JPH11248451A - Indoor positioning apparatus - Google Patents
Indoor positioning apparatusInfo
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- JPH11248451A JPH11248451A JP6211298A JP6211298A JPH11248451A JP H11248451 A JPH11248451 A JP H11248451A JP 6211298 A JP6211298 A JP 6211298A JP 6211298 A JP6211298 A JP 6211298A JP H11248451 A JPH11248451 A JP H11248451A
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- Pending
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- Optical Radar Systems And Details Thereof (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、ＩＣ製造用のクリ
ーンルーム内などで、風速計などを位置決めするための
屋内位置決め装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an indoor positioning device for positioning an anemometer or the like in a clean room for manufacturing ICs.
【０００２】[0002]
【従来の技術】半導体装置製造用のクリーンルームで
は、清浄な空気を吹き流すことによって室内を常に清浄
な状態に保っている。このようなクリーンルーム内で
は、空気の流れが正常に行われているかどうかを確認す
るために、室内の数十乃至数百にわたる測定対象箇所に
わたって超音波風速計を移動させながら、各箇所におけ
る三次元の微弱な風向・風速を測定している。特に、汚
染の発生源となる空気の滞留箇所ないしは吹き溜まりが
クリーンルーム内の何処にも存在しないことの確認が行
われる。この空気の滞留箇所は、極く小さなものでも見
落とすことが出来ないため、測定箇所の位置決めの分解
能と精度は極めて高い値が要求される。2. Description of the Related Art In a clean room for manufacturing semiconductor devices, clean air is constantly blown off to keep the room clean. In such a clean room, in order to check whether the air flow is normal or not, while moving the ultrasonic anemometer over several tens to hundreds of measurement target locations in the room, three-dimensional We measure the weak wind direction and speed. In particular, it is confirmed that there is no stagnation or stagnation of air that is a source of contamination anywhere in the clean room. Since the location where the air stays cannot be overlooked even if it is extremely small, extremely high values are required for the resolution and accuracy of the positioning of the measurement location.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】従来、上述のような風
速計をクリーンルーム内の数十乃至数百の測定対象箇所
のそれぞれに位置決めするために、巻尺などの計器を使
用して内壁面からの距離を測定していた。しかしなが
ら、この巻尺を使用する位置決め方法は、二人以上の作
業者が必要になるなど労力と時間がかかるという問題が
あった。Conventionally, in order to position the anemometer as described above at each of several tens to several hundreds of measurement object locations in a clean room, an anemometer such as a tape measure is used to measure the position from the inner wall surface. The distance was being measured. However, the positioning method using the tape measure has a problem that labor and time are required, such as requiring two or more operators.
【０００４】特に、クリーンルームの内壁面との距離は
この内壁面に下ろした垂線の長さとして計測されるが、
この内壁面に垂線を下ろす作業は、内壁面の一部を一辺
とする長方形を形成することにより行われる。しかしな
がら、この長方形を形成する作業は、クリーンルーム内
に各種のＩＣ処理装置を設置した後は、内壁面の多くが
設置済みのＩＣ処理装置によって隠されてしまうため適
用できず、作業が一層煩雑になると共に精度も低下する
という問題があった。従って、本発明の目的は、クリー
ンルーム内などの屋内で風速計などを容易かつ正確に位
置決めできる屋内位置決め装置を提供することにある。[0004] In particular, the distance to the inner wall surface of the clean room is measured as the length of a perpendicular line dropped on the inner wall surface.
The operation of lowering the perpendicular to the inner wall surface is performed by forming a rectangle having a part of the inner wall surface as one side. However, the work of forming this rectangle cannot be applied after the various IC processing devices are installed in the clean room because many of the inner wall surfaces are hidden by the installed IC processing devices, and the work becomes more complicated. As a result, there is a problem that the accuracy decreases. Therefore, an object of the present invention is to provide an indoor positioning device that can easily and accurately position an anemometer or the like indoors such as in a clean room.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】本発明の屋内位置決め装
置は、内壁面で囲まれた建物の内部の平面図を保持する
保持手段と、この内壁面のうち隣接する二つのものとの
距離を測定するレーザ式距離計と、この測定した二つの
内壁面との距離と前記保持中の内部の平面図とからこの
建物内の位置決めを行う処理手段とを備えている。SUMMARY OF THE INVENTION An indoor positioning device according to the present invention is provided with a holding means for holding a plan view of the inside of a building surrounded by an inner wall surface and a distance between two adjacent ones of the inner wall surfaces. It has a laser range finder to be measured, and processing means for positioning the inside of the building based on the measured distance between the two inner wall surfaces and the plan view of the inside while being held.
【０００６】[0006]
【発明の実施の形態】本発明の好適な実施の形態によれ
ば、上記レーザ式距離計は、内壁面との距離の測定に際
し、この内壁面に対して水平面内の適宜な角度範囲にわ
たってレーザビームを走査し、得られた最短の距離をこ
の内壁面との距離として検出する手段を備える。According to a preferred embodiment of the present invention, when measuring the distance to the inner wall surface, the laser range finder measures the laser over an appropriate angle range in a horizontal plane with respect to the inner wall surface. Means are provided for scanning the beam and detecting the obtained shortest distance as a distance from the inner wall surface.
【０００７】[0007]
【実施例】図１は本発明の一実施例の室内位置決め装置
の構成を示す機能ブロック図である。この室内位置決め
装置は、レーザ距離計１、距離表示パネル２、データ用
インターフェイス３、位置計算用パーソナルコンピュー
タ４、キーボード５及び表示パネル６を備え、超音波風
速計７と一体的に構成されている。位置計算用パーソナ
ルコンピュータ４は、位置計算手段４ａと室内平面図保
持メモリ４ｂとを備えている。FIG. 1 is a functional block diagram showing the configuration of an indoor positioning apparatus according to one embodiment of the present invention. This indoor positioning device includes a laser distance meter 1, a distance display panel 2, a data interface 3, a position calculation personal computer 4, a keyboard 5, and a display panel 6, and is integrally formed with an ultrasonic anemometer 7. . The position calculating personal computer 4 includes a position calculating means 4a and an indoor plan view holding memory 4b.
【０００８】パーソナルコンピュータの室内平面図保持
メモリ４ｂには、図中点線で囲んだ枠内に例示するよう
に、壁面Ａ乃至Ｄで囲まれたＩＣ製造用クリーンルーム
の室内平面図が、各壁面の長さを示す数値Ｘ1 ，Ｘ2 ，
Ｘ3 ，Ｙ1 ，Ｙ2 ，Ｙ3 の形式によって保持されてい
る。なお、このクリーンルームの隣接する壁面は、互い
に直交している。As shown in a frame surrounded by a dotted line in the figure, an indoor plan view of a clean room for manufacturing ICs surrounded by walls A to D is stored in the memory 4b for storing the floor plan of the personal computer. Numerical values X 1 , X 2 ,
It is held in the format of X 3 , Y 1 , Y 2 , Y 3 . Note that adjacent wall surfaces of the clean room are orthogonal to each other.
【０００９】図２を参照すれば、この室内位置決め装置
は、壁面の随所にＩＣ処理装置が配置されたクリーンル
ーム内において、風速を測定しようとする室内の各箇所
を位置決めする。レーザ距離計１が、作業者の操作によ
ってＩＣ処理装置で遮蔽されていない壁面に向けられ
る。このレーザ距離計は、パルス状のレーザビームを一
定の周期で壁面に向けて放射し、壁面で反射されて戻っ
て来たレーザビームを受光し、レーザビームの放射から
反射ビームの受光までの所要時間の半分の値を検出し、
これにレーザビームの伝播時間、すなわち光速を乗算す
ることにより、このレーザ距離計、すなわち位置決め装
置と壁面との距離を算定する。Referring to FIG. 2, this room positioning device positions each location in the room where the wind speed is to be measured in a clean room in which an IC processing device is arranged at various places on a wall surface. The laser range finder 1 is directed to a wall surface not shielded by the IC processing device by an operation of an operator. This laser range finder emits a pulsed laser beam toward the wall at a fixed period, receives the laser beam reflected back from the wall, and receives the laser beam from the emission of the laser beam to the reception of the reflected beam. Detect half the time value,
By multiplying this by the propagation time of the laser beam, that is, the speed of light, the distance between this laser range finder, that is, the positioning device and the wall surface is calculated.
【００１０】レーザ距離計の測定値は、距離表示パネル
２に表示されると共に、データ用インターフェイス３を
介してパーソナルコンピュータ４に転送される。この位
置決め装置の操作者は、ほぼ水平な面内においてレーザ
距離計の壁面に対する向きを予め定めた一定の角度θに
わたって変化させながら距離表示パネル２上に表示され
る最小の距離を検出する。この最小の距離が表示された
状態では、レーザビームの壁面との間の往復の伝播経路
が最短になり、その伝播経路が壁面に直角になってい
る。作業者は、キーボード５を操作することにより、こ
の最小の距離の取り込みをパーソナルコンピュータ４に
指令する。これと相い前後して、作業者は上記取り込み
データが壁面Ｂとの距離である旨の情報をキーボード５
からパーソナルコンピュータ４に入力する。The measured values of the laser range finder are displayed on the distance display panel 2 and transferred to the personal computer 4 via the data interface 3. The operator of the positioning device detects the minimum distance displayed on the distance display panel 2 while changing the direction of the laser rangefinder with respect to the wall surface in a substantially horizontal plane over a predetermined constant angle θ. In the state where the minimum distance is displayed, the reciprocating propagation path between the laser beam and the wall surface is the shortest, and the propagation path is perpendicular to the wall surface. The operator operates the keyboard 5 to instruct the personal computer 4 to capture the minimum distance. At about the same time, the operator inputs information indicating that the captured data is the distance to the wall B from the keyboard 5.
To the personal computer 4.
【００１１】操作者は、上記壁面との距離の測定を室内
の直交する二つの壁面に関して実行する。図２の例で
は、壁面Ｂとの距離Ｒｂと、壁面Ｃとの距離Ｒｃの測定
が行われる。この例では、互いに直交する壁面Ｃと壁面
Ｄとの交点に座標の原点０が設定され、壁面Ｃに沿って
Ｘ軸が設定されると共に、壁面Ｄに沿ってＹ軸が設定さ
れている。図２では、レーザ距離計の室内位置、従って
この室内位置決め装置の室内位置（Ｘ，Ｙ）は（Ｘ3 −
Ｒb ，Ｒc ）と決定される。[0011] The operator measures the distance to the wall surface with respect to two orthogonal wall surfaces in the room. In the example of FIG. 2, the distance Rb to the wall surface B and the distance Rc to the wall surface C are measured. In this example, the origin 0 of the coordinates is set at the intersection of the wall surface C and the wall surface D that are orthogonal to each other, the X axis is set along the wall C, and the Y axis is set along the wall D. In FIG. 2, the indoor position of the laser range finder, that is, the indoor position (X, Y) of the indoor positioning device is (X 3 −
R b , R c ).
【００１２】本実施例の位置決め装置は三脚上に取付け
られており、この三脚の頂部には超音波風速計７も取り
付けられている。このため、クリーンルーム内の位置決
めが終了すると直ちに超音波風速計７による風速の測定
が開始される。The positioning device of this embodiment is mounted on a tripod, and an ultrasonic anemometer 7 is also mounted on the top of the tripod. Therefore, immediately after the positioning in the clean room is completed, the measurement of the wind speed by the ultrasonic anemometer 7 is started.
【００１３】以上、隣接する内壁面が直交する場合を例
にとって本発明を説明した。しかしながら、本発明の位
置決め装置は室内平面図を保持しているため、隣接する
内壁面が直交しない複雑な構造の建物についてもそれぞ
れとの距離を測定することにより建物内の位置が決定で
きる。In the above, the present invention has been described with an example in which adjacent inner wall surfaces are orthogonal. However, since the positioning device of the present invention holds the indoor plan view, the position in the building can be determined by measuring the distance to each of the buildings having a complicated structure in which the adjacent inner wall surfaces are not orthogonal.
【００１４】また、超音波風速計と一体に構成する場合
を例にとって本発明の屋内位置決め装置の構成と動作を
説明した。しかしながら、この屋内位置決め装置を超音
波風速計などの関連の機器とは別個に、あるいは一部を
入替え可能に構成することもできる。The configuration and operation of the indoor positioning device of the present invention have been described by taking as an example the case where the device is integrated with an ultrasonic anemometer. However, the indoor positioning device may be configured so that it can be replaced separately from a related device such as an ultrasonic anemometer or a part thereof.
【００１５】さらに、クリーンルーム内における超音波
風速計の位置決めに利用する場合を例にとって本発明を
説明した。しかしながら、倉庫などの建物内を走行する
搬送装置や、コンクリート壁面で囲まれた屋根なしの集
積所や作業場内を自動走行する搬送装置の位置決めなど
に本発明を利用することができる。Further, the present invention has been described by taking as an example a case where the ultrasonic anemometer is used for positioning in a clean room. However, the present invention can be used for the positioning of a transport device that travels in a building such as a warehouse or a transport device that automatically travels in an accumulation place or a workplace without a roof surrounded by concrete wall surfaces.
【００１６】また、人手で操作する場合を例にとって本
発明の位置決め装置を説明した。しかしながら、遠隔操
縦や完全自動式で動作する作業用ロボットや搬送用ロボ
ットの位置決めや走行制御などに本発明を利用する場合
などは、本発明の屋内位置決め装置の動作も、これらの
ロボットと同様に遠隔操縦や完全自動式で行わせること
もできる。The positioning device according to the present invention has been described by taking as an example the case of manual operation. However, when the present invention is used for positioning or traveling control of a work robot or a transfer robot that operates remotely or in a fully automatic manner, the operation of the indoor positioning device of the present invention is similar to those of these robots. Remote control and fully automatic operation can also be performed.
【００１７】[0017]
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明の屋
内位置決め装置は、建物の内部の平面図を保持する保持
手段と、建物の直交する二つの内壁面との距離を測定す
るレーザ式距離計と、この測定した二つの内壁面との距
離と前記保持中の内部の平面図とからこの建物内の位置
決めを行う処理手段とを備える構成であるから、クリー
ンルーム内などの屋内で風速計などを容易かつ正確に位
置決めできるという利点がある。As described above in detail, the indoor positioning device of the present invention is a laser type device for measuring the distance between a holding means for holding a plan view of the inside of a building and two orthogonal inner wall surfaces of the building. Since the distance meter and the processing means for positioning the inside of the building from the measured distance between the two inner wall surfaces and the plan view of the inside while being held, the anemometer is used indoors such as in a clean room. There is an advantage that the position of the device can be easily and accurately positioned.
【００１８】本発明の屋内位置決め装置は、超音波や電
波の代わりに波長の短いレーザビームを使用する構成で
あるから、極めて高精度の位置決めが可能になり、クリ
ーンルーム内の空気の滞留箇所の有無を探索するための
超音波風速計の位置決めにおいて必要な高い分解能と精
度を実現できる。Since the indoor positioning device of the present invention uses a laser beam having a short wavelength instead of an ultrasonic wave or a radio wave, positioning can be performed with extremely high precision, and the presence or absence of a location where air stays in the clean room can be determined. The high resolution and accuracy required for positioning of the ultrasonic anemometer for searching for can be realized.
【００１９】また、本発明の好適な実施の形態によれ
ば、上記レーザ式距離計は、内壁面との距離の測定に際
し、この内壁面に対して水平面内の適宜な角度範囲にわ
たってレーザビームを走査し、得られた最短の距離をこ
の内壁面との距離として検出する手段を備えるから、内
壁面に対して容易かつ正確に垂線を下ろすことが可能に
なり、測定精度が向上する。Further, according to a preferred embodiment of the present invention, when measuring the distance to the inner wall surface, the laser distance meter applies a laser beam to the inner wall surface over an appropriate angle range in a horizontal plane. Since there is provided means for scanning and detecting the obtained shortest distance as a distance from the inner wall surface, it is possible to easily and accurately drop a perpendicular to the inner wall surface, thereby improving measurement accuracy.
【図１】本発明の一実施例の超音波風速計と一体化され
た屋内位置決め装置の構成を示す機能ブロック図であ
る。FIG. 1 is a functional block diagram showing a configuration of an indoor positioning device integrated with an ultrasonic anemometer according to one embodiment of the present invention.
【図２】上記実施例によれ位置決めの例を説明するため
の室内平面図である。FIG. 2 is a plan view of a room for explaining an example of positioning according to the embodiment.
１ レーザ距離計 ２ 距離表示パネル ４ 位置計算用パーソナルコンピュータ 4a 位置計算手段 4b 室内平面図保持メモリ ７ 超音波風速計 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Laser range finder 2 Distance display panel 4 Personal computer for position calculation 4a Position calculation means 4b Room top view holding memory 7 Ultrasonic anemometer
Claims (5)
持する保持手段と、 前記内壁面のうち隣接する二つのものとの距離を測定す
るレーザ距離計と、 この測定した二つの内壁面との距離と前記保持中の内部
の平面図とからこの建物内の位置決めを行う処理手段と
を備えたことを特徴とする屋内位置決め装置。1. A holding means for holding a plan view of the inside of a building surrounded by an inner wall surface; a laser distance meter for measuring a distance between two adjacent ones of the inner wall surfaces; An indoor positioning apparatus, comprising: a processing unit for positioning the inside of the building based on a distance from an inner wall surface and a plan view of the inside of the inside of the building.
し、この内壁面に対して水平面内の適宜な角度範囲にわ
たってレーザビームを走査し、得られた最短の距離をこ
の内壁面との距離として検出する手段を備えたことを特
徴とする屋内位置決め装置。2. The laser range finder according to claim 1, wherein the laser distance meter scans a laser beam over an appropriate angle range in a horizontal plane with respect to the inner wall surface when measuring the distance to the inner wall surface. Characterized in that it comprises means for detecting the distance from the inner wall surface as a distance from the inner wall surface.
り、前記各手段はこのクリーンルーム内の風速を測定す
る超音波風速計と一体に構成されたことを特徴とする屋
内位置決め装置。3. The apparatus according to claim 1, wherein the building is a clean room for manufacturing a semiconductor integrated circuit, and each of the means is integrally formed with an ultrasonic anemometer for measuring a wind speed in the clean room. Indoor positioning device.
に搭載されると共に、前記レーザ距離計による距離の測
定と前記処理手段による位置決めは遠隔制御により又は
自動的に行われることを特徴とする屋内位置決め装置。4. The apparatus according to claim 1, wherein each of the means is mounted on a vehicle which travels by remote control or automatically, and the distance measurement by the laser range finder and the positioning by the processing means are remote. An indoor positioning device characterized by being controlled or automatically.
持手段と、 前記壁面のうち隣接する二つのものとの距離を測定する
レーザ距離計と、 この測定した二つの壁面との距離と前記保持中の空間の
平面図とからこの空間内の位置決めを行う処理手段とを
備えたことを特徴とする空間内位置決め装置。5. A holding means for holding a plan view of a space surrounded by a wall surface, a laser distance meter for measuring a distance between two adjacent wall surfaces, and a distance between the measured two wall surfaces. And a processing means for performing positioning in the space based on the plan view of the space being held.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6211298A JPH11248451A (en) | 1998-02-26 | 1998-02-26 | Indoor positioning apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6211298A JPH11248451A (en) | 1998-02-26 | 1998-02-26 | Indoor positioning apparatus |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11248451A true JPH11248451A (en) | 1999-09-17 |
Family
ID=13190659
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6211298A Pending JPH11248451A (en) | 1998-02-26 | 1998-02-26 | Indoor positioning apparatus |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11248451A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2010032630A1 (en) * | 2008-09-18 | 2010-03-25 | 三菱重工業株式会社 | Method and device for identifying a position inside of a space |
| CN106969733A (en) * | 2016-05-20 | 2017-07-21 | 美国西北仪器公司 | The method and range unit positioned in object space to target object |
| JP2017181428A (en) * | 2016-03-31 | 2017-10-05 | 株式会社トプコン | Position acquisition method of surveying device and surveying device |
-
1998
- 1998-02-26 JP JP6211298A patent/JPH11248451A/en active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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