリデコード信号PRDの各ビットがそれぞれ入力され
る。前述したように、メモリセルアレイに不良メモリセ
ルが検出された場合に、当該不良メモリセルのアドレス
に応じてプログラミングが行われる。このため、不良メ
モリセルのアドレスに応じてフューズF0,F1,…,
FNのうち所定のものは切断される。即ち、不良メモリ
セルのアドレスはプログラミングにおけるフューズの切
断により当該ロウ冗長回路に記憶される。
The node NDa has a plurality of fuses F0, F
, FN and nMOS transistor Q10_0,
, Q10_N are grounded.
These transistors Q10_0, Q10_1,.
For example, each bit of the predecode signal PRD from the row decoder 21 is input to the gate of 10_N. As described above, when a defective memory cell is detected in the memory cell array, programming is performed according to the address of the defective memory cell. Therefore, the fuses F0, F1,.
A predetermined one of the FNs is disconnected. That is, the address of the defective memory cell is stored in the row redundancy circuit by cutting the fuse in programming.

【0011】メモリアクセスのとき、フューズ回路に記
憶された不良メモリセルのアドレスおよびロウデコーダ
21からのプリデコード信号PRDに応じて、ノードN
Daのレベルが設定され、さらにノードNDaのレベル
に応じて冗長制御信号RDE0のレベルが設定される。
At the time of memory access, the node N is controlled according to the address of the defective memory cell stored in the fuse circuit and the predecode signal PRD from the row decoder 21.
The level of Da is set, and the level of redundancy control signal RDE0 is set according to the level of node NDa.

【0012】入力アドレスによりメモリセルアレイの不
良メモリセルが指定された場合に、ノードNDaがプリ
チャージ直後のレベルをほぼそのまま保持される。即
ち、ノードNDaはハイレベルに保持される。このた
め、メモリイネーブル信号MEがハイレベルに切り換え
たとき、冗長制御信号RDE0がローレベルからハイレ
ベルに切り換えられる。これに応じて、ワード線ドライ
バーは不良メモリセルに接続されているワード線の代わ
りに、冗長メモリセルに接続されている冗長ワード線が
選択され、活性化される。逆に、入力アドレスが上記プ
ログラミングによりフューズ回路に登録されたアドレス
以外のアドレスである場合に、ノードNDaは所定のフ
ューズとトランジスタを介して、ディスチャージされる
のでローレベルに保持される。この場合に、冗長制御信
号RDE0はローレベルに保持され、通常のワード線が
選択される。このように、ロウ冗長回路22_0,22
_1,22_2および22_3を設け、メモリセルアレ
イ25_0,25_1,25_2および25_3に発見
された不良メモリセルに応じてプログラミングを行うこ
とにより、メモリアクセスのとき、不良メモリセルの代
わりに冗長メモリセルが選択されるので、不良メモリセ
ルを救済でき、半導体記憶装置の歩留りの向上を実現で
きる。
When a defective memory cell in the memory cell array is designated by the input address, the level of the node NDa is maintained almost immediately after the precharge. That is, the node NDa is kept at the high level. Therefore, when the memory enable signal ME switches to the high level, the redundancy control signal RDE0 switches from the low level to the high level. In response, the word line driver selects and activates the redundant word line connected to the redundant memory cell instead of the word line connected to the defective memory cell. Conversely, when the input address is an address other than the address registered in the fuse circuit by the above-described programming, the node NDa is discharged through a predetermined fuse and transistor, and thus is held at a low level. In this case, the redundancy control signal RDE0 is kept at a low level, and a normal word line is selected. As described above, the row redundancy circuits 22_0, 22
_1, 22_2, and 22_3 are provided, and programming is performed in accordance with the defective memory cells found in the memory cell arrays 25_0, 25_1, 25_2, and 25_3, so that at the time of memory access, a redundant memory cell is selected instead of the defective memory cell. Therefore, defective memory cells can be relieved, and the yield of semiconductor memory devices can be improved.

【0013】[0013]

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した冗
長機能を有する半導体記憶装置において、冗長回路によ
りメモリの置き換えが行われている場合に冗長回路と通
常回路の動作タイミングが重要なポイントになってい
る。例えば、入力アドレスによりメモリセルアレイにあ
る不良メモリセルが指定された場合に、冗長回路により
冗長ワード線を選択する冗長制御信号が出力され、これ
に応じてワード線ドライバーは冗長ワード線を選択す
る。逆に冗長メモリの置き換えを行う必要がない場合
に、冗長ワード線を選択する指示がなく、ワード線ドラ
イバーは通常のワード線を選択する。フューズ回路にお
いて冗長メモリを選択するか否かを判定するための時間
が必要であり、この間ワード線ドライバーを待機状態に
設定しなけらばならない。また、上記とほぼ同様に、カ
ラム冗長を行う場合に、カラム冗長回路は冗長を行うか
否かを判定するための時間が必要であり、この間にビッ
ト線を選択するためのカラム選択回路を待機状態に設定
する必要がある。
In the semiconductor memory device having the above-mentioned redundancy function, when the memory is replaced by the redundancy circuit, the operation timing of the redundancy circuit and the normal circuit becomes an important point. I have. For example, when a defective memory cell in a memory cell array is specified by an input address, a redundant control signal for selecting a redundant word line is output by a redundant circuit, and the word line driver selects a redundant word line in response. Conversely, when there is no need to replace the redundant memory, there is no instruction to select a redundant word line, and the word line driver selects a normal word line. The fuse circuit requires time to determine whether or not to select a redundant memory. During this time, the word line driver must be set to a standby state. Also, in a manner similar to the above, when performing column redundancy, the column redundancy circuit needs time to determine whether or not to perform redundancy, during which time a column selection circuit for selecting a bit line waits. Must be set to state.

【0014】図5に示すように、例えば、各ワード線ド
ライバーの動作タイミングを制御するために、アドレス
到達検出回路23が設けられている。アドレス到達検出
回路23は時間的に最も遅い位置に用意されており、ロ
ウデコーダ21からのプリデコード信号PRDが到達し
たことを検出したとき、ロウ冗長回路22_0,22_
1,22_2および22_3、ワード線ドライバー24
_0,24_1,24_2および24_3を活性化する
信号ENBを出力する。
As shown in FIG. 5, for example, an address arrival detection circuit 23 is provided to control the operation timing of each word line driver. The address arrival detection circuit 23 is provided at the latest position in time, and when detecting that the predecode signal PRD from the row decoder 21 has arrived, the row redundancy circuits 22_0, 22_
1, 22_2 and 22_3, word line driver 24
_0, 24_1, 24_2, and a signal ENB for activating 24_3 are output.

【0015】しかし、このようにアドレス到達回路を設
けて動作タイミングを制御する方法においては、余分な
時間を持つことになる。この結果、最適なタイミングの
設定が困難であり、メモリアクセスの高速化の障害にな
っているという不利益がある。
However, in the method of controlling the operation timing by providing the address arrival circuit as described above, extra time is required. As a result, there is a disadvantage that it is difficult to set an optimal timing, which is an obstacle to speeding up memory access.

【0016】また、従来行われてきた手段の一つとし
て、回路シミュレーションで最適なタイミング設定が行
われている。この方法は上記のアドレス到達検出回路を
用いず、回路シミュレーションで最適な動作時間を設定
することが目的である。この場合に、シミュレーション
ファイルの精度とトランジスタモデルの精度によるとこ
ろが大きい。さらに、この方式では、システムLSIで
用いられているパラメトリック対応した設定を行うとが
難しい。パラメトリックという手法は、ユーザーの要求
に応じてサイズの異なるメモリを自動生成する。例え
ば、1Mbit〜4Mbitまで指定可能な場合、それ
ぞれの回路を設計しなけえばならない。アドレス到達検
出回路を使用する場合には、メモリの容量に応じて設定
すべき時間が異なるため、回路設計時に各々についてタ
イミングの設定を行わなければならず、設計工数の増大
を招くという不利益がある。
Further, as one of the conventional means, an optimal timing is set by a circuit simulation. The purpose of this method is to set an optimum operation time in a circuit simulation without using the address arrival detection circuit. In this case, the accuracy largely depends on the accuracy of the simulation file and the accuracy of the transistor model. Further, in this method, it is difficult to make a setting corresponding to a parametric used in the system LSI. The parametric technique automatically generates memories of different sizes according to user requirements. For example, when 1 Mbit to 4 Mbit can be designated, each circuit must be designed. When the address arrival detection circuit is used, the time to be set differs depending on the capacity of the memory, so that the timing must be set for each circuit at the time of circuit design. is there.

【0017】本発明は、かかる事情に鑑みてなされたも
のであり、その目的は、メモリアクセスの高速化および
LSIに用いられるメモリコアの設計コストの削減を図
り、最適なタイミング設定を容易にできる半導体記憶装
置を提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to increase the speed of memory access and reduce the design cost of a memory core used in an LSI, thereby facilitating optimal timing setting. It is to provide a semiconductor memory device.

【0018】[0018]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の半導体記憶装置は、正規メモリセルアレイ
にある不良メモリセルが置き換えられる冗長メモリセル
を有し、上記不良メモリセルのアドレスを登録すること
により、メモリアクセス時に上記不良メモリセルの代わ
りに上記冗長メモリセルをアクセスする半導体記憶装置
であって、上記アドレス登録により上記不良メモリセル
のアドレスを記憶するアドレス登録回路と、メモリアク
セス時に、入力アドレスの到達を検出したとき当該入力
アドレスと上記アドレス登録回路に記憶されている上記
不良メモリセルのアドレスとを比較し、当該比較結果に
応じて上記メモリセルアレイまはた上記冗長メモリセル
の何れかへのアクセスを指示する冗長制御回路とを有す
る。
In order to achieve the above object, a semiconductor memory device of the present invention has a redundant memory cell in which a defective memory cell in a normal memory cell array is replaced, and registers an address of the defective memory cell. By doing so, a semiconductor memory device that accesses the redundant memory cell instead of the defective memory cell at the time of memory access, an address registration circuit that stores the address of the defective memory cell by the address registration, When the arrival of the input address is detected, the input address is compared with the address of the defective memory cell stored in the address registration circuit, and one of the memory cell array and the redundant memory cell is determined according to the comparison result. And a redundancy control circuit for instructing access to the data.

【0019】また、より具体的に、本発明の半導体記憶
装置は、複数のメモリセルが行列状に配置され、各行に
配置されているメモリセルに共通に接続されている複数
のワード線と各列に配置されているメモリセルに共通に
接続されている複数のビットとを有するメモリセルアレ
イと、上記メモリセルを置き換える複数の冗長メモリセ
ルが少なくとも一行を有する行列を形成し、各冗長メモ
リセルに共通に接続されている少なくとも一本の冗長ワ
ード線を有する冗長メモリセルアレイと、上記メモリセ
ルアレイに不良メモリセルを検出した場合に、アドレス
登録により上記不良メモリセルのアドレスを記憶するア
ドレス登録回路と、メモリアクセス時に、入力アドレス
の到達を検出したとき当該入力アドレスと上記アドレス
登録回路に記憶されている上記不良メモリセルのアドレ
スとを比較し、当該比較結果に応じて上記メモリセルア
レイまはた上記冗長メモリセルアレイの何れかへのアク
セスを指示する冗長制御回路と、上記冗長制御回路によ
り上記メモリセルアレイへのアクセスが指示されたと
き、上記入力アドレスに応じて上記複数のワード線から
指定された一つのワード線を選択し、選択したワード線
に所定の活性化電圧を印加し、上記冗長制御回路により
上記冗長メモリセルアレイへのアクセスが指示されたと
き、上記入力アドレスに応じて所定の冗長ワード線を選
択し、選択した冗長ワード線に所定の活性化電圧を印加
するワード線ドライバーとを有する。
More specifically, in the semiconductor memory device according to the present invention, a plurality of memory cells are arranged in a matrix, and a plurality of word lines and each word line commonly connected to the memory cells arranged in each row are provided. A memory cell array having a plurality of bits commonly connected to memory cells arranged in a column, and a plurality of redundant memory cells replacing the memory cells form a matrix having at least one row. A redundant memory cell array having at least one commonly connected redundant word line, and an address registration circuit that stores an address of the defective memory cell by address registration when a defective memory cell is detected in the memory cell array. At the time of memory access, when the arrival of the input address is detected, the input address is stored in the address registration circuit. And a redundancy control circuit for instructing access to either the memory cell array or the redundant memory cell array in accordance with the result of the comparison. When access to the cell array is instructed, one of the plurality of word lines is selected according to the input address, a predetermined activation voltage is applied to the selected word line, and the redundancy control is performed. A word line driver for selecting a predetermined redundant word line according to the input address and applying a predetermined activating voltage to the selected redundant word line when access to the redundant memory cell array is instructed by a circuit; .

【0020】また、本発明では、好適には、上記冗長制
御回路は、上記入力アドレスが到達したことを検出する
アドレス到達検出回路と、上記入力アドレスと上記アド
レス登録回路に記憶されている上記不良メモリセルのア
ドレスとを比較する比較回路と、上記アドレス到達検出
回路の出力信号に応じて、上記比較回路の比較結果を出
力させる出力タイミング制御回路とを有する。
In the present invention, preferably, the redundancy control circuit includes an address arrival detection circuit for detecting that the input address has arrived, and the defective address stored in the input address and the address registration circuit. A comparison circuit that compares the address of the memory cell; and an output timing control circuit that outputs a comparison result of the comparison circuit according to an output signal of the address arrival detection circuit.

【0021】また、本発明では、好適には、上記比較回
路は、メモリアクセス前に出力ノードを所定のプリチャ
ージ電位に設定するプリチャージ回路を有し、メモリア
クセス時に、上記アドレス登録回路に記憶されている上
記不良メモリセルのアドレスと上記ロウデコーダからの
上記選択信号に応じて、上記出力ノードが上記プリチャ
ージ電位または当該プリチャージ電位と異なる共通電位
の何れかに設定される。
In the present invention, preferably, the comparison circuit has a precharge circuit for setting an output node to a predetermined precharge potential before accessing the memory, and stores the data in the address registration circuit when accessing the memory. The output node is set to either the precharge potential or a common potential different from the precharge potential according to the address of the defective memory cell and the selection signal from the row decoder.

【0022】さらに、本発明では、上記アドレス登録回
路は、上記出力ノードに共通に接続されている複数のフ
ューズからなるフューズ回路と、上記フューズ回路の各
フューズと上記共通電位との間に接続され、ゲートに上
記ロウデコーダからの選択信号が印加されている複数の
トランジスタとを有し、上記アドレス登録は、上記メモ
リセルアレイにある上記不良メモリセルのアドレスに応
じて、上記フューズ回路の所定のフューズを溶断するこ
とにより行われる。
Further, in the present invention, the address registration circuit is connected between a fuse circuit composed of a plurality of fuses commonly connected to the output node and each of the fuse circuits and the common potential. A plurality of transistors each having a gate to which a selection signal from the row decoder is applied, and the address registration is performed by a predetermined fuse of the fuse circuit according to an address of the defective memory cell in the memory cell array. Is performed by fusing.

【0023】本発明によれば、冗長機能が付与されてい
る半導体記憶装置において、正規のメモリセルアレイと
冗長メモリセルアレイを選択する冗長制御回路が設けら
れ、さらに、正規のメモリセルアレイにある不良メモリ
セルのアドレスに応じた冗長アドレスが冗長登録回路に
より記録される。冗長制御回路には、上記冗長アドレス
が当該冗長制御回路に到達したか否かを検出するアドレ
ス到達検出回路が設けられ、メモリアクセス時にアドレ
ス到達検出回路により所定の冗長アドレスが到達したと
検出したとき、アドレス登録回路に登録された不良メモ
リセルのアドレスと入力アドレスとの比較結果が出力さ
れる。出力された比較結果に応じて正規メモリセルアレ
イまたは冗長メモリセルアレイへのアクセスが決定さ
れ、入力アドレスに応じて、正規のメモリセルまたは冗
長メモリセルが選択され、選択されたメモリセルに対し
て、書き込み、読み出しまたは消去などの動作が行われ
る。
According to the present invention, in a semiconductor memory device provided with a redundancy function, a regular memory cell array and a redundancy control circuit for selecting the redundant memory cell array are provided, and further, a defective memory cell in the regular memory cell array is provided. Is recorded by the redundant registration circuit. The redundancy control circuit is provided with an address arrival detection circuit for detecting whether or not the redundancy address has reached the redundancy control circuit. When the address arrival detection circuit detects that a predetermined redundancy address has reached at the time of memory access. A comparison result between the address of the defective memory cell registered in the address registration circuit and the input address is output. Access to the normal memory cell array or the redundant memory cell array is determined according to the output comparison result, and the normal memory cell or the redundant memory cell is selected according to the input address, and writing is performed on the selected memory cell. , An operation such as reading or erasing is performed.

【0024】このため、冗長判定の結果が最適なタイミ
ングで出力され、出力された冗長判定の結果に応じてメ
モリセルへのアクセスが行われる。また、複数のメモリ
セルアレイを有する半導体記憶装置において、各メモリ
セルアレイ毎に冗長メモリセルアレイおよび冗長制御回
路が設けられ、それぞれの冗長制御回路にはアドレスの
到達を検出するアドレス到達検出回路が設けられるの
で、各メモリセルアレイにおいて、冗長制御回路の冗長
判定結果がそれぞれ最適は動作タイミングで出力され、
出力結果に応じて正規のメモリセルアレイまたは冗長メ
モリセルアレイへのアクセスが行われるので、それぞれ
のメモリセルアレイにおいて最適の動作タイミングの設
定が得られ、メモリアクセスの高速化が図れる。また、
パラメトリック法によりシステムLSIに使用されるメ
モリコアの設計を行う場合に、複数のメモリコアを自動
発生させ、異なるメモリサイズの設計においても、それ
ぞれのメモリコアにおける最適な動作タイミングを自動
的に設計でき、設計工数の削減、設計コストの低減が実
現可能である。
For this reason, the result of the redundancy judgment is output at the optimal timing, and the memory cell is accessed according to the output result of the redundancy judgment. Further, in a semiconductor memory device having a plurality of memory cell arrays, a redundant memory cell array and a redundant control circuit are provided for each memory cell array, and each redundant control circuit is provided with an address arrival detection circuit for detecting arrival of an address. In each memory cell array, the redundancy judgment result of the redundancy control circuit is optimally output at the operation timing, respectively,
Since the access to the normal memory cell array or the redundant memory cell array is performed according to the output result, the optimal operation timing can be set in each memory cell array, and the memory access can be speeded up. Also,
When designing a memory core used in a system LSI by the parametric method, a plurality of memory cores are automatically generated, and even when designing with different memory sizes, the optimum operation timing in each memory core can be automatically designed. In addition, it is possible to reduce design man-hours and design costs.

【0025】[0025]

【発明の実施の形態】図1は本発明に係る冗長機能を有
する半導体記憶装置の一実施形態を示す回路図である。
本実施形態の半導体記憶装置は、例えば、DRAM(Dy
namic Random AccessMemory)である。このDRAM
は、ロウアドレスバッファ1、ロウデコーダ2、ロウ冗
長回路3、ワード線ドライバー4、メモリセルアレイ
5、センスアンプ6、入出力バッファ(I/Oバッフ
ァ)7、制御回路8、カラム冗長回路9、カラムアドレ
スバッファ10、カラムデコーダ11およびカラムスイ
ッチドライバー12により構成されている。
FIG. 1 is a circuit diagram showing one embodiment of a semiconductor memory device having a redundancy function according to the present invention.
The semiconductor memory device of the present embodiment is, for example, a DRAM (Dy
namic Random Access Memory). This DRAM
Are a row address buffer 1, a row decoder 2, a row redundancy circuit 3, a word line driver 4, a memory cell array 5, a sense amplifier 6, an input / output buffer (I / O buffer) 7, a control circuit 8, a column redundancy circuit 9, and a column. It comprises an address buffer 10, a column decoder 11, and a column switch driver 12.

【0026】図示のように、本実施形態の半導体記憶装
置は、正規のワード線を冗長ワード線に置き換える制御
を行うロウ冗長回路3および正規のビット線を冗長ビッ
ト線に置き換える制御を行うカラム冗長回路9がそれぞ
れ設けられている。これらの冗長制御回路により、メモ
リセルアレイ5に不良メモリセルが存在する場合におい
て、不良メモリセルのアドレスをそれぞれロウ冗長回路
3およびカラム冗長回路9に登録することにより、メモ
リアクセス時に不良メモリセルの代わりに冗長メモリセ
ルへのアクセスが行われる。
As shown in the figure, the semiconductor memory device of the present embodiment has a row redundancy circuit 3 for performing control for replacing a normal word line with a redundant word line and a column redundancy circuit for performing control for replacing a normal bit line with a redundant bit line. A circuit 9 is provided for each. By using these redundancy control circuits, when a defective memory cell exists in the memory cell array 5, the address of the defective memory cell is registered in the row redundant circuit 3 and the column redundant circuit 9, respectively, so that the defective memory cell can be replaced at the time of memory access. Access to the redundant memory cell.

【0027】なお、本実施形態におけるメモリセルアレ
イ5は、例えば、複数のメモリセルアレイにより構成さ
れている。各メモリセルアレイにおいて、複数のメモリ
セルが行列状に配置され、同一行のメモリセルが同じワ
ード線に接続され、同一列のメモリセルが同じビット線
に接続されている。複数のワード線はそれぞれワード線
ドライバー4に接続され、複数のビット線はそれぞれ図
示していないカラムスイッチ(カラム選択ゲート)を通
してセンスアンプ6に接続されている。カラムスイッチ
は、ビット線毎に配置されている複数のスイッチにより
構成され、各スイッチは、カラムスイッチドライバー1
2によりオン/オフ状態が制御される。スイッチがオン
状態に制御されているとき、それに応じたビット線がセ
ンスアンプ6に接続される。即ち、カラムスイッチドラ
イバー12により、ビット線の選択が行われる。さら
に、図5には示していないが、各メモリセルアレイに、
正規のメモリセルにある不良メモリセルを置き換える冗
長メモリセルが配置されている。冗長メモリセルは、例
えば、冗長メモリセルアレイを構成し、当該冗長メモリ
セルアレイにおいて、同一行の冗長メモリセルが同じ冗
長ワード線に接続され、同一列の冗長メモリセルが同じ
冗長ビット線に接続されている。
The memory cell array 5 in the present embodiment is composed of, for example, a plurality of memory cell arrays. In each memory cell array, a plurality of memory cells are arranged in a matrix, memory cells in the same row are connected to the same word line, and memory cells in the same column are connected to the same bit line. Each of the plurality of word lines is connected to a word line driver 4, and each of the plurality of bit lines is connected to a sense amplifier 6 through a not-shown column switch (column selection gate). The column switch is composed of a plurality of switches arranged for each bit line, and each switch is a column switch driver 1
2 controls the on / off state. When the switch is controlled to the ON state, a corresponding bit line is connected to the sense amplifier 6. That is, the bit line is selected by the column switch driver 12. Further, although not shown in FIG. 5, each memory cell array has
Redundant memory cells that replace defective memory cells in regular memory cells are arranged. The redundant memory cells constitute, for example, a redundant memory cell array. In the redundant memory cell array, redundant memory cells in the same row are connected to the same redundant word line, and redundant memory cells in the same column are connected to the same redundant bit line. I have.

【0028】ロウアドレスバッファ1は、外部から入力
された複数ビットのロウアドレスAX0,AX1,…,
AXnを保持し、ロウデコーダ2に出力する。ロウデコ
ーダ2は、ロウアドレスバッファ1からのロウアドレス
に応じて、ワード線を選択するデコード信号を発生し、
ロウ冗長回路3およびワード線ドライバー4に供給す
る。ロウ冗長回路3は、メモリセルアレイ5にある不良
メモリセルのアドレスに応じてアドレス登録が行われ
る。アドレス登録は、例えば、ロウ冗長回路3に設けら
れたフューズ回路にある所定のフューズを、レーザビー
ムなどで溶断することにより行われる。アドレス登録に
より不良メモリセルのアドレスがロウ冗長回路3に記憶
される。メモリアクセス時に、メモリセルアレイ5にあ
る不良メモリセルが指定された場合、ロウデコーダ2か
らのデコード信号とロウ冗長回路3に登録されたアドレ
スとが一致する。ロウ冗長回路3はこの一致したことを
検出したとき、ワード線ドライバー4に、正規のワード
線の代わりに登録アドレスにより指定した冗長ワード線
を選択する冗長制御信号を出力する。
The row address buffer 1 comprises a plurality of externally input row addresses AX0, AX1,.
AXn is held and output to the row decoder 2. The row decoder 2 generates a decode signal for selecting a word line according to a row address from the row address buffer 1,
It is supplied to the row redundancy circuit 3 and the word line driver 4. The row redundancy circuit 3 performs address registration according to the address of a defective memory cell in the memory cell array 5. The address registration is performed, for example, by blowing a predetermined fuse in a fuse circuit provided in the row redundancy circuit 3 with a laser beam or the like. The address of the defective memory cell is stored in the row redundancy circuit 3 by the address registration. When a defective memory cell in the memory cell array 5 is specified at the time of memory access, the decode signal from the row decoder 2 matches the address registered in the row redundancy circuit 3. When detecting the coincidence, the row redundancy circuit 3 outputs to the word line driver 4 a redundancy control signal for selecting the redundancy word line specified by the registered address instead of the regular word line.

【0029】ワード線ドライバー4は、ロウデコーダ2
およびロウ冗長回路3からの信号に応じて、ワード線ま
たは冗長ワード線を選択する。例えば、入力アドレスに
より通常のメモリセルが指定された場合に、ワード線ド
ライバー4は、ロウデコーダ2からのデコード信号に応
じて指定されたメモリセルが接続するワード線を選択し
て、選択したワード線に、例えば、図示していない昇圧
回路で発生した高電圧を印加し、当該ワード線を活性化
する。一方、入力アドレスにより不良メモリセルが指定
された場合に、ワード線ドライバー4はロウ冗長回路3
からの冗長制御信号に応じて、通常のワード線を選択せ
ず、指定された冗長ワード線を選択し、それを活性化す
る。
The word line driver 4 includes a row decoder 2
And a word line or a redundant word line is selected according to a signal from row redundancy circuit 3. For example, when a normal memory cell is specified by an input address, the word line driver 4 selects a word line connected to the specified memory cell in accordance with a decode signal from the row decoder 2 and selects the selected word. For example, a high voltage generated by a booster circuit (not shown) is applied to the line to activate the word line. On the other hand, when a defective memory cell is designated by the input address, the word line driver 4
In response to the redundant control signal from the CPU, the selected redundant word line is selected and activated without selecting the normal word line.

【0030】カラムアドレスバッファ10は、外部から
入力された複数ビットのカラムアドレスAY0,AY
1,…,AYmを保持し、カラムデコーダ11に出力す
る。カラムデコーダ11は、カラムアドレスバッファ1
0からのカラムアドレスに応じて、ビット線を選択する
カラムデコード信号を発生し、カラム冗長回路9および
カラムスイッチドライバー12に供給する。カラム冗長
回路9は、例えば、ロウ冗長メモリ回路3とほぼ同様
に、メモリセルアレイ5にある不良メモリセルのアドレ
スに応じてアドレス登録が行われる。メモリアクセス時
に、メモリセルアレイ5にある不良メモリセルが指定さ
れた場合、カラムデコーダ11からのカラムデコード信
号とカラム冗長回路9に登録されたアドレスが一致す
る。カラム冗長回路9はこの一致したことを検出したと
き、カラムスイッチドライバー12に、正規のビット線
の代わりに登録アドレスにより指定した冗長ビット線を
選択させるカラム冗長制御信号を出力する。
The column address buffer 10 stores a plurality of externally input column addresses AY0 and AY.
, AYm are output to the column decoder 11. The column decoder 11 includes a column address buffer 1
A column decode signal for selecting a bit line is generated according to the column address starting from 0, and is supplied to the column redundant circuit 9 and the column switch driver 12. In the column redundancy circuit 9, for example, the address is registered in accordance with the address of the defective memory cell in the memory cell array 5, similarly to the row redundancy memory circuit 3. When a defective memory cell in the memory cell array 5 is specified at the time of memory access, the column decode signal from the column decoder 11 and the address registered in the column redundant circuit 9 match. When detecting the coincidence, the column redundancy circuit 9 outputs a column redundancy control signal for causing the column switch driver 12 to select the redundant bit line specified by the registration address instead of the regular bit line.

【0031】カラムスイッチドライバー12は、カラム
デコーダ11およびカラム冗長回路9からの信号に応じ
て、ビット線または冗長ビット線を選択する。上述した
ように、メモリセルアレイ5のビット線毎にスイッチが
配置され、それぞれのビット線はスイッチを介してセン
スアンプ6に接続される。同様に、冗長ビット線毎にも
スイッチが配置され、各冗長ビット線はスイッチを介し
てセンスアンプ6に接続されている。カラムスイッチド
ライバー12は、それぞれのスイッチのオン/オフ状態
を制御する制御信号を出力する。例えば、カラムアドレ
スAY0,AY1,…,AYmにより通常のビット線が
選択された場合に、カラムスイッチドライバー12は、
カラムデコーダ11からのカラムデコード信号に応じて
所定のスイッチをオン状態に制御する。このため、指定
されたビット線がセンスアンプ6に接続される。一方、
カラムアドレスにより不良メモリセルが接続されている
ビット線が指定された場合に、カラムデコーダ11から
のカラムデコード信号とカラム冗長回路9に登録された
アドレスとが一致する。カラム冗長回路9は、この一致
したことを検出したとき、カラムスイッチドライバー1
2に、正規のビット線の代わりに登録アドレスにより指
定した冗長ビット線を選択するカラム冗長制御信号を出
力する。
The column switch driver 12 selects a bit line or a redundant bit line according to a signal from the column decoder 11 and the column redundant circuit 9. As described above, a switch is arranged for each bit line of the memory cell array 5, and each bit line is connected to the sense amplifier 6 via the switch. Similarly, a switch is provided for each redundant bit line, and each redundant bit line is connected to the sense amplifier 6 via the switch. The column switch driver 12 outputs a control signal for controlling the ON / OFF state of each switch. For example, when a normal bit line is selected by the column addresses AY0, AY1,..., AYm, the column switch driver 12
A predetermined switch is controlled to be on according to a column decode signal from the column decoder 11. Therefore, the designated bit line is connected to the sense amplifier 6. on the other hand,
When the bit line to which the defective memory cell is connected is specified by the column address, the column decode signal from the column decoder 11 matches the address registered in the column redundancy circuit 9. When the column redundancy circuit 9 detects the coincidence, the column switch driver 1
2 outputs a column redundancy control signal for selecting a redundant bit line specified by a registered address instead of a regular bit line.

【0032】センスアンプ6は、選択されたビット線ま
たは冗長ビット線の電位を検出し、検出した電位に応じ
て選択メモリセルまたは冗長メモリセルの記憶データを
決定する。入出力バッファ7は、読み出しのときセンス
アンプ6により読み出されたデータを保持して、保持し
たデータをデータバスIO0,IO1,…,IOkに出
力する。書き込みのとき、入出力バッファ7はデータバ
スIO0,IO1,…,IOkより転送されてきた書き
込みデータを保持し、保持した書き込みデータをセンス
アンプ6およびカラムスイッチドライバー12によりオ
ン状態に設定されたスイッチを介して、選択されたビッ
ト線または冗長ビット線に入力する。
The sense amplifier 6 detects the potential of the selected bit line or redundant bit line, and determines the data stored in the selected memory cell or the redundant memory cell according to the detected potential. The input / output buffer 7 holds data read by the sense amplifier 6 at the time of reading, and outputs the held data to the data buses IO0, IO1,..., IOk. At the time of writing, the input / output buffer 7 holds the write data transferred from the data buses IO0, IO1,..., IOk, and switches the held write data to a switch set to the ON state by the sense amplifier 6 and the column switch driver 12. To the selected bit line or redundant bit line.

【0033】以上説明したように、メモリアクセス時
に、ロウアドレスAX0,AX1,…,AXnにより指
定したワード線が選択され、カラムアドレスAY0,A
Y1,…,AYmにより指定したビット線が選択され
る。このため、選択されたワード線とビット線との交差
点に配置されたメモリセルが選択メモリセルとして、そ
れに対して書き込みまたは読み出しが行われる。一方、
選択メモリセルが不良メモリセルの場合に、ロウ冗長回
路3に登録したアドレスに応じた冗長ワード線が選択さ
れ、同様にカラム冗長回路9に登録したアドレスに応じ
た冗長ビット線が選択される。この結果、選択された冗
長ワード線と冗長ビット線との交差点に配置された冗長
メモリセルが選択され、それに対して書き込みおよび読
み出しが行われる。
As described above, at the time of memory access, the word line specified by the row addresses AX0, AX1,..., AXn is selected, and the column addresses AY0, AY
The bit line specified by Y1,..., AYm is selected. For this reason, the memory cell arranged at the intersection of the selected word line and bit line is set as the selected memory cell, and writing or reading is performed on the selected memory cell. on the other hand,
When the selected memory cell is a defective memory cell, a redundant word line corresponding to the address registered in the row redundant circuit 3 is selected, and a redundant bit line corresponding to the address registered in the column redundant circuit 9 is selected. As a result, a redundant memory cell arranged at the intersection of the selected redundant word line and redundant bit line is selected, and writing and reading are performed on it.

【0034】なお、上述したメモリアクセスは、すべて
制御回路8の制御に基づき行われている。制御回路8
は、外部からの制御信号、例えば、ロウアドレスセンタ
信号RASB(Row Address Strobe)およびカラムアド
レス選択信号CASB(ColumnAddress Strobe )に応
じてそれぞれのアドレスバッファおよびデコーダに制御
信号を出力し、それらの回路の動作を制御する。なお、
上記選択信号RASBおよびCASBのなかの“B”
は、ローレベルアクティブを示している。
The above-described memory accesses are all performed under the control of the control circuit 8. Control circuit 8
Outputs control signals to respective address buffers and decoders in response to external control signals, for example, a row address center signal RASB (Row Address Strobe) and a column address selection signal CASB (Column Address Strobe). Control behavior. In addition,
"B" in the selection signals RASB and CASB
Indicates low level active.

【0035】本実施形態において、ロウ冗長回路3また
はカラム冗長回路9に、アドレスの到達を検出する回路
が設けられている。メモリアクセス時に、アドレスの到
達が検出されたとき冗長判断の結果に応じて冗長制御信
号が出力されるので、最適な動作タイミングを設定する
ことが可能となる。
In this embodiment, a circuit for detecting the arrival of an address is provided in the row redundancy circuit 3 or the column redundancy circuit 9. At the time of memory access, when the arrival of the address is detected, the redundancy control signal is output according to the result of the redundancy judgment, so that the optimal operation timing can be set.

【0036】図2〜4は、ロウ冗長回路の構成および動
作を説明するための図である。以下、これらの図面を参
照しつつ、本実施形態の半導体記憶装置の構成および動
作について説明する。図2は、複数のメモリセルアレイ
を有する半導体記憶装置において、ロウアドレスデコー
ダ、ワード線ドライバーおよびロウ冗長回路の構成を示
している。図示のように、ここでは4個のメモリセルア
レイ35_0,35_1,35_2,35_3からなる
メモリ装置を例示している。各メモリセルアレイには、
行列状に配置された複数のメモリセルを有し、メモリセ
ルの行毎にワード線が配置され、列毎にビット線が配置
されている。さらに、正規のメモリセルの他に、図示し
ない冗長メモリセルアレイが設けられている。同一行の
冗長メモリセルが冗長ワード線に接続されている。ワー
ド線および冗長ワード線は、メモリセルアレイ毎に設け
られているワード線ドライバー34_0,34_1,3
4_2,34_3に接続されている。なお、図2におい
ては、センスアンプが省略される。
FIGS. 2 to 4 are diagrams for explaining the configuration and operation of the row redundancy circuit. Hereinafter, the configuration and operation of the semiconductor memory device of the present embodiment will be described with reference to these drawings. FIG. 2 shows a configuration of a row address decoder, a word line driver, and a row redundancy circuit in a semiconductor memory device having a plurality of memory cell arrays. As illustrated, a memory device including four memory cell arrays 35_0, 35_1, 35_2, and 35_3 is illustrated here. Each memory cell array has
It has a plurality of memory cells arranged in a matrix, a word line is arranged for each row of the memory cells, and a bit line is arranged for each column. Further, in addition to the regular memory cells, a redundant memory cell array (not shown) is provided. Redundant memory cells in the same row are connected to a redundant word line. Word lines and redundant word lines are provided by word line drivers 34_0, 34_1, and 3 provided for each memory cell array.
4_2 and 34_3. In FIG. 2, the sense amplifier is omitted.

【0037】各ワード線ドライバーに冗長ワード線を選
択するか否かを制御するロウ冗長回路32_0,32_
1,32_2および32_3が設けられている。ロウデ
コーダ31からプリデコード信号またはデコード信号
(以下、表記を簡潔にするために、単にデコード信号と
いう)PRDが出力される。なお、このデコード信号P
RDは複数ビットからなり、ワード線ドライバー34_
0,34_1,34_2,34_3およびロウ冗長回路
32_0,32_1,32_2,32_3にそれぞれ入
力される。
Row redundancy circuits 32_0, 32_ for controlling whether or not to select a redundant word line for each word line driver.
1, 32_2 and 32_3 are provided. The row decoder 31 outputs a predecode signal or a decode signal (hereinafter, simply referred to as a decode signal for simplicity of description) PRD. Note that this decoded signal P
RD is composed of a plurality of bits, and the word line driver 34_
0, 34_1, 34_2, 34_3 and the row redundancy circuits 32_0, 32_1, 32_2, 32_3, respectively.

【0038】各ロウ冗長回路32_0,32_1,32
_2,32_3において、アドレスの到達を検出するア
ドレス到達検出回路が設けられている。当該アドレス到
達検出回路により所定のアドレスの到達が検出したと
き、ロウ冗長回路32_0,32_1,32_2および
32_3は、冗長メモリセルを選択するか否かを指示す
る冗長制御信号をワード線ドライバーに出力する。ワー
ド線ドライバーは、当該冗長制御信号に応じて、正規の
ワード線または冗長ワード線の何れかを選択する。
Each row redundancy circuit 32_0, 32_1, 32
_2 and 32_3, an address arrival detection circuit for detecting arrival of an address is provided. When the arrival of a predetermined address is detected by the address arrival detection circuit, the row redundancy circuits 32_0, 32_1, 32_2, and 32_3 output a redundancy control signal for instructing whether to select a redundancy memory cell to the word line driver. . The word line driver selects either a normal word line or a redundant word line according to the redundancy control signal.

【0039】図3は、ロウ冗長回路の一構成例を示して
いる。図示のように、本例のロウ冗長回路は、図6に示
す従来のロウ冗長回路に対して、アドレスの到達を検出
するアドレス到達検出回路41および冗長制御信号RD
E0,RDE1の出力タイミングを制御する出力タイミ
ング制御回路42を付加したものである。即ち、本実施
形態においては、図5に示す従来の半導体記憶装置に対
して、各ロウ冗長回路毎にアドレス到達検出回路が設け
られている。これによって、ロウ冗長回路毎に、アドレ
スの到達を検出し、検出結果に応じてそれぞれ最適な動
作タイミングを制定する。
FIG. 3 shows a configuration example of the row redundancy circuit. As shown in the figure, the row redundancy circuit of this example is different from the conventional row redundancy circuit shown in FIG. 6 in that an address arrival detection circuit 41 for detecting the arrival of an address and a redundancy control signal RD.
An output timing control circuit 42 for controlling the output timing of E0 and RDE1 is added. That is, in the present embodiment, an address arrival detection circuit is provided for each row redundancy circuit in the conventional semiconductor memory device shown in FIG. Thus, the arrival of the address is detected for each row redundancy circuit, and the optimum operation timing is determined in accordance with the detection result.

【0040】図3に示すように、アドレス到達検出回路
41は、ORゲートOGT1により構成されている。O
RゲートOGT1は、例えば、4つの入力端子を有し、
各入力端子に到達の検出対象となる4ビットのデコード
信号AXiBjB,AXijB,AXiBj,AXij
が入力される。これらのデコード信号の何れかがハイレ
ベルになると、アドレス到達検出回路41の出力信号S
ADがハイレベルに切り換わる。
As shown in FIG. 3, the address arrival detection circuit 41 comprises an OR gate OGT1. O
The R gate OGT1 has, for example, four input terminals,
4-bit decoded signals AXiBjB, AXijB, AXiBj, AXij to be detected as reaching the input terminals
Is entered. When any one of these decode signals goes high, the output signal S
AD switches to high level.

【0041】アドレス到達検出回路41の出力信号が出
力タイミング制御回路42に出力される。出力タイミン
グ制御回路42は、二つのANDゲートAGT2,AG
T3により構成されている。ANDゲートAGT2に
は、アドレス到達検出回路41からの検出信号SAD、
メモリイネーブル信号MEおよびノードNDaのレベル
に応じた信号が入力され、ANDゲートAGT3には、
アドレス到達検出回路41からの検出信号SAD、メモ
リイネーブル信号MEおよびノードNDaのレベルに応
じた反転信号が入力される。
The output signal of the address arrival detection circuit 41 is output to the output timing control circuit 42. The output timing control circuit 42 has two AND gates AGT2 and AG
It is constituted by T3. The AND gate AGT2 has a detection signal SAD from the address arrival detection circuit 41,
A signal corresponding to the level of the memory enable signal ME and the node NDa is input to the AND gate AGT3.
The detection signal SAD, the memory enable signal ME, and the inverted signal corresponding to the level of the node NDa are input from the address arrival detection circuit 41.

【0042】トランジスタQ20,Q20_0,Q20
_1,…,Q20_NおよびフューズF10,F11,
…,F1Nにより、入力アドレスと登録アドレスが一致
するか否かを検出する。メモリセルアレイに不良メモリ
セルが発見された場合に、当該不良メモリセルのアドレ
スに応じて、フューズF10,F11,…,F1Nのう
ち、所定のフューズが溶断され、いわゆるアドレス登録
が行われる。メモリアクセス前に、冗長イネーブル信号
REは一旦ローレベルに保持されるので、トランジスタ
Q20がオン状態となり、ノードNDaは電源電圧VCC
によりプリチャージされ、ハイレベル、例えば、電源電
圧VCCまたはそれに近いレベルに保持される。
Transistors Q20, Q20_0, Q20
_1,..., Q20_N and fuses F10, F11,
, F1N, it is detected whether the input address matches the registered address. When a defective memory cell is found in the memory cell array, a predetermined one of the fuses F10, F11,..., F1N is blown according to the address of the defective memory cell, and so-called address registration is performed. Before the memory access, the redundancy enable signal RE is temporarily held at the low level, so that the transistor Q20 is turned on and the node NDa is connected to the power supply voltage V CC.
, And is held at a high level, for example, the power supply voltage V CC or a level close thereto.

【0043】フューズ回路に登録されたアドレス以外の
デコード信号が入力された場合に、ノードNDaと接地
電位GNDとの間に、フューズおよびオン状態に保持さ
れているトランジスタを介して、電流経路が形成される
ので、ノードNDaがディスチャージされ、接地電位G
NDに保持される。このとき、インバータINV1の出
力端子がハイレベルに保持される。アドレス到達検出回
路41からの検出信号SADが立ち上がったタイミン
グ、出力タイミング制御回路42によりローレベルの冗
長制御信号RDE0およびハイレベルの冗長制御信号R
DE1がそれぞれ出力される。
When a decode signal other than the address registered in the fuse circuit is input, a current path is formed between the node NDa and the ground potential GND via the fuse and the transistor held in the ON state. , The node NDa is discharged, and the ground potential G
ND is held. At this time, the output terminal of the inverter INV1 is kept at a high level. When the detection signal SAD from the address arrival detection circuit 41 rises, the output timing control circuit 42 outputs a low level redundancy control signal RDE0 and a high level redundancy control signal R
DE1 is output.

【0044】冗長制御信号RDE0がハイレベルのと
き、ワード線ドライバーは冗長ワード線を選択し、逆に
冗長制御信号RDE1がハイレベルのとき、ワード線ド
ライバーは通常のワード線を選択する。このため、上述
した状態において、ワード線ドライバーにより通常のワ
ード線が選択される。
When the redundancy control signal RDE0 is at a high level, the word line driver selects a redundant word line, and when the redundancy control signal RDE1 is at a high level, the word line driver selects a normal word line. Therefore, in the above-described state, a normal word line is selected by the word line driver.

【0045】フューズ回路に登録したアドレスと一致し
たデコード信号が入力された場合に、ノードNDaはほ
ぼプリチャージ後のレベルに保持される。即ち、ノード
NDaはハイレベルに保持され、インバータINV1の
出力端子はローレベルに保持される。この場合、アドレ
ス到達検出回路41からの検出信号SADが立ち上がっ
たタイミング、出力タイミング制御回路42によりハイ
レベルの冗長制御信号RDE0およびローレベルの冗長
制御信号RDE1がそれぞれ出力される。これに応じ
て、ワード線ドライバーにより通常のワード線が選択さ
れず、冗長ワード線が選択される。
When a decode signal that matches the address registered in the fuse circuit is input, node NDa is held at a level substantially after precharge. That is, the node NDa is kept at the high level, and the output terminal of the inverter INV1 is kept at the low level. In this case, when the detection signal SAD from the address arrival detection circuit 41 rises, the output timing control circuit 42 outputs the high-level redundancy control signal RDE0 and the low-level redundancy control signal RDE1. Accordingly, a normal word line is not selected by the word line driver, and a redundant word line is selected.

【0046】図4は、本実施形態のロウ冗長回路の動作
を示すタイミングチャートである。図4(a)および
(b)に示すように、所定のタイミングでメモリイネー
ブル信号MEと冗長イネーブル信号REがローレベルか
らハイレベルに切り換えられる。前述のように、冗長イ
ネーブル信号REがローレベルに保持されているとき、
ロウ冗長回路のノードNDaがハイレベルにプリチャー
ジされる。
FIG. 4 is a timing chart showing the operation of the row redundancy circuit of this embodiment. As shown in FIGS. 4A and 4B, the memory enable signal ME and the redundancy enable signal RE are switched from a low level to a high level at a predetermined timing. As described above, when the redundancy enable signal RE is held at a low level,
The node NDa of the row redundancy circuit is precharged to a high level.

【0047】入力したロウアドレスAX0,AX1,
…,AXnに応じて、ロウデコーダはデコード信号が出
力される。図4(c)および(d)に示すように、メモ
リイネーブル信号MEおよび冗長イネーブル信号REが
アクティブ(ハイレベル)状態に切り換わってから所定
の時間が経過した後、デコード信号が各ビットがそれぞ
れ所定のレベルに設定される。
The input row addresses AX0, AX1,
, AXn, the row decoder outputs a decode signal. As shown in FIGS. 4C and 4D, after a predetermined time has elapsed since the memory enable signal ME and the redundancy enable signal RE are switched to the active (high level) state, each bit of the decode signal is Set to a predetermined level.

【0048】ロウ冗長回路により、デコード信号とフュ
ーズ回路に登録されたアドレスとが一致しないとき、図
4(e)に示すように、アドレス到達検出回路41によ
り設定されたタイミングで、冗長制御信号RDE1がハ
イレベルに保持され、このとき冗長制御信号RDE0が
ローレベルに保持されている。これに応じて、ワード線
ドライバーにより、デコード信号により指定された通常
のワード線が選択される。
When the decode signal does not match the address registered in the fuse circuit by the row redundancy circuit, the redundancy control signal RDE1 is set at the timing set by the address arrival detection circuit 41 as shown in FIG. Are held at a high level, and at this time, the redundancy control signal RDE0 is held at a low level. In response, the word line driver selects the normal word line specified by the decode signal.

【0049】一方、同図(f)に示すように、デコード
信号とフューズ回路に登録されたアドレスとが一致した
とき、アドレス到達検出回路41により設定されたタイ
ミングで、冗長制御信号RDE0がハイレベルに保持さ
れ、このとき冗長制御信号RDE1がローレベルに保持
されている。これに応じて、ワード線ドライバーによ
り、通常のワード線が選択されず、登録アドレスに応じ
た冗長ワード線が選択される。
On the other hand, when the decode signal matches the address registered in the fuse circuit, the redundancy control signal RDE0 goes high at the timing set by the address arrival detection circuit 41, as shown in FIG. , And at this time, the redundancy control signal RDE1 is held at the low level. In response, the word line driver does not select a normal word line, but selects a redundant word line according to the registered address.

【0050】以上説明したように、本実施形態によれ
ば、冗長メモリへのアクセスを制御する冗長制御回路
に、アドレスの到達を検出するアドレス到達検出回路を
設け、フューズ回路において、メモリセルアレイにある
不良メモリセルのアドレスに応じてフューズの切断など
によりアドレス登録を行う。メモリアクセス時に、入力
アドレスと登録されたアドレスとが比較され、出力タイ
ミング制御回路は、アドレス到達検出回路の検出結果に
応じて、アドレス比較結果に応じて生成した冗長制御信
号の出力タイミングを制御するので、複数のメモリセル
アレイを有するとき、メモリセルアレイ毎に設けられた
冗長制御回路にそれぞれアドレスの到達を検出して、そ
れに応じて冗長切り換えの最適な動作タイミングを制御
することができる。
As described above, according to the present embodiment, the redundancy control circuit for controlling the access to the redundant memory is provided with the address arrival detection circuit for detecting the arrival of the address. Address registration is performed by cutting a fuse or the like in accordance with the address of the defective memory cell. At the time of memory access, the input address is compared with the registered address, and the output timing control circuit controls the output timing of the redundant control signal generated according to the address comparison result according to the detection result of the address arrival detection circuit. Therefore, when a plurality of memory cell arrays are provided, it is possible to detect the arrival of the address in each of the redundancy control circuits provided for each memory cell array, and to control the optimal operation timing of the redundancy switching accordingly.

【0051】[0051]

【発明の効果】以上説明したように、本発明の半導体記
憶装置によれば、冗長制御回路の最適な動作タイミング
を設定することができ、これに応じて冗長機能を有する
半導体記憶装置の動作の高速化を実現可能である。ま
た、本発明によれば、回路の設計の簡素化が図れ、パラ
メトリック法を用いて、システムLSIに使用されるメ
モリコアの設計においては、異なるメモリサイズの設計
でも自動的に設計でき、設計工数の削減を実現でき、コ
ストの低減を実現できる利点がある。
As described above, according to the semiconductor memory device of the present invention, the optimum operation timing of the redundancy control circuit can be set, and the operation of the semiconductor memory device having the redundancy function can be set accordingly. Higher speed can be realized. Further, according to the present invention, the circuit design can be simplified, and the design of the memory core used for the system LSI can be automatically designed using the parametric method, even when designing different memory sizes. This has the advantage that the cost can be reduced and the cost can be reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係る半導体記憶装置の一実施形態を示
す回路図である。
FIG. 1 is a circuit diagram showing one embodiment of a semiconductor memory device according to the present invention.

【図2】図1に示す半導体記憶装置の詳細の構成を示す
回路図である。
FIG. 2 is a circuit diagram showing a detailed configuration of the semiconductor memory device shown in FIG. 1;

【図3】図2の回路図におけるロウ冗長回路の構成を示
す回路図である。
FIG. 3 is a circuit diagram showing a configuration of a row redundancy circuit in the circuit diagram of FIG. 2;

【図4】図3に示すロウ冗長回路の動作を示すタイミン
グチャートである。
FIG. 4 is a timing chart showing an operation of the row redundancy circuit shown in FIG. 3;

【図5】従来の冗長機能を有する半導体記憶装置の一構
成例を示す回路図である。
FIG. 5 is a circuit diagram showing a configuration example of a conventional semiconductor memory device having a redundant function.

【図6】図5に示す半導体記憶装置におけるロウ冗長回
路の構成を示す回路図である。
6 is a circuit diagram showing a configuration of a row redundancy circuit in the semiconductor memory device shown in FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…ロウアドレスバッファ、2…ロウデコーダ、3…ロ
ウ冗長回路、4…ワード線ドライバー、5…メモリセル
アレイ、6…センスアンプ、7…入出力バッファ、8…
制御回路、9…カラム冗長回路、10…カラムアドレス
バッファ、11…カラムデコーダ、12…カラムスイッ
チドライバー、21,31…ロウデコーダ、23…アド
レス到達検出回路、22_0,22_1,22_2,2
2_3,32_0,32_1,32_2,32_3…ロ
ウ冗長回路、24_0,24_1,24_2,24_
3,34_0,34_1,34_2,34_3…ワード
線ドライバー、25_0,25_1,25_2,25_
3,35_0,35_1,35_2,35_3……メモ
リセルアレイ、41…アドレス到達検出回路、42…出
力タイミング制御回路、VCC…電源電圧、GND…接地
電位。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Row address buffer, 2 ... Row decoder, 3 ... Row redundancy circuit, 4 ... Word line driver, 5 ... Memory cell array, 6 ... Sense amplifier, 7 ... Input / output buffer, 8 ...
Control circuit, 9 column redundancy circuit, 10 column address buffer, 11 column decoder, 12 column switch driver, 21 31 row decoder, 23 address arrival detection circuit, 22_0, 22_1, 22_2, 2
2_3, 32_0, 32_1, 32_2, 32_3... Row redundancy circuit, 24_0, 24_1, 24_2, 24_
3, 34_0, 34_1, 34_2, 34_3 ... word line driver, 25_0, 25_1, 25_2, 25_
3,35_0,35_1,35_2,35_3 ...... memory cell array, 41 ... address arrival detection circuit, 42 ... output timing control circuit, V CC ... power supply voltage, GND ... ground potential.

Claims (11)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】正規メモリセルアレイにある不良メモリセ
ルが置き換えられる冗長メモリセルを有し、上記不良メ
モリセルのアドレスを登録することにより、メモリアク
セス時に上記不良メモリセルの代わりに上記冗長メモリ
セルをアクセスする半導体記憶装置であって、 上記アドレス登録により上記不良メモリセルのアドレス
を記憶するアドレス登録回路と、 メモリアクセス時に、入力アドレスの到達を検出したと
き当該入力アドレスと上記アドレス登録回路に記憶され
ている上記不良メモリセルのアドレスとを比較し、当該
比較結果に応じて上記メモリセルアレイまはた上記冗長
メモリセルの何れかへのアクセスを指示する冗長制御回
路とを有する半導体記憶装置。
1. A redundant memory cell in which a defective memory cell in a normal memory cell array is replaced. By registering an address of the defective memory cell, the redundant memory cell is replaced with the redundant memory cell at the time of memory access. A semiconductor memory device to be accessed, comprising: an address registration circuit that stores an address of the defective memory cell by the address registration; and an input address and a memory that are stored in the address registration circuit when the arrival of an input address is detected during memory access. And a redundancy control circuit for instructing access to either the memory cell array or the redundant memory cell according to a result of the comparison.
【請求項2】上記冗長制御回路は、上記入力アドレスが
到達したことを検出するアドレス到達検出回路と、 上記入力アドレスと上記アドレス登録回路に記憶されて
いる上記不良メモリセルのアドレスとを比較する比較回
路と、 上記アドレス到達検出回路の出力信号に応じて、上記比
較回路の比較結果を出力させる出力タイミング制御回路
とを有する請求項1記載の半導体記憶装置。
2. The redundancy control circuit compares an address arrival detection circuit for detecting arrival of the input address with an address of the defective memory cell stored in the address registration circuit. 2. The semiconductor memory device according to claim 1, further comprising: a comparison circuit; and an output timing control circuit that outputs a comparison result of the comparison circuit in accordance with an output signal of the address arrival detection circuit.
【請求項3】上記アドレス到達検出回路は、上記不良メ
モリセルのアドレスに応じて選出された所定のアドレス
信号を入力信号とする論理回路により構成され、 上記出力タイミング制御回路は、上記論理回路の出力信
号に応じて、上記比較回路の比較結果を出力する請求項
2記載の半導体記憶装置。
3. The address arrival detection circuit comprises a logic circuit having a predetermined address signal selected according to the address of the defective memory cell as an input signal, and the output timing control circuit comprises 3. The semiconductor memory device according to claim 2, wherein a comparison result of said comparison circuit is output according to an output signal.
【請求項4】上記アドレス登録回路は、フューズ回路に
より構成され、上記アドレス登録は、上記正規メモリセ
ルにある上記不良メモリセルのアドレスに応じて所定の
フューズを溶断することにより行われる請求項1記載の
半導体記憶装置。
4. The address registration circuit according to claim 1, wherein the address registration is performed by blowing a predetermined fuse in accordance with an address of the defective memory cell in the normal memory cell. 13. The semiconductor memory device according to claim 1.
【請求項5】複数のメモリセルが行列状に配置され、各
行に配置されているメモリセルに共通に接続されている
複数のワード線と各列に配置されているメモリセルに共
通に接続されている複数のビットとを有するメモリセル
アレイと、 上記メモリセルを置き換える複数の冗長メモリセルが少
なくとも一行を有する行列を形成し、各冗長メモリセル
に共通に接続されている少なくとも一本の冗長ワード線
を有する冗長メモリセルアレイと、 上記メモリセルアレイに不良メモリセルを検出した場合
に、アドレス登録により上記不良メモリセルのアドレス
を記憶するアドレス登録回路と、 メモリアクセス時に、入力アドレスの到達を検出したと
き当該入力アドレスと上記アドレス登録回路に記憶され
ている上記不良メモリセルのアドレスとを比較し、当該
比較結果に応じて上記メモリセルアレイまはた上記冗長
メモリセルアレイの何れかへのアクセスを指示する冗長
制御回路と、 上記冗長制御回路により上記メモリセルアレイへのアク
セスが指示されたとき、上記入力アドレスに応じて上記
複数のワード線から指定された一つのワード線を選択
し、選択したワード線に所定の活性化電圧を印加し、上
記冗長制御回路により上記冗長メモリセルアレイへのア
クセスが指示されたとき、上記入力アドレスに応じて所
定の冗長ワード線を選択し、選択した冗長ワード線に所
定の活性化電圧を印加するワード線ドライバーとを有す
る半導体記憶装置。
5. A plurality of memory cells are arranged in a matrix, and are connected in common to a plurality of word lines commonly connected to memory cells arranged in each row and to a plurality of memory cells arranged in each column. A memory cell array having a plurality of bits, and a plurality of redundant memory cells replacing the memory cells form a matrix having at least one row, and at least one redundant word line commonly connected to each redundant memory cell A redundant memory cell array having an address register circuit for storing an address of the defective memory cell by address registration when a defective memory cell is detected in the memory cell array; and Compare the input address with the address of the defective memory cell stored in the address registration circuit A redundancy control circuit for instructing access to either the memory cell array or the redundant memory cell array in accordance with the comparison result; and an input when the redundancy control circuit instructs access to the memory cell array. One word line designated from the plurality of word lines is selected according to the address, a predetermined activation voltage is applied to the selected word line, and access to the redundant memory cell array is instructed by the redundancy control circuit. And a word line driver for selecting a predetermined redundant word line according to the input address and applying a predetermined activation voltage to the selected redundant word line.
【請求項6】上記冗長制御回路は、上記入力アドレスが
到達したことを検出するアドレス到達検出回路と、 上記入力アドレスと上記アドレス登録回路に記憶されて
いる上記不良メモリセルのアドレスとを比較する比較回
路と、 上記アドレス到達検出回路の出力信号に応じて、上記比
較回路の比較結果を出力させる出力タイミング制御回路
とを有する請求項5記載の半導体記憶装置。
6. The redundancy control circuit compares an address arrival detection circuit for detecting the arrival of the input address with an address of the defective memory cell stored in the address registration circuit. 6. The semiconductor memory device according to claim 5, further comprising: a comparison circuit; and an output timing control circuit that outputs a comparison result of the comparison circuit according to an output signal of the address arrival detection circuit.
【請求項7】入力アドレスに応じて、上記ワード線およ
び冗長ワード線を選択するための選択信号を出力するロ
ウデコーダを有する請求項5記載の半導体記憶装置。
7. The semiconductor memory device according to claim 5, further comprising a row decoder for outputting a selection signal for selecting said word line and said redundant word line according to an input address.
【請求項8】上記冗長制御回路は、上記不良メモリセル
のアドレスに応じて、上記ロウデコーダからの複数の上
記選択信号から選出された所定の選択信号を入力信号と
する論理回路と、 上記入力アドレスと上記アドレス登録回路に記憶されて
いる上記不良メモリセルのアドレスとを比較する比較回
路と、 上記論理回路の出力信号に応じて、上記比較回路の比較
結果を出力する出力タイミング制御回路とを有する請求
項7記載の半導体記憶装置。
8. The logic circuit according to claim 1, wherein the redundancy control circuit is a logic circuit having a predetermined selection signal selected from the plurality of selection signals from the row decoder as an input signal in accordance with an address of the defective memory cell. A comparison circuit that compares an address with an address of the defective memory cell stored in the address registration circuit; and an output timing control circuit that outputs a comparison result of the comparison circuit according to an output signal of the logic circuit. 8. The semiconductor memory device according to claim 7, comprising:
【請求項9】上記比較回路は、メモリアクセス前に出力
ノードを所定のプリチャージ電位に設定するプリチャー
ジ回路を有し、 メモリアクセス時に、上記アドレス登録回路に記憶され
ている上記不良メモリセルのアドレスと上記ロウデコー
ダからの上記選択信号に応じて、上記出力ノードが上記
プリチャージ電位または当該プリチャージ電位と異なる
共通電位の何れかに設定される請求項8記載の半導体記
憶装置。
9. A comparison circuit having a precharge circuit for setting an output node to a predetermined precharge potential before accessing a memory, wherein at the time of memory access, the defective memory cell stored in the address registration circuit is accessed. 9. The semiconductor memory device according to claim 8, wherein said output node is set to one of said precharge potential and a common potential different from said precharge potential according to an address and said selection signal from said row decoder.
【請求項10】上記アドレス登録回路は、上記出力ノー
ドに共通に接続されている複数のフューズからなるフュ
ーズ回路と、 上記フューズ回路の各フューズと上記共通電位との間に
接続され、ゲートに上記ロウデコーダからの選択信号が
印加されている複数のトランジスタとを有する請求項9
記載の半導体記憶装置。
10. An address registration circuit, comprising: a fuse circuit composed of a plurality of fuses commonly connected to the output node; connected between each fuse of the fuse circuit and the common potential; 10. A plurality of transistors to which a selection signal from a row decoder is applied.
The semiconductor memory device according to claim 1.
【請求項11】上記アドレス登録は、上記メモリセルア
レイにある上記不良メモリセルのアドレスに応じて、上
記フューズ回路の所定のフューズを溶断することにより
行われる請求項10記載の半導体記憶装置。
11. The semiconductor memory device according to claim 10, wherein said address registration is performed by blowing a predetermined fuse of said fuse circuit in accordance with an address of said defective memory cell in said memory cell array.
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