JPH1123470A - Icp analyzer - Google Patents

Icp analyzer

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Publication number
JPH1123470A
JPH1123470A JP17411397A JP17411397A JPH1123470A JP H1123470 A JPH1123470 A JP H1123470A JP 17411397 A JP17411397 A JP 17411397A JP 17411397 A JP17411397 A JP 17411397A JP H1123470 A JPH1123470 A JP H1123470A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sample
nebulizer
peristaltic pump
spray chamber
nebulizers
Prior art date
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Pending
Application number
JP17411397A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yuichiro Ikeda
雄一郎 池田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shimadzu Corp
Original Assignee
Shimadzu Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Shimadzu Corp filed Critical Shimadzu Corp
Priority to JP17411397A priority Critical patent/JPH1123470A/en
Publication of JPH1123470A publication Critical patent/JPH1123470A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an ICP analyzer in which pulsation can be suppressed in the liquid supply through a peristaltic pump. SOLUTION: A spray chamber 7 for supplying a sample aerosol to a plasma torch 8 is fixed with two nebulizers 5, 6 of same type at an equal distance to the plasma torch connection port of the spray chamber 7. Each nebulizer 5, 6 is connected with a peristaltic pump 3, 4 of the same type in order to supply a liquid sample 2 in a sample container 1 to each nebulizer 5, 6. When pulsation is detected in the emission intensity, a control means 10 shifts the rotation of one peristaltic pump to reduce fluctuation of air pressure in the spray chamber 7.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は,ICP(高周波誘
導結合プラズマ)発光分光分析装置およびICP−質量
分析装置(MS)に関する。
The present invention relates to an ICP (high frequency inductively coupled plasma) emission spectrometer and an ICP-mass spectrometer (MS).

【0002】[0002]

【従来技術】一般的なICP分析装置の試料導入装置で
はネブライザに試料を送り込む方法として,キャリアガ
スの負圧による吸い上げを利用しておこなわれるニュ−
マテイックネブライザが用いられる。しかし粘性の高い
試料では吸引力が弱く,吸い上げにくくなるが,キャリ
アガスの流量を多くすると,プラズマ炎が不安定になっ
たり,プラズマ温度が低くなって励起効率が悪くなるこ
とからキャリアガスの流量を多くすることはできない。
そのために導入の補助としてペリスタルポンプが用いら
れることがある。
2. Description of the Related Art In a sample introduction device of a general ICP analyzer, as a method of feeding a sample into a nebulizer, a new method is performed using suction of a carrier gas by negative pressure.
A matte nebulizer is used. However, a sample with high viscosity has a weak suction force and is difficult to suck up. However, if the flow rate of the carrier gas is increased, the plasma flame becomes unstable or the plasma temperature becomes low, resulting in poor excitation efficiency. Can not be more.
Peristaltic pumps may be used to assist with this.

【0003】図3は従来のペリスタルポンプを用いたI
CP分析装置であり,試料容器1中の液体試料2をペリ
スタルポンプ3によってネブライザ5に移送し,このネ
ブライザ5で液体試料2を霧化した後,スプレ−チェン
バ7を経由して三重管構造のプラズマト−チ8内に導入
して高周波コイル9による高周波磁界により霧化試料を
励起発光・イオン化させて分析を行う。
FIG. 3 shows a conventional I-type pump using a peristaltic pump.
This is a CP analyzer, in which a liquid sample 2 in a sample container 1 is transferred to a nebulizer 5 by a peristaltic pump 3, the liquid sample 2 is atomized by the nebulizer 5, and a triple tube structure is formed via a spray chamber 7. The sample is introduced into the plasma torch 8 and excited by the high-frequency magnetic field generated by the high-frequency coil 9 to emit and ionize the atomized sample for analysis.

【0004】前記のペリスタルポンプ3は,図4に示す
ように,ロ−タ11に取り付けられた複数個の圧送用ロ
−ラ12と押圧部材13との間で,可とう性のチュ−ブ
14を順次挟圧してぜん動式に液体試料2を圧送するも
のであるが,このようなペリスタルポンプ3を使用すれ
ば,ネブライザ5内の負圧によって試料容器1から液体
試料2を自然に吸い上げる場合に比べて,液体試料2の
液面高さや粘性に影響されることなく,時間平均的にみ
ると常に一定量の液体試料2をプラズマト−チ8に供給
していると考えられるが,ペリスタルポンプ3は上述の
ように複数個の圧送用ロ−ラ12によって,ぜん動式に
液体試料2を押し絞って圧送するものであるから,ネブ
ライザ5への送液量は時間平均的には一定でも短時間で
みれば送液量はロ−タ11の回転の周期性をもって変動
する。
As shown in FIG. 4, the peristaltic pump 3 comprises a flexible tube between a plurality of pressure-feeding rollers 12 mounted on a rotor 11 and a pressing member 13. The liquid sample 2 is pumped in a peristaltic manner by successively pressing the liquid sample 14. When such a peristaltic pump 3 is used, the liquid sample 2 is naturally drawn from the sample container 1 by the negative pressure in the nebulizer 5. In comparison with the above, it is considered that a constant amount of the liquid sample 2 is always supplied to the plasma torch 8 when viewed on a time average without being affected by the liquid level or viscosity of the liquid sample 2. As described above, the pump 3 is a pump for pumping the liquid sample 2 in a peristaltic manner by means of a plurality of pressure feeding rollers 12 so that the amount of liquid sent to the nebulizer 5 is constant even on a time average. In a short period of time, It varies with a periodicity of rotation of the motor 11.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】従来のICP分析用試
料導入装置は以上のように構成されているが,このよう
にペリスタルポンプによってネブライザへの送液量が一
定期間毎に周期性を有するので,これにともないスプレ
−チェンバ内の気圧が脈動し,その結果プラズマト−チ
における発光・イオン化強度にも揺らぎが生じ,特にス
プレ−チェンバ内のバッファが小さいものではこの影響
が顕著である。このため測定値にバラツキが生じて分析
精度が低下することや,測光する際の積分時間を長くと
る必要があるなどの問題があった。
The conventional sample introduction device for ICP analysis is constructed as described above. However, since the amount of liquid sent to the nebulizer by the peristaltic pump has a periodicity at regular intervals, it is difficult to achieve the above. As a result, the air pressure in the spray chamber pulsates, and as a result, the intensity of light emission and ionization in the plasma torch fluctuates. This effect is particularly remarkable when the buffer in the spray chamber is small. For this reason, there have been problems that the measured values vary and the analysis accuracy is reduced, and that it is necessary to increase the integration time for photometry.

【0006】本発明は,上述の点に鑑みてなされたもの
であって,ペリスタルポンプの移送動作に起因する脈動
の影響を無くして分析精度を向上させたICP分析用試
料導入装置を提供することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above points, and provides a sample introduction device for ICP analysis in which the accuracy of analysis is improved by eliminating the influence of pulsation caused by the transfer operation of a peristaltic pump. With the goal.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
め,本発明のICP分析装置は,スプレ−チェンバに複
数個のネブライザを配置し,各々のネブライザにそれぞ
れペリスタルポンプを接続したことを特徴とする。
In order to achieve the above object, the ICP analyzer of the present invention is characterized in that a plurality of nebulizers are arranged in a spray chamber, and a peristaltic pump is connected to each of the nebulizers. And

【0008】[0008]

【発明の実施の形態】以下,本発明の実施例を図1に基
づいて説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIG.

【0009】図1は本発明の実施に関わるICP分析装
置の試料導入装置の構成図であり上述の従来例に対応す
る部分には同一の参照符号を付す。
FIG. 1 is a block diagram of a sample introduction device of an ICP analyzer according to an embodiment of the present invention, and portions corresponding to the above-mentioned conventional example are denoted by the same reference numerals.

【0010】図1において,符号1は試料容器,2は液
体試料,3と4はペリスタルポンプ,5と6はネブライ
ザ,7はスプレ−チェンバ,8はプラズマト−チ,9は
高周波コイル,10は制御手段である。
In FIG. 1, reference numeral 1 is a sample container, 2 is a liquid sample, 3 and 4 are peristaltic pumps, 5 and 6 are nebulizers, 7 is a spray chamber, 8 is a plasma torch, 9 is a high-frequency coil, 10 Is control means.

【0011】この実施例ではペリスタルポンプによる脈
動の影響を無くして分析精度を高めるために,スプレ−
チェンバに取り付けられるネブライザを2個配置し,各
々にペリスタルポンプを接続するとともにペリスタルポ
ンプによる液体試料の送液動作の周期をずらす制御手段
を設けている。
In this embodiment, in order to eliminate the influence of the pulsation caused by the peristaltic pump and to improve the analysis accuracy, a spray is used.
Two nebulizers attached to the chamber are arranged, and a peristaltic pump is connected to each of the nebulizers, and a control means for shifting a period of a liquid sample sending operation by the peristaltic pump is provided.

【0012】すなわち,プラズマト−チ8に試料エアロ
ゾルを供給するスプレ−チェンバ7にはスプレ−チェン
バ7のプラズマト−チ接続口に対して等距離になるよう
に配置された2個の同型のネブライザ5および6が取り
付けられており,各々のネブライザ5および6にそれぞ
れ1個の同型のペリスタルポンプ3および4が接続され
ていて各々のペリスタルポンプ3および4は試料容器1
内の液体試料2を各々のネブライザ5および6に送液す
る。そして,制御手段10はペリスタルポンプ3または
4の回転周期を制御する。
That is, the spray chamber 7 for supplying the sample aerosol to the plasma torch 8 is provided with two identical-type spray chambers arranged at an equal distance from the plasma torch connection port of the spray chamber 7. Nebulizers 5 and 6 are attached, and one peristaltic pump 3 and 4 of the same type are connected to each of the nebulizers 5 and 6, respectively.
The liquid sample 2 inside is sent to each of the nebulizers 5 and 6. Then, the control means 10 controls the rotation cycle of the peristaltic pump 3 or 4.

【0013】上記構成において,分析時,2個のペリス
タルポンプ3および4が作動し,それぞれのネブライザ
5および6に液体試料2を圧送しており,この2系統の
試料送りはチュ−ブの長さの違いやポンプの始動位置の
違いによって制御を特に行わなくても液送による脈動の
位相は適当にずれていると考えられるが,しかしこれら
の動作は常に一定とは限らず変動しながら動作する。
In the above configuration, at the time of analysis, two peristaltic pumps 3 and 4 are operated to pump the liquid sample 2 to the nebulizers 5 and 6, respectively. It is considered that the phase of the pulsation due to liquid feeding is appropriately shifted even if no control is performed due to the difference in the pumping position and the starting position of the pump. However, these operations are not always constant and vary and operate. I do.

【0014】従って,プラズマの発光強度をモニタして
その変動を監視して脈動の状態を検出した時,制御手段
10においてペリスタルポンプ3または4のいずれか一
方のペリスタルポンプの回転の周期をずらせるようにす
る。
Therefore, when the pulsation state is detected by monitoring the emission intensity of the plasma and monitoring its fluctuation, the control means 10 shifts the rotation cycle of one of the peristal pumps 3 and 4. To do.

【0015】これによって2個のネブライザ5および6
から吐出される液体試料圧送の脈動は無くなり,スプレ
−チェンバ内の気圧の周期的な変動が抑制される。
Thus, the two nebulizers 5 and 6
The pulsation of the liquid sample pumping discharged from the nozzle is eliminated, and the periodic fluctuation of the atmospheric pressure in the spray chamber is suppressed.

【0016】上記の実施例においては,2個のネブライ
ザ5および6に各々1個のペリスタルポンプ3および4
を配置し,またペリスタルポンプ3または4の回転を制
御する制御手段を用いたが脈動が或る程度許される場
合,または2系統の相互動作状態が安定な場合には1個
のペリスタルポンプに2連のロ−タを並設し,2個のロ
−タのロ−ラをずらせて組み上げ(ずらせ量はロ−ラの
1ピッチ分間を可変できる。),各ロ−タに2系統のチ
ュ−ブを通すことによって2系統のチュ−ブ長さも同一
となり液送動作を機械的,半固定的にずらせるのみで制
御手段を用いない方式をとることもできる。
In the above embodiment, two nebulizers 5 and 6 each have one peristaltic pump 3 and 4.
And a control means for controlling the rotation of the peristaltic pump 3 or 4 is used. However, if pulsation is allowed to some extent, or if the mutual operation state of the two systems is stable, two peristaltic pumps are used. A series of rotors are juxtaposed, the rotors of the two rotors are shifted and assembled (the amount of shift can be varied for one pitch of the rotor), and two rotors are provided for each rotor. In this case, the length of the two tubes becomes the same by passing through the tube, and the liquid feeding operation is mechanically and semi-fixedly shifted, and a system without using control means can be adopted.

【0017】また上記の実施例ではニュ−マティックネ
ブライザのうちサイクロンチェンバについて図示したが
図2のように通常のニュ−マティック同軸ネブライザに
対しても本発明を適用できるのは勿論である。
In the above embodiment, the cyclone chamber of the pneumatic nebulizer is shown, but the present invention can be applied to a normal pneumatic coaxial nebulizer as shown in FIG.

【0018】スプレ−チェンバ7に2個のネブライザ5
および6を配置した本発明のICP分析装置を用いれば
標準添加法に類する検量線作成が可能である。
Two nebulizers 5 are provided in the spray chamber 7.
The use of the ICP analyzer of the present invention in which (6) and (6) are arranged makes it possible to prepare a calibration curve similar to the standard addition method.

【0019】このような標準添加法に類する検量線作成
の方法を図2の実施例により説明する。図2において,
符号1は試料容器,2は液体試料,5は試料用ネブライ
ザ,15は標準試料容器,16は標準溶液,6は標準溶
液用ネブライザである。なお7,8,9については前述
の図1と同じであり,詳細な説明は省略する。
A method of preparing a calibration curve similar to the standard addition method will be described with reference to the embodiment of FIG. In FIG.
Reference numeral 1 denotes a sample container, 2 denotes a liquid sample, 5 denotes a nebulizer for a sample, 15 denotes a standard sample container, 16 denotes a standard solution, and 6 denotes a nebulizer for a standard solution. 7, 8, and 9 are the same as those in FIG. 1 described above, and a detailed description thereof will be omitted.

【0020】検量線を作成する場合試料容器1には液体
試料2が,標準試料容器15には既知濃度の標準溶液が
入れられる。従って試料用ネブライザ5には未知濃度の
液体試料2が,標準溶液用ネブライザ6には既知濃度の
標準溶液16が各々送液されてスプレ−チェンバ7内で
両者は混合されたエアロゾルとしてプラズマト−チ8に
導入される。したがって,液体試料中に既知の分析元素
濃度を添加して行う標準添加法によるマトリクス効果を
排除した検量線を作成することができる。
When a calibration curve is prepared, a liquid sample 2 is placed in a sample container 1 and a standard solution having a known concentration is placed in a standard sample container 15. Accordingly, the liquid sample 2 of unknown concentration is sent to the sample nebulizer 5 and the standard solution 16 of known concentration is sent to the nebulizer 6 for standard solution, and the two are mixed in the spray chamber 7 as aerosol. Introduced to h8. Therefore, it is possible to prepare a calibration curve excluding the matrix effect by the standard addition method in which a known analysis element concentration is added to a liquid sample.

【0021】[0021]

【発明の効果】本発明のICP分析装置は上記のように
構成されており,ネブライザおよびペリスタルポンプの
液送系を2系統としたため,スプレ−チェンバ内での気
圧の脈動が無くなり,発光強度が安定して分析精度を向
上させることができる。また一つのネブライザの時と比
べて同じ試料量を送液するには,二つのペリスタルポン
プの回転数を半分にすれば良く,ネブライザの詰まりも
起こりにくくなる。一方キャリアガスは2倍流せること
になりプラズマの中心温度を一層低くすることができる
ので,アルカリ元素の分析に適した分析状態を得ること
ができる。
The ICP analyzer of the present invention is configured as described above, and the nebulizer and the peristal pump have two liquid feed systems, so that the pressure pulsation in the spray chamber is eliminated and the emission intensity is reduced. The analysis accuracy can be stably improved. In addition, in order to feed the same amount of sample as compared with the case of one nebulizer, the rotation speeds of the two peristaltic pumps may be reduced to half, and clogging of the nebulizer hardly occurs. On the other hand, the carrier gas can flow twice, and the center temperature of the plasma can be further lowered, so that an analysis state suitable for analysis of an alkali element can be obtained.

【0022】さらに,本発明装置を用いることにより,
2つのネブライザを液体試料用と標準溶液用とに分けて
標準添加法に類する検量線作成を行うことができるの
で,従来法の1つのネブライザの場合に比べ測定の自動
化が容易となる。
Further, by using the apparatus of the present invention,
A calibration curve similar to the standard addition method can be prepared by dividing the two nebulizers into those for the liquid sample and those for the standard solution, so that the measurement can be automated more easily than in the case of one nebulizer of the conventional method.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明のICP分析装置の一実施例を示す図で
ある。
FIG. 1 is a diagram showing one embodiment of an ICP analyzer of the present invention.

【図2】本発明のICP分析装置を用いた検量線作成の
ための実施例を示す図である。
FIG. 2 is a diagram showing an example for creating a calibration curve using the ICP analyzer of the present invention.

【図3】従来のICP分析装置を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing a conventional ICP analyzer.

【図4】ペリスタルポンプの正面図であるFIG. 4 is a front view of a peristaltic pump.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1・・・・・・試料容器 2・・・・・・液体試料 3・4・・・・ペリスタルポンプ 5・6・・・・ネブライザ 7・・・・・・スプレ−チェンバ 8・・・・・・プラズマト−チ 9・・・・・・高周波コイル 10・・・・・制御手段 11・・・・・ロ−タ 12・・・・・ロ−ラ 13・・・・・押圧部材 14・・・・・チュ−ブ 15・・・・・標準試料容器 16・・・・・標準溶液 1 ... sample container 2 ... liquid sample 3 ... 4 peristaltic pump 5 6 ... nebulizer 7 ... spray chamber 8 ... ··· Plasma torch 9 ····· High frequency coil 10 ···· Control means 11 ··· Rotor 12 ··· Roller 13 ··· Press member 14 ····· Tube 15 ··· Standard sample container 16 ··· Standard solution

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 可とう性のチュ−ブを順次に挟圧しなが
ら液送動作を行うぜん動式のペリスタルポンプによって
液体試料をネブライザに移送し,ネブライザで霧化され
た試料をスプレ−チェンバを経てプラズマト−チに導入
して励起発光・イオン化させることにより分析を行うI
CP分析装置において,前記スプレ−チェンバに複数個
のネブライザを配置し,各々のネブライザにそれぞれペ
リスタルポンプを接続したことを特徴とするICP分析
装置。
1. A liquid sample is transferred to a nebulizer by a peristaltic pump which performs a liquid feeding operation while sequentially compressing a flexible tube, and a sample atomized by the nebulizer is passed through a spray chamber. Analyze by introducing into a plasma torch and exciting and emitting / ionizing I
In a CP analyzer, a plurality of nebulizers are arranged in the spray chamber, and a peristaltic pump is connected to each of the nebulizers.
JP17411397A 1997-06-30 1997-06-30 Icp analyzer Pending JPH1123470A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP17411397A JPH1123470A (en) 1997-06-30 1997-06-30 Icp analyzer

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JP17411397A JPH1123470A (en) 1997-06-30 1997-06-30 Icp analyzer

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JP17411397A Pending JPH1123470A (en) 1997-06-30 1997-06-30 Icp analyzer

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JP (1) JPH1123470A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6485689B1 (en) * 1999-09-06 2002-11-26 Hitachi, Ltd. Analytical apparatus using nebulizer

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6485689B1 (en) * 1999-09-06 2002-11-26 Hitachi, Ltd. Analytical apparatus using nebulizer

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