JPH11271132A - 液切れセンサー - Google Patents
液切れセンサーInfo
- Publication number
- JPH11271132A JPH11271132A JP7058298A JP7058298A JPH11271132A JP H11271132 A JPH11271132 A JP H11271132A JP 7058298 A JP7058298 A JP 7058298A JP 7058298 A JP7058298 A JP 7058298A JP H11271132 A JPH11271132 A JP H11271132A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid
- gas
- electrodes
- pipe
- conduit
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- Pending
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- Measurement Of Levels Of Liquids Or Fluent Solid Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 液切れ開始当初の気・液混合状態で液切れを
検出することのできる液切れセンサーを提供する。 【解決手段】 管路１には、管路１の上下から中心軸の
手前まで突き出し、かつ、軸方向にずらして電極６a ，
６b が設置されている。液切れが始まり管路１内が気・
液混合状態になると、液体は管壁に沿って渦巻いて流
れ、中心部分には気体層が形成される。電極６a ，６b
は、上記気体層内に位置するようになり、電極６a ，６
b 間の導電媒体がなくなり、かつ、流れる気体によって
電極に付着した液が吹き飛ばされ電極間の導通がなくな
り液切れを早期に検出することができる。
検出することのできる液切れセンサーを提供する。 【解決手段】 管路１には、管路１の上下から中心軸の
手前まで突き出し、かつ、軸方向にずらして電極６a ，
６b が設置されている。液切れが始まり管路１内が気・
液混合状態になると、液体は管壁に沿って渦巻いて流
れ、中心部分には気体層が形成される。電極６a ，６b
は、上記気体層内に位置するようになり、電極６a ，６
b 間の導電媒体がなくなり、かつ、流れる気体によって
電極に付着した液が吹き飛ばされ電極間の導通がなくな
り液切れを早期に検出することができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、管路によって移
送される液体の液切れ状態の検出、とりわけ、液切れ開
始当初の気・液混合状態を呈する早い段階で検出し得る
液切れセンサーに関する。
送される液体の液切れ状態の検出、とりわけ、液切れ開
始当初の気・液混合状態を呈する早い段階で検出し得る
液切れセンサーに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の液切れセンサーは、例えば図４に
示すように管路１に電極２a と２b が管路の内壁面に露
出するように設けられ、この電極２a に所定のインピー
ダンスを介して交流電圧が印加されると、管路１内に液
が存在しているときは電極２aから液を介して電極２b
に交流電流が流れ、液が存在しないときは両電極間に電
流が流れなくなることにより液の有無を検出するもので
ある。
示すように管路１に電極２a と２b が管路の内壁面に露
出するように設けられ、この電極２a に所定のインピー
ダンスを介して交流電圧が印加されると、管路１内に液
が存在しているときは電極２aから液を介して電極２b
に交流電流が流れ、液が存在しないときは両電極間に電
流が流れなくなることにより液の有無を検出するもので
ある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、液切れ開始当
初では、ガスと液との混合状態となって、所望の液体の
流量が得られなくなり、次工程でのトラブルあるいは、
製品の品質低下の原因となるため、液切れ開始の初期段
階で検出する必要がある。
初では、ガスと液との混合状態となって、所望の液体の
流量が得られなくなり、次工程でのトラブルあるいは、
製品の品質低下の原因となるため、液切れ開始の初期段
階で検出する必要がある。
【０００４】ここで発明者等は、液切れ開始当初の気・
液混合を呈する管路内の状況を詳しく観察したところ、
管路の中心部を気体が流れ、液はコリオリの力に基づい
て進行方向に渦まいて管壁を流れていることを見い出し
た。
液混合を呈する管路内の状況を詳しく観察したところ、
管路の中心部を気体が流れ、液はコリオリの力に基づい
て進行方向に渦まいて管壁を流れていることを見い出し
た。
【０００５】この発明は、上記知見にもとづき、液切れ
開始当初に管路内が気・液混合状態となった段階で早期
にそれを検出し得る液切れセンサーを提供することを課
題とする。
開始当初に管路内が気・液混合状態となった段階で早期
にそれを検出し得る液切れセンサーを提供することを課
題とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明は、センサーの検出端を、管路内で液体と気体
が併存する状態になったときの気体層中に位置させて設
置し、上記管路内の液体を媒体として電気的導通または
光学的変化の少なくともいずれか一方により、管路内の
液体の存否を検出するようにしてなる構成を採用したも
のである。
に本発明は、センサーの検出端を、管路内で液体と気体
が併存する状態になったときの気体層中に位置させて設
置し、上記管路内の液体を媒体として電気的導通または
光学的変化の少なくともいずれか一方により、管路内の
液体の存否を検出するようにしてなる構成を採用したも
のである。
【０００７】上記の如く構成するこの発明にあっては、
管路内の液体が気体と併存する状態になったときの気体
層中に、センサーの検出端が位置するように設置されて
いるので、管路内が気・液混合状態になったことをいち
早く検出し、次工程でのトラブルの発生や品質の低下を
未然に防止することができる。
管路内の液体が気体と併存する状態になったときの気体
層中に、センサーの検出端が位置するように設置されて
いるので、管路内が気・液混合状態になったことをいち
早く検出し、次工程でのトラブルの発生や品質の低下を
未然に防止することができる。
【０００８】
【発明の実施の形態】次に、この発明の第一実施形態を
図１を参照しながら説明する。管路１には、管路１の外
面に沿う鍔部３を有する絶縁筒４a ，４b が管路１の中
心軸より僅かに管壁側に後退した位置まで突出させ、軸
方向に適宜間隔をずらせて設けられ、この絶縁筒４a ，
４b の中心孔５にはリード線Ｒが貫通しその先端に電極
６a ，６b が液密に取り付けられている。
図１を参照しながら説明する。管路１には、管路１の外
面に沿う鍔部３を有する絶縁筒４a ，４b が管路１の中
心軸より僅かに管壁側に後退した位置まで突出させ、軸
方向に適宜間隔をずらせて設けられ、この絶縁筒４a ，
４b の中心孔５にはリード線Ｒが貫通しその先端に電極
６a ，６b が液密に取り付けられている。
【０００９】電極６a には所定のインピーダンスを介し
て交流電圧が印加されており、管路１の内部に液が満ち
て流れている状態では、電極６a から液を介して電極６
b に交流電流が流れ、この電流の存在によって“液あ
り”が検出される。
て交流電圧が印加されており、管路１の内部に液が満ち
て流れている状態では、電極６a から液を介して電極６
b に交流電流が流れ、この電流の存在によって“液あ
り”が検出される。
【００１０】やがて液切れが始まり気・液混合状態とな
ると、液は管路１の内壁を渦まいて流れ、管路１の中心
部には気体層が形成される。この気体層中にセンサーの
検出端である電極６a ，６b が位置するように設置され
ているので、電極６a ，６b間の導電媒体がなくなり、
かつ、気体の流れによて電極６a ，６b に付着していた
液が吹き飛ばされ電極間の導通が遮断されて“液切れ”
が早期に検出される。
ると、液は管路１の内壁を渦まいて流れ、管路１の中心
部には気体層が形成される。この気体層中にセンサーの
検出端である電極６a ，６b が位置するように設置され
ているので、電極６a ，６b間の導電媒体がなくなり、
かつ、気体の流れによて電極６a ，６b に付着していた
液が吹き飛ばされ電極間の導通が遮断されて“液切れ”
が早期に検出される。
【００１１】また、上記“液切れ”の検出によって管路
１のバルブ（図示せず）が遮断されると、管路１内の液
は、管路１の底部に滞留し上部に気体層が形成される。
従って引き続き“液切れ”の検出状態が維持されて誤動
作をすることがない。
１のバルブ（図示せず）が遮断されると、管路１内の液
は、管路１の底部に滞留し上部に気体層が形成される。
従って引き続き“液切れ”の検出状態が維持されて誤動
作をすることがない。
【００１２】なお、この実施形態では、電極６a ，６b
を軸方向にずらし、管路の上下から中心に向けて突き出
すように設置しているが、図２に示すように絶縁筒４の
中に二本のリード線Ｒを引き通し、そのリード線Ｒに接
続した電極６a ，６b を上記絶縁筒対向面に上下位置を
ずらせて露出させたものを、上記電極６a ，６b が管路
の中心軸の上と下に位置するように設置するようにする
こともできる。このようにすると検出部が一個となり資
源と工数節減につながる。
を軸方向にずらし、管路の上下から中心に向けて突き出
すように設置しているが、図２に示すように絶縁筒４の
中に二本のリード線Ｒを引き通し、そのリード線Ｒに接
続した電極６a ，６b を上記絶縁筒対向面に上下位置を
ずらせて露出させたものを、上記電極６a ，６b が管路
の中心軸の上と下に位置するように設置するようにする
こともできる。このようにすると検出部が一個となり資
源と工数節減につながる。
【００１３】次に、第二実施形態を図３を参照して説明
する。管路１には、管路１内の液体が気体と併存する状
態になったときの気体層内に、検出部７が位置するよう
に公知原理の光学式センサーユニット８が設けられてい
る。
する。管路１には、管路１内の液体が気体と併存する状
態になったときの気体層内に、検出部７が位置するよう
に公知原理の光学式センサーユニット８が設けられてい
る。
【００１４】検出部７は図示しないプリズムとフォトカ
プラとからなっている。フォトカプラの発光ダイオード
から出た光はプリズムで屈折し、液がなければ反射して
フォトカプラのフォトダイオードに入射する。液があれ
ば屈折光は液中に入り、フォトダイオードは受光しな
い。これによって液の有無が判断される。
プラとからなっている。フォトカプラの発光ダイオード
から出た光はプリズムで屈折し、液がなければ反射して
フォトカプラのフォトダイオードに入射する。液があれ
ば屈折光は液中に入り、フォトダイオードは受光しな
い。これによって液の有無が判断される。
【００１５】管路１の内部に液が満ちて流れているとき
は、検出部７のプリズムで屈折した光は液中に入るので
“液あり”が検出される。
は、検出部７のプリズムで屈折した光は液中に入るので
“液あり”が検出される。
【００１６】やがて液切れが始まり気・液混合状態とな
ると、液は管路１の内壁を渦まいて流れ、中心部には気
体層が形成される。この気体層に検出部７が位置するよ
うに光学式センサーユニット８が設置されているので、
管路１の中心を流れる気体によってプリズム表面の液が
吹き飛ばされ、フォトカプラの発光ダイオードから出た
光はプリズムで反射してフォトダイオードに入射して
“液切れ”が早期に検出される。
ると、液は管路１の内壁を渦まいて流れ、中心部には気
体層が形成される。この気体層に検出部７が位置するよ
うに光学式センサーユニット８が設置されているので、
管路１の中心を流れる気体によってプリズム表面の液が
吹き飛ばされ、フォトカプラの発光ダイオードから出た
光はプリズムで反射してフォトダイオードに入射して
“液切れ”が早期に検出される。
【００１７】また、上記“液切れ”の検出によって管路
１のバルブ（図示せず）が遮断されると、管路１内の液
は、管路１の底部に滞留し上部に気体層が形成される。
従って引き続き“液切れ”の検出状態が維持されて誤動
作をすることがない。
１のバルブ（図示せず）が遮断されると、管路１内の液
は、管路１の底部に滞留し上部に気体層が形成される。
従って引き続き“液切れ”の検出状態が維持されて誤動
作をすることがない。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、管
路内の液体が、気体と併存する状態になったときの気体
層内に、液の有無を検出する検出端を設けることによ
り、液切れ当初に発生する気・液混合状態を早期に検出
することができる。
路内の液体が、気体と併存する状態になったときの気体
層内に、液の有無を検出する検出端を設けることによ
り、液切れ当初に発生する気・液混合状態を早期に検出
することができる。
【図１】（ａ）本発明に係る液切れセンサーの第一実施
形態の縦断面図 （ｂ）同横断面図
形態の縦断面図 （ｂ）同横断面図
【図２】（ａ）第一実施形態の別の実施例の縦断面図 （ｂ）同横断面図
【図３】（ａ）本発明に係る液切れセンサーの第二実施
形態の縦断面図 （ｂ）同横断面図
形態の縦断面図 （ｂ）同横断面図
【図４】（ａ）従来技術の液切れセンサーを示す縦断面
図 （ｂ）同横断面図
図 （ｂ）同横断面図
１ 管路 ２a ，２b 電極（従来例） ３ 鍔部 ４，４a ，４b 絶縁筒 ５ 中心孔 ６a ，６b 電極 ７ 光検出部 ８ 光学式センサーユニット Ｒ リード線
Claims (1)
- 【請求項１】 センサーの検出端を、管路内で液体と気
体が併存する状態になったときの気体層中に位置させて
設置し、上記管路内の液体を媒体として電気的導通また
は光学的変化の少なくともいずれか一方により、管路内
の液体の存否を検出するようにしてなる液切れセンサ
ー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7058298A JPH11271132A (ja) | 1998-03-19 | 1998-03-19 | 液切れセンサー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7058298A JPH11271132A (ja) | 1998-03-19 | 1998-03-19 | 液切れセンサー |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11271132A true JPH11271132A (ja) | 1999-10-05 |
Family
ID=13435707
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7058298A Pending JPH11271132A (ja) | 1998-03-19 | 1998-03-19 | 液切れセンサー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11271132A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1770379A1 (en) * | 2005-09-29 | 2007-04-04 | JohnsonDiversey, Inc. | Device and method for detecting the presence of a gas in a liquid flow |
| JP2008270255A (ja) * | 2007-04-16 | 2008-11-06 | Oki Electric Ind Co Ltd | レジスト配管およびレジスト塗布装置 |
-
1998
- 1998-03-19 JP JP7058298A patent/JPH11271132A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1770379A1 (en) * | 2005-09-29 | 2007-04-04 | JohnsonDiversey, Inc. | Device and method for detecting the presence of a gas in a liquid flow |
| JP2008270255A (ja) * | 2007-04-16 | 2008-11-06 | Oki Electric Ind Co Ltd | レジスト配管およびレジスト塗布装置 |
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