JPH11223521A - Noncontact suction instrument - Google Patents
Noncontact suction instrumentInfo
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- JPH11223521A JPH11223521A JP3806098A JP3806098A JPH11223521A JP H11223521 A JPH11223521 A JP H11223521A JP 3806098 A JP3806098 A JP 3806098A JP 3806098 A JP3806098 A JP 3806098A JP H11223521 A JPH11223521 A JP H11223521A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、移動する液晶ガラス基
板、鋼板、プラスチック板等の反り、うねり、段差を表
面に接触することなく定間隙を維持する無接触吸着具、
この無接触吸着具を応用した変位センサ−及び測定方法
に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、空気を噴出することにより、ワ−
クに接触することなく一定間隙を維持し、表面のうね
り、反り等の変位による移動量を検出する特開平９−２
８０８４６号がある。
【０００３】また別に無接触吸着具として特開昭６３−
１７６２４２号がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら特開平９
−２８０８４６号の変位センサ−の空気保持器は、測定
時においてワ−クとの間隙が小さいため、大きな反り、
段差の測定は難しく、また測定開始時に空気保持器をワ
−クとの間隙が大きい時点で空気を噴出すると、慣性力
によりワ−クと衝突するという欠点がある。
【０００５】また特開昭６３−１７６２４２号の無接触
吸着具は、測定開始時の慣性力によりワ−クと衝突する
という目的で吸着用空気を供給するノズルより吐出管を
分岐し、ワ−クに向かって空気噴出し、ワ−クと吸着具
との間隙を大きくするとともに、反発力を生じさせ接触
を阻止する目的のものであるが、吐出管の形状が複雑で
形成が難しく、またノズル周壁より多数の吐出管を分岐
し、均等に十分な吐出空気量を供給することは不可能で
あり、このため間隙を大きくすること及び所定の反発力
を生じさせることは不可能である。
【０００６】
【発明が解決するための手段】中央部のノズルより空気
を噴出することにより、ワ−クを無接触状態にて吸着す
る平板状の基体の底辺に形成する作動面の周辺部に、空
気吐出口を設け、前記基体の上方に、上部に空気送入口
を備え、かつ内部空間に形成する均圧室に前記ノズル及
び空気吐出口が開口している蓋体を覆設してなる無接触
吸着具により解決が可能である。
【０００７】
【作用】空気送入口１より供給された高圧空気Ｃは均圧
室１０に入る。
【０００８】均圧室１０に入った高圧空気Ｃはノズル３
からクッション室４へ噴出され、作動面５とワ−ク７と
の間隙を通過し、無接触吸着具Ａより外部へ放出され
る。
【０００９】その間高速気流によりエゼクタ機能及びベ
ルヌ−イ機能を生じ負圧を発生し、ワ−ク７を吸引す
る。
【００１０】一方均圧室１０より吐出管６に入り作動面
５よりワ−ク７に向かって噴出した高圧空気Ｃは、ワ−
ク７に対して反発力を与え、吸引され、慣性力により急
接近してきたワ−ク７が無接触吸着具Ａと接触するのを
阻止する。
【００１１】また作動面５に開口する吐出管６より高圧
空気Ｃを噴出し反発力を増加することにより無接触吸着
具Ａとワ−ク７との間隙を大きく維持することができ
る。
【００１２】
【実施例１】以下に本発明の実施例を図面により説明す
る。
【００１３】図１に本発明の無接触吸着具Ａの側面断面
図、図２にその下平面図を示す。
【００１４】中央内部の空間をクッション室４とし、側
壁底面を作動面５とし中央部にクッション室４に通じる
ノズル３および上面より作動面５に浅く形成された圧力
室８に貫通する吐出管６を設けている基体Ｌの上方に、
内部に空間に均圧室１０を形成した椀状の上部に空気送
入口１設けた蓋体Ｍをネジにより覆設して無接触吸着具
Ａを形成する。
【００１５】高圧空気源より管路を介して無接触吸着具
Ａに送られてきた高圧空気Ｃは、空気送入口１より均圧
室１０に入る。
【００１６】均圧室１０の高圧空気Ｃの一部はノズル３
よりクッション室４を通りワ−ク７に向かって噴出さ
れ、ワ−ク７と作動面５との間隙ｈを通過し外部へ排出
される。
【００１７】吸引当初の間隙ｈが大きい時点では、無接
触吸着具Ａのノズル３、クッション室４及び作動面５と
ワ−ク７間では、高圧空気Ｃの高速気流によりエゼクタ
機能およびベルヌ−イ機能を発揮し、負圧を発生し吸引
力を生じワ−ク７は吸引され作動面５に急接近する。
【００１８】ワ−ク７が接近し間隙ｈが小になれば、圧
力室型エアクッション機能及び空気流のクッション機能
により内部圧力が上昇し反発力を生じてワ−ク７を引き
離す。＄一方、均圧室１０はノズル３及び全吐出管６の
断面積の総計に比し格段に大きいため、均等量の高圧空
気Ｃが各吐出管６より圧力室８を経てワ−ク７に向かっ
て噴出する。
【００１９】この間圧力室８にて生じる昇圧作用により
ワ−ク７に対して反発力を生じ、引き離す力を発揮す
る。上述の吸引力、反発力及びワ−ク７の荷重の均衡し
た間隙にてワ−ク７は維持される。
【００２０】従来の平板に設けられたノズルより空気を
噴出するベルヌ−イチャックあるいは吐出管より均等か
つ十分な空気量の噴出の無い吸着具では、ワ−ク吸引当
初接近時の反発力が小さいため、接近してきたワ−クの
慣性力に打ち勝つことができずワ−クが吸着具と接触
し、ワ−クを損傷する場合がある。
【００２１】また吸引維持時においては上述の吐出管か
ら空気の噴出が不十分なため反発力が弱く、間隙ｈが小
さい。
【００２２】図３及び図４は多数の吐出管６を備えた無
接触吸着具Ｂである。
【００２３】図５及び図６はワ−クに対して角度を有し
た吐出管６及び圧力室８を備えた無接触吸着具Ｄ，Ｅで
ある。
【００２４】また本発明の無接触吸着具Ａのノズル３及
びクッション室４との組合せによる吸引機構に代えて、
従来技術のベルヌ−イチャックと称せられるノズル３の
みにて構成される吸引機構の周囲に吐出管６を配設した
無接触吸着具でもよい。
【００２５】図９はネジ機構にて締結された基体Ｌと蓋
体Ｍを回転することにより昇降させ、ノズル３より突出
した座１１と空気送入口１下端より突出した座１２との
間隔を調節可能にすることにより、吐出管６に供給する
高圧空気Ｃ量を調節し、反発力及び維持間隙ｈを調節可
能にした無接触吸着具Ｆである。
【００２６】図９に記載の吐出管６へ供給する高圧空気
Ｃ量の調節機構は無接触吸着具Ｂ，Ｄ，Ｅに装着するこ
とも可能である。
【００２７】図１０は、段差を設けた作動面２０を有す
る無接触吸着具である。
【００２８】図１１は、ノズル３に供給する高圧空気Ｃ
と均圧室１０から吐出管６に高圧空気Ｃをそれぞれ空気
送入口１３と空気送入口２１とに分離した無接触吸着具
である。
【００２９】図１２および図１３には、クッション室４
の底部のノズル３の直下に、ノズル３の口径よりやや大
きな邪魔板１７をクッション室４を設けた無接触吸着具
Ｇを示す。
【００３０】無接触吸着具Ｇは、ワ−ク７が薄いもの、
柔軟なもの、通気性のあるもの、穴のあるもの等である
場合に適応が可能である。
【００３１】
【実施例２】以下に本発明の無接触吸着具を応用した変
位センサ−Ｎの実施例を説明する。
【００３２】図１４は、無接触吸着具を用いた変位セン
サＮ−の構成図を示す。
【００３３】ブラケット１６に昇降及び回転自由に保持
された無接触吸着具Ａに、無接触吸着具Ａの移動量を検
出する検出装置Ｐが連接されて変位センサ−Ｎを構成す
る。
【００３４】上記の構成に於て変位センサ−Ｎの無接触
吸着具Ａに高圧空気Ｃを供給することにより作動面５に
近接してしている測定対象のワ−ク７とは、常に一定距
離を保持している。
【００３５】従ってワ−ク７の表面に変位量が生じる
と、無接触吸着具Ａは前記変位量に応じて移動する。
【００３６】その移動量を無接触吸着具Ａに連接する検
出装置Ｐにて検出する。
【００３７】かようにしてワ−ク７の反り、うねり、段
差等の測定が可能である。
【００３８】図１５には、変位センサ−Ｎを用いてワ−
クの変位によるカメラＲの焦点の調節方法を示す。
【００３９】変位センサ−Ｎの無接触吸着具は無接触吸
着具Ｂ，Ｄ，Ｅ，Ｆ，Ｇの他従来技術のベルヌ−イチャ
ックの周囲にに吐出管を設けたものでもよい。
【００４０】
【実施例３】図１６には、本発明の変位測定方法を示
す。
【００４１】水平方向移動自由なテーブル２０上方に、
変位センサ−Ｎをブラケット１９に昇降自由に装着した
測定方法を示す。
【００４２】テーブル２０上に置かれたワ−ク７に変位
センサ−Ｎを降下接近させ高圧空気Ｃを供給する。
【００４３】変位センサ−Ｎの無接触吸着具Ａは更に下
降しワ−ク７の表面と定間隔保持する。
【００４４】次にテ−ブル２０を移動し、ワ−ク７の測
定箇所を無接触吸着具Ａの直下に移動さる。
【００４５】無接触吸着具Ａとワ−ク７との距離は定間
隔を維持しているため、ワ−ク７の表面に曲がり、反
り、段差等の変位がある場合は、その変位と同量の変位
量だけ無接触吸着具Ａが移動する。
【００４６】この移動量を変位センサ−Ｎの検出装置Ｐ
にて検出する。
【００４７】本例では、テーブル１７が移動する方式で
あるが、テーブル１７は固定し変位センサ−Ｎを移動具
１９に装着し、水平方向に移動させ測定する方法でもよ
い。
【００４８】また上記移動具１９とテーブル２０が互い
に直角方向に移動する方式でもよい。
【００４９】図１７は、連続して移動する帯状のワ−ク
７の変位測定方法を示す。
【００５０】移動する帯状のワ−ク７の上方に、変位セ
ンサ−Ｎをバ−２２に取り付けて構成する変位測定方法
を示す。
【００５１】変位センサ−Ｎの無接触吸着具Ａを移動し
てきたワ−ク７の近辺まで降下させ、高圧空気Ｃを供給
する。
【００５２】変位センサ−Ｎの無接触吸着具Ａは更に下
降しワ−ク７の表面と定間隔保持する。
【００５３】ワ−ク７が変位センサ−Ｎの下を通過する
時点で、無接触吸着具Ａとワ−ク７との距離は定間隔を
維持しているため、ワ−ク７の表面に曲がり、反り、段
差等の変位がある場合は、その変位と同量の変位量だけ
無接触吸着具Ａが移動する。
【００５４】この移動量を変位センサ−Ｎの検出装置Ｐ
にて検出する。
【００５５】
【発明の効果】上述したように本発明により、高圧空気
Ｃを噴出することによりワ−クとの間隙を維持する無接
触吸着具において、従来技術より格段に大きな間隙が維
持でき、かつ吸引開始時に無接触吸着具とワ−クとの間
隙が大きい時点で空気を噴出しても、接近するワ−クの
慣性力によりワ−クと衝突するということがない無接触
吸着具の提供が可能となり、したがって大きなうねり、
反り、段差、突起のあるワ−クを損傷することなく、表
面変位を測定する変位センサ−および測定方法を提供す
ることが可能になった。Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid crystal glass substrate, a steel plate, a plastic plate, or the like, which moves and maintains a constant gap without making a warp, undulation or step contact the surface. Non-contact suction device,
The present invention relates to a displacement sensor and a measuring method to which the non-contact suction device is applied. 2. Description of the Related Art Conventionally, air has been blown out to make
Japanese Unexamined Patent Application Publication No. Hei 9-2 for detecting a moving amount due to a displacement such as undulation or warpage of a surface while maintaining a constant gap without contacting the surface.
No. 80846. [0003] As another non-contact suction device,
No. 176242. [0004] However, Japanese Patent Application Laid-Open No.
The air retainer of the displacement sensor of No. -280846 has a large warpage due to a small gap with the work at the time of measurement.
It is difficult to measure the step, and if air is ejected from the air retainer at the time when the gap between the work and the work is large at the start of the measurement, there is a drawback that the work is collided with the work due to inertial force. In the non-contact suction device disclosed in JP-A-63-176242, a discharge pipe is branched from a nozzle for supplying suction air for the purpose of colliding with a work due to inertia force at the start of measurement. The purpose of this is to blow out air toward the work, to increase the gap between the work and the suction tool, and to generate a repulsive force to prevent contact, but the shape of the discharge pipe is complicated and difficult to form. It is impossible to branch a large number of discharge pipes from the peripheral wall of the nozzle and to supply a sufficient amount of discharge air evenly. Therefore, it is impossible to increase the gap and to generate a predetermined repulsive force. [0006] By ejecting air from a nozzle at the center, a work is formed on the bottom of a flat base member which adsorbs the work in a non-contact state. , An air discharge port is provided, an air inlet is provided above the base, and a pressure equalizing chamber formed in an internal space is covered with a lid body having the nozzle and the air discharge port opened. The solution is possible with a non-contact suction device. The high-pressure air C supplied from the air inlet 1 enters the pressure equalizing chamber 10. The high-pressure air C entering the pressure equalizing chamber 10 is supplied to the nozzle 3
Is ejected to the cushion chamber 4 through the gap between the working surface 5 and the work 7 and is discharged from the non-contact suction device A to the outside. During this time, the ejector function and the Bernoulli function are generated by the high-speed air flow to generate a negative pressure, and the work 7 is sucked. On the other hand, the high-pressure air C that has entered the discharge pipe 6 from the pressure equalizing chamber 10 and has been ejected from the working surface 5 toward the work 7 is
A repulsive force is applied to the workpiece 7 to prevent the workpiece 7 that has been sucked in and has come in close proximity due to the inertial force from coming into contact with the non-contact suction device A. The gap between the non-contact adsorbent A and the work 7 can be maintained large by ejecting high-pressure air C from the discharge pipe 6 opening to the working surface 5 and increasing the repulsive force. Embodiment 1 An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a side sectional view of the non-contact suction device A of the present invention, and FIG. The space inside the center is a cushion chamber 4, the bottom surface of the side wall is an operating surface 5, and a nozzle 3 communicating with the cushion chamber 4 in the center and a discharge pipe 6 penetrating into a pressure chamber 8 formed shallower in the operating surface 5 than the upper surface. Above the substrate L provided with
A cover M provided with an air inlet 1 at the upper part of a bowl having a pressure equalizing chamber 10 formed therein is covered with a screw to form a non-contact suction device A. The high-pressure air C sent from the high-pressure air source to the non-contact adsorber A via a pipe enters the pressure equalizing chamber 10 through the air inlet 1. Part of the high-pressure air C in the pressure equalizing chamber 10 is
The air is ejected toward the work 7 through the cushion chamber 4, and is discharged to the outside through the gap h between the work 7 and the working surface 5. At the time when the gap h at the beginning of suction is large, the ejector function and Bernoulli between the nozzle 3, the cushion chamber 4, and the working surface 5 and the work 7 of the non-contact suction device A are caused by the high-speed air flow of the high-pressure air C. The work 7 exerts its function, generates a negative pressure and generates a suction force, and the work 7 is sucked and rapidly approaches the working surface 5. When the work 7 approaches and the gap h becomes small, the internal pressure rises due to the pressure chamber type air cushion function and the air flow cushion function, and a repulsive force is generated to separate the work 7. On the other hand, since the pressure equalizing chamber 10 is much larger than the total cross-sectional area of the nozzle 3 and all the discharge pipes 6, an equal amount of high-pressure air C flows from each discharge pipe 6 to the work 7 through the pressure chamber 8. Spout toward. During this time, a repulsive force is exerted on the work 7 by the pressurizing action generated in the pressure chamber 8 to exert a separating force. The work 7 is maintained in the gap where the suction force, the repulsive force, and the load of the work 7 are balanced. A conventional Bernoulli chuck which ejects air from a nozzle provided on a flat plate or an adsorber which does not eject air uniformly and sufficiently from a discharge pipe has a small repulsive force when approaching at the beginning of work suction. The work may not be able to overcome the inertial force of the approaching work, and the work may come into contact with the suction tool and damage the work. In addition, when the suction is maintained, the repelling force is weak and the gap h is small due to insufficient ejection of air from the discharge pipe. FIGS. 3 and 4 show a non-contact suction device B having a large number of discharge pipes 6. FIGS. 5 and 6 show non-contact suction devices D and E having a discharge pipe 6 and a pressure chamber 8 which are angled with respect to the work. Further, instead of the suction mechanism of the non-contact suction device A of the present invention in combination with the nozzle 3 and the cushion chamber 4,
A non-contact suction device in which a discharge pipe 6 is arranged around a suction mechanism including only a nozzle 3 called a Bernoulli chuck of the related art may be used. FIG. 9 shows that the base L and the cover M fastened by a screw mechanism are moved up and down by rotating, and the distance between the seat 11 projecting from the nozzle 3 and the seat 12 projecting from the lower end of the air inlet 1 is adjusted. By making it possible, the amount of high-pressure air C to be supplied to the discharge pipe 6 is adjusted, and the non-contact suction device F is capable of adjusting the repulsion force and the maintenance gap h. The mechanism for adjusting the amount of high-pressure air C supplied to the discharge pipe 6 shown in FIG. 9 can be mounted on the non-contact suction devices B, D, and E. FIG. 10 shows a non-contact suction device having an operation surface 20 provided with a step. FIG. 11 shows high-pressure air C supplied to the nozzle 3.
And a high pressure air C from the pressure equalizing chamber 10 to the discharge pipe 6 into an air inlet 13 and an air inlet 21 respectively. FIG. 12 and FIG.
A non-contact suction device G provided with a baffle plate 17 slightly larger than the diameter of the nozzle 3 and a cushion chamber 4 is provided immediately below the nozzle 3 at the bottom of FIG. The non-contact suction device G has a thin work 7,
It can be applied to flexible, breathable, and perforated materials. Embodiment 2 Hereinafter, an embodiment of a displacement sensor N to which the non-contact suction device of the present invention is applied will be described. FIG. 14 shows a configuration diagram of a displacement sensor N- using a non-contact suction device. A displacement sensor N is formed by connecting a detecting device P for detecting the amount of movement of the non-contact suction device A to the non-contact suction device A held up and down and rotatably by the bracket 16. In the above configuration, the high-pressure air C is supplied to the non-contact suction device A of the displacement sensor N, so that the work 7 to be measured which is close to the working surface 5 is always constant. Holding distance. Therefore, when a displacement occurs on the surface of the work 7, the non-contact suction device A moves according to the displacement. The moving amount is detected by the detecting device P connected to the non-contact suction device A. In this way, it is possible to measure the warp, undulation, step and the like of the work 7. FIG. 15 is a schematic diagram showing a case where the displacement sensor N is used.
5 shows a method of adjusting the focus of the camera R by the displacement of the mark. The non-contact suction device of the displacement sensor N may be a non-contact suction device B, D, E, F, G or a device in which a discharge pipe is provided around a conventional Bernoulli chuck. Third Embodiment FIG. 16 shows a displacement measuring method according to the present invention. Above the table 20 which can move in the horizontal direction,
The measurement method in which the displacement sensor N is mounted on the bracket 19 so as to freely move up and down is shown. The displacement sensor N descends and approaches the work 7 placed on the table 20 to supply high-pressure air C. The non-contact suction device A of the displacement sensor N further descends and keeps a constant interval with the surface of the work 7. Next, the table 20 is moved, and the measuring point of the work 7 is moved to a position immediately below the non-contact suction device A. Since the distance between the non-contact suction device A and the work 7 is maintained at a constant interval, if the surface of the work 7 is displaced by bending, warping, steps or the like, the displacement is the same as the displacement. The non-contact suction device A moves by the amount of displacement. The amount of this movement is used as the detection device P for the displacement sensor N.
Detect with. In this embodiment, the table 17 is moved, but a method in which the table 17 is fixed, the displacement sensor N is mounted on the moving tool 19, and the table 17 is moved in the horizontal direction for measurement. The moving tool 19 and the table 20 may move in a direction perpendicular to each other. FIG. 17 shows a method for measuring the displacement of the strip-shaped work 7 moving continuously. A displacement measuring method in which a displacement sensor N is attached to a bar 22 above a moving strip-shaped work 7 will be described. The non-contact suction device A of the displacement sensor N is moved down to the vicinity of the moved work 7 to supply high-pressure air C. The non-contact suction device A of the displacement sensor N further descends and maintains a constant interval with the surface of the work 7. When the work 7 passes under the displacement sensor N, the distance between the non-contact suction device A and the work 7 is maintained at a constant interval. If there is a displacement such as a bend, a warp, or a step, the non-contact suction device A moves by the same amount of displacement as the displacement. The amount of this movement is used as the detection device P for the displacement sensor N.
Detect with. As described above, according to the present invention, in the non-contact suction device which maintains the gap with the work by ejecting the high-pressure air C, a much larger gap can be maintained than in the prior art. In addition, even if air is blown out when the gap between the non-contact suction device and the work is large at the start of suction, the non-contact suction device does not collide with the work due to the inertial force of the approaching work. Offer, and therefore a big swell,
It has become possible to provide a displacement sensor and a measuring method for measuring a surface displacement without damaging a work having a warp, a step and a projection.
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の無接触吸着具Ａの側面断面図を示
す。
【図２】 本発明の無接触吸着具Ａの下平面図を示す。
【図３】 本発明の無接触吸着具Ｂの側面断面図を示
す。
【図４】 本発明の無接触吸着具Ｂの下平面図を示す。
【図５】 本発明の無接触吸着具Ｄの側面断面図を示
す。
【図６】 本発明の無接触吸着具Ｄの下平面図を示す。
【図７】 本発明の無接触吸着具Ｅの側面断面図を示
す。
【図８】 本発明の無接触吸着具Ｅの下平面図を示す。
【図９】 本発明の無接触吸着具Ｆの側面断面図であ
る。
【図１０】本発明の無接触吸着具の他の作動面の側面断
面図である。
【図１１】 無接触吸着具の他の吐出管への空気供給方
式の側面断面図である。
【図１２】 本発明の無接触吸着具Ｇの側面断面図を示
す。
【図１３】 本発明の無接触吸着具Ｇの下平面図を示
す。
【図１４】 本発明の変位センサ−の側面図である。
【図１５】 本発明の他の変位センサ−の側面図であ
る。
【図１６】 本発明の測定方法の側面図である。
【図１７】 本発明の他の測定方法の側面図である。
【符号の説明】
１、１３、１４ 空気送入口
３ ノズル
４ クッション室
５、２１ 作動面
６ 吐出管
７ ワ−ク
８ 圧力室
９ 基体
１０ 均圧室
１１、１２ 座
１６ ブラケット
１７ 邪魔板
１９ ブラケット
２０ テーブル
Ａ、Ｂ、Ｄ、Ｅ、Ｆ、Ｇ 無接触吸着具
Ｃ 高圧空気
Ｌ 基体
Ｍ 蓋体
Ｎ 変位センサ−
Ｐ 検出装置
Ｒ カメラBRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 shows a side sectional view of a non-contact suction device A of the present invention. FIG. 2 shows a bottom plan view of the non-contact suction device A of the present invention. FIG. 3 shows a side sectional view of the non-contact suction device B of the present invention. FIG. 4 shows a bottom plan view of the non-contact suction device B of the present invention. FIG. 5 shows a side sectional view of the non-contact suction device D of the present invention. FIG. 6 shows a bottom plan view of the non-contact suction device D of the present invention. FIG. 7 is a side sectional view of the non-contact suction device E of the present invention. FIG. 8 shows a bottom plan view of the non-contact suction device E of the present invention. FIG. 9 is a side sectional view of the non-contact suction device F of the present invention. FIG. 10 is a side sectional view of another operation surface of the non-contact suction device of the present invention. FIG. 11 is a side sectional view of a method of supplying air to another discharge pipe of the non-contact suction device. FIG. 12 shows a side sectional view of the non-contact suction device G of the present invention. FIG. 13 is a bottom plan view of the non-contact suction device G of the present invention. FIG. 14 is a side view of a displacement sensor according to the present invention. FIG. 15 is a side view of another displacement sensor according to the present invention. FIG. 16 is a side view of the measurement method of the present invention. FIG. 17 is a side view of another measurement method of the present invention. DESCRIPTION OF THE SYMBOLS 1, 13, 14 Air inlet 3 Nozzle 4 Cushion chamber 5, 21 Working surface 6 Discharge pipe 7 Work 8 Pressure chamber 9 Base 10 Equalizing chamber 11, 12 Seat 16 Bracket 17 Baffle plate 19 Bracket 20 Tables A, B, D, E, F, G Non-contact suction device C High-pressure air L Base M Cover N Displacement sensor P Detector R Camera
Claims (1)
により、ワ−クを無接触状態にて吸着する平板状の基体
の底辺に形成する作動面の周辺部に、空気吐出口を設
け、前記基体の上方に、上部に空気送入口を備え、かつ
内部空間に形成する均圧室に、前記ノズル及び空気吐出
口が開口している蓋体を覆設してなる無接触吸着具。 【請求項２】 空気を噴出することによりワ−クとの間
隙を一定に維持する 【請求項１】記載の無接触吸着具に移動量を検出する検
出装置を具備した変位センサー 【請求項３】 【請求項２】記載の変位センサ−の移動量により、ワ−
クの変位量を測定する変位測定方法。Claims: 1. By blowing air from a nozzle at a central portion, a peripheral portion of an operating surface formed on the bottom of a flat plate-shaped substrate that absorbs a work in a non-contact state is provided. An air discharge port is provided, an air supply port is provided above the base, and a pressure equalizing chamber formed in an internal space is covered with a lid having the nozzle and the air discharge port opened. Non-contact suction device. 2. A displacement sensor provided with a detecting device for detecting a moving amount in the non-contact suction device according to claim 1. 2. A gap sensor for maintaining a constant gap with the work by blowing air. 2. A wire according to the amount of movement of the displacement sensor according to claim 2.
Displacement measurement method for measuring the amount of displacement of a workpiece.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3806098A JPH11223521A (en) | 1998-02-04 | 1998-02-04 | Noncontact suction instrument |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3806098A JPH11223521A (en) | 1998-02-04 | 1998-02-04 | Noncontact suction instrument |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11223521A true JPH11223521A (en) | 1999-08-17 |
Family
ID=12514965
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3806098A Pending JPH11223521A (en) | 1998-02-04 | 1998-02-04 | Noncontact suction instrument |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11223521A (en) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006261698A (en) * | 2006-06-02 | 2006-09-28 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | Substrate holder unit |
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-
1998
- 1998-02-04 JP JP3806098A patent/JPH11223521A/en active Pending
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