JPH11248923A - Manufacturing device for color filter - Google Patents

Manufacturing device for color filter

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JPH11248923A
JPH11248923A JP4840898A JP4840898A JPH11248923A JP H11248923 A JPH11248923 A JP H11248923A JP 4840898 A JP4840898 A JP 4840898A JP 4840898 A JP4840898 A JP 4840898A JP H11248923 A JPH11248923 A JP H11248923A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
filter
electrolyte
reserve tank
bubbles
color filter
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP4840898A
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Japanese (ja)
Inventor
Takeshi Yoda
剛 依田
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Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
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Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
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Publication of JPH11248923A publication Critical patent/JPH11248923A/en
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide the device for manufacturing a color filter which is applicable sufficiently to an active and a passive type color liquid crystal panel and free from defects and stains. SOLUTION: In a process for circulating an electrolyte 18 in an electrolytic processor, the electrolyte intake and outlet sides in a reservoir tank 12 are partitioned by more than one couple of alternate upper and lower partition plates 15, the part between the lower and upper partition plates is covered with meshes 16, and the intake-side pipe opening position of the reservoir tank 12 is formed in the liquid while the reservoir outlet-side pipe opening position is formed on the bottom surface of the reservoir tank. Further, the pore diameter of the filter 14 is made larger than the size of particles dispersed in the electrolyte in use and smaller than 100 μm and the filter is formed right in front of an electrolyte tank 11.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶テレビ・パソ
コン用ディスプレイ等に用いられるアクティブ及びパッ
シブカラーパネルに用いるカラーフィルタの製造装置に
関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus for manufacturing color filters used for active and passive color panels used in displays for liquid crystal televisions and personal computers.

【0002】[0002]

【従来の技術】レドックス反応性を有する界面活性剤の
ミセル水溶液中に、水に不溶性もしくは難溶性の顔料粒
子をコロイド分散した後、該ミセル水溶液を電解するこ
とによりアノードとして用いた所定のパターン形状をも
つ透明電極上に顔料膜を形成する手法を用いたカラーフ
ィルタの製造方法について、本発明者らは既に特許出願
している。さらに、このカラーフィルタに疎水化した導
電粒子を共析させる導電性ミセルカラーフィルタの製造
方法についても出願している(特開平2−267298
号公報)。また、無機粒子表面が親水性の物質を疎水化
処理して無機膜を形成する方法についても出願済みであ
る。さらに、使用する顔料の純度に関しても出願してい
る。このように我々は、導電性のミセルカラーフィルタ
の製造方法を発明した。ここで成膜装置については、図
2に示すような電解槽21およびリザーブタンク22、
電解液23を循環するためのポンプ24、フィルター2
5、配管26、さらに電解槽上部はオーバーフロー構造
27より形成される。この構成は洗浄装置、メッキ装置
等では一般的なものである。ここでフィルターの形成位
置はフィルターの入口および出口において差圧の発生す
る位置であればどこでも形成できる。例えばポンプ形成
位置の直前または直後に形成するのが一般的である。こ
の電解槽21に電解液を満たし、透明電極を有する基板
28をアノードとして、対向電極29をカソードとして
挿入し、電源30より電解をかけ成膜を行う。ここで電
解槽においては成膜途中および成膜終了または成膜前に
電解槽内の電解液を循環する。これは電解液を循環する
ことで薄膜形成時の面内薄膜厚分布および成膜スピード
の安定化を図るものである。この電解液を循環する際
に、リザーブタンク内電解液の泡立ちを押さえる構成に
ついても本発明者らは特許出願済みである。
2. Description of the Related Art After colloidally dispersing pigment particles insoluble or hardly soluble in water in an aqueous micelle solution of a surfactant having redox reactivity, a predetermined pattern shape used as an anode is obtained by electrolyzing the aqueous micelle solution. The present inventors have already filed a patent application for a method of manufacturing a color filter using a method of forming a pigment film on a transparent electrode having a color filter. In addition, an application has been filed for a method for producing a conductive micelle color filter in which hydrophobized conductive particles are codeposited on the color filter (Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 2-267298).
No.). In addition, an application has been filed for a method for forming an inorganic film by subjecting a substance having a hydrophilic inorganic particle surface to a hydrophobic treatment. In addition, an application has been filed regarding the purity of the pigment used. Thus, we have invented a method of manufacturing a conductive micelle color filter. Here, regarding the film forming apparatus, the electrolytic tank 21 and the reserve tank 22, as shown in FIG.
Pump 24 and filter 2 for circulating electrolyte 23
5. The piping 26 and the upper part of the electrolytic cell are formed by an overflow structure 27. This configuration is common in a cleaning apparatus, a plating apparatus, and the like. Here, the filter can be formed at any position where a differential pressure is generated at the inlet and the outlet of the filter. For example, it is common to form it immediately before or immediately after the pump formation position. The electrolytic cell 21 is filled with an electrolytic solution, a substrate 28 having a transparent electrode is used as an anode, and a counter electrode 29 is inserted as a cathode. Here, in the electrolytic cell, the electrolytic solution in the electrolytic cell is circulated during the film formation and before or after the film formation. This aims to stabilize the in-plane thin film thickness distribution and the film forming speed at the time of forming the thin film by circulating the electrolytic solution. The present inventors have already applied for a patent for a configuration for suppressing foaming of the electrolytic solution in the reserve tank when circulating the electrolytic solution.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記した従来
技術には以下の課題があった。
However, the above-mentioned prior art has the following problems.

【0004】従来技術を用いてミセルコロイド溶液を作
製した後、電解槽中にミセル水溶液を流し込み循環する
と、直径1mmから2mmの大きさの微小な気泡が電解
槽内ミセル水溶液中に存在することが判明した。これは
オーバーフローしたミセル水溶液がリザーブタンクに落
下して流入する構造であり、その際巻き込んだ空気が気
泡として液中に存在する、またはリザーブタンク、ポン
プ、フィルターさらにそれらをつなぐ配管内にすでに存
在する気泡、もしくは配管等の接続部から混入する空気
と考えられる。さらにこの微小な気泡自体が基板に付着
することがわかった。これらは液晶パネルの場合、次の
ような致命的な欠陥になる。
When a micelle aqueous solution is poured into an electrolytic cell and circulated after preparing a micelle colloid solution using the conventional technique, fine bubbles having a diameter of 1 mm to 2 mm may be present in the aqueous micelle solution in the electrolytic cell. found. This is a structure in which the overflowed micelle aqueous solution falls into the reserve tank and flows into the reservoir tank.At this time, the entrained air exists in the liquid as air bubbles, or already exists in the reserve tank, the pump, the filter, and the piping connecting them. It is considered to be air bubbles or air mixed in from a connection portion such as a pipe. Further, it was found that these minute bubbles themselves adhered to the substrate. These are the following fatal defects in the case of a liquid crystal panel.

【0005】1)気泡付着部分は成膜状態が異なるため
パネルを点灯した際に点欠陥になる。
[0005] 1) Since the film-deposited portion is different in the bubble-attached portion, a point defect occurs when the panel is turned on.

【0006】2)電解槽から基板取り出し時に付着した
気泡が泡になり流れ落ち、パネルを点灯した際に泡の流
れた跡がシミ欠陥となる。
2) Bubbles adhering when the substrate is taken out of the electrolytic cell become bubbles and flow down, and when the panel is turned on, traces of the flow of bubbles become spot defects.

【0007】すなわち、従来の方法でも導電性カラーフ
ィルタ層の形成はできるものの、微小な気泡の発生が顕
著であったため、欠陥およびシミの発生しないカラーフ
ィルタを作製する手段が無かった。
That is, although the conductive color filter layer can be formed by the conventional method, generation of minute bubbles is remarkable, and there is no means for producing a color filter free from defects and spots.

【0008】そこで、本発明の目的とするところは、上
記の課題を解決し、アクティブ及びパッシブタイプのカ
ラー液晶パネルにも十分適用できる欠陥およびシミの発
生がないカラーフィルタを製造する装置を提供すること
にある。
Accordingly, an object of the present invention is to solve the above-mentioned problems and to provide an apparatus for manufacturing a color filter which can be applied to active and passive type color liquid crystal panels and has no defects or spots. It is in.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明は上記のような課
題を解決するためのもので、以下の手段からなる。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention is to solve the above-mentioned problems, and comprises the following means.

【0010】本発明のカラーフィルタの製造装置は、界
面活性剤を含有する電解液を用いる湿式の成膜装置にお
いて、その構成が、オーバーフロー構造をもった電解
槽、リザーブタンク、ポンプ、フィルターから成る循環
機能をもち、a)該リザーブタンク内部の電解液入口側
と出口側との間が、少なくとも1組以上の上下互い違い
の仕切り板により隔てられた構造である、b)該下側仕
切り板と該上側仕切り板との間が、少なくとも1つ以上
のメッシュで覆われた構造である、c)該オーバーフロ
ー槽と該リザーブタンクを結ぶ配管の該リザーブタンク
側配管口位置が少なくとも液中にある、d)該リザーブ
タンク出口側配管口位置がリザーブタンク底面にある、
ことを特徴とする。
The apparatus for manufacturing a color filter according to the present invention is a wet type film forming apparatus using an electrolytic solution containing a surfactant, and its structure comprises an electrolytic cell having an overflow structure, a reserve tank, a pump, and a filter. A) a structure having a circulation function, wherein a) the electrolyte inlet side and the electrolyte side inside the reserve tank are separated by at least one or more sets of vertically alternated partition plates; b) the lower partition plate and The space between the upper partition plate and the upper partition plate is covered with at least one or more meshes. C) The pipe position connecting the overflow tank and the reserve tank is at least in the liquid at the reserve tank side pipe opening position. d) the outlet position of the reservoir tank is on the bottom of the reserve tank;
It is characterized by the following.

【0011】すなわちa)に示す様に、1組以上の上下
互い違いの仕切り板があると、電解液がこの仕切り板の
間を出口に向かい上下に移動する際、リザーブタンク入
口で発生した気泡は下側に移動しにくいため電解液のみ
が次の仕切り板間に移動することができる。液の流速に
よっては、1組の上下互い違いの仕切り板では気泡が取
り除かれない場合があるが、適用する流速範囲によって
上下互い違いの仕切り板数を選定すればよい。また仕切
り板同士の重なりは気泡が次の仕切り板間に移動しにく
いように20cm以上あると好ましい。さらにb)に示
すようにメッシュを形成することで、上側に移動した電
解液が下側に移動する際に気泡を巻き込みにくくし、さ
らに電解液中にすでに存在する気泡を通りにくくするこ
とが可能である。但し、電解液はポンプ等で圧送されて
いる場合は1.0μm以下のメッシュのフィルターでも
通過できるが、このような構造の自然落下による電解液
の流れでは、メッシュが細かいと電解液自体がメッシュ
を通過しにくくなるため、1mmから2mm程度の隙間
のメッシュを用いると良好になることを本発明者らは見
出した。さらにc)の構造により、配管口が電解液中に
あることで電解液の攪拌効果が緩和され泡が発生しにく
い。このリザーブタンク側の配管口は液面より5cm以
上下側にするのが好ましい。さらにd)の構造により、
空気を巻き込むことなく電解液のみポンプに流出するこ
とが可能である。
That is, as shown in a), when there is one or more sets of vertically alternated partition plates, when the electrolytic solution moves up and down between the partition plates toward the outlet, bubbles generated at the inlet of the reserve tank are formed on the lower side. Therefore, only the electrolytic solution can move between the next partition plates. Depending on the flow rate of the liquid, air bubbles may not be removed by one set of the upper and lower partition plates, but the number of the upper and lower partition plates may be selected according to the flow rate range to be applied. Further, the overlap between the partition plates is preferably at least 20 cm so that air bubbles do not easily move between the next partition plates. Further, by forming a mesh as shown in b), it is possible to make it difficult for the electrolyte solution moved to the upper side to entrap bubbles when moving to the lower side, and to make it harder to pass bubbles already existing in the electrolyte solution. It is. However, when the electrolyte is pumped by a pump or the like, the electrolyte can pass through a filter having a mesh of 1.0 μm or less. The present inventors have found that the use of a mesh having a gap of about 1 mm to 2 mm is favorable because it is difficult to pass through. Further, due to the structure of c), since the pipe port is in the electrolyte, the stirring effect of the electrolyte is reduced, and bubbles are hardly generated. It is preferable that the piping port on the reserve tank side is at least 5 cm below the liquid level. Furthermore, by the structure of d),
Only the electrolyte can flow out to the pump without involving air.

【0012】さらに該成膜装置において、e)該フィル
ターの細孔直径が、使用する電解液中に分散する粒子直
径よりも大きく100μmより小さいフィルターにより
形成され、f)該フィルターが少なくとも該電解槽の直
前に形成される、ことを特徴とする。
Further, in the film forming apparatus, e) the filter is formed by a filter in which the pore diameter of the filter is larger than the particle diameter dispersed in the electrolytic solution to be used and smaller than 100 μm, and f) the filter is at least the electrolytic cell. Is formed immediately before.

【0013】すなわちe)に示す細孔直径のフィルター
を使用することにより、フィルター内を通過する電解液
中に存在する微小な気泡を捕らえ該電解液中から除去す
る効果を有する。シミ、欠陥の原因になる気泡は直径1
mmから2mmであるが、100μmの細孔直径をもつ
フィルターではこの気泡が通過することを本発明者らは
見出した。またフィルターは気泡を除去するためのもの
であって、上記細孔直径の機能を有するものであれば何
でも用いることができる。但し、ペーパー型のフィルタ
ーの場合、例えば濾紙などは気泡がフィルター細孔を通
り抜けることがあるため、少なくともペーパー型を2か
ら3枚以上重ねたもの、もしくはカートリッジ型または
ディスポーサブル型のフィルター部分が積層されたフィ
ルターを用いることが好ましい。また細孔直径が電解液
中の粒子直径よりも小さいと、気泡は捕らえることはで
きるが、同時に電解液中の分散粒子も一緒に除去してし
まうため、電解液の組成の変化およびフィルターが短時
間で詰まるという問題が生じる。使用する電解液によっ
て分散粒子直径は異なるが一般的に200nmから50
0nmの粒子直径の分散液を使用するため、これらの粒
子直径よりも大きい粒子直径除去能力を持つフィルター
を使用することが望ましい。
That is, by using the filter having the pore diameter shown in e), there is an effect that fine bubbles existing in the electrolyte passing through the filter are trapped and removed from the electrolyte. Bubble that causes spots and defects has a diameter of 1
The present inventors have found that these bubbles pass through a filter having a pore diameter of from 100 mm to 2 mm. The filter is for removing air bubbles, and any filter having the function of the pore diameter can be used. However, in the case of a paper-type filter, for example, filter paper or the like is formed by laminating at least two or three paper-type filters or a cartridge-type or disposable-type filter portion because bubbles may pass through the filter pores. It is preferable to use a filter. If the pore diameter is smaller than the particle diameter in the electrolytic solution, bubbles can be trapped, but the dispersed particles in the electrolytic solution are also removed at the same time. The problem of clogging in time arises. The diameter of the dispersed particles varies depending on the electrolytic solution used, but generally ranges from 200 nm to 50 nm.
In order to use a dispersion having a particle diameter of 0 nm, it is desirable to use a filter having a particle diameter removing ability larger than these particle diameters.

【0014】さらにf)の電解槽直前に該フィルターを
形成することにより、ポンプ、フィルター、さらにそれ
らをつなぐ配管内にすでに存在する気泡、もしくは配管
等の接続部から混入する空気を除去する効果を有する。
これにより電解液のみが電解槽に循環される。
Further, by forming the filter immediately before the electrolytic cell of f), the effect of removing air bubbles existing in the pump, the filter, and the pipes connecting them, or the air mixed in from the connection portion of the pipe or the like can be obtained. Have.
Thereby, only the electrolytic solution is circulated to the electrolytic cell.

【0015】さらに該電解液に、水溶性もしくは水に難
溶性の顔料粒子と疎水性表面を有する透明導電粒子を、
レドックス反応を有する界面活性剤及び支持塩を基本成
分とした該顔料粒子と該透明導電粒子を該界面活性剤で
取り囲んだ顔料のミセルコロイド水溶液を用いることを
特徴とする。
Further, water-soluble or poorly water-soluble pigment particles and transparent conductive particles having a hydrophobic surface are added to the electrolyte solution.
It is characterized by using a micelle colloid aqueous solution of a pigment in which the pigment particles containing a surfactant having a redox reaction and a supporting salt as basic components and the transparent conductive particles are surrounded by the surfactant.

【0016】本発明者らは、上記構造のリザーブタン
ク、およびフィルターを使用することを発明し、電解槽
内への気泡の混入を抑え、さらに泡の基板への付着を抑
えることに成功した。
The present inventors have invented the use of the reserve tank and the filter having the above structures, and have succeeded in suppressing the entry of bubbles into the electrolytic cell and further suppressing the adhesion of bubbles to the substrate.

【0017】[0017]

【発明の実施の形態】以下、実施例を用いて本発明を詳
細に説明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described in detail using embodiments.

【0018】(実施例1)赤色顔料粒子(ジスアントラ
キノニルレッド: 粒子径1000オングストロー
ム)、同じく黄色顔料粒子(ジスアゾイエローHR:
粒子径3000オングストローム)及び導電性粒子とし
てITO(Indium Tin Oxide)を用い
て、以下の組成の赤顔料コロイド水溶液を調製した。な
お、顔料粒子は大日精化製を用いた。
(Example 1) Red pigment particles (Disuanthraquinonyl Red: particle diameter 1000 Å) and yellow pigment particles (Disazo Yellow HR:
A red pigment colloid aqueous solution having the following composition was prepared by using ITO (Indium Tin Oxide) as the conductive particles and a particle diameter of 3000 Å. The pigment particles used were manufactured by Dainichi Seika.

【0019】 ジアントラキノニルレッド 8.0g/l ジスアゾイエローHR 1.6g/l フェロセニルPEG 3.4g/l(※界面活性剤) LiBr(支持塩) 10.5g/l 疎水化処理ITO粒子 18.0g/l 上記の顔料コロイド水溶液を超音波分散装置により、9
0分間超音波分散した後、半日放置した。この上澄み液
を採取し顔料ミセルコロイド水溶液とした。
18. Dianthraquinonyl Red 8.0 g / l Disazo Yellow HR 1.6 g / l Ferrocenyl PEG 3.4 g / l (* surfactant) LiBr (supporting salt) 10.5 g / l Hydrophobized ITO particles 18. 0 g / l The above aqueous pigment colloid solution was dispersed in an ultrasonic
After ultrasonic dispersion for 0 minutes, the mixture was left for half a day. The supernatant was collected as a pigment micelle colloid aqueous solution.

【0020】図1は実施例1における本発明の電解処理
装置の構造を示す。オーバーフロー構造をもった電解槽
11、リザーブタンク12、ポンプ13、フィルター1
4から成る循環機能をもつ。ここでリザーブタンク内部
電解液入口側と出口側との間に、仕切り板15を上下互
い違いに1組形成した。仕切り板同士の重なりは20c
mとし、電解液入口側は液面より5cm下側に形成し、
電解液出口側はリザーブタンク底面に形成した。さらに
下側仕切り板と上側仕切り板との間を1mmの隙間をも
つメッシュ16で覆った。さらに細孔直径が80μmの
フィルター14を使用し、電解槽11の直前に形成し
た。そしてポンプ13を用い、液流量8〜10L/mi
nで2分間液循環を行った。その後、電解槽内の泡の発
生状況を比較した。その特性データを表1に示す。
FIG. 1 shows the structure of the electrolytic processing apparatus of the present invention in the first embodiment. Electrolysis tank 11, reserve tank 12, pump 13, filter 1 with overflow structure
4 has a circulation function. Here, one set of partition plates 15 was formed alternately between the inlet and outlet sides of the electrolyte inside the reserve tank. The overlap between the partitions is 20c
m, the electrolyte inlet side is formed 5 cm below the liquid level,
The electrolyte outlet side was formed on the bottom of the reserve tank. Further, the space between the lower partition plate and the upper partition plate was covered with a mesh 16 having a gap of 1 mm. Further, a filter 14 having a pore diameter of 80 μm was used, and was formed immediately before the electrolytic cell 11. Then, using the pump 13, the liquid flow rate is 8 to 10 L / mi.
The liquid was circulated for 2 minutes at n. Thereafter, the generation of bubbles in the electrolytic cell was compared. Table 1 shows the characteristic data.

【0021】[0021]

【表1】 [Table 1]

【0022】表1からわかるように、本発明の条件を用
いて電解液を循環した場合、リザーブタンク内での気泡
の発生を押さえ、さらにフィルター部分において電解液
中にすでに存在する気泡を捕らえるため、電解槽中での
1mmから2mm程度の泡の発生が無かった。
As can be seen from Table 1, when the electrolyte is circulated using the conditions of the present invention, the generation of bubbles in the reserve tank is suppressed, and the bubbles existing in the electrolyte are trapped in the filter portion. No bubbles of about 1 to 2 mm were generated in the electrolytic cell.

【0023】さらに、このミセル水溶液中に、アノード
として前記電極パターンをもったガラス基板(30×4
0cm)と、カソード側にチタン板に白金をメッキした
基板を浸漬させ、+0.6Vの定電位で15分間電解を
行った。この結果、ITO電極上に赤色の顔料膜が形成
された。この基板を水洗後、180℃で30分間焼成し
た。赤色顔料膜厚を測定したところ、電極周辺部と中心
部の膜厚差は無く、基板面内の膜厚均一で1.05ミク
ロンであった。さらに外観をスポットライトで観察し
た。その特性データについても表1に示す。表1から、
本発明の条件を用いて循環した電解液を用いて薄膜を形
成した場合、シミの無い均一な膜面となった。よって、
本発明の条件により良好な結果が得られた。
Further, a glass substrate (30 × 4) having the above-mentioned electrode pattern as an anode was placed in the aqueous micelle solution.
0 cm), a substrate obtained by plating platinum on a titanium plate was immersed on the cathode side, and electrolysis was performed at a constant potential of +0.6 V for 15 minutes. As a result, a red pigment film was formed on the ITO electrode. This substrate was washed with water and baked at 180 ° C. for 30 minutes. When the red pigment film thickness was measured, there was no difference in film thickness between the electrode peripheral portion and the central portion, and the film thickness was uniform on the substrate surface and was 1.05 μm. Further, the appearance was observed with a spotlight. Table 1 also shows the characteristic data. From Table 1,
When a thin film was formed using the electrolyte circulated under the conditions of the present invention, a uniform film surface without stains was obtained. Therefore,
Good results were obtained under the conditions of the present invention.

【0024】(実施例2)青色顔料粒子(フタロシアニ
ンブルーR: 粒子径2000オングストローム)、同
じく紫色顔料粒子(ジオキサンバイオレット: 粒子径
600オングストローム)及び導電性粒子としてITO
を用いて、以下の組成の青顔料コロイド水溶液を調製し
た。なお、顔料粒子は大日精化製を用いた。 フタロシアニンブルーR 5.2g/l ジオキサンバイオレット 0.9g/l フェロセニルPEG 3.7g/l LiBr(支持塩) 10.5g/l 疎水化処理ITO粒子 18.0g/l 上記の顔料コロイド水溶液を超音波分散装置により、9
0分間超音波分散した。ここでリザーブタンク内部は実
施例1と同様の構造を用い、さらに細孔直径が1μmの
フィルター14を使用し、電解槽11の直前に形成し
た。そしてポンプ13を用い、液流量8〜10L/mi
nで2分間液循環を行い、泡の発生の状況を比較したと
ころ、表1からわかるように、本発明の条件を用いて電
解液を循環した場合、リザーブタンク内での気泡の発生
を押さえ、さらにフィルター部分において電解液中に存
在する気泡を捕らえるため、電解槽中での1mmから2
mm程度の泡の発生が無かった。さらに、このミセル水
溶液を用いて、実施例1と同様の方法で前記電極パター
ンをもったガラス基板(30×40cm)のITO電極
上に青色の顔料膜を形成し水洗後、180℃で30分間
焼成した。さらに外観をスポットライトで観察した。そ
の特性データについても表1に示す。本発明の条件を用
いて循環した電解液を用いて薄膜を形成した場合、シミ
の無い均一な膜面となった。よって、本発明の条件によ
り良好な結果が得られた。
(Example 2) Blue pigment particles (phthalocyanine blue R: particle diameter 2000 Å), purple pigment particles (dioxane violet: particle diameter 600 Å) and ITO as conductive particles
Was used to prepare a blue pigment colloid aqueous solution having the following composition. The pigment particles used were manufactured by Dainichi Seika. Phthalocyanine blue R 5.2 g / l Dioxane violet 0.9 g / l Ferrocenyl PEG 3.7 g / l LiBr (supporting salt) 10.5 g / l Hydrophobized ITO particles 18.0 g / l 9
Ultrasonic dispersion was performed for 0 minutes. Here, the inside of the reserve tank was formed immediately before the electrolytic cell 11 using the same structure as in Example 1 and using a filter 14 having a pore diameter of 1 μm. Then, using the pump 13, the liquid flow rate is 8 to 10 L / mi.
When the electrolyte was circulated using the conditions of the present invention, as shown in Table 1, the generation of bubbles was suppressed when the electrolyte was circulated using the conditions of the present invention. In order to capture air bubbles existing in the electrolytic solution at the filter portion, the pressure in the electrolytic cell is reduced from 1 mm to 2 mm.
There was no generation of bubbles of about mm. Furthermore, using this micelle aqueous solution, a blue pigment film was formed on an ITO electrode of a glass substrate (30 × 40 cm) having the electrode pattern in the same manner as in Example 1, washed with water, and then at 180 ° C. for 30 minutes. Fired. Further, the appearance was observed with a spotlight. Table 1 also shows the characteristic data. When a thin film was formed using the electrolyte circulated under the conditions of the present invention, a uniform film surface without stains was obtained. Therefore, good results were obtained under the conditions of the present invention.

【0025】(比較例1)実施例1と同様の顔料、IT
Oを使用し、同条件で作製したミセル水溶液を用いて、
リザーブタンク内部電解液入口側と出口側との間に仕切
り板およびメッシュは形成せず、液入口側は液面より上
側に形成し、電解液出口側は液界面に形成した。さらに
細孔直径が100μmのフィルター14を使用し電解槽
11の直前に形成した。そしてポンプ13を用い、液流
量8〜10L/minで2分間液循環を行い、泡の発生
の状況を比較したところ、表1からわかるように前記条
件を用いて電解液を循環した場合、リザーブタンク部分
で多量に気泡が発生し、さらにフィルター部分において
電解液中に存在する気泡を捕らえられず、電解槽中で1
mmから2mm程度の泡が多数発生した。さらに、この
ミセル水溶液を用いて、実施例1と同様の方法で前記電
極パターンをもったガラス基板(30×40cm)のI
TO電極上に赤色の顔料膜を形成し水洗後、180℃で
30分間焼成した。さらに外観をスポットライトで観察
した。その特性データについても表1に示す。前記条件
にて循環した電解液を用いて薄膜を形成した場合、成膜
した基板を電解槽から取り出す際に気泡が基板表面に泡
として付着し流れ落ちるのが確認され、この部分がシミ
として膜面内に確認された。さらに気泡が付着した部分
が点欠陥として多量に発生した。これは液晶パネルにし
た場合、気泡が付着した部分はパネルを点灯した際に点
欠陥になる。
(Comparative Example 1) Pigment similar to that of Example 1, IT
Using O, using the micelle aqueous solution prepared under the same conditions,
No partition plate and no mesh were formed between the electrolyte inlet and the outlet inside the reserve tank, the liquid inlet was formed above the liquid surface, and the electrolyte outlet was formed at the liquid interface. Further, the filter was formed immediately before the electrolytic cell 11 using a filter 14 having a pore diameter of 100 μm. The liquid was circulated at a liquid flow rate of 8 to 10 L / min for 2 minutes using the pump 13, and the state of foam generation was compared. As can be seen from Table 1, when the electrolyte was circulated using the above conditions, the reserve was A large amount of air bubbles were generated in the tank portion, and air bubbles existing in the electrolytic solution were not caught in the filter portion.
Many bubbles of about 2 mm to 2 mm were generated. Further, using this micelle aqueous solution, the same method as in Example 1 was applied to a glass substrate (30 × 40 cm) having the electrode pattern.
A red pigment film was formed on the TO electrode, washed with water, and baked at 180 ° C. for 30 minutes. Further, the appearance was observed with a spotlight. Table 1 also shows the characteristic data. When a thin film is formed using the electrolyte circulated under the above conditions, when the formed substrate is taken out of the electrolytic bath, it is confirmed that bubbles adhere to the substrate surface as bubbles and flow down, and this portion is stained as a film surface. Was confirmed within. In addition, a large amount of points to which bubbles adhered were generated as point defects. In the case of a liquid crystal panel, a portion where air bubbles adhere becomes a point defect when the panel is turned on.

【0026】(比較例2)実施例2と同様の顔料、IT
Oを使用し、同条件で作製したミセル水溶液を用いた。
ここでリザーブタンク内部電解液入口側と出口側との間
に仕切り板およびメッシュは形成せず、液入口側は液面
より上側に形成し、電解液出口側は液界面に形成した。
さらに細孔直径が80μmのフィルターを使用し、フィ
ルター14をリザーブタンク12とポンプ13の中間に
形成した。そしてポンプ13を用い、液流量8〜10L
/minで2分間液循環を行い、泡の発生の状況を比較
したところ、表1からわかるように前記条件を用いて電
解液を循環した場合、フィルター部分においては電解液
中に存在する気泡は捕らえられるが、フィルター部分か
ら電解槽に至るまでの間でさらに気泡が存在するため、
電解槽中には1mmから2mm程度の泡が若干発生し
た。さらに、このミセル水溶液を用いて、実施例2と同
様の方法で前記電極パターンをもったガラス基板(30
×40cm)のITO電極上に青色の顔料膜を形成し水
洗後、180℃で30分間焼成した。さらに外観をスポ
ットライトで観察した。その特性データについても表1
に示す。前記条件にて循環した電解液を用いて薄膜を形
成した場合、成膜した基板を電解槽から取り出す際に気
泡が基板表面に泡として付着し流れ落ちるのが確認さ
れ、この部分がシミとして膜面内に確認された。さらに
気泡が付着した部分が点欠陥として若干発生した。これ
は液晶パネルにした場合、気泡が付着した部分はパネル
を点灯した際に点欠陥になる。
(Comparative Example 2) Pigment similar to that of Example 2, IT
Using O, a micelle aqueous solution prepared under the same conditions was used.
Here, a partition plate and a mesh were not formed between the inlet side and the outlet side of the electrolyte inside the reserve tank, the liquid inlet side was formed above the liquid surface, and the electrolyte outlet side was formed at the liquid interface.
Further, a filter having a pore diameter of 80 μm was used, and the filter 14 was formed between the reserve tank 12 and the pump 13. Then, using the pump 13, the liquid flow rate is 8 to 10L.
The liquid was circulated at a rate of / min for 2 minutes, and the state of generation of bubbles was compared. As can be seen from Table 1, when the electrolyte was circulated using the above conditions, bubbles existing in the electrolyte in the filter portion were Although it is caught, since there are more air bubbles from the filter part to the electrolytic cell,
Some bubbles of about 1 mm to 2 mm were generated in the electrolytic cell. Further, using this micelle aqueous solution, a glass substrate (30
A blue pigment film was formed on an ITO electrode of (× 40 cm), washed with water, and baked at 180 ° C. for 30 minutes. Further, the appearance was observed with a spotlight. Table 1 also shows the characteristic data.
Shown in When a thin film is formed using the electrolyte circulated under the above conditions, when the formed substrate is taken out of the electrolytic bath, it is confirmed that bubbles adhere to the substrate surface as bubbles and flow down, and this portion is stained as a film surface. Was confirmed within. Further, a portion to which air bubbles adhered slightly occurred as a point defect. In the case of a liquid crystal panel, a portion where air bubbles adhere becomes a point defect when the panel is turned on.

【0027】(比較例3)実施例1と同様の顔料、IT
Oを使用し、同条件で作製したミセル水溶液を用いた。
ここでリザーブタンク内部は実施例1と同様の構造を用
い、さらに細孔直径が0.25μmのフィルターを使用
し、フィルター14を電解槽11の直前に形成した。そ
してポンプ13を用い、液流量8〜10L/minで2
分間液循環を行い、泡の発生の状況を比較したところ、
表1からわかるように、フィルターが循環を始めてから
すぐに詰まり循環ができなくなった。これはフィルター
部分においては電解液中に存在する気泡を捕らえるが、
同時に電解液中の分散粒子も一緒に除去してしまうため
である。この電解液の分散粒子直径を測定したところ平
均で350nmであった。
Comparative Example 3 Pigment similar to that of Example 1, IT
Using O, a micelle aqueous solution prepared under the same conditions was used.
Here, the inside of the reserve tank had the same structure as that of Example 1, and a filter having a pore diameter of 0.25 μm was used. The filter 14 was formed immediately before the electrolytic cell 11. Then, using the pump 13, the liquid flow rate of 8 to 10 L / min
After performing liquid circulation for a minute and comparing the situation of foam generation,
As can be seen from Table 1, the filter clogged immediately after the circulation started and could not be circulated. This catches bubbles existing in the electrolyte in the filter part,
At the same time, the dispersed particles in the electrolytic solution are also removed. The dispersed particle diameter of this electrolyte was measured to be 350 nm on average.

【0028】(比較例4)実施例1と同様の顔料、IT
Oを使用し、同条件で作製したミセル水溶液を用いた。
ここでリザーブタンク内部電解液入口側と出口側との間
に、仕切り板15を下側のみ1枚のみ形成した。仕切り
板の長さは20cmとし、電解液入口側は液面より5c
m下側に形成し、電解液出口側はリザーブタンク底面に
形成した。さらに下側仕切り板と上側仕切り板との間を
1mmの隙間をもつメッシュ16で覆った。さらに細孔
直径が100μmのフィルターを使用し、フィルター1
4を電解槽11の直前に形成した。そしてポンプ13を
用い、液流量8〜10L/minで2分間液循環を行
い、泡の発生の状況を比較したところ、表1からわかる
ように、前記条件を用いて電解液を循環した場合、リザ
ーブタンク部分で発生した気泡がリザーブタンク内で除
去しきれず、さらにフィルター部分において電解液中に
存在する気泡を捕らえられず、電解槽中で1mmから2
mm程度の泡が若干発生した。さらに、このミセル水溶
液を用いて、実施例1と同様の方法で前記電極パターン
をもったガラス基板(30×40cm)のITO電極上
に赤色の顔料膜を形成し水洗後、180℃で30分間焼
成した。さらに外観をスポットライトで観察した。その
特性データについても表1に示す。前記条件にて循環し
た電解液を用いて薄膜を形成した場合、成膜した基板を
電解槽から取り出す際に気泡が基板表面に泡として付着
し流れ落ちるのが確認され、この部分がシミとして膜面
内に確認された。さらに気泡が付着した部分が点欠陥と
して多量に発生した。これは液晶パネルにした場合、気
泡が付着した部分はパネルを点灯した際に点欠陥にな
る。
(Comparative Example 4) Pigment, IT similar to that of Example 1
Using O, a micelle aqueous solution prepared under the same conditions was used.
Here, only one partition plate 15 was formed between the electrolyte inlet and the outlet inside the reserve tank. The length of the partition plate is 20 cm, and the electrolyte inlet side is 5c from the liquid level.
m, and the electrolyte outlet side was formed on the bottom of the reserve tank. Further, the space between the lower partition plate and the upper partition plate was covered with a mesh 16 having a gap of 1 mm. Further, a filter having a pore diameter of 100 μm was used.
4 was formed immediately before the electrolytic cell 11. Then, using the pump 13, the liquid was circulated at a liquid flow rate of 8 to 10 L / min for 2 minutes, and the state of generation of bubbles was compared. As can be seen from Table 1, when the electrolyte was circulated using the above conditions, Air bubbles generated in the reserve tank cannot be completely removed in the reserve tank, and air bubbles existing in the electrolyte cannot be caught in the filter part.
Some bubbles of about mm were generated. Further, using this micelle aqueous solution, a red pigment film was formed on an ITO electrode of a glass substrate (30 × 40 cm) having the electrode pattern in the same manner as in Example 1, washed with water, and then at 180 ° C. for 30 minutes. Fired. Further, the appearance was observed with a spotlight. Table 1 also shows the characteristic data. When a thin film is formed using the electrolyte circulated under the above conditions, when the formed substrate is taken out of the electrolytic bath, it is confirmed that bubbles adhere to the substrate surface as bubbles and flow down, and this portion is stained as a film surface. Was confirmed within. In addition, a large amount of points to which bubbles adhered were generated as point defects. In the case of a liquid crystal panel, a portion where air bubbles adhere becomes a point defect when the panel is turned on.

【0029】(比較例5)実施例1と同様の顔料、IT
Oを使用し、同条件で作製したミセル水溶液を用いた。
ここでリザーブタンク内部は実施例1と同様の構造を用
い、さらに細孔直径が100μmのフィルターを使用
し、フィルター14を電解槽11の直前に形成した。そ
してポンプ13を用い、液流量8〜10L/minで2
分間液循環を行い、泡の発生の状況を比較したところ、
表1からわかるように、前記条件を用いて電解液を循環
した場合、リザーブタンク部分で発生した気泡はリザー
ブタンク内で除去されるが、ポンプおよび配管中に存在
する気泡がフィルター部分において捕らえられず、循環
初期のみ電解槽中で1mmから2mm程度の泡が若干発
生した。さらに、このミセル水溶液を用いて、実施例1
と同様の方法で前記電極パターンをもったガラス基板
(30×40cm)のITO電極上に赤色の顔料膜を形
成し水洗後、180℃で30分間焼成した。さらに外観
をスポットライトで観察した。その特性データについて
も表1に示す。前記条件にて循環した電解液を用いて薄
膜を形成した場合、循環初期に成膜した基板のみ電解槽
から取り出す際に気泡が基板表面に泡として付着し流れ
落ちるのが確認され、この部分がシミとして膜面内に確
認された。さらに気泡が付着した部分が点欠陥として多
量に発生した。これは液晶パネルにした場合、気泡が付
着した部分はパネルを点灯した際に点欠陥になる。
(Comparative Example 5) Pigment, IT similar to that of Example 1
Using O, a micelle aqueous solution prepared under the same conditions was used.
Here, the inside of the reserve tank had the same structure as that of Example 1, and a filter having a pore diameter of 100 μm was used. The filter 14 was formed immediately before the electrolytic cell 11. Then, using the pump 13, the liquid flow rate of 8 to 10 L / min
After performing liquid circulation for a minute and comparing the situation of foam generation,
As can be seen from Table 1, when the electrolyte is circulated using the above conditions, bubbles generated in the reserve tank are removed in the reserve tank, but bubbles present in the pump and the piping are caught in the filter. However, bubbles of about 1 mm to 2 mm were slightly generated in the electrolytic cell only at the beginning of circulation. Further, Example 1 was carried out using this micelle aqueous solution.
A red pigment film was formed on the ITO electrode of the glass substrate (30 × 40 cm) having the electrode pattern in the same manner as described above, washed with water and baked at 180 ° C. for 30 minutes. Further, the appearance was observed with a spotlight. Table 1 also shows the characteristic data. When a thin film is formed using the electrolyte circulated under the above conditions, it is confirmed that when only the substrate formed at the beginning of the circulation is taken out of the electrolytic bath, bubbles adhere to the substrate surface as bubbles and flow down. As in the film surface. In addition, a large amount of points to which bubbles adhered were generated as point defects. In the case of a liquid crystal panel, a portion where air bubbles adhere becomes a point defect when the panel is turned on.

【0030】(実施例3)30cm角のガラス基板2枚
を用意し、それぞれ透明電極として用いるITOをスパ
ッタリングにより形成し、さらにフォトリソグラフィー
法により、カラーフィルタ用基板としては0.08mm
幅、0.1ミクロンピッチで640本×3=1920
本、対向電極としてはカラーフィルタの電極に直交する
向きに0.28mm幅、0.3mmピッチで480本か
らなるストライプパターンに加工した。パターン端部
は、後工程で液晶駆動用ICが実装できるように所定の
形状にパターングした。最初に、カラーフィルタ側(パ
ターン数1920本)の透明電極間に、ブラックマトリ
ックス層を0.2mm幅、膜厚が0.8〜1.0μmに
なるようにフォトリソグラフィー法で形成する。そし
て、実施例1及び実施例2で用いた顔料、組成および装
置を用いて、電気化学的方法により所定のITO透明電
極上に導電性の色素層をB,G,Rの順にそれぞれ、
0.7〜0.9μm、0.8〜1.0μm、0.8〜
1.0μmになるように形成した。ここで、電気化学的
方法とは、水に不溶性もしくは難溶性の顔料粒子(R:
ジアントラキノニルレッド、G:フタロシアニングリー
ン、B:フタロシアニンブルー、Y:ジスアゾイエロ
ー、V:ジオキサジンバイオレット)および疎水化した
ITO粒子、さらに電解により荷電する界面活性剤(フ
ェロセンPEG)および支持電解質(臭化リチウム)を
基本成分とし、顔料粒子およびITO粒子を界面活性剤
で取り囲んだ顔料およびITOのミセルコロイド水溶液
を調製し、このミセルを電解(0.4〜1.0V)によ
り破壊し、透明電極上に顔料粒子およびITO粒子を析
出させ、導電性顔料薄膜を形成するものである。
Example 3 Two glass substrates of 30 cm square were prepared, ITO used as a transparent electrode was formed by sputtering, and a substrate for a color filter was formed by photolithography at 0.08 mm.
640 lines with width of 0.1 micron and 3 = 1920
The counter electrode was processed into a stripe pattern composed of 480 stripes at a width of 0.28 mm and a pitch of 0.3 mm in a direction perpendicular to the electrodes of the color filter. The pattern end was patterned into a predetermined shape so that a liquid crystal driving IC could be mounted in a later step. First, a black matrix layer is formed between the transparent electrodes on the color filter side (1920 patterns) by photolithography so as to have a width of 0.2 mm and a thickness of 0.8 to 1.0 μm. Then, using the pigment, composition and apparatus used in Example 1 and Example 2, a conductive dye layer was formed on a predetermined ITO transparent electrode in the order of B, G, and R by an electrochemical method.
0.7-0.9 μm, 0.8-1.0 μm, 0.8-
It was formed to have a thickness of 1.0 μm. Here, the electrochemical method means pigment particles (R: insoluble or hardly soluble in water).
Dianthraquinonyl red, G: phthalocyanine green, B: phthalocyanine blue, Y: disazo yellow, V: dioxazine violet) and hydrophobicized ITO particles, a surfactant (ferrocene PEG) charged by electrolysis and a supporting electrolyte (odor) A pigment and ITO particles are surrounded by a surfactant, and a micelle colloid aqueous solution of the ITO and the ITO is prepared. The micelles are destroyed by electrolysis (0.4 to 1.0 V), and the transparent electrode Pigment particles and ITO particles are deposited thereon to form a conductive pigment thin film.

【0031】3色を形成した後、180℃、30分焼成
する。その後、0.2μmの平坦化膜を塗布し、再び1
80℃、1時間の焼成を行い、導電性の色素層とブラッ
クマトリックス層の膜厚差が、最大0.2μm程度の導
電性ミセルカラーフィルタを作製した。
After forming the three colors, baking is performed at 180 ° C. for 30 minutes. Thereafter, a flattening film of 0.2 μm is applied, and
By baking at 80 ° C. for 1 hour, a conductive micelle color filter having a maximum thickness difference of about 0.2 μm between the conductive dye layer and the black matrix layer was produced.

【0032】このカラーフィルタおよび対向基板を用い
て、所定の液晶パネル化工程を通すことにより、STN
カラー液晶パネルを作製した。1/240Duty駆動
し、パネルの表示ムラ及び欠陥を測定した結果、表2に
示すようにパネルを点灯した際の点欠陥およびシミは認
められなかった。
Using the color filter and the counter substrate, a predetermined liquid crystal panel forming process is performed to obtain the STN.
A color liquid crystal panel was manufactured. As a result of driving the panel at 1/240 Duty and measuring display unevenness and defects of the panel, no point defects or spots were found when the panel was turned on as shown in Table 2.

【0033】[0033]

【表2】 [Table 2]

【0034】(比較例6)比較例1及び比較例2の顔
料、組成および装置を用い作製した導電性ミセルカラー
フィルタ側基板を用い、実施例3と同条件でSTNカラ
ー液晶パネルを作製し、同条件で駆動した。その結果、
表2に示すようにパネルを点灯した際の点欠陥およびシ
ミ認められた。
(Comparative Example 6) An STN color liquid crystal panel was manufactured under the same conditions as in Example 3 using the conductive micelle color filter side substrate manufactured using the pigment, composition and apparatus of Comparative Example 1 and Comparative Example 2. Driven under the same conditions. as a result,
As shown in Table 2, point defects and spots were observed when the panel was turned on.

【0035】[0035]

【発明の効果】以上のように、本発明により、電解液を
循環させる際に電解液中に存在する気泡を無くし、これ
により作製されるカラーフィルタの薄膜中に発生するシ
ミおよび点欠陥を無くすことが可能であり、STN液晶
を用いた単純マトリックスカラーパネルにおいても点不
良およびシミの発生が無い高性能なカラーフィルタを製
造することが可能になった。また、同様の構造をもつ洗
浄装置、メッキ装置にも応用が可能である。
As described above, according to the present invention, the bubbles present in the electrolytic solution when the electrolytic solution is circulated are eliminated, and the stains and point defects generated in the thin film of the color filter produced thereby are eliminated. This makes it possible to manufacture a high-performance color filter free from spot defects and spots even in a simple matrix color panel using STN liquid crystal. Further, the present invention can be applied to a cleaning apparatus and a plating apparatus having the same structure.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の製造装置を説明するための図。FIG. 1 is a diagram for explaining a manufacturing apparatus of the present invention.

【図2】従来のカラーフィルタ製造装置を説明するため
の図。
FIG. 2 is a view for explaining a conventional color filter manufacturing apparatus.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11電解処理槽 12リザーブタンク 13循環ポンプ 14フィルター 15仕切り板 16メッシュ 17配管 18電解液 21電解処理槽 22リザーブタンク 23電解液 24循環ポンプ 25フィルター 26配管 27オーバーフロー用V字溝 28透明基板(カラーフィルター基板) 29対向電極 30直流電源 11 electrolytic treatment tank 12 reserve tank 13 circulation pump 14 filter 15 partition plate 16 mesh 17 pipe 18 electrolyte 18 electrolytic treatment tank 22 reserve tank 23 electrolyte 24 circulation pump 25 filter 26 pipe 27 overflow V-shaped groove 28 transparent substrate (color Filter substrate) 29 Counter electrode 30 DC power supply

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 界面活性剤を含有する電解液を用いる湿
式の成膜装置において、その構成が、オーバーフロー構
造をもった電解槽、リザーブタンク、ポンプ、フィルタ
ーから成る循環機能をもち、 a)該リザーブタンク内部の電解液入口側と出口側との
間が、少なくとも1組以上の上下互い違いの仕切り板に
より隔てられた構造である、 b)該下側仕切り板と該上側仕切り板との間が、少なく
とも1つ以上のメッシュで覆われた構造である、 c)該オーバーフロー槽と該リザーブタンクを結ぶ配管
の該リザーブタンク側配管口位置が少なくとも液中にあ
る、 d)該リザーブタンク出口側配管口位置がリザーブタン
ク底面にある、ことを特徴とするカラーフィルタの製造
装置。
1. A wet film forming apparatus using an electrolytic solution containing a surfactant, the constitution of which has a circulation function comprising an electrolytic cell having an overflow structure, a reserve tank, a pump and a filter; The electrolyte inlet and outlet sides inside the reserve tank are separated by at least one or more sets of vertically alternated partition plates. B) The lower partition plate and the upper partition plate are separated from each other. C) a structure that is covered with at least one or more meshes. C) a position of the reserve tank side pipe opening of a pipe connecting the overflow tank and the reserve tank is at least in the liquid. D) a pipe on the outlet side of the reserve tank. An apparatus for producing a color filter, characterized in that the mouth position is on the bottom of the reserve tank.
【請求項2】 該成膜装置において、 e)該フィルターの細孔直径が、使用する電解液中に分
散する粒子直径よりも大きく100μmより小さいフィ
ルターにより形成される、 f)該フィルターが少なくとも該電解槽の直前に形成さ
れる、ことを特徴とする請求項1記載のカラーフィルタ
の製造装置。
2. The film forming apparatus according to claim 1, wherein: e) the filter is formed by a filter having a pore diameter larger than the diameter of particles dispersed in an electrolyte used and smaller than 100 μm; The color filter manufacturing apparatus according to claim 1, wherein the apparatus is formed immediately before the electrolytic cell.
【請求項3】 該電解液に、水に不溶性もしくは難溶性
の顔料粒子と疎水性表面を有する透明導電粒子を、レド
ックス反応を有する界面活性剤及び支持塩を基本成分と
した該顔料粒子と該透明導電粒子を該界面活性剤で取り
囲んだ顔料のミセルコロイド水溶液を用いることを特徴
とする請求項1および請求項2記載のカラーフィルタの
製造装置。
3. An electrolytic solution comprising: pigment particles insoluble or hardly soluble in water; transparent conductive particles having a hydrophobic surface; and pigment particles containing a surfactant having a redox reaction and a supporting salt as basic components. 3. The color filter manufacturing apparatus according to claim 1, wherein an aqueous micelle colloid of a pigment in which transparent conductive particles are surrounded by the surfactant is used.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7364664B2 (en) 2001-07-25 2008-04-29 Sharp Kabushiki Kaisha Foreign matter removing mechanism, fluid flow processing equipment, and foreign matter removing method
US20220106701A1 (en) * 2020-10-01 2022-04-07 Ebara Corporation Air bubble removing method of plating apparatus and plating apparatus

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